JP7317649B2 - コンデンサ - Google Patents
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Description
図1及び図2に、第1実施形態に係るコンデンサを示す。
図1及び図2に示すコンデンサ1は、図2に示すように、導電基板CSと、導電層20bと、誘電体層30とを含んでいる。
基板10は、導電基板CSと同様の形状を有している。基板10は、例えば、絶縁性基板、半導体基板、又は導電性基板である。基板10は、半導体基板であることが好ましい。また、基板10は、シリコン基板などのシリコンを含んだ基板であることが好ましい。そのような基板は、半導体プロセスを利用した加工が可能である。
即ち、先ず、図4に示すように、基板10上に、貴金属を各々が含んだ触媒層80を形成する。触媒層80は、それぞれ、基板10の一方の主面(以下、第1面という)を部分的に覆うように形成する。
マスク層90は、第1凹部TR1a及びTR1bに対応した位置で開口している。マスク層90は、第1面のうちマスク層90によって覆われた部分が、後述する貴金属と接触するのを防止する。
エッチング剤100における弗化水素の濃度は、1mol/L乃至20mol/Lの範囲内にあることが好ましく、5mol/L乃至10mol/Lの範囲内にあることがより好ましく、3mol/L乃至7mol/Lの範囲内にあることが更に好ましい。弗化水素濃度が低い場合、高いエッチングレートを達成することが難しい。弗化水素濃度が高い場合、過剰なサイドエッチングを生じる可能性がある。
エッチング剤100は、水などの他の成分を更に含んでいてもよい。
即ち、このコンデンサ1は、大きな電気容量を達成可能であり、反りを生じ難い。
(第1変形例)
図7は、第1変形例に係るコンデンサが含んでいる導電基板の斜視図である。
第1変形例に係るコンデンサは、導電基板CSに以下の構造を採用すること以外は、第1実施形態に係るコンデンサ1と同様である。
図8は、第2変形例に係るコンデンサが含んでいる導電基板の斜視図である。
図9は、第3変形例に係るコンデンサが含んでいる導電基板の斜視図である。
図10は、サブ領域の配列とトレンチの配列との関係の一例を示す上面図である。図11は、サブ領域の配列とトレンチの配列との関係の他の例を示す上面図である。
図12に、第2実施形態に係るコンデンサを示す。
また、深さd1と深さd2とは、等しくてもよく、異なっていてもよい。
即ち、このコンデンサ1は、大きな電気容量を達成可能であり、反りを生じ難い。
このコンデンサ1では、各第1サブ領域A1aに設けられた第1凹部TR1aと、その第1サブ領域A1aに対応した第2サブ領域A2aに設けられた第2凹部TR2aとは、長さ方向が互いに交差しており、それらの深さの和は導電基板CSの厚さ以上である。また、このコンデンサ1では、各第1サブ領域A1bに設けられた第1凹部TR1bと、その第1サブ領域A1bに対応した第2サブ領域A2bに設けられた第2凹部TR2bとは、長さ方向が互いに交差しており、それらの深さの和は導電基板CSの厚さ以上である。それ故、第1凹部TR1a及びTR1b並びに第2凹部TR2a及びTR2bを形成すると、それらが交差している位置に、図13に示す貫通孔THが生じる。従って、第1凹部TR1a及びTR1b並びに第2凹部TR2a及びTR2bを形成する工程の他に、貫通孔を別途形成する工程を行う必要がない。
以下に、当初の特許請求の範囲に記載していた発明を付記する。
[1]
第1主面と第2主面とを有し、前記第1主面は複数の第1サブ領域を含み、前記複数の第1サブ領域の各々には、一方向に伸びた形状を各々が有し、幅方向に配列した複数の第1凹部又は第1凸部が設けられ、前記複数の第1サブ領域の1以上と、前記複数の第1サブ領域の他の1以上とは、前記複数の第1凹部又は第1凸部の長さ方向が異なる導電基板と、
前記複数の第1凹部の側壁及び底面又は前記複数の第1凸部の側壁及び上面を覆った導電層と、
前記導電基板と前記導電層との間に介在した誘電体層と
を備えたコンデンサ。
[2]
前記複数の第1サブ領域の1以上には、前記複数の第1凹部として複数のトレンチが設けられた項1に記載のコンデンサ。
[3]
前記複数の第1サブ領域の1以上には、前記複数の第1凸部として複数の壁部が設けられた項1又は2に記載のコンデンサ。
[4]
前記複数の第1サブ領域の1以上には、前記複数の第1凹部として複数のトレンチが設けられ、前記複数のトレンチが設けられた1以上の前記第1サブ領域の各々において、前記複数のトレンチは、長さ方向に配列した2以上のトレンチから各々がなり、幅方向に配列した複数の列を形成しているか、又は、前記複数の第1サブ領域の1以上には、前記複数の第1凸部として複数の壁部が設けられ、前記複数の壁部が設けられた1以上の前記第1サブ領域の各々において、前記複数の壁部は、幅方向に隣り合ったもの同士が繋がっている項1に記載のコンデンサ。
[5]
前記第2主面は複数の第2サブ領域を含み、前記複数の第2サブ領域の各々には、一方向に伸びた形状を各々が有し、幅方向に配列した複数の第2凹部又は第2凸部が設けられ、前記複数の第2サブ領域の1以上と、前記複数の第2サブ領域の他の1以上とは、前記複数の第2凹部又は第2凸部の長さ方向が異なり、前記導電層は、前記複数の第2凹部の側壁及び底面又は前記複数の第2凸部の側壁及び上面を更に覆っている項1乃至4の何れか1項に記載のコンデンサ。
Claims (5)
- 第1主面と第2主面とを有し、前記第1主面は複数の第1サブ領域を含み、前記複数の第1サブ領域の各々には、一方向に伸びた形状を各々が有し、幅方向に配列した複数の第1凹部又は第1凸部が設けられ、前記複数の第1サブ領域の1以上と、前記複数の第1サブ領域の他の1以上とは、前記複数の第1凹部又は第1凸部の長さ方向が異なる導電基板と、
前記複数の第1凹部の側壁及び底面又は前記複数の第1凸部の側壁及び上面を覆った導電層と、
前記導電基板と前記導電層との間に介在した誘電体層と
を備え、
前記複数の第1サブ領域のうち、前記複数の第1凹部又は第1凸部の長さ方向が異なり且つ互いに隣り合った2つは、それらの境界に対して前記複数の第1凹部又は第1凸部の長さ方向が傾いており、一方に設けられた前記第1凹部又は第1凸部の一端と、他方に設けられた前記第1凹部又は第1凸部の一端とが繋がっているコンデンサ。 - 前記複数の第1サブ領域の1以上には、前記複数の第1凹部として複数のトレンチが設けられた請求項1に記載のコンデンサ。
- 前記複数の第1サブ領域の1以上には、前記複数の第1凸部として複数の壁部が設けられた請求項1又は2に記載のコンデンサ。
- 前記複数の第1サブ領域の1以上には、前記複数の第1凹部として複数のトレンチが設けられ、前記複数のトレンチが設けられた1以上の前記第1サブ領域の各々において、前記複数のトレンチは、長さ方向に配列した2以上のトレンチから各々がなり、幅方向に配列した複数の列を形成しているか、又は、前記複数の第1サブ領域の1以上には、前記複数の第1凸部として複数の壁部が設けられ、前記複数の壁部が設けられた1以上の前記第1サブ領域の各々において、前記複数の壁部は、幅方向に隣り合ったもの同士が繋がっている請求項1に記載のコンデンサ。
- 前記第2主面は複数の第2サブ領域を含み、前記複数の第2サブ領域の各々には、一方向に伸びた形状を各々が有し、幅方向に配列した複数の第2凹部又は第2凸部が設けられ、前記複数の第2サブ領域の1以上と、前記複数の第2サブ領域の他の1以上とは、前記複数の第2凹部又は第2凸部の長さ方向が異なり、前記導電層は、前記複数の第2凹部の側壁及び底面又は前記複数の第2凸部の側壁及び上面を更に覆っている請求項1乃至4の何れか1項に記載のコンデンサ。
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