JPWO2017077915A1 - マスクブランク、位相シフトマスクの製造方法、及び半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
透光性基板上に、位相シフト膜、遮光膜及びハードマスク膜がこの順に積層された構造を備えるマスクブランクであって、
前記位相シフト膜は、ケイ素を含有する材料からなり、
前記ハードマスク膜は、ケイ素及びタンタルから選ばれる1以上の元素を含有する材料からなり、
前記遮光膜は、前記ハードマスク膜側の表面及びその近傍の領域に酸素含有量が増加した組成傾斜部を有する単層膜であり、
前記遮光膜は、クロム、酸素及び炭素を含有する材料からなり、
前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分は、クロム含有量が50原子%以上であり、
前記遮光膜は、X線光電子分光法で分析して得られるN1sのナロースペクトルの最大ピークが検出下限値以下であり、
前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分は、X線光電子分光法で分析して得られるCr2pのナロースペクトルが574eV以下の結合エネルギーで最大ピークを有する
ことを特徴とするマスクブランク。
前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分における炭素の含有量[原子%]をクロム、炭素及び酸素の合計含有量[原子%]で除した比率は、0.1以上であることを特徴とする構成1記載のマスクブランク。
(構成3)
前記遮光膜の組成傾斜部は、X線光電子分光法で分析して得られるCr2pのナロースペクトルが576eV以上の結合エネルギーで最大ピークを有することを特徴とする構成1または2記載のマスクブランク。
前記遮光膜は、X線光電子分光法で分析して得られるSi2pのナロースペクトルの最大ピークが検出下限値以下であることを特徴とする構成1から3のいずれかに記載のマスクブランク。
(構成5)
前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分は、クロム含有量が80原子%以下であることを特徴とする構成1から4のいずれかに記載のマスクブランク。
前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分は、炭素含有量が10原子%以上20原子%以下であることを特徴とする構成1から5のいずれかに記載のマスクブランク。
(構成7)
前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分は、酸素含有量が10原子%以上35原子%以下であることを特徴とする構成1から6のいずれかに記載のマスクブランク。
前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分は、厚さ方向における各構成元素の含有量の差がいずれも10原子%未満であることを特徴とする構成1から7のいずれかに記載のマスクブランク。
(構成9)
前記遮光膜は、前記位相シフト膜との積層構造におけるArFエキシマレーザーの露光光に対する光学濃度が2.0より大きいことを特徴とする構成1から8のいずれかに記載のマスクブランク。
前記遮光膜は、厚さが60nm以下であることを特徴とする構成1から9のいずれかに記載のマスクブランク。
構成1から10のいずれかに記載のマスクブランクを用いる位相シフトマスクの製造方法であって、
前記ハードマスク膜上に形成された位相シフトパターンを有するレジスト膜をマスクとし、フッ素系ガスを用いたドライエッチングにより、前記ハードマスク膜に位相シフトパターンを形成する工程と、
前記位相シフトパターンが形成されたハードマスク膜をマスクとし、塩素系ガスと酸素ガスとの混合ガスを用いたドライエッチングにより、遮光膜に位相シフトパターンを形成する工程と、
前記位相シフトパターンが形成された前記遮光膜をマスクとし、フッ素系ガスを用いたドライエッチングにより、位相シフト膜に位相シフトパターンを形成する工程と、
前記遮光膜上に形成された遮光パターンを有するレジスト膜をマスクとし、塩素系ガスと酸素ガスとの混合ガスを用いたドライエッチングにより、前記遮光膜に遮光パターンを形成する工程とを有することを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。
構成11記載の位相シフトマスクを用い、半導体基板上のレジスト膜に転写パターンを露光転写する工程を備えることを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
図1に、マスクブランクの実施形態の概略構成を示す。図1に示すマスクブランク100は、透光性基板1における一方の主表面上に、位相シフト膜2、遮光膜3、及び、ハードマスク膜4がこの順に積層された構成である。また、マスクブランク100は、ハードマスク膜4上に、必要に応じてレジスト膜を積層させた構成であってもよい。以下、マスクブランク100の主要構成部の詳細を説明する。
透光性基板1は、リソグラフィーにおける露光工程で用いられる露光光に対して透過性が良好な材料からなる。このような材料としては、合成石英ガラス、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、低熱膨張ガラス(SiO2−TiO2ガラス等)、その他各種のガラス基板を用いることができる。特に、合成石英ガラスを用いた基板は、ArFエキシマレーザー光(波長:約193nm)に対する透過性が高いので、マスクブランク100の透光性基板1として好適に用いることができる。
位相シフト膜2は、露光転写工程で用いられる露光光に対して所定の透過率を有し、かつ位相シフト膜2を透過した露光光と、位相シフト膜2の厚さと同じ距離だけ大気中を透過した露光光とが、所定の位相差となるような光学特性を有する。
このうち、半金属元素は、ケイ素に加え、いずれの半金属元素であってもよい。非金属元素は、窒素に加え、いずれの非金属元素であってもよく、例えば酸素(O)、炭素(C)、フッ素(F)及び水素(H)から選ばれる一以上の元素を含有させると好ましい。金属元素は、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、ニオブ(Nb)、バナジウム(V)、コバルト(Co)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、ルテニウム(Ru)、スズ(Sn)、ホウ素(B)、ゲルマニウム(Ge)が例示される。
遮光膜3は、このマスクブランク100に形成される遮光帯パターンを含む遮光パターンを構成する膜であり、リソグラフィーにおける露光工程で用いられる露光光に対して遮光性を有する膜である。遮光膜3は、位相シフト膜2との積層構造で、例えば波長193nmのArFエキシマレーザー光に対する光学濃度(OD)が2.0より大きいことが求められ、2.8以上であることが好ましく、3.0以上であることがより好ましい。また、リソグラフィーにおける露光工程において、露光光の反射による露光転写の不具合を防止するため、両側主表面においての露光光の表面反射率が低く抑えられている。特に、露光装置の縮小光学系からの露光光の反射光が当たる、遮光膜3における表面側(透光性基板1から最も遠い側の表面)の反射率は、例えば40%以下(好ましくは、30%以下)であることが望まれる。これは、遮光膜3の表面と縮小光学系のレンズの間での多重反射で生じる迷光を抑制するためである。
ハードマスク膜4は、遮光膜3の表面に接して設けられている。ハードマスク膜4は、遮光膜3をエッチングする際に用いられるエッチングガスに対してエッチング耐性を有する材料で形成された膜である。このハードマスク膜4は、遮光膜3にパターンを形成するためのドライエッチングが終わるまでの間、エッチングマスクとして機能することができるだけの膜の厚さがあれば十分であり、基本的に光学特性の制限を受けない。このため、ハードマスク膜4の厚さは遮光膜3の厚さに比べて大幅に薄くすることができる。
マスクブランク100において、ハードマスク膜4の表面に接して、有機系材料のレジスト膜が100nm以下の膜厚で形成されていることが好ましい。DRAM hp32nm世代に対応する微細パターンの場合、遮光膜3に形成すべき遮光パターンに、線幅が40nmのSRAF(Sub-Resolution Assist Feature)が設けられることがある。しかし、この場合でも上述のようにハードマスク膜4を設けたことによってレジスト膜の膜厚を抑えることができ、これによってこのレジスト膜で構成されたレジストパターンの断面アスペクト比を1:2.5と低くすることができる。したがって、レジスト膜の現像時、リンス時等にレジストパターンが倒壊や脱離することを抑制することができる。なお、レジスト膜は、膜厚が80nm以下であることがより好ましい。レジスト膜は、電子線描画露光用のレジストであると好ましく、さらにそのレジストが化学増幅型であるとより好ましい。
以上の構成のマスクブランク100は、次のような手順で製造する。先ず、透光性基板1を用意する。この透光性基板1は、端面及び主表面が所定の表面粗さ(例えば、一辺が1μmの四角形の内側領域内において自乗平均平方根粗さRqが0.2nm以下)に研磨され、その後、所定の洗浄処理及び乾燥処理を施されたものである。
次に、本実施の形態における位相シフトマスクの製造方法を、図1に示す構成のマスクブランク100を用いた、ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法を例に説明する。
次に、上述の製造方法により作製された位相シフトマスクを用いる半導体デバイスの製造方法について説明する。半導体デバイスの製造方法は、上述の製造方法によって製造されたハーフトーン型の位相シフトマスク200を用いて、基板上のレジスト膜に対して位相シフトマスク200の転写パターン(位相シフトパターン2a)を露光転写することを特徴としている。このような半導体デバイスの製造方法は、次のように行う。
[マスクブランクの製造]
図1を参照し、主表面の寸法が約152mm×約152mmで、厚さが約6.35mmの合成石英ガラスからなる透光性基板1を準備した。この透光性基板1は、端面及び主表面が所定の表面粗さ(Rqで0.2nm以下)に研磨され、その後、所定の洗浄処理及び乾燥処理が施されている。
次に、この実施例1のマスクブランク100を用い、以下の手順で実施例1のハーフトーン型の位相シフトマスク200を製造した。最初に、ハードマスク膜4の表面にHMDS処理を施した。続いて、スピン塗布法によって、ハードマスク膜4の表面に接して、電子線描画用化学増幅型レジストからなるレジスト膜を膜厚80nmで形成した。次に、このレジスト膜に対して、位相シフト膜2に形成すべき位相シフトパターンである第1のパターンを電子線描画し、所定の現像処理及び洗浄処理を行い、第1のパターンを有するレジストパターン5aを形成した(図2(a)参照)。この第1のパターンは、線幅100nmのライン・アンド・スペースパターンを含むものとした。
以上の手順を得て作製された位相シフトマスク200に対し、AIMS193(Carl Zeiss社製)を用いて、波長193nmの露光光で半導体デバイス上のレジスト膜に露光転写したときにおける転写像のシミュレーションを行った。このシミュレーションの露光転写像を検証したところ、設計仕様を十分に満たしていた。この結果から、この実施例1の位相シフトマスク200を露光装置のマスクステージにセットし、半導体デバイス上のレジスト膜に露光転写したとしても、最終的に半導体デバイス上に形成される回路パターンは高精度で形成できるといえる。
[マスクブランクの製造]
実施例2のマスクブランク100は、遮光膜3以外については、実施例1と同様の手順で製造した。この実施例2の遮光膜3は、実施例1の遮光膜3とは成膜条件を変更している。具体的には、枚葉式DCスパッタリング装置内に位相シフト膜2が形成された透光性基板1を設置し、クロム(Cr)ターゲットを用いて、アルゴン(Ar)、二酸化炭素(CO2)及びヘリウム(He)の混合ガス雰囲気での反応性スパッタリング(DCスパッタリング)を行った。これにより、位相シフト膜2に接して、クロム、酸素及び炭素からなる遮光膜(CrOC膜)3を43nmの膜厚で形成した。
次に、この実施例2のマスクブランク100を用い、実施例1と同様の手順で、実施例2の位相シフトマスク200を製造した。実施例1の場合と同様に、ハードマスクパターン4aが形成された後(図2(b)参照)と、位相シフトパターン2aが形成された後(図2(d)参照)のそれぞれに対し、ライン・アンド・スペースパターンが形成されている領域で、測長SEM(CD−SEM:Critical Dimension-Scanning Electron Microscope)でスペース幅の測長を行った。そして、同じライン・アンド・スペースパターンが形成されている領域内の複数個所で、ハードマスクパターン4aのスペース幅と位相シフトパターン2aのスペース幅との間の変化量であるエッチングバイアスをそれぞれ算出し、さらにエッチングバイアスの平均値を算出した。その結果、エッチングバイアスの平均値は8nm程度であり、従来よりも十分に小さい値であった。このことは、実施例2のマスクブランク100は、位相シフト膜2に形成すべき微細な転写パターンを有するハードマスクパターン4aをエッチングマスクとする高バイアスエッチングで遮光膜3をパターニングしても、高精度にその微細な転写パターンを遮光膜3に形成することができることを示している。
実施例2の位相シフトマスク200に対し、実施例1と同様にAIMS193(Carl Zeiss社製)を用いて、波長193nmの露光光で半導体デバイス上のレジスト膜に露光転写したときにおける転写像のシミュレーションを行った。このシミュレーションの露光転写像を検証したところ、設計仕様を十分に満たしていた。この結果から、この実施例2の位相シフトマスク200を露光装置のマスクステージにセットし、半導体デバイス上のレジスト膜に露光転写したとしても、最終的に半導体デバイス上に形成される回路パターンは高精度で形成できるといえる。
[マスクブランクの製造]
実施例3のマスクブランク100は、遮光膜3以外については、実施例1と同様の手順で製造した。この実施例3の遮光膜3は、実施例1の遮光膜3とは膜厚を18nmに変更したこと以外は同じものを適用している。よって、この実施例3の遮光膜3に対して、X線光電子分光法(XPS,RBS補正有り)で分析を行った結果は、実施例1の遮光膜3と同じである。また、Cr2p、O1s、N1s、C1s、Si2pの各ナロースペクトルの深さ方向化学結合状態分析の結果も、実施例1の遮光膜3と同じである。
次に、この実施例3のマスクブランク100を用い、実施例1と同様の手順で、実施例3の位相シフトマスク200を製造した。ただし、実施例3の位相シフトマスク200の製造では、ハードマスクパターン4aをエッチングマスクとする高バイアスエッチングで遮光膜3に第1のパターンを形成する際、オーバーエッチングタイムをジャストエッチングタイムの100%の時間とした。実施例3の遮光膜3の膜厚が実施例1の遮光膜3に比べて約1/2の薄さになったことから、実施例3におけるジャストエッチングタイムは実施例1におけるジャストエッチングタイムの約1/2と大幅に短縮される。これに対し、実施例3におけるオーバーエッチングタイムは、実施例1のようにジャストエッチングタイムの約1/2(すなわち実施例1におけるジャストエッチングタイムの約1/4)まで短縮してしまうと、遮光膜3のパターン側壁形状の垂直性を高められない。
実施例3の位相シフトマスク200に対し、実施例1と同様にAIMS193(Carl Zeiss社製)を用いて、波長193nmの露光光で半導体デバイス上のレジスト膜に露光転写したときにおける転写像のシミュレーションを行った。このシミュレーションの露光転写像を検証したところ、設計仕様を十分に満たしていた。この結果から、この実施例3の位相シフトマスク200を露光装置のマスクステージにセットし、半導体デバイス上のレジスト膜に露光転写したとしても、最終的に半導体デバイス上に形成される回路パターンは高精度で形成できるといえる。
[マスクブランクの製造]
実施例4のマスクブランク100は、遮光膜3以外については、実施例2と同様の手順で製造した。この実施例4の遮光膜3は、実施例2の遮光膜3とは膜厚を23nmに変更したこと以外は同じものを適用している。よって、この実施例4の遮光膜3に対して、X線光電子分光法(XPS,RBS補正有り)で分析を行った結果は、実施例2の遮光膜3と同じである。また、Cr2p、O1s、N1s、C1s、Si2pの各ナロースペクトルの深さ方向化学結合状態分析の結果も、実施例2の遮光膜3と同じである。
次に、この実施例4のマスクブランク100を用い、実施例2と同様の手順で、実施例4の位相シフトマスク200を製造した。ただし、実施例4の位相シフトマスク200の製造では、ハードマスクパターン4aをエッチングマスクとする高バイアスエッチングで遮光膜3に第1のパターンを形成する際、オーバーエッチングタイムをジャストエッチングタイムの100%の時間とした。実施例4の遮光膜3の膜厚が実施例2の遮光膜3に比べて約1/2の薄さになったことから、実施例4におけるジャストエッチングタイムは実施例2におけるジャストエッチングタイムの約1/2と大幅に短縮される。これに対し、オーバーエッチングタイムは、約1/2まで短縮してしまうと、遮光膜3のパターン側壁形状の垂直性を高められない。
実施例4の位相シフトマスク200に対し、実施例1と同様にAIMS193(Carl Zeiss社製)を用いて、波長193nmの露光光で半導体デバイス上のレジスト膜に露光転写したときにおける転写像のシミュレーションを行った。このシミュレーションの露光転写像を検証したところ、設計仕様を十分に満たしていた。この結果から、この実施例4の位相シフトマスク200を露光装置のマスクステージにセットし、半導体デバイス上のレジスト膜に露光転写したとしても、最終的に半導体デバイス上に形成される回路パターンは高精度で形成できるといえる。
[マスクブランクの製造]
比較例1のマスクブランクは、遮光膜3以外については、実施例1と同様の手順で製造した。この比較例1の遮光膜は、実施例1の遮光膜3とは成膜条件を変更している。具体的には、枚葉式DCスパッタリング装置内に位相シフト膜2が形成された透光性基板1を設置し、クロム(Cr)ターゲットを用いて、アルゴン(Ar)、二酸化炭素(CO2)、窒素(N2)及びヘリウム(He)の混合ガス雰囲気での反応性スパッタリング(DCスパッタリング)を行った。これにより、位相シフト膜2に接して、クロム、酸素、炭素及び窒素からなる遮光膜(CrOCN膜)を43nmの膜厚で形成した。
次に、この比較例1のマスクブランクを用い、実施例1と同様の手順で、比較例1の位相シフトマスクを製造した。実施例1の場合と同様に、ハードマスクパターンが形成された後(図2(b)参照)と、位相シフトパターンが形成された後(図2(d)参照)のそれぞれに対し、ライン・アンド・スペースパターンが形成されている領域で、測長SEM(CD−SEM:Critical Dimension-Scanning Electron Microscope)でスペース幅の測長を行った。そして、同じライン・アンド・スペースパターンが形成されている領域内の複数個所で、ハードマスクパターンのスペース幅と位相シフトパターンのスペース幅との間の変化量であるエッチングバイアスをそれぞれ算出し、さらにエッチングバイアスの平均値を算出した。その結果、エッチングバイアスの平均値は15nmであり、比較的大きい値であった。このことは、比較例1のマスクブランクは、位相シフト膜に形成すべき微細な転写パターンを有するハードマスクパターンをエッチングマスクとする高バイアスエッチングで遮光膜をパターニングした場合、高精度にその微細な転写パターンを遮光膜に形成することが困難であることを意味している。
比較例1の位相シフトマスクに対し、実施例1と同様にAIMS193(Carl Zeiss社製)を用いて、波長193nmの露光光で半導体デバイス上のレジスト膜に露光転写したときにおける転写像のシミュレーションを行った。このシミュレーションの露光転写像を検証したところ、転写不良が確認された。これは、遮光パターンのパターン側壁のサイドエッチング量が大きいことに起因して形状の垂直性が悪く、さらに面内のCD均一性も低いことが、転写不良の発生要因と推察される。この結果から、この比較例1の位相シフトマスクを露光装置のマスクステージにセットし、半導体デバイス上のレジスト膜に露光転写した場合、最終的に半導体デバイス上に形成される回路パターンに不良箇所が発生してしまうといえる。
[マスクブランクの製造]
比較例2のマスクブランクは、遮光膜3以外については、実施例1と同様の手順で製造した。この比較例2の遮光膜は、実施例1の遮光膜3とは成膜条件を変更している。具体的には、枚葉式DCスパッタリング装置内に位相シフト膜2が形成された透光性基板1を設置し、クロム(Cr)ターゲットを用いて、アルゴン(Ar)、一酸化窒素(NO)及びヘリウム(He)の混合ガス雰囲気での反応性スパッタリング(DCスパッタリング)を行った。これにより、位相シフト膜2に接して、クロム、酸素及び窒素からなる遮光膜(CrON膜)を43nmの膜厚で形成した。
C1sナロースペクトルの結果から、この比較例2の遮光膜は、最表面を除き、最大ピークが検出下限値以下であることがわかる。また、最表面は有機物等のコンタミネーションの影響を大きく受けるため、最表面に関しては炭素に関する測定結果は参考にし難い。この結果は、比較例2の遮光膜ではCr−C結合を含め、炭素と結合した原子の存在比率が検出されなかったことを意味している。
次に、この比較例2のマスクブランクを用い、実施例1と同様の手順で、比較例2の位相シフトマスクを製造した。実施例2の場合と同様に、ハードマスクパターンが形成された後(図2(b)参照)と、位相シフトパターンが形成された後(図2(d)参照)のそれぞれに対し、ライン・アンド・スペースパターンが形成されている領域で、測長SEM(CD−SEM:Critical Dimension-Scanning Electron Microscope)でスペース幅の測長を行った。そして、同じライン・アンド・スペースパターンが形成されている領域内の複数個所で、ハードマスクパターンのスペース幅と位相シフトパターンのスペース幅との間の変化量であるエッチングバイアスをそれぞれ算出し、さらにエッチングバイアスの平均値を算出した。その結果、エッチングバイアスの平均値は25nmであり、大分大きい値であった。このことは、比較例2のマスクブランクは、位相シフト膜に形成すべき微細な転写パターンを有するハードマスクパターンをエッチングマスクとする高バイアスエッチングで遮光膜をパターニングした場合、高精度にその微細な転写パターンを遮光膜に形成することが困難であることを意味している。
比較例2の位相シフトマスクに対し、実施例1と同様にAIMS193(Carl Zeiss社製)を用いて、波長193nmの露光光で半導体デバイス上のレジスト膜に露光転写したときにおける転写像のシミュレーションを行った。このシミュレーションの露光転写像を検証したところ、転写不良が確認された。これは、遮光パターンのパターン側壁のサイドエッチング量が大きいことに起因して形状の垂直性が悪く、さらに面内のCD均一性も低いことが、転写不良の発生要因と推察される。この結果から、この比較例2の位相シフトマスクを露光装置のマスクステージにセットし、半導体デバイス上のレジスト膜に露光転写した場合、最終的に半導体デバイス上に形成される回路パターンに不良箇所が発生してしまうといえる。
2 位相シフト膜
2a 位相シフトパターン
3 遮光膜
3a,3b 遮光パターン
4 ハードマスク膜
4a ハードマスクパターン
5a レジストパターン
6b レジストパターン
100 マスクブランク
200 位相シフトマスク
Claims (12)
- 透光性基板上に、位相シフト膜、遮光膜及びハードマスク膜がこの順に積層された構造を備えるマスクブランクであって、
前記位相シフト膜は、ケイ素を含有する材料からなり、
前記ハードマスク膜は、ケイ素及びタンタルから選ばれる1以上の元素を含有する材料からなり、
前記遮光膜は、前記ハードマスク膜側の表面及びその近傍の領域に酸素含有量が増加した組成傾斜部を有する単層膜であり、
前記遮光膜は、クロム、酸素及び炭素を含有する材料からなり、
前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分は、クロム含有量が50原子%以上であり、
前記遮光膜は、X線光電子分光法で分析して得られるN1sのナロースペクトルの最大ピークが検出下限値以下であり、
前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分は、X線光電子分光法で分析して得られるCr2pのナロースペクトルが574eV以下の結合エネルギーで最大ピークを有する
ことを特徴とするマスクブランク。 - 前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分における炭素の含有量[原子%]をクロム、炭素及び酸素の合計含有量[原子%]で除した比率は、0.1以上であることを特徴とする請求項1記載のマスクブランク。
- 前記遮光膜の組成傾斜部は、X線光電子分光法で分析して得られるCr2pのナロースペクトルが576eV以上の結合エネルギーで最大ピークを有することを特徴とする請求項1または2記載のマスクブランク。
- 前記遮光膜は、X線光電子分光法で分析して得られるSi2pのナロースペクトルの最大ピークが検出下限値以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のマスクブランク。
- 前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分は、クロム含有量が80原子%以下であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のマスクブランク。
- 前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分は、炭素含有量が10原子%以上20原子%以下であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のマスクブランク。
- 前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分は、酸素含有量が10原子%以上35原子%以下であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のマスクブランク。
- 前記遮光膜の組成傾斜部を除いた部分は、厚さ方向における各構成元素の含有量の差がいずれも10原子%未満であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のマスクブランク。
- 前記遮光膜は、前記位相シフト膜との積層構造におけるArFエキシマレーザーの露光光に対する光学濃度が2.0より大きいことを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のマスクブランク。
- 前記遮光膜は、厚さが60nm以下であることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載のマスクブランク。
- 請求項1から10のいずれかに記載のマスクブランクを用いる位相シフトマスクの製造方法であって、
前記ハードマスク膜上に形成された位相シフトパターンを有するレジスト膜をマスクとし、フッ素系ガスを用いたドライエッチングにより、前記ハードマスク膜に位相シフトパターンを形成する工程と、
前記位相シフトパターンが形成されたハードマスク膜をマスクとし、塩素系ガスと酸素ガスとの混合ガスを用いたドライエッチングにより、遮光膜に位相シフトパターンを形成する工程と、
前記位相シフトパターンが形成された前記遮光膜をマスクとし、フッ素系ガスを用いたドライエッチングにより、位相シフト膜に位相シフトパターンを形成する工程と、
前記遮光膜上に形成された遮光パターンを有するレジスト膜をマスクとし、塩素系ガスと酸素ガスとの混合ガスを用いたドライエッチングにより、前記遮光膜に遮光パターンを形成する工程とを有することを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。 - 請求項11記載の位相シフトマスクを用い、半導体基板上のレジスト膜に転写パターンを露光転写する工程を備えることを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
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