JP2005284216A - 成膜用ターゲット及び位相シフトマスクブランクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Mo及びZrの2元素を少なくとも含有し、MoとZrの含有比率(Zr/Mo)がモル比として0.05〜5であることを特徴とする成膜用ターゲット。
【効果】 本発明によれば、露光波長の短波長化に対応可能であり、且つ、薬品耐性に優れ、パターニング精度の優れたハーフトーン位相シフトマスク及びそのブランクを容易に得ることが可能となる。
【選択図】 なし
Description
請求項1:
透明基板上に露光光に対して透明な領域と位相及び透過率を制御した単層もしくは多層の半透明膜領域を設け、且つ前記半透明膜層の少なくとも一層の構成元素としてSi元素、Mo元素及びZr元素を同時に含有しているハーフトーン位相シフトマスクブランクを製造するための成膜用ターゲットであり、
Mo及びZrの2元素を少なくとも含有し、MoとZrの含有比率(Zr/Mo)がモル比として0.05〜5であることを特徴とする成膜用ターゲット。
請求項2:
透明基板上に露光光に対して透明な領域と位相及び透過率を制御した単層もしくは多層の半透明膜領域を設け、且つ前記半透明膜層の少なくとも一層の構成元素としてSi元素、Mo元素及びZr元素を同時に含有しているハーフトーン位相シフトマスクブランクを製造するための成膜用ターゲットであり、
Si,Mo及びZrの3元素を少なくとも含有し、MoとZrの含有比率(Zr/Mo)がモル比として0.05〜5であることを特徴とする成膜用ターゲット。
請求項3:
Siの含有量が80〜97mol%であることを特徴とする請求項2記載の成膜用ターゲット。
請求項4:
透明基板上に露光光に対して透明な領域と位相及び透過率を制御した単層もしくは多層の半透明膜領域を設け、且つ前記半透明膜層の少なくとも一層の構成元素としてSi元素、Mo元素及びZr元素を同時に含有しているハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法であり、
請求項1又は2記載の成膜用ターゲットとSiを主成分とする成膜用ターゲットを同一チャンバー内に設けた成膜装置で請求項1又は2記載の成膜用ターゲットとSiを主成分とする成膜用ターゲットを同時にスパッタ放電することで前記半透明膜層の少なくとも一層を成膜することを特徴とするハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法。
請求項5:
透明基板上に露光光に対して透明な領域と位相及び透過率を制御した単層もしくは多層の半透明膜領域を設け、且つ前記半透明膜層の少なくとも一層の構成元素としてSi元素、Mo元素及びZr元素を同時に含有しているハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法であり、
Siの含有量が80〜99mol%であり、Zrを含有する成膜用ターゲットとMoを主成分とする成膜用ターゲットを同一チャンバー内に設けた成膜装置で上記両成膜用ターゲットを同時にスパッタ放電することで前記半透明膜層の少なくとも一層を成膜することを特徴とするハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法。
請求項6:
透明基板上に露光光に対して透明な領域と位相及び透過率を制御した単層もしくは多層の半透明膜領域を設け、且つ前記半透明膜層の少なくとも一層の構成元素としてSi元素、Mo元素及びZr元素を同時に含有しているハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法であり、
Siの含有量が80〜98mol%であり、Moを含有する成膜用ターゲットとZrを主成分とする成膜用ターゲットを同一チャンバー内に設けた成膜装置で上記両成膜用ターゲットを同時にスパッタ放電することで前記半透明膜層の少なくとも一層を成膜することを特徴とするハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法。
この場合も放電制御性に優れたスパッタ装置を使用することが望ましい。
また、上記光吸収機能膜2Mの厚さは1.25〜20nmが好ましい。
図10の構成のハーフトーン位相シフト膜を作製した。
なお、ハーフトーン位相シフト膜の成膜には、図12に示すような2つのターゲットを設けた直流スパッタ装置を用いた。スパッタリングターゲットとしてMo5Zr焼結体ターゲットとSi単結晶ターゲットを使用した。
その成膜工程は、以下の通りである。
スパッタガスとして、Ar=5cm3/min、N2=70cm3/minとO2ガスの混合ガスを導入した。上記ガス導入時のスパッタチャンバー内のガス圧が0.10Paになるように設定した。Mo5Zrターゲットに50W、Siターゲットに950Wの放電電力を印加して、基板を30rpmで回転させながらスパッタ成膜を行いハーフトーン位相シフト膜を設けた。
なお、ガス流量(cm3/min)の値は、全て、0℃、1013hPa(1気圧)における値である。
上記の条件で成膜したハーフトーン位相シフト膜の位相差を測定し、その値を基に、157nm(F2波長)における位相差が180°、透過率が6%になるように膜厚及びO2流量を調整した。
・薬品耐性
アンモニア水:過酸化水素水:水=1:1:8の薬液にて23℃、1時間処理したときの位相差の変化量を評価した。その結果、1.2degの変化が認められた。
・ドライエッチング特性
CF4によるドライエッチングを行い、そのジャストエッチング時間を求めた。
その結果、ハーフトーン位相シフト膜のジャストエッチング時間は、372秒であった。
各種ターゲットを使用して実施例1と同様にハーフトーン位相シフト膜を成膜した。実施例1と異なる成膜条件は、ターゲット組成、成膜パワー、O2流量となる。
得られた膜の薬品耐性及びドライエッチング特性を評価した。
成膜条件及び評価結果を表1にまとめた。
各種ターゲットを使用して実施例1と同様にハーフトーン位相シフト膜を成膜した。実施例1と異なる成膜条件は、ターゲット組成、成膜パワー、O2流量となる。
得られた膜の薬品耐性及びドライエッチング特性を評価した。
成膜条件及び評価結果を表1にまとめた。
実施例1〜7では、薬品耐性及びドライエッチング速度を両立したハーフトーン位相シフト膜が得られることが確認できた。
一方、比較例1〜3では、薬品耐性に優れる膜はドライエッチング速度に劣り、ドライエッチング速度が速いものは、薬品耐性に劣るといった結果が得られた。
1a 基板露出部
2 位相シフト膜
2a 位相シフター部
2M 光吸収機能膜
2S 位相シフト機能膜
3 遮光膜
4,4’ 反射防止膜
5,50 位相シフトマスクブランク
6,60 位相シフトマスク
7 レジスト膜
20 スパッタ装置
21 チャンバー
22a 成膜用ターゲット
22b 成膜用ターゲット
23 スパッタガス導入口
Claims (6)
- 透明基板上に露光光に対して透明な領域と位相及び透過率を制御した単層もしくは多層の半透明膜領域を設け、且つ前記半透明膜層の少なくとも一層の構成元素としてSi元素、Mo元素及びZr元素を同時に含有しているハーフトーン位相シフトマスクブランクを製造するための成膜用ターゲットであり、
Mo及びZrの2元素を少なくとも含有し、MoとZrの含有比率(Zr/Mo)がモル比として0.05〜5であることを特徴とする成膜用ターゲット。 - 透明基板上に露光光に対して透明な領域と位相及び透過率を制御した単層もしくは多層の半透明膜領域を設け、且つ前記半透明膜層の少なくとも一層の構成元素としてSi元素、Mo元素及びZr元素を同時に含有しているハーフトーン位相シフトマスクブランクを製造するための成膜用ターゲットであり、
Si,Mo及びZrの3元素を少なくとも含有し、MoとZrの含有比率(Zr/Mo)がモル比として0.05〜5であることを特徴とする成膜用ターゲット。 - Siの含有量が80〜97mol%であることを特徴とする請求項2記載の成膜用ターゲット。
- 透明基板上に露光光に対して透明な領域と位相及び透過率を制御した単層もしくは多層の半透明膜領域を設け、且つ前記半透明膜層の少なくとも一層の構成元素としてSi元素、Mo元素及びZr元素を同時に含有しているハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法であり、
請求項1又は2記載の成膜用ターゲットとSiを主成分とする成膜用ターゲットを同一チャンバー内に設けた成膜装置で請求項1又は2記載の成膜用ターゲットとSiを主成分とする成膜用ターゲットを同時にスパッタ放電することで前記半透明膜層の少なくとも一層を成膜することを特徴とするハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法。 - 透明基板上に露光光に対して透明な領域と位相及び透過率を制御した単層もしくは多層の半透明膜領域を設け、且つ前記半透明膜層の少なくとも一層の構成元素としてSi元素、Mo元素及びZr元素を同時に含有しているハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法であり、
Siの含有量が80〜99mol%であり、Zrを含有する成膜用ターゲットとMoを主成分とする成膜用ターゲットを同一チャンバー内に設けた成膜装置で上記両成膜用ターゲットを同時にスパッタ放電することで前記半透明膜層の少なくとも一層を成膜することを特徴とするハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法。 - 透明基板上に露光光に対して透明な領域と位相及び透過率を制御した単層もしくは多層の半透明膜領域を設け、且つ前記半透明膜層の少なくとも一層の構成元素としてSi元素、Mo元素及びZr元素を同時に含有しているハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法であり、
Siの含有量が80〜98mol%であり、Moを含有する成膜用ターゲットとZrを主成分とする成膜用ターゲットを同一チャンバー内に設けた成膜装置で上記両成膜用ターゲットを同時にスパッタ放電することで前記半透明膜層の少なくとも一層を成膜することを特徴とするハーフトーン位相シフトマスクブランクの製造方法。
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