JPWO2014024951A1 - 感光性フィルム積層体、及び、フレキシブルプリント配線の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(A)アルカリ可溶性樹脂
まず、本実施の形態に係る感光性樹脂組成物におけるアルカリ可溶性樹脂について説明する。アルカリ可溶性樹脂としては、従来から感光性樹脂組成物に用いられている各種ポリマーを使用することができる。このようなポリマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ポリイミド前駆体、及び、側鎖にカルボキシル基や水酸基を有するポリイミド樹脂などのアルカリ現像液に可溶な有機高分子ポリマーが挙げられる。なお、(メタ)アクリル酸共重合体とは、アクリル酸共重合体及びメタクリル酸共重合体の双方を意味する。
1段階目のポリイミド部分を合成する工程について説明する。1段階目のポリイミド部分を合成する工程としては、特に限定されず公知の方法を適用することができる。より具体的には、以下の方法によりポリイミド部分を合成できる。まず、ジアミンを重合溶媒に溶解及び/又は分散し、これに酸二無水物粉末を添加する。そして、水と共沸する溶媒を加え、メカニカルスターラーを用い、副生する水を共沸除去しながら、0.5時間〜96時間、より好ましくは0.5時間〜30時間加熱撹拌する。この際、モノマー濃度は、0.5質量%以上95質量%以下であることが好ましく、1質量%以上90質量%以下であることがより好ましい。
次に、2段階目のポリアミド酸部分を合成する工程について説明する。2段階目のポリアミド酸部分の合成は、工程1で得られたポリイミド部分を出発原料として用い、ジアミン及び/又は酸二無水物を追添して重合させることで実施できる。2段階目のポリアミド酸部分の合成の際の重合温度としては、0℃以上250℃以下が好ましく、0℃以上100℃以下がさらに好ましく、0℃以上80℃以下が特に好ましい。
本実施の形態における感光性樹脂組成物は、不飽和二重結合を有する重合性化合物を含む。本実施の形態における不飽和二重結合を有する重合性化合物とは、ビニル基、アリル基、アクリロイル基、及び、メタクリロイル基などの重合性不飽和官能基を含有するものであり、これらの中でも共役型のビニル基、アクリロイル基、及び、メタクリロイル基を有するものが重合性の面で好ましい。また、重合性化合物における重合性不飽和官能基の数としては、重合性の観点から2個以上であることが好ましい。この場合、重合性不飽和官能基は、必ずしも同一の官能基でなくとも構わない。また、重合性化合物の分子量としては、100〜5000が好ましい。特に、分子量が60〜2500の範囲であれば、アルカリ可溶性樹脂との相溶性が良好であり、保存安定性に優れる。
本実施の形態に係る光重合開始剤は、下記一般式(1)で表される。
本実施の形態に係る感光性組成物においては、熱安定性に用いられる重合禁止剤として、ニトロソ化合物及び/又はニトロ化合物を少なくとも一種類含むことが特に好ましい。ニトロソ化合物及び/又はニトロ化合物とは、構造式中にニトロソ基及び/又はニトロ基を含有するものである。
本実施の形態における樹脂組成物においては、部品実装時のはんだリフロープロセスにおける高温炉の金属搬送系や、金属治具への張り付き防止の観点から、ブロックイソシアネートを含むことが好ましい。このブロックイソシアネートとは、分子内に2個以上のイソシアネ−ト基を有するイソシアネ−トにブロック剤を反応させることにより得られる化合物である。
本実施の形態における樹脂組成物においては、樹脂組成物の難燃性が向上する観点から、リン化合物を含むことが好ましい。リン化合物としては、ホスファゼン化合物を含むことが特に好ましい。これにより、特に樹脂組成物の難燃性が向上する。なお、ホスファゼン化合物とは、分子内にホスファゼン構造を有する化合物である。なお、リン化合物としては、1種類のリン化合物を用いてもよく、2種類以上のリン化合物を組み合わせて用いてもよい。
本実施の形態における樹脂組成物においては、その性能に悪影響を及ぼさない範囲で、その他化合物を含むことが出来る。その他化合物としては、具体的には、焼成後のフィルムの靭性や耐溶剤性、耐熱性(熱安定性)を向上させるために用いられる熱硬化性樹脂、ポリイミド前駆体などのアルカリ可溶性樹脂と反応性を有する化合物、密着性向上のために用いられる複素環化合物、及び、感光性樹脂組成物を用いて得られるフィルムの着色のために用いられる顔料や染料などの着色物質が挙げられる。
本実施の形態に係る感光性樹脂組成物は、感光性フィルムの形成に好適に用いることができる。感光性フィルムの製品形態にすることで、液状の製品形態に比べてプリント配線板生産現場での溶剤の乾燥揮発工程が不要となり作業環境が向上する。また、両面同時加工が可能となることから生産性向上に寄与する。また、配線上のカバー材の表面平滑性に優れる製品を容易に生産できるメリットがある。本実施の形態に係る感光性フィルム積層体は、基材と、この基材上に設けられた感光性樹脂組成物を含む感光性フィルムとを有する。また、本実施の形態に係る感光性フィルム積層体においては、基材と、この基材上に設けられた上記感光性樹脂組成物を含む感光性フィルムと、この感光性樹脂上に形成された防汚用や保護用のカバーフィルムとを具備する感光性フィルム積層体とすることが好ましい。
本実施の形態に係る感光性フィルムは、フレキシブルプリント配線板の製造に好適に用いることが可能である。本実施の形態に係るフレキシブルプリント配線板は、配線を有する回路基板と、この回路基板上の配線を覆うように設けられ、焼成成膜された上記感光性フィルムとを具備する。配線は例えば銅配線であるが、特に限定されない。このフレキシブルプリント配線板は、配線を有する回路基板上に感光性フィルムを圧着し、アルカリ現像した後、焼成を行うことにより得ることができる。このとき、配線を有する回路基板上の配線面に、ロール式熱真空ラミネーターを用いて上記感光性フィルムを積層したのち、焼成成膜することがフレキシブルプリント配線板を効率良く量産する手法の観点から好ましい。
実施例及び比較例において、用いた試薬は以下である。なお、以下の実施例1から実施例10及び比較例1から比較例7では、以下の試薬の略称を適宜表記している。
BPDA(三井化学社製)
APB(商品名:APB−N、三井化学社製)
一般式(5)で表されるジアミン:ポリエーテルアミン(商品名:ポリエーテルアミンD−400(以下、単に「D−400」と表記する)、BASF社製、m+n+p=6.1)
ジェファーミン(商品名:ジェファーミンD−230(以下、単に「D−230」と表記する)、ハンツマン社製、m+n+p=2.5)
メタクリル酸(和光純薬工業社製)
メタクリル酸メチル(モノマー、和光純薬工業社製)
スチレン(モノマー、和光純薬工業社製)
2,2’−アゾビスイソブチロニトリル(AIBN、和光純薬工業社製)
(B)不飽和二重結合を有する化合物
EO変性ビスフェノールAジメタクリレート(商品名:BPE−500、新中村化学工業社製)
エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート(商品名:SARTOMER SR−494(以下、単に「SR−494」と表記する)、サートマー社製)
トリメチロールプロパンPO変性トリアクリレート(商品名:アロニックスM−310(以下、単に「M−310」と表記する)、東亞合成社製)
(C)光重合開始剤
1、2−プロパンジオン−3−シクロペンチル−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(Oベンゾイルオキシム)(商品名:PBG−305、常州強力電子社製)
3−シクロペンチルプロパノン−1−(6−2−フォルミルチオフェン−9−エチルカルバゾール−3−イル)−1−オキシムアセテート(商品名:PBG−314、常州強力電子社製)
3−シクロペンチルプロパノン−1−(6−フォルミルフラン−9−エチルカルバゾール−3−イル)−1−オキシムアセテート(商品名:PBG−314F、常州強力合成社製)
3−シクロペンチル−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾールー3−イル]プロパノン−1−(O−アセチルオキシム)(商品名:PBG−304、常州強力電子社製)
エタノン1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)(商標名:IRGACURE OXE−02(以下、単に「OXE−02」と表記する)、チバ・ジャパン社製)
(D)重合禁止剤
N−ニトロソフェニルヒドロキシルアミンアルミニウム(商品名:Q−1301、和光純薬工業社製)
N−ニトロソフェニルヒドロキシルアミンアンモニウム塩(商品名:Q−1300、和光純薬工業社製)
p−メトキシフェノール(和光純薬工業社製)
(E)ブロックイソシアネート
ブロックイソシアネート(商品名:デュラネートSBN−70D(以下、単に「SBN−70D」と表記する)、旭化成ケミカルズ社製)
(F)リン化合物
ホスファゼン化合物(商品名:FP−300、伏見製薬所社製)
(G)その他化合物
ソルベントブルー70 (商品名:OIL BLUE650、オリエント化学工業社製)
トルエン(和光純薬工業社製、有機合成用)
γ―ブチロラクトン(和光純薬工業社製)
メチルエチルケトン(MEK、和光純薬工業社製)
炭酸ナトリウム(和光純薬工業社製)
重量平均分子量の測定法であるゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)は、下記の条件により測定を行った。溶媒としては、N,N−ジメチルホルムアミド(和光純薬工業社製、高速液体クロマトグラフ用)を用い、測定前に24.8mmol/Lの臭化リチウム一水和物(和光純薬工業社製、純度99.5%)及び63.2mmol/Lのリン酸(和光純薬工業社製、高速液体クロマトグラフ用)を加えたものを使用した。また、重量平均分子量を算出するための検量線は、スタンダードポリスチレン(東ソー社製)を用いて作成した。
カラム:Shodex KD−806M(昭和電工社製)
流速:1.0mL/分
カラム温度:40℃
ポンプ:PU−2080Plus(JASCO社製)
検出器:RI−2031Plus(RI:示差屈折計、JASCO社製)
UV―2075Plus(UV−VIS:紫外可視吸光計、JASCO社製)
感光性樹脂組成物の塗布方法は、FILM COATER(TESTER SANGYO社製、PI1210)を用いるドクターブレード法により行った。PETフィルム(帝人デユポンフィルム社製、G2、膜厚=16μm)に感光性樹脂組成物を滴下し、乾燥後の膜厚が15μmとなるように塗布した後、乾燥機(SPHH−10l、ESPEC社製)を用いて95℃で12分間乾燥することにより、感光性フィルム積層体を得た。膜厚は、膜厚計(ID−C112B、Mitutoyo社製)を用いて測定した。
フレキシブル基板(エスパネックス:MC12−20−00CEM、新日鐵化学社製)上に、JPCA−2006−DG2付属書2に準じ耐マイグレーション試験配線(導体幅/導体間げきは50/50μm、パターン数は10本)及びベタ銅箔部分(5cm×5cm)を形成した試験基板を作成した。
感光性フィルムのリソグラフィパターン作製過程で実用特性を目視又は顕微鏡を用いて観察し、その品質により感光性フィルム積層体の実用特性評価を行った。以下の5つの評価について、◎又は○を合格とした。
フォトリソグラフィーパターンにより、現像除去されず銅面が完全に露出していない部分のステップ・タブレットの段数を観察した。
◎:9段以上
○:7〜8段
×:6段以下
フォトマスクを介して露光した直後に、イエロールーム環境下で露光部と未露光部の色目違いを目視で観察した。
◎:露光部と未露光部を明確に判別できる
○:露光部と未露光部が判別できる
×:露光部と未露光部は判別できない
フォトリソグラフィーパターンで、現像除去され銅面が完全に露出したステップ・タブレットの銅面を目視観察し、未処理の試験基板の銅面との色目を比較した。
○:銅表面の色目の違いは無い
×:現像除去された銅面が変色している
現像処理後のフォトグラフィーパターン面に接触するように、低密度ポリエチレンフィルム(GF−858、厚み=35um、タマポリ社製)をゴムローラーにて貼り合わせた。これを23℃、50%RHの環境下で24時間保存し、剥離速度0.1m/min、剥離角度90°で剥離試験した。測定装置は、引張試験機(オリエンテック社製、テンシロンRTM−500:ロードセル定格1Kgf)を用いた。剥離試験距離は60mm、伸びに対して加重をプロットしたときの積分平均加重から現像後の合紙離形性を評価した。
◎:積分平均加重が0.01N/25mm未満
○:積分平均加重が0.01〜0.1N/25mm未満
×:積分平均加重が0.1N/25mm以上
フォトリソグラフィーパターンの耐マイグレーション試験配線上の感光性フィルムの状態を光学顕微鏡(50倍)で観察した。
○:配線上の感光性フィルムの膨潤や剥離は観察されない
×:配線上の感光性フィルムが膨潤し、表面形状がうねり状に観察される、若しくは、配線上の感光性フィルムは剥離し、銅配線が露出している
得られたフォトリソグラフィーパターンを、SUS板(150mm×75mm、厚み=0.5mm、SUS304製)で両面から挟み、焼成炉(NRY−325−5Z、大和製作所製)を用いて、SUS板表面温度で260℃、30秒維持する条件にて空気雰囲気で焼成した。室温まで放冷後にフォトリソグラフィーパターンをSUS板から引き剥がし、SUS板への転写状態を目視で観察した。
◎:SUS板への感光性フィルム層の転写はなし
○:SUS板へ感光性フィルム層の一部が溶融転写している
×:SUS板に感光性フィルム層が完全に溶着して剥せない
(アルカリ可溶性樹脂(A1))
窒素雰囲気下、ディーンシュタルク装置及び還流器を備えたセパラブルフラスコに、γ―ブチロラクトン(255g)、トルエン(51.0g)、ポリエーテルアミンD−400(86.8g(201.9mmol))、BPDA(120g(407.9mmol))を入れ、180℃まで昇温して180℃で1時間加熱撹拌した。共沸溶媒であるトルエンを除去した後に、40℃まで冷却し、続いてAPB−N(48.4g(165.7mmol))を加え、40℃で4時間撹拌し、ポリイミド前駆体(A1)の溶液を得た。得られたポリイミド前駆体(A1)の重量平均分子量は23000であった。
窒素雰囲気下、ディーンシュタルク装置及び還流器を備えたセパラブルフラスコに、γ―ブチロラクトン(80.0g)、トルエン(16.0g)、ポリエーテルアミンD−230(16.8g(73.04mmol))、BPDA(30.0g(102.0mmol))を入れ、180℃まで昇温し、180℃で1時間加熱撹拌した。共沸溶媒であるトルエンを除去した後に、40℃まで冷却し、続いてAPB−N(5.60g(19.16mmol)を加え、40℃で4時間撹拌し、ポリイミド前駆体(A2)の溶液を得た。得られたポリイミド前駆体(A2)の重量平均分子量は21000であった。
窒素雰囲気下、ディーンシュタルク装置及び還流器を備えたセパラブルフラスコに、MEK300g及びメタクリル酸(100g)、メタクリル酸メチル(200g)、スチレン(100g)を入れ、撹拌しながら湯浴の温度を70℃に上げた。次いで、AIBN2gを30gのMEKに溶解して添加し、6時間重合した。さらにAIBN3gを30gのMEKに溶解し、1時間置きに2回にわけて添加した後、フラスコ内の温度を溶剤の沸点まで上昇させてその温度で2時間重合した。重合終了後、MEK240gを添加して重合反応物をフラスコから取り出してアクリル樹脂溶液(A3)の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性アクリル樹脂(A3)の重量平均分子量は55000であった。
アルカリ可溶性樹脂(A1)50質量部に対して、BPE−500(15質量部)、SR−494(10質量部)、PBG−305(0.5質量部)、Q−1301(0.1質量部)、SBN−70D(10質量部)、FP−300(15質量部)、OIL BLUE650(0.15質量部)を混合し、感光性樹脂組成物を調整した。得られた感光性樹脂組成物を上述の方法にて15μm厚みの感光性フィルムを得た。この感光性フィルムを上述の方法にて、光感度、露光部視認性、現像残渣、ブロッキング、配線被覆性、張り付き性について評価した。感光性樹脂組成物の組成を下記表1に示し、評価結果を下記表2に示す。
アルカリ可溶性樹脂及び光重合開始剤として、表1記載の化合物を用いたこと以外は実施例1と同様にして15μm厚みの感光性フィルムを得た。この感光性フィルムを上述の方法にて、光感度、露光部視認性、現像残渣、ブロッキング、配線被覆性、張り付き性について評価した。感光性樹脂組成物の組成を下記表1に示し、評価結果を下記表2に示す。
光重合開始剤として、表1記載の化合物を用いたこと以外は実施例1と同様にして15μm厚みの感光性フィルムを得た。この感光性フィルムを上述の方法にて、光感度、露光部視認性、現像残渣、ブロッキング、配線被覆性、張り付き性について評価した。感光性樹脂組成物の組成を下記表1に示し、評価結果を下記表2に示す。
光重合開始剤及び重合禁止剤として、表1記載の化合物を用いる以外は実施例1と同様にして15μm厚みの感光性フィルムを得た。この感光性フィルムを上述の方法にて、光感度、露光部視認性、現像残渣、ブロッキング、配線被覆性、張り付き性について評価した。感光性樹脂組成物の組成を下記表1に示し、評価結果を下記表2に示す。
光重合開始剤及び不飽和二重結合を有する重合性化合物として、表1記載の化合物を用いる以外は実施例1と同様にして15μm厚みの感光性フィルムを得た。この感光性フィルムを上述の方法にて、光感度、露光部視認性、現像残渣、ブロッキング、配線被覆性、張り付き性について評価した。感光性樹脂組成物の組成を下記表1に示し、評価結果を下記表2に示す。
ブロックイソシアネート化合物を除き、表1記載の化合物を用いたこと以外は実施例1と同様にして15μm厚みの感光性フィルムを得た。この感光性フィルムを上述の方法にて、光感度、露光部視認性、現像残渣、ブロッキング、配線被覆性、張り付き性について評価した。感光性樹脂組成物の組成を下記表1に示し、評価結果を下記表2に示す。
(A)成分:アルカリ可溶性樹脂
A1:アルカリ可溶性樹脂(A1)
A2:アルカリ可溶性樹脂(A2)
A3:アルカリ可溶性樹脂(A3)
(B)成分:不飽和二重結合を有する化合物
B1:EO変性ビスフェノールAジメタクリレート
B2:エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート
B3:トリメチロールプロパンPO変性トリアクリレート
(C)成分:光重合開始剤
C1:1,2−プロパンジオン−3−シクロペンチル−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(Oベンゾイルオキシム)
C2:3−シクロペンチルプロパノン−1−(6−2−フォルミルチオフェン−9−エチルカルバゾール−3−イル)−1−オキシムアセテート
C3:3−シクロペンチルプロパノン−1−(6−フォルミルフラン−9−エチルカルバゾール−3−イル)−1−オキシムアセテート
C4:3−シクロペンチル−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾールー3−イル]プロパノン−1−(O−アセチルオキシム)
C5:エタノン1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)
(D)成分:重合禁止剤
D1:N−ニトロソフェニルヒドロキシルアミンアルミニウム
D2:N−ニトロソフェニルヒドロキシルアミンアンモニウム塩
D3:p−メトキシフェノール
(E)成分:ブロックイソシアネート
E1:ブロックイソシアネート
(F)成分:リン化合物
F1:ホスファゼン化合物
(G)成分:その他化合物
G1:ソルベントブルー70
<感光性フィルムロールの製造>
実施例1記載の感光性樹脂組成物を、コンマコーター(ヒラノテクシード社製)を用いて塗工した。PETフィルム(帝人デュポンフィルム社製、G2、膜厚=16μm)に乾燥後の膜厚が8μmと12μmとなるように夫々塗布した。次に、ドライヤーゾーンを95℃で6分間乾燥した後、保護層としてポリエチレンフィルム(タマポリ社製、GF−818、膜厚=19μm)を貼り合わせて感光性フィルムロールを得た。膜厚は、膜厚計(ID−C112B、Mitutoyo社製)を用いて測定した。
フレキシブル基板ロール(エスパネックス:MC12−20−00CEM、新日鐵化学社製)の銅厚みを6μmにハーフエッチングした後、該銅面上にJPCA−2006−DG2付属書2に準じ耐マイグレーション試験配線(導体幅/導体間げきは50/50μm、パターン数は10本)及びベタ銅箔部分(5cm×5cm)を形成した試験ロール基板を作成した。
上記の方法で製造したフレキシブルプリント配線板の実用特性を、目視又は顕微鏡を用いて観察し、その品質により感光性フィルムの実用特性評価を行った。以下の評価について、◎又は○を合格とした。評価結果を下記表3に示す。
フォトリソグラフィーパターンの耐マイグレーション試験配線上の感光性フィルムの状態を光学顕微鏡(50倍)で観察した。評価の基準は次のとおりである。
◎:配線上の感光性フィルムの膨潤や剥離は観察されない
○:配線端部上の感光性フィルムの膨潤が観察されるが、剥離しておらず銅配線は露出していない
△:配線上の感光性フィルムの一部が剥離し、銅配線が露出している
×:配線上の感光性フィルムの大部分が剥離しており、完全に銅配線が露出している
上記の方法で製造したフレキシブルプリント配線板をエポキシ樹脂で包埋し、研磨装置(丸本ストラトス社製)を用いて、包埋された配線板を配線に垂直に研磨した後、を測長機能付光学顕微鏡により観察し、銅配線パターン両端を除く中央の8本の銅配線上におけるカバーレイ膜の最小厚み(a)の平均値、及び、前記配線上と配線の無い部分との、焼成して得た膜の表面段差の最大値(b)の値を測定した。なお、評価に関しては10か所の観察を行い、(a)及び(b)の平均値を算出した。
上記の方法で製造したフレキシブルプリント配線板を試料として、銅配線と垂直になるように180°はぜ折り(bending to 180 degree)試験を行った。はぜ折りは、カバーレイ膜が内側となるようにして、10cm×10cmのガラス板に試料を挟んだ後750gの分銅で10秒間保持した。その後、カバーレイ膜側から光学顕微鏡(50倍)で観察した。評価の基準は次のとおりである。
◎:配線上のカバーレイ膜にはクラックの発生は無い
○:配線上のカバーレイ膜に細かい微小なクラックの発生が観察されたが、銅配線の露出は無い
×:配線上のカバーレイ膜に細かい微小なクラック及び/又は大きなクラックが発生し、銅配線が露出している
実施例2〜10、比較例1〜7記載の感光性フィルムを用いる以外は実施例11と同様にして感光性フィルムロールの製造、フレキシブルプリント配線板の製造、実用特性評価を行った。評価結果を下記表3に示す。
比較例1〜3に記載の感光性樹脂組成物を、乾燥後の膜厚が25μmとなるように夫々塗布した以外は実施例11と同様にして感光性フィルムロールの製造、フレキシブルプリント配線板の製造、実用特性評価を行った。評価結果を下記表4に示す。
Claims (17)
- 前記基材が、キャリアフィルムであることを特徴とする請求項1に記載の感光性フィルム積層体。
- 前記mが、2〜4の整数であることを特徴とする請求項3に記載の感光性フィルム積層体。
- 前記(A)アルカリ可溶性樹脂が、下記一般式(5)で表されるポリイミド構造、及び、下記一般式(6)で表されるポリアミド酸構造をそれぞれ繰り返し構成単位として有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の感光性フィルム積層体。
- (D)ニトロソ化合物、及び/又は、ニトロ化合物を含む重合禁止剤を少なくとも一種類含有することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれかに記載の感光性フィルム積層体。
- 前記(B)不飽和二重結合を有する重合性化合物として、(ジ)ペンタエリスリトール(メタ)アクリレートエステル化合物を含むことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれかに記載の感光性フィルム積層体。
- (E)ブロックイソシアネート化合物を少なくとも一種類含むことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれかに記載の感光性フィルム積層体。
- (F)リン化合物を少なくとも一種類含むことを特徴とする請求項1から請求項10のいずれかに記載の感光性フィルム積層体。
- 配線を有する回路基板と、前記回路基板上において焼成成膜した請求項1から請求項11のいずれかに記載の感光性フィルムと、を具備することを特徴とするフレキシブルプリント配線板。
- 配線を有する回路基板上の配線面に、ロール式熱真空ラミネーターを用いて請求項1から請求項11のいずれかに記載の感光性フィルム積層体を積層したのち、焼成成膜することを特徴とするフレキシブルプリント配線板の製造方法。
- 請求項13の製造方法によって製造されたことを特徴とするフレキシブルプリント配線板。
- 配線を有する回路基板と、前記回路基板上に、前記配線を覆うように設けられたカバーレイフィルムを焼成して得た膜と、を具備するフレキシブルプリント配線板であって、前記配線上における前記焼成して得た膜の最小厚み(a)が0.1μm以上10μm未満であることを特徴とするフレキシブルプリント配線板。
- 配線を有する回路基板と、前記回路基板上に、前記配線を覆うように設けられたカバーレイフィルムを焼成して得た膜と、を具備するフレキシブルプリント配線板であって、前記配線上と配線の無い部分との、前記焼成して得た膜の表面段差の最大値(b)が3μm以下であることを特徴とするフレキシブルプリント配線板。
- 前記配線上における前記焼成して得た膜の最小厚み(a)が0.1μm以上10μm未満であることを特徴とする請求項16に記載のフレキシブルプリント配線板。
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