JPWO2011048834A1 - 試験用キャリア - Google Patents
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Abstract
Description
図13は本発明の第2実施形態における試験用キャリアを示す図である。
図14は本発明の第3実施形態における試験用キャリアを示す図である。
図15は本発明の第4実施形態における試験用キャリアを示す図である。
図16は本発明の第5実施形態における試験用キャリアを示す図である。
図17は本発明の第6実施形態における試験用キャリアを示す図である。
図18は本発明の第7実施形態における試験用キャリアを示す図である。
図19は本発明の第8実施形態における試験用キャリアを示す図である。
11…収容空間
20A〜20C…ベース部材
21…第1の領域
22…第2の領域
30…ベースフレーム
31…中央開口
40…ベースフィルム
41…第1の配線パターン
42…ベース層
43…カバー層
44…第2の配線パターン
441…パッド
45…外部端子
46…導電路
47…絶縁層
50A〜50C…カバー部材
60…カバーフレーム
61…中央開口
70…カバーフィルム
80…接着部
81…接着剤
90…ダイ
91…電極
Claims (16)
- 電子部品を間に挟む第1の部材と第2の部材とを備えた試験用キャリアであって、
前記第1の部材は、予め形成された第1の導電路を有し、
前記第1の部材又は前記第2の部材の一方は、前記第1の導電路と電気的に接続される第2の導電路が印刷によって形成されるべく第1の印刷領域を有することを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項1記載の試験用キャリアであって、
前記第1の部材は、第1のフィルムを有し、
前記第2の部材は、前記第1のフィルムに対向する第2のフィルムを有し、
前記第1の印刷領域は、前記第1のフィルム又は前記第2のフィルムの一方に設けられており、
前記第1のフィルムと前記第2のフィルムとの間に前記電子部品を介在させることを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項2記載の試験用キャリアであって、
前記第1の導電路は、前記第1のフィルムに設けられた外部端子に接続されていることを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項2記載の試験用キャリアであって、
前記第1の部材は、中央に第1の開口が形成されていると共に、前記第1のフィルムが貼り付けられた第1のフレームをさらに有しており、
前記第1の導電路は、前記第1のフレームに設けられた外部端子に接続されていることを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項2〜4の何れかに記載の試験用キャリアであって、
前記第2の部材は、中央に第2の開口が形成されていると共に、前記第2のフィルムが貼り付けられる第2のフレームをさらに有することを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項1記載の試験用キャリアであって、
前記第1の部材は、平板状のリジッド板を有し、
前記第2の部材は、前記リジッド板に対向するフィルムを有し、
前記第1の印刷領域は、前記リジッド板又は前記フィルムの一方に設けられており、
前記リジッド板と前記フィルムとの間に前記電子部品を介在させることを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項5記載の試験用キャリアであって、
前記第1の導電路は、前記リジッド板に設けられた外部端子に接続されていることを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項6又は7記載の試験用キャリアであって、
前記第2の部材は、中央に開口が形成されていると共に、前記フィルムが貼り付けられるフレームをさらに有することを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項1記載の試験用キャリアであって、
前記第1の部材は、フィルムを有し、
前記第2の部材は、前記フィルムに対向する平板状のリジッド板を有し、
前記第1の印刷領域は、前記フィルム又は前記リジッド板の一方に設けられており、
前記フィルムと前記リジッド板との間に前記電子部品を介在させることを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項9記載の試験用キャリアであって、
前記第1の導電路は、前記フィルムに設けられた外部端子に接続されていることを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項9記載の試験用キャリアであって、
前記第1の部材は、中央に開口が形成されていると共に、前記フィルムが貼り付けられたフレームをさらに有しており、
前記第1の導電路は、前記フレームに設けられた外部端子に接続されていることを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項1〜11の何れかに記載の試験用キャリアであって、
前記第1の部材は、前記第1の印刷領域を有し、
前記第2の部材は、
予め形成された第3の導電路と、
前記第3の導電路と電気的に接続される第4の導電路が印刷によって形成されるべく第2の印刷領域と、を有することを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項1〜12の何れかに記載の試験用キャリアであって、
前記第1の部材又は前記第2の部材の一方は、
前記第2の導電路と、
前記第2の導電路において前記電子部品の輪郭に対応する部分の上に形成された絶縁層と、を有することを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項13記載の試験用キャリアであって、
前記第2の導電路は、前記電子部品の電極と接触するパッドを有することを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項1〜14の何れかに記載の試験用キャリアであって、
前記電子部品は、半導体ウェハからダイシングされたダイであることを特徴とする試験用キャリア。 - 請求項1〜15の何れかに記載の試験用キャリアであって、
前記第1の部材と前記第2の部材との間に形成され、前記電子部品を収容する収容空間は、外気に比して減圧されていることを特徴とする試験用キャリア。
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