JPWO2010071101A1 - 基板処理システム、基板処理方法およびプログラムを記憶した記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、本発明の第1実施形態に係る基板処理システムについて、図1を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る基板処理システムの概略構成図である。
基板処理システム10は、上位PC(Personal Computer)100、下位PC200a〜200e、安全PLC(Programmable Logic Controller)300a〜300e、トランスファモジュールTM(Transfer Module)、プロセスモジュールPM(Process Module)1〜PM4を有している。各機器は、たとえば、Ethernet(登録商標)等のネットワーク400によりそれぞれ接続されている。また、上位PC100は、LAN(Local Area Network)500を経由してホストコンピュータ600に接続されている。
プロセスモジュールPM3のマイクロ波プラズマ処理装置は、天井面が開口した有底立方体形状の処理容器Cを有している。処理容器Cの天井面には、蓋体302が取り付けられている。処理容器Cと蓋体302との接面にはOリング304が設けられ、これにより処理室内の気密が保持されている。処理容器Cおよび蓋体302は、たとえば、アルミニウム等の金属からなり、電気的に接地されている。
プロセスモジュールPM3には、プロセスモジュールPM3の内部機器の状態を検知するセンサ群PM3sとして、各種センサS1〜S5が取り付けられていて、その検出値(出力信号)は、安全PLC300dに送出されるようになっている。
つぎに、プロセスモジュールPM4の6層連続有機EL蒸着装置の内部構成について、図3を参照しながら簡単に説明する。プロセスモジュールPM4では、基板G上に有機EL層を含む6層が連続的に蒸着される。
上位PC100のハードウエア構成について簡単に説明する。なお、下位PC200のハードウエア構成は上位PC100とほぼ同じであるためここでは上位PC100のみについて説明する。上位PC100は、図示しないROM、RAM、CPU、バス及びインタフェースを有している。ROMには、上位PC100にて実行される基本的なプログラムや、異常時に起動するプログラム、各種レシピ等が記録されている。RAMには、各種データ等が蓄積されている。なお、ROMおよびRAMは、記憶装置の一例であり、たとえば、EEPROM、光ディスク、光磁気ディスクなどの記憶装置であってもよい。CPUは、各種レシピ(プログラム)にしたがって基板の処理を制御する信号を出力する。バスは、ROM、RAM、CPUおよびインタフェースの各機器間でデータをやりとりする経路である。
つぎに、安全PLC300の機能について、図4を参照しながら説明する。本実施形態では、ハードインターロック装置(PLC320)の他に、ハードウエア(安全回路)にて構築されていたインターロックの機能をプログラム化し、ソフトウエアにて制御する、安全認証された安全PLC300が設けられている。
図4に示したように、プロセスモジュールPMに同種の複数の機器(クラスタ1〜4)が設けられているとき、各機器は互いに連動して動作するか又は非連動に動作するかを選択可能な場合がある。この場合、連動と選択された複数の機器は、制御信号に従って連動して同じ動作を実行する(クラスタ制御)。具体的には、クラスタ1に内蔵されたマスタ側マイクロコンピュータMPU(Micro Processing Unit)からクラスタ2のスレーブ側のMPUに制御信号が伝達され、さらに、クラスタ2のスレーブ側のMPUからクラスタ3のスレーブ側のMPUに制御信号が伝達されて連動した同一動作が可能になる。一方、非連動と選択された機器は、現状の状態を維持する。つまり、クラスタ3のスレーブ側のMPUからクラスタ4のスレーブ側のMPUには制御信号が伝達されない又は制御信号が伝達されてもそれに応じない。この結果、非連動のクラスタ4は、現状の状態を維持する。
つぎに、以上に説明した複数の同種の機器としてAPC1〜APC4を例に挙げながら、各APCのMPUの動作について、図9のフローチャートを参照しながら説明する。図9は、シリアル信号/インターロック信号処理を示したフローチャートである。
本処理は、所定時間経過毎に起動され、ステップS900から開始される。APCのマスタ側のMPUは、ステップS905に進んで、シリアル信号を受信したかを判定する。受信している場合、MPUは、ステップS910に進み、インターロック信号が正常を示しているか(ノーマル)を判定する。インターロック信号がノーマルな場合、ステップS915に進んで、MPUは、連動を選択されたAPCであるかを判定する。連動が選択されている場合、ステップS920に進んでシリアル信号の指示に従い動作し、ステップS995に進み本処理を終了する。
たとえば、図1の上位PC100や下位PC200等のディスプレイ(表示装置に相当)には、図10〜図12に示したメンテナンス画面が表示される。図10は、通常運転中、連動動作している場合のメンテナンス画面を示している。図10では、APC1〜APC4のすべてが連動し、各弁体の開度は全開(100%)となっている。これは、ステップS915にてすべてのAPCが連動していると判断された場合、ステップS920にてシリアル信号の指示に従い、すべてのAPCの弁体を全開(100%)とした場合等に表示される。
最後に、異常事態が解消された後の解除処理について説明する。所定のインターロック条件を満たしたインターロック信号が解除された場合(インターロック信号=ノーマル)、APC1〜APC4のMPCは、上位PC100から出力されたシリアル信号を有効にし、シリアル信号の指示に従って連動の状態が選択されているAPCのみ連動して動作する。これは、図9のステップS915及びステップS920を実行することにより達成される。この結果、メンテナンス画面には、図10や図11に示したような通常運転時の連動、非連動の状態が表示される。
以上、第1実施形態では排気手段にAPCバルブを用いた場合のインターロック制御について説明した。APCバルブはシャットオフバルブ機能付き圧力制御バルブであり、シャットオフバルブと圧力制御バルブとが一体化している。図14は、シャットオフバルブと圧力制御バルブとが一体化した場合(APCバルブの場合)のプロセスモジュールの模式図である。図15は、シャットオフバルブと圧力制御バルブとが一体化した場合(APCバルブの場合)のインターロック信号の入力の一例を示した図である。図16は、シャットオフバルブと圧力制御バルブとが一体化した場合(APCバルブの場合)のインターロック信号の入力の他の例を示した図である。
たとえば、大流量時の運用例を図20に示す。大流量時には、設置されているすべてのシャットオフバルブ805及び圧力制御バルブ810を用いて連動して圧力制御する。すなわち、大流量時には、シャットオフバルブ805はすべてオープンしていて、圧力制御バルブ810は圧力計705の圧力モニター値に基づき、チャンバ内が圧力ターゲット値になるようにすべての圧力制御バルブ810の開度を調整することにより圧力制御を行う。
中流量時の運用例としては図21に示したように、設置されている圧力制御バルブ810のうち、一部は連動して圧力制御し、残りは非連動にしてたとえば1%の開度に固定する。通常動作時には、動作指示信号に従い全てのシャットオフバルブ805が開状態になっている。
小流量時の運用例としては図24に示したように、設置されている圧力制御バルブ810のうち、中流量時よりさらに少ない1つの圧力制御バルブ810のみを圧力制御し、残りの3台は非連動にしてたとえば1%の開度に固定する。通常動作時には、動作指示信号に従いシャットオフバルブ805は開状態になっている。
100 上位PC
200 下位PC
300 安全PLC
302 蓋体
310 インターロック条件テーブル
354 APCバルブ
356 ドライポンプDRP
358 ターボモレキュラポンプTMP
370 ゲートバルブ
400 ネットワーク
500 LAN
600 ホストコンピュータ
705 圧力計
710 フローコントローラ
805 シャットオフバルブ
810 圧力制御バルブ
Claims (13)
- 基板処理装置を制御するための制御信号を出力する制御装置と、所定のインターロック条件を満たす場合、インターロック信号を出力するソフトインターロック装置と、を備える基板処理システムであって、
前記基板処理装置には同種の複数の機器が設けられ、前記同種の複数の機器は互いに連動して又は非連動に動作するように、機器毎に連動又は非連動のいずれかの状態が選択され、
前記ソフトインターロック装置は、前記同種の複数の機器が予め定められた所定のインターロック条件を満たしたと判断した場合、前記同種の複数の機器のいずれかにインターロック信号を出力し、
前記同種の複数の機器のいずれかが前記インターロック信号を入力した場合、前記同種の複数の機器は、連動又は非連動のいずれかにかかわらず、前記インターロック信号の指示に従い連動して動作する基板処理システム。 - 前記所定のインターロック条件を満たしたインターロック信号が出力されている間、前記同種の複数の機器は、前記制御装置から出力された制御信号を無効にし、前記インターロック信号の指示に従った連動動作を維持する請求項1に記載された基板処理システム。
- 前記所定のインターロック条件を満たしたインターロック信号が出力されている間、前記同種の複数の機器のうち、非連動の状態の機器も連動の状態の機器と連動して動作している状態を表示する表示装置を備える請求項1に記載された基板処理システム。
- 前記所定のインターロック条件を満たしたインターロック信号が解除された場合、前記同種の複数の機器は、前記制御装置から出力された制御信号を有効にし、前記制御信号の指示に従って前記連動の状態が選択されている機器を連動して動作する請求項1に記載された基板処理システム。
- 前記表示装置は、
前記所定のインターロック条件を満たしたインターロック信号が解除された場合、前記同種の複数の機器の連動又は非連動の状態を表示する請求項4に記載された基板処理システム。 - 前記同種の複数の機器は、前記基板処理装置に配設された複数の自動圧力調整器である請求項1に記載された基板処理システム。
- 前記同種の複数の機器は、前記基板処理装置に別体に配設されたシャットオフバルブ及び圧力制御バルブであり、
シャットオフバルブ及び圧力制御バルブの少なくともいずれかは、連動又は非連動のいずれかにかかわらず、所定のインターロック条件を満たしたと判断された場合、前記インターロック信号の指示に従い連動して動作する請求項1に記載された基板処理システム。 - 基板処理装置を制御するための制御信号を出力する制御装置と、所定のインターロック条件を満たす場合、インターロック信号を出力するソフトインターロック装置と、を備える基板処理システムを用いた基板処理方法であって、
前記基板処理装置には同種の複数の機器が設けられ、前記同種の複数の機器が互いに連動して又は非連動に動作するように、機器毎に連動又は非連動のいずれかの状態を選択し、
前記ソフトインターロック装置により前記同種の複数の機器が予め定められた所定のインターロック条件を満たしたと判断された場合、前記ソフトインターロック装置からインターロック信号を出力し、
前記同種の複数の機器のいずれかが前記インターロック信号を入力した場合、連動又は非連動のいずれかにかかわらず、前記同種の複数の機器を前記インターロック信号の指示に従い連動して動作させる基板処理方法。 - 基板処理装置を制御するための制御信号を出力する制御装置と、所定のインターロック条件を満たす場合、インターロック信号を出力するソフトインターロック装置と、を備える基板処理システムの機能をコンピュータに実行させるためのプログラムを記憶した記憶媒体であって、
前記基板処理装置には同種の複数の機器が設けられ、前記同種の複数の機器が互いに連動して又は非連動に動作するように、機器毎に連動又は非連動のいずれかの状態を選択する処理と、
前記ソフトインターロック装置により前記同種の複数の機器が予め定められた所定のインターロック条件を満たしたと判断された場合、前記ソフトインターロック装置からインターロック信号を出力する処理と、
前記同種の複数の機器のいずれかが前記インターロック信号を入力した場合、連動又は非連動のいずれかにかかわらず、前記同種の複数の機器を前記インターロック信号の指示に従い連動して動作させる処理と、をコンピュータに実行させるプログラムを記憶した記憶媒体。 - 基板処理装置に設けられるシャットオフ機能を備えたバルブであって、
前記バルブは、連動モードと非連動モードとを有し、所定のインターロック条件を満たしたと判断された場合、連動又は非連動のいずれかにかかわらず、前記インターロック信号の指示に従い連動して動作するバルブ。 - 前記バルブは、前記基板処理装置に複数設けられていることを特徴とする請求項10に記載のバルブ。
- 前記バルブは、並列に配置されていることを特徴とする請求項11に記載のバルブ。
- 前記バルブは、前記基板処理装置の排気側に設けられていることを特徴とする請求項10に記載のバルブ。
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