JP5579397B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
そして、このような従来技術の場合、各モジュールに配置された機器の動作は各々のモジュール毎に制御されるようになっているのが通例である。
ここでモジュール内部の構成やモジュールに配置されている制御機器の位置に変更が生じるのは、モジュールの仕様を変更した場合やモジュールに対して制御機器が追加された場合などである。
本発明の目的は、入出力基板の構成や位置を変えずに制御機器の追加や変更に対応できるようにした真空処理装置を提供することにある。
図1は、本発明の実施の形態である真空処理装置の全体的な構成を概略ブロックで示したもので、この場合、装置は搬送モジュール101とプロセスモジュール110に大別される。
まず、搬送モジュール101は試料の搬送を行うモジュールで、これは、更に、大気圧から減圧された圧力下で試料の搬送を行う真空搬送部102と、大気圧下で試料の搬送を行う大気搬送部103とで構成されている。
このため、これらコントローラ113−1〜113−4は、ユーザインターフェース装置111に接続され、その上で信号線115を介してホスト112に接続されている。
そして、この真空搬送ロボット108のアーム上に試料が載置され、プロセスモジュール110−1〜110−4の処理室内に配置された試料台の上と、何れかのロック室105の中の試料台との問で試料の搬入と搬出が行えるようになっている。
そこで、このバルブ(扉)を開放することにより双方の内部が連通され、これにより試料の搬送が相互に可能になっている。
そこで、このコントローラ113−0もユーザインターフェース装置111に接続され、その上で、更に信号線115を介してホスト112に接続されている。
それを、真空処理装置の動作を調節するユーザインターフェース装置111が判断し、又は真空処理装置が設置されている製造ラインのホスト112等からの指令を受け、試料の処理が開始され、ロック室105、105’では、搬送された試料を収納した状態でバルブ(扉)が閉塞され、密封された上で所定の圧力まで減圧される。
試料の処理が終了したことが検出されると、前記バルブが開放され、真空搬送ロボット108により、処理室内に搬入された場合と反対に、ロック室105に向けて試料が搬出される。
この後、筐体106内側のバルブが開放され、ロック室105内と筐体106の搬送室内が連通され、大気側搬送ロボット109によりロック室105から元のカセットに試料が搬送され、カセット内の元の位置に戻される。
なお、この実施形態では、信号線202の通信がPROFINETで行なわれるものとしているが、高速・大容量通信が可能なネットワークプロトコルであれば種類は問わない。
他方、ユーザインターフェース装置111はエッチング装置を操作するためのもので、ディスプレイ等のデータの表示手段と、キーボード、マウス等の入力手段とを備え、ホスト112からの指示、若しくはインターフェース装置111自身が操作されることにより、エッチング処理の開始を各モジュールコントローラ113に通知し、エッチング条件など、このときの処理に必要な他のデータを送信する。
このとき、搬送モジュール101のモジュールコントローラ113−0は搬送部103及び真空搬送部102の制御を行い、試料をユーザインターフェース装置111により指示されたプロセスモジュール110に搬送させる。
ここで、この図3は、図1のプロセスモジュール110の中で、特に真空搬送容器104の後ろ側(図1の左側)に配置されたプロセスモジュール110−2、110−3の何れかに対応するものを示したもので、この実施形態では、これらのプロセスモジュール110−2、110−3は、試料の表面に形成した膜を、プラズマを用いてエッチング処理するエッチング処理モジュールとなっている。
ここで、モジュールコントローラ113と各ユニットの入出力基板201との問はスター形式に接続され、ユニット内に入出力基板201が複数接続される場合はデイジーチェ−ン形式に接続される。
ここで、本発明においては、モジュールコントローラと入出力基板の間のインターフェースを第1のインターフェースとし、入出力基板と制御機器の間のインターフェースを第2のインターフェースとしたものであるが、このとき、この実施形態では、入出力基板201と制御機器とのインターフェース、つまり第2のインターフェースとしてAIO/DIO、RS−232C、TCP/IPを用いている。
一方、異常信号などのアプリケーションデータの送受信を行いたい場合には、直接、集約・分配プログラム505にアクセスすることによりアプリケーションデータの送受信が可能な構成となっている。
従って、ここでのPROFINET回線を介して行なわれるインターフェースが前述の第1のインターフェースに相当する。
ここで、前述の指令信号はモジュールコントローラ113のアプリケーション501で作成された後は制御機器に通知されるまで何れの変換及び操作も行われない。
102 真空搬送部
103 大気搬送部
104 真空搬送容器
105 ロック室
106 大気搬送容器
107 カセット台
108 真空搬送ロボット
109 大気搬送ロボット
110 プロセスモジュール
111 ユーザインターフェース装置
112 ホスト
113 モジュールコントローラ
115 信号線1
201 入出力基板
202 信号線2
300 信号線3
301 真空容器ユニット
302 ガス供給ユニット
303 プラズマ形成ユニット
304 排気ユニット
305 ガス供給源
306 流量制御器
307 ガス遮断バルブ
308 ガス導入ライン
309 分流器
310−1 ガス導入バルブ1
310−2 ガス導入バルブ2
311 マイクロ波発生源
312 アンテナ
313 ソレノイドコイル
314 処理室
315 試料台
316 試料台駆動機構
317−1 ガスライン排気バルブ1
317−2 ガスライン排気バルブ2
318 処理室排気バルブ
319 排気ポンプ
320−1 ガス導入ライン1
320−2 ガス導入ライン2
321−1 ガス排気ライン
321−2 ガス排気ライン2
322 処理室排気ライン
501 アプリケーション(モジュールコントローラ)
502 AIO/DIOドライバ(モジュールコントローラ)
503 シリアルドライバ(モジュールコントローラ)
504 TCP/IPドライバ(モジュールコントローラ)
505 集約・分配プログラム(モジュールコントローラ)
506 通信プログラム(モジュールコントローラ)
601 通信プログラム(入出力基板)
602 集約・分配プログラム(入出力基板)
603 AIO/DIOドライバ(入出力基板)
604 シリアルドライバ(入出力基板)
605 TCP/IPドライバ(入出力基板)
606 アプリケーション(入出力基板)
607 AIO/DIO端子
608 シリアルポート
609 TCP/IPポート
Claims (4)
- 真空容器内の処理室に配置されたウエハを前記処理室内で処理する真空処理装置であって、
前記真空処理装置の一部を構成する複数の制御対象の機器、及びこれらの複数の制御対象の機器の少なくとも1種と通信可能に接続された入出力基板を備えた制御ユニットと、この制御ユニットと通信可能に接続され当該制御ユニットと信号を送受信するコントローラと、前記入出力基板とコントローラとの問の信号の送受信を専有する第1のインターフェースと、前記入出力基板と前記制御対象の機器との間で信号が送受信される第2のインターフェースと、を備えた真空処理装置であり、
前記入出力基板は前記第2のインターフェースを介し通信するための接続を複数の種類の前記制御対象の機器の間で変更可能に構成され、
前記コントローラにおいて前記制御対象の機器に対する動作指令及びこの動作指令の受信先の制御対象の機器の情報を含む信号が生成され前記第1のインターフェースを介して前記入出力基板に発信され、
前記入出力基板において前記第1のインターフェースからの前記信号に含まれる前記動作指令に係る信号が前記第2のインターフェースを介して前記制御対象の機器に送信される
ことを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置であって、
前記第1のインターフェースから受信された前記動作指令に係る信号は前記第2のインターフェースを介し前記制御対象の機器で受信されるまでの間では信号の変換を行われないように構成されていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の真空処理装置であって、
前記コントローラは前記制御対象の機器の動作を検出するセンサの出力信号を前記入出力基板から受信した結果に基づいて前記信号を生成することを特徴とする真空処理装置。 - 請求項3に記載の真空処理装置であって、
前記コントローラは、前記入出力基板に属する前記制御対象の機器の動作を排他的に制御するものであることを特徴とする真空処理装置。
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Family Applications (1)
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2009
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