JP4101166B2 - 基板処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板に種々の処理を行う基板処理装置に関する。

従来より、半導体ウェハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示装置用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板等の基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が用いられている。例えば、半導体デバイスの製造プロセスでは、生産効率を高めるために一連の処理の各々をユニット化し、複数の処理ユニットを統合した基板処理装置が用いられている。このような基板処理装置では、一般に、１枚の基板に対して複数の異なる処理が連続的に行われる。そのため、各処理ユニット間で基板を搬送する基板搬送ロボットが設けられている。

この基板搬送ロボットにおいては、所定の処理ユニット内への基板の搬送および搬入を正確に行うために基板搬送ロボットの動作状態を調整する作業（ティーチング）が行われる（例えば、特許文献１参照）。

一般に、このような基板搬送ロボットのティーチングは、携帯可能なペンダントと呼ばれる操作装置により行われる。作業者は、基板搬送ロボットのティーチング時においては、基板処理装置に操作装置を接続し、接続された操作装置を操作することにより基板搬送ロボットのティーチングを行う。

上記のような操作装置には、作業者の安全性を確保するため、イネーブルスイッチが設けられている。ここで、イネーブルスイッチとは、予め定められた動作位置に保持されている限り基板処理装置を動作可能とするスイッチである。

特に３ポジションのイネーブルスイッチでは、放した状態で電源がオフ状態、軽く押した状態で電源がオン状態、強く押した状態で電源がオフ状態というように１ストロークの間に３つの状態で電源が切替えられる。これは、非常事態に対しての人の取りうる行動が、手を放すまたは強く握るのいずれかであるという人間工学的な研究結果に基づいている。

例えば、作業者が操作装置のイネーブルスイッチを軽く押した状態で保持している場合、基板処理装置の電源はオン状態になっている。この状態で操作装置のキー等を操作することにより基板搬送ロボットのティーチングを行う。作業者が基板搬送ロボットの動作に巻き込まれそうな場合には、操作装置のイネーブルスイッチを放したり、強く握り締めたりすると、基板処理装置の電源がオフ状態となる。それにより、作業者の安全が確保される。

近年では、このようなイネーブルスイッチを有する操作装置についての規格が定められている。例えば、ＡＮＳＩ／ＲＩＡ（米国国家規格）Ｒ１５．０６、ＥＮ（ヨーロッパ規格）７７５、ＩＳＯ（国際標準化機構）１０２１８およびＪＩＳ（日本工業規格）Ｂ８４３３等である。
特開平９−１４８４１３号公報

ところで、一般に、基板処理装置のティーチングは、基板搬送ロボットのみならず、基板処理装置を構成する各種処理ユニットに対しても行われている。

従来、上記のような操作装置は、１つの基板処理装置に対して１つ設けられるのが一般的であり、操作装置の接続口も１個所にしか存在しなかった。そのため、作業者は、１つの操作装置を用いて基板搬送ロボットのみならず処理ユニットのティーチングを行うこともできる。

この場合、作業者はティーチングの対象を操作装置のキー等により選択した後に、対象となる基板搬送ロボットまたは処理ユニットのティーチングを行う。

このようなティーチング対象の中には、作業者によるティーチング時にその動作が継続されていても、作業者に対して危険を及ぼさない処理ユニットもある。

この場合、作業者がイネーブルスイッチを不用意に放したり、強く握ると、作業者に危険が及ばないにもかかわらず、基板処理装置全体の電源がオフ状態となる。その場合、再び基板処理装置全体の電源をオン状態にし、基板処理装置を再起動させる必要がある。基板処理装置の再起動には時間がかかるため、ティーチング作業の作業効率が低下する。

本発明の目的は、作業者の安全を確保するとともにティーチング作業の作業効率を向上させることが可能な基板処理装置を提供することである。

第１の発明に係る基板処理装置は、基板の搬送動作を行う第１の動作部と、基板の処理動作を行う第２の動作部と、第１の動作部に対応して設けられた第１の接続部と、第２の動作部に対応して設けられた第２の接続部と、第１および第２の接続部に選択的に接続可能でかつ第１または第２の動作部の動作を停止させるためのスイッチを有し、第１または第２の動作部の教示動作に用いられる操作装置と、操作装置が第１の接続部に接続された状態で第１の動作部を停止させるスイッチの操作を有効とし、操作装置が第２の接続部に接続された状態で第２の動作部を停止させるスイッチの操作を無効として第２の動作部の動作を許容する制御手段とを備えたものである。

第１の発明に係る基板処理装置においては、操作装置が第１の接続部に接続された場合、スイッチによる第１の動作部の動作を停止させる操作が有効とされた状態で、基板の搬送動作を行う第１の動作部の教示動作が行われる。一方、操作装置が第２の接続部に接続された場合、スイッチによる第２の動作部の動作を停止させる操作が無効とされた状態で、基板の処理動作を行う第２の動作部の教示動作が行われる。

これにより、作業者は、操作装置による第１の動作部の教示動作時に、身の危険を感じた場合にスイッチにより第１の動作部の動作を停止させることができる。その結果、作業者の安全が確保される。

また、作業者は、操作装置による第２の動作部の教示動作時に、不用意にスイッチを操作しても第２の動作部の動作は許容されたまま維持される。これにより、作業者による第２の動作部の教示作業の作業効率が向上する。

したがって、作業者の安全性を確保するとともに作業者による教示作業の作業効率が向上されている。

基板処理装置は、基板に所定の処理を行う処理空間および基板を搬送するための搬送空間を含み、側壁により取り囲まれた装置空間を有し、第１および第２の動作部は、装置空間内に設けられ、第１の接続部は、第１の動作部に対応して装置空間の内部に設けられ、第２の接続部は、第２の動作部に対応して装置空間の外部に設けられてもよい。

この場合、操作装置が基板に所定の処理を行う処理空間および基板を搬送するための搬送空間を含み、側壁により取り囲まれた装置空間内部の第１の接続部に接続された場合、スイッチによる第１の動作部の動作を停止させる操作が有効とされた状態で、基板の処理動作または搬送動作を行う第１の動作部の教示動作が行われる。一方、操作装置が装置空間外部の第２の接続部に接続された場合、スイッチによる第２の動作部の動作を停止させる操作が無効とされた状態で、基板の処理動作または搬送動作を行う第２の動作部の教示動作が行われる。

これにより、作業者は、操作装置による装置空間内部の第１の動作部の教示動作時に、身の危険を感じた場合にスイッチにより第１の動作部の動作を停止させることができる。その結果、作業者の安全が確保される。

また、操作装置による装置空間内部の第２の動作部の教示動作時に、不用意にスイッチを操作しても第２の動作部の動作は許容されたまま維持される。これにより、作業者による第２の動作部の教示作業の作業効率が向上する。

したがって、危険を伴う装置空間内部での教示作業時の作業者の安全性を確保するとともに、作業者の身に危険を及ぼさない装置空間外部での作業者の教示作業の作業効率が向上されている。

第２の発明に係る基板処理装置は、基板の搬送動作を行う第１の動作部と、基板の処理動作を行う第２の動作部と、第１の動作部に対応して設けられた第１の接続部と、第２の動作部に対応して設けられた第２の接続部と、第１および第２の接続部に選択的に接続可能でかつ第１または第２の動作部の動作を停止させるためのスイッチを有し、第１または第２の動作部の教示動作に用いられる操作装置と、第１の動作部を停止させる操作を有効または無効とするイネーブル切替指令部と、操作装置が第１の接続部に接続された状態でイネーブル切替指令部のオン操作に連動して第１の動作部の動作を停止させるスイッチの操作を有効とし、操作装置が第２の接続部に接続された状態で第２の動作部の動作を停止させるスイッチの操作を無効として第２の動作部の動作を許容する制御手段とを備えたものである。

第２の発明に係る基板処理装置においては、操作装置が第１の接続部に接続された状態でイネーブル切替指令部のオン操作が行われた場合、イネーブル切替指令部のオン操作に連動して、スイッチによる第１の動作部の動作を停止させる操作が有効とされた状態で、基板の搬送動作を行う第１の動作部の教示動作が行われる。

一方、操作装置が第２の接続部に接続された場合、スイッチによる第２の動作部の動作を停止させる操作が無効とされた状態で、基板の処理動作を行う第２の動作部の教示動作が行われる。

これにより、作業者は、操作装置による第１の動作部の教示動作時に、身の危険を感じた場合にスイッチにより第１の動作部の動作を停止させることができる。その結果、作業者の安全が確保される。

また、作業者は、操作装置による第２の動作部の教示動作時に、不用意にスイッチを操作しても第２の動作部の動作は許容されたまま維持される。これにより、作業者による第２の動作部の教示作業の作業効率が向上する。

したがって、作業者の安全性を確保するとともに作業者による教示作業の作業効率が向上されている。

基板処理装置は、基板に所定の処理を行う処理空間および基板を搬送するための搬送空間を含み、側壁により取り囲まれた装置空間を有し、第１および第２の動作部は、装置空間内に設けられ、第１の接続部は、第１の動作部に対応して装置空間の内部に設けられ、第２の接続部は、第２の動作部に対応して装置空間の外部に設けられてもよい。

この場合、操作装置が基板に所定の処理を行う処理空間および基板を搬送するための搬送空間を含み、側壁により取り囲まれた装置空間内部の第１の接続部に接続された状態でイネーブル切替指令部のオン操作が行われた場合、イネーブル切替指令部のオン操作に連動して、スイッチによる第１の動作部の動作を停止させる操作が有効とされた状態で、基板の処理動作または搬送動作を行う第１の動作部の教示動作が行われる。

一方、操作装置が装置空間外部の第２の接続部に接続された場合、スイッチによる第２の動作部の動作を停止させる操作が無効とされた状態で、基板の処理動作または搬送動作を行う第２の動作部の教示動作が行われる。

これにより、作業者は、操作装置による装置空間内部の第１の動作部の教示動作時に、身の危険を感じた場合にスイッチにより第１の動作部の動作を停止させることができる。その結果、作業者の安全が確保される。

また、作業者は、操作装置による装置空間内部の第２の動作部の教示動作時に、不用意にスイッチを操作しても第２の動作部の動作は許容されたまま維持される。これにより、作業者による第２の動作部の教示作業の作業効率が向上する。

したがって、危険を伴う装置空間内部での教示作業時の作業者の安全性を確保するとともに、作業者の身に危険を及ぼさない装置空間外部での作業者の教示作業の作業効率が向上されている。

第１の接続部は、対応する第１の動作部の近傍に配置され、第２の接続部は、対応する第２の動作部の近傍に配置されてもよい。

この場合、第１の接続部が対応する第１の動作部の近傍に位置し、第２の接続部が対応する第２の動作部の近傍に位置するので、作業者が教示作業の対象以外の第１の動作部または第２の動作部を誤って動作させることが防止される。

第１および第２の接続部は、共通の箇所に集中的に配置されてもよい。この場合、第１および第２の接続部が共通の箇所に集中的に配置されることにより、第１および第２の接続部の配置スペースが低減される。

制御手段は、操作装置が第２の接続部に接続された場合に他の操作装置による第１の動作部の動作を不能化してもよい。この場合、第２の動作部の教示動作時に他の作業者が他の操作装置を用いて第１の動作部を動作させることによる危険が防止され、作業者の安全性が確保される。

操作装置のスイッチは、第１、第２および第３の位置に移動可能に設けられるトリガを含み、第２の位置は、第１および第３の位置の間に位置し、制御部は、トリガが第２の位置にある場合に第１および第２の動作部の動作を許容し、トリガが第１の位置または第３の位置に移動した場合に第１および第２の動作部の動作を停止させてもよい。

この場合、トリガが第２の位置にある場合に第１および第２の動作部の動作が制御部により許容され、トリガが第１の位置または第３の位置に移動した場合に第１および第２の動作部の動作が制御部により停止される。

本発明に係る基板処理装置においては、操作装置が第１の接続部に接続された場合、スイッチによる第１の動作部の動作を停止させる操作が有効とされた状態で、基板の搬送動作を行う第１の動作部の教示動作が行われる。一方、操作装置が第２の接続部に接続された場合、スイッチによる第２の動作部の動作を停止させる操作が無効とされた状態で、基板の処理動作を行う第２の動作部の教示動作が行われる。

これにより、作業者は、操作装置による第１の動作部の教示動作時に、身の危険を感じた場合にスイッチにより第１の動作部の動作を停止させることができる。その結果、作業者の安全が確保される。

また、作業者は、操作装置による第２の動作部の教示動作時に、不用意にスイッチを操作しても第２の動作部の動作は許容されたまま維持される。これにより、作業者による第２の動作部の教示作業の作業効率が向上する。

したがって、作業者の安全性を確保するとともに作業者による教示作業の作業効率が向上されている。

以下、本発明の一実施の形態に係る基板処理装置について図１〜図７に基づき説明する。

以下の説明において、基板とは、半導体ウェハ、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等をいう。

（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置の平面図である。図１に示すように、基板処理装置１００は、処理領域Ａ，Ｂを有し、処理領域Ａ，Ｂ間に搬送領域Ｃを有する。処理領域Ａ，Ｂの各々には基板Ｗに特定の処理を行うための各種処理ユニットが配置されている。また、搬送領域Ｃには基板Ｗを搬送するためのインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲが配置されている。

基板処理装置１００においては、作業者が処理領域Ａ，Ｂおよび搬送領域Ｃに配置される各種処理ユニット、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの動作状態を調整するための携帯可能な操作装置（ペンダント）２００が用いられる。以下、このような各構成部の動作状態を調整する作業をティーチングと呼ぶ。

処理領域Ａ，Ｂおよび搬送領域Ｃを含む空間を装置空間５００と呼ぶ。処理領域Ａ，Ｂおよび搬送領域Ｃをそれぞれ隔離するように隔壁５０１が設けられている。

基板処理装置１００の側面の所定位置には、作業者が装置空間５００に侵入するための扉Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５が設けられている。この扉Ｄ１〜Ｄ５の各々は、各種処理ユニット、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対応付けされている。例えば、扉Ｄ１はインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対応付けされており、扉Ｄ２〜Ｄ５は各種処理ユニットに対応付けされている。

扉Ｄ１〜Ｄ５の各々には、作業者による開放に応答して基板処理装置１００全体の電源をオフするためのインターロックスイッチＩＮ１，ＩＮ２，ＩＮ３，ＩＮ４，ＩＮ５が設けられている。例えば、作業者が扉Ｄ１〜Ｄ５のいずれかを開放することにより、対応するインターロックスイッチＩＮ１〜ＩＮ５が動作して、基板処理装置１００全体の電源がオフする。

また、扉Ｄ１〜Ｄ５の各々の近傍には、インターロックスイッチＩＮ１〜ＩＮ５による機能を無効にするためのインターロック解除部Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４，Ｒ５が設けられている。

基板処理装置１００全体の電源をオフすることなく装置空間５００内部に侵入したい場合、作業者はインターロック解除部Ｒ１〜Ｒ５のいずれかを操作することによりインターロックスイッチＩＮ１〜ＩＮ５の機能を無効にすることができる。

図１に示すように、操作装置２００は所定の長さを有するケーブル２５０を備え、ケーブル２５０の先端にはコネクタＣ１が設けられている。

一方、基板処理装置１００の側面および隔壁５０１の所定の位置には、操作装置２００のコネクタＣ１と接続可能な複数のコネクタＣＩ，ＣＣ，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５が設けられている。コネクタＣＩ，ＣＣの各々は、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対応付けられている。また、コネクタＣ２〜Ｃ５の各々は、各種処理ユニットに対応付けられている。

各種処理ユニットに対するティーチング時において、作業者は初めにインターロック解除部（インターロック解除部Ｒ１〜Ｒ５のいずれか）を操作してインターロックスイッチＩＮ１〜ＩＮ５の機能を無効にする。これにより、扉Ｄ１〜Ｄ５のいずれかが開放されても基板処理装置１００全体の電源がオフしない。

そして、作業者は操作装置２００のコネクタＣ１をティーチングの対象に対応付けられたコネクタ（コネクタＣ２〜Ｃ５のいずれか）に接続する。これにより、作業者は各種処理ユニットに対してティーチングを行うことができる。

なお、上記各種処理ユニットに対するティーチングは、扉Ｄ１〜Ｄ５を閉じたまま行えるのであれば、インターロック解除部Ｒ１〜Ｒ５を操作せずに行ってもよい。

インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対するティーチング時において、作業者は初めにインターロック解除部Ｒ１を操作してインターロックスイッチＩＮ１〜ＩＮ５の機能を無効にする。これにより、扉Ｄ１〜Ｄ５のいずれかが開放されても基板処理装置１００全体の電源がオフしない。

そして、作業者は扉Ｄ１を開放して装置空間５００内に侵入し、操作装置２００のコネクタＣ１をインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対応付けられたコネクタ（コネクタＣＩ，ＣＣのいずれか）に接続する。これにより、作業者はインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対してティーチングを行うことができる。

本実施の形態において、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチング時に、作業者はこれらの動作状態により危険を被る場合がある。そこで、基板処理装置１００は、作業者がインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチング時に危険を感じた場合にこれらの動作を停止させる機能（以下、緊急停止機能と呼ぶ。）を有する。緊急停止機能は、作業者が操作装置２００を操作することにより作動し、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの動作を緊急停止させる。詳細については後述する。

一方、本実施の形態において、各種処理ユニットに対するティーチング時には、作業者は各処理ユニットの動作状態により危険を被ることがない。したがって、基板処理装置１００においては、各種処理ユニット対して上記のような緊急停止機能が無効となっている。

このような、ティーチング時における緊急停止機能の有効および無効の切替は、操作装置２００のコネクタＣ１が上記のコネクタＣＩ，ＣＣ，Ｃ２〜Ｃ５に接続されることにより行われる。すなわち、緊急停止機能の有効および無効の切替は、操作装置２００がコネクタＣＩ，ＣＣ，Ｃ２〜Ｃ５のいずれかに接続される動作と連動して行われる。

例えば、緊急停止機能は、操作装置２００のコネクタＣ１がインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対応付けられたコネクタＣＩ，ＣＣに接続された場合に有効となる。また、緊急停止機能は、操作装置２００のコネクタＣ１が各種処理ユニットに対応付けられたコネクタＣ２〜Ｃ５に接続された場合に無効となる。詳細については後述する。

ここで、処理領域Ａ，Ｂおよび搬送領域Ｃに配置される各構成部について説明する。

処理領域Ａには、制御部４、流体ボックス部２ａ，２ｂ、薬液処理部５ａ，５ｂが配置されている。薬液処理部５ａ，５ｂの各々は上述の処理ユニットに相当する。

図１の流体ボックス部２ａ，２ｂは、それぞれ薬液処理部５ａ，５ｂへの薬液の供給および薬液処理部５ａ，５ｂからの排液等に関する配管、継ぎ手、バルブ、流量計、レギュレータ、ポンプ、温度調節器、処理液貯留タンク等の流体関連機器を収納する。

薬液処理部５ａ，５ｂでは、薬液による洗浄処理（以下、薬液処理と呼ぶ）が行われる。薬液としては、アンモニア−過酸化水素混合液（ＡＰＭ）または過酸化水素水等が用いられる。

薬液処理部５ａの外側の側面には扉Ｄ２、インターロックスイッチＩＮ２およびインターロック解除部Ｒ２が設けられるとともに、薬液処理部５ａに対応してコネクタＣ２が設けられている。また、薬液処理部５ｂの外側の側面には扉Ｄ３、インターロックスイッチＩＮ３およびインターロック解除部Ｒ３が設けられるとともに、薬液処理部５ｂに対応してコネクタＣ３が設けられている。

すなわち、これらインターロック解除部Ｒ２，Ｒ３およびコネクタＣ２，Ｃ３は、装置空間５００の外部に設けられている。

処理領域Ｂには、流体ボックス部２ｃ，２ｄおよび純水処理部５ｃ，５ｄが配置されている。純水処理部５ｃ，５ｄの各々は上述の処理ユニットに相当する。

図１の流体ボックス部２ｃ，２ｄは、それぞれ純水処理部５ｃ，５ｄへの純水の供給および純水処理部５ｃ，５ｄからの排液等に関する配管、継ぎ手、バルブ、流量計、レギュレータ、ポンプ、温度調節器、処理液貯留タンク等の流体関連機器を収納する。

純水処理部５ｃ，５ｄでは、純水による洗浄処理が行われる。この場合、薬液処理後の基板Ｗ上に残留する薬液が純水により洗い流される。

純水処理部５ｃの外側の側面には扉Ｄ４、インターロックスイッチＩＮ４およびインターロック解除部Ｒ４が設けられるとともに、純水処理部５ｃに対応してコネクタＣ４が設けられている。また、純水処理部５ｄの外側の側面には扉Ｄ５、インターロックスイッチＩＮ５およびインターロック解除部Ｒ５が設けられるとともに、純水処理部５ｄに対応してコネクタＣ５が設けられている。

すなわち、これらインターロック解除部Ｒ４，Ｒ５およびコネクタＣ４，Ｃ５は、装置空間５００の外側に設けられている。

搬送領域Ｃには、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲが配置されている。

処理領域Ａ，Ｂの一端部側には、基板Ｗの搬入および搬出を行うインデクサＩＤが配置されており、インデクサロボットＩＲはインデクサＩＤの内部に設けられている。インデクサＩＤには、基板Ｗを収納するキャリア１が載置される。本実施の形態においては、キャリア１として、基板Ｗを密閉した状態で収納するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を用いているが、これに限定されるものではなく、ＳＭＩＦ（Standard Mechanical Inter Face）ポッド、ＯＣ（Open Cassette）等を用いてもよい。

インデクサＩＤのインデクサロボットＩＲは、矢印Ｕの方向に移動し、キャリア１から基板Ｗを取り出して基板搬送ロボットＣＲに渡し、逆に、一連の処理が施された基板Ｗを基板搬送ロボットＣＲから受け取ってキャリア１に戻す。

基板搬送ロボットＣＲは、インデクサロボットＩＲから渡された基板Ｗを指定された処理ユニットに搬送し、または、処理ユニットから受け取った基板Ｗを他の処理ユニットまたはインデクサロボットＩＲに搬送する。

インデクサＩＤの外側の側面には扉Ｄ１、インターロックスイッチＩＮ１およびインターロック解除部Ｒ１が設けられている。また、扉Ｄ１の近傍の隔壁５０１には、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲにそれぞれ対応してコネクタＣＩ，ＣＣが設けられている。

すなわち、インターロック解除部Ｒ１は、装置空間５００の外部に設けられている。また、コネクタＣＩ，ＣＣは装置空間５００内で、対応するインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの近傍に設けられている。

本実施の形態においては、薬液処理部５ａ，５ｂのいずれかにおいて基板Ｗに薬液処理が行われた後に、基板搬送ロボットＣＲにより基板Ｗが薬液処理部５ａ，５ｂから搬出され、純水処理部５ｃ，５ｄのいずれかに搬入される。

制御部４は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）を含むコンピュータ等からなり、処理領域Ａ，Ｂの各処理ユニットの動作、搬送領域Ｃの基板搬送ロボットＣＲの動作およびインデクサＩＤのインデクサロボットＩＲの動作を制御する。制御部４の詳細については後述する。

図２は操作装置２００の詳細を説明するための図であり、図３は操作装置２００のコネクタＣ１の構造および基板処理装置１００の側面に設けられるコネクタＣＩ，ＣＣ，Ｃ２〜Ｃ５の構造を説明するための図である。上述のように、操作装置２００は各種処理ユニット、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチング時に用いられる。

図２（ａ）に示すように、操作装置２００は、表示部２１０、電源ボタン２２０、複数の操作ボタン２３０、緊急停止トリガ（イネーブルスイッチ）２４０、ケーブル２５０およびコネクタＣ１を備える。

表示部２１０には、例えば、インデクサロボットＩＲ、基板搬送ロボットＣＲおよび各種処理ユニットのティーチングに関する情報が表示される。電源ボタン２２０は、操作装置２００の電源をオンまたはオフするために用いられる。

複数の操作ボタン２３０を作業者が押下操作することにより、インデクサロボットＩＲ、基板搬送ロボットＣＲおよび各種処理ユニットのティーチングが行われる。

緊急停止トリガ２４０は、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチング時にインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの動作を緊急停止させるために用いられる。

上述のように、ケーブル２５０の先端にはコネクタＣ１が設けられている。コネクタＣ１が基板処理装置１００の側面に設けられたコネクタＣＩ，ＣＣ，Ｃ２〜Ｃ５に接続されることにより、操作装置２００の操作による各種指令信号がコネクタＣＩ，ＣＣ，Ｃ２〜Ｃ５を介して制御部４に送られる。

ここで、図２（ｂ）に示すように、操作装置２００の緊急停止トリガ２４０は、矢印に示す方向に押下操作可能であり、３段階の切替位置ａ，ｂ，ｃを有する。

これにより、作業者は、手を放した状態で緊急停止トリガ２４０を切替位置ａに設定し、軽く押した状態で緊急停止トリガ２４０を切替位置ｂに設定し、強く押した状態で緊急停止トリガ２４０を切替位置ｃに設定することができる。

これら切替位置ａ，ｂ，ｃを有する緊急停止トリガ２４０は、例えば、次のように用いられる。

作業者は、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチング時に、緊急停止トリガ２４０が切替位置ｂとなるように軽く押した状態で操作装置２００を把持する。この場合、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲが動作状態となる。

一方、作業者は、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチング時に巻き込まれ等の危険を感じた場合、緊急停止トリガ２４０が切替位置ａとなるように操作装置２００から手を放す、または緊急停止トリガ２４０が切替位置ｃとなるように強く押した状態で操作装置２００を握り締める。この場合、動作状態となっていたインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲが緊急停止する。

このように、緊急停止トリガ２４０の切替位置ａ，ｂ，ｃをインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの緊急停止機能の作動に対応させることにより、人間工学的に確実に作業者の安全が確保される。

なお、緊急停止トリガ２４０は必ずしも３つの切替位置ａ，ｂ，ｃを有する必要は無く、上記緊急停止機能の作動を操作できるものであれば、２つの切替位置を有するものであってもよいし、ボタン等で構成されていてもよい。

ところで、上述のようにインデクサロボットＩＲ、基板搬送ロボットＣＲおよび各種処理ユニットの各々に対する緊急停止機能の有効および無効の切替は、図３に示すような操作装置２００のコネクタＣ１およびコネクタＣＩ，ＣＣ，Ｃ２〜Ｃ５の構造に基づき行われる。

図３に示すように、操作装置２００のコネクタＣ１には、ティーチング動作についての指令信号を伝達するための複数のティーチング信号ピンＰＮ１および緊急停止の指令信号を伝達するための複数の緊急停止ピンＰＮ２が設けられている。

ここで、図３（ａ）に示すように、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対応付けられたコネクタＣＩ，ＣＣには、ティーチング信号ピンＰＮ１に接続可能な複数のティーチング用接点ＰＵ１および緊急停止ピンＰＮ２に接続可能な複数の緊急停止用接点ＰＵ２が設けられている。

ティーチング用接点ＰＵ１および緊急停止用接点ＰＵ２の各々は、制御部４と接続されている。これにより、操作装置２００のコネクタＣ１とコネクタＣＩ，ＣＣとの接続時に操作装置２００から伝達される指令信号、すなわちティーチング動作および緊急停止の指令信号が制御部４に送られる。その結果、制御部４は操作装置２００からの指令信号に基づいて、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの動作を制御する。

これに対し、図３（ｂ）に示すように、各種処理ユニットの各々に対応付けられたコネクタＣ２〜Ｃ５には、上記の複数のティーチング用接点ＰＵ１および複数の緊急停止用接点ＰＵ３が設けられている。

コネクタＣ２〜Ｃ５において、ティーチング用接点ＰＵ１は制御部４と接続されている。しかしながら、緊急停止用接点ＰＵ３は制御部４に接続されていない。

これにより、操作装置２００のコネクタＣ１とコネクタＣ２〜Ｃ５との接続時に、操作装置２００から伝達されるティーチング動作の指令信号は制御部４に送られるが、緊急停止の指令信号は制御部４に送られない。その結果、制御部４は操作装置２００からの指令信号に基づいて、各種処理ユニットのティーチング動作を制御するが緊急停止は行わない。すなわち、緊急停止機能が無効にされている。

図４は図１の基板処理装置１００の制御系の構成を示すブロック図である。

制御部４は、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの基板搬送動作を制御し、薬液処理部５ａ，５ｂの洗浄動作および純水処理部５ｃ，５ｄの洗浄動作を制御する。

また、制御部４はインターロックスイッチＩＮ１〜ＩＮ５の動作に応答して、インデクサロボットＩＲ、基板搬送ロボットＣＲ、薬液処理部５ａ，５ｂおよび純水処理部５ｃ，５ｄの電源を制御する。

さらに、制御部４は作業者がインターロック解除部Ｒ１〜Ｒ５を操作することによるインターロックスイッチＩＮ１〜ＩＮ５の機能を無効にする旨の信号に応答して、インターロックスイッチＩＮ１〜ＩＮ５の動作に応答しない。

加えて、制御部４はコネクタＣＩ，ＣＣ，Ｃ２〜Ｃ５を介して操作装置２００から送られる上述のティーチング動作および緊急停止の指令信号に応答して、インデクサロボットＩＲ、基板搬送ロボットＣＲ、薬液処理部５ａ，５ｂおよび純水処理部５ｃ，５ｄの動作を制御する。

上記の緊急停止機能によるインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの緊急停止は、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの各々の駆動電源がオフされることにより行われてもよい。

本実施の形態に係る基板処理装置１００においては、操作装置２００がコネクタＣＩ，ＣＣに接続された場合、制御部４により緊急停止機能が有効とされた状態で、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチングが行われる。一方、操作装置２００がコネクタＣ２〜Ｃ５に接続された場合、制御部４により緊急停止機能が無効とされた状態で、各種処理ユニットのティーチングが行われる。

これにより、作業者は、操作装置２００によるインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチング時に、身の危険を感じた場合に操作装置２００の緊急停止トリガ２４０によりインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの動作を緊急停止することができる。その結果、作業者の安全が確保される。

また、作業者は、操作装置２００による各種処理ユニットのティーチング時に、不用意に緊急停止トリガ２４０を操作しても各種処理ユニットの動作は許容されたまま維持される。これにより、作業者による各種処理ユニットのティーチングの作業効率が向上する。

したがって、作業者の安全性を確保するとともに作業者によるティーチングの作業効率が向上されている。

また、本実施の形態に係る基板処理装置１００においては、操作装置２００が装置空間５００内部のコネクタＣＩ，ＣＣに接続された場合、制御部４により緊急停止機能が有効とされた状態で、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチングが行われる。一方、操作装置２００が装置空間５００外部のコネクタＣ２〜Ｃ５に接続された場合、制御部４により緊急停止機能が無効とされた状態で、各種処理ユニットのティーチングが行われる。

これにより、作業者は、操作装置２００による装置空間５００内部のインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチング時に、身の危険を感じた場合に操作装置２００の緊急停止トリガ２４０によりインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの動作を緊急停止することができる。その結果、作業者の安全が確保される。

また、作業者は、操作装置２００による装置空間５００内部の各種処理ユニットのティーチング時に、不用意に緊急停止トリガ２４０を操作しても各種処理ユニットの動作は許容されたまま維持される。これにより、作業者による各種処理ユニットのティーチングの作業効率が向上する。

したがって、危険を伴う装置空間５００内部でのティーチング時の作業者の安全性を確保するとともに、作業者の身に危険を及ぼさない装置空間５００外部での作業者のティーチングの作業効率が向上されている。

上述のように、コネクタＣＩ，ＣＣは対応するインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの近傍に配置され、コネクタＣ２〜Ｃ５は、対応する各種処理ユニットの近傍に配置されている。これにより、作業者がティーチングの対象以外のインデクサロボットＩＲ、基板搬送ロボットＣＲまたは各種処理ユニットを誤って動作させることが防止される。

上記に限らず、コネクタＣＩ，ＣＣ，Ｃ２〜Ｃ５の各々は、共通の箇所に集中的に配置されてもよい。この場合、コネクタＣＩ，ＣＣ，Ｃ２〜Ｃ５の各々が共通の箇所に集中的に配置されることにより、コネクタＣＩ，ＣＣ，Ｃ２〜Ｃ５の各々の配置スペースが低減される。

また、本実施の形態において、操作装置２００は必ずしも１つである必要はなく、複数であってもよい。この場合、制御部４は、操作装置２００がコネクタＣ２〜Ｃ５に接続されたときに他の操作装置２００によるインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの動作を不能化してもよい。

これにより各種処理ユニットのティーチング時に他の作業者が他の操作装置２００を用いてインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲを動作させることによる危険が防止され、作業者の安全性が確保される。

（第２の実施の形態）
図５は本発明の第２の実施の形態に係る基板処理装置の平面図である。第１の実施の形態に係る基板処理装置１００と同様に、図５の基板処理装置１００は、処理領域Ａ，Ｂを有し、処理領域Ａ，Ｂ間に搬送領域Ｃを有する。処理領域Ａ，Ｂの各々には基板Ｗに特定の処理を行うための各種処理ユニットが配置され、搬送領域Ｃには基板Ｗを搬送するためのインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲが配置されている。

また、図５の基板処理装置１００においても、作業者が処理領域Ａ，Ｂおよび搬送領域Ｃに配置される各種処理ユニット、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの動作状態を調整するための携帯可能な操作装置２００が用いられる。

このように本実施の形態に係る基板処理装置１００は、第１の実施の形態に係る基板処理装置１００と同様の構成を有するが、以下の点で異なる。

基板処理装置１００の側面の所定位置には、第１の実施の形態と同様、各種処理ユニット、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対応付けされた扉Ｄ１〜Ｄ５が設けられている。扉Ｄ１〜Ｄ５の各々には、インターロックスイッチＩＮ１〜ＩＮ５が設けられている。また、扉Ｄ１〜Ｄ５の各々の近傍には、インターロック解除部Ｒ１〜Ｒ５が設けられている。

基板処理装置１００の側面および隔壁５０１の所定の位置には、第１の実施の形態と同様に操作装置２００のコネクタＣ１と接続可能な複数のコネクタＣＩ，ＣＣ，Ｃ２〜Ｃ５が設けられている。インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対応付けられたコネクタＣＩ，ＣＣの各近傍には、コネクタＣＩ，ＣＣに対応してイネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣが設けられている。このイネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣは、コネクタＣＩ，ＣＣとともに装置空間５００内部に設けられている。

イネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣは、緊急停止機能の有効および無効を切替えるためのものである。このイネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣの操作は、作業者が後述のイネーブル切替キーをイネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣに差し込むことにより行われ、作業者が差し込んだイネーブル切替キーを回動させることにより緊急停止機能の有効および無効が切替えられる。

各種処理ユニットに対して、作業者は第１の実施の形態と同様の作業手順によりティーチングを行う。

これに対し、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対するティーチング時には、作業者は初めにインターロック解除部Ｒ１を操作してインターロックスイッチＩＮ１〜ＩＮ５の機能を無効にする。これにより、扉Ｄ１〜Ｄ５のいずれかが開放されても基板処理装置１００全体の電源がオフしない。

そして、作業者は扉Ｄ１を開放して装置空間５００内に侵入し、操作装置２００のコネクタＣ１をインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対応付けられたコネクタ（コネクタＣＩ，ＣＣのいずれか）に接続する。

その後、作業者はティーチングの対象となるインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対応するイネーブル切替指令部（イネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣのいずれか）にイネーブル切替キーを差し込んで、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの緊急停止機能を有効に設定する。

これにより、作業者は緊急停止機能が有効とされた状態で、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲに対してティーチングを行うことができる。

このように、本実施の形態においては、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチング時に緊急停止機能の有効および無効の切替え操作が必要となる。また、各種処理ユニットのティーチング時においては、各種処理ユニットに対応するコネクタＣ２〜Ｃ５が図３（ｂ）の構造を有することにより、緊急停止機能が常に無効となっている。

換言すれば、緊急停止機能の有効および無効の切替は、操作装置２００がコネクタＣ２〜Ｃ５のいずれかに接続される動作と連動して行われるとともに、コネクタＣＩ，ＣＣに対応するイネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣの操作に連動して行われる。

なお、コネクタＣ２〜Ｃ５は必ずしも図３（ｂ）の構造を有する必要はなく、図３（ａ）の構造を有するとともに、各々に対応するイネーブル切替指令部を設けてもよい。この場合、各種処理ユニットのティーチング時においても、イネーブル切替指令部による緊急停止機能の有効および無効の切替え操作が必要となる。

ここで、コネクタＣＩおよびそれに対応するイネーブル切替指令部ＳＩならびにコネクタＣＣおよびそれに対応するイネーブル切替指令部ＳＣについて説明する。

図６は、第２の実施の形態に係るコネクタＣＩ，ＣＣおよびイネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣの一例を示す図である。

図５および図６（ａ）に示すように、コネクタＣＩ，ＣＣおよびイネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣの各々は、それぞれ対応付けられたものに隣接して設けられている。イネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣには、イネーブル切替キーＫＥを差し込むための差し込み孔ＩＫが設けられている。

作業者は、緊急停止機能の有効および無効の切替え操作時に、操作装置２００のコネクタＣ１をコネクタＣＩ，ＣＣと接続する。そして、図６に示すように、イネーブル切替キーＫＥを対応するイネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣの差し込み孔ＩＫに差し込む。これにより、作業者はイネーブル切替キーＫＥを回動させることによりイネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣの操作を行う。

図６（ａ）においては、イネーブル切替キーＫＥを差し込んだ状態で緊急停止機能が無効（オフ）に設定され、イネーブル切替キーＫＥを差し込んだ状態で右方向に回動させることにより緊急停止機能が有効（オン）に設定される。

なお、このような緊急停止機能の有効および無効の切替えは、必ずしもイネーブル切替キーＫＥによって行われる必要はなく、上記イネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣはボタンであってもよい。

本実施の形態において、コネクタＣＩ，ＣＣおよびイネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣの各々は、共通の箇所に集中的に配置されてもよい。

例えば、図６（ｂ）に示すように、コネクタＣＩ，ＣＣおよびイネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣの各々が共通の位置に集中的に配置されることにより、コネクタＣＩ，ＣＣおよびイネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣの各々の配置スペースが低減される。

第２の実施の形態に係る基板処理装置１００の制御系の構成を説明する。図７は図５の基板処理装置１００の制御系の構成を示すブロック図である。

制御部４は、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの基板搬送動作を制御し、薬液処理部５ａ，５ｂの洗浄動作および純水処理部５ｃ，５ｄの洗浄動作を制御する。

また、制御部４はインターロックスイッチＩＮ１〜ＩＮ５の動作に応答して、インデクサロボットＩＲ、基板搬送ロボットＣＲ、薬液処理部５ａ，５ｂおよび純水処理部５ｃ，５ｄの電源を制御する。

さらに、制御部４は作業者がインターロック解除部Ｒ１〜Ｒ５を操作することによるインターロックスイッチＩＮ１〜ＩＮ５の機能を無効にする旨の信号に応答して、インターロックスイッチＩＮ１〜ＩＮ５の動作に応答しない。

また、制御部４は、作業者がイネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣを操作することによる、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの緊急停止機能を有効にするまたは無効にする旨の信号に応答して、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの動作を制御する。

加えて、制御部４はコネクタＣＩ，ＣＣ，Ｃ２〜Ｃ５を介して操作装置２００から送られる上述のティーチング動作および緊急停止の指令信号に応答して、インデクサロボットＩＲ、基板搬送ロボットＣＲ、薬液処理部５ａ，５ｂおよび純水処理部５ｃ，５ｄの動作を制御する。

上記の緊急停止機能によるインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの緊急停止は、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの各々の駆動電源がオフされることにより行われてもよい。

本実施の形態に係る基板処理装置１００においては、操作装置２００がコネクタＣＩ，ＣＣに接続された状態で、イネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣによる緊急停止機能を有効にする（オン）操作が行われた場合、イネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣによる緊急停止機能のオン操作に連動して、制御部４により緊急停止機能が有効とされた状態で、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチングが行われる。一方、操作装置２００がコネクタＣ２〜Ｃ５に接続された場合、制御部４により緊急停止機能が無効とされた状態で、各種処理ユニットのティーチングが行われる。

これにより、作業者は、操作装置２００によるインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチング時に、身の危険を感じた場合に操作装置２００の緊急停止トリガ２４０によりインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの動作を緊急停止することができる。その結果、作業者の安全が確保される。

また、作業者は、操作装置２００による各種処理ユニットのティーチング時に、不用意に緊急停止トリガ２４０を操作しても各種処理ユニットの動作は許容されたまま維持される。これにより、作業者による各種処理ユニットのティーチングの作業効率が向上する。

したがって、作業者の安全性を確保するとともに作業者によるティーチングの作業効率が向上されている。

また、本実施の形態に係る基板処理装置１００においては、操作装置２００が装置空間５００内部のコネクタＣＩ，ＣＣに接続された状態で、イネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣによる緊急停止機能を有効にする（オン）操作が行われた場合、イネーブル切替指令部ＳＩ，ＳＣによる緊急停止機能のオン操作に連動して、制御部４により緊急停止機能が有効とされた状態で、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチングが行われる。一方、操作装置２００がコネクタＣ２〜Ｃ５に接続された場合、制御部４により緊急停止機能が無効とされた状態で、各種処理ユニットのティーチングが行われる。

これにより、作業者は、操作装置２００による装置空間５００内部のインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲのティーチング時に、身の危険を感じた場合に操作装置２００の緊急停止トリガ２４０によりインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの動作を緊急停止することができる。その結果、作業者の安全が確保される。

また、作業者は、操作装置２００による装置空間５００内部の各種処理ユニットのティーチング時に、不用意に緊急停止トリガ２４０を操作しても各種処理ユニットの動作は許容されたまま維持される。これにより、作業者による各種処理ユニットのティーチングの作業効率が向上する。

したがって、危険を伴う装置空間５００内部でのティーチング時の作業者の安全性を確保するとともに、作業者の身に危険を及ぼさない装置空間５００外部での作業者のティーチングの作業効率が向上されている。

上述のように、コネクタＣＩ，ＣＣは対応するインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの近傍に配置され、コネクタＣ２〜Ｃ５は、対応する各種処理ユニットの近傍に配置されている。これにより、作業者がティーチングの対象以外のインデクサロボットＩＲ、基板搬送ロボットＣＲまたは各種処理ユニットを誤って動作させることが防止される。

また、本実施の形態において、操作装置２００は必ずしも１つである必要はなく、複数であってもよい。この場合、制御部４は、操作装置２００がコネクタＣ２〜Ｃ５に接続されたときに他の操作装置２００によるインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲの動作を不能化してもよい。

これにより各種処理ユニットのティーチング時に他の作業者が他の操作装置２００を用いてインデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲを動作させることによる危険が防止され、作業者の安全性が確保される。

以上、第１および第２の実施の形態において、基板処理装置１００は基板処理装置に相当し、インデクサロボットＩＲおよび基板搬送ロボットＣＲは第１の動作部に相当し、各種処理ユニットは第２の動作部に相当し、コネクタＣＩ，ＣＣは第１の接続部に相当し、コネクタＣ２〜Ｃ５は第２の接続部に相当する。

また、操作装置２００の緊急停止トリガ２４０がスイッチに相当し、操作装置２００が操作装置に相当し、制御部４は制御手段に相当し、装置空間５００は装置空間に相当する。

本発明に係る基板処理装置は、半導体ウェハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示装置用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板等の基板に種々の処理を行う等のために利用可能である。

本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置の平面図である。 操作装置の詳細を説明するための図である。 操作装置のコネクタの構造および装置空間の側面に設けられるコネクタの構造を説明するための図である。 図１の基板処理装置の制御系の構成を示すブロック図である。 本発明の第２の実施の形態に係る基板処理装置の平面図である。 第２の実施の形態に係るコネクタおよびイネーブル切替指令部の一例を示す図である。 図５の基板処理装置の制御系の構成を示すブロック図である。

符号の説明

４ 制御部
１００ 基板処理装置
２００ 操作装置
２４０ 緊急停止トリガ
５００ 装置空間
２ａ，２ｂ 流体ボックス部
５ａ，５ｂ 薬液処理部
５ｃ，５ｄ 純水処理部
ＩＲ インデクサロボット
ＣＲ 基板搬送ロボット
ＣＩ，ＣＣ，Ｃ２〜Ｃ５ コネクタ
Ｗ 基板

Claims (8)

1. 基板の搬送動作を行う第１の動作部と、
   基板の処理動作を行う第２の動作部と、
   前記第１の動作部に対応して設けられた第１の接続部と、
   前記第２の動作部に対応して設けられた第２の接続部と、
   前記第１および第２の接続部に選択的に接続可能でかつ前記第１または第２の動作部の動作を停止させるためのスイッチを有し、前記第１または第２の動作部の教示動作に用いられる操作装置と、
   前記操作装置が前記第１の接続部に接続された状態で前記第１の動作部を停止させる前記スイッチの操作を有効とし、前記操作装置が前記第２の接続部に接続された状態で前記第２の動作部を停止させる前記スイッチの操作を無効として前記第２の動作部の動作を許容する制御手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。
2. 基板に所定の処理を行う処理空間および基板を搬送するための搬送空間を含み、側壁により取り囲まれた装置空間を有し、
   前記第１および第２の動作部は、前記装置空間内に設けられ、
   前記第１の接続部は、前記第１の動作部に対応して前記装置空間の内部に設けられ、
   前記第２の接続部は、前記第２の動作部に対応して前記装置空間の外部に設けられたことを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
3. 基板の搬送動作を行う第１の動作部と、
   基板の処理動作を行う第２の動作部と、
   前記第１の動作部に対応して設けられた第１の接続部と、
   前記第２の動作部に対応して設けられた第２の接続部と、
   前記第１および第２の接続部に選択的に接続可能でかつ前記第１または第２の動作部の動作を停止させるためのスイッチを有し、前記第１または第２の動作部の教示動作に用いられる操作装置と、
   前記第１の動作部を停止させる操作を有効または無効とするイネーブル切替指令部と、
   前記操作装置が前記第１の接続部に接続された状態で前記イネーブル切替指令部のオン操作に連動して前記第１の動作部の動作を停止させる前記スイッチの操作を有効とし、前記操作装置が前記第２の接続部に接続された状態で前記第２の動作部の動作を停止させる前記スイッチの操作を無効として前記第２の動作部の動作を許容する制御手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。
4. 基板に所定の処理を行う処理空間および基板を搬送するための搬送空間を含み、側壁により取り囲まれた装置空間を有し、
   前記第１および第２の動作部は、前記装置空間内に設けられ、
   前記第１の接続部は、前記第１の動作部に対応して前記装置空間の内部に設けられ、
   前記第２の接続部は、前記第２の動作部に対応して前記装置空間の外部に設けられたことを特徴とする請求項３記載の基板処理装置。
5. 前記第１の接続部は、対応する前記第１の動作部の近傍に配置され、
   前記第２の接続部は、対応する前記第２の動作部の近傍に配置されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板処理装置。
6. 前記第１および第２の接続部は、共通の箇所に集中的に配置されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板処理装置。
7. 前記制御手段は、前記操作装置が前記第２の接続部に接続された場合に他の操作装置による前記第１の動作部の動作を不能化することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の基板処理装置。
8. 前記操作装置の前記スイッチは、第１、第２および第３の位置に移動可能に設けられるトリガを含み、
   前記第２の位置は、前記第１および第３の位置の間に位置し、
   前記制御部は、前記トリガが前記第２の位置にある場合に前記第１および第２の動作部の動作を許容し、前記トリガが前記第１の位置または前記第３の位置に移動した場合に前記第１および第２の動作部の動作を停止させることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の基板処理装置。

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