JPH1148059A - 操作ユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】オペレータが作業を行う操作領域と、実際の加
工等の作業が行われる作業領域とが仕切られているグラ
インダー装置等の加工装置において、オペレータ自身
が、作業領域における修理、点検等の状況を直接確認し
ながら行うための手段を提供する。 【解決手段】加工装置の作業領域の任意の位置に装置コ
ネクタを配設し、作業領域における確認したい部位の近
傍に配設されている装置コネクタに持ち運び可能な操作
ユニットを接続し、当該操作ユニットに備えた操作パネ
ルから作業領域における作業を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、操作パネルやモニ
ターを有する移動可能な操作ユニットに関し、詳しく
は、グラインダー装置等の加工装置に接続することによ
り、加工装置に本来備えている操作パネルやモニターと
同様の機能を任意の位置で実現できるようにした操作ユ
ニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェーハ等の非加工物を研削する
グラインダー装置その他の加工装置は、オペレータの操
作により装置の制御を行うためのフロント操作パネル
や、オペレータがフロント操作パネルの操作時に見るこ
とができるフロントモニター等が配設された操作領域
と、実際の加工作業を行う作業領域とから構成されてい
る。

【０００３】例えば、図３に示すグラインダー装置３０
は、オペレータが操作を行う作業環境の良いクリーンル
ームに操作領域３１が位置し、加工時の屑が飛散する等
して比較的環境の良くないグレールームに作業領域３２
が位置するように設置されている。そして、作業領域３
２で発生した屑等が操作領域３１へ飛散しないようにす
るため、操作領域３１と作業領域３２とはパーティショ
ン等によって完全に仕切られている。

【０００４】クリーンルームに設置された操作領域３１
には、オペレータが操作するフロント操作パネル３３、
操作手順や発生したエラーに関する情報等を表示するフ
ロントモニター３４が配設されている。

【０００５】一方、グレールームに設置された作業領域
３２においては、作業台３５上に回転自在なターンテー
ブル３６が配設され、このターンテーブル３６上に設け
た複数のチャックテーブル３７に被加工物が吸着保持さ
れる。そして、ターンテーブル３６の回転によってチャ
ックテーブル３７を所望の位置に位置付け、その表面を
研削砥石３８を配設した研削手段３９によって研削し、
研削後の被加工物を搬送手段４０によって洗浄領域４１
まで搬送して洗浄し、更に搬送手段４０によってカセッ
ト４２まで搬送して収納する構成となっている。

【０００６】このように構成されるグラインダー装置３
０においては、オペレータがフロントモニター３４に表
示される情報に従ってフロント操作パネル３３を操作す
ることによって、作業領域３２における研削手段３９等
の動作が制御され、所望の研削が行われる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、操作領
域３１と作業領域３２とは仕切られているため、オペレ
ータは、操作領域３１から作業領域３２の状態を直接確
認しながら作業を行うことができない。

【０００８】また、研削砥石３８を新しいものに交換し
た場合には、新しい研削砥石３８を徐々に下降させ、研
削砥石３８の先端がチャックテーブル３７の表面に接触
した瞬間の研削砥石３８の位置を基準位置とし、この基
準位置を研削厚さ等を制御するための原点として定める
いわゆるセットアップと称する操作を必要とするが、操
作領域３１と作業領域３２とは離れているため、作業領
域３２において研削砥石３８とチャックテーブル３７と
の接触を確認するためのアシスタントが必要となる。

【０００９】更に、操作領域３２が位置するクリーンル
ームと作業領域３１が位置するグレールームとが完全に
仕切られている場合には、オペレータとアシスタントと
の連絡にも支障をきたす。

【００１０】このように、従来の加工装置は、オペレー
タが直接作業領域を確認することを可能とし、アシスタ
ントを不要とすることに解決しなければならない課題を
有している。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、操作パネルとモニターと
から構成される操作本体と、該操作本体とケーブルを介
して連結される操作本体コネクタとを含み、該操作本体
コネクタは、加工装置の所要位置に配設された装置コネ
クタと着脱自在に連結され、オペレータが加工装置の作
業領域を確認しながら操作できるようにした操作ユニッ
トを提供するものである。

【００１２】このような操作ユニットを加工装置に接続
することにより、オペレータは、作業領域の状態を直接
確認しながら、加工装置のフロント操作パネルから行う
のと同様の操作を操作ユニットの操作パネルから行うこ
とができる。

【００１３】また本発明は、操作ユニットを加工装置に
連結している際は、該加工装置に組み込まれている操作
パネルの使用を不能とすることを付加的要件としてい
る。

【００１４】このように、操作ユニットの連結時に加工
装置の操作パネルが使用不能となることにより、操作ユ
ニットの操作パネルと加工装置の操作パネルを同時に操
作できなくなる。

【００１５】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図１及び図２を参照して説明する。なお、説明を容易
とするため、従来例と共通する部位については同一の符
号を付し、その説明は省略することとする。

【００１６】図１に示す操作ユニット１０は、操作パネ
ル１１とモニター１２とを含む操作本体１３と、操作本
体１３に接続されたケーブル１４と、ケーブル１４の先
端に連結された操作本体コネクタ１５と、持ち運び時に
把持する把持部材１６とから概略構成されている。

【００１７】操作本体１３に備えた操作パネル１１は、
例えばキーボード等の入力装置であり、オペレータが加
工装置の動作を制御する際に必要な情報を入力する入力
手段となるもので、必要であればマウスその他の入力手
段を備えることもできる。

【００１８】また、モニター１２は、オペレータが操作
パネル１１を操作する際の操作手順を表示したり、装置
の動作中にエラーが発生した場合にエラーの発生した部
位やエラーの種類を表示する等の機能を有するディスプ
レイ装置である。

【００１９】ケーブル１４は、操作本体１３から出力さ
れる電気信号または操作本体１３に入力する電気信号の
転送路である。また、その先端に連結した操作本体コネ
クタ１５は、加工装置に配設される装置コネクタに連結
されるコネクタで、例えば雄型コネクタからなる。

【００２０】以上のように構成される操作ユニット１０
は、例えば、図１に示すグラインダー装置２０に連結さ
れて使用される。このグラインダー装置２０は、従来例
と同様に、クリーンルームに操作領域２１が位置し、グ
レールームに作業領域２２が位置するように設置されて
いる。そして、操作領域２１と作業領域２２とはパーテ
ィション等によって仕切られている。

【００２１】そして、グラインダー装置２０は、従来例
で示したグラインダー装置３０とほぼ同様に構成される
が、装置コネクタ２３が側面に設けられている点が従来
のグラインダー装置３０とは異なっている。この装置コ
ネクタ２３は、図１の例においてはグラインダー装置２
０の側面のクリーンルーム側の最前部とグレールーム側
の最後部にそれぞれひとつずつ設けられている。

【００２２】装置コネクタ２３は、図２に示すように、
複数の端子を備えた雌型コネクタで、各端子には雄型コ
ネクタである操作本体コネクタ１５と同数の端子２４が
配設されている。また、操作本体コネクタ１５の着脱に
伴って出没する突起である検出部材２５も設けられてい
る。

【００２３】装置コネクタ２３の各端子２４及び検出部
材２５は、グラインダー装置２０の内部においてグライ
ンダー装置２０の種々の動作を制御する制御部（図示せ
ず）と電気的に接続されている。そして、装置コネクタ
２３に操作本体コネクタ１５が嵌合されると、制御部と
操作ユニット１０との間で各種の電気信号の授受が可能
となる。

【００２４】例えば、研削砥石３８のセットアップを行
う際には、図１に示したように、研削砥石３８やチャッ
クテーブル３７に近い位置にある装置コネクタ２３に操
作本体コネクタ１５を連結する。このとき、操作本体コ
ネクタ１５のハウジングによって検出部材２５が押され
て装置コネクタ２３の内部に没入し、これによって操作
ユニット１０が接続された旨を知らせるための電気信号
が制御部に伝達される。即ち、検出部材２５は、操作ユ
ニット１０が接続されているかどうかを検知するセンサ
としての役割を果たす。

【００２５】一方、この信号を受けた制御部は、グライ
ンダー装置２０に配設されたフロント操作パネル３３か
らの入力を拒否する、フロント操作パネル３３の電源を
オフにする等の制御を行うことにより、操作ユニット１
０が接続されているときは、操作ユニット１０の操作パ
ネル１１からの入力のみを受け付けるようにし、グライ
ンダー装置２０のフロント操作パネル３３を使用不能と
する。また、フロントモニター３４についても、表示を
中止するか、若しくはフロント操作パネル３３が使用不
能である旨を表示させる。

【００２６】このようにしてグラインダー装置２０のフ
ロント操作パネル３３が使用不能となると、グラインダ
ー装置２０のフロントモニター３４に表示されていた情
報が操作本体１３のモニター１２に表示されると共に、
操作パネル１１の操作が可能となる。

【００２７】モニター１２には、例えば操作パネル１１
の操作を案内するための情報が表示され、オペレータ
は、この情報に従って操作を行うことができる。そし
て、研削砥石３８のセットアップを遂行するときは、モ
ニター１２に表示される指示に従って操作パネル１１を
操作し、研削砥石３８を徐々に下降させていく。このと
き、操作本体コネクタ１５は、研磨砥石３８、チャック
テーブル３７の近傍の装置コネクタ２３に接続している
ため、研削砥石３８とチャックテーブル３７との接触を
オペレータ自身が近くで直接確認することができる。従
って、従来必要としていたアシスタントが不要となる。

【００２８】なお、装置コネクタ２３は、図１の例にお
いてはグラインダー装置２０の側面に設けられている
が、任意の位置に必要な数だけ配設可能である。従っ
て、修理、点検等を必要とする部位の近傍に予め装置コ
ネクタ２３を設けておき、そこに操作ユニット１０の操
作本体コネクタ１５を連結させれば、オペレータは、修
理、点検等を必要とする部位のそばで、直接その部位を
確認しながら作業を行うことができるのである。

【００２９】操作ユニット１０を用いた操作によるセッ
トアップ、点検、修理等の作業が終了したときは、操作
本体コネクタ１５を装置コネクタ２３から抜いて接続状
態を解除する。このとき、検出部材２５が再び突出し、
その旨を知らせる信号が制御部に伝達される。そして、
これを受けた制御部は、使用不能となっていたフロント
操作パネル３３を使用可能な状態にすると共に、フロン
トモニター３４にも必要な情報を表示させる。

【００３０】なお、検出部材２５は、図示した実施の形
態に限定されるものではなく、また、機械的に接続状態
を検出するものだけには限定されない。従って、例え
ば、操作ユニット１０から特定の信号やデータ等がグラ
インダー装置２０に転送されるようにしておけば、電気
的手段によって接続の有無が判断され、接続中は前記特
定の信号やデータを受けた制御部がフロント操作パネル
３３を使用不能とし、フロントモニター３４の表示を中
止する等の処理を行うことができる。

【００３１】また、操作ユニット１０は、図示の例に限
定されるものではなく、例えば、ノートブック型パーソ
ナルコンピュータ等の携帯型の端末装置であってもよ
い。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る操作ユ
ニットは、操作パネルとモニターとから構成される操作
本体と、操作本体とケーブルを介して連結される操作本
体コネクタとを含み、操作本体コネクタは、加工装置の
所要位置に配設された装置コネクタと着脱自在に連結さ
れ、オペレータが加工装置の作業領域を確認しながら操
作できるようにしたことにより、オペレータは、作業領
域の状態を確認しながら、加工装置のフロント操作パネ
ルから行うのと同様の操作を操作ユニットの操作パネル
から行うことができるため、加工装置の修理や点検、研
削砥石のセットアップ等の作業を、作業領域の状態を確
認しながらひとりで行うことができ、作業を円滑に遂行
できる。また、オペレータがひとりで作業でき、アシス
タントを必要としなくなるため、操作領域が位置するク
リーンルームと作業領域が位置するグレールームとが仕
切られていても、従来のようにオペレータとアシスタン
トとが連絡をとる必要がなくなり、作業を円滑に遂行で
きる。

【００３３】また、操作ユニットを加工装置に連結して
いる際は、該加工装置に組み込まれているフロント操作
パネルの使用を不能とすることにより、操作ユニットの
操作パネルと加工装置のフロント操作パネルを同時に操
作できなくなるため、オペレータが操作ユニットの操作
パネルを操作していることに気付かずに他の者が加工装
置のフロント操作パネルを操作したとしても、それによ
って加工装置が動作することはなく、誤動作を防止で
き、加工装置の修理や点検、セットアップ等の作業に支
障が生じることがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る操作ユニット及び該操作ユニット
が接続される加工装置の一例を示す斜視図である。

【図２】同操作ユニットが接続される加工装置の装置コ
ネクタを示す斜視図である。

【図３】従来の加工装置の一例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０：操作ユニット １１：操作パネル １２：モニタ
ー １３：操作本体 １４：ケーブル １５：操作本体コネクタ １６：把持
部材 ２０：グラインダー装置 ２１：操作領域 ２２：作業
領域 ２３：装置コネクタ ２４：端子 ２５：検出部材 ３０：グラインダー装置 ３１：操作領域 ３２：作業
領域 ３３：フロント操作パネル ３４：フロントモニター
３５：作業台 ３６：ターンテーブル ３７：チャックテーブル ３
８：研磨砥石 ３９：研削手段 ４０：搬送手段 ４１：洗浄領域 ４
２：カセット

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】操作パネルとモニターとから構成される操
   作本体と、該操作本体とケーブルを介して連結される操
   作本体コネクタとを含み、該操作本体コネクタは、加工
   装置の所要位置に配設された装置コネクタと着脱自在に
   連結され、オペレータが前記加工装置の作業領域を確認
   しながら操作できるようにした操作ユニット。
2. 【請求項２】操作ユニットを加工装置に連結している際
   は、該加工装置に組み込まれている操作パネルの使用を
   不能とする請求項１に記載の操作ユニット。