KR100490175B1 - 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈 - Google Patents

반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈은, 반도체 제조장치의 외부에 위치하여 상기 반도체 제조장치를 컨트롤하는 복수개의 컨트롤러가 적재되는 컨트롤러 적재함과, 상기 컨트롤러 적재함이 슬라이딩될 수 있도록 상기 컨트롤러 적재함이 위에 올려놓여지는 슬라이딩 수단을 포함하는 이동식 적재함 받침대를 구비하는 것을 특징으로 한다. 상기 컨트롤러 적재함에는 상기 컨트롤러가 올려놓여지는 슬라이딩 판이 더 설치되는 것이 바람직하다. 본 발명에 의하면, 컨트롤러들을 이동 가능한 별도의 이동 가능한 적재함에 설치함으로써 반도체 제조장치의 부피를 줄일 수 있으며, 유지 및 보수가 용이한 장소로 적재함을 이동시켜 유지, 보수함으로써 컨트롤러들의 유지, 보수가 용이하다. 특히, 웨이퍼의 대구경화가 진행될수록 더 큰 생산성 향상과 수율 향상을 꾀할 수 있다.

Description

반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈{Controller module of apparatus for fabricating semiconductor}
본 발명은 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈에 관한 것으로서, 특히 컨트롤러들의 유지, 보수가 용이한 이동식 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 시스템은 반도체 집적 소자의 모재료인 실리콘 웨이퍼에 사진 및 현상, 에칭, 산화, 증착 등의 공정을 진행하는 반도체 제조장치와, 반도체 제조 설비의 공정을 제어하기 위해 각각의 반도체 제조장치를 개별적으로 제어하는 컨트롤러들 및 기타 반도체 제조장치를 지원하는 간접 설비 등을 포함하고 있다.
도 1은 종래의 반도체 제조장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래의 반도체 제조장치의 메인챔버(10) 주위에는 복수의 컨트롤러(21, 22, 23)들이 배치된다. 컨트롤러(21, 22, 23)들은 반도체 제조장치에 부착되어, 적층(積層) 배치되거나 유지 및 보수의 측면을 고려하여 사방으로 분산 배치되고 있다.
그런데, 컨트롤러들을 분산 배치하는 경우에는 각각의 컨트롤러들을 조종하기 위하여 사용자가 이동해야 하는 번거로움이 있다. 그리고, 분산 배치이든 적층 배치이든 유지, 보수를 하기 위해서는 반도체 제조장치의 설치시에 적정 공간을 더 확보해야만 한다. 뿐 만 아니라, 적층 배치한 경우에 하부에 위치한 컨트롤러를 보수하기 위해서는 상부에 위치한 컨트롤러들을 분리한 후에 보수해야 한다. 따라서, 컨트롤러들의 유지, 보수를 하기 위한 별도의 준비작업이 필요하고, 일정공간이 더 확보되어야 하므로 반도체 제조장치 전체의 부피가 커져야 하며, 반도체 제조장치의 크기가 커지는 경향에서 보면 공간적인 측면에서는 마이너스적인 요소를 내포하고 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 반도체 제조장치의 부피를 줄일 수 있으며, 용이하게 유지 및 보수를 할 수 있는 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈을 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제들을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈은, 복수개의 컨트롤러들이 각각 분리되어 적재되도록 칸칸이 나뉘어져 있으며, 상기 각 칸의 바닥에는 상기 컨트롤러가 올려놓여진 상태에서 슬라이딩 가능한 슬라이딩판이 설치되는 컨트롤러 적재함; 및 위면 쪽에는 상기 컨트롤러 적재함이 올려놓여진 상태에서 슬라이딩 가능한 슬라이딩 수단이 설치되며, 아래면 쪽에는 바퀴가 설치되는 이동식 적재함 받침대;를 구비하여 반도체 제조장치의 외부에 설치되는 것을 특징으로 한다.
삭제
이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈을 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈은 컨트롤러들과, 컨트롤러들이 적재되는 적재함(100)과, 이동식 적재함 받침대(200)로 이루어진다.
컨트롤러 적재함(100)은, 복수 개의 컨트롤러들이 각각 분리되어 적재되도록 칸칸이 나누어져 있다. 그리고, 컨트롤러들이 적재되는 각각의 칸의 바닥에는 컨트롤러들의 적재 및 분리를 용이하게 하기 위하여 슬라이딩 판이 설치된다. 따라서, 각각의 컨트롤러들은 슬라이딩 판에 올려진 다음, 슬라이딩 판이 슬라이딩됨으로써 적재함에 적재되거나 적재함(100)으로부터 분리된다. 따라서, 컨트롤러들중에서 어느 하나를 유지 및 보수하고자 하는 경우에도 그 외의 컨트롤러들의 방해를 받지 않고 용이하게 유지, 보수할 수 있다.
적재함 받침대(200)의 하부에는 적재함 받침대(200)를 이동시키기 위한 바퀴(210)와, 받침대(200)의 위치를 고정시키기 위한 다리(230)가 설치되고, 상부에는 컨트롤러 적재함(100)이 올려진 상태에서 컨트롤러 적재함(100)을 슬라이딩시키기 위한 슬라이딩 설비가 설치된다. 슬리이딩 설비는 컨트롤러 적재함(100)이 올려지며 조정에 의하여 전후로 이동하는 이동체(221)와 이동체(221)의 이동을 조정하는 조정부(222)로 이루어진다. 따라서, 컨트롤러들을 유지, 보수 하고자 하는 경우에는 적재함 받침대를 유지, 보수가 용이한 장소로 이동시킨 다음 유지, 보수를 할 수 있다. 그리고, 적재함 받침대의 위치가 고정된 장소에서도 컨트롤러 적재함을 슬라이딩시킴으로써 보다 유지, 보수가 용이한 유치에서 컨트롤러들을 유지, 보수할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈에 의하면, 컨트롤러들을 이동 가능한 별도의 이동 가능한 적재함에 설치함으로써 반도체 제조장치의 부피를 줄일 수 있으며, 유지 및 보수가 용이한 장소로 적재함을 이동시켜 유지, 보수함으로써 컨트롤러들의 유지, 보수가 용이하다. 특히, 웨이퍼의 대구경화가 진행될수록 더 큰 생산성 향상과 수율 향상을 꾀할 수 있다.
도 1은 종래의 반도체 제조장치를 설명하기 위한 도면; 및
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈을 설명하기 위한 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 참조번호의 설명 >
10 : 메인챔버 21, 22, 23 : 컨트롤러
100 : 컨트롤러 적재함 200 : 이동식 적재함 받침대

Claims (2)

  1. 복수개의 컨트롤러들이 각각 분리되어 적재되도록 칸칸이 나뉘어져 있으며, 상기 각 칸의 바닥에는 상기 컨트롤러가 올려놓여진 상태에서 슬라이딩 가능한 슬라이딩판이 설치되는 컨트롤러 적재함; 및
    위면 쪽에는 상기 컨트롤러 적재함이 올려놓여진 상태에서 슬라이딩 가능한 슬라이딩 수단이 설치되며, 아래면 쪽에는 바퀴가 설치되는 이동식 적재함 받침대;를 구비하여 반도체 제조장치의 외부에 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈.
  2. 삭제
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