JP2017073538A - 水平設置装置及び被設置物の水平設置方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被設置物を水平に支面に設置するために要する作業時間を短縮する水平設置装置を提供する。【解決手段】被設置物Ｄ１を、下部に設けられた複数の高さ調整機構により調整して水平に支面に設置するための水平設置装置において、被設置物の複数の測定個所に夫々設置される水準計測器４１と、各水準計測器の測定値と、適正な水準範囲と、に基づいて、各水準計測器の測定値のうち適正な水準範囲から外れた測定値を当該適正な水準範囲に収めるために、少なくとも一つの高さ調整機構の調整量を演算する演算部９１と、演算された調整量に基づいて、被設置物を水平に支面に設置するための対処を行う対処部８１と、を備えるように水平設置装置を構成する。それによって作業者の負担を軽減し、作業時間を短縮することができる。【選択図】図２１

Description

本発明は、被設置物を水平に支面に設置するための水平設置装置及び被設置物の水平設置方法に関する。

半導体装置の製造工程では、例えばレジストの塗布及び露光後のレジストの現像を行う塗布、現像装置などの各種の基板処理装置により、基板である半導体ウエハ（以下、ウエハと記載する）に処理が行われる。この基板処理装置については、装置の性能を確保するために所定の個所（以下、調整個所と記載する）について傾き、即ち水準値が許容範囲に収まるように調整される。この調整個所は、基板処理装置に複数設定されている。そして、基板処理装置の下部には、各調整個所の水準値を変更できるように高さ調整自在な脚部が複数設けられ、一の脚部の高さ調整によって複数の調整箇所の水準が変更される。

また、上記の基板処理装置の水準調整には、調整個所における水準値の測定（レベリング）を行うために、当該調整箇所に設置される水準計測器が用いられる。特許文献１には当該水準計測器の一例について記載されている。具体的に上記の基板処理装置の水準調整としては、水準計測器を一の調整個所に設置し、当該一の調整個所の水準値が許容範囲に収まるように当該一の調整個所に対応する脚部の高さ調整を行う。然る後、水準計測器を一の調整個所から取り外して他の調整個所に設置し、他の調整個所の水準値が許容範囲に収まるように当該他の調整個所に対応する脚部の高さ調整を行う。このような水準計測器の設置と脚部による調整とを繰り返し行うことで、全ての調整個所の水準値が許容範囲に収まるようにする。

しかし、調整個所が多く設定されているほど上記の水準調整は工数が多くかかるため、作業に要する時間が長くなる。また、一の調整個所に対応する一の脚部の高さ調整を調整するにあたり、既に調整済みの他の調整個所の水準に与える影響を考慮して調整量を決める必要が有る。しかし、この調整量の判断は作業者の勘に依存するため、一の脚部の高さ調整の結果、他の調整個所の水準が許容範囲から外れてしまうおそれがある。そうなると、全ての調整個所の水準値を許容範囲に収めるまでに試行錯誤が繰り返され、膨大な作業時間を要することになる懸念がある。上記の特許文献１には、このような問題の解決手法については記載されていない。

特開２００４−３０９４４７号公報

本発明はこのような事情に基づいてなされたものであり、その目的は、被設置物を水平に支面に設置するために要する作業時間を短縮することができる技術を提供することである。

本発明の水平設置装置は、被設置物を、下部に設けられた複数の高さ調整機構により調整して水平に支面に設置するための水平設置装置において、
前記被設置物の複数の測定個所に夫々設置される水準計測器と、
各水準計測器の測定値のうち適正な水準範囲から外れた測定値を当該適正な水準範囲に収めるために、少なくとも一つの高さ調整機構の調整量を演算する演算部と、
演算された前記調整量に基づいた対処動作を行う対処部と、
を備えることを特徴とする。

本発明の水平設置方法は、被設置物を、下部に設けられた複数の高さ調整機構により調整して水平に支面に設置するための被設置物の水平設置方法において、
前記被設置物の複数の測定個所に夫々水準計測器を設置する工程と、
次に、各水準計測器の測定値のうち適正な水準範囲から外れた測定値を当該適正な水準範囲に収めるために、少なくとも一つの高さ調整機構の調整量を演算する演算工程と、
続いて、演算された調整量に基づいて前記高さ調整機構の高さを調整する高さ調整工程と、
を備えることを特徴とする。

本発明によれば、各水準計測器の測定値のうち適正な水準範囲から外れた測定値を当該適正な水準範囲に収めるために、高さ調整機構の調整量を演算する演算部が設けられ、演算された前記調整量に基づいた対処動作が行われる。従って、被設置物を水平に設置するための作業者の負担を無くしたり、軽減したりすることができ、作業時間の短縮化を図ることができる。

本発明に係る水平設置支援装置が適用される基板処理装置である塗布、現像装置の平面図である。 前記塗布、現像装置の斜視図である。 前記塗布、現像装置の概略縦断側面図である。 前記塗布、現像装置を構成するキャリアブロックの下面側斜視図である。 前記キャリアブロックに設けられる脚部の側面図である。 前記水平設置支援装置を構成する水準計測器の側面図である。 前記水平設置支援装置を構成する水準計測器の側面図である。 前記水準計測器により取得される水準データを示すための座標図である。 前記キャリアブロックの平面図である。 前記水平設置支援装置の構成図である。 前記水平設置支援装置を用いて行う前記キャリアブロックに設けられる載置台の水準調整のフローを示すチャート図である。 前記水平設置支援装置を構成する表示部を示す説明図である。 前記表示部を示す説明図である。 水平設置支援装置の他の構成例を示す概略図である。 水平設置支援装置の他の構成例を示す概略図である。 水平設置支援装置の他の構成例を示す概略図である。 前記塗布、現像装置に設けられるレジスト塗布モジュールの概略縦断側面図である。 前記レジスト塗布モジュールのスピンチャックの水準を検出するための水準検出用の測定用冶具の平面図である。 前記測定用冶具の斜視図である。 前記測定用冶具が載置されたレジスト塗布モジュールの側面図である 本発明に係る水平設置装置の構成を示す平面図である。 前記水平設置装置を構成するジャッキの側面図である。 水準データと使用される前記ジャッキとの関係を説明するための説明図である。 前記水平設置装置による水準調整のフローを示すチャート図である。

図１〜図３を用いて、本発明に係る水平設置支援装置が適用される基板処理装置である塗布、現像装置１について説明する。図１、図２、図３は、夫々当該塗布、現像装置１の平面図、斜視図、概略縦断側面図である。この塗布、現像装置１はクリーンルーム内に設置される被設置物であり、キャリアブロックＤ１と、処理ブロックＤ２と、インターフェイスブロックＤ３と、を直線状に接続して構成されている。インターフェイスブロックＤ３には露光装置Ｄ４が接続されている。

以降の説明では、ブロックＤ１〜Ｄ３の配列方向を前後方向とし、ブロックＤ１側を前方側、ブロックＤ３側を後方側とする。キャリアブロックＤ１は、塗布、現像装置１の外部からキャリアＣに格納されて塗布、現像装置１に搬送されたウエハＷを、当該キャリアＣ内と当該塗布、現像装置１内との間で受け渡すためのブロックである。このキャリアブロックＤ１には、そのように外部から搬送されたキャリアＣの載置台１１Ａ〜１１Ｄと、開閉部１２と、開閉部１２を介してキャリアＣからウエハＷを搬送するための移載機構１３と、が設けられている。載置台１１Ａ〜１１Ｄは、左右方向に配置されている。図中１０は、キャリアブロックＤ１の筐体である。

処理ブロックＤ２は、単位ブロックＥ１〜Ｅ６が下から順に積層されて構成されている。単位ブロックＥ１〜Ｅ６は、後述する液処理モジュールの違いを除いて互いに同様に構成されており、各単位ブロックＥ１〜Ｅ６において互いに並行してウエハＷの搬送及び処理が行われる。図１を参照して、単位ブロックＥ３を説明する。キャリアブロックＤ１からインターフェイスブロックＤ３へ向かう搬送領域１４の左右の一方側には棚ユニットＵが前後方向に複数配置され、他方側には液処理モジュールであるレジスト塗布モジュール２が２つ前後方向に設けられている。棚ユニットＵは、加熱モジュール１５を備えている。上記の搬送領域１４には、ウエハＷの搬送機構である搬送アームＦ３が設けられている。

単位ブロックＥ１は、液処理モジュールとして反射防止膜形成モジュールを備え、反射防止膜形成用の薬液をウエハＷに供給し、単位ブロックＥ５は、液処理モジュールとして現像モジュールを備え、現像液を薬液としてウエハＷに供給する。単位ブロックＥ２、Ｅ４、Ｅ６は、単位ブロックＥ１、Ｅ３、Ｅ５と夫々同様の構成である。また、図３では各単位ブロックＥ１〜Ｅ６の各搬送アームを、Ｆ１〜Ｆ６として夫々示している。

処理ブロックＤ２におけるキャリアブロックＤ１側には、各単位ブロックＥ１〜Ｅ６に跨って上下に伸びるタワーＴ１と、タワーＴ１に対してウエハＷの受け渡しを行うための受け渡しアーム１８とが設けられている。タワーＴ１は互いに積層された複数のモジュールにより構成されており、単位ブロックＥ１〜Ｅ６の各高さに設けられる受け渡しモジュールＴＲＳは、当該単位ブロックＥ１〜Ｅ６の各搬送アームＦ１〜Ｆ６との間でウエハＷを受け渡すことができる。

インターフェイスブロックＤ３は、単位ブロックＥ１〜Ｅ６に跨って上下に伸びるタワーＴ２、Ｔ３、Ｔ４と、タワーＴ２とタワーＴ３との間でウエハＷの受け渡しを行うためのインターフェイスアーム２１と、タワーＴ２とタワーＴ４との間でウエハＷの受け渡しを行うためのインターフェイスアーム２２と、タワーＴ２と露光装置Ｄ４との間でウエハＷの受け渡しを行うためのインターフェイスアーム２３と、を備えている。タワーＴ２は、受け渡しモジュールＴＲＳ、露光処理前の複数枚のウエハＷを格納して滞留させるバッファモジュール、露光処理後の複数枚のウエハＷを格納するバッファモジュール、及びウエハＷの温度調整を行う温調モジュールなどが互いに積層されて構成されているが、ここでは、バッファモジュール及び温調モジュールの図示は省略する。タワーＴ３、タワーＴ４にも各種のモジュールが設けられているが、このモジュールの説明は省略する。

以下、塗布、現像装置１におけるウエハＷの搬送経路について説明する。ウエハＷは、載置台１１Ａ〜１１Ｄに載置されたキャリアＣから移載機構１３により、処理ブロックＤ２におけるタワーＴ１の受け渡しモジュールＴＲＳ０に、搬送される。この受け渡しモジュールＴＲＳ０からウエハＷは、単位ブロックＥ１、Ｅ２に振り分けられて搬送される。例えばウエハＷを単位ブロックＥ１に受け渡す場合には、タワーＴ１の受け渡しモジュールＴＲＳのうち、単位ブロックＥ１に対応する受け渡しモジュールＴＲＳ１（搬送アームＦ１によりウエハＷの受け渡しが可能な受け渡しモジュール）に対して、前記ＴＲＳ０からウエハＷが受け渡される。またウエハＷを単位ブロックＥ２に受け渡す場合には、タワーＴ１の受け渡しモジュールＴＲＳのうち、単位ブロックＥ２に対応する受け渡しモジュールＴＲＳ２に対して、前記ＴＲＳ０からウエハＷが受け渡される。これらのウエハＷの受け渡しは、受け渡しアーム１８により行われる。

このように振り分けられたウエハＷは、ＴＲＳ１（ＴＲＳ２）→反射防止膜形成モジュール→加熱モジュール１５→ＴＲＳ１（ＴＲＳ２）の順に搬送され、続いて受け渡しアーム１８により単位ブロックＥ３に対応する受け渡しモジュールＴＲＳ３と、単位ブロックＥ４に対応する受け渡しモジュールＴＲＳ４とに振り分けられる。

このようにＴＲＳ３、ＴＲＳ４に振り分けられたウエハＷは、ＴＲＳ３（ＴＲＳ４）→レジスト塗布モジュール２→加熱モジュール１５→タワーＴ２の受け渡しモジュールＴＲＳ３１（ＴＲＳ４１）の順で搬送される。然る後、このウエハＷは、インターフェイスアーム２１、２３により、タワーＴ３を介して露光装置Ｄ４へ搬入される。露光後のウエハＷは、インターフェイスアーム２２、２３によりタワーＴ２、Ｔ４間を搬送されて、単位ブロックＥ５、Ｅ６に対応するタワーＴ２の受け渡しモジュールＴＲＳ５１、ＴＲＳ６１に夫々搬送される。然る後、当該ウエハＷは、加熱モジュール１５→現像モジュール→加熱モジュール１５→タワーＴ１の受け渡しモジュールＴＲＳ５（ＴＲＳ６）に搬送された後、移載機構１３を介してキャリアＣに戻される。

ところで、図４は上記のキャリアブロックＤ１の下面を示している。当該下面にはキャリアブロックＤ１の筐体１０をクリーンルームの床面（支面）３０に支持する脚部３１が、９個設けられている。脚部３１は、縦横が塗布、現像装置１の前後左右に夫々沿った３×３の行列状に配置されている。以降、このキャリアブロックＤ１に設けられる各脚部３１を３１Ａ〜３１Ｉとして示す場合がある。

図５に脚部３１の側面を示している。脚部３１はいわゆるアジャスタフットであり、その高さが調整自在に構成されている。具体的には、脚部３１は、棒ネジである垂直な脚部本体３２と、当該棒ネジに螺合するボルトであるアジャスタ３３とを備えている。装置のクリーンルームへの設置や装置のメンテナンスを行う作業者は、アジャスタ３３を回転させて当該アジャスタ３３の高さを変更することで、脚部３１について筐体１０の下面から床面３０までの高さを調整することができる。この脚部３１の高さ調整によって、キャリアブロックＤ１の各個所の水準を調整することができる。なお、処理ブロックＤ２、インターフェイスブロックＤ３にも夫々、キャリアブロックＤ１と同様に脚部３１が多数設けられており、処理ブロックＤ２の水準、インターフェイスブロックＤ３の水準についても夫々調整することができる。ブロックＤ１〜Ｄ３は互いに分割されており、ブロック毎に独立して水準の調整を行うことができる。

キャリアブロックＤ１については、上記のキャリアＣと移載機構１３との間でウエハＷの搬送が正常に行えるように上記の各脚部３１の高さを調整することで、載置台１１Ａ〜１１Ｄの水準について許容範囲に収まるように調整される。この発明の実施の形態における水平設置支援装置４は一例として、この載置台１１Ａ〜１１Ｄの水準調整について、作業者を支援するように構成されている。具体的に、水平設置支援装置４は、載置台１１Ａ〜１１Ｄのすべての水準を許容範囲内に収めるために、キャリアブロックＤ１の脚部３１Ａ〜３１Ｉのうち、いずれの脚部３１のアジャスタ３３をどれだけ回転させるかを作業者に表示するように構成されている。

図２に示すように、水平設置支援装置４は４つの扁平な円柱形の水準計測器４１と、データ処理部４２と、を備えている。各水準計測器４１は、載置台１１Ａ〜１１Ｄの水準（傾斜）を検出するための傾斜センサとして構成されており、水準の測定箇所である当該載置台１１Ａ〜１１ＤにキャリアＣの代わりに所定の向きで載置される。載置台１１Ａ〜１１Ｄに載置される水準計測器４１を、夫々４１Ａ〜４１Ｄとする。

水準計測器４１Ａ〜４１Ｄは互いに同様に構成されており、代表して水準計測器４１Ａについて説明すると、当該水準計測器４１Ａは、載置される個所（この例では載置台１１Ａ）の傾きを検出してデータ（以降、水準データと記載する）を取得するデータ取得部と、検出された水準データをデータ処理部４２に無線送信する通信部と、データ取得部及び通信部に電力を供給するための電源部と、を備えている。上記のデータ取得部は、例えば加速度センサやジャイロセンサにより構成されている。上記の通信部は、例えばBluetooth（登録商標）やZigbee（登録商標）などの規格に従って構成されており、電源部は、例えばボタン型のリチウムイオン電池により構成されている。

水準計測器４１Ａには、平面視で水準計測器４１Ａの中心で互いに直交すると共に当該水準計測器４１Ａの下面（被載置面）に沿ったｘ軸及びｙ軸が設定されている。図６、図７は、ｘ軸、ｙ軸を夫々示しており、ｘ軸、ｙ軸の交点Ｐ１から見て各軸の一端側、他端側を、＋、−で夫々示している。

説明の便宜上、水準計測器４１Ａによって取得される水準データを、図８に示すＸＹ座標系のポイントＰとして表す。このＸＹ座標系におけるＸ座標、Ｙ座標は、水平面に対する上記の水準計測器４１Ａのｘ軸の傾き、ｙ軸の傾きに夫々対応しており、ｘ軸の傾き、ｙ軸の傾きが夫々大きいほどポイントＰは、Ｘ座標の絶対値、Ｙ座標の絶対値が夫々大きいポイントとして表される。また、ｘ軸、ｙ軸について夫々＋側が−側よりも高くなるように傾くと、ポイントＰは、Ｘ軸、Ｙ軸について夫々＋側に位置し、−側が＋側よりも高くなるように傾くと、ポイントＰは、Ｘ軸、Ｙ軸について夫々−側に位置し、ｘ軸、ｙ軸が共に水平面と平行であるときには、ポイントＰはＸＹ座標系の原点に位置する。このように水準計測器４１Ａにより取得される水準データは、互いに異なる方向であるｘ方向、ｙ方向の各々についての水平からの乖離値として表される。なお、図８では、水準計測器４１Ａについて、図６、図７に示すように＋ｘ側よりも−ｘ側、−ｙ側よりも＋ｙ側が夫々高い場合におけるポイントＰについて例示している。上記のように水準計測器４１Ａのｘ軸、ｙ軸と、ＸＹ座標系とが対応することから、以下、ポイントＰについてＸ軸の値、Ｙ軸の値を夫々ｘ、ｙとして表す。

この図８に示すＸＹ座標系で、原点を中心とした半径がａの点線の円は、実用上の水準の許容範囲内外の境界を表しており、この円に重なるかあるいは円の内側にｘ、ｙが含まれるように載置台１１Ａの水準が調整されていれば、キャリアＣに対するウエハＷの受け渡しを正常に行うことができる。つまり、実用上はポイントＰ（ｘ、ｙ）について（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２≦ａとされることが求められる。なお、ａは所定の数値である。しかし、この実施の形態ではｘ、ｙが夫々許容範囲にあるか否かを容易に識別できるようにするために、水準調整作業の終了時における載置台１１Ａの水準の実際の許容範囲を、上記の円の内側において矩形領域で表される|ｘ|≦０．７ａ且つ|ｙ|≦０．７ａである範囲（最終許容範囲と記載する場合がある）Ｒ１とする。つまり、水準計測器４１Ａから取得されるポイントＰが、この最終許容範囲Ｒ１に収まるように載置台１１Ａの調整が行われる。以上、載置台１１Ａについて説明したが、載置台１１Ｂ〜１１Ｄについても載置台１１Ａと同様に、水準計測器４１Ｂ〜４１Ｄから夫々取得される水準データであるポイントＰが、水準調整作業の終了時に最終許容範囲Ｒ１に収まっているように、水準の調整が行われる。

ただし、後述する載置台１１Ａ〜１１Ｄの水準調整作業中は、ポイントＰが最終許容範囲Ｒ１よりも狭い|ｘ|≦０．５ａ且つ|ｙ|≦０．５ａの範囲（調整用許容範囲と記載する場合がある）Ｒ２に収まるように脚部３１の高さの調整が行われる。このような調整用許容範囲Ｒ２を設定しているのは、後述の水準調整においては、一の脚部３１の高さを調整して１１Ａ〜１１Ｄのうちの一の載置台の水準が調整された後に、他の脚部３１の高さを調整して１１Ａ〜１１Ｄのうちの他の載置台の水準が調整される場合がある。つまり、他の載置台の水準調整によって既に調整済みの一の載置台の水準も変化するため、他の載置台の水準調整により当該一の載置台の水準が最終許容範囲Ｒ１を逸脱することを防ぐことを目的として、調整用許容範囲Ｒ２を設定している。

ここで水平設置支援装置４を構成する演算部であるデータ処理部４２について説明するために、図９を参照しながら、載置台１１Ａについての水準調整を行う手法についての概略を説明する。本来の水準調整では、載置台１１Ａ〜１１Ｄに水準計測器４１Ａ〜４１Ｄのｘ方向、ｙ方向が、塗布、現像装置１の左右方向、前後方向に夫々一致し、且つ＋ｙ側が前方側に向くように、当該水準計測器４１Ａ〜４１Ｄを載置し、載置台１１Ａ〜１１Ｄの水準を一括して最終許容範囲Ｒ１に収めるように行うが、ここでは説明の便宜上、載置台１１Ａ〜１１Ｄのうちの載置台１１Ａのみの水準調整を行うものとする。

脚部３１Ａ〜３１Ｉのうち、載置台１１Ａについての水準を調整するために高さを調整する脚部を予め決定しておく。例えば脚部３１のうち、図９にドットを付して示す３１Ａ、３１Ｂによって、載置台１１Ａの水準が調整されるように決定されているものとする。また、載置台１１Ａには水準計測器４１Ａを既述の向きで載置する。さらに、図８で説明したポイントＰについて、脚部３１Ａのアジャスタ３３を１回転させたときのｘの変動量（＝Ａｘ）及びｙの変動量（＝Ａｙ）と、脚部３１Ｂのアジャスタ３３を１回転させたときのｘの変動量（＝Ｂｘ）及びｙの変動量（＝Ｂｙ）とが既知であり、ｘの変動量（Ａｘ、Ｂｘ）及びｙの変動量（Ａｙ、Ｂｙ）は、各アジャスタ３３を回転させる回数に比例するものとする。

従って、脚部３１Ａのアジャスタ３３をｎ回転させたときのｘの変動量（＝Δｘ_Ａ）、ｙの変動量（＝Δｙ_Ａ）は、下記の式１、式２で夫々表すことができる。そして、脚部３１Ｂのアジャスタ３３をｍ回転させたときのｘの変動量（＝Δｘ_Ｂ）、ｙの変動量（＝Δｙ_Ｂ）は下記の式３、式４で夫々表すことができる。ｎ、ｍは夫々自然数である。
Δｘ_Ａ＝ｎＡｘ・・・（式１）
Δｙ_Ａ＝ｎＡｙ・・・（式２）
Δｘ_Ｂ＝ｍＢｘ・・・（式３）
Δｙ_Ｂ＝ｍＢｙ・・・（式４）

そして脚部３１Ａ、３１Ｂの高さを変更する前のポイントＰのｘ、ｙをｘ１、ｙ１とし、脚部３１Ａ、３１Ｂの高さを変更した後のポイントＰのｘ、ｙをｘ２、ｙ２とすると、上記の式１〜式４から下記の式５、式６が得られる。図８で説明したように調整用許容範囲（適正な水準範囲）Ｒ２が設定されているので、式５、式６のｘ２、ｙ２については、−０．５ａ≦ｘ２≦０．５ａ、−０．５ａ≦ｙ２≦０．５ａである。
ｘ２＝ｘ１＋Δｘ_Ａ＋Δｘ_Ｂ＝ｘ１＋ｎＡｘ＋ｍＢｘ・・・（式５）
ｙ２＝ｙ１＋Δｙ_Ａ＋Δｙ_Ｂ＝ｙ１＋ｎＡｙ＋ｍＢｙ・・・（式６）

従って、載置台１１Ａの水準を調整用許容範囲Ｒ２に収めるためには、水準計測器４１Ａから取得したポイントＰのｘ１、ｙ１と、既知であるＡｘ、Ａｙ、Ｂｘ、Ｂｙとから、ｘ２、ｙ２が調整用許容範囲Ｒ２に収まる式５、式６のｎ、ｍを算出し、作業者がその算出値で脚部３１Ａ、３１Ｂの高さを調整することになる。

ところで、このケースでは載置台１１Ａの水準を調整するために決定されている脚部３１の数が、３１Ａ及び３１Ｂの２つであるため、上記の式５、式６についてはｘ１、ｙ１以降における脚部３１のアジャスタ３３を回転させる回数と、ｘまたはｙの変化量との乗算となる項数が２つであるが、この項数は、調整するように決定された脚部３１の数に応じたものとなる。例えば、調整するように決定されている脚部３１が３１Ａ、３１Ｂの他にもう一つある場合、式５、式６は夫々ｘ２＝ｘ１＋ｎＡｘ＋ｍＢｘ＋ｋＺｘ、ｙ２＝ｙ１＋ｎＡｙ＋ｍＢｙ＋ｋＺｙとなる。式中のｋは、上記のもう一つの脚部３１のアジャスタ３３を回転させる回数であり、Ｚｘ、Ｚｙは夫々当該アジャスタ３３を１回転させることによるポイントＰについてのｘの変化量、ｙの変化量である。つまり、式５、式６は、調整するように決定された脚部３１の数に応じて適宜変更される。

載置台１１Ａ〜１１Ｄについて一括して水準調整を行う場合においても、上記のように載置台１１Ａ〜１１Ｄのうちの一の載置台の水準データであるポイントＰのｘ１、ｙ１に基づいて、調整後のポイントＰのｘ２、ｙ２が調整用許容範囲Ｒ２に収まるように、一の載置台の水準を調整するように決定されている脚部３１のアジャスタ３３の回転数を算出する。この回転数の算出と、作業者への表示とを行えるように上記の水平設置支援装置４のデータ処理部４２が構成されている。

ところで、キャリアブロックＤ１がクリーンルームの天井面に接触したり、脚部３１の短縮可能な範囲を越えたりすることを防ぐために、脚部３１のアジャスタ３３を回転できる回数については例えば−２回以上、＋２回以下とする。また、複数の脚部３１のアジャスタ３３を調整するにあたり、各アジャスタ３３を回転させる回数の組み合わせが無数になることを防ぐために、各アジャスタは例えば１／４回刻みで回転させるものとする。つまり、上記の式１〜式６のｎ、ｍについては０．２５の倍数であり、−２≦ｎ≦＋２、−２≦ｎ≦＋２である。

続いて、図１０を参照しながら、例えばコンピュータにより構成されるデータ処理部４２について説明する。データ処理部４２には各水準計測器４１から無線送信された水準データを受信する受信部４３、プログラム４４、表示部４５、操作部４６及びメモリ４７が設けられている。プログラム４４は、水準計測器４１Ａ〜４１Ｄから各々送信されて受信部４３により受信された水準データに基づいて各種の演算を行い、後述する水準調整のフローを実行することができるように構成されている。当該プログラム４４は、例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）及びメモリーカードなどの記憶媒体に格納された状態で本体部にインストールされる。

表示部４５は、脚部３１Ａ〜３１Ｉのうち作業者がアジャスタ３３を回転させる脚部３１はどれかという情報と、当該脚部３１のアジャスタ３３を回転させる回数とを表示する。操作部４６は複数のボタンやキーボードなどにより構成され、後述の水準調整のフローを進行させるために、作業者により所定の操作が行われる。

次にメモリ４７について説明する。このメモリ４７には、載置台１１Ａ〜１１Ｄについて夫々水準を調整するために高さを調整するように決定された脚部３１の情報（以降、載置台−脚部対応データと記載する）が記憶されている。載置台−脚部対応データ（第２の情報）として、載置台１１Ａについては、例えば図９で説明したように脚部３１Ａ、３１Ｂが高さ調整を行う脚部として決定されており、載置台１１Ｂについては、例えば脚部３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃが高さ調整を行う脚部として決定されている。載置台１１Ｃ、１１Ｄについての脚部との対応は省略する。

さらにメモリ４７には、脚部３１Ａ〜３１Ｉのうちのいずれか一つの脚部３１のアジャスタ３３を１回転させたときに、既述の向きで載置台１１Ａ〜１１Ｄに載置された水準計測器４１Ａ〜４１Ｄから各々取得されるポイントＰのｘの変化量及びｙの変化量について、水準変動データ（第１の情報）として記憶されている。上記の式１〜式４で説明したＡｘ、Ａｙ、Ｂｘ、Ｂｙは、当該水準変動データである。

また、図１０中では水準データとして、脚部３１Ａのアジャスタ３３を１回転させたときにおける水準計測器４１ＢのポイントＰのｘの変動量、ｙの変動量が夫々Ｄｘ、Ｄｙとして記憶されているものとしている。また、脚部３１Ｂのアジャスタ３３を１回転させたときにおける水準計測器４１ＢのポイントＰのｘの変動量、ｙの変動量が夫々Ｅｘ、Ｅｙとして記憶されているものとしている。さらに、脚部３１Ｃのアジャスタ３３を１回転させたときにおける水準計測器４１ＡのポイントＰのｘの変動量、ｙの変動量が夫々Ｃｘ、Ｃｙ、水準計測器４１ＢのポイントＰのｘの変動量、ｙの変動量がＦｘ、Ｆｙとして記憶されているものとしている。

続いて、図１１のフローチャートを参照しながら、載置台１１Ａ〜１１Ｄの水準調整について説明する。先ず、作業者が載置台１１Ａ〜１１Ｄに水準計測器４１Ａ〜４１Ｄを、既述した向きで載置する。図２は、そのように水準計測器４１Ａ〜４１Ｄが載置台１１Ａ〜１１Ｄに載置された状態を示している。続いて、作業者は、脚部３１Ａ〜３１Ｉのアジャスタ３３を１つずつ所定の順番に１回転させて、図１０で説明した水準変動データを取得され、取得された当該水準変動データがメモリ４７に記憶される（ステップＳ１）。なお、予めメモリ４７に水準変動データが格納されている場合、このステップＳ１は省略することができる。

続いて、水準計測器４１Ａ〜４１Ｄから夫々水準データを並行して取得し（ステップＳ２）、図８で説明した各水準データであるポイントＰが、すべて最終許容範囲Ｒ１に収まっているか否かが判定される（ステップＳ３）。ステップＳ３で、各水準計測器４１Ａ〜４１Ｄから取得された各ポイントＰのうち、最終許容範囲Ｒ１に収まっていないものがあると判定された場合、当該最終許容範囲Ｒ１に収まっていないポイントＰについて例えば（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が算出される。そして（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が算出されたポイントＰが複数有る場合は、ポイントＰ間での（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２の大小が比較される。

そして、例えば図１２に示すような表５１が、表示部４５に表示される。この表５１は、載置台１１Ａ〜１１Ｄについて、図１０で説明した載置台−脚部対応データにて調整するように決定されている脚部３１の数はいくつか、設置された水準計測器４１のポイントＰが最終許容範囲Ｒ１に収まったか否か、ポイントＰが最終許容範囲Ｒ１から外れている場合は何番目に大きく外れているか（比較の結果、（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が何番目に大きかったか）を示している。

図１２の表５１では一例として、水準計測器４１Ａ、４１Ｂの各ポイントＰが最終許容範囲Ｒ１に含まれず、水準計測器４１Ｃ、４１Ｄの各ポイントＰが最終許容範囲Ｒ１に含まれており、水準計測器４１ＡのポイントＰが最終許容範囲Ｒ１から最も大きく外れ、水準計測器４１ＢのポイントＰが２番目に最終許容範囲Ｒ１から大きく外れていることが示されている。また、載置台１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄについて、調整が必要な脚部３１の数は、夫々２個，３個，３個、２個であることが表示されている。

作業者は表５１に基づいて、ポイントＰが最終許容範囲Ｒ１に含まれなかった載置台１１のうち、どの載置台１１についてポイントＰが図８で説明した調整用許容範囲Ｒ２に収まる（スペックインする）ように調整するかについて、操作部４６を用いて選択する（ステップＳ４）。この選択は、作業の工数を少なくするために、ポイントＰが最終許容範囲Ｒ１から一番大きく外れたと表示された載置台１１を選択するように行うか、あるいは水準を調整することによって他の載置台１１の水準に与える影響が最も大きいと考えられる載置台１１、即ち、調整が必要な脚部３１の数が最も多い載置台１１を選択するように行う。従って、表５１が上記のような内容で表示された場合、作業者は載置台１１Ａ、１１Ｂのうちのいずれを選択してもよい。

作業者により載置台１１の選択が行われると、メモリ４７に記憶された載置台−脚部対応データに従って、３１Ａ〜３１Ｉのうちのどの脚部について、高さ調整を行うかが決定される（ステップＳ５）。以下、ステップＳ４で作業者が載置台１１Ａについて水準調整を行うことを選択したとして説明する。載置台１１Ａについては、図１０で説明した載置台−脚部対応データにおいて脚部３１Ａ、３１Ｂの高さ調整を行うように規定されているので、このステップＳ５では当該脚部３１Ａ、３１Ｂが高さ調整を行う脚部として決定される。従って、図９を用いて例示したケースと同様に、−２≦ｎ（脚部３１Ａのアジャスタ３３を回転させる回数）≦２、−２≦ｍ（脚部３１Ｂのアジャスタ３３を回転させる回数）≦２、ｎ及びｍは０．２５の倍数という条件の下で、上記の式５、式６のｘ２、ｙ２が調整用許容範囲Ｒ２に収まるｎ、ｍの組み合わせが算出される。この算出においては、式５、式６中のｘ１、ｙ１としては、夫々ステップＳ２において水準計測器４１Ａにより取得されたポイントＰのｘ、ｙが用いられる。

然る後、調整を行う必要がある脚部が３１Ａ、３１Ｂであること、及び各脚部３１Ａ、３１Ｂのアジャスタ３３を回転させる回数ｎ、ｍの組み合わせについて、例えば図１３に示す表５２が表示部４５に表示される。このｎ、ｍの組み合わせについて、表５２ではｎ＝−０．５、ｍ＝０（調整案１とする）、ｎ＝０、ｎ＝＋１（調整案２とする）、ｎ＝−０．２５且つｍ＝＋０．５（調整案３とする）の３つが示されている。このような表５２の表示が行われると共に、各調整案に従って各脚部３１Ａ、３１Ｂのアジャスタ３３を回転させた場合における、ステップＳ４で選択された載置台１１Ａ以外の載置台１１Ｂ〜１１ＤのポイントＰについての（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が夫々算出される。

載置台１１Ｂ〜１１ＤのポイントＰについての（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２の算出は、図１０で説明した水準変動データと、ステップＳ２で取得された載置台１１Ｂ〜１１Ｄの各ポイントＰ（ｘ、ｙ）とを用いて行われる。具体的には、ステップＳ２で載置台１１Ｂについて取得されたポイントＰのｘ、ｙが夫々ｘ’、ｙ’であるものとすると、調整案１に従って各アジャスタ３３を回転させたときに当該ポイントＰに関して、ｘはｘ’＋（−０．５×Ｄｘ）＋（０×Ｅｘ）となり、ｙはｙ’＋（−０．５×Ｄｙ）＋（０×Ｅｙ）となる。従って、（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２＝｛｛ｘ’＋（−０．５×Ｄｘ）＋（０×Ｅｘ）｝^２＋｛ｙ’＋（−０．５×Ｄｙ）＋（０×Ｅｙ）｝^２｝^１／２として算出される。載置台１１Ｃ、載置台１１Ｄについても同様にして、調整案１に従ってアジャスタ３３を回転させた場合の（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が算出される。調整案２、調整案３に夫々従って各アジャスタ３３を回転させたときの載置台１１Ｂ〜１１Ｄの各ポイントＰの（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２についても、同様に算出される（ステップＳ７）。

そして、例えば調整案１〜３のうち、載置台１１Ｂの（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２、載置台１１Ｃの（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２、載置台１１Ｄの（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２の全てについて、他の２つの調整案よりも小さい調整案が有れば、当該調整案が決定案とされる。そのような調整案が無ければ、例えば載置台１１Ｂ〜１１Ｄの（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２の平均値が算出され、平均値が最も小さい調整案が決定案とされる。そして、調整案１〜３のうち、どの調整案が決定案とされたかが表示部４５に表示される。つまり、作業者に対してアジャスタ３３を回転させるべき脚部３１と、当該脚部３１のアジャスタ３３を回転させる回数とが、表示部４５に表示される（ステップＳ８）。つまり、このステップＳ８では一の載置台１１の水準を調整するにあたり、他の載置台１１の水準の変動が最も小さくなるように、メモリ４７内の水準変動データ及びステップＳ２で他の載置台１１から得られた水準データに基づいて、アジャスタ３３を回転させる回数の選択が行われ、選択された回転の回数が作業者に表示される。

作業者は、表示された決定案に従って、脚部３１Ａ、３１Ｂのアジャスタ３３を回転させる（ステップＳ９）。然る後、再度ステップＳ２以降のステップが実行される。そして、ステップＳ３でポイントＰがすべて最終許容範囲Ｒ１に収まっていると判定されると、水準調整工程が終了する。上記のステップＳ３、Ｓ５〜Ｓ８は、データ処理部４２により自動で行われる。

ステップＳ４で、作業者が載置台１１Ｂについて水準調整を行うように選択した場合についても簡単に説明しておくと、載置台−脚部対応データにて載置台１１Ｂの水準調整については、脚部３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃの高さ調整を行うと規定されているので、ステップＳ５ではこれら３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃが調整を行う脚部として決定される。そして、ステップＳ６では式５、式６を変形した下記の式７、式８のｘ２、ｙ２について調整用許容範囲Ｒ２に収まるｎ、ｍ、ｔの組み合わせが算出されると共に、この組み合わせが表示部４５に表示される。式７、式８中のｔは脚部３１Ｃのアジャスタ３３を回転させる回数であるため、ｎ、ｍと同様に−２以上、＋２以下且つ０.２５の倍数である。また、式７、式８中のｘ１、ｙ１はステップＳ２で水準計測器４１Ｂにより取得されたポイントＰのｘ、ｙである。Ｄｘ、Ｄｙ、Ｅｘ、Ｅｙ、Ｆｘ及びＦｙについては図１０で説明した水準変動データである。
ｘ２＝ｘ１＋ｎＤｘ＋ｍＥｘ＋ｔＦｘ・・・式７
ｙ２＝ｙ１＋ｎＤｙ＋ｍＥｙ＋ｔＦｙ・・・式８

ｎ、ｍ、ｔの組み合わせが算出されると、ステップＳ７としてｎ，ｍ，ｔの組み合わせごとに、各アジャスタ３３を回転させたときの載置台１１Ａ、１１Ｃ、１１ＤのポイントＰについての（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が算出される。一例を挙げて説明すると、ステップＳ２で載置台１１Ａについて取得されたポイントＰのｘ、ｙが夫々ｘ’’、ｙ’’であるとすると、ｎ、ｍ、ｔで回転させたときの当該ポイントＰのｘ、ｙは、水準変動データを用いてｘ＝ｘ’’＋（ｎ×Ａｘ）＋（ｍ×Ｂｘ）＋（ｔ×Ｃｘ）、ｙ＝ｙ’’＋（ｎ×Ａｙ）＋（ｍ×Ｂｙ）＋（ｔ×Ｃｙ）として算出され、これらのｘ、ｙから（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が算出される。載置台１１Ｃ、１１Ｄについても載置台１１Ａと同様に水準変動データを用いて、（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が算出される。このように（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が算出された後は載置台１１Ａを選択した場合と同様に、ステップＳ８として、載置台１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｄの水準の変動が最も小さくなるｎ、ｍ、ｔの組み合わせが選択され、選択された組み合わせが表示される。

上記の水平設置支援装置４によれば、載置台１１Ａ〜１１Ｄに載置され、当該載置台１１Ａ〜１１Ｄの水準データを各々取得するための水準計測器４１Ａ〜４１Ｄと、各水準データに基づいて水準の調整が必要な載置台１１を検出すると共に、３１Ａ〜３１Ｉのうちの高さ調整を行う必要がある脚部３１のアジャスタ３３の回転数を演算して、表示部４５に表示するデータ処理部４２と、を備えている。このような構成によれば、各載置台１１Ａ〜１１Ｄの水準データを並行して取得することができ、さらに載置台１１Ａ〜１１Ｄの各水準を最終許容範囲Ｒ１に収めるにあたり、作業者が勘に頼って各脚部３１の高さを調整する必要が無くなる。従って、調整作業の工数の削減及び調整に要する作業時間の短縮化を図ることができる。

上記のフローのステップＳ４では、水準データが最終許容範囲Ｒ１から一番大きく外れた載置台１１について調整を行うか、調整が必要な脚部３１の数が最も多い載置台１１について調整を行うかの選択を作業者の判断で行っているが、そのように作業者が行うことには限られない。つまり、どちらかを選択するようにプログラム４４を組み、上記のフローのステップＳ３からステップＳ８までが、プログラム４４によって自動で実施されるようにしてもよい。

ところで、上記の表示部４５に関しては、作業者が表示を確認できるものであれば、どこに配置してもよい。例えば塗布、現像装置１の外壁に設けたモニタを表示部４５としてもよい。また、塗布、現像装置１とは離れて配置されたモニタを表示部４５としてもよい。さらに、データ処理部４２をラップトップ型やタブレット型のパーソナルコンピュータとして構成し、これらのパーソナルコンピュータを構成するモニタを表示部４５としてもよいし、データ処理部４２を作業者が搬送可能な携帯機器として構成し、当該携帯機器に設けられた液晶画面を表示部４５としてもよい。また、表示部４５は、眼鏡型に構成してもよい。さらに、作業者が、高さ調整する脚部とその調整量を把握できればよいため、表示部は上記のモニタなどには限られず、音声を表示するスピーカーなども当該表示部に含まれる。

また、脚部３１についてはアジャスタ３３の回転により高さが調整されることに限られない。例えば、油圧シリンダや電動式のリニアアクチュエータにより、伸縮自在で高さ調整が可能な構成としてもよい。なお、上記の水平設置支援装置４では、測定位置が載置台１１Ａ〜１１Ｄの４つであるために水準計測器４１の数は４つであるが、並行して水準を測定する測定位置の数によって、水準計測器４１の数は適宜変更してよい。

さらに水準計測器４１は無線で水準データをデータ処理部４２に送信するように構成されることに限られず、図１４〜図１６に示すようにケーブル５５を介して水準計測器４１とデータ処理部４２とが互いに接続され、当該ケーブル５５によって水準計測器４１からデータ処理部４２に水準データが送信されるようにしてもよい。図１４の水平設置支援装置４では、４つのケーブル５５の一端が水準計測器４１Ａ〜４１Ｄに各々接続され、４つのケーブル５５の他端がデータ処理部４２に接続されることで、データ処理部４２に水準計測器４１Ａ〜４１Ｄがマルチドロップ接続されている。

図１５の水平設置支援装置４では、図１４の水平設置支援装置４との差異点として、水準計測器４１Ａ〜４１Ｄとデータ処理部４２との間にはハブとして構成された中継ボックス５６が設けられている。また、図１６の水平設置支援装置４では水準計測器４１Ａ〜４１Ｄとデータ処理部４２とが、デイジーチェーン方式によってケーブル５５を介して接続されている。図１４〜図１６に示す水平設置支援装置４では、水準計測器４１Ａ〜４１Ｄとデータ処理部４２とのデータ通信は、例えばＲＳ４８５やＲＳ２３２などの所定の規格のシリアル通信に従って行われる。

このように、水準計測器４１Ａ〜４１Ｄとデータ処理部４２とが有線で接続される構成とした場合、作業者は、水準計測器４１Ａ〜４１Ｄを載置台１１Ａ〜１１Ｄに、ケーブル５５からの張力を受けない、あるいは当該張力が抑えられるように載置することで、水準の測定誤差を抑えるようにする。即ち、図２などで示したように水準計測器４１Ａ〜４１Ｄが無線により水準データをデータ処理部４２に送信する装置構成とすることは、ケーブル５５による測定の影響を抑えたり、作業者の載置台１１への水準計測器４１の載置を容易にすることができるという点で好ましい。

ところで水平設置支援装置４は、載置台１１の水準調整に用いることに限られない。例えば処理ブロックＤ２の搬送アームＦ１〜Ｆ６の水準を調整するために用いてもよい。より詳しく述べると、各搬送アームＦは、搬送領域１４において前後移動、昇降移動且つ鉛直軸周りに回転可能であり、且つウエハＷを保持する進退自在なフォーク５８を支持するベース体５７（図１、図３参照）を備えている。フォーク５８が各モジュールに正確にウエハＷを受け渡すようにするために、各搬送アームＦのベース体５７に水準計測器４１を各々載置し、各水準データに基づいて処理ブロックＤ２の各脚部３１の高さを調整することで、当該ベース体５７の水準を調整することができる。

このようにベース体５７の水準を調整する場合は、データ処理部４２のメモリ４７には、載置台−脚部対応データに相当するデータとして、各搬送アームＦ１〜Ｆ６について、処理ブロックＤ２に設けられる多数の脚部３１のうち水準を調整するように決められた脚部３１を規定したデータが記憶される。さらに、上記の水準変動データに相当するデータとして、処理ブロックＤ２の各脚部３１のアジャスタ３３を１回転させたときにおける、各ベース体５７に載置した水準計測器４１から取得されるポイントＰの変動量についてのデータが、メモリ４７に記憶される。

続いて、上記のレジスト塗布モジュール２の水準調整について説明する。概略縦断側面図である図１７を用いて、レジスト塗布モジュール２についてより詳しく説明すると、レジスト塗布モジュール２は例えば２つの処理部６１を備えている。処理部６１は、ウエハＷの裏面中央部を水平に吸着保持するための円形のスピンチャック６２と、スピンチャック６２を回転させる回転機構６３と、スピンチャック６２に保持されたウエハＷを囲むカップ６４と、を備えている。カップ６４には、カップ６４内の液を排出する排液口と、カップ６４内を排気する排気口とが設けられるが、図示は省略している。図中６５は、ウエハＷの中心部にレジストを供給するノズルであり、ウエハＷの回転によってウエハＷの中心部に供給されたレジストは遠心力によってウエハＷの周縁部に展伸され、レジストがウエハＷの表面全体に塗布される。

図中６６は、回転機構６３及びスピンチャック６２を支持する円形の支持板である。図中６７は床板であり、支持板６６はボルトなどの固定具６８により床板６７上に固定される。床板６７と支持板６６との間には、薄板であるシム６９が挿入される。図１８に示すように、シム６９が挿入される挿入領域６０は支持板６６の周方向に３つ、互いに離れて設けられている。図１８は、後述の測定用冶具７を設置した状態のスピンチャック６２を示しており、当該図１８ではカップ６４については省略している。上記のシム６９は、複数枚を重ねることで厚さを調整することが可能であり、各シム６９の厚さを調整することによって、スピンチャック６２の水準を調整することができる。レジスト塗布モジュール２の水準調整として、このスピンチャック６２の水準調整が行われる。

続いて、スピンチャック６２の水準調整に用いられる測定用冶具７について、図１９の斜視図及び図２０の縦断側面図も参照しながら説明する。測定用冶具７は、水準計測器７１及びプレート７２により構成される。水準計測器７１は、図２などで説明した水準計測器４１と略同様に構成されており、差異点としては側方に突起７１Ａが形成されていることが挙げられる。水準計測器７１から出力される水準データを上記のデータ処理部４２が受信し、データ処理部４２は当該水準データであるポイントＰのｘ、ｙを表示部４５に表示する。

プレート７２は、水準計測器７１を安定してスピンチャック６２上に載置する役割を有しており、円形に構成されると共にその周縁は垂直に折り曲げられている。プレート７２はスピンチャック６２に着脱自在に構成され、スピンチャック６２への装着時にはプレート７２の下面及びプレート７２の周縁が、スピンチャック６２の表面及び周縁にフィットする。そして、プレート７２とスピンチャック６２との間の摩擦によって、作業者がプレート７２を回転させるとスピンチャック６２も回転する。

プレート７２の中央部には上方へ突出するリング状の突起７３が設けられ、突起７３には当該突起７３の上端から下方へ向かう細長の４つの切り欠き７４が設けられる。各切り欠き７４は、プレート７２の中心から見て９０度ずつ周方向にずれた位置に形成されている。突起７３の内周側面は、水準計測器７１の外周側面にフィットするように形成され、４つの切り欠き７４のうちの１つに突起７１Ａが収まるように水準計測器７１がプレート７２の中心部上に載置される。つまり、突起７１Ａ及び切り欠き７４は、プレート７２上における水準計測器７１の位置及び向きを規制するために形成されている。水準計測器７１は、プレート７２に対して着脱自在に構成されている。図中７５は、プレート７２の向きを示す基準線である。

以下、この測定用冶具７を用いて行うスピンチャック６２の水準調整について説明する。先ず作業者が、スピンチャック６２の向きを示すラベル（不図示）と基準線７５との位置が揃うようにプレート７２をスピンチャック６２に載置し、突起７１Ａが所定の方向を向くように水準計測器７１をプレート７２に載置する。このように載置された水準計測器７１から水準データが取得される。続いて作業者が水準計測器７１をプレート７２から取り外し、プレート７２をスピンチャック６２と共に９０°回転させ、先の水準データ取得時と同じ向きで水準計測器７１をプレート７２に載置する。つまり、先の水準データ取得時と比較して、プレート７２及びスピンチャック６２に対する水準計測器７１の向きは９０°変わるが、床板６７に対する向きは変化しないように水準計測器７１がプレート７２に載置される。然る後、水準データが取得される。

その後、作業者による水準計測器７１のプレート７２からの取り外し、プレート７２及びスピンチャック６２の９０°回転、先の水準データ取得時と床板６７に対する向きが同じになるように水準計測器７１のスピンチャック６２への載置、及び水準データの取得が２回繰り返し行われる。つまり、スピンチャック６２が９０°ずつ互いに異なる方向を向いた４つの状態における水準データが取得される。取得された各水準データに基づいて、作業者は各挿入領域６０のシム６９の厚さを調整し、スピンチャック６２の水準を調整する。調整後は再度、スピンチャック６２を９０°ずつ回転させて水準データを取得し、必要であれば再度シム６９の厚さを調整する。

上記のプレート７２は、取り扱い時に床への落下などによる破損を防ぐために、アルミニウムなどの金属や樹脂などの材料により構成される。また、プレート７２の径は、ウエハＷの径よりも小さく、プレート７２をスピンチャック６２に装着したまま作業者が、挿入領域６０にアクセスしてシム６９の着脱を行うことができる。従って、ウエハＷの破損を防ぐこと及び作業を簡易にするという観点から、上記のようにプレート７２上に水準計測器７１を載置して水準データを取得する手法は、例えばプレート７２の代わりにウエハＷをスピンチャック６２上に載置し、当該ウエハＷ上に水準計測器７１を載置して水準データを取得する手法よりも有利である。

このレジスト塗布モジュール２では、スピンチャック６２ごとに上記の水準が変更自在な支持板６６が設けられているため、シム６９によって一つのスピンチャック６２の水準を、他のスピンチャック６２の水準が変化しないように調整することができる。ただし、複数の測定用冶具７を用いて、複数のスピンチャック６２の水準データを並行して取得し、図１１のフローチャートで説明したように最終許容範囲Ｒ１から水準が外れているスピンチャック６２について、対応する脚部３１のアジャスタ３３を回転させてスピンチャック６２の水準を調整する場合も本発明の権利範囲に含まれる。測定用冶具７はレジスト塗布モジュール２に用いることに限られず、例えば上記の反射防止膜形成モジュールや現像モジュールなどの各種の液処理モジュールに用いることができる。

上記の水平設置支援装置４における表示部４５は、調整を行う脚部３１と調整量とを作業者に示すことで、被設置物であるキャリアブロックＤ１の水準の調整が行われるように対処するための対処部である。このように作業者により水準の調整が行われる水平設置支援装置４についても本明細書では水平設置装置に含まれるものとする。続いて、本発明の一実施形態に係る水平設置装置８について、図２１を参照して説明する。この水平設置装置８は、上記のキャリアブロックＤ１の載置台１１Ａ〜１１Ｄの水準と、当該キャリアブロックＤ１の移載機構１３によるウエハＷの搬送領域１４をなす床面２４の水準と、が自動で許容範囲内に収まるように調整する。移載機構１３は当該床面２４を左右に移動する移動機構に設けられるため、キャリアＣと移載機構１３との間でウエハＷの搬送を正常に行うために、この水平設置装置８では載置台１１Ａ〜１１Ｄの水準だけではなく、床面２４の水準も調整する。なお、以降の説明で用いる右側、左側とは、特に記載が無い限り、前方側（キャリアブロックＤ１側）から後方側（インターフェイスブロックＤ３側）に向かって見たときの右側、左側であるものとする。

水平設置装置８は、例えば水準計測器４１Ａ〜４１Ｇと、ジャッキ８１Ａ〜８１Ｄと、コントローラ９１と、により構成されている。水準計測器４１Ａ〜４１Ｄは、上記のように左から右に向かって順に配置された載置台１１Ａ〜１１Ｄに夫々、既述の向きで載置されて使用される。水準計測器４１Ｅ、４１Ｆ、４１Ｇについては、既述の水準計測器４１Ａ〜４１Ｄと同様に構成されており、左右に細長に形成された床面２４の長さ方向の左側、中央部、右側に夫々載置されて使用される。また、水準計測器４１Ｅ〜４１Ｇは、水準計測器４１Ａ〜４１Ｄと同じ向きで設置される。水準計測器４１Ａ〜４１Ｇが各々設置される場所が、水準の測定個所である。

キャリアブロックＤ１の筐体１０の底面は矩形状に構成されており、４つのジャッキ８１Ａ〜８１Ｄは、クリーンルームの床面３０に対してこの筐体１０の底面の隅部を各々支持している。この４つのジャッキについて、後方右側、後方左側、前方左側、前方右側に設けられているジャッキを、夫々８１Ａ、８１Ｂ、８１Ｃ、８１Ｄとする。図２１では図示を省略しているが、筐体１０の底面には既述の脚部３１Ａ〜３１Ｉが設けられており、例えばジャッキ８１Ａ〜８１Ｄによる水準調整後は、脚部３１Ａ〜３１Ｉにより筐体１０を床面３０に支持するために、ジャッキ８１Ａ〜８１Ｄは当該筐体１０の底面から取り外すことができるように構成されている。従って、ジャッキ８１Ａ〜８１Ｄは、複数の被設置物を設置するために、これらの被設置物間で使い回すことができる。

高さ調整機構であるジャッキ８１Ａ〜８１Ｄは互いに同様に構成されており、代表してジャッキ８１Ａについて図２２を参照して説明する。ジャッキ８１Ａは例えば、パンタグラフ８２と、棒ネジ８３と、駆動部８４とを備えている。パンタグラフ８２は、その上部に筐体１０を支持する支持部８０を備えている。棒ネジ８３はパンタグラフ８２を構成する上側アーム８５と下側アーム８６とを接続する接続部８７に設けられたネジに螺合している。当該棒ネジ８３を回転させることにより、パンタグラフ８２の折り畳み具合が変化し、床面３０に対する支持部８０の高さが変化する。駆動部８４はモーターを備えており、棒ネジ８３を回転させる。つまり、当該モーターの回転量（出力量）に応じて、支持部８０の高さが変化し、キャリアブロックＤ１の底面の隅部が昇降する。駆動部８４は、コントローラ９１から無線で送信される制御信号の受信部８８を備えており、上記のモーターの回転量は、この制御信号によって制御される。

図２１に戻って演算部及び判定部をなすコントローラ９１について説明する。コントローラ９１は、既述の水平設置支援装置４のデータ処理部４２と同様にコンピュータにより構成されており、以下、このデータ処理部４２との差異点を中心に説明する。コントローラ９１は、受信部９２と、プログラム９３と、メモリ９４と、送信部９５と、を備えている。受信部９２は、データ処理部４２の受信部４３と同様に、水準計測器４１Ａ〜４１Ｇから出力される水準データを各々無線で受信する。

プログラム９３については、上記のプログラム４４との差異点として、水準計測器４１Ａ〜４１Ｇから受信された各水準データと、メモリ９４に格納されたデータと、に基づいて、ステップＳ１〜Ｓ９で示したフローの代わりに、後述するステップＴで示すフローを実行する。メモリ９４に格納されるデータについては後述する。送信部９５は、このステップＴのフローが実行されることで算出された各ジャッキ８１Ａ〜８１Ｄのモーターの回転量に応じた制御信号を、当該ジャッキ８１Ａ〜８１Ｄの受信部８８に無線送信する。また、コントローラ９１には水準調整の開始をユーザーが指示できるように操作部４６と、水準調整の終了をユーザーに報知することができるように表示部４５とが各々設けられている。

続いて、この水平設置装置８における水準調整の概略について説明する。この水平設置装置８では、各水準計測器４１Ａ〜４１Ｇから取得される水準データであるポイントＰ（ｘ、ｙ）が、（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２≦ａとなるように水準の調整が行われるものとする。つまり、原点を中心とする半径ａの円上及び当該円内が水準の許容範囲（スペック）Ｒとされる。上記のように配置された水準計測器４１Ａ〜４１Ｇから各々取得される水準データについて、適正な水準範囲であるこの許容範囲Ｒに含まれない水準データが有る場合には（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が最も大きい水準データを選択し、選択された水準データが許容範囲Ｒ内に収まるように当該水準データに基づいてジャッキ８１Ａ〜８１Ｄのうちの１つまたは２つが選択されて駆動する。この一連の（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が最大となる水準データの選択、及びジャッキ８１Ａ〜８１Ｄの選択、及び選択されたジャッキの選択された水準データに基づく駆動が、水準計測器４１Ａ〜４１Ｇから取得される全ての水準データが許容範囲Ｒに収まるまで繰り返し行われることで、水準調整が行われる。

上記の水準調整におけるジャッキの選択、及び水準データに基づいたジャッキの駆動について、最も大きい（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が水準計測器４１Ａの水準データであるものとして、図２３を参照して説明する。この図２３は、水準計測器４１Ａにより取得されたポイントＰ（ｘ、ｙ）及びＸＹ座標系を示している。また、このＸＹ座標系において、許容範囲Ｒの外側で第１象限、第２象限、第３象限、第４象限に属する領域を、夫々領域９６Ａ、９６Ｂ、９６Ｄ、９６Ｄとして示している。さらに、このＸＹ座標系が設定される位置が水準計測器４１Ａが置かれる位置であるものとして、当該ＸＹ座標系に対するジャッキ８１Ａ〜８１Ｄの位置を図中で概略的に示している。

上記のようにジャッキ８１Ａ〜８１Ｄが筐体１０の底面の隅部に配置され、且つ水準計測器４１Ａは、Ｘ軸、Ｙ軸が左右方向、前後方向に夫々沿って配置されていることから、第１領域９６Ａまたは第３領域９６ＣにポイントＰが位置している場合には、ジャッキ８１Ａまたは８１Ｃを駆動させることにより、第２領域９６Ａまたは第４領域９６ＣにポイントＰが位置している場合には、ジャッキ８１Ｂまたは８１Ｄを駆動させることにより、夫々ポイントＰを許容範囲Ｒに近づけることができる。ここでは、ポイントＰが第１領域９６Ａ、第２領域９６Ｂ、第３領域９６Ｃ、第４領域９６Ｄに位置しているときには、夫々ジャッキ８１Ａ、８１Ｂ、８１Ｃ、８１Ｄが駆動するように選択が行われるものとする。つまり、ジャッキ８１Ａ、８１Ｂ、８１Ｃ、８１Ｄは、ＸＹ座標系の第３象限、第４象限、第１象限、第２象限に対応する位置に夫々配置されており、ポイントＰが位置する象限とは、原点に対して反対の位置の象限に対応する位置のジャッキが駆動するように選択される。このようにポイントＰが許容範囲Ｒの外において第１〜第４象限のいずれかに含まれる場合には、１つのジャッキが選択される。なお、図２３に示した例ではポイントＰが第２領域９６Ｂに位置しているので、ジャッキ８１Ｂが駆動するように選択される。

また、ポイントＰが許容範囲Ｒの外において第１〜第４のいずれの象限にも属さない場合、つまりＸ軸上またはＹ軸上に位置している場合には、例えば２つのジャッキが駆動するように選択される。具体的にポイントＰが、Ｘ軸上の−側に位置する場合には例えばジャッキ８１Ｂ及び８１Ｃが、Ｘ軸上の＋側に位置する場合には例えばジャッキ８１Ａ及び８１Ｄが、Ｙ軸上の−側に位置する場合には例えばジャッキ８１Ｃ及び８１Ｄが、Ｙ軸上の＋側に位置する場合には例えばジャッキ８１Ａ及び８１Ｂが夫々選択される。上記のメモリ９４には、このように水準データであるポイントＰのＸＹ座標系における位置と、８１Ａ〜８１Ｄのうち水準調整を行うために駆動するように選択されるジャッキとの対応関係が記憶されている。なお、図６〜図８で説明したように、Ｘ軸及びＹ軸において＋側、−側のうち高さが大きい方の側にポイントＰが位置する。従って、この例では選択されたジャッキは、支持部８０の高さが増大するように調整されて、水準の調整が行われる。

このように（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が最大となるポイントＰの位置に基づいて選択されたジャッキについて、例えば当該（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２に対応する量だけ、支持部８０の高さが上昇するように制御信号が出力される。つまり、選択されたジャッキを駆動することでポイントＰ（ｘ、ｙ）が原点に向かって移動するものとみなすと共に、Ｐ（ｘ、ｙ）の目標を原点（０、０）として、この目標と取得された水準データとの偏差に相当する量だけ、選択されたジャッキを駆動させる。そのようにジャッキを動作させるために、メモリ９４には、上記の（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２とパンタグラフ８２の支持部８０の高さの調整量である上記の駆動部８４のモーターの回転量との対応関係についても記憶される。

ところで、ポイントＰ（ｘ、ｙ）の目標値としては原点とすることには限られず、許容範囲Ｒ内における原点以外の点を設定してもよい。また、支持部８０の高さを上昇させることで水準の調整が行われるようにジャッキが選択されることには限られず、支持部８０の高さを低下させることで水準の調整が行われるようにジャッキが選択されるようにしてもよい。

続いて、図２４のフローチャートを用いて、上記の水準調整の手順を説明する。先ず、例えばジャッキ８１Ａ〜８１Ｄのパンタグラフ８２が畳まれ、キャリアブロックＤ１の筐体１０の底面がクリーンルームの床面３０に最も近接した状態で、ユーザーがコントローラ９１の操作部４６から水準調整を実行する指示を行う。それによって、例えば脚部３１などが床面３０に接触して水準調整を妨げることを防ぐために、パンタグラフ８２の支持部８０が所定の量例えば１５０ｍｍ上昇して、筐体１０の高さが上昇する（ステップＴ１）。続いて、水準計測器４１Ａ〜４１Ｇから、水準データが例えば同時にコントローラ９１に取得される（ステップＴ２）。そして、水準計測器４１Ａ〜４１Ｇから各々取得された水準データが、全て許容範囲Ｒ内に収まっているか否かが判定される（ステップＴ３）。

ステップＴ３の判定で、取得した水準データについて許容範囲Ｒから外れたものがあると判定された場合は、許容範囲Ｒから外れた水準データのうち、（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２が最も大きい水準データが特定される（ステップＴ４）。この特定された水準データに基づいて図２２で説明したように８１Ａ〜８１Ｄのうち駆動させるジャッキが選択される（ステップＴ５）。さらにステップＴ４で特定された水準データの（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２から選択されたジャッキの駆動部８４のモーターの回転量が算出される（ステップＴ６）。然る後、この算出された回転量に対応する制御信号が、ステップＴ５で選択されたジャッキに送信され、当該制御信号に基づいてモーターが駆動して当該ジャッキの支持部８０の高さが上昇し、キャリアブロックＤ１の筐体１０の各部における水準が変化する。その後、上記のステップＴ２の各水準計測器４１Ａ〜４１Ｇからの水準データの取得が行われ、続いて上記のステップＴ３の判定が実行される。つまり、ジャッキ８１Ａ〜８１Ｄのいずれかによる更なる調整が必要か否かの判定が行われる。

ステップＴ３の判定によって、全ての水準計測器４１Ａ〜４１Ｇから各々取得された水準データが、全て許容範囲Ｒ内に収まっていると判定された場合、コントローラ９１の表示部４５に水準調整が終了した旨が表示される。作業者は、脚部３１のアジャスタ３３を調整して、脚部３１により筐体１０を床面３０に支持し、ジャッキ８１Ａ〜８１Ｄを筐体１０から取り外す。然る後、載置台１１Ａ〜１１ＤにキャリアＣを設置し、床面２４には移載機構１３を設置して、キャリアブロックＤ１におけるウエハＷの搬送を行う。なお、このアジャスタ３３の調整を行わず、キャリアブロックＤ１がジャッキ８１Ａ〜８１Ｄに支持されたまま、当該キャリアブロックＤ１によるウエハＷの搬送を行ってもよい。

この水平設置装置８によれば、水準計測器４１Ａ〜４１Ｇにより測定される水準が自動で許容範囲Rに収まるように調整が行われる。従って、作業者の負担を無くすか、あるいはより一層軽減することができる。なお、水平設置装置８における高さ調整部としては、コントローラ９１からの制御信号に基づいて筐体１０の高さを変化させることができればよく、上記のジャッキ８１Ａ〜８１Ｄの構成には限られない。例えば床面３０に設置された本体部に対して、筐体１０を支持する垂直なシリンダが昇降するように構成されたものであってもよい。シリンダを昇降させる駆動機構としては、上記のようにモーターが用いられた電動駆動機構であってもよいし、空気圧や油圧によってシリンダを昇降させるように構成されていてもよい。またジャッキ８１Ａ〜８１Ｄを、設ける数及び設ける位置についても既述の例には限られない。なお、本発明は説明した実施例に限られず、適宜な変更や実施例同士の組み合わせが可能である。

Ｗ ウエハ
１ 塗布、現像装置
１０ 筐体
１１ 載置台
Ｄ１ キャリアブロック
３１ 脚部
３３ アジャスタ
４ 水平設置支援装置
４１ 水準計測器
４２ 本体部
４４ プログラム
４５ 表示部
８ 水平設置装置
８１Ａ〜８１Ｄ ジャッキ
９１ コントローラ
９３ プログラム

Claims (15)

1. 被設置物を、下部に設けられた複数の高さ調整機構により調整して水平に支面に設置するための水平設置装置において、
   前記被設置物の複数の測定個所に夫々設置される水準計測器と、
   各水準計測器の測定値のうち適正な水準範囲から外れた測定値を当該適正な水準範囲に収めるために、少なくとも一つの高さ調整機構の調整量を演算する演算部と、
   演算された前記調整量に基づいた対処動作を行う対処部と、
   を備えることを特徴とする被設置物の水平設置装置。
2. 前記高さ調整機構は、前記支面からの高さが調整自在であると共に前記被設置物を支持する支持部を備え、
   前記対処部は、前記調整量に基づいて前記支持部を昇降させる昇降駆動部を備えることを特徴とする請求項１記載の被設置物の水平設置装置。
3. 前記昇降駆動部による前記支持部の高さ調整後に、各水準計測器の測定値と、適正な水準範囲とに基づいて、複数の高さ調整機構のうちのいずれかの調整が更に必要か否かを判定する判定部が設けられ、
   複数の高さ調整機構のうちのいずれかの調整が更に必要と判定された場合に、前記演算部は、前記高さ調整機構の調整量の演算を再度行うことを特徴とする請求項２記載の被設置物の水平設置装置。
4. 前記演算部は、最も大きく前記適正な水準範囲から外れた測定値が当該適正な水準範囲に収まるように、高さ調整機構の調整量を演算することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の被設置物の水平設置装置。
5. 前記演算部は、各測定個所ごとに各高さ調整機構の調整量とｘ、ｙ方向の各々の水平からの乖離値との対応関係を求めた第１の情報と、各水準計測器の測定値と、適正な水準範囲と、測定個所の調整に対していずれの高さ調整機構が関与するのかという第２の情報と、に基づいて、前記高さ調整機構の調整量を演算し、
   前記対処部は、前記測定個所の調整を行うための高さ調整機構と、前記演算部にて得られた高さ調整機構の調整量とを表示する表示部であることを特徴とする請求項１記載の被設置物の水平設置装置。
6. 前記演算部は、測定値が最も大きく前記適正な水準範囲から外れた水準計測器が設置された測定個所、あるいは測定値が前記適正な水準範囲から外れた水準計測器が設置された測定個所のうち前記第２の情報で調整に関与する高さ調整機構の数が最も多い測定個所について、前記第１の情報で関与する高さ調整機構の調整量を演算することを特徴とする請求項５記載の被設置物の水平設置装置。
7. 前記演算部は、一の測定個所に対する高さ調整機構の調整量を複数演算できる場合、他の測定個所に設置された前記水準計測器の測定値と、前記第１の情報と、に基づいて前記複数の調整量のうちの一つを選択し、
   前記表示部に前記演算部により選択された調整量が表示されることを特徴とする請求項５または６記載の被設置物の水平設置装置。
8. 前記各水準計測器から前記演算部へ、無線で前記測定値が送信されることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一つに記載の被設置物の水平設置装置。
9. 被設置物を、下部に設けられた複数の高さ調整機構により調整して水平に支面に設置するための被設置物の水平設置方法において、
   前記被設置物の複数の測定個所に夫々水準計測器を設置する工程と、
   次に、各水準計測器の測定値のうち適正な水準範囲から外れた測定値を当該適正な水準範囲に収めるために、少なくとも一つの高さ調整機構の調整量を演算する演算工程と、
   続いて、演算された調整量に基づいて前記高さ調整機構の高さを調整する高さ調整工程と、
   を備えることを特徴とする被設置物の水平設置方法。
10. 前記高さ調整工程は、前記高さ調整機構を構成し、前記支面からの高さが調整自在であると共に前記被設置物を支持する支持部を、昇降駆動部によって前記調整量に基づいて昇降させる工程を備えることを特徴とする請求項９記載の被設置物の水平設置方法。
11. 前記昇降駆動部による前記支持部の高さ調整後に、各水準計測器の測定値と、適正な水準範囲とに基づいて、複数の高さ調整機構のうちのいずれかの調整が更に必要か否かを判定する判定工程と、
    前記判定工程によって複数の高さ調整機構のうちのいずれかの調整が更に必要と判定された場合に、前記演算工程と前記高さ調整工程とが再度行われることを特徴とする請求項９または１０記載の被設置物の水平設置方法。
12. 前記演算工程は、最も大きく前記適正な水準範囲から外れた測定値が当該適正な水準範囲に収まるように、高さ調整機構の調整量を演算する工程を含むことを特徴とする請求項９ないし１１のいずれか一つに記載の被設置物の水平設置方法。
13. 前記演算工程は、各測定個所ごとに各高さ調整機構の調整量とｘ、ｙ方向の各々の水平からの乖離値との対応関係を求めた第１の情報と、各水準計測器の測定値と、適正な水準範囲と、測定個所の調整に対していずれの高さ調整機構が関与するのかという第２の情報と、に基づいて、測定個所に対する高さ調整機構の調整量を演算する工程を含み、
    前記測定個所の調整を行うための高さ調整機構と、前記演算工程にて得られた高さ調整機構の調整量とを表示部に表示する表示工程を含み、
    前記高さ調整工程は、前記表示部の表示に基づいて高さ調整機構の高さを調整する工程を含むことを特徴とする請求項９記載の被設置物の水平設置方法。
14. 前記演算工程は、測定値が最も大きく前記適正な水準範囲から外れた水準計測器が設置された測定個所、あるいは測定値が前記適正な水準範囲から外れた水準計測器が設置された測定個所のうち前記第１の情報で調整に関与する高さ調整機構の数が最も多い測定個所について、前記第２の情報で関与する高さ調整機構の調整量を演算する工程を含むことを特徴とする請求項１３記載の被設置物の水平設置方法。
15. 前記演算工程は、一の測定個所に対する高さ調整機構の調整量を複数演算できる場合、他の測定個所に設置された前記水準計測器の測定値と、前記第１の情報と、に基づいて前記複数の調整量のうちの一つを選択する工程を含み、
    前記表示工程は、選択された調整量が表示されることを特徴とする請求項１３または１４記載の被設置物の水平設置方法。
    
    

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