CN103253512A - 传送系统 - Google Patents

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CN103253512A CN2013100512096A CN201310051209A CN103253512A CN 103253512 A CN103253512 A CN 103253512A CN 2013100512096 A CN2013100512096 A CN 2013100512096A CN 201310051209 A CN201310051209 A CN 201310051209A CN 103253512 A CN103253512 A CN 103253512A
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Yaskawa Electric Corp
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Abstract

本发明提供一种传送系统，所述传送系统包括：基板定位装置；具有第一机器人与第二机器人的机器人；以及机器人控制装置，所述机器人控制装置包括第一机器人控制装置与第二机器人控制装置，所述第一机器人与所述基板定位装置连接至所述第一机器人控制装置，所述第二机器人连接至所述第二机器人控制装置。所述第一机器人控制装置包括获取单元以及传输单元，所述获取单元构造成从所述基板定位装置至少获取所述安装台的旋转中心与被定位的基板的中心位置之间的绝对偏差量，所述传输单元构造成根据由所述获取单元获取的绝对偏差量向所述第二机器人所连接的所述第二机器人控制装置传输校正信息。

Description

传送系统
技术领域
在此公开的实施方式涉及一种传送系统。
背景技术
传统公知一种用于传送诸如半导体晶片或液晶面板之类的薄工件的机器人，以及一种用于通过检测工件的取向而调整薄工件的调整器装置。在下面的描述中，将调整器装置称作“基板定位装置”。
有时有这样的情况，在局部清洁的传送室内安装多个机器人以便提高吞吐量。经常有这样的情况，即便在传送室内安装多个机器人，在传送室内也仅布置一个基板定位装置。
已经提出一种技术，该技术通过使用用于管理传送室并控制机器人的操作的机器人控制装置而控制多个机器人（例如参见日本专利申请2011-249726号公报）。
在上述传统的传送系统中，多个机器人由一个机器人控制装置控制。这造成施加给机器人控制装置沉重负担的问题。
在额外安装机器人以及基板定位装置的情况下，需要改变机器人控制装置的控制方法。因此，需要定制每种系统配置。
发明内容
在此公开的实施方式提供一种能够轻松应对系统配置变化的传送系统。
根据本发明的一个方面，提供一种传送系统，该传送系统包括：基板定位装置，该基板定位装置包括能绕旋转中心旋转的安装台，所述基板定位装置构造成对置于所述安装台上的基板执行位置校准；多个机器人，这些机器人构造成将所述基板传送至所述基板定位装置以及从所述基板定位装置传送所述基板，这些机器人包括第一机器人与第二机器人；以及多个机器人控制装置，这些机器人控制装置以与所述多个机器人对应的关系设置，并构造成控制所述机器人的操作，这些机器人控制装置包括第一机器人控制装置与第二机器人控制装置，所述第一机器人与所述基板定位装置连接至所述第一机器人控制装置，所述第二机器人连接至所述第二机器人控制装置，其中，所述第一机器人控制装置包括获取单元以及传输单元，所述获取单元构造成从所述基板定位装置至少获取所述安装台的旋转中心与被定位的所述基板的中心位置之间的绝对偏差量，所述传输单元构造成向所述第二机器人所连接的所述第二机器人控制装置传输基于由所述获取单元获取的所述绝对偏差量的校正信息。
根据一个实施方式能轻松应付系统配置的改变。
附图说明
图1是示出根据本实施方式的传送系统的示意平面图。
图2是示出根据本实施方式的机器人的示意立体图。
图3是示出根据本实施方式的传送系统的框图。
图4是示出基板定位装置的示意平面图。
图5是示出示教位置的图。
图6是示出中心位置偏差量的图。
图7是示出校正处理的处理顺序的流程图。
具体实施方式
现将参照形成本发明的一部分的附图详细描述在此公开的传送系统的一个实施方式。然而，本发明不限于以下描述的实施方式。
以下将借助实施例描述用于通过使用机器人传送诸如半导体晶片之类的薄工件的传送系统。薄工件将被称作“晶片”。用于保持晶片的机器人的机器人手将被称作“手”。
首先，将参照图1描述根据本实施方式的传送系统1。图1是示出根据本实施方式的传送系统1的示意平面图。
在根据本实施方式的传送系统1中，如图1所示，分别为第一机器人10与第二机器人20设置第一机器人控制装置30与第二机器人控制装置40。第一机器人10与第二机器人20的操作分别由第一机器人控制装置30与第二机器人控制装置40控制。第一机器人控制装置30也控制基板定位装置50的操作。第一机器人控制装置30可接收来自基板定位装置50的信息，并且可将所述信息传输至第二机器人控制装置40。
如图1所示，根据本实施方式的传送系统1包括主机设备60、第一机器人控制装置30、第二机器人控制装置40、第一机器人10、第二机器人20以及基板定位装置50。
第一机器人控制装置30与第二机器人控制装置40连接至主机设备60，并且可与主机设备60通信。第一机器人10与基板定位装置50连接至第一机器人控制装置30，并且可与第一机器人控制装置30通信。第二机器人20连接至第二机器人控制装置40，并且可与第一机器人控制装置40通信。第二机器人控制装置40连接至第一机器人控制装置30，并且可与第一机器人控制装置30通信。
主机设备60是用于对传送系统1执行全面控制与管理的装置。例如，主机设备60通过第一机器人控制装置30指示第一机器人10卸载置于基板定位装置50上的晶片3，并且将晶片3传送至与传送室2并排安装的处理室6。
第一机器人控制装置30是用于控制第一机器人10的操作的控制器。第二机器人控制装置40是用于控制第二机器人20的操作的控制器。第一机器人控制装置30也控制用于定位晶片3的基板定位装置50的操作。
用于传送晶片3的第一机器人10与第二机器人20以及基板定位装置50被布置在传送室2中。传送室2是被称做EFEM（设备前端模块）的清洁室。
用于净化气体的过滤器（未示出）设置在传送室2上方。由所述过滤器净化过的向下流动的洁净气流对传送室2的内部进行局部清洁。第一机器人控制装置30与第二机器人控制装置40可被布置在传送室2内。
依照从连接至各自的机器人10与20的机器人控制装置30与40发出的传送指令，每个机器人10与20从与传送室2并排布置的储存容器5取出晶片3。然后，每个机器人10与20将晶片3带至基板定位装置50上，或者将晶片3传送至目标位置。
储存容器5是一种箱形容器，其能够储存沿高度方向呈多级式的多个晶片3。更具体地说，储存容器5是由SEMI（半导体设备与材料国际）标准规定的所谓的FOUP（前端开启式标准盒）。
布置在传送室2中的基板定位装置50包括可绕旋转中心旋转的安装台51（参见图4）。当将晶片3置于安装台51上时，基板定位装置50执行定位晶片3的任务。基板定位装置50检测由此定位的晶片3的中心位置并且将所检测出的中心位置传输至第一机器人控制装置30。随后将参照图4描述基板定位装置50的细节。
同时，第一机器人控制装置30根据安装台51的旋转中心与从基板定位装置50接收的被定位的晶片3的中心位置之间的绝对偏差量计算校正信息。第一机器人控制装置30根据由此计算的校正信息校正晶片3的卸载位置。
当第一机器人10卸载置于基板定位装置50上的晶片3时，第一机器人控制装置30使第一机器人10移动至的晶片3的校正后的卸载位置。
另一方面，当第二机器人20卸载置于基板定位装置50上的晶片3时，传送系统1以下面的方式使第二机器人20移动至晶片3的校正后的卸载位置。
就这一点而言，基板定位装置50仅连接至第一机器人控制装置30。为此，第二机器人20关于第一机器人10的相对位置预存在第一机器人控制装置30中。
然后，第一机器人控制装置30根据从基板定位装置50接收的被定位的晶片3的中心位置与安装台51的旋转中心之间的绝对偏差量计算校正信息。
随后，第一机器人控制装置30根据上述相对位置与所计算的校正信息校正晶片3相对于第二机器人20的卸载位置。第一机器人控制装置30将校正后的卸载位置传输至第二机器人控制装置40。同时，第二机器人控制装置40使第二机器人20移动至晶片3的校正后的卸载位置。
因此，即便第二机器人控制装置40未连接至基板定位装置50，第二机器人控制装置40也可使第二机器人20移动至通过反应被定位的晶片3的中心位置与安装台51的旋转中心之间的偏差量而限定的准确位置。
在上述本实施方式的传送系统中，机器人控制装置设置至相应的机器人从而控制所连接的机器人的操作。第一机器人与基板定位装置所连接至的第一机器人控制装置获取所述旋转中心与来自基板定位装置的被定位的基板的中心位置之间的绝对偏差量。然后，第一机器人控制装置根据基于上述相对位置与所获取的绝对偏差量的校正信息而相对于第二机器人校正晶片3的卸载位置。第一机器人控制装置将校正后的卸载位置传输至第二机器人所连接至的第二机器人控制装置。第二机器人控制装置使第二机器人移动至晶片3的校正后的卸载位置。
因此，根据本实施方式的传送系统可通过分散施加至各个机器人控制装置的负担而减少施加至各个机器人控制装置的负担。在根据本实施方式的传送系统中，即便额外又安装机器人和基板定位装置，也不需要定制每个系统配置。因此可轻松应对系统配置的改变。
尽管在本实施方式中两个机器人彼此共用一个基板定位装置，但本发明并不限于此。例如，可采用三个或更多个机器人彼此共用一个基板定位装置的构造。
接着，将参照图2详细描述根据本实施方式的第一机器人10。图2是示出根据本实施方式的第一机器人10的示意立体图。在图2中，为了容易描述，以局部简化的形式示出机器人10。第二机器人20具有与第一机器人10相同的构造。因此，将不予描述第二机器人20。
如图2中所示，第一机器人10是水平多关节机器人，其包括两个关于各自的垂直轴线水平摆动的臂。更具体地说，第一机器人10包括主体单元12与臂单元13。
臂单元13包括第一臂14、第二臂15以及手16，该手能够保持作为待传送的目标物的晶片3。臂单元13可水平旋转地支撑在设置有升降机构的主体单元12的上部。
更具体地说，第一臂14的基端部可旋转地连接至主体单元12的上部。第二臂15的基端部可旋转地连接至第一臂14的末端部的上部。手16可旋转地连接至第二臂15的末端部。
第一臂14、第二臂15以及手16可相对于彼此旋转，并且借助包括马达与减速器的机构旋转。包括马达与减速器的机构可设置在主体单元12中，或者可布置在臂单元13内。
第一机器人10通过旋转第一臂14、第二臂15以及手16而使手16移动至目标位置。第一机器人10可通过同步操作第一臂14与第二臂15而使手16线性运动。
设置在主体单元12中的所述升降机构包括直线运动引导装置、滚珠丝杠以及马达。升降机构通过将马达的旋转运动转换为直线运动而使臂单元13沿垂直方向上下移动。所述升降机构可利用沿垂直方向延伸的带使臂单元13上下移动。
通过这种构造，第一机器人10可一边垂直移动、旋转臂单元13，一边从基板定位装置50卸载晶片3，传送晶片3。第一机器人10可将晶片3搬运至处理室6，或可将晶片3传送至目标位置。
处理室6是与传送室2并排安装的室。用于使晶片3经受诸如CVD（化学气相沉淀）、曝光、蚀刻、或灰化之类的预定处理的装置布置在处理室6内。
尽管以上描述了具有一个臂单元13的第一机器人10，但是可采用包括两个臂单元13的双臂机器人，或包括三个臂或更多个臂单元13的机器人。在双臂机器人的情况下，可同时执行两项任务，例如，一边用一个臂单元13从预定传送位置取出晶片3，一边用另一个臂单元13装载新晶片3至传送位置。
第一机器人10可具有两个或更多个手16布置在第二臂15中的构造。在此情况下，手16安装在一个轴上以相对于彼此旋转。
接着，将参照图3描述根据本实施方式的传送系统1的构造。图3是示出根据本实施方式的传送系统1的框图。
如图3中所示，传送系统1包括主机设备60、第一控制装置30、第二控制装置40、第一机器人10、第二机器人20以及基板定位装置50。主机设备60是用于对传送系统1执行全面控制与管理的装置。
当晶片3被置于基板定位装置50上时，基板定位装置50执行晶片3的定位。现在将参照图4描述基板定位装置50对晶片3的定位。图4是示出基板定位装置50的示意平面图。在图4中，为了容易描述，以局部简化的形式示出了基板定位装置50。将适当使用图4的右上部区域中所示的坐标系做出以下描述。
如图4中所示，基板定位装置50包括安装台51与传感器单元52。安装台51可与置于安装台51上的晶片3一起绕旋转中心C旋转（参见图4中所示的箭头）。安装台51借助包括马达、减速器等的机构旋转。
尽管图4中未示出，但是基板定位装置50可包括吸引单元，该吸引单元用于朝安装台51吸引晶片3。所述吸引单元以预定的保持力（即吸引力）保持晶片3，并且防止由离心力引起晶片3的不对准，由此提高定位精度。基板定位装置50可以是所谓的边缘夹持型装置，其通过夹持晶片3的外周边缘而旋转晶片3。
传感器单元52是用于检测例如在晶片3的外周边缘中形成的例如切口（在下文中称作“凹口4”）的检测器单元。在本实施方式中，将通过实施例的方式描述由光学传感器形成的传感器单元52。
传感器单元52包括光发射器（未示出）与光接收器（未示出）。所述发射器与所述光接收器以一间隙沿Z轴方向对置，所述间隙用于使晶片3的外周边缘在所述发射器与所述光接收器之间通过。所述光接收器接收从所述发射器发射的光。
传感器单元52根据在晶片3旋转时阻断从光发射器所发射的光而引起的光接收器接收到的光的变化，检测凹口4。尽管在这里描述了光学传感器的使用，但是可摄取晶片3的图像，并使用由此摄取的图像检测凹口4。
当从基板定位装置50卸载、传送晶片3，并将晶片搬运到预定处理室6时，需要对准晶片3的各自的晶轴方向。为此，基板定位装置50需要使晶片3的凹口4相对于卸载晶片3的机器人10或20沿预定方向取向。
如果传感器单元52检测凹口4，那么基板定位装置50将置于安装台51上的晶片3移动至相对于卸载晶片3的机器人10或20来说最佳的位置。在下文中此操作被称作“凹口位置校准”。
基板定位装置50检测经过凹口位置校准的晶片3的中心位置，并且向第一机器人控制装置30传输所检测出的晶片3的中心位置。在本技术领域中公知检测晶片3的中心位置的方法（例如参见日本专利4400341号公报），将在此省略其描述。在上述的方式中，基板定位装置50执行对晶片3的定位。
返回来参照图3，第一机器人控制装置30包括位置获取单元31、校正单元32、卸载位置传输单元33以及存储单元34。第一机器人控制装置30控制第一机器人10与用于定位晶片3的基板定位装置50的操作。
存储单元34由诸如RAM（随机存取存储器）或非易失存储器之类的存储装置形成。存储单元34存储位置信息34a。
位置信息34a是表示第二机器人20相对于第一机器人10的相对位置的信息。例如，将第一机器人10与第二机器人20之间的距离与角度作为位置信息34a。
位置获取单元31执行如下处理，接收来自基板定位装置50的经过凹口位置校准的晶片3的中心位置，并向校正单元32传送晶片3的中心位置。
校正单元32根据安装台51的旋转中心C与从位置获取单元31接收的晶片3的中心位置之间的绝对偏差量计算校正信息。当由第一机器人10卸载置于基板定位装置50上的晶片3时，校正单元32基于计算出的校正信息相对于第一机器人10校正晶片3的卸载位置。此后，第一机器人控制装置30根据晶片3的校正后的卸载位置操作第一机器人10以卸载置于基板定位装置50上的晶片3。
现在将参照图5与图6描述晶片3的中心位置的偏差量。图5是示出示教位置的图。图6是示出中心位置偏差量的图。
在传送系统1中，在用于控制机器人10和20的各个机器人控制装置30与40中存储预先教示的示教数据。表示晶片3的目标传送位置的信息包含在作为示教位置的示教数据中。例如，示教数据包含从第一机器人10指向储存容器5的示教位置，以及从第二机器人20指向处理室6的示教位置。
存储在第一机器人控制装置30中的示教数据包含从第一机器人10指向基板定位装置50的示教位置。
更具体地说，如图5中所示，示教位置是方向为从第一机器人10的预定参照点P朝安装台51的旋转中心C延伸，并且由距离L1与角θ1限定的矢量PC。就此而言，安装台51的旋转中心C是XY坐标的原点。角θ1从Y轴的正向测量所得的角度。
存储在第二机器人控制装置40中的示教数据包含从第二机器人20至基板定位装置50的示教位置。如图5中所示，示教位置是方向为从第二机器人20的预定参照点Q朝安装台51的旋转中心C延伸，并且由距离L2与角θ2限定的矢量QC。
如果置于基板定位装置50上的晶片3的中心与安装台51的旋转中心C对准，那么各个机器人控制装置30与40根据存储在各个机器人控制装置30与40的示教位置操作机器人10与20。
如果如图6中所示，晶片3的中心C0偏离安装台51的旋转中心C，那么即便基板定位装置50完成凹口位置校准，晶片3的中心C0与安装台51的旋转中心C之间也会形成偏差。由虚线表示的晶片3a是置于示教位置中的晶片。
取决于安装台51的旋转中心C与实际放置的晶片3的中心C0之间的偏差量的校正信息是由距离L0与角θ0限定的矢量CC0。根据此校正信息L0与θ0，校正单元32校正相对于第一机器人10的示教位置（矢量PC），并且计算卸载位置（矢量PC0）。
此后，第一机器人控制装置30使第一机器人10移动至由校正单元32校正后的卸载位置（矢量PC0），由此卸载并传送置于基板定位装置50上的晶片3。
如果晶片3的中心C0偏离示教位置的中心C，那么晶片3的最终中心位置根据已经经过凹口位置校准的凹口4的方向而改变。更具体地说，假如置于示教位置的晶片3a定位在与凹口4a具有偏差θ1的位置，那么晶片3的中心位置位于以距离L0和角θ0偏离旋转中心C的位置C0中。因此，校正单元32通过反应角度差θ1校正示教位置。
返回来参照图3，当由第二机器人20卸载置于基板定位装置50上的晶片3时，校正单元32以下面的方式校正晶片3相对于第二机器人20的卸载位置。
与在第一机器人10的情况相同，校正单元32首先根据从基板定位装置50接收的被定位的晶片3的中心位置与安装台51的旋转中心C之间的绝对偏差量来计算校正信息L0与θ0。
然后，校正单元32根据所计算的校正信息L0和θ0与位置信息34a校正晶片3相对于第二机器人20的卸载位置（矢量QC），并计算卸载位置（矢量QC0）。位置信息34a表示第二机器人20相对于第一机器人10的相对位置。校正单元32还执行向卸载位置传输单元33转发所计算出的卸载位置（矢量QC0）的处理。
卸载位置传输单元33将从校正单元32接收的相对于第二机器人20的卸载位置（矢量QC0）传输至第二机器人控制装置40的卸载位置接收单元41。
第二机器人控制装置40包括卸载位置接收单元41与操作指示单元42，并且控制第二机器人20的操作。卸载位置接收单元41接收来自卸载位置传输单元33的相对于第二机器人20的卸载位置（矢量QC0）。
操作指示单元42根据由卸载位置接收单元41接收的相对于第二机器人20的卸载位置（矢量QC0）操作第二机器人20，并卸载置于基板定位装置50上的晶片3。
在本实施方式中，已经利用XY平面上的位置描述了通过机器人控制装置30与40操作机器人10与20中的传送位置与示教位置。然而，事实上，机器人10与20被致使沿高度方向（Z轴方向）移动。在本领域中公知机器人10与20的高度方向移动，在此将省略其描述。
接着，将参照图7描述由第一机器人控制装置30执行的校正处理的细节。图7是示出校正处理的处理顺序的流程图。
如图7中所示，第一机器人控制装置30命令基板定位装置50检测凹口4（步骤S101）。第一机器人控制装置30确定第二机器人20是否卸载置于基板定位装置50上的晶片3（步骤S102）。
如果第二机器人20卸载晶片3（如果在步骤S102中为“是”），那么第一机器人控制装置30命令基板定位装置50执行相对于第二机器人20的凹口位置校准（参见步骤S103）。
位置获取单元31从基板定位装置50获取经过凹口位置校准的晶片3的中心位置C0（步骤S104）。校正单元32根据由位置获取单元31获取的晶片3的中心位置C0与安装台51的旋转中心C之间的绝对偏差量计算校正信息L0与θ0（步骤S105）。
此后，校正单元32根据所计算的校正信息L0与θ0与位置信息34a校正晶片3相对于第二机器人20的卸载位置（矢量QC）（步骤S106），并且计算卸载位置（矢量QC0）。
然后，卸载位置传输单元33向第二机器人控制装置40的卸载位置接收单元41传输晶片3相对于第二机器人20的卸载位置（矢量QC0）（步骤S107），由此一系列处理终止。
另一方面，如果第二机器人20不卸载晶片3（如果在步骤S102中为“否”），那么第一机器人控制装置30命令基板定位装置50执行相对于第一机器人10的凹口位置校准（步骤S108）。
位置获取单元31从基板定位装置50获取经过凹口位置校准的晶片3的中心位置C0（步骤S109）。校正单元32根据由位置获取单元31获取的晶片3的中心位置C0与安装台51的旋转中心C之间的绝对偏差量计算校正信息L0与θ0（步骤S110）。
此后，校正单元32根据所计算的校正信息L0与θ0校正晶片3相对于第一机器人10的卸载位置（矢量PC）（步骤S111），并且计算卸载位置（矢量PC0）。
然后，第一机器人控制装置30基于由校正单元32校正后的卸载位置（矢量PC0）命令第一机器人10卸载晶片3。由此，第一机器人10卸载置于基板定位装置50上的晶片3（步骤S112）。此后，第一机器人控制装置30终止一系列处理。
尽管在本实施方式中，由凹口4的检测、凹口位置校准以及晶片3的卸载由第一机器人控制装置30发出命令，但是这些命令也可由主机设备60发出。
在本实施方式的传送系统1中，第一机器人控制装置30构造成校正晶片3相对于第二机器人20的卸载位置（矢量QC）。然而，本发明并不限于此。例如，第一机器人控制装置30可向第二机器人控制装置40传输校正信息L0与θ0。
第二机器人控制装置40可根据所接收的来自第一机器人控制装置30的校正信息L0与θ0校正晶片3相对于第二机器人20的卸载位置（矢量QC0）。此外，第一机器人控制装置30不需要存储表示第二机器人20相对于第一机器人10的相对位置的位置信息34a。
在上述本实施方式的传送系统1中，为各个机器人设置机器人控制装置，并且由各自的机器人控制装置控制机器人的操作。其中一个机器人控制装置还控制基板定位装置的操作。
通过上述构造，根据本实施方式的传送系统可通过分散施加至各个机器人控制装置上的负担而减少施加至各个机器人控制装置的负担。在根据本所述方式的传送系统中，即便又额外安装机器人与基板控制装置，也不需要定制每个系统的配置。因此可轻松应付系统配置的改变。
本技术领域的技术人员可容易地得到其它效果以及其他变型例。为此，本公开的广义方面不限于以上所示与所描述的具体公开内容及代表性实施方式。此外，在不脱离由所附权利要求及其等同物限定的宗旨与范围的情况下，可以多种不同的形式对本公开作出变型。

Claims (6)

1.一种传送系统，该传送系统包括：
基板定位装置，该基板定位装置包括能绕旋转中心旋转的安装台，所述基板定位装置构造成对置于所述安装台上的基板执行位置校准；
多个机器人，这些机器人构造成将所述基板传送至所述基板定位装置以及从所述基板定位装置传送所述基板，这些机器人包括第一机器人与第二机器人；以及
多个机器人控制装置，这些机器人控制装置以与所述多个机器人对应的关系设置，并构造成控制所述机器人的操作，这些机器人控制装置包括第一机器人控制装置与第二机器人控制装置，所述第一机器人与所述基板定位装置连接至所述第一机器人控制装置，所述第二机器人连接至所述第二机器人控制装置，
其中，所述第一机器人控制装置包括获取单元以及传输单元，所述获取单元构造成从所述基板定位装置至少获取所述安装台的旋转中心与被定位的所述基板的中心位置之间的绝对偏差量，所述传输单元构造成向所述第二机器人所连接的所述第二机器人控制装置传输基于由所述获取单元获取的所述绝对偏差量的校正信息。
2.根据权利要求1所述的传送系统，其中，所述第一机器人控制装置还包括校正单元，所述校正单元构造成将由所述获取单元所获取的所述绝对偏差量校正为相对于连接至所述第二机器人控制装置的所述第二机器人的相对偏差量，所述传输单元构造成向所述第二机器人控制装置传输由所述校正单元校正的作为所述校正信息的所述相对偏差量。
3.根据权利要求2所述的传送系统，其中，所述第一机器人控制装置还包括存储单元，所述存储单元构造成存储关于所述第二机器人相对于所述第一机器人的相对位置的位置信息，所述校正单元构造成根据所述位置信息将所述绝对偏差量校正为所述相对偏差量。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的传送系统，其中，所述第二机器人控制装置包括操作命令单元，所述操作命令单元构造成根据从所述第一机器人控制装置接收的所述校正信息，校正在所述第二机器人朝所述基板定位装置移动的情况下的示教数据，并根据校正后的所述示教数据操作所述第二机器人。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的传送系统，其中，所述获取单元构造成获取所述旋转中心与所述中心位置之间的距离、以及所述旋转中心和所述中心位置之间的互连直线与预定的参考轴线之间的角度作为所述绝对偏差量。
6.根据权利要求4所述的传送系统，其中，所述示教数据包括：所述第二机器人的预定的参照点与所述旋转中心之间的距离；以及所述参照点和所述旋转中心的互连直线与预定的参考轴线之间的角度。
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