TWI796064B - 基板搬送機器人的控制裝置、機器人系統以及關節馬達的控制方法 - Google Patents

基板搬送機器人的控制裝置、機器人系統以及關節馬達的控制方法 Download PDF

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Abstract

本發明提供一種控制裝置。該控制裝置對關節的軸朝向上下方向的基板搬送機器人進行控制。驅動前述關節的關節馬達能夠切換旋轉方向。控制裝置根據位置偏離資訊來修正取出前述基板時以及放置前述基板時中的至少之一的手的位置。控制裝置進行控制，以在前述手到達作為修正後的前述手的位置的修正位置之前，前述手經由中繼位置。控制裝置進行控制，以藉由前述關節馬達向一個方向驅動前述關節，來使前述手到達前述中繼位置，藉由前述關節馬達僅向相同的一個方向驅動前述關節，來使前述手從前述中繼位置到達前述修正位置。

Description

基板搬送機器人的控制裝置、機器人系統以及關節馬達 的控制方法
本發明係有關於一種對關節具有上下方向的軸的基板搬送機器人中的關節進行驅動的馬達的控制。
至今為止，在基板搬送系統中，當在搬送對象的基板產生位置偏離時，藉由改變取出基板時或者放置基板時的手的位置，來消除位置偏離的構成被眾所周知。
專利文獻1公開了具有預對準器裝置的晶圓搬送系統。在專利文獻1中，預對準器裝置描述了一種構成，亦即，預對準器裝置不僅檢測晶圓的凹口位置對準，還檢測以及計算中心偏離量，進行中心對準。在專利文獻1中，作為進行中心對準的方法，舉出了如下方法，亦即，基於中心偏離量的資訊，晶圓搬送系統使晶圓的接收位置相對於預對準器裝置的旋轉中心偏移(修正)，來移動搬送裝置的末端執行器，以在接收到晶圓時中心位置對齊。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特開2010-199245號公報。
在專利文獻1的構成中，晶圓的接收位置可能根據中心偏離量而發生各種變化。通常，在機器人的關節馬達與關節之間配置有減速裝置等。齒輪傳動機構多用於減速裝置。當在手移動的過程中產生關節的旋轉方向的切換時，位置精度因齒輪系的齒隙而降低，有時不能準確地修正中心偏離。
鑒於上述內容，本發明的目的在於不管基板的位置偏離如何產生，都能夠以穩定且較高的精度消除位置偏離。
本發明所要解決的課題如上前述，以下，對用以解決該課題的手段及其功效進行說明。
根據本發明的第一觀點，提供以下構成的基板搬送機器人的控制裝置。亦即，該控制裝置對包括手、關節以及關節馬達的基板搬送機器人進行控制。前述手能夠保持基板。前述關節的軸朝向上下方向。前述關節馬達驅動前述關節。前述關節馬達能夠切換旋轉方向。前述控制裝置根據表示基板的位置偏離的位置偏離資訊，來修正取出前述基板時以及放置前述基板時中的至少之一的前述手的位置。前述控制裝置進行控制，以在前述手到達作為修正後的前述手的位置的修正位置之前，前述手經由中繼位置。前述控制裝置進行控制，以藉由前述關節馬達向一個方向驅動前述關節，來使前述手到達前述中繼位置，藉由前述關節馬達僅向相同的一個方向驅動前述關節，來使前述手從前述中繼位置到達前述修正位置。
藉此，能夠穩定地避免齒隙對關節驅動部分的不良影響。因此，取出基板時以及放置基板時的位置精度較佳。
根據本發明的第二觀點，提供一種機器人系統，該機器人系統包括前述控制裝置以及基板搬送機器人。
藉此，能夠獲得可穩定地提高基板的位置精度的機器人系統。
根據本發明的第三觀點，提供一種以下的關節馬達的控制方法。亦即，該關節馬達的控制方法對包括手、關節以及關節馬達的基板搬送機器人中的前述關節馬達進行控制。前述手能夠保持基板。前述關節的軸朝向上下方向。前述關節馬達驅動前述關節。前述關節馬達能夠切換旋轉方向。在前述控制方法中，根據表示基板的位置偏離的位置偏離資訊，來修正取出前述基板時以及放置前述基板時中的至少之一的前述手的位置。在前述控制方法中，進行控制，以在前述手到達作為修正後的前述手的位置的修正位置之前，前述手經由中繼位置。在前述控制方法中，進行控制，以藉由前述關節馬達向一個方向驅動前述關節，來使前述手到達前述中繼位置，藉由前述關節馬達僅向相同的一個方向驅動前述關節，來使前述手從前述中繼位置到達前述修正位置。
藉此，能夠穩定地避免齒隙對關節驅動部分的不良影響。因此，取出基板時以及放置基板時的位置精度較佳。
根據本發明，無論基板的位置偏離如何產生，都能夠穩定且以較高的精度消除位置偏離。
1:機器人
2:晶圓
4:位置偏離檢測裝置
5:控制器
6:保管容器
10:手
11:機械手臂
12a,12b,12c:關節馬達
13:基座
14:昇降軸
15:第一連桿
16:第二連桿
41:旋轉台
42:線感測器
51:偏離量取得部
52:控制部
100:機器人系統
c1:第一軸(關節)
c2:第二軸(關節)
c3:第三軸(關節)
[圖1]是表示本發明的第一實施形態關於的機器人系統的整體構成的立體圖。
[圖2]是表示機器人的構成的立體圖。
[圖3]是表示機器人系統的一部分的構成的方塊圖。
[圖4]是對與從位置偏離檢測裝置中取出晶圓之前的中繼位置有關的比較例進行說明的俯視圖。
[圖5]是對本實施形態的中繼位置進行說明的俯視圖。
[圖6]是表示三個關節中的取出位置的範圍與中繼位置之間的關係的例子的圖形。
其次，參照圖式對本發明的實施形態進行說明。圖1是表示本發明的第一實施形態關於的機器人系統100的構成的立體圖。圖2是表示機器人1的構成的立體圖。圖3是表示機器人系統100的一部分的構成的方塊圖。
圖1所示的機器人系統100是在無塵室等作業空間內使機器人1進行作業的系統。
機器人系統100包括機器人1、位置偏離檢測裝置(基板對準器)4以及控制器(控制裝置)5。
機器人1例如作為晶圓移載機器人發揮作用，該晶圓移載機器人用於搬送保管在保管容器6的晶圓2。在本實施形態中，機器人1藉由SCARA(Selective Compliance Assembly Robot Arm；選擇順應性關節機械手臂)型水平多關節機器人實現。SCARA是選擇順應性關節機械手臂的簡稱。
機器人1所搬送的晶圓2是基板的一種。晶圓2形成為圓形的薄板狀。
如圖2所示，機器人1包括手(保持部)10、機械手臂11以及關節馬達12a、12b、12c。
手10是末端執行器的一種，通常形成為在俯視時V字形或U字形。手10被機械手臂11(具體為後述的第二連桿16)的前端支撐著。手10以沿上下方向延伸的第三軸c3作為中心相對於第二連桿16旋轉。
機械手臂11主要包括基座13、昇降軸14、第一連桿15以及第二連桿16。
基座13被固定在地板(例如，無塵室的地面)。基座13作為支撐昇降軸14的基本構件發揮作用。
昇降軸14相對於基座13在上下方向移動。能夠藉由該昇降改變第一連桿5、第二連桿16以及手10的高度。
第一連桿15被昇降軸14的上部支撐著。第一連桿15以上下方向延伸的第一軸c1為中心相對於昇降軸14旋轉。因此，能夠在水平面內改變第一連桿15的姿勢。
第二連桿16被第一連桿15的前端支撐著。第二連桿16以上下方向延伸的第二軸c2為中心相對於第一連桿15旋轉。因此，能夠在水平面內改變第二連桿16的姿勢。
這樣，機械手臂11包括軸朝向上下方向的三個關節構成。以下，為了確定每個關節，有時標註中心軸的符號c1、c2、c3來稱呼。
關節馬達12a、12b、12c分別驅動關節c1、c2、c3。藉此，能夠將俯視時的手10的位置以及姿勢改變為各種各樣。關節馬達12a、12b、12c作為是電動馬達的一種的伺服馬達構成。
驅動關節c1的關節馬達12a被配置在第一連桿15。驅動關節c2的關節馬達12b被配置在第一連桿15。驅動關節c3的關節馬達12c被配置在第二連桿16。不過，每個馬達的布局並不限於上述內容。
位置偏離檢測裝置4例如由預對準器(晶圓對準器)構成。如圖1所示，位置偏離檢測裝置4包括旋轉台41以及線感測器42。
旋轉台41能夠藉由省略圖示的電動馬達等使晶圓2旋轉。旋轉台41在晶圓2放置在旋轉台41上的狀態下旋轉。如圖1所示，旋轉台41例如形成為圓柱狀。但是，並不限於此。
線感測器42例如由具有投光部以及受光部的透射型感測器構成。投光部以及受光部彼此對著，且在上下方向具有規定的間隔配置著。線感測器42經由在旋轉台41的直俓方向排列的投光部投射檢測光，經由在投光部的下方設置的受光部接收檢測光。作為檢測光，例如能夠是雷射光。當晶圓2被放置在旋轉台41時，其外邊緣部分位於投光部與受光部之間。
線感測器42電連接在後述的偏離量取得部51。線感測器42將受光部的檢測結果發送給偏離量取得部51。後面將詳細說明，使旋轉台41旋轉時的受光部的檢測結果的變化對應於晶圓2的外邊緣的形狀。能夠根據該外邊緣的形狀檢測晶圓2的中心且從旋轉台41的旋轉中心的位置偏離。因此，在位置偏離檢測裝置4中，位置偏離的檢測基準位置是旋轉台41的旋轉中心。偏離量取得部51根據受光部的檢測結果來取得晶圓2的偏離量。
線感測器42並不限於透射型感測器，例如，也可以由反射型感測器構成。
如圖3所示，控制器5包括偏離量取得部51以及控制部52。控制器5作為包括CPU(Central Processing Unit；中央處理單元)、ROM(Read Only Memory；唯讀記憶體)、RAM(Random Access Memory；隨機存取記憶體)、輔助儲存裝置等的已知的電腦構成。輔助儲存裝置作為例如HDD(Hard Disk Drive；硬碟機)、SSD(Solid State Drives；固態硬碟)等構成。在輔助儲存裝置儲存有用於實現本發明的關節馬達12a、12b、12c的控制方法的機器人控制程式等。藉由這些硬體以及軟體的協同作業，能夠使控制器5作為偏離量取得部51以及控制部52等動作。
如上前述，偏離量取得部51根據來自線感測器42的檢測結果取得晶圓2的偏離量。
控制部52按照預先規定的動作程式或者從使用者輸入的移動指令等，向驅動前述機器人1的各部分的每一個驅動馬達輸出指令值進行控制，使手10移動到預先規定的指令位置。驅動馬達除了包含用於使昇降軸14上下位移的省略圖示的電動馬達之外，還包含前述關節馬達12a、12b、12c。
其次，對使用位置偏離檢測裝置4取得晶圓2的位置偏離的方法進行詳細說明。
控制部52控制機器人1，從保管容器6取出晶圓2，將其搬送給位置偏離檢測裝置4的旋轉台41。在晶圓2被放置在旋轉台41之後，控制部52進行控制，以使機器人1在從位置偏離檢測裝置4稍微退避的規定位置待機。該位置能夠稱為在將晶圓2放置在旋轉台41之後，從旋轉台41取出晶圓2之前，手10經由的中繼位置。後面將詳細說明該中繼位置。
當晶圓2被放置在旋轉台41時，位置偏離檢測裝置4用線感測器42不斷檢測晶圓2的周邊位置，同時，使旋轉台41旋轉。當晶圓2的中心軸2c與旋轉台41的旋轉中心完全一致時，藉由線感測器42檢測的晶圓2的周邊位置無論旋轉台41的旋轉相位如何都恆定。當晶圓2的中心與旋轉台41的旋轉中心偏離時，隨著旋轉台41的旋轉，晶圓2的周邊位置以相應於偏離的距離的振幅發生變化。並且，偏離的朝向例如能夠根據周邊位置成為極大或者極小的旋轉台41的相位取得。
偏離量取得部51根據線感測器42的檢測結果取得偏離量。偏離量表示圖1所示的晶圓2的中心軸2c相對於旋轉台41的旋轉中心在哪一方向偏離多少距離。偏離量能夠例如用平面矢量(ox,oy)表示。由於計算手法已知，因此對其詳細說明進行省略，但該偏離量能夠藉由進行幾何計算取得。偏離量取得部51將所取得的偏離量輸出給控制部52。
藉由手10取出晶圓2的本來的位置是其中心與旋轉台41的旋轉中心一致的位置。但是，當手10在該位置取出晶圓2時，晶圓2如上述那樣發生位置偏離時，該位置偏離就變成了晶圓2對於手10的位置偏離。於是，控制部52根據從偏離量取得部51輸入的偏離量來修正藉由手10取出晶圓2的位置。偏離量是表示晶圓2的位置偏離的資訊(位置偏離資訊)。修正能夠藉由使手10從本來的位置偏離與所得到的晶圓2的偏離量相同的偏離量來實現。以下，有時將修正後的位置稱為取出位置(修正位置)。
控制部52使手10從前述中繼位置向取出位置移動。當移動結束時，手10將晶圓2從旋轉台41取出。藉此，能夠在晶圓2的中心軸2c與手10的中 心一致的狀態下將晶圓2保持在手10。控制部52控制機器人1，以將用手10保持的晶圓2搬送給適當的搬送目的地。
其次，對正在用位置偏離檢測裝置4檢測位置偏離時的手10的中繼位置進行詳細說明。
在位置偏離檢測裝置4中檢測晶圓2的位置偏離期間，手10在相對於位置偏離的檢測不會成為障礙的位置待機。無論晶圓2的偏離量如何，手10待機的位置(中繼位置)被規定為共同的。藉此，能夠簡化機器人1的控制。由於當手10在旋轉台41的附近待機時，能夠直接取出晶圓2，因此較佳地手10在旋轉台41的附近待機。
在手10在中繼位置待機的時刻，晶圓2的偏離量未知。不過，當晶圓2的偏離量超過規定的範圍時，由於不能用位置偏離檢測裝置4檢測偏離量，或者檢測值是異常值，因此機器人系統100異常停止。所以，手10從位置偏離檢測裝置4取出晶圓2的位置實際上在規定的大小範圍內。
當晶圓2的偏離量藉由位置偏離檢測裝置4檢測到時，從位置偏離檢測裝置4取出晶圓2時的手10的實際位置被確定。該位置是上述的取出位置。手10藉由三個關節馬達12a、12b、12c中的一個以上在適當的方向旋轉，來從中繼位置向取出位置移動。
中繼位置基本上可以任意設定。一般來說，較佳為從中繼位置到取出位置的移動距離較短。考慮到此觀點，如圖4的比較例所示，能夠想到較佳地將手10的中繼位置設定為中心或平均位置，使得不管取出位置如何，移動距離都變得較短。
但是，當這樣設定中繼位置時，根據晶圓2的偏離從旋轉台41的旋轉中心向哪一方向產生，用於將手10從中繼位置向取出位置移動的關節c1、c2、c3的旋轉方向會發生變化。這意味著每一個關節馬達12a、12b、12c的旋轉方向不是恆定的，在某個取出位置為正方向，在其它取出位置為負方向，旋轉方向因情況不同而相反。
在本說明書中，正方向是指相對於關節順時針的方向，負方向是指逆時針的方向。不過，正方向以及負方向的定義是為了方便起見。
在每一個關節馬達12a、12b、12c與相對應的每一個關節c1、c2、c3之間配置有齒輪傳動機構(例如，減速裝置)。當旋轉方向在三個關節馬達12a、12b、12c的任意之一中切換時，由於齒輪傳動機構的齒隙的影響，手10的位置精度降低。其結果是，不能穩定且高精度地消除用位置偏離檢測裝置4得到的晶圓2的偏離。
於是，在本實施形態中，如圖5所示，手10的中繼位置被設定為相對於取出位置可取的範圍充分偏向一側的位置。因此，無論取出位置在規定的範圍內處於哪一位置，手10從中繼位置到達取出位置為止的三個關節c1、c2、c3的每一個的旋轉方向都不會受到影響。
中繼位置被設定為取出位置可取的範圍的外側。嚴格地說，在本實施形態中，與手10的中繼位置相對應的關節的角度不在與取出位置的範圍相對應的關節的角度範圍內，從該角度範圍向任意的一側超出。該關係對於機械手臂11所具有的三個關節c1、c2、c3都成立。在圖6中，三個關節c1、c2、c3中的取出位置的範圍與中繼位置之間的關係的例子被作為概念圖表示出。當著眼 於圖6的關節c3時，無論取出位置在規定範圍內如何，手10從中繼位置到達取出位置為止，關節c3一定僅向負方向被驅動。
此外，當手10到達中繼位置時，控制部52進行控制，以向與手10從中繼位置到達取出位置時相同的方向驅動關節c1、c2、c3。在圖6中，用白色箭頭表示該驅動的方向。當著眼於關節c3時，藉由關節c3被向負方向驅動，手10到達中繼位置。作為此時的驅動方向的負方向與在手10從中繼位置到達取出位置為止關節c3被驅動的方向一致。該關係對於機械手臂11所具有的三個關節c1、c2、c3的每一個都成立。
藉由以上的控制，無論取出位置成為哪一位置，在手10到達取出位置時都不會受到齒隙的影響。因此，能夠穩定地提高手10的取出位置的精度。
當中繼位置與取出位置的範圍具有某種程度的分離時，能夠確保中繼位置到取出位置的移動距離。當使手10從中繼位置移動到取出位置時，如果假設關節c1、c2、c3的任意之一的角度變化幾乎是零，則關於該關節，由於齒隙的影響，實際的角度與目標角度的一致精度降低。在本實施形態中，無論取出位置在規定的範圍內成為哪一位置，中繼位置都被規定為在手10從中繼位置到達取出位置為止，在關節c1、c2、c3的任意的每一個中，角度都會發生某種程度的變化。藉此，由於能夠較好地保持各個關節的軸的一致精度，因此能夠防止取出位置中的手10的位置精度的下降。
如上前述，控制器5控制機器人1，該機器人1包括手10、關節c1、c2、c3以及關節馬達12a、12b、12c。手10能夠保持晶圓2。關節c1、c2、c3的軸朝著上下方向。關節馬達12a、12b、12c驅動關節c1、c2、c3。每一個關節馬達12a、12b、12c能夠切換旋轉方向。控制器5根據表示晶圓2的位置偏離的位置偏 離資訊，來修正取出晶圓2時的手10的位置。控制器5在手10到達作為修正後的手10的位置的取出位置之前，控制手10經由中繼位置。控制器5進行控制，以藉由關節馬達12c向一個方向驅動關節c3，來使手10到達中繼位置，藉由關節馬達12c僅向相同的一個方向驅動關節c3，來使手10從中繼位置到達取出位置。控制器5對於其它關節馬達12a、12b也進行相同的控制。
藉此，對於手10的位置的修正，能夠穩定地避免齒隙帶來的不良影響。因此，能夠獲得位置精度較佳的機器人1。
並且，在本實施形態的基板搬送機器人的控制器5中，中繼位置相對於修正位置可取的範圍是分離的。
藉此，由於能夠確保從中繼位置到取出位置的移動距離，因此能夠提高軸的一致精度。
並且，在本實施形態的基板搬送機器人的控制器5中，一個方向無論前述修正位置如何都相同。
藉此，能夠用簡單的控制避免齒隙帶來的不良影響。
並且，在本實施形態中，偏離量是用位置偏離檢測裝置4測量設置在位置偏離檢測裝置4的晶圓2的位置偏離的資訊。控制器5根據偏離量來修正將設置在位置偏離檢測裝置4的晶圓2取出時的手10的位置。
藉此，能夠在測量到晶圓2的位置偏離之後立刻從位置偏離檢測裝置4取出晶圓2，以消除該位置偏離。
並且，本實施形態的控制器5控制機器人1，以在將晶圓2設置在位置偏離檢測裝置4之後，且從位置偏離檢測裝置4取出晶圓2之前，使手10在中繼位置待機。
藉此，能夠順利地進行將晶圓2設置在位置偏離檢測裝置4到從位置偏離檢測裝置4取出晶圓2為止的一連串的動作。
以上，說明了本發明的較佳實施形態，前述構成能夠例如如下述內容那樣改變。
在前述實施形態中說明的控制還能夠適用於從位置偏離檢測裝置4之外(例如，用於放置晶圓2的台)取出晶圓2的情況。台中的晶圓2的偏離量能夠藉由對用省略圖示的照相機拍攝該晶圓2得到的圖像進行解析獲得。
手10的位置的修正不僅適用於從位置偏離檢測裝置4取出晶圓2的情況，還能夠適用於例如將保持在手10的晶圓2放置在保管容器6的情況。晶圓2對於手10的偏離量例如能夠藉由用省略圖示的照相機拍攝保持在手10的晶圓2得到的圖像進行解析獲得。為了得到晶圓2對於手10的偏離量，還能夠將非接觸式感測器設置在機器人系統100的適當的位置。舉例來說，例如將兩個光感測器配置在晶圓2能夠橫貫的位置。光感測器的光軸相對於水平的晶圓2的面垂直。為了取得晶圓2的偏離量，控制器5在保持有晶圓2的狀態下使手10沿著規定的路俓水平移動。在該移動的過程中，晶圓2切斷各個光感測器的光路的時刻以及切斷被解除的時刻的手10的坐標被儲存下來。根據所儲存的各個坐標，藉由計算求出虛擬圓，根據該虛擬圓的中心的位置，計算出晶圓2對於手10的偏離量。根據偏離量，修正機器人1將晶圓2放置在保管容器6的位置。
當在被修正的位置，機器人1將晶圓2放置在保管容器6時，藉由進行與前述實施形態一樣的控制，能夠穩定地避免齒隙對於位置精度的不良影響。此時，手10待機的位置可以是手10在到達將晶圓2放置在保管容器6的位置(修 正後的位置)之前經由的中繼位置。還能夠將前述控制適用於機器人1將晶圓2放置在保管容器6之外的地方(例如，半導體處理裝置)的情況。
在位置偏離檢測裝置4正在檢測晶圓2的位置偏離期間，手10也可以不在中繼位置待機，而是進行其它作業(例如，其它晶圓2的搬送作業)。當在進行其它作業的過程中，藉由位置偏離檢測裝置4進行的位置偏離的檢測結束了時，完成了作業的手10也可以不在中繼位置靜止而是通過那裡到達取出位置。
位置偏離檢測裝置4包括的旋轉台41以及線感測器42等的控制既可以由機器人1的控制器5進行，也可以由其它電腦進行。換言之，偏離量既可以由控制器5自身計算取得，也可以從外部向控制器5輸入。
機械手臂11具有且軸具有上下方向的關節個數並不限於三個，也可以是一個、兩個或者四個以上。機械手臂11的手10也可以構成為以水平翻轉軸為中心可翻轉。
手10保持晶圓2的方式任意，能夠採用被動抓握、吸附抓握、邊緣抓握等各種方式。
在前述實施形態中說明的控制還能夠適用於機器人1搬送晶圓2之外的基板的情況。
在本說明書中公開的要素的功能能夠使用包含為執行所公開的功能而構成或程式化的通用處理器、專用處理器、積體電路、ASIC(Application Specific Integrated Circuits；特定應用積體電路)、常規電路以及/或者它們的組合的電路或處理電路執行。處理器由於包含電晶體以及其它電路，因此被看作處理電路或電路。在本發明中，電路、單元或手段是執行所列舉的功能的硬體或者為了執行所列舉的功能而被程式化的硬體。硬體既可以是在本說明書中所 公開的硬體，或者，也可以是為了執行所列舉的功能而被程式化或構成的其它已知的硬體。當硬體是被認為是電路的一種的處理器時，電路、手段或單元是硬體與軟體的組合，軟體被用於硬體以及/或者處理器的構成。
2:晶圓
4:位置偏離檢測裝置
10:手
11:機械手臂
16:第二連桿
41:旋轉台
42:線感測器
c2:第二軸(關節)
c3:第三軸(關節)

Claims (9)

  1. 一種基板搬送機器人的控制裝置，是控制基板搬送機器人的控制裝置，前述基板搬送機器人包括手、關節、關節馬達以及齒輪傳動機構，前述手能夠保持基板，前述關節的軸朝向上下方向，前述關節馬達驅動前述關節且能夠切換旋轉方向，前述齒輪傳動機構配置於前述關節與前述關節馬達之間；根據表示基板的位置偏離的位置偏離資訊，來修正取出前述基板時以及放置前述基板時中的至少之一的前述手的位置；前述控制裝置進行控制，以在前述手到達作為修正後的前述手的位置的修正位置之前，前述手經由中繼位置；前述控制裝置進行控制，以藉由前述關節馬達向一個方向驅動前述關節，來使前述手到達前述中繼位置，藉由前述關節馬達僅向相同的一個方向驅動前述關節，來使前述手從前述中繼位置到達前述修正位置。
  2. 如請求項1所記載之基板搬送機器人的控制裝置，其中前述中繼位置相對於前述修正位置可取的範圍分離。
  3. 如請求項1或2所記載之基板搬送機器人的控制裝置，其中前述一個方向無論前述修正位置如何都相同。
  4. 如請求項1或2所記載之基板搬送機器人的控制裝置，其中前述位置偏離資訊是基板對準器測量設置在前述基板對準器的前述基板的位置偏離的資訊；根據前述位置偏離資訊，來修正取出設置在前述基板對準器的前述基板時的前述手的位置。
  5. 如請求項4所記載之基板搬送機器人的控制裝置，其中在將前述基板設置在前述基板對準器之後且在從前述基板對準器取出前述基板之前，控制前述基板搬送機器人，以使前述手在前述中繼位置待機。
  6. 如請求項1或2所記載之基板搬送機器人的控制裝置，其中根據前述位置偏離資訊，來修正將前述基板放置在保管容器時的前述手的位置。
  7. 如請求項6所記載之基板搬送機器人的控制裝置，其中前述位置偏離資訊在前述基板被前述手保持的狀態下取得。
  8. 一種機器人系統，係包括如請求項1至7中任一項之基板搬送機器人的控制裝置以及前述基板搬送機器人。
  9. 一種關節馬達的控制方法，是基板搬送機器人中的關節馬達的控制方法，前述基板搬送機器人包括手、關節、關節馬達以及齒輪傳動機構，前述手能夠保持基板，前述關節的軸朝向上下方向，前述關節馬達驅動前述關節且能夠切換旋轉方向，前述齒輪傳動機構配置於前述關節與前述關節馬達之間；根據表示基板的位置偏離的位置偏離資訊，來修正取出前述基板時以及放置前述基板時中的至少之一的前述手的位置；在前述控制方法中進行控制，以在前述手到達作為修正後的前述手的位置的修正位置之前，前述手經由中繼位置；在前述控制方法中進行控制，以藉由前述關節馬達向一個方向驅動前述關節，來使前述手到達前述中繼位置，藉由前述關節馬達僅向相同的一個方向驅動前述關節，來使前述手從前述中繼位置到達前述修正位置。
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