JP2022102888A - 基板搬送ロボットの制御装置及び関節モータの制御方法 - Google Patents

基板搬送ロボットの制御装置及び関節モータの制御方法 Download PDF

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Abstract

Figure 2022102888000001
【課題】基板の位置ズレを安定して高い精度で解消する。
【解決手段】制御装置は、関節の軸が上下方向を向く基板搬送ロボットを制御する。前記関節を駆動する関節モータは、回転方向を切換可能である。制御装置は、位置ズレ情報に基づいて、前記基板を取り出す場合及び置く場合のうち少なくとも何れかにおけるハンドの位置を補正する。制御装置は、補正後の前記ハンドの位置である補正位置に前記ハンドが至る前に、前記ハンドが中継位置を経由するように制御する。制御装置は、前記関節モータが前記関節を一方向に駆動することで前記ハンドが前記中継位置に至り、前記関節モータが同じ一方向のみに前記関節を駆動することで、前記ハンドが前記中継位置から前記補正位置に至るように制御する。
【選択図】図５

Description

本発明は、関節が上下方向の軸を有する基板搬送ロボットにおける、関節を駆動するモータの制御に関する。
従来から、基板搬送システムにおいて、搬送対象の基板に位置ズレが生じた場合に、基板を取り出す場合又は基板を置く場合のハンドの位置を変更することで、位置ズレを解消する構成が知られている。
特許文献１は、プリアライナ装置を有するウエハ搬送システムを開示する。特許文献１では、プリアライナ装置が、ウエハのノッチ位置合わせだけでなく、中心ずれ量を検出、演算し、中心合わせを行う構成が言及されている。特許文献１では、中心合わせを行う方法として、中心ずれ量の情報をもとにウエハ搬送装置がプリアライナ装置の旋回中心に対してウエハの受け取り位置をずらして（補正して）、ウエハを受け取ったときに中心位置が合うように搬送装置のエンドエフェクタを動かす方法が例示されている。
特開２０１０－１９９２４５号公報
特許文献１の構成では、中心ずれ量に応じて、ウエハの受け取り位置が様々に変化し得る。通常、ロボットの関節モータと関節との間には減速装置等が配置されている。減速装置には、歯車伝動機構が多く使われる。ハンドの移動の過程で関節の回転方向の切換が生じると、歯車列のバックラッシによって位置精度が低下し、中心ずれを正確に補正できない場合があった。
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、基板の位置ズレがどのように生じた場合でも、安定して高い精度で位置ズレを解消することにある。
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
本発明の第１の観点によれば、以下の構成の基板搬送ロボットの制御装置が提供される。即ち、この制御装置は、ハンドと、関節と、関節モータと、を備える基板搬送ロボットを制御する。前記ハンドは、基板を保持可能である。前記関節の軸は上下方向を向いている。前記関節モータは、前記関節を駆動する。前記関節モータは、回転方向を切換可能である。前記制御装置は、基板の位置ズレを示す位置ズレ情報に基づいて、前記基板を取り出す場合及び置く場合のうち少なくとも何れかにおける前記ハンドの位置を補正する。前記制御装置は、補正後の前記ハンドの位置である補正位置に前記ハンドが至る前に、前記ハンドが中継位置を経由するように制御する。前記制御装置は、前記関節モータが前記関節を一方向に駆動することで前記ハンドが前記中継位置に至り、前記関節モータが同じ一方向にのみ前記関節を駆動することで、前記ハンドが前記中継位置から前記補正位置に至るように制御する。
これにより、関節駆動部分のバックラッシによる悪影響を安定して回避することができる。従って、基板を取り出す場合／置く場合の位置精度が良好になる。
本発明の第２の観点によれば、前記の制御装置と、基板搬送ロボットと、を備えるロボットシステムが提供される。
これにより、基板の位置精度を安定して向上できるロボットシステムを得ることができる。
本発明の第３の観点によれば、以下の関節モータの制御方法が提供される。即ち、この関節モータの制御方法は、ハンドと、関節と、関節モータと、を備える基板搬送ロボットにおける前記関節モータを制御する。前記ハンドは、基板を保持可能である。前記関節の軸は上下方向を向いている。前記関節モータは、前記関節を駆動する。前記関節モータは、回転方向を切換可能である。前記制御方法では、基板の位置ズレを示す位置ズレ情報に基づいて、前記基板を取り出す場合及び置く場合のうち少なくとも何れかにおける前記ハンドの位置を補正する。前記制御方法では、補正後の前記ハンドの位置である補正位置に前記ハンドが至る前に、前記ハンドが中継位置を経由するように制御する。前記制御方法では、前記関節モータが前記関節を一方向に駆動することで前記ハンドが前記中継位置に至り、前記関節モータが同じ一方向にのみ前記関節を駆動することで、前記ハンドが前記中継位置から前記補正位置に至るように制御する。
これにより、関節駆動部分のバックラッシによる悪影響を安定して回避することができる。従って、基板を取り出す場合／置く場合の位置精度が良好になる。
本発明によれば、基板の位置ズレがどのように生じた場合でも、安定して高い精度で位置ズレを解消することができる。
本発明の一実施形態に係るロボットシステムの全体的な構成を示す斜視図。 ロボットの構成を示す斜視図。 ロボットシステムの一部の構成を示すブロック図。 位置ズレ検出装置からウエハを取り出す前の中継位置に関する比較例を説明する平面図。 本実施形態の中継位置を説明する平面図。 ３つの関節における取出し位置の範囲と中継位置との関係の例を示すグラフ。
次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るロボットシステム１００の構成を示す斜視図である。図２は、ロボット１の構成を示す斜視図である。図３は、ロボットシステム１００の一部の構成を示すブロック図である。
図１に示すロボットシステム１００は、クリーンルーム等の作業空間内でロボット１に作業を行わせるシステムである。
ロボットシステム１００は、ロボット１と、位置ズレ検出装置（基板アライナ）４と、コントローラ（制御装置）５と、を備える。
ロボット１は、例えば、保管容器６に保管されるウエハ２を搬送するウエハ移載ロボットとして機能する。本実施形態では、ロボット１は、ＳＣＡＲＡ（スカラ）型の水平多関節ロボットによって実現される。ＳＣＡＲＡは、Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｃｏｍｐｌｉａｎｃｅ Ａｓｓｅｍｂｌｙ Ｒｏｂｏｔ Ａｒｍの略称である。
ロボット１が搬送するウエハ２は、基板の一種である。ウエハ２は、円形の薄い板状に形成されている。
ロボット１は、図２に示すように、ハンド（保持部）１０と、マニピュレータ１１と、関節モータ１２ａ，１２ｂ，１２ｃと、を備える。
ハンド１０は、エンドエフェクタの一種であって、概ね、平面視でＶ字状又はＵ字状に形成されている。ハンド１０は、マニピュレータ１１（具体的には、後述の第２リンク１６）の先端に支持されている。ハンド１０は、第２リンク１６に対して、上下方向に延びる第３軸ｃ３を中心として回転する。
マニピュレータ１１は、主として、基台１３と、昇降軸１４と、第１リンク１５と、第２リンク１６と、を備える。
基台１３は、地面（例えば、クリーンルームの床面）に固定される。基台１３は、昇降軸１４を支持するベース部材として機能する。
昇降軸１４は、基台１３に対して上下方向に移動する。この昇降により、第１リンク１５、第２リンク１６、及びハンド１０の高さを変更することができる。
第１リンク１５は、昇降軸１４の上部に支持されている。第１リンク１５は、昇降軸１４に対して、上下方向に延びる第１軸ｃ１を中心として回転する。これにより、第１リンク１５の姿勢を水平面内で変更することができる。
第２リンク１６は、第１リンク１５の先端に支持されている。第２リンク１６は、第１リンク１５に対して、上下方向に延びる第２軸ｃ２を中心として回転する。これにより、第２リンク１６の姿勢を水平面内で変更することができる。
このように、マニピュレータ１１は、軸が上下方向を向く３つの関節を含んで構成されている。以下では、それぞれの関節を特定するために、中心軸の符号ｃ１，ｃ２，ｃ３を付して呼ぶことがある。
関節モータ１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、それぞれ関節ｃ１，ｃ２，ｃ３を駆動する。これにより、平面視でのハンド１０の位置及び姿勢を様々に変更することができる。関節モータ１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、電動モータの一種であるサーボモータとして構成されている。
関節ｃ１を駆動する関節モータ１２ａは、第１リンク１５に配置されている。関節ｃ２を駆動する関節モータ１２ｂは、第１リンク１５に配置されている。関節ｃ３を駆動する関節モータ１２ｃは、第２リンク１６に配置されている。ただし、各モータのレイアウトは上記に限定されない。
位置ズレ検出装置４は、例えば、プリアライナ（ウエハアライナ）から構成される。位置ズレ検出装置４は、図１に示すように、回転台４１と、ラインセンサ４２と、を備える。
回転台４１は、図略の電動モータ等により、ウエハ２を回転させることができる。回転台４１は、その上にウエハ２が置かれた状態で回転する。回転台４１は、例えば、図１に示すように円柱状に形成される。しかし、これに限定されない。
ラインセンサ４２は、例えば投光部と受光部とを有する透過型センサから構成される。投光部と受光部は、互いに対向し、かつ上下方向に所定の間隔をあけて配置される。ラインセンサ４２は、回転台４１の径方向に並べられた投光部を介して検出光を投光し、投光部の下方に設けられた受光部を介して検出光を受光する。検出光としては、例えばレーザ光とすることができる。回転台４１にウエハ２が載置されると、その外縁部が投光部と受光部との間に位置する。
ラインセンサ４２は、後述のズレ量取得部５１に電気的に接続されている。ラインセンサ４２は、受光部の検出結果をズレ量取得部５１に送信する。詳細は後述するが、回転台４１を回転させたときの受光部の検出結果の変化は、ウエハ２の外縁の形状に対応する。この外縁の形状から、ウエハ２の中心の、回転台４１の回転中心からの位置ズレを検出することができる。従って、位置ズレ検出装置４において、位置ズレの検出基準位置は、回転台４１の回転中心である。ズレ量取得部５１は、受光部の検出結果に基づいて、ウエハ２のズレ量を取得する。
ラインセンサ４２は、透過型センサに限定されず、例えば、反射型センサから構成されても良い。
コントローラ５は、図３に示すように、ズレ量取得部５１と、制御部５２と、を備える。コントローラ５は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、補助記憶装置等を備える公知のコンピュータとして構成されている。補助記憶装置は、例えばＨＤＤ、ＳＳＤ等として構成される。補助記憶装置には、本発明の関節モータ１２ａ，１２ｂ，１２ｃの制御方法を実現するためのロボット制御プログラム等が記憶されている。これらのハードウェア及びソフトウェアの協働により、コントローラ５を、ズレ量取得部５１及び制御部５２等として動作させることができる。
ズレ量取得部５１は、上述のように、ラインセンサ４２からの検出結果に基づいてウエハ２のズレ量を取得する。
制御部５２は、予め定められる動作プログラム又はユーザから入力される移動指令等に従って、上述のロボット１の各部を駆動するそれぞれの駆動モータに指令値を出力して制御し、予め定められる指令位置にハンド１０を移動させる。駆動モータには、昇降軸１４を上下に変位させるための図略の電動モータのほか、上述の関節モータ１２ａ，１２ｂ，１２ｃが含まれる。
次に、位置ズレ検出装置４を用いてウエハ２の位置ズレを取得する方法について、詳細に説明する。
制御部５２はロボット１を制御して、保管容器６からウエハ２を取り出し、位置ズレ検出装置４の回転台４１に搬送する。回転台４１にウエハ２が置かれた後、制御部５２は、ロボット１を、位置ズレ検出装置４から少し退避した所定の位置で待機するように制御する。この位置は、回転台４１にウエハ２を置いた後、回転台４１からウエハ２を取り出す前に、ハンド１０が経由する中継位置ということができる。この中継位置の詳細については後述する。
ウエハ２が回転台４１に置かれると、位置ズレ検出装置４は、ウエハ２の周縁位置をラインセンサ４２で継続的に検出しながら、回転台４１を回転させる。ウエハ２の中心軸２ｃが回転台４１の回転中心と完全に一致する場合、ラインセンサ４２により検出されるウエハ２の周縁位置は、回転台４１の回転位相にかかわらず一定である。ウエハ２の中心が回転台４１の回転中心とズレている場合、回転台４１の回転に連動して、ウエハ２の周縁位置は、ズレの距離に応じた振幅で変化する。また、ズレの向きは、例えば、周縁位置が極大又は極小となる回転台４１の位相に基づいて得ることができる。
ズレ量取得部５１は、ラインセンサ４２の検出結果に基づいてズレ量を取得する。ズレ量は、図１に示すウエハ２の中心軸２ｃが、回転台４１の回転中心に対して、どの方向にどの距離だけズレているかを示す。ズレ量は、例えば平面ベクトル（ｏｘ，ｏｙ）で表すことができる。計算手法は公知であるため詳細は省略するが、このズレ量は、幾何学的な計算を行うことで得ることができる。ズレ量取得部５１は、得られたズレ量を制御部５２に出力する。
ハンド１０によってウエハ２を取り出す本来の位置は、その中心が回転台４１の回転中心と一致している位置である。しかし、この位置でハンド１０がウエハ２を取り出すと、上述のようにウエハ２の位置ズレが生じている場合は、その位置ズレが、そのままハンド１０に対するウエハ２の位置ズレとなってしまう。そこで、制御部５２は、ハンド１０によってウエハ２を取り出す位置を、ズレ量取得部５１から入力したズレ量に基づいて補正する。ズレ量は、ウエハ２の位置ズレを示す情報（位置ズレ情報）である。補正は、得られたウエハ２のズレ量と同様にハンド１０を本来の位置からズラすことで、実現することができる。以下では、補正後の位置を取出し位置（補正位置）と呼ぶことがある。
制御部５２は、ハンド１０を、前述の中継位置から、取出し位置へ移動させる。移動が完了すると、ハンド１０がウエハ２を回転台４１から取り出す。これにより、ウエハ２の中心軸２ｃがハンド１０の中心と一致した状態でウエハ２をハンド１０に保持することができる。制御部５２は、ハンド１０で保持したウエハ２を適宜の搬送先へ搬送するようにロボット１を制御する。
次に、位置ズレ検出装置４で位置ズレを検出しているときのハンド１０の中継位置について、詳細に説明する。
位置ズレ検出装置４においてウエハ２の位置ズレを検出している間、ハンド１０は、位置ズレの検出に対して邪魔にならない場所で待機する。ハンド１０が待機する位置（中継位置）は、ウエハ２のズレ量に関係なく共通となるように定められる。これにより、ロボット１の制御を簡素化することができる。ハンド１０は、回転台４１の近くで待機していると、ウエハ２を直ちに取り出すことができるので好ましい。
中継位置でハンド１０が待機している時点では、ウエハ２のズレ量は未知である。ただし、ウエハ２のズレ量が所定の範囲を超えた場合、位置ズレ検出装置４でズレ量の検出ができなくなるか、検出値が異常値となるため、ロボットシステム１００が異常停止する。従って、ハンド１０が位置ズレ検出装置４からウエハ２を取り出す位置は、事実上、所定の大きさの範囲内に収まる。
ウエハ２のズレ量が位置ズレ検出装置４によって検出されると、位置ズレ検出装置４からウエハ２を取り出すときのハンド１０の実際の位置が決まる。この位置が、前述の取出し位置である。ハンド１０は、３つの関節モータ１２ａ，１２ｂ，１２ｃのうち１つ以上が適宜の方向に回転することにより、中継位置から取出し位置へ移動する。
中継位置は、基本的には任意に設定することができる。一般的には、中継位置から取出し位置への移動距離が短い方が好ましい。この観点を考慮すれば、図４の比較例に示すように、取出し位置がどの場合であっても比較的短い移動距離となるように、ハンド１０の中継位置を中央的又は平均的な位置に設定することが好ましいと考えられる。
しかしながら、このように中継位置を設定した場合、ウエハ２のズレが回転台４１の回転中心からどの向きに生じているかに応じて、中継位置から取出し位置へハンド１０を移動させるための関節ｃ１，ｃ２，ｃ３の回転方向が変化することになる。これは、それぞれの関節モータ１２ａ，１２ｂ，１２ｃの回転方向が一定にならず、ある取出し位置ではプラス方向、別の取出し位置ではマイナス方向というように、回転方向が場合によって逆になることを意味する。
本明細書で、プラス方向とは関節に関して時計回りとなる方向を意味し、マイナス方向とは反時計回りとなる方向を意味する。ただし、プラス方向とマイナス方向の定義は便宜的なものである。
それぞれの関節モータ１２ａ，１２ｂ，１２ｃと、対応するそれぞれの関節ｃ１，ｃ２，ｃ３との間には、歯車伝動機構（例えば、減速装置）が配置されている。３つの関節モータ１２ａ，１２ｂ，１２ｃのうち何れかにおいて回転方向が切り換わると、歯車伝動機構のバックラッシの影響で、ハンド１０の位置精度が低下する。この結果、位置ズレ検出装置４で得られたウエハ２のズレを安定して高精度でキャンセルすることができない。
そこで、本実施形態では図５に示すように、ハンド１０の中継位置を、取出し位置がとり得る範囲に対して、一側に十分に偏った位置に設定している。従って、取出し位置が所定の範囲内でどの位置になったとしても、ハンド１０が中継位置から取出し位置へ至るまでの３つの関節ｃ１，ｃ２，ｃ３それぞれの回転方向が影響を受けることはない。
中継位置は、取出し位置がとり得る範囲の外側となるように定められる。厳密に言えば、本実施形態では、ハンド１０の中継位置に対応する関節の角度が、取出し位置の範囲に対応する関節の角度範囲に入らず、当該角度範囲から何れかの側に外れている。この関係が、マニピュレータ１１が有する３つの関節ｃ１，ｃ２，ｃ３の全てについて成立している。３つの関節ｃ１，ｃ２，ｃ３における取出し位置の範囲と中継位置との関係の例が、図６に概念図として示されている。図６の関節ｃ３に着目すると、取出し位置が所定範囲の中で何れになったとしても、ハンド１０が中継位置から取出し位置に至るまで、関節ｃ３は必ずマイナス方向にのみ駆動される。
更に言えば、ハンド１０が中継位置に至るとき、制御部５２は関節ｃ１，ｃ２，ｃ３を、ハンド１０が中継位置から取出し位置へ至る場合と同じ方向に駆動するように制御する。この駆動の向きが、図６に白抜き矢印として示されている。関節ｃ３に着目すると、関節ｃ３がマイナス方向に駆動されることで、ハンド１０は中継位置に至る。このときの駆動方向であるマイナス方向は、ハンド１０が中継位置から取出し位置に至るまでに関節ｃ３が駆動される方向と一致する。この関係が、マニピュレータ１１が有する３つの関節ｃ１，ｃ２，ｃ３のそれぞれについて成立している。
以上の制御により、取出し位置がどの位置になったとしても、ハンド１０が取出し位置に至る際にバックラッシの影響を受けることがない。従って、ハンド１０の取出し位置の精度を安定して高めることができる。
中継位置が取出し位置の範囲からある程度離間していると、中継位置から取出し位置までの移動距離を確保することができる。中継位置から取出し位置へハンド１０を移動させる場合に、関節ｃ１，ｃ２，ｃ３の何れかについて角度変化が仮に殆どゼロであると、当該関節に関して、バックラッシの影響により、現実の角度と目標角度との一致精度が低下する。本実施形態では、取出し位置が所定の範囲内でどの位置となっても、ハンド１０が中継位置から取出し位置に至るまで、何れの関節ｃ１，ｃ２，ｃ３においても角度がある程度変化するように、中継位置が定められる。これにより、各関節の軸の一致精度を良好に維持することができるので、取出し位置におけるハンド１０の位置精度の低下を防止することができる。
以上に説明したように、コントローラ５は、ハンド１０と、関節ｃ１，ｃ２，ｃ３と、関節モータ１２ａ，１２ｂ，１２ｃと、を備えるロボット１を制御する。ハンド１０は、ウエハ２を保持可能である。関節ｃ１，ｃ２，ｃ３の軸は上下方向を向いている。関節モータ１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、関節ｃ１，ｃ２，ｃ３を駆動する。それぞれの関節モータ１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、回転方向を切換可能である。コントローラ５は、ウエハ２の位置ズレを示す位置ズレ情報に基づいて、ウエハ２を取り出す場合におけるハンド１０の位置を補正する。コントローラ５は、補正後のハンド１０の位置である取出し位置にハンド１０が至る前に、ハンド１０が中継位置を経由するように制御する。コントローラ５は、関節モータ１２ｃが関節ｃ３を一方向に駆動することでハンド１０が中継位置に至り、関節モータ１２ｃが同じ一方向にのみ関節ｃ３を駆動することで、ハンド１０が中継位置から取出し位置に至るように制御する。コントローラ５は、他の関節モータ１２ａ，１２ｂについても同様に制御する。
これにより、ハンド１０の位置の補正に対して、バックラッシが与える悪影響を安定して回避することができる。これにより、位置精度に優れたロボット１を得ることができる。
また、本実施形態の基板搬送ロボットのコントローラ５において、中継位置は、補正位置が取り得る範囲に対して離間している。
これにより、中継位置から取出し位置までの移動距離を確保できるため、軸の一致精度を向上させることができる。
また、本実施形態の基板搬送ロボットのコントローラ５において、一方向は、前記補正位置がどのようであっても同じである。
これにより、簡素な制御で、バックラッシが与える悪影響を回避することができる。
また、本実施形態において、ズレ量は、位置ズレ検出装置４にセットされたウエハ２の位置ズレを位置ズレ検出装置４が測定した情報である。コントローラ５は、ズレ量に基づいて、位置ズレ検出装置４にセットされたウエハ２を取り出す場合のハンド１０の位置を補正する。
これにより、ウエハ２の位置ズレが測定された直後に、当該位置ズレをキャンセルするように位置ズレ検出装置４からウエハ２を取り出すことができる。
また、本実施形態のコントローラ５は、位置ズレ検出装置４にウエハ２をセットした後、位置ズレ検出装置４からウエハ２を取り出す前に、ハンド１０が中継位置で待機するようにロボット１を制御する。
これにより、位置ズレ検出装置４にウエハ２をセットしてから、ウエハ２を取り出すまでの一連の動作を、円滑に行うことができる。
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。
上記の実施形態で説明した制御は、位置ズレ検出装置４以外（例えば、ウエハ２を置くためのステージ）からウエハ２を取り出す場合にも適用することができる。ステージにおけるウエハ２のズレ量は、例えば、当該ウエハ２を図略のカメラで撮影した画像を解析することで得ることができる。
ハンド１０の位置の補正は、位置ズレ検出装置４からウエハ２を取り出す場合だけでなく、例えば、ハンド１０に保持するウエハ２を保管容器６に置く場合に適用することもできる。ハンド１０に対するウエハ２のズレ量は、例えば、ハンド１０に保持されたウエハ２を図略のカメラで撮影した画像を解析することで得ることができる。ハンド１０に対するウエハ２のズレ量を得るために、ロボットシステム１００の適宜の位置に非接触式のセンサを設けることもできる。例を挙げると、ウエハ２が横切ることが可能な位置に、例えば２つの光センサが配置される。光センサの光軸は、水平なウエハ２の面に対して垂直である。ウエハ２のズレ量を取得するために、コントローラ５は、ウエハ２を保持した状態でハンド１０を所定の経路に沿って水平に移動させる。この移動の過程で、ウエハ２が各光センサの光路を遮断した時点、及び、遮断が解除された時点での、ハンド１０の座標が記憶される。記憶された各座標に基づいて仮想円が計算により求められ、この仮想円の中心の位置に基づいて、ハンド１０に対するウエハ２のズレ量が計算される。ズレ量に基づいて、ロボット１がウエハ２を保管容器６に置く位置が補正される。
補正された位置でロボット１がウエハ２を保管容器６に置くときに、上記の実施形態と同様の制御を行うことで、位置精度に対するバックラッシの悪影響を安定して回避することができる。この場合、ハンド１０が待機する位置は、ウエハ２を保管容器６に置く位置（補正後の位置）に至る前にハンド１０が経由する中継位置ということができる。保管容器６以外の場所（例えば、半導体処理装置）にロボット１がウエハ２を置く場合に、上記の制御を適用することもできる。
位置ズレ検出装置４がウエハ２の位置ズレを検出している間に、ハンド１０は中継位置で待機せずに、他の作業（例えば、他のウエハ２の搬送作業）を行っても良い。他の作業中に位置ズレ検出装置４による位置ズレの検出が完了した場合、作業を終えたハンド１０は、中継位置で静止せずに通過して取出し位置に至っても良い。
位置ズレ検出装置４が備える回転台４１及びラインセンサ４２等の制御は、ロボット１のコントローラ５が行っても良いし、別のコンピュータが行っても良い。言い換えれば、ズレ量は、コントローラ５自身が計算して取得しても良いし、外部からコントローラ５へ入力されても良い。
マニピュレータ１１が有する、軸が上下方向を有する関節の数は、３つに限らず、１つ、２つ、又は４つ以上であっても良い。マニピュレータ１１のハンド１０が、水平なフリップ軸を中心として反転可能に構成されても良い。
ハンド１０がウエハ２を保持する方式は任意であり、パッシブグリップ、吸着グリップ、エッジグリップ等の様々な方式を採用することができる。
上記の実施形態で説明した制御は、ロボット１がウエハ２以外の基板を搬送する場合にも適用することができる。
１ ロボット（基板搬送ロボット）
２ ウエハ（基板）
４ 位置ズレ検出装置（基板アライナ）
５ コントローラ（制御装置）
１０ ハンド
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ 関節モータ
１００ ロボットシステム
ｃ１，ｃ２，ｃ３ 関節

Claims (9)

  1. 基板を保持可能なハンドと、
    軸が上下方向を向く関節と、
    前記関節を駆動する、回転方向を切換可能な関節モータと、
    を備える基板搬送ロボットを制御する制御装置において、
    基板の位置ズレを示す位置ズレ情報に基づいて、前記基板を取り出す場合及び置く場合のうち少なくとも何れかにおける前記ハンドの位置を補正し、
    補正後の前記ハンドの位置である補正位置に前記ハンドが至る前に、前記ハンドが中継位置を経由するように制御し、
    前記関節モータが前記関節を一方向に駆動することで前記ハンドが前記中継位置に至り、前記関節モータが同じ一方向にのみ前記関節を駆動することで、前記ハンドが前記中継位置から前記補正位置に至るように制御することを特徴とする基板搬送ロボットの制御装置。
  2. 請求項１に記載の基板搬送ロボットの制御装置であって、
    前記中継位置は、前記補正位置が取り得る範囲に対して離間していることを特徴とする基板搬送ロボットの制御装置。
  3. 請求項１又は２に記載の基板搬送ロボットの制御装置であって、
    前記一方向は、前記補正位置がどのようであっても同じであることを特徴とする基板搬送ロボットの制御装置。
  4. 請求項１から３までの何れか一項に記載の基板搬送ロボットの制御装置であって、
    前記位置ズレ情報は、基板アライナにセットされた前記基板の位置ズレを前記基板アライナが測定した情報であり、
    前記位置ズレ情報に基づいて、前記基板アライナにセットされた前記基板を取り出す場合の前記ハンドの位置を補正することを特徴とする基板搬送ロボットの制御装置。
  5. 請求項４に記載の基板搬送ロボットの制御装置であって、
    前記基板アライナに前記基板をセットした後、前記基板アライナから前記基板を取り出す前に、前記ハンドが前記中継位置で待機するように前記基板搬送ロボットを制御することを特徴とする基板搬送ロボットの制御装置。
  6. 請求項１から３までの何れか一項に記載の基板搬送ロボットの制御装置であって、
    前記位置ズレ情報に基づいて、前記基板を保管容器に置く場合の前記ハンドの位置を補正することを特徴とする基板搬送ロボットの制御装置。
  7. 請求項６に記載の基板搬送ロボットの制御装置であって、
    前記位置ズレ情報は、前記基板が前記ハンドに保持された状態で取得されることを特徴とする基板搬送ロボットの制御装置。
  8. 請求項１から７までの何れか一項に記載の基板搬送ロボットの制御装置と、
    前記基板搬送ロボットと、
    を備えることを特徴とするロボットシステム。
  9. 基板を保持可能なハンドと、
    軸が上下方向を向く関節と、
    前記関節を駆動する、回転方向を切換可能な関節モータと、
    を備える基板搬送ロボットにおける関節モータの制御方法において、
    基板の位置ズレを示す位置ズレ情報に基づいて、前記基板を取り出す場合及び置く場合のうち少なくとも何れかにおける前記ハンドの位置を補正し、
    補正後の前記ハンドの位置である補正位置に前記ハンドが至る前に、前記ハンドが中継位置を経由するように制御し、
    前記関節モータが前記関節を一方向に駆動することで前記ハンドが前記中継位置に至り、前記関節モータが同じ一方向にのみ前記関節を駆動することで、前記ハンドが前記中継位置から前記補正位置に至るように制御することを特徴とする関節モータの制御方法。
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