JP6199199B2 - 基板処理装置、位置ずれ補正方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
前記基板保持具に保持された基板の位置を検出する基板位置測定部と、を備え、前記基板位置測定部は、前記基板搬送装置から独立した位置であって、かつ、前記基板搬送装置の基板保持具により基板を保持された基板を持ち込むことが可能な位置に設けられた基板処理装置を提供する。
さらに本発明は、上記位置ずれ補正方法を実行するためのプログラムを格納した記憶媒体を提供する。
第1手順について図10及び図11を参照して説明する。
前述したように第1手順は全てのウエハWが基板搬送装置17のウエハピック170上の目標位置に極めて精確(実質的にずれ量はゼロ)に載置できるという利点があるが、実際にはそこまでの精度は必要とされない場合も多い。一般的には、ずれ量が例えば1〜2mm程度なら実質的問題は生じない。この程度のずれであるなら、通常は、ウエハピック170の支持爪171上にウエハWは問題なく支持されるし、また、ウエハピック170または処理ユニット16の基板保持具(メカニカルチャック)がセルフアライメント(セルフセンタリング)機能を有しているならば、この程度のずれは処理ユニット16内における処理に支障が無い程度に解消または低減することができる。上記のことを前提とした第2手順について以下に説明する。
4 制御部
11,C 基板の第1置き場(キャリア載置部及びキャリア)
13 基板搬送装置
14 基板の第2置き場(受渡部)
1413 基板位置測定部(エッジ位置検出装置)
1422 載置台(支持ピン)
1426,1440 過剰位置ずれ検出部(乗り上げセンサ、検出器)
Claims (9)
- 円形の基板を置くことができる第1置き場及び第2置き場と、
前記基板を保持する基板保持具を有し、少なくとも前記第1置き場と第2置き場との間で前記基板を搬送することができる基板搬送装置と、
前記基板保持具に保持された前記基板の位置を検出する基板位置測定部と、
を備え、
前記基板位置測定部は、前記基板搬送装置から独立した位置であって、かつ、前記基板搬送装置の基板保持具により保持された前記基板を持ち込むことが可能な位置に設けられ、
前記基板位置測定部は、円周方向に沿って配置された複数の周縁位置検出装置を有し、前記基板搬送装置により保持された状態で前記基板位置測定部に持ち込まれた前記基板の周縁の位置が前記各周縁位置検出装置により検出され、この検出された周縁の位置に基づいて、前記基板保持具が前記基板を保持するときの前記基板保持具に対する前記基板の目標位置と、前記基板保持具に前記基板が実際に保持されたときの前記基板保持具に対する前記基板の実際位置との間の位置ずれを求めることができ、
前記第2置き場は、各々が基板を載置することができる複数のステージを有し、前記複数のステージの各々の中心と、前記基板位置測定部の前記複数の周縁位置検出装置が配置される円周の中心とが、一つの鉛直線上に位置し、
前記第2置き場の前記複数のステージの各々に、当該ステージに基板が置かれた時に当該ステージの中心に対する前記基板の中心のずれが許容範囲内にあるか否かを検出する過剰位置ずれ検出部が設けられている
ことを特徴とする基板処理装置。 - 前記第1置き場から前記第2置き場に基板を搬送する際に、前記基板搬送装置に前記基板を前記基板位置測定部に持ち込ませることと、前記基板位置測定部により前記基板保持具に保持された前記基板の前記位置ずれを検出させることと、この検出された前記位置ずれに基づいて、前記基板搬送装置に前記位置ずれを打ち消すように前記第2置き場の前記複数のステージのいずれかに前記基板を置かせることと、を含む位置ずれ補正手順を実行させる制御部をさらに備えたことを特徴とする、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記基板搬送装置は、多関節型ロボットであることを特徴とする請求項1または2記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記位置ずれ補正手順を実行させる前に、前記基板搬送装置に前記基板を前記第2置き場に置かせるとともに、前記過剰位置ずれ検出部に前記許容範囲外の位置ずれの有無を検出させる過剰位置ずれ検出手順を実行させ、検出された位置ずれが許容範囲外である場合にのみ前記位置ずれ補正手順を実行させる、請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記過剰位置ずれ検出手順により前記許容範囲外の位置ずれが所定の頻度以上の頻度で検出された場合に、その後の所定の期間、前記過剰位置ずれ検出手順の実行を行わずに前記位置ずれ補正手順を実行させる、請求項4記載の基板処理装置。
- 請求項1に記載された基板処理装置において基板の位置ずれを補正する位置ずれ補正方法において、
前記第1置き場から前記第2置き場に前記基板を搬送する際に、
前記基板搬送装置に前記基板を前記基板位置測定部に持ち込ませることと、
前記基板位置測定部により前記基板保持具に保持されている前記基板の前記位置ずれを検出させることと、
前記位置ずれに基づいて、前記基板搬送装置に前記位置ずれを打ち消すように前記第2置き場の前記複数のステージのいずれかに基板を置かせることと、
を含む位置補正手順を実行することを備えた位置ずれ補正方法。 - 前記位置ずれ補正手順を実行する前に、前記基板搬送装置に前記基板を前記第2置き場に置かせることと、前記過剰位置ずれ検出部に前記許容範囲外の位置ずれの有無を検出させることと、を含む過剰位置ずれ検出手順をさらに備え、
前記過剰位置ずれ検出手順により検出された位置ずれが許容範囲外である場合にのみ、前記位置ずれ補正手順が実行される、請求項6記載の位置ずれ補正方法。 - 前記過剰位置ずれ検出手順により前記許容範囲外の位置ずれが所定の頻度以上の頻度で検出された場合に、その後の所定の期間、前記過剰位置ずれ検出手順の実行を行わずに前記位置ずれ補正手順を実行する、請求項7記載の位置ずれ補正方法。
- 請求項1記載の基板処理装置の動作を制御する制御装置としてのコンピュータにより実行されることにより、前記コンピュータが前記基板処理装置を制御して請求項6から8のうちのいずれか一項に記載された位置ずれ補正方法を実行するプログラムを格納した記憶媒体。
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