CN1876529A - 玻璃基板移送装置 - Google Patents

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Abstract

一玻璃基板移送装置包括：一位置检知单元、一移动机构、一搬运手臂，以及一手臂控制单元。位置检知单元用以检知玻璃基板相对于一基准点的位置偏移量，移动机构带动位置检知单元相对于该玻璃基板移动，搬运手臂用以将玻璃基板自一第一位置搬移至一第二位置，手臂控制单元则依据该玻璃基板相对于该基准点的位置偏移量，对该搬运手臂的移动路径进行补偿与校正。

Description

玻璃基板移送装置
技术领域
本发明关于玻璃基板移送装置，特别关于具有位置补偿调整的玻璃基板移送装置。
背景技术
液晶薄膜显示器内所使用的玻璃基板，其需要经过多道的制作工艺程序，而在不同制作工艺程序之间，通常利用机械手臂(Robot)与托盘(Tray)以堆栈式储放玻璃基板并加以搬运。
参阅图1，其为传统玻璃基板移送装置实施于烘箱1(Oven)的结构示意图，为增加产能并减少制作工艺时间(cycle time)，烘箱1可同时进行多片玻璃基板的烘烤作业；烘箱1是在冷却区2上下叠设有一层入口与多层出口，机械手臂3将一托盘4上的玻璃基板放入烘箱1的入口，该玻璃基板借由烘箱1的移动装置5进入烘箱1内部烘烤，并待烘烤完毕后再移至多层出口的其中之一存放，此时机械手臂3再将多层出口上的玻璃基板移出至托盘4上。
而在将多层出口上的玻璃基板移出至托盘4上的搬运过程中，为确保玻璃基板的安全并避免玻璃基板的堆栈有位置上的误差，其必需具有偏斜校正(偏斜补偿)的功能。传统技术的校正动作是在机械手臂3取得玻璃基板之后再进行，机械手臂3必须在乘载玻璃基板的情形下，进行平面的移动，并借由固定位置的二X轴感应器6(sensor)与一Y轴感应器7感测玻璃基板的边缘，以借由机械手臂3对玻璃基板进行位置的补偿，而使玻璃基板可无位置偏移的被摆置于托盘4上。
如此显然传统技术因机械手臂3必须在乘载玻璃基板的情况下，才能进行玻璃基板的补偿，会使得玻璃基板的移送时间延长。
发明内容
因此，本发明的主要目的在于缩短玻璃基板的移送时间，以增加生产效率，提高产能。
本发明提供一玻璃基板移送装置。该玻璃基板移送装置包括：一位置检知单元、一移动机构、一搬运手臂，以及一手臂控制单元。位置检知单元用以检知玻璃基板相对于一基准点的位置偏移量，移动机构带动位置检知单元相对于该玻璃基板移动，搬运手臂用以将玻璃基板自一第一位置搬移至一第二位置，手臂控制单元则依据该玻璃基板相对于该基准点的位置偏移量，对该搬运手臂的移动路径进行补偿与校正。
附图说明
图1为传统玻璃基板移送装置实施于烘箱(Oven)的结构上视图。
图2为本发明玻璃基板移送装置实施于烘箱(Oven)的结构上视图。
图3为本发明移动机构与烘箱冷却区的结构前视图。
图4为本发明移动机构的立体结构图。
图5为本发明移动机构相对烘箱冷却区的位移示意图。
图6为本发明感测单元检知玻璃基板的示意图。
图7为本发明光学尺实施于移动机构的结构图。
图8为本发明利用光学尺检知玻璃基板的示意图。
主要组件符号说明
1..........烘箱
2..........冷却区
3..........机械手臂
4..........托盘
5..........移动装置
6..........X轴感应器
7..........Y轴感应器
10.........位置检知单元
11.........第一位置感测单元
111........第一传感器
112........第二传感器
12.........第二位置感测单元
121........第三传感器
20.........移动机构
30.........搬运手臂
40.........手臂控制单元
50.........玻璃基板
具体实施方式
为使本发明的特征、目的及功效更容易被了解与认同，兹列举优选实施例并配合附图说明如后：
参阅图2与图3，本发明包括一位置检知单元10、一移动机构20、一搬运手臂30以及一手臂控制单元40。本发明的实施形态以一烘箱(0ven)为例加以说明，该烘箱1具有一移动装置5及一冷却区2，该冷却区2上下叠设有一层入口与多层出口。本发明用于拾取该冷却区2多层出口(第一位置)上的玻璃基板50，并放置于一托盘4(Tray)(第二位置)上。
其中该位置检知单元10用以检知玻璃基板50相对于一基准点的位置偏移量，该位置检知单元10具有：一第一位置感测单元11与一第二位置感测单元12；该第一位置感测单元11用以检知玻璃基板50的第一边缘相对于该基准点的位置偏移量；该第二位置感测单元12用以检知玻璃基板50的第二边缘相对于该基准点的位置偏移量。
参阅图4，该位置检知单元10设置于该移动机构20之上，该移动机构20具有带动该第一位置感测单元11和该第二位置感测单元12相对于该玻璃基板50于X、Y轴平面移动的能力，该移动机构20亦具有Z轴的垂直移动能力，可沿着垂直于该玻璃基板50的平面的方向移动。
该搬运手臂30是用以将该玻璃基板50自该第一位置搬移至该第二位置，且该搬运手臂30受该手臂控制单元40的控制而移动，故只要知道该玻璃基板50相对于该基准点的位置偏移量，再依据该位置偏移量，改变该搬运手臂30的移动路径进行补偿与校正，即可使该搬运手臂30在拾取玻璃基板50时，可直接以正确位置摆放于该第二位置上。
参阅图5，本发明于检知玻璃基板50的第一边缘及第二边缘相对于该基准点的位置偏移量时，先让移动机构20沿着垂直于该玻璃基板50的平面的方向(Z轴方向)移动，选择要测量的玻璃基板50，再通过该移动机构20带动该第一和第二位置感测单元11、12，沿着平行于该玻璃基板50的方向移动(X轴方向或Y轴方向)，直至该第一和第二位置感测单元11、12其中任一个接近该玻璃基板50的该第一边缘或是该第二边缘时停止移动，即可得知该玻璃基板50的该第一边缘或是该第二边缘相对基准点的位置偏差量；重复此一动作，让该移动机构20沿着平行于该玻璃基板50的另一方向(Y轴方向或X轴方向)移动；如此即可得知该玻璃基板50的该第一边缘与该第二边缘相对基准点的位置偏差量，若在玻璃基板50旋转角度可以忽略不计的前提下，只要知道移动机构20的初始位置与移动距离，即可得知该玻璃基板50相对基准点的位置偏移量。
参阅图6，若玻璃基板50旋转角度不可以忽略不计，该位置检知单元10的第一位置感测单元11须包括有一第一传感器111与一第二传感器112，而该第二位置感测单元12具有一第三传感器121，该第一传感器111、该第二传感器112和该第三传感器121与该基准点的相对位置为已知，同样的让该移动机构20沿着平行于该玻璃基板50的方向(X轴或Y轴方向)移动，直至该第一、第二和第三传感器111、112、121接近该玻璃基板50的该第一边缘或是该第二边缘，即可得知该第一传感器111、该第二传感器112和该第三传感器121相对该玻璃基板50的距离A、B、C；据此可推算出该玻璃基板50相对基准点的位置偏差量与旋转角度，故当该搬运手臂30在拾取玻璃基板50摆放于该第二位置时，除了补偿位置偏差量之外，更可以补偿玻璃基板50的旋转角度而以正确位置摆放于该第二位置上。
而此处的该第一传感器111、第二传感器112以及该第三传感器121可为光学传感器(photo sensor)，其借由非接触式的光线反射感应，如红外线，得知是否接近玻璃基板50的边缘，而在计算该移动机构20的移动距离方面，则可装设一位移计数器，以检知该移动机构20在各轴向的移动量。
参阅图7与图8，该位置检知单元10的第一位置感测单元11的第一传感器111和第二传感器112亦可为光学尺(Open Linear Scale)或是激光传感器(Laser Line Sensor)；而该第二位置感测单元12的第三传感器121也可为光学尺(Open Linear Scale)或是激光传感器(Laser Line Sensor)，且第一传感器111、第二传感器112与第三传感器121可贴设于移动机构20上；因为玻璃基板50的位置偏差量多半局限于有限的范围内，因而只要设计让该移动机构20每次均位移一固定距离D，并让该移动机构20位移后的第一、第二及第三传感器111、112、121，横跨在该玻璃基板50的边缘上，因而借由光学尺的测量数据与该固定距离D的数值，即可得知玻璃基板50相对基准点的位置偏移量与旋转角度。
如上所述，本发明先检知玻璃基板50在第一位置时相对基准点的位置偏移量，故在该手臂控制单元40控制该搬运手臂30由第一位置拾取玻璃基板50并移至第二位置放置时，只要依据该位置偏移量改变该搬运手臂30的移动路径，即可补偿位置偏移量，而使该玻璃基板50得以正确位置直接摆放于该第二位置上，因为本发明的搬运手臂30在拾取玻璃基板50后，即直接移至第二位置放置，故本发明可降低玻璃基板50的移送时间(loader take-time)，而较传统技术者短，其可增加生产效率，提高产能。
综上所述仅为本发明的优选实施例而已，并非用来限定本发明的实施范围，即凡依本发明的内容所作的等效变化与修饰，均应为本发明的技术范畴。

Claims (9)

1.一种玻璃基板移送装置，包括：
一位置检知单元，用以检知玻璃基板相对于一基准点的位置偏移量，该位置检知单元具有：
一第一位置感测单元，用以检知玻璃基板的第一边缘相对于该基准点的位置偏移量；以及
一第二位置感测单元，用以检知玻璃基板的第二边缘相对于该基准点的位置偏移量；
一移动机构，用以带动该第一位置感测单元和该第二位置感测单元相对于该玻璃基板移动；
一搬运手臂，用以将该玻璃基板自一第一位置搬移至一第二位置；以及
一手臂控制单元，依据该玻璃基板相对于该基准点的位置偏移量，对该搬运手臂的移动路径进行补偿与校正，使该搬运手臂于该第一位置拾取该玻璃基板，得以正确位置直接摆放于该第二位置。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板移送装置，其特征在于，该移动机构带动该第一和第二位置感测单元，沿着平行于该玻璃基板的方向移动，直至该第一和第二位置感测单元其中的任一个接近该玻璃基板的该第一边缘或是该第二边缘时停止移动。
3.根据权利要求1所述的玻璃基板移送装置，其特征在于，该第一位置感测单元包括有一第一传感器与一第二传感器，该第二位置感测单元具有一第三传感器，该第一传感器、该第二传感器和该第三传感器与该基准点的相对位置为已知。
4.根据权利要求3所述的玻璃基板移送装置，其特征在于，该第一传感器、第二传感器以及该第三传感器可为光学传感器。
5.根据权利要求3所述的玻璃基板移送装置，其特征在于，该第一传感器和该第二传感器可为光学尺。
6.根据权利要求3所述的玻璃基板移送装置，其特征在于，该第一传感器和该第二传感器可为激光传感器。
7.根据权利要求3所述的玻璃基板移送装置，其特征在于，该第三传感器可为光学尺。
8.根据权利要求3所述的玻璃基板移送装置，其特征在于，该第三传感器可为激光传感器。
9.根据权利要求1所述的玻璃基板移送装置，其特征在于，该移动机构还可沿着一垂直于该玻璃基板的平面的方向移动。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102001524A (zh) * 2009-09-02 2011-04-06 旭硝子株式会社 层叠基板分离收容装置及玻璃基板的制造方法
CN102126612A (zh) * 2011-01-18 2011-07-20 东莞宏威数码机械有限公司 位置校正装置
CN103253512A (zh) * 2012-02-16 2013-08-21 株式会社安川电机 传送系统
CN105417066A (zh) * 2015-11-09 2016-03-23 合肥欣奕华智能机器有限公司 基板位置偏移检测及校正装置和基板搬运系统
CN113232020A (zh) * 2021-05-14 2021-08-10 山西光兴光电科技有限公司 取片机器人取片位置校正系统及校正方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW512478B (en) * 2000-09-14 2002-12-01 Olympus Optical Co Alignment apparatus
JP4277100B2 (ja) * 2002-11-14 2009-06-10 東京エレクトロン株式会社 搬送機構の基準位置補正装置及び基準位置補正方法
JP2004203604A (ja) * 2002-12-26 2004-07-22 Koyo Thermo System Kk 方形板状ワークの移載方法及び移載装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102001524A (zh) * 2009-09-02 2011-04-06 旭硝子株式会社 层叠基板分离收容装置及玻璃基板的制造方法
CN102126612A (zh) * 2011-01-18 2011-07-20 东莞宏威数码机械有限公司 位置校正装置
CN102126612B (zh) * 2011-01-18 2013-05-22 东莞宏威数码机械有限公司 位置校正装置
CN103253512A (zh) * 2012-02-16 2013-08-21 株式会社安川电机 传送系统
US8989901B2 (en) 2012-02-16 2015-03-24 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Transfer system
CN105417066A (zh) * 2015-11-09 2016-03-23 合肥欣奕华智能机器有限公司 基板位置偏移检测及校正装置和基板搬运系统
CN113232020A (zh) * 2021-05-14 2021-08-10 山西光兴光电科技有限公司 取片机器人取片位置校正系统及校正方法

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