JP2003087995A

JP2003087995A - 補助電源装置

Info

Publication number: JP2003087995A
Application number: JP2001281265A
Authority: JP
Inventors: Koutatsu Doi; 功達土井
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2001-09-17
Filing date: 2001-09-17
Publication date: 2003-03-20

Abstract

(57)【要約】【課題】複数個の補助電源を備え、商用電源が停電等
で突然電力の供給が遮断された際に、複数個の補助電源
によって駆動される各電気負荷を同期して作動すること
ができる補助電源装置を提供する。【解決手段】商用電源の電力によって駆動される複数
個の電気負荷を備えた加工装置に、商用電源が遮断され
た際に電力を供給するための補助電源装置であって、商
用電源にそれぞれ並列に接続された複数個の補助電源ユ
ニットを具備している。複数個の補助電源ユニットは、
それぞれバッテリーと、入力プラグと、出力プラグと、
商用電源からの電力の遮断を検出する停電検出手段と、
バッテリーの電力を該出力プラグに放出するスイッチ手
段とを具備しており、各停電検出手段のうち特定の停電
検出手段が設定され、他の停電検出手段は特定の停電検
出手段に商用電源の遮断を検出した信号を出力し、特定
の停電検出手段は自身による商用電源の遮断検出または
他の停電検出手段からの検出信号を入力した時点で各ス
イッチ手段に作動信号を出力する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば研削装置等
の加工装置に装備される電気負荷を駆動するための電源
となる商用電源をバックアップする補助電源装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体ウエーハの裏面を研削し
て半導体ウエーハを所定の厚さに加工する研削装置は、
被加工物である半導体ウエーハを保持するチャックテー
ブルと、該チャックテーブルに保持された半導体ウエー
ハを研削するための研削ユニットと、該研削ユニットを
チャックテーブル上の半導体ウエーハに対して垂直な方
向に移動せしめる研削ユニット送り機構とを具備してい
る。また、研削装置は、研削前の半導体ウエーハを複数
個収容した第１のカセットから１個の半導体ウエーハを
搬出する搬出手段と、該搬出手段によって搬出された半
導体ウエーハの中心を合わせを行う中心合わせ手段と、
該中心合わせ手段によって中心を合わせされた半導体ウ
エーハを上記チャックテーブル上に搬送する第１の搬送
手段と、チャックテーブル上において上記研削ユニット
により研削された半導体ウエーハを搬送する第２の搬送
手段と、該第２の搬送手段によって搬送された研削済の
半導体ウエーハを洗浄する洗浄手段と、該洗浄手段によ
って洗浄された半導体ウエーハを第２のカセット内に搬
入する搬送手段とを具備している。なお、洗浄手段によ
って洗浄された半導体ウエーハを第２のカセット内に搬
入する搬送手段は、一般に上記搬出手段がその機能を具
備している。このような研削装置を構成する上記各手段
は、それぞれ電動モータ等の駆動源を有している。この
電動モータ等の駆動源は、商用電源の電力によって駆動
され、それぞれが正確に同期して駆動されるようになっ
ている。

【０００３】ところで、研削装置の稼働中に商用電源が
停電等で突然電力の供給が遮断されると、上記各手段は
途中の作動位置で停止するため、電源を復帰する際には
各手段に位置付けられている半導体ウエーハを取り除き
半導体ウエーハが存在しない状態にして再稼働してお
り、生産性が著しく低い。そこで、従来の研削装置は、
商用電源が停電等で突然電力の供給が遮断された際に、
例えば上記研削ユニットや研削ユニット送り機構等の重
要な手段が不都合な状態で停止しないように小型の補助
電源を装備している。しかしながら、他の手段は商用電
源が停電等で突然電力の供給が遮断されたと同時に停止
されてしまい、上記不具合を完全に解消することはでき
ない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記問題を解決するた
めには、全ての手段に電力を供給可能な容量の大きい補
助電源を装備すればよいが、補助電源が大型となり研削
装置内に配置することが困難となるとともに、高価とな
り研削装置のコストが増大する要因となる。このような
不具合を解消するために、小型の補助電源を複数個装備
し上記各手段を数グループに分けて駆動することも考え
られるが、各補助電源に配設されている停電検出手段に
は停電検出に誤差が生ずるため、各補助電源の電力によ
って駆動される上記各手段を同期して作動することが困
難となる。

【０００５】本発明は上記事実に鑑みてなされたもので
あり、その主たる技術課題は、複数個の補助電源を備
え、商用電源が停電等で突然電力の供給が遮断された際
に、複数個の補助電源によって駆動される各電気負荷を
同期して作動することができる補助電源装置を提供する
ことにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記主たる技術課題を解
決するため、本発明によれば、商用電源の電力によって
駆動される複数個の電気負荷を備えた加工装置に、商用
電源が遮断された際に電力を供給するための補助電源装
置であって、商用電源にそれぞれ並列に接続された複数
個の補助電源ユニットを具備し、該複数個の補助電源ユ
ニットは、それぞれ電力を蓄えるバッテリーと、該バッ
テリーに商用電源からの電力を供給する入力プラグと、
該バッテリーの電力を所定の電気負荷に出力する出力プ
ラグと、該入力プラグに接続され商用電源からの電力の
遮断を検出する停電検出手段と、該停電検出手段からの
作動信号に基づいて該バッテリーの電力を該出力プラグ
に放出するスイッチ手段と、を具備しており、該各停電
検出手段のうち特定の停電検出手段が設定され、他の停
電検出手段は該特定の停電検出手段に商用電源の遮断を
検出した信号を出力し、該特定の停電検出手段は自身に
よる商用電源の遮断検出または他の停電検出手段からの
検出信号を入力した時点で該各スイッチ手段に作動信号
を出力する、ことを特徴とする補助電源装置が提供され
る。

【０００７】また、本発明によれば、商用電源の電力に
よって駆動される複数個の電気負荷を備えた加工装置
に、商用電源が遮断された際に電力を供給するための補
助電源装置であって、商用電源にそれぞれ並列に接続さ
れた複数個の補助電源ユニットを具備し、該複数個の補
助電源ユニットは、それぞれ電力を蓄えるバッテリー
と、該バッテリーに商用電源からの電力を供給する入力
プラグと、該バッテリーの電力を所定の電気負荷に出力
する出力プラグと、該入力プラグに接続され商用電源か
らの電力の遮断を検出する停電検出手段と、該停電検出
手段からの作動信号に基づいて該バッテリーの電力を該
出力プラグに放出するスイッチ手段と、を具備してお
り、該各停電検出手段はそれぞれ商用電源の遮断を検出
したら該各スイッチ手段に作動信号を出力する、ことを
特徴とする補助電源装置が提供される。

【０００８】更に、本発明によれば、商用電源の電力に
よって駆動される複数個の電気負荷を備えた加工装置
に、商用電源が遮断された際に電力を供給するための補
助電源装置であって、商用電源にそれぞれ並列に接続さ
れた複数個の補助電源ユニットを具備し、該複数個の補
助電源ユニットは、それぞれ電力を蓄えるバッテリー
と、該バッテリーに商用電源からの電力を供給する入力
プラグと、該バッテリーの電力を所定の電気負荷に出力
する出力プラグと、該バッテリーの電力を該出力プラグ
に放出するスイッチ手段とを具備しているとともに、該
複数個の補助電源ユニットのうち特定の補助電源ユニッ
トには該入力プラグに接続され商用電源からの電力の遮
断を検出する停電検出手段が配設されており、該停電検
出手段は商用電源の遮断を検出したら該各スイッチ手段
に作動信号を出力する、ことを特徴とする補助電源装置
が提供される。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に従って構成された
補助電源装置の好適な実施形態について、添付図面を参
照して詳細に説明する。

【００１０】図１には本発明による補助電源装置を適用
した研削装置の斜視図が示されている。研削装置は、全
体を番号２で示す装置ハウジングを具備している。装置
ハウジング２は、細長く延在する直方体形状の主部２１
と、該主部２１の後端部（図１において右上端）に設け
られ実質上鉛直に上方に延びる直立壁２２とを有してい
る。直立壁２２の前面には、上下方向に延びる一対の案
内レール２２１、２２１が設けられている。この一対の
案内レール２２１、２２１に研削ユニット３が上下方向
に移動可能に装着されている。

【００１１】研削ユニット３は、移動基台３１と該移動
基台３１に装着されたスピンドルユニット３２を具備し
ている。移動基台３１は、後面両側に上下方向に延びる
一対の脚部３１１、３１１が設けられており、この一対
の脚部３１１、３１１に上記一対の案内レール２２１、
２２１と摺動可能に係合する被案内溝３１２、３１２が
形成されている。このように直立壁２２に設けられた一
対の案内レール２２１、２２１に摺動可能に装着された
移動基台３１の前面には前方に突出した支持部３１３が
設けられている。この支持部３１３にスピンドルユニッ
ト３２が取り付けられる。

【００１２】スピンドルユニット３２は、支持部３１３
に装着されたスピンドルハウジング３２１と、該スピン
ドルハウジング３２１に回転自在に配設された回転スピ
ンドル３２２と、該回転スピンドル３２２を回転駆動す
るための駆動源としてのサーボモータ３２３（Ｍ１）と
を具備しており、サーボモータ３２３（Ｍ１）の出力軸
が図示しない減速機構を介して回転スピンドル３２２と
伝動連結されている。回転スピンドル３２２の下端部は
スピンドルハウジング３２１の下端を越えて下方に突出
せしめられており、回転スピンドル３２２の下端には研
削工具３２４が装着されている。

【００１３】図示の実施形態における研削装置は、上記
研削ユニット３を上記一対の案内レール２２１、２２１
に沿って上下方向に移動せしめる研削ユニット送り機構
４を備えている。この研削ユニット送り機構４は、直立
壁２２の前側に配設され実質上鉛直に延びる雄ねじロッ
ド４１を具備している。この雄ねじロッド４１は、その
上端部および下端部が直立壁２２に取り付けられた軸受
部材４２および４３によって回転自在に支持されてい
る。上側の軸受部材４２には雄ねじロッド４１を回転駆
動するための駆動源としてのパルスモータ４４（Ｍ２）
が配設されており、このパルスモータ４４（Ｍ２）の出
力軸が雄ねじロッド４１に伝動連結されている。移動基
台３１の後面にはその幅方向中央部から後方に突出する
連結部（図示していない）も形成されており、この連結
部には鉛直方向に延びる貫通雌ねじ穴が形成されてお
り、この雌ねじ穴に上記雄ねじロッド４１が螺合せしめ
られている。従って、パルスモータ４４（Ｍ２）が正転
すると移動基台３１即ち研削ユニット３が下降せしめら
れ、パルスモータ４４（Ｍ２）が逆転すると移動基台３
１即ち研削ユニット３が上昇せしめられる。

【００１４】上記ハウジング２の主部２１の後半部上に
は略矩形状の没入部２１１が形成されており、この没入
部２１１にはチャックテーブル機構６が配設されてい
る。チャックテーブル機構６は、支持基台６１とこの支
持基台６１に回転自在に配設されたチャックテーブル６
２とを含んでいる。支持基台６１は、上記没入部２１１
上に前後方向である矢印２３ａおよび２３ｂで示す方向
に延在する図示しない案内レールに摺動自在に装着され
ている。チャックテーブル６２は、多孔質セラミッック
スの如き適宜の多孔性材料から構成されており、図示し
ない吸引手段に接続されている。従って、チャックテー
ブル６２を図示しない吸引手段に選択的に連通すること
により、チャックテーブル６２上に載置された被加工物
を吸引保持する。上記支持基台６１の移動方向両側に
は、横断面形状が逆チャンネル形状の蛇腹手段７１およ
び７２が付設されている。蛇腹手段７１および７２はキ
ャンパス布の如き適宜の材料から形成することができ
る。蛇腹手段７１の前端は没入部２１１の前面壁に固定
され、後端は支持基台６１の前端面に固定されている。
蛇腹手段７２の前端は支持基台６１の後端面に固定さ
れ、後端は装置ハウジング２の直立壁２２の前面に固定
されている。

【００１５】上記装置ハウジング２の主部２１における
前半部上には、第１のカセット１１と、第２のカセット
１２と、中心合わせ手段１３と、洗浄手段１４と、被加
工物搬送手段１５と、被加工物搬入手段１６および被加
工物搬出手段１７が配設されている。中心合わせ手段１
３は駆動源としてのパルスモータＭ３を備え、研削加工
前の被加工物を仮載置し被加工物の中心を合わせを行
う。洗浄手段１４は駆動源としてのパルスモータＭ４を
備え、研削加工後の被加工物を洗浄する。被加工物搬送
手段１５は駆動源としてのパルスモータＭ５を備え、第
１のカセット１１内に収納された被加工物を中心合わせ
手段１３に搬出するとともに洗浄手段１４で洗浄された
被加工物を第２のカセット１２に搬送する。被加工物搬
入手段１６は駆動源としてのパルスモータＭ６を備え、
中心合わせ手段１３上に載置された研削加工前の被加工
物を被加工物搬入・搬出域２４に位置付けられたチャッ
クテーブル機構６のチャックテーブル６２上に搬送す
る。被加工物搬出手段１７は駆動源としてのパルスモー
タＭ７を備え、被加工物搬入・搬出域２４に位置付けら
れたチャックテーブル６２上に載置されている研削加工
後の被加工物を洗浄手段１４に搬送する。

【００１６】上記各モータＭ１乃至Ｍ７は、図２乃至図
４に示すように三相交流２００Ｖの商用電源５に接続さ
れる電源回路５０を介して供給される電力によって駆動
されるようになっている。また、図示の実施形態におけ
る研削装置は、商用電源５が停電等で突然電力の供給が
遮断された際に、上記各モータＭ１乃至Ｍ７を駆動する
ための補助電源装置１０を具備している。補助電源装置
１０は、図示に実施形態においては図２乃至図４に示す
ように３個の補助電源ユニット１０ａ、１０ｂ、１０ｃ
を備えており、図１に示すように装置ハウジング２内に
配置されている。この補助電源ユニット１０ａ、１０
ｂ、１０ｃからなる補助電源装置１０の各実施形態につ
いて、図２乃至図４を参照して説明する。

【００１７】図２には、本発明によって構成された補助
電源装置１０の第１の実施形態が示されている。補助電
源装置１０を構成する３個の補助電源ユニット１０ａ、
１０ｂ、１０ｃは、商用電源５にそれぞれ並列に接続さ
れている。この３個の補助電源ユニット１０ａ、１０
ｂ、１０ｃは、それぞれ電力を蓄えるバッテリー１０１
ａ、１０１ｂ、１０１ｃと、該バッテリー１０１ａ、１
０１ｂ、１０１ｃに商用電源５からの電力を供給する入
力プラグ１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃと、バッテリー
１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃの電力を上記各モータＭ
１乃至Ｍ７に出力する出力プラグ１０３ａ、１０３ｂ、
１０３ｃと、入力プラグ１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ
に接続され商用電源５からの電力の遮断を検出する停電
検出手段１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃと、該停電検出
手段１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃからの作動信号に基
づいてバッテリー１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃの電力
を出力プラグ１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃに放出する
スイッチ手段１０５ａ、１０５ｂ、１０５ｃを具備して
いる。このように構成された補助電源ユニット１０ａ、
１０ｂ、１０ｃに装備された各バッテリー１０１ａ、１
０１ｂ、１０１ｃは、商用電源５の電力によって常に充
電されている。なお、図示の実施形態においては補助電
源ユニット１０ａの出力プラグ１０３ａは上記モータＭ
１およびＭ２に接続され、補助電源ユニット１０ｂの出
力プラグ１０３ｂは上記モータＭ３とＭ４およびＭ５に
接続され、補助電源ユニット１０ｃの出力プラグ１０３
ｃは上記モータＭ６およびＭ７に接続されている。従っ
て、補助電源ユニット１０ａは上記モータＭ１およびＭ
２の補助電源として機能し、補助電源ユニット１０ｂは
上記モータＭ３とＭ４およびＭ５の補助電源として機能
し、補助電源ユニット１０ｃは上記モータＭ６およびＭ
７の補助電源として機能する。

【００１８】図２に示す実施形態においては、上記各補
助電源ユニット１０ａ、１０ｂ、１０ｃにそれぞれ設け
られた停電検出手段１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃのう
ち補助電源ユニット１０ｂの停電検出手段１０４ｂが特
定の停電検出手段として設定されている。そして、補助
電源ユニット１０ａの停電検出手段１０４ａおよび補助
電源ユニット１０ｃの停電検出手段１０４ｃは、特定の
停電検出手段１０４ｂに商用電源の遮断を検出した検出
信号を出力する。一方、特定の停電検出手段１０４ｂ
は、自身による商用電源の遮断検出か上記停電検出手段
１０４ａまたは１０４ｃからの検出信号が到達された時
点で、各補助電源ユニット１０ａ、１０ｂ、１０ｃにそ
れぞれ設けられたスイッチ手段１０５ａ、１０５ｂ、１
０５ｃに作動信号を出力する。従って、上記停電検出手
段１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃのうち最も早い検出信
号に基づいてスイッチ手段１０５ａ、１０５ｂ、１０５
ｃは同時に作動されるため、補助電源ユニット１０ａに
よって駆動される上記モータＭ１およびＭ２と、補助電
源ユニット１０ｂによって駆動される上記モータＭ３と
Ｍ４およびＭ５と、補助電源ユニット１０ｃによって駆
動される上記モータＭ６およびＭ７は、同時に同期して
駆動されることになる。このようにして上記各手段の駆
動源に暫くの間電力を供給することにより、上記各手段
を不都合のない所定の位置に作動することができる。

【００１９】次に、本発明によって構成された補助電源
装置１０の第２の実施形態について、図３を参照して説
明する。なお、図３に示す第２の実施形態においては、
上記図２に示す第１の実施形態における補助電源装置１
０を構成する各部品と同一部材には同一符号を付して、
その説明は省略する。図３に示す第２の実施形態におい
ては、各補助電源ユニット１０ａ、１０ｂ、１０ｃにそ
れぞれ設けられた停電検出手段１０４ａ、１０４ｂ、１
０４ｃは、それぞれ各補助電源ユニット１０ａ、１０
ｂ、１０ｃにそれぞれ設けられたスイッチ手段１０５
ａ、１０５ｂ、１０５ｃに作動信号を出力するように構
成されている。従って、停電検出手段１０４ａ、１０４
ｂ、１０４ｃのうち商用電源の遮断を最も早く検出した
停電検出手段からの作動信号に基づいて各補助電源ユニ
ット１０ａ、１０ｂ、１０ｃにそれぞれ設けられたスイ
ッチ手段１０５ａ、１０５ｂ、１０５ｃが同時に作動さ
れるため、補助電源ユニット１０ａによって駆動される
上記モータＭ１およびＭ２と、補助電源ユニット１０ｂ
によって駆動される上記モータＭ３とＭ４およびＭ５
と、補助電源ユニット１０ｃによって駆動される上記モ
ータＭ６およびＭ７は、同期して駆動されることにな
る。

【００２０】次に、本発明によって構成された補助電源
装置１０の第３の実施形態について、図４を参照して説
明する。なお、図４に示す第２の実施形態においては、
上記図２および図３に示す第１および第２の実施形態に
おける補助電源装置１０を構成する各部品と同一部材に
は同一符号を付して、その説明は省略する。図４に示す
第３の実施形態においては、各補助電源ユニット１０
ａ、１０ｂ、１０ｃのうち特定の補助電源ユニットが設
定され、特定の補助電源ユニットだけに停電検出手段が
配設される。図４に示す第３の実施形態においては、特
定の補助電源ユニットは１０ａに設定され、この特定の
補助電源ユニット１０ａに停電検出手段１０４ａが設け
られている。そして、停電検出手段１０４ａは、商用電
源の遮断を検出したら補助電源ユニット１０ａに設けら
れたスイッチ手段１０５ａと他の補助電源ユニット１０
ｂ、１０ｃにそれぞれ設けられたスイッチ手段１０５
ｂ、１０５ｃに同時に作動信号を出力するように構成さ
れている。従って、商用電源が遮断した際には、補助電
源ユニット１０ａによって駆動される上記モータＭ１お
よびＭ２と、補助電源ユニット１０ｂによって駆動され
る上記モータＭ３とＭ４およびＭ５と、補助電源ユニッ
ト１０ｃによって駆動される上記モータＭ６およびＭ７
は、同期して駆動されることになる。

【００２１】以上、本発明を図示の実施形態に基づいて
説明したが、本発明は実施形態のみに限定されるもので
はない。例えば、実施形態においては研削装置に本発明
を適用した例を示したが、本発明は切削装置等他の加工
装置に広く適用することができる。

【００２２】

【発明の効果】本発明による補助電源装置においては、
商用電源が遮断した際には、複数個の補助電源ユニット
を同時に作動して加工装置に装備された複数個の電気負
荷を同期して駆動することができ、従って、複数個の電
気負荷によって作動される稼働部の動きが同期しないこ
とによる不具合を解消することができる。また、本発明
による補助電源装置においては、複数個の補助電源ユニ
ットを備えているので、容量の大きい補助電源に比して
安価であるとともに、加工装置内の適宜のスペースに容
易に配置することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による補助電源装置を適用した加工装置
としての研削装置の斜視図。

【図２】本発明に従って構成された補助電源装置の第１
の実施形態を示すブロック構成図。

【図３】本発明に従って構成された補助電源装置の第２
の実施形態を示すブロック構成図。

【図４】本発明に従って構成された補助電源装置の第３
の実施形態を示すブロック構成図。

【符号の説明】

２：装置ハウジング３：研削ユニット４：研削ユニット送り機構６：チャックテーブル機構１１：第１のカセット１２：第２のカセット１３：被加工物仮載置手段１４：洗浄手段１５：被加工物搬送手段１６：被加工物搬入手段１７：被加工物搬出手段５：商用電源１０：補助電源装置１０ａ、１０ｂ、１０ｃ：補助電源ユニット１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ：バッテリー１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ：入力プラグ１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ：出力プラグ１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ：停電検出手段１０５ａ、１０５ｂ、１０５ｃ：スイッチ手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０５Ｂ 19/18 Ｇ０５Ｂ 19/18 ＸＦターム(参考） 3C047 FF08 FF15 5G015 GA03 GA06 JA05 JA32 JA47 JA56 5H269 AB01 BB11 JJ04 NN10 5H410 CC05 DD05 EA37 FF03 FF22 LL04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】商用電源の電力によって駆動される複数
個の電気負荷を備えた加工装置に、商用電源が遮断され
た際に電力を供給するための補助電源装置であって、商用電源にそれぞれ並列に接続された複数個の補助電源
ユニットを具備し、該複数個の補助電源ユニットは、それぞれ電力を蓄える
バッテリーと、該バッテリーに商用電源からの電力を供
給する入力プラグと、該バッテリーの電力を所定の電気
負荷に出力する出力プラグと、該入力プラグに接続され
商用電源からの電力の遮断を検出する停電検出手段と、
該停電検出手段からの作動信号に基づいて該バッテリー
の電力を該出力プラグに放出するスイッチ手段と、を具
備しており、該各停電検出手段のうち特定の停電検出手段が設定さ
れ、他の停電検出手段は該特定の停電検出手段に商用電
源の遮断を検出した信号を出力し、該特定の停電検出手
段は自身による商用電源の遮断検出または他の停電検出
手段からの検出信号を入力した時点で該各スイッチ手段
に作動信号を出力する、ことを特徴とする補助電源装置。
【請求項２】商用電源の電力によって駆動される複数
個の電気負荷を備えた加工装置に、商用電源が遮断され
た際に電力を供給するための補助電源装置であって、商用電源にそれぞれ並列に接続された複数個の補助電源
ユニットを具備し、該複数個の補助電源ユニットは、それぞれ電力を蓄える
バッテリーと、該バッテリーに商用電源からの電力を供
給する入力プラグと、該バッテリーの電力を所定の電気
負荷に出力する出力プラグと、該入力プラグに接続され
商用電源からの電力の遮断を検出する停電検出手段と、
該停電検出手段からの作動信号に基づいて該バッテリー
の電力を該出力プラグに放出するスイッチ手段と、を具
備しており、該各停電検出手段はそれぞれ商用電源の遮断を検出した
ら該各スイッチ手段に作動信号を出力する、ことを特徴
とする補助電源装置。
【請求項３】商用電源の電力によって駆動される複数
個の電気負荷を備えた加工装置に、商用電源が遮断され
た際に電力を供給するための補助電源装置であって、商用電源にそれぞれ並列に接続された複数個の補助電源
ユニットを具備し、該複数個の補助電源ユニットは、それぞれ電力を蓄える
バッテリーと、該バッテリーに商用電源からの電力を供
給する入力プラグと、該バッテリーの電力を所定の電気
負荷に出力する出力プラグと、該バッテリーの電力を該
出力プラグに放出するスイッチ手段とを具備していると
ともに、該複数個の補助電源ユニットのうち特定の補助
電源ユニットには該入力プラグに接続され商用電源から
の電力の遮断を検出する停電検出手段が配設されてお
り、該停電検出手段は商用電源の遮断を検出したら該各スイ
ッチ手段に作動信号を出力する、ことを特徴とする補助
電源装置。