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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Energieversorgungssystem zum
normalen Betreiben einer Einrichtung selbst dann, wenn elektrische
Energie, die von einer Netzstromversorgungsquelle geliefert wird,
unterbrochen wird, oder unzureichend ist.
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Verschiedene
Einrichtungen werden jeweils mit elektrischer Energie von einer
Netzstromversorgungsquelle versorgt, und liefern erforderliche elektrische
Energie an verschiedene, bewegliche Abschnitte darin, durch Einsatz
der elektrischen Energie, um die beweglichen Abschnitte auf normale
Art und Weise zu betreiben. Hierdurch wird die Funktionsweise als
Einrichtung aufrechterhalten. Eine Einrichtung, bei der es nicht
zulässig ist, dass sie ihren Betrieb einstellt, infolge
einer Unterbrechung der Energieversorgung infolge eines Stromausfalls
oder dergleichen ist daher mit einer Hilfs-Stromversorgungsvorrichtung
versehen. Im Falle eines Stromausfalls wird verhindert, dass der
Betrieb der Einrichtung beeinflusst wird, durch Umschalten der Stromversorgung
auf die Hilfs-Stromversorgungsvorrichtung. Die Hilfs-Stromversorgungsvorrichtung
ist so ausgebildet, dass sie Wechselstromenergie von einer Netzstromversorgungsquelle
als Gleichstromenergie speichert, und die Gleichstromenergie im
Falle eines Stromausfalls abgibt (vgl. die
japanische offen gelegte Patentanmeldung
Nr. 2003-87995 ).
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Bewegbare
Abschnitte, die jeweils eine von verschiedenen Einrichtungen bilden,
werden unterteilt auf eine Art, die mit Gleichstromenergie angetrieben
wird, und eine Art, die mit Wechselstromenergie angetrieben wird.
Da die Netzstromenergie Wechselstromenergie ist, kann ein bewegbarer
Abschnitt jener Art, der mit Gleichstromenergie betrieben wird, mit
der Funktionsweise versehen sein, Wechselstromenergie in Gleichstromenergie
in einigen Fällen umzuwandeln. Bei einem derartigen Fall
gibt dann, wenn die Stromversorgung von der Netzstromversorgungsquelle
infolge eines Stromausfalls oder dergleichen unterbrochen wird,
und der Speicherabschnitt der Hilfs-Stromversorgungsvorrichtung
elektrische Energie an die bewegbaren Abschnitte liefert, der Speicherabschnitt
Gleichstromenergie aus. Die Gleichstromenergie, die so ausgegeben
wird, wird in Wechselstromenergie umgewandelt, an den bewegbaren
Abschnitt geliefert, und die Wechselstromenergie wird erneut in
Gleichstromenergie in dem bewegbaren Abschnitt umgewandelt. Daher
besteht ein Problem in der Hinsicht, dass die Einrichtung einen komplizierten
Aufbau aufweist, teuer ist, und die Stromumwandlung kostenaufwendig
Verluste hervorruft.
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Wenn,
wie bei einem Motor, ein bewegbarer Abschnitt angetrieben wird,
bei welchem der Energieverbrauch im Betrieb relativ gering ist,
und relativ groß beim Ingangsetzen, ist es erforderlich,
die maximale elektrische Arbeitsenergie auf Grundlage des hohen
Stromverbrauchs beim Ingangsetzen einzustellen. Auch diese Vorgehensweise
ist kostenaufwendig. Weiterhin kann eine Netzstromversorgungsquelle
einen Wechselstrom von 200 V mit drei Phasen liefern, von welchem
ein Wechselstrom mit 200 V einer einzigen Phase zum Einsatz abgezogen
werden kann. In einem derartigen Fall wird infolge der Tatsache,
dass wahlweise zwei Pole selektiv eingesetzt werden, das Gleichgewicht
zwischen den Phasen gestört, was dazu führt, dass
wahrscheinlich die Stromversorgungsquellenseite beeinflusst wird.
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Daher
besteht ein Ziel der vorliegenden Erfindung in der Bereitstellung
eines Energieversorgungssystems, welches den normalen und stabilen Betrieb
einer Einrichtung sicherstellen kann, ohne die Konstruktion verschiedener
Einrichtungen kompliziert auszubilden, auf kostengünstige
Art und Weise, wenn die Stromversorgung von einer Netzstromversorgungsquelle
unterbrochen wird, oder unzureichend ist.
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Gemäß einem
Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Energieversorgungssystem
zur Verfügung gestellt, das eine Einrichtung aufweist,
die mehrere bewegbare Abschnitte aufweist, die mit Gleichstromenergie
zum Betrieb versorgt werden; und eine Netzstromversorgungsquelle
und eine Hilfs-Stromversorgungsquelle zum Liefern elektrischer Energie
an die Einrichtung; wobei die Hilfs-Stromversorgungsquelle einen
AC/DC-Wandler zur Umwandlung von Wechselstromenergie der Netzversorgungsquelle
in Gleichstromenergie aufweist; einen Speicherabschnitt zum Speichern
der Gleichstromenergie, die von dem AC/DC-Wandler ausgegeben wird;
einen Energiespeichersteuerabschnitt zum Abgeben der Gleichstromenergie,
die in dem Speicherabschnitt gespeichert ist; und einen Energieversorgungssteuerabschnitt
zum Liefern, an die bewegbaren Abschnitte, der Gleichstromenergie, die
von dem AC/DC-Wandlerabschnitt abgegeben wird, oder von dem Speicherabschnitt
abgegeben wird.
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Der
Speicherabschnitt kann unterteilt Gleichstromenergie, welche jedem
der mehreren bewegbaren Abschnitt zugeordnet ist, abgeben, welche
jeweilige Betriebsenergieversorgungsquellen aufweisen, die voneinander
verschieden sind. Der Speichersteuerabschnitt hat die Funktion,
einen Mangel elektrischer Energie zu erfassen, die zum Betrieb der
bewegbaren Abschnitte erforderlich ist, und veranlasst den Speicherabschnitt
zur Abgabe elektrischer Energie, um den Mangel zu kompensieren,
wobei elektrische Energie abgegeben wird.
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Bei
der vorliegenden Erfindung wird die Gleichstromenergie, die von
dem AC/DC-Wandlerabschnitt oder von dem Speicherabschnitt abgegeben wird,
von dem Energieversorgungsabschnitt zugeführt. In jedem
Fall werden die bewegbaren Abschnitte durch die Gleichstromenergie
versorgt, die von dem Energieversorgungssteuerabschnitt abgegeben wird.
Es ist nicht erforderlich, die Funktionsweise vorzusehen, bei welcher
Wechselstrom in Gleichstrom für jeden der bewegbaren Abschnitte
umgewandelt wird. Daher kann der normale und stabile Betrieb der Einrichtungen
kostengünstig sichergestellt werden, ohne dass die Ausbildung
der Einrichtung kompliziert wird. Da der Speicherabschnitt unterteilt
elektrische Energie ausgibt, die den Betriebsversorgungsquellen der
bewegbaren Abschnitte zugeordnet ist, kann er mit bewegbaren Abschnitten
unterschiedlicher Arten fertig werden, beispielsweise mit einem
Motor, der mit Wechselspannung von 100 V betrieben wird, einem Elektromagnetventil,
das mit Gleichspannung von 24 V betrieben wird, und einem Sensor,
der mit Gleichspannung von 12 V arbeitet.
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Weiterhin
hat der Speichersteuerabschnitt die Funktion, einen Mangel elektrischer
Energie zu erfassen, die zum Betrieb der bewegbaren Abschnitte erforderlich
ist, und veranlasst den Speicherabschnitt zur Abgabe elektrischer
Energie, um den Mangel zu kompensieren, wobei die elektrische Energie
abgegeben wird. Wenn daher ein bewegbarer Abschnitt, bei welchem
der Energieverbrauch im Betrieb größer ist als
zum Zeitpunkt der Inbetriebnahme, angetrieben wird, wird die maximale
elektrische Arbeitsenergie auf Grundlage des relativ kleinen Energieverbrauchs
eingestellt, der im Betrieb vorhanden ist, und wird der Mangel dadurch
kompensiert, dass der Speicherabschnitt zur Abgabe veranlasst wird,
wodurch die erforderliche elektrische Energie zur Verfügung
gestellt wird.
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Die
voranstehenden und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden
Erfindung und die Art und Weise von deren Umsetzung in die Praxis, werden
deutlicher, und die Erfindung selbst wird am besten verstanden,
aufgrund einer Untersuchung der folgenden Beschreibung und der beigefügten
Patentansprüche unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen,
die einige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen.
Es zeigt:
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1 ein
Blockdiagramm, das die Ausbildung eines Energieversorgungssystems
anhand eines Beispiels darstellt;
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2 eine
Perspektivansicht einer Trennmaschine;
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3 eine
Perspektivansicht zur Erläuterung des inneren Aufbaus der
Trennmaschine; und
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4 eine
erläuternde Darstellung zum Verdeutlichen einer Anordnung,
die dazu ausgebildet ist, eine Einstellung durchzuführen.
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Ein
Energieversorgungssystem 10 in 1 weist
eine Einrichtung 101 auf, die mit mehreren bewegbaren Abschnitten 101a versehen
ist, die mit Gleichstromenergie für den Betrieb versorgt
werden; eine Hilfs-Energieversorgungsvorrichtung 102 zum Zuführen
elektrischer Energie zur Einrichtung 101; und eine Netzstromversorgungsquelle 20.
Die Netzstromversorgungsquelle 20 kann Dreiphasen-Wechselstrom
oder Einphasen-Wechselstrom liefern. Die Hilfs-Energieversorgungsquellenvorrichtung 102 hat die
Aufgabe, elektrische Energie der Einrichtung 101 anstelle
der Netzstromversorgung 20 zuzuführen, wenn die
Zufuhr elektrischer Energie von der Netzstromversorgungsquelle 20 zur
Einrichtung 101 unterbrochen ist; sowie die Funktion, dann,
wenn die elektrische Energie nicht ausreichend ist, die von der Netzstromversorgungsquelle 20 der
Einrichtung 101 zugeführt wird, elektrische Energie
zuzuführen, welche den Mangel ausgleicht, an die Einrichtung 101.
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Die
Hilfs-Stromversorgungseinrichtung 102 weist einen AC/DC-Wandlerabschnitt 102a auf,
einen Speicherabschnitt 102b, einen Speichersteuerabschnitt 102c,
und einen Stromversorgungssteuerabschnitt 102d. Der AC/DC-Wandlerabschnitt 102a wandelt
Wechselstromenergie von der Netzstromversorgungsquelle in Gleichstromenergie
zur Ausgabe um. Der Speicherabschnitt 102b speichert die Gleichstromenergie,
die von dem AC/DC-Wandlerabschnitt 102a ausgegeben wird.
Der Speichersteuerabschnitt 102c überwacht einen
Zustand der elektrischen Energie, welche den bewegbaren Abschnitten 101a zugeführt
wird, und steuert den Betrieb des Speicherabschnitts 102b in
Reaktion auf den erfassten Zustand. Der Energieversorgungssteuerabschnitt 102d gibt
unterteilt die elektrische Energie, die von dem AC/DC-Wandlerabschnitt 102a oder
dem Speicherabschnitt 102b abgegeben wird, an die mehreren
bewegbaren Abschnitte 101a aus.
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Die
bewegbaren Abschnitte 101a werden jeweils durch Gleichstromenergieversorgung
betätigt, die unterteilt von dem Energieversorgungssteuerabschnitt 101a ausgegeben
wird. Der Energieversorgungssteuerabschnitt 102d verteilt
normalerweise die Gleichstromenergie, die von dem AC/DC-Wandlerabschnitt
ausgegeben wird, an die bewegbaren Abschnitte 101a. Im
Falle eines Stromausfalls erfasst jedoch der Speichersteuerabschnitt 102c den Stromausfall,
und weist die Speicherabschnitte 102b an, Energie abzugeben,
wodurch die Gleichstromenergie verteilt wird, die von dem Speicherabschnitt 102b abgegeben
wird. Wenn der Speicherabschnitt 102b die Funktion aufweist,
unterteilt Gleichstromenergie auszugeben, die an die bewegbaren
Abschnitte angepasst ist, liefert der Energieversorgungssteuerabschnitt 102d die
unterteilte Energie an die zugehörigen, bewegbaren Abschnitte
so, wie sie ist.
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Der
Speicherabschnittsteuerabschnitt 102c überwacht
nicht nur einen Energieausfall, sondern auch die Tatsache, ob die
elektrische Energie unzureichend ist oder nicht, die für
die bewegbaren Abschnitte 101a benötigt wird.
Wenn die elektrische Energie, die zum Betreiben der bewegbaren Abschnitte 101a benötigt
wird, unzureichend ist, weist der Speichersteuerabschnitt 102c den
Speicherabschnitt 102b an, elektrische Energie entsprechend
dem Mangel abzugeben. Der Speicherabschnitt 102b gibt die
elektrische Energie entsprechend dem Mangel ab, und liefert sie
durch den Energieversorgungssteuerabschnitt 102d an einen
bewegbaren Abschnitt 101a, bei welchem die elektrische
Energie nicht ausreicht.
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Wie
voranstehend geschildert werden die bewegbaren Abschnitte 101a mit
elektrischer Energie von dem Energieversorgungssteuerabschnitt 102b zu
jedem Zeitpunkt versorgt, einschließlich der Zeit eines
Energiemangels, und zum Kompensieren der elektrischen Energie. Allerdings
ist der Stromversorgungssteuerabschnitt 102d normalerweise
an den AC/DC-Wandlerabschnitt 102a und an den Speicherabschnitt 102b parallel
beim Stromausfall angeschlossen. Wenn die elektrische Energie nicht
ausreicht, schaltet daher der Speichersteuerabschnitt 102c die
Parallelbeziehung auf Reihenschaltungsbeziehung um, um eine Kompensation
des Ausfalls der elektrischen Energie zu ermöglichen. Eine
Schaltschaltung zum Ausführen eines derartigen Schaltens ist
beispielsweise in dem Stromversorgungssteuerabschnitt 102d vorgesehen.
Sämtliche bewegbaren Abschnitte 101a werden durch
die Gleichstromenergie von dem Energieversorgungssteuerabschnitt 102d betrieben.
Anders ausgedrückt, benötigen sie keine Wechselstromenergie.
Obwohl die Netzstromversorgungsquelle einen Dreiphasen-Wechselstrom mit
200 V liefert, wird Wechselstromenergie, die von wahlweise zwei
Polen abgenommen wird, nicht eingesetzt. Kurz gefasst, ist es nicht
erforderlich, das Gleichgewicht zwischen den Phasen zu berücksichtigen.
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Als
nächstes erfolgt eine Beschreibung eines Beispiels, bei
welchem die vorliegende Erfindung bei einer Trennmaschine 1 eingesetzt
wird, die in 2 gezeigt ist. Diese Trennmaschine 1 ist
eine Maschine zum Schneiden und Unterteilen eines Wafers W auf einzelne
Chips. Die Trennmaschine 1 weist einen Waferkassetten-Anordnungsabschnitt 2 auf,
auf welchem eine Waferkassette C angeordnet wird, wobei die Waferkassette
C in sich Wafer W aufnimmt; eine Vorrichtung 4 zum Einbringen
oder Herausbringen, welche Wafer, die geschnitten werden sollen,
von der Waferkassette C zu einem temporären Anordnungsbereich 3 transportiert,
und einen geschnittenen Wafer in die Waferkassette C transportiert;
einen Spannvorrichtungstisch 5, der einen Wafer haltern
und drehen kann, der geschnitten werden soll, und ihn in Richtung
der X-Achse bewegen kann; und eine erste Fördervorrichtung 6a,
welche einen Wafer zwischen dem Spanntisch 5 und dem temporären
Anordnungsbereich 3 transportiert.
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Die
Trennmaschine 1 weist weiterhin eine Ausrichtungsvorrichtung 7 auf,
welche eine vordere Oberfläche des von dem Einspanntisch 5 gehalterten Wafers
abbildet, und einen zu schneidenden Bereich erfasst; eine Schneidvorrichtung 8,
welche den auf dem Einspanntisch 5 gehalterten Wafer schneidet; eine
Reinigungsvorrichtung 9, welche einen geschnittenen Wafer
auf einem Drehtisch 90 haltert und reinigt; und eine zweite
Fördervorrichtung 6b, die einen geschnittenen
Wafer von dem Einspanntisch 5 zu der Reinigungsvorrichtung 9 befördert.
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Wie
aus 3 hervorgeht, kann der Einspanntisch 5 zum Schneiden
in der X-Axialrichtung durch eine Schneidtransportvorrichtung 11 transportiert
werden. Die Schneidtransportvorrichtung 11 weist eine Kugelumlaufspindel 110 auf,
die so angeordnet ist, dass sie sich in der X-Axialrichtung erstreckt;
einen Servomotor 111, der mit einem Ende der Kugelumlaufspindel 110 verbunden
ist; ein Paar von Führungsschienen 112, die parallel
zur Kugelumlaufspindel 110 angeordnet sind; und eine Verschiebungsbasis 113,
in welcher eine innere Mutter im Gewindeeingriff mit der Kugelumlaufspindel 110 steht, und
ein unterer Abschnitt in Gleitkontakt mit dem Führungsschienen 112 steht.
Die Kugelumlaufspindel 110 ist so ausgebildet, dass sie
durch den Servomotor 111 angetrieben und gedreht wird,
um die Verschiebungsbasis 113, geführt durch die
Führungsschienen 112, in der X-Achsenrichtung
zu bewegen, und auch den Einspanntisch 5 in dieselbe Richtung zu
bewegen. Der Servomotor 111 entspricht dem beweglichen
Abschnitt 101a, der in 1 dargestellt
ist, und seine Stromversorgungsspannung ist auf beispielsweise 100
V Gleichspannung eingestellt.
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Der
Einspanntisch 5 wird durch einen Impulsmotor angetrieben
und gedreht, der nicht dargestellt ist, der innerhalb eines Drehantriebsabschnitts 114 vorgesehen
ist, der an der Oberseite der Verschiebungsbasis 113 angebracht
ist. Dieser Impulsmotor entspricht dem beweglichen Abschnitt 101a, der
in 1 gezeigt ist, und seine Stromversorgungsspannung
ist auf 24 V Gleichspannung eingestellt.
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Die
Schneidvorrichtung 8 ist wie nachstehend geschildert ausgebildet.
Eine Spindel 81 ist drehbar durch ein Gehäuse 80 gehaltert.
Eine Schneidklinge 82 ist an einem Ende der Spindel 81 angebracht,
und ein Servomotor 84 ist mit dem anderen Ende der Spindel 81 verbunden.
Das Gehäuse 80 wird durch einen Halterungsabschnitt 83 gehaltert.
Die Spindel 81 und die Schneidklinge 82 werden durch
den Servomotor 84 angetrieben und gedreht. Der Servomotor 84 entspricht
dem in 2 gezeigten, beweglichen Abschnitt 101a,
und seine Stromversorgungsspannung ist auf beispielsweise 100 V Gleichspannung
eingestellt.
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Schneidwasserdüsen 85,
welche Schneidwasser abgeben, sind so angeordnet, dass die Schneidklinge 82 dazwischen
angeordnet ist. Die Abgabe von Schneidwasser durch die Schneidwasserdüsen 85 wird
durch ein Elektromagnetventil gesteuert. Dieses Elektromagnet entspricht
dem in 1 gezeigten, beweglichen Abschnitt 101a,
und seine Stromversorgungsspannung ist auf beispielsweise 24 V Gleichspannung
eingestellt.
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Die
Ausrichtungsvorrichtung 7 ist an einem Seitenabschnitt
des Gehäuses 80 befestigt. Die Ausrichtungsvorrichtung 7 ist
mit einem Abbildungsabschnitt 70 zum Abbilden eines Wafers
versehen, und führt eine Bildverarbeitung mit einem aufgenommenen
Bild, das von dem Abbildungsabschnitt 70 erhalten wurde,
durch, um eine zu schneidende Straße zu erfassen. Das Zentrum
einer Linse, welche den Abbildungsabschnitt 70 bildet,
liegt auf einer von der Schneidklinge 82 aus verlängerten
Linie. Das Bild, das von dem Abbildungsabschnitt 70 erhalten
wird, wird auf einem in 2 dargestellten Monitor 71 angezeigt.
Die Ausrichtungsvorrichtung 7 und der Monitor 71 entsprechen
den in 1 gezeigten beweglichen Abschnitten 101a,
und ihre Stromversorgungsspannung ist auf 24 V Gleichspannung eingestellt.
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Die
Schneidvorrichtung 8 und die Ausrichtungsvorrichtung 7 können
in Z-Achsenrichtung durch eine Schnitttransportvorrichtung 12 bewegt werden.
Die Schnitttransportvorrichtung 12 ist so ausgebildet,
dass sie eine Kugelumlaufspindel 121 aufweist, die auf
einer Oberfläche eines Wandabschnitts 120 so angebracht
ist, dass sie sich in Z-Achsenrichtung erstreckt; einen Impulsmotor 122 zum
Drehen der Kugelumlaufspindel 121; und Führungsschienen 123,
die parallel zur Kugelumlaufspindel 121 angeordnet sind.
Eine Mutter (nicht gezeigt) innerhalb eines Halterungsabschnitts 83 steht im
Gewindeeingriff mit der Kugelumlaufspindel 12, und der
seitliche Abschnitt des Halterungsabschnitts 83 steht in
Gleitkontakt mit den Führungsschienen 123. Wenn
die Kugelumlaufspindel 121 durch den Impulsmotor 122 angetrieben
und gedreht wird, wird der Halterungsabschnitt 83 in Z-Achsenrichtung
angehoben bzw. abgesenkt, während er durch die Führungsschienen 123 geführt
wird, und wird auch die Schneidvorrichtung 7, die von dem
Halterungsabschnitt 83 gehaltert wird, in Z-Achsenrichtung
angehoben bzw. abgesenkt. Der Impulsmotor 122 entspricht
dem in 1 gezeigten beweglichen Abschnitt 101a,
und seine Stromversorgungsspannung ist auf beispielsweise 24 V eingestellt.
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Die
Schneidvorrichtung 8 und die Ausrichtungsvorrichtung 7 können
in Y-Achsenrichtung durch eine Schalttransportvorrichtung 13 bewegt werden.
Die Schalttransportvorrichtung 13 ist so ausgebildet, dass
sie eine Kugelumlaufspindel 130 aufweist, die so angeordnet
ist, dass sie sich in Y-Achsenrichtung erstreckt; eine Verschiebungsbasis 181, die
vereinigt mit dem Wandabschnitt 120 ausgebildet ist, und
in welcher eine Mutter vorgesehen ist, die im Gewindeeingriff mit
der Kugelumlaufspindel 130 steht, einen Impulsmotor 132 zum
Drehen der Kugelumlaufspindel 130; und Führungsschienen 133, die
parallel zur Kugelumlaufspindel 130 angeordnet sind. Die
Mutter (nicht gezeigt) im Inneren der Verschiebungsbasis 131 steht
im Gewindeeingriff mit der Kugelumlaufspindel 130. Wenn
die Kugelumlaufspindel 130 durch den Impulsmotor 132 angetrieben
und gedreht wird, wird die Verschiebungsbasis 131, geführt
von den Führungsschienen 133, in Y-Achsenrichtung
so bewegt, dass auch die Schneidvorrichtung 8 in Y-Achsenrichtung
bewegt wird. Der Impulsmotor 132 entspricht dem in 1 gezeigten
beweglichen Abschnitt 101a, und seine Stromversorgungsspannung
ist auf beispielsweise 24 V Gleichspannung eingestellt.
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Der
Servomotor 111, welcher zur Schneidtransportvorrichtung 11 gehört,
der nicht dargestellte Impulsmotor, der in dem Drehantriebsabschnitt 114 vorgesehen
ist, der Impulsmotor 122, welcher zur Schneidtransportvorrichtung 12 gehört,
und der Impulsmotor 132, welcher zur Schalttransportvorrichtung 13 gehört,
werden durch eine Steuervorrichtung 14 gesteuert. Die Steuervorrichtung 14 ist
der so genannte Treiber, welcher dem beweglichen Abschnitt 101a entspricht,
und seine Stromversorgungsspannung ist auf 12 V Gleichspannung eingestellt.
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Eine
vertikale (Richtung der Z-Achse) Bezugsposition der Schneidvorrichtung 8 wird
ursprünglich als Z-Koordinaten durch einen als Einstellen
bezeichneten Vorgang eingestellt. Wie in 4 gezeigt,
ist der Einspanntisch 5 so ausgebildet, dass ein Saugabschnitt 50,
der eine Saugoberfläche 50a aufweist, die zum
Ansaugen eines Wafers W ausgebildet ist, von einem leitfähigen
Rahmen 51 umschlossen ist. Die Saugoberfläche 50a und
eine obere Oberfläche 51a des Rahmens 51 sind
miteinander fluchtend ausgebildet. Der Rahmen 51 ist mit
der Spindel 81 über eine Gleichspannungsversorgungsquelle 52 und über
einen Detektorabschnitt 53 verbunden. Wenn die Schneidklinge 82 in
Kontakt mit dem Rahmen 51 gelangt, werden die Spindel 81,
der Detektorabschnitt 83 und die Schneidklinge 82 in
leitende Verbindung miteinander über den Rahmen 51 versetzt.
Der Detektorabschnitt 53 erfasst diesen Leitungszustand
und erkennt die Z-Achsenrichtungsposition der Schneidvorrichtung
zu diesem Zeitpunkt anhand der Anzahl an Impulsen, die zum Steuern des
in 3 gezeigten Impulsmotors 122 eingesetzt werden.
Die Stromversorgungsquelle 52 und der Detektorabschnitt 53,
die in 4 gezeigt sind, entsprechen dem in 1 gezeigten
beweglichen Abschnitt 101a, und dessen Stromversorgungsspannung
ist auf 12 V Gleichspannung eingestellt.
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Wie
in den 2 und 3 gezeigt, ist der Wafer W in
der Waferkassette C aufgenommen, während er vereinigt mit
einem Rahmen F über ein Band T gehaltert ist, und wird
von dort aus zum Bereich 3 für temporäre
Anordnung durch die Vorrichtung 4 zum Einbringen oder Herausbringen
transportiert. Dann wird der Wafer W zum Einspanntisch 5 durch die
erste Fördervorrichtung 6a befördert.
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Nachdem
der von dem Rahmen F gehalterte Wafer W auf dem Einspanntisch 5 festgehalten
wurde, wird der Einspanntisch 5 durch die Schneidtransportvorrichtung 11 angetrieben,
die in 3 gezeigt ist, zur Bewegung in X-Achsenrichtung,
wodurch der Wafer W zu einem Ort unmittelbar unterhalb des Abbildungsabschnitts 70 bewegt
wird. Dann wird eine zu schneidende Straße des Wafers W
durch die Ausrichtungsvorrichtung 7 erfasst, und mit der
Schneidklinge 82 ausgerichtet.
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Dann
wird der Einspanntisch 5 durch die Schneidtransportvorrichtung 11 so
angetrieben, dass er sich in derselben Richtung weiter bewegt, und
die von dem Servomotor 84 so angetriebene Schneidklinge 82,
dass sie sich mit hoher Geschwindigkeit dreht, schneidet in die
zu schneidende Straße des Wafers W ein und schneidet diese,
während die Schneidvorrichtung 8 abgesenkt wird.
Während der Einspanntisch 5 in der X-Achsenrichtung
bewegt wird, erfolgt bei der Schneidvorrichtung 8 ein Schalttransport
für jedes Intervall zwischen Straßen, und schneidet
sie nacheinander die Straßen, wodurch sämtliche
Straßen in derselben Richtung geschnitten werden. Weiterhin
wird, nachdem der Einspanntisch 5 um 90 Grad gedreht wurde,
ein entsprechender Schneidvorgang durchgeführt, so dass
schließlich sämtliche Straßen in Richtung
der Länge und der Breite geschnitten wurden, und auf einzelne
Chips aufgeteilt wurden.
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Der
Servomotor 84, der Servomotor 111, der Impulsmotor 122 und
der Impulsmotor 132, die in 3 gezeigt
sind, werden während des Schneidens betrieben. Falls sie
anhalten, wird wahrscheinlich der Wafer W beschädigt. Im
Falle eines Stromausfalls gibt jedoch der Stromversorgungssteuerabschnitt 102d,
der in 1 gezeigt ist, Gleichstromenergie aus, die an
die Stromversorgungsspannung der beweglichen Abschnitte angepasst
ist. Daher wird der Schneidvorgang nicht unterbrochen.
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Damit
sich die verschiedenen Motoren drehen, ist eine höhere
elektrische Leistung beim Anfahren als im Betrieb erforderlich.
Wenn beispielsweise die benötigte Leistung gleich 4 kVA
beim Anfahren und gleich 1,5 kVA im Betrieb ist, wird die elektrische Arbeitsleistung
unter der Annahme eingestellt, dass normalerweise eine elektrische
Leistung von 4 kVA benötigt wird. Da die Motoren mit elektrischer
Leistung versorgt werden können, welche den Ausfall kompensiert,
von dem Stromversorgungssteuerabschnitt 102d, ist beispielsweise
eine Einstellung von 2 kVA ausreichend kostengünstig.
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Nach
dem Aufteilen auf Chips wird der Wafer W zur Reinigungsvorrichtung 9 durch
die zweite Fördervorrichtung 6b in jenem Zustand
transportiert, in welchem sämtliche Chips an dem Band T
anhaften, um die Form des Wafers insgesamt aufrechtzuerhalten. Die
mehreren Chips, die so auf dem Rahmen F gehaltert sind, dass die
Form des Wafers W aufrechterhalten bleibt, werden auf dem Drehtisch 90 gehaltert.
Wenn der Drehtisch 90 angetrieben und gedreht wird, durch
einen nicht dargestellten Servomotor, wird Reinigungswasser zu den
Chips hin ausgespritzt, um Schneidrückstände zu
entfernen, die infolge des Schneidens dort vorhanden sind. Nach
dem Reinigen wird, während der Drehtisch 90 um 90 Grad gedreht
wird, Luft unter hohem Druck auf die Chips gerichtet und ausgestoßen,
um sie zu trocknen. Der Servomotor, welcher den Drehtisch 90 dreht,
entspricht dem in 1 gezeigten beweglichen Abschnitt 101a,
und seine Stromversorgungsspannung ist auf beispielsweise 100 V
Gleichspannung eingestellt. Jeweilige Elektromagnetventile, die
zum Ausspritzen des Reinigungswassers und der Luft unter hohem Druck
verwendet werden, entsprechen dem in 1 gezeigten
beweglichen Abschnitt 101a, und dessen Stromversorgungsspannung
ist auf beispielsweise 24 V Gleichspannung eingestellt.
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Selbst
wenn ein Stromausfall oder dergleichen während des Reinigens
oder Trocknens des Wafers auftritt, werden das Reinigen und das
Trocknen nicht unterbrochen, da die Gleichstromenergie, die an die
Stromversorgungsspannung der beweglichen Abschnitte angepasst ist,
ihnen von dem in 1 gezeigten Stromversorgungssteuerabschnitt 102d zugeführt
wird.
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Die
vorliegende Erfindung ist nicht auf die Einzelheiten der voranstehend
geschilderten, bevorzugten Ausführungsformen beschränkt.
Der Umfang der Erfindung ergibt sich aus der Gesamtheit der vorliegenden
Anmeldeunterlagen und soll von den beigefügten Patentansprüchen
umfasst sein. Sämtliche Änderungen und Modifikationen,
die vom Äquivalenzbereich des Umfangs der Erfindung umfasst
werden, sollen daher von der Erfindung umfasst sein.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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