TW200836455A - Power feeding system - Google Patents

Description

200836455 九、發明說明： 技術領域 本發明關於供電系統，該供電系统即使在從商用電源 來的電力供給停止的情形下與從商用電源供給 书^ 、、σ 毛力不足 的情形下，亦可使裝置正常地運作。 【先前技術】 背景技術

各種裝置接受從商用電源的電力供給，利用該電力而 1〇對裝置内各種可動部分別供給必要的電力，並藉著各別可 動部正常地運作而維持一個裝置的功能。 因此，建構成於無法允許因停電等導致供給電力停止 而使裝置之運作停止之裝置具備有輔助電源裝置，停電時 猎者切換至以輔助電源裝置供給電力而不會對裴置之運作 、早礙於輔助電源裝置’將從商用電源來的交流電力 作為直凌電力並予以蓄電，停電時能使直流電力放電的構 成（參照例如專利文獻1)。 專利文獻1 :特開2003 —87995號公報 【發明内容】 20 [發明揭示] 明所欲解決的課題] 但疋’在構成各種裝置之可動部方面，乃有藉直流電 力而運作的型態者與藉交流電力而運作的型態者，惟，由 ;商用電力為父流電，因此在藉直流電力而運作之型態的 5 200836455 • 彳動部有具備將交流電力變換成直流電力之魏的情形。 於此情形下，因停電等而停止從商用電源來的供給電力， 並從輔助電源裝置之蓄電部對各可動部供給電力之際，蓄 電部會輸出直流電力，因此建構成將所輸出之直流電力變 ” 5㈣交流電力後供給至各可動部，而於可動部再度將交流 - =換成錄的構成。纽，裝置之構成複㈣呈高額，且 會有因電力之變換而造成損失以致於不符經濟的問題。 • ^^又:例如馬達於運轉中的消耗電力較小，而在驅動起 日寸之消耗電力較大的可動部方面，有必要以起動時之 1〇 ^肖耗電力為基準而蚊最大使用電力，此點亦為不符經 、 商用電源為200伏特三相交流，而在擷取單相200 伏特的情形下，會呈選擇任意二極來使用的情形，因此相 2_平衡會被破壞’祕電賴亦會有造衫良影塑之 15虞0 曰 • 所欲解決的課題，在於當從㈣電源來的供給 二情形或所供給之電力不足的情形下，不會使各 ， 成變得複雜，而以經濟性的方法確保 常且穩定的動作。 、义 20 [用以解決課題的手段] 數可==由具有可接受直流電力之供給而運作之複 辅助雷^ X及可對該裝置供給電力之商用電源及 所構成的供電系統，輔助電 有··用以將商用带 不直王少匕3

用包源之交流電力變換成直流電力的AC/DC 6 200836455 將AC/DC變換部所輪出之直流電力予以蓄電 制ΓΛ用以使蓄電於蓄電部之直流電力放電的蓄電押 部輸晴出之蝴力或從蓄; 5 之直流電力供給至可動部的供電㈣部。 畜電部可分配輸出對應不同運作 直流電力。 h权魏可動部的 +又’蓄電控制部具有可檢測出使可動部運作所必要之 U不足後，使蓄電部放電並藉放電之電力而補充 分的功能。 αι 立本發明之由AC/DC變換部輪出之直流電力及由蓄電 #輪出之直流電力，均以供電控制部來控制，在任何情米 下’藉由供電控制部輸出之直流電力而使可動部運作，因 此’於各可動部不需具有將交流變換成直韻魏。美此， 15 不會將各《置之構成設得複雜，而能以經濟性地確保裳 置之正常且穩定的運作。 又，蓄電部可分配輸出對應可動部之運作電源的電 力，因此，對於例如有以AC100伏特運作的馬達、#Dc24 伏特運作的電磁閥、以DC12伏特運作之感測器那般不同種 類者作為可動部的情形下亦能對應。 而且，蓄電控制部具有可檢測出使可動部運作所必要 之電力不足後，使蓄電部放電並藉放電之電力而補充不足 部分的功能，因此，而在驅動起動時之消耗電力較運轉中 大的可動部方面，以運轉中之較小的消耗電力為基準而設 定最大使用電力，使起動時從蓄電部放電來補完可足部 20 200836455 分’而能癌保必要的電力 H 】 用以實施發明之較佳樣態 第圖所示之供電系統10由具有可接受直流電力之供 5給而運作之複數可動部應的裝置1〇1、對裝置⑻供給電 力的輔助電源裝置102、以及商用電源2〇所構成。商用電源 20匕§有一相父流的情形與單相交流的情形。 輔助電源装置102具有在停止從商用電源2〇對裝置ι〇ι 供給電力的情形下，代替商用電源20而將電力供給至裝置 1〇 1〇1的功能、以及在從商用電源20對裝置1〇1供給之電力不 足的情形下，將可補足其不足部分之電力供給至裝置101的 功能。 辅助電源裝置102具備有將從商用電源來的交流電力 k換成直流電力後予以輸出的AC/DC變換部ι〇2&、將ac 15 /DC蜒換部102a所輸出之直流電力予以蓄電的蓄電部 102b、監視要供給至可動部1〇la之電力狀態並因應其狀態 而控制蓄電部1〇2b之運作的蓄電控制部1〇2c、以及將從AC /DC變換部102a或蓄電部1〇2]>輸出之電力分配並輸出至 複數的可動部101a的供電控制部1〇2d。 ί〇 可動部101&依據供電控制部102d所分配輸出之直流電 力而分別運作。供電控制部102(1通常將由AC/DC變換部 l〇2a輸出的直流電力分配至各可動部1〇1&，然而停電時， 畜电控制部l〇2c檢測出停電後對蓄電部1〇2b指示放電，藉 此，分配要從蓄電部102b放電的直流電力。蓄電部1〇213具 8 200836455 有分配輸出可對應各可動部之直流電力之功能的情形下， 供電控制部102d將所分配之輸出原原本本地供給至各可動 部。 蓄電控制部102c不僅監視停電，且監視可動部1〇“所 5必須之電力是否不足。當可動部l〇la用以運作之電力不足 的情形下，蓄電控制部l〇2c對蓄電部i〇2b指示放出不足部 分的電力，而蓄電部102輸出不足部分的電力。如此一來， 其電力可從供電控制部l〇2d供給至電力不足的可動部 101a。 10 如上所述，可動部10以於停電時及補完電力時總是接 文從供電控制部l〇2d來的電力供給，然而供電控制部1〇2d 通常準備在停電時並與AC/DC變換部i〇2a及蓄電部1〇2b 並聯連接著。因此，當電力不足時，藉著將此等構件切換 成串聯連接的狀態，蓄電控制部102c能達到補完不足部分 15的電力。用以進行該切換的切換電路例如具備在供電控制 部102d中。 所有的可動部l〇la依據從供電控制部1〇2d來的直流電 力而運作，由於不須交流電力，因此，即使商用電源為2〇〇 伏特的二相交流電，亦不必使用從任意二極擷取出來的交 20 流電力，也不必須考量相位之間的平衡。 接著，說明將本發明運用於第2圖所示之時序裝置1的 例子。此時序裝置i係切削晶圓臀而分割成各個晶片的裝 置，具備有忐載置可收容晶圓w之晶圓匣盒c的晶圓匣盒載 置部2、可從晶圓匣盒c將切削前的晶圓搬出至暫置領域3 9 200836455 且可將切削後的晶圓從暫置領域3搬入晶圓匣盒C的搬出搬 入機構4、保持切削對象之晶圓之後，可旋轉及朝X軸方向 移動的夾盤5、在夾盤5與暫置領域3之間搬送晶圓的第一搬 送機構6a、將保持在夾盤5之晶圓的表面予以攝像之後，檢 5 測應切削領域的對準機構7、可切削已保持在夾盤5之晶圓 的切削機構8、將切削後之晶圓保持在旋轉台9 0並加以洗淨 的洗淨機構9、可將切削後的晶圓從夾盤5搬送至洗淨機構9 的第二搬送機構6b。 如第3圖所示，夾盤5藉著切削移送機構11而能朝X軸方 10向切削移送。切削移送機構11由配設於X軸方向之滾珠螺桿 110、連結於滾珠螺桿110之一端的伺服馬達111、與滾珠螺 桿110平行配設的一對導軌112、内部的螺母螺合於滾珠螺 桿110且下部滑接於導軌112之移動基台ι13所構成。建構成 滾珠螺桿110被伺服馬達111驅動而轉動，伴隨於此，移動 15基台113為導軌112所導引而朝X軸方向移動，夾盤5亦朝同 方向移動。伺服馬達111相當於第1圖所示之可動部1〇1&， 例如將電源電壓設成DC100伏特。 又，夾盤5耩耆没於已固定在移動基台I〗？之上部之旋 轉驅動部114内部之未以圖式顯示之脈衝馬達而被驅動呈 20可徒轉。此脈衝馬達相當於第1圖所示之可·動部l〇la，例如 將DC24伏特設成電源電壓。 切削機構8之切削刀具82裝設於藉著外罩卯而被支撐 成可旋轉之心軸81的一端，伺服馬達84連結於心轴81之另 端，構成外罩80藉著支撐部83而被支撐的構造，且構成 200836455 心軸似切削刀具防皮伺服馬達84驅動而旋轉。娜馬達 84相田於第旧所不之可動部1()la，例如將電源電壓設成例 如DC100伏特。 …又，，著切削刀具82而配設著可吐出切削水之切削水 5噴嘴85。藉著電磁閥控制切削水喷嘴之切削水的吐出。 此電磁_當於第丨圖麻之可動部缝，例如電源電壓設 為例如DC24伏特。 卜罩之側β ϋ定著對準機構7。對準機構7具備有可將 晶圓予以攝像的攝像部70，依據以攝像部7〇所取得之影像 10為對象之影像處理而能檢測出應切削的界道(st㈣。構成 攝像部70之透鏡的中心位於切削刀具82之延長線上，以攝 像部70取得之影像顯示於第2圖騎的螢幕7卜對準機構7 或螢幕71相纽第丨圖料之可動部驗例如電源電壓設 為DC24伏特。 刀肖j機構8及對準機構7建構成可藉著切人移送機構η 而朝向2軸方向移動。切人移送機糾由位於壁部⑽之一 ^配設在z軸方向的滾珠螺桿121、使滚珠螺桿i2i轉動的脈 衝馬達m、以及與滾珠螺桿121平行配設之導執⑵構成， 支標部83内部的螺母(未以圖式顯示)螺合於滾珠螺桿⑵且 2〇支撐部83的側部滑接於導軌⑵。讀部83建構成藉著脈衝 馬達122而被驅動後，隨著滾珠螺桿m的轉動而被導軌123 弓I導後於z轴方向昇降，而被支撐部83支樓的切削機構8亦 在z軸方向昇降的構造。 脈衝馬達122相當於第1圖所示之可動部101a，例如電 11 200836455 源電壓設為DC24伏特。 切削機構8及對準機構7建構成藉著分度移送機構^而 可朝Y軸方向移動。分度移送機構13由配設於γ軸方向之滾 珠螺桿130、與壁部120一體地形成且内部的螺母可螺合於 5滾珠螺桿130的移動基台131、使滾珠螺桿130轉動的脈衝馬 達132、與滾珠螺桿13〇平行地配設的導執133所構成，移動 基台131内部的螺母(未以圖式顯示）螺合於滾珠螺桿。移 動基台131建構成藉著脈衝馬達132而被驅動後，隨著滾珠 螺桿130的轉動而被導執133引導後朝Υ軸方向移動，伴隨於 10此，切削機構8亦朝Υ軸方向移動的構成。脈衝馬達132相當 於第1圖所不之可動部i〇ia，例如電源電壓設為例如DC24 伏特。 構成切削移送機構11之伺服馬達m、設置於旋轉驅動 #114内。卩之未以圖式顯示的脈衝馬達、構成切入移送機構 15 12之脈衝馬達122及構成分度移送機構13的脈衝馬達132， 為控制機構14所控制。控制機構14即是驅動器，相當於第丄 圖所不之可動部l〇la，例如電源電壓設為dc12伏特。 切削機構8之上下方向（z軸方向）之基準位置，依據所 謂設定的作業而初始設定為z座標。如第4圖所示，夾盤5 20建構成以具有導電性之框體51圍繞著具有可吸引晶圓W之 吸引面50a之吸引部5〇的構造，吸引面5〇a與框體51的上面 51a形成為一面。框體51以直流電源52及檢測部53為中介而 連接於心軸81，一旦切削刀具82接觸框體51，則藉由框體 51使心軸81與檢測部53與切削刀具82導通，在檢測部檢測 12 200836455 出此導通並依據使用於第3圖所示之脈衝馬達122之控制的 脈波數而識別此時切削機構8之Z轴方向的位置。第4圖所示 之電源52及檢測部53相當於第1圖所示之可動部101&，例如 電源電壓設為DC12伏特。 5 如弟2圖及弟3圖所不’晶圓以膠帶T為中介而與框p呈 一體並被支撐的狀態被晶圓匣C收容，並藉搬出搬入機構4 而被搬出至暫置領域3。藉第一搬送機構6a而被搬送至夹盤 5 〇 一旦被框F支撐的晶圓被保持在夾盤5，則藉第3圖所示 10之切削移送機構11而被驅動後，夾盤5朝X軸方向移動，晶 圓W移動至攝像部7〇的正下方。以對準機構7檢測出晶圓w 之應切削的界道，而進行應切削之界道與切削刀具82的合 對位置。 之後’一旦夾盤5被切削移送機構丨丨驅動而再朝同方向 15移動之同時，藉著伺服馬達84而被驅動後高速旋轉之切削 刀具82 ’依據切削機構8的下降而切入晶圓界之應切削的界 道並切削該界道。又，一面使夾盤5朝又軸方向移動而一 面每隔界道間隔將切削機構8予以分度移送後順序地切削 界道，則同方向之界道全部可被切削。而且，使夾盤旋轉 2〇 90度之後進打同樣的切削，則所有的界道被縱橫地切削而 分割成各個晶片。 “於切削中’第3圖所示之伺服馬達84、祠服馬達111、 脈衝馬達I22、脈衝馬達n2運轉著，—旦此等馬達停止， 則s有曰曰1JW破損之虞，但是於停電時因從第]圖所示之供 13 200836455 電控制部l〇2d配合

於此等各種馬達旋轉之際，起動時比運轉中需 力。你I如，*tR氣Γ»士 I ·.

機構仙而被搬送至洗淨機構9。維持晶圓W的形狀而被框F 支撐之複數的晶片被保持在旋轉台9〇。一旦旋轉台9〇被未 以圖式顯示之伺服馬達驅動而旋轉之同時，洗淨水對晶片 嘴射而去除因切削後附著的切削屑。又，洗淨後一面使旋 轉台90旋轉而一面將高壓氣體朝向晶片喷射而使晶片乾 15燥。使旋轉台90轉動的伺服馬達相當於第1圖所示之可動部 l〇la，例如電源電壓設為DC100伏特。又，用以進行洗淨 水與高壓氣體噴射所使用的電磁閥相當於第1圖所示之可 動部101a，例如電源電壓設為DC24伏特。 即使於晶圓之洗淨與乾燥的途中發生停電等情形，亦 20 可從第1圖所示之供電控制部102d配合可動部的電源電壓 而輸出直流電力，因此，不會發生停止洗淨與乾燥。 【圃式簡單説明】 第1圖表示供電系統之構成之一例的方塊圖。 第2圖表示時序裝置的立體圖。 14 200836455 第3圖表示時序裝置之内部構造的立體圖。 第4圖表示用以進行設置之構造的說明圖。 【主要元件符號說明】 6b…第二搬送機構 7…對準機構 70…攝像部 71…螢幕 8…切削機構 80…外罩 81…心轴 82···切削刀具 83…支撐部 84···伺服馬達 85···切削水喷嘴 9…洗淨移送機構 ll···切削移送機構 110…滾珠螺桿 111···飼服馬達 112…導執 113···移動基台 114…旋轉驅動部 Π···切入移送機構 10···供電系統 10l···裝置 101a…可動部 102…輔助電源裝置

"•AC/DC變換部 102b…蓄電部 102c…蓄電控制部 102d…供電控制部 20…商用電源 l···時序裝置 2···晶圓匣盒載置部 3…暫置領域 4…搬出搬入機構 5…夾盤 50…吸引部 51…框體 52…直流電源 53…檢測部 6a…第一搬送機構 200836455 、* 120…壁部 121…滾珠螺桿 122…脈衝馬達 123…導執 13…分度移送機構 m 130…滾珠螺桿 131···移動基台 132…脈衝馬達 133…導執 14…控制機構

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Claims (1)

1. 200836455 十、申請專利範園·· -種供電系統’係由具有可接受直流電力之供給 之複數可動部的裝置、及可對該裝置供給電力之商用電 源與辅助電源裝置所構成者，該輔助電源裝置至少包： 有· 換成換部’制以將該朗電源之交流電力變 力予用~DC變換部所輸出之直流電 10 15 20 蓄電㈣部’偏以使蓄電於該f 放電者；及 |机1力 供電控制部，係用以將該AC/DC變換部所輪出之直 =電力或從該蓄電部放電之直流電.力供給至該可動部 2. 如申請專利範圍第i項之供電系統， … 配輸出對應不同運作電源之複數可動部可分 3. 如申請專利範圍第1或2項之供電系統，直中 制部具有可檢測出使前述可動部運作所 後，使前述蓄電部放電，並藉 -力不足 部分的功能。 之％力補充該不足 17