KR20080073639A - 급전 시스템 - Google Patents

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KR20080073639A
KR20080073639A KR1020080003894A KR20080003894A KR20080073639A KR 20080073639 A KR20080073639 A KR 20080073639A KR 1020080003894 A KR1020080003894 A KR 1020080003894A KR 20080003894 A KR20080003894 A KR 20080003894A KR 20080073639 A KR20080073639 A KR 20080073639A
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가즈마 세키야
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

본 발명은 상용 전원으로부터의 전력 공급이 없어진 경우나 공급되는 전력이 부족한 경우에도, 각종 장치의 구성을 복잡하게 하지 않고, 경제적인 방법으로, 정상이면서 안정적인 장치의 동작을 확보하는 것을 목적으로 한다.
직류 전력을 공급받아 동작하는 복수의 가동부(101a)를 구비한 장치(101)와, 장치(101)에 전력을 공급하는 상용 전원(20) 및 보조 전원 장치(102)로 구성되는 급전 시스템(10)에 있어서, 보조 전원 장치(102)는, 상용 전원(20)의 교류 전력을 직류 전력으로 변환하는 AC/DC 변환부(102a)와, AC/DC 변환부(102a)로부터 출력된 직류 전력을 축전하는 축전부(102b)와, 축전부(102b)에 축전된 직류 전력을 방전시키는 축전 제어부(102c)와, AC/DC 변환부(102a)로부터 출력된 직류 전력 또는 축전부(102b)로부터 방전된 직류 전력을 가동부(101a)에 공급하는 급전 제어부(102d)로 구성되고, 종래보다 간략화한 장치 구성에 의해서, 정전이나 전력 부족에 대응한다.

Description

급전 시스템{POWER SUPPLY SYSTEM}
본 발명은, 상용 전원으로부터의 전력 공급이 정지된 경우나 상용 전원으로부터 공급되는 전력이 부족한 경우에도 장치를 정상적으로 가동시키기 위한 급전 시스템에 관한 것이다.
각종 장치는, 상용 전원으로부터 전력을 공급받아, 그 전력을 이용하여 장치 내의 여러 가동부에 대하여 각각 필요한 전력을 공급하여, 각각의 가동부가 정상적으로 동작됨으로써, 하나의 장치로서의 기능을 유지하고 있다.
따라서, 정전 등에 의해서 전력 공급이 정지되어 장치의 동작이 정지하는 것이 허용되지 않는 장치에는 보조 전원 장치를 구비하고 있고, 정전시에는, 보조 전원 장치로부터의 전력 공급으로 전환함으로써, 장치의 동작에 지장이 발생하지 않도록 하고 있다. 보조 전원 장치에 있어서는, 상용 전원으로부터의 교류 전력을 직류 전력으로서 축전하고, 정전시에 직류 전력을 방전시킬 수 있는 구성으로 되어 있다(예컨대 특허 문헌 1 참조).
[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제2003-87995호 공보
그러나, 각종 장치를 구성하는 가동부에는, 직류 전력에 의해 동작하는 타입의 것과 교류 전력에 의해 동작하는 타입의 것이 있지만, 상용 전력은 교류이기 때문에, 직류 전력에 의해 동작하는 타입의 가동부에는, 교류 전력을 직류 전력으로 변환하는 기능이 포함되어 있는 경우가 있다. 이러한 경우에 있어서, 정전 등에 의해 상용 전원으로부터의 전력 공급이 정지되어 보조 전원 장치의 축전부로부터 각 가동부에 전력을 공급할 때는, 축전부는 직류 전력을 출력하기 때문에, 출력된 직류 전력을 교류 전력으로 변환하여 각 가동부에 공급하고, 가동부에 있어서 재차 교류가 직류로 변환되는 구성으로 되어 있다. 따라서 장치의 구성이 복잡해져 고액이 되고, 전력의 변환에 의한 손실도 있어, 비경제적이라고 하는 문제가 있다.
또한, 예컨대 모터와 같이, 가동중의 소비 전력이 비교적 작고 기동시의 소비 전력이 비교적 큰 가동부를 구동하기 위해서는, 기동시에 있어서의 큰 소비 전력을 기준으로 하여 최대 사용 전력을 설정해야 하기 때문에, 이 점에서도 비경제적이다.
또한, 상용 전원이 200 볼트 3상 교류이고 단상 200 볼트를 취출하여 사용하는 경우는, 임의의 2극을 선택하여 사용하는 것이 되기 때문에, 상간(相間) 밸런스가 무너져 전원측에도 악영향을 미칠 우려가 있다.
그래서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 상용 전원으로부터의 전력 공급이 없어진 경우나 공급되는 전력이 부족한 경우에, 각종 장치의 구성을 복잡하게 하지 않고, 경제적인 방법으로, 장치의 정상적이면서 안정적인 동작을 확보하는 것에 있다.
본 발명은, 직류 전력을 공급받아 동작하는 복수의 가동부를 포함한 장치와, 이 장치에 전력을 공급하는 상용 전원 및 보조 전원 장치로 구성되는 급전 시스템에 관한 것으로, 보조 전원 장치는, 상용 전원의 교류 전력을 직류 전력으로 변환하는 AC/DC 변환부와, AC/DC 변환부로부터 출력된 직류 전력을 축전하는 축전부와, 축전부에 축전된 직류 전력을 방전시키는 축전 제어부와, AC/DC 변환부로부터 출력된 직류 전력 또는 축전부로부터 방전된 직류 전력을 가동부에 공급하는 급전 제어부를 적어도 포함한다.
축전부는, 동작 전원의 다른 복수의 가동부에 대응하는 직류 전력을 분배 출력할 수 있다.
또한, 축전 제어부는, 가동부의 동작에 필요한 전력의 부족을 검지하여 축전부를 방전시키고, 방전시킨 전력에 의해 부족분을 보충하는 기능을 포함한다.
본 발명에서는, AC/DC 변환부로부터 출력되는 직류 전력 및 축전부로부터 출력되는 직류 전력이 모두 급전 제어부에 의해 공급되고, 어떤 경우라도 급전 제어부로부터 출력되는 직류 전력에 의해서 가동부가 동작하기 때문에, 각 가동부에 교류를 직류로 변환하는 기능을 구비할 필요가 없다. 따라서, 장치의 구성을 복잡하게 하지 않고, 경제적으로, 장치의 정상적이면서 안정적인 동작을 확보할 수 있다.
또한, 축전부는, 가동부의 동작 전원에 대응한 전력을 분배 출력하기 때문에, 예컨대 가동부로서, AC 100 볼트로 동작하는 모터, DC 24 볼트로 동작하는 전자(電磁) 밸브, DC 12 볼트로 동작하는 센서와 같이 종류가 다른 것이 있는 경우에도 대응할 수 있다.
또한, 축전 제어부는, 가동부의 동작에 필요한 전력의 부족을 검지하여 축전부를 방전시키고 방전시킨 전력에 의해 부족분을 보충하는 기능을 갖기 때문에, 예컨대 가동중보다 기동시의 소비 전력이 큰 가동부를 구동하기 위해서는, 가동중에 있어서의 비교적 작은 소비 전력을 기준으로 하여 최대 사용 전력을 설정하고, 기동시에는 축전부로부터 방전시켜 부족분을 보완함으로써 필요한 전력을 확보할 수 있다.
도 1에 도시하는 급전 시스템(10)은, 직류 전력을 공급받아 동작하는 복수의 가동부(101a)를 구비한 장치(101)와, 장치(101)에 전력을 공급하는 보조 전원 장치(102)와, 상용 전원(20)으로 구성된다. 상용 전원(20)은, 3상 교류인 경우와 단상 교류인 경우가 있다.
보조 전원 장치(102)는, 상용 전원(20)으로부터 장치(101)에 대한 전력 공급이 정지한 경우에 상용 전원(20)을 대체하여 전력을 장치(101)에 공급하는 기능, 및 상용 전원(20)으로부터 장치(101)에 대하여 공급되는 전력이 부족한 경우에 그 부족분을 보충하는 전력을 장치(101)에 공급하는 기능을 갖고 있다.
보조 전원 장치(102)는, 상용 전원으로부터의 교류 전력을 직류 전력으로 변 환하여 출력하는 AC/DC 변환부(102a)와, AC/DC 변환부(102a)로부터 출력된 직류 전력을 축전하는 축전부(102b)와, 가동부(101a)에 공급되는 전력의 상태를 감시하여 그 상태에 따라서 축전부(102b)의 동작을 제어하는 축전 제어부(102c)와, AC/DC 변환부(102a) 또는 축전부(102b)로부터 출력된 전력을 복수의 가동부(101a)에 분배하여 출력하는 급전 제어부(102d)를 구비하고 있다.
가동부(101a)는, 급전 제어부(102d)로부터 분배 출력되는 직류 전력에 의해서 각각 동작한다. 급전 제어부(102d)는, 통상은 AC/DC 변환부(102a)로부터 출력되는 직류 전력을 각 가동부(101a)에 분배하지만, 정전시에는, 축전 제어부(102c)가 정전을 검출하고 축전부(102b)에 방전을 지시함으로써 축전부(102b)로부터 방전되는 직류 전력을 분배한다. 축전부(102b)가 각 가동부에 대응한 직류 전력을 분배 출력하는 기능을 갖고 있는 경우는, 급전 제어부(102d)는, 분배된 출력을 그대로 각 가동부에 공급한다.
축전 제어부(102c)는, 정전 상태뿐만 아니라, 가동부(101a)가 필요로 하는 전력이 부족한지의 여부에 대해서도 감시한다. 가동부(101a)가 동작하기 위한 전력이 부족한 경우는, 부족분의 전력의 방전을 축전 제어부(102c)가 축전부(102b)에 지시하고, 축전부(102)가 부족분의 전력을 출력한다. 그리고 그 전력은, 급전 제어부(102d)로부터 전력이 부족한 가동부(101a)에 공급된다.
이와 같이, 가동부(101a)는, 정전시나 전력 보완시도 포함하여 항상 급전 제어부(102d)로부터 전력을 공급받지만, 급전 제어부(102d)는, 통상은 정전시에 대비하여 AC/DC 변환부(102a) 및 축전부(102b)와 병렬로 접속되어 있다. 따라서 전력이 부족할 때에는, 축전 제어부(102c)가 이들을 직렬 접속으로 전환함으로써, 부족분의 전력의 보완을 가능하게 한다. 그 전환을 행하기 위한 변환 회로는, 예컨대 급전 제어부(102d)에 구비하고 있다.
모든 가동부(101a)는, 급전 제어부(102d)로부터의 직류 전력에 의해 동작하고, 교류 전력을 필요로 하지 않기 때문에, 상용 전원이 200 볼트의 3상 교류라도, 임의의 2극으로부터 취출한 교류 전력을 사용하지 않고, 상간 밸런스를 고려할 필요도 없어진다.
다음에, 도 2에 도시하는 다이싱 장치(1)에 본 발명을 적용한 예에 대해서 설명한다. 이 다이싱 장치(1)는, 웨이퍼(W)를 절삭하여 개개의 칩으로 분할하는 장치이고, 웨이퍼(W)를 수용하는 웨이퍼 카세트(C)가 적재되는 웨이퍼 카세트 적재부(2)와, 웨이퍼 카세트(C)로부터 절삭 전의 웨이퍼를 임시 거치 영역(3)으로 반출하며 절삭 후의 웨이퍼를 임시 거치 영역(3)으로부터 웨이퍼 카세트(C)로 반입하는 반입 반출 수단(4)과, 절삭 대상의 웨이퍼를 유지하고 회전 및 X축 방향으로 이동 가능한 척 테이블(5)과, 척 테이블(5)과 임시 거치 영역(3) 사이에서 웨이퍼를 반송하는 제1 반송 수단(6a)과, 척 테이블(5)에 유지된 웨이퍼의 표면을 촬상하여 절삭해야 하는 영역을 검출하는 얼라이먼트 수단(7)과, 척 테이블(5)에 유지된 웨이퍼를 절삭하는 절삭 수단(8)과, 절삭 후의 웨이퍼를 스피너 테이블(90)에서 유지하여 세정하는 세정 수단(9)과, 절삭 후의 웨이퍼를 척 테이블(5)로부터 세정 수단(9)으로 반송하는 제2 반송 수단(6b)을 구비하고 있다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 척 테이블(5)은, 절삭용 이송 수단(11)에 의해 서 X축 방향으로 절삭 이송 가능하게 되어 있다. 절삭용 이송 수단(11)은, X축 방향으로 배치된 볼나사(110)와, 볼나사(110)의 일단에 연결된 서보 모터(111)와, 볼나사(110)와 평행하게 배치된 한 쌍의 가이드 레일(112)과, 내부의 너트가 볼나사(110)에 나사 결합하고 하부가 가이드 레일(112)에 미끄럼 접촉하는 이동 기대(113)로 구성되어 있다. 볼나사(110)는, 서보 모터(111)에 의해 구동되어 회전 운동하고, 그것에 따라 이동 기대(113)가 가이드 레일(112)에 의해 가이드되어 X축 방향으로 이동하며, 척 테이블(5)도 같은 방향으로 이동하는 구성으로 되어있다. 서보 모터(111)는, 도 1에 도시한 가동부(101a)에 해당하고, 예컨대 전원 전압을 DC 100 볼트로 한다.
또한, 척 테이블(5)은, 이동 기대(113)의 상부에 고정된 회전 구동부(114)의 내부에 구비한 도시하지 않는 펄스 모터에 의해서 구동되어 회전 가능하게 되어 있다. 이 펄스 모터는, 도 1에 도시한 가동부(101a)에 해당하고, 예컨대 DC 24 볼트를 전원 전압으로 한다.
절삭 수단(8)에는, 하우징(80)에 의해서 회전 가능하게 지지된 스핀들(81)의 일단에 절삭 블레이드(82)가 장착되고, 스핀들(81)의 타단에 서보 모터(84)가 연결되며, 하우징(80)이 지지부(83)에 의해서 지지되는 구성으로 되어 있고, 서보 모터(84)에 의해 구동되어 스핀들(81) 및 절삭 블레이드(82)가 회전하는 구성으로 되어 있다. 서보 모터(84)는, 도 1에 도시한 가동부(101a)에 해당하고, 예컨대 전원 전압을 예컨대 DC 100 볼트로 한다.
또한, 절삭 블레이드(82)와 사이를 두고, 절삭수를 토출하는 절삭수 노 즐(85)이 배치되어 있다. 절삭수 노즐(85)에서의 절삭수의 토출은, 전자 밸브에 의해서 제어된다. 이 전자 밸브는, 도 1에 도시한 가동부(101a)에 해당하고, 예컨대 전원 전압을 예컨대 DC 24 볼트로 한다.
하우징(80)의 측부에는, 얼라이먼트 수단(7)이 고정되어 있다. 얼라이먼트 수단(7)에는 웨이퍼를 촬상하는 촬상부(70)를 구비하고 있고, 촬상부(70)에 의해서 취득한 화상을 대상으로 한 화상 처리에 의해서 절삭해야 하는 스트리트를 검출할 수 있다. 촬상부(70)를 구성하는 렌즈의 중심은, 절삭 블레이드(82)의 연장선상에 위치하고 있고, 촬상부(70)에 의해서 취득된 화상은, 도 2에 도시하는 모니터(71)에 표시된다. 얼라이먼트 수단(7)이나 모니터(71)는, 도 1에 도시한 가동부(101a)에 해당하고, 예컨대 전원 전압을 DC 24 볼트로 한다.
절삭 수단(8) 및 얼라이먼트 수단(7)은, 노칭 이송 수단(12)에 의해서 Z축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 노칭 이송 수단(12)은, 벽부(120)의 한쪽 면에 있어서 Z축 방향으로 배치된 볼나사(121)와, 볼나사(121)를 회전 운동시키는 펄스 모터(122)와, 볼나사(121)와 평행하게 배치된 가이드 레일(123)로 구성되고, 지지부(83) 내부의 너트(도시 생략)가 볼나사(121)에 나사 결합하며 지지부(83)의 측부가 가이드 레일(123)에 미끄럼 접촉되어 있다. 지지부(83)는, 펄스 모터(122)에 의해서 구동되며 볼나사(121)의 회전 운동에 따라 가이드 레일(123)에서 가이드되어 Z축 방향으로 승강하고, 지지부(83)에 지지된 절삭 수단(8)도 Z축 방향으로 승강하는 구성으로 되어 있다. 펄스 모터(122)는, 도 1에 도시한 가동부(101a)에 해당하고, 예컨대 전원 전압을 DC 24 볼트로 한다.
절삭 수단(8) 및 얼라이먼트 수단(7)은, 인덱싱 이송 수단(13)에 의해서 Y축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 인덱싱 이송 수단(13)은, Y축 방향으로 배치된 볼나사(130)와, 벽부(120)와 일체로 형성되어 내부의 너트가 볼나사(130)에 나사 결합하는 이동 기대(131)와, 볼나사(130)를 회전 운동시키는 펄스 모터(132)와, 볼나사(130)와 평행하게 배치된 가이드 레일(133)로 구성되고, 이동 기대(131) 내부의 너트(도시 생략)가 볼나사(130)에 나사 결합되어 있다. 이동 기대(131)는, 펄스 모터(132)에 의해서 구동되며 볼나사(130)의 회전 운동에 따라 가이드 레일(133)에서 가이드되어 Y축 방향으로 이동하고, 이에 따라 절삭 수단(8)도 Y축 방향으로 이동하는 구성으로 되어 있다. 펄스 모터(132)는, 도 1에 도시한 가동부(101a)에 해당하고, 예컨대 전원 전압을 예컨대 DC 24 볼트로 한다.
절삭용 이송 수단(11)을 구성하는 서보 모터(111), 회전 구동부(114)의 내부에 구비한 도시하지 않는 펄스 모터, 노칭 이송 수단(12)을 구성하는 펄스 모터(122) 및 인덱싱 이송 수단(13)을 구성하는 펄스 모터(132)는, 제어 수단(14)에 의해서 제어된다. 제어 수단(14)은, 소위 드라이버이며, 도 1에 도시한 가동부(101a)에 해당하고, 예컨대 전원 전압을 DC 12 볼트로 한다.
절삭 수단(8)의 상하 방향(Z축 방향)의 기준 위치는, 셋업이라는 작업에 의해서 Z 좌표로서 초기 설정된다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 척 테이블(5)은, 웨이퍼(W)를 흡인하는 흡인면(50a)을 갖는 흡인부(50)가 도전성을 갖는 프레임체(51)에 의해 둘러싸인 구성으로 되어 있고, 흡인면(50a)과 프레임체(51)의 상면(51a)은 동일면으로 형성되어 있다. 프레임체(51)는, 직류 전원(52) 및 검출부(53)를 통해 스핀들(81)에 접속되어 있고, 절삭 블레이드(82)가 프레임체(51)에 접촉하면, 프레임체(51)를 통해 스핀들(81) 및 검출부(53)와 절삭 블레이드(82)가 도통하며, 검출부(53)에서는 이 도통을 검출하고, 이 때의 절삭 수단(8)의 Z축 방향의 위치를, 도 3에 도시한 펄스 모터(122)의 제어에 이용하는 펄스 수에 의해 인식한다. 도 4에 도시한 전원(52) 및 검출부(53)는, 도 1에 도시한 가동부(101a)에 상당하고, 예컨대 전원 전압을 DC 12 볼트로 한다.
도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 웨이퍼(W)는, 테이프(T)를 통해 프레임(F)과 일체로 되어 지지된 상태로 웨이퍼 카세트(C)에 수용되고, 반입 반출 수단(4)에 의해서 임시 거치 영역(3)으로 반출된다. 그리고, 제1 반송 수단(6a)에 의해 척 테이블(5)에 반송된다.
프레임(F)에 지지된 웨이퍼(W)가 척 테이블(5)에서 유지되면, 도 3에 도시한 절삭용 이송 수단(11)에 의해서 구동되어 척 테이블(5)이 X축 방향으로 이동하고, 웨이퍼(W)가 촬상부(70)의 바로 아래까지 이동한다. 그리고 웨이퍼(W)의 절삭해야 하는 스트리트가 얼라이먼트 수단(7)에 의해서 검출되고, 절삭해야 하는 스트리트와 절삭 블레이드(82)의 정렬이 이루어진다.
그 후, 척 테이블(5)이 절삭용 이송 수단(11)에 의해 구동되어 같은 방향으로 더 이동하고, 서보 모터(84)에 의해서 구동되어 고속 회전하는 절삭 블레이드(82)가 절삭 수단(8)의 하강에 의해 웨이퍼(W)의 절삭되어야 하는 스트리트에 홈을 내어, 그 스트리트가 절삭된다. 또한, 척 테이블(5)을 X축 방향으로 이동시키면서, 절삭 수단(8)을 스트리트 간격만큼 인덱싱 이송하여 스트리트를 순차적으로 절 삭해 가면, 같은 방향의 스트리트가 모두 절삭된다. 또한 척 테이블(5)을 90° 회전시킨 후 동일하게 절삭을 행하면, 모든 스트리트가 종횡으로 절삭되고, 개개의 칩으로 분할된다.
절삭중에 있어서는, 도 3에 도시한 서보 모터(84), 서보 모터(111), 펄스 모터(122), 펄스 모터(132)가 동작하고 있고, 이들이 정지하면, 웨이퍼(W)가 파손될 우려가 있지만, 정전시에는, 도 1에 도시한 급전 제어부(102d)로부터 가동부의 전원 전압에 맞춰 직류 전력이 출력되기 때문에, 절삭 작업이 정지되지 않는다.
이들 각종 모터가 회전할 때에는, 운전중보다 기동시가 큰 전력을 필요로 한다. 예컨대, 기동시의 소비 전력이 4[kVA]이고, 운전중의 소비 전력이 1.5[kVA]인 경우는, 통상은 4[kVA]의 전력이 요구되는 것을 전제로 하여 사용 전력을 설정하게 되지만, 급전 제어부(102d)로부터 부족분의 전력을 공급받을 수 있기 때문에, 예컨대 2[kVA]으로 설정하여도 충분하고, 경제적이다.
웨이퍼(W)가 칩으로 분할된 후에는, 모든 칩이 테이프(T)에 점착되어 전체로서 웨이퍼의 형상이 유지된 상태로, 도 2에 도시한 제2 반송 수단(6b)에 의해서 세정 수단(9)에 반송된다. 웨이퍼(W)의 형상을 유지하고 프레임(F)에 지지된 복수의 칩은, 스피너 테이블(90)에서 유지된다. 그리고 도시하지 않는 서보 모터로 구동되어 스피너 테이블(90)이 회전하고 세정수가 칩에 분사되어 절삭에 의해서 부착된 절삭칩이 제거된다. 또한, 세정 후에는 스피너 테이블(90)을 회전시키면서 고압 에어를 칩을 향해 분사하여, 칩을 건조시킨다. 스피너 테이블(90)을 회전 운동시키는 서보 모터는, 도 1에 도시한 가동부(101a)에 해당하고, 예컨대 전원 전압을 DC 100 볼트로 한다. 또한, 세정수나 고압 에어를 분사하기 위해 이용되는 전자 밸브는, 도 1에 도시한 가동부(101a)에 해당하고, 예컨대 전원 전압을 DC 24 볼트로 한다.
웨이퍼의 세정이나 건조 도중에 정전 등이 발생하여도, 도 1에 도시한 급전 제어부(102d)로부터 가동부의 전원 전압에 맞춰 직류 전력이 출력되기 때문에, 세정이나 건조가 정지하지 않는다.
도 1은 급전 시스템의 구성의 일례를 도시하는 블록도.
도 2는 다이싱 장치를 도시하는 사시도.
도 3은 다이싱 장치의 내부 구조를 도시하는 사시도.
도 4는 셋업을 행하기 위한 구조를 도시하는 설명도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10: 급전 시스템 101: 장치
101a: 가동부 102: 보조 전원 장치
102a: AC/DC 변환부 102b: 축전부
102c: 축전 제어부 102d: 급전 제어부
20: 상용 전원 1: 다이싱 장치
2: 웨이퍼 카세트 적재부 3: 임시 거치 영역
4: 반입 반출 수단 5: 척 테이블
50: 흡인부 51: 프레임체
52: 직류 전원 53: 검출부
6a: 제1 반송 수단 6b: 제2 반송 수단
7: 얼라이먼트 수단 70: 촬상부
71: 모니터 8: 절삭 수단
80: 하우징 81: 스핀들
82: 절삭 블레이드 83: 지지부
84: 서보 모터 85: 절삭수 노즐
9: 세정 수단 11: 절삭용 이송 수단
110: 볼나사 111: 서보 모터
112: 가이드 레일 113: 이동 기대
114: 회전 구동부 12: 노칭 이송 수단
120: 벽부 121: 볼나사
122: 펄스 모터 123: 가이드 레일
13: 인덱싱 이송 수단 130: 볼나사
131: 이동 기대 132: 펄스 모터
133: 가이드 레일 14: 제어 수단

Claims (3)

  1. 직류 전력을 공급받아 동작하는 복수의 가동부를 포함한 장치와, 상기 장치에 전력을 공급하는 상용 전원 및 보조 전원 장치로 구성되는 급전 시스템으로서,
    상기 보조 전원 장치는, 상기 상용 전원의 교류 전력을 직류 전력으로 변환하는 AC/DC 변환부와,
    상기 AC/DC 변환부로부터 출력된 직류 전력을 축전하는 축전부와,
    상기 축전부에 축전된 직류 전력을 방전시키는 축전 제어부와,
    상기 AC/DC 변환부로부터 출력된 직류 전력 또는 상기 축전부로부터 방전된 직류 전력을 상기 가동부에 공급하는 급전 제어부를 적어도 포함하는 급전 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 축전부는, 동작 전원이 다른 복수의 가동부에 대응하는 직류 전력을 분배 출력하는 것인 급전 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 축전 제어부는, 상기 가동부의 동작에 필요한 전력의 부족을 검지하여 상기 축전부를 방전시키고, 상기 방전시킨 전력에 의해 상기 부족분을 보충하는 기능을 포함하는 것인 급전 시스템.
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