JP7438156B2 - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、基板処理装置及び基板処理方法に関する。

基板処理装置は、半導体ウェーハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶用ガラス基板などの各種基板に対し、種々の処理（例えば、エッチング処理、洗浄処理、リンス処理、乾燥処理など）を、例えば、複数の処理室を使用して一枚ずつ実施する枚葉式の基板処理装置である。この基板処理装置は、基板搬送を行う搬送ロボットが移動する搬送室（ロボット室）に沿って複数の処理室が配置されている装置であり、作業者が搬送室側から処理室に対してメンテナンス作業を行う場合がある。搬送室内はダウンフローが存在するクリーンな環境であり、作業者は搬送室に入ってメンテナンス対象の処理室まで歩いて移動し、その処理室に対してメンテナンス作業を行う。

作業者が処理室へのメンテナンス作業を搬送室側から行う場合、作業者は搬送室に入る前に搬送ロボットあるいは基板処理装置の電源を落とすなどして、搬送ロボットが搬送室内の作業者に干渉（衝突など）することがないようにする必要がある。この場合、搬送ロボットあるいは基板処理装置の電源を落としてからメンテナンス作業を行うため、基板処理も停止することになる。このため、生産性（例えば、生産性＝生産量／時間）が低下する。

特許第４１０１１６６号公報

本発明が解決しようとする課題は、生産性の低下を抑えることができる基板処理装置及び基板処理方法を提供することである。

本発明の実施形態に係る基板処理装置は、
搬送室内に設けられ、基板を搬送する搬送ロボットと、
前記搬送室内に設けられ、前記搬送ロボットを移動させる移動機構と、
前記搬送室内の人の位置を検出する検出部と、
前記検出部により検出された前記人の位置を含む領域を設定する設定部と、
前記設定部により設定された前記領域を前記人の移動に応じて移動させる追従部と、
前記追従部により移動する前記領域を前記搬送ロボットが避けて前記基板を搬送するように前記搬送ロボット及び前記移動機構を制御する制御部と、
を備える。

本発明の実施形態に係る基板処理方法は、
基板を搬送する搬送ロボット及び前記搬送ロボットを移動させる移動機構が設けられた搬送室内の人の位置を検出部により検出する工程と、
前記検出部により検出された前記人の位置を含む領域を設定部により設定する工程と、
前記設定部により設定された前記領域を前記人の移動に応じて追従部により移動させる工程と、
前記追従部により移動する前記領域を前記搬送ロボットが避けて前記基板を搬送するように前記搬送ロボット及び前記移動機構を制御部により制御する工程と、
を有する。

本発明の実施形態によれば、生産性の低下を抑えることができる。

第１の実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。 第１の実施形態に係る搬送ロボットの動作範囲を説明するための図である。 第１の実施形態に係る制御ユニットの概略構成を示す図である。 第１の実施形態に係る搬送ロボットの動作範囲調整を説明するための第１の図である。 第１の実施形態に係る搬送ロボットの動作範囲調整を説明するための第２の図である。 第２の実施形態に係る搬送ロボットの動作範囲調整を説明するための図である。 第２の実施形態に係る仕切部材を説明するための図である。

＜第１の実施形態＞
第１の実施形態について図１から図５を参照して説明する。

（基本構成）
図１に示すように、第１の実施形態に係る基板処理装置１０は、複数の開閉ユニット２０と、第１の搬送ユニット３０と、バッファユニット４０と、第２の搬送ユニット５０と、複数の基板処理ユニット６０と、装置付帯ユニット７０とを備えている。この基板処理装置１０は基板表面に処理液（例えば、レジスト剥離液やリンス液、洗浄液）を供給して基板表面を処理する装置であり、各基板処理ユニット６０が複数種類の処理工程（例えば、レジスト剥離工程やリンス工程、洗浄工程）を行う。

各開閉ユニット２０は、一列に並べられて設けられている。これらの開閉ユニット２０は搬送容器として機能する専用ケース（例えばＦＯＵＰ）のドアを開閉する。なお、専用ケースがＦＯＵＰである場合、開閉ユニット２０はＦＯＵＰオープナーと呼ばれる。専用ケースには、基板Ｗが所定間隔で積層されて収納されている。

第１の搬送ユニット３０は、第１の移動機構３１と、第１の搬送ロボット３２とを有している。これらの第１の移動機構３１及び第１の搬送ロボット３２は、第１の搬送室３３内に設けられている。第１の搬送室３３は、各開閉ユニット２０が一列に並ぶ方向に平行に延伸する直方体形状の部屋である。各開閉ユニット２０は第１の搬送室３３の隣に並べられている。

第１の搬送室３３には、二つの出入口３３ａが設けられている。これらの出入口３３ａは、第１の搬送室３３において延伸方向の両端の壁面に個別に設けられている。人（例えば作業者）は各出入口３３ａから第１の搬送室３３に出入りする。また、第１の搬送室３３には、室内を撮像する複数の撮像部３３ｂが設置されている。例えば、第１の搬送室３３の天井部において延伸方向の両端に撮像部３３ｂが個別に設けられている。撮像部３３ｂとしては、例えば、撮像を行うカメラが用いられる。なお、第１の搬送室３３には、天井部からクリーンエアーをダウンフローで流す空調ユニット（図示せず）が配置されており、搬送される基板Ｗの上方からクリーンエアーが下向きに流れている。これにより、基板周辺部などで発生する塵や埃が基板Ｗに付着すること、また、第１の移動機構３１や第１の搬送ロボット３２などで発生する塵や埃が舞い上がって基板Ｗに付着することが抑えられる。

第１の移動機構３１は、第１の搬送室３３の延伸方向に平行に延伸しており、第１の搬送室３３の延伸方向に平行な直線上で第１の搬送ロボット３２を移動させる機構である。この第１の移動機構３１上に第１の搬送ロボット３２が設けられており、第１の移動機構３１は第１の搬送ロボット３２を一列に並ぶ各開閉ユニット２０の端から端まで往復移動させることが可能に構成されている。第１の移動機構３１としては、例えば、リニアガイドを有する移動機構が用いられる。

第１の搬送ロボット３２は、第１の移動機構３１の延伸方向に移動可能であり、旋回台３２ａを介して第１の移動機構３１上に設けられている。旋回台３２ａは、第１の移動機構３１の直線上に位置する旋回軸３２ｂを中心として旋回可能に形成されている。第１の搬送ロボット３２は、旋回台３２ａにおいて旋回軸３２ｂと反対側の端部に載置されている。第１の搬送ロボット３２は、旋回台３２ａが旋回することで、第１の移動機構３１の直上からオフセットする。つまり、各開閉ユニット２０側またはバッファユニット４０側のどちらかにオフセットすることになる。（図１は各開閉ユニット側にオフセット）。旋回台３２ａは、第１の搬送ロボット３２を支持しつつ、第１の搬送ロボット３２と共に第１の移動機構３１により第１の移動機構３１の延伸方向に沿って移動する。これにより、第１の搬送ロボット３２は、開閉ユニット２０又はバッファユニット４０との基板Ｗの受け渡しが可能になる位置に移動することが可能になっている。また、第１の搬送ロボット３２は、移動しながら旋回することが可能になっており、各開閉ユニット２０とバッファユニット４０とのアクセスを最短ルートで基板Ｗを搬送することができる。なお、旋回台３２ａは、旋回機構（図示せず）によって旋回可能になっている。

第１の搬送ロボット３２は、例えば、昇降軸及び旋回軸（いずれも図示せず）を有しており、昇降軸に沿って昇降が可能に、また、旋回軸を中心として旋回台３２ａ上で旋回が可能に、さらに、二本の伸縮アームを独立で移動させることが可能になっている。伸縮アームには、基板Ｗを把持する基板ハンドが取り付けられている。基板Ｗを把持する動作と、把持した基板Ｗをセット場所に置く動作（ハンド開放）を二本のアームを連続して動作させることで、短時間で基板Ｗの入れ替え動作を行う。第１の搬送ロボット３２は、第１の移動機構３１において開閉ユニット２０に近い側に旋回軸３２ｂを中心として旋回台３２ａにより旋回した状態で、専用ケースでの基板Ｗの入れ替え動作を行う。また、第１の搬送ロボット３２は、第１の移動機構３１において開閉ユニット２０に遠い側（バッファユニット４０に近い側）に旋回軸３２ｂを中心として旋回台３２ａにより旋回した状態で、バッファユニット４０での基板Ｗの入れ替え動作を行う。

ここで、図２に示すように、第１の搬送ロボット３２の動作範囲（移動範囲）Ｈ１は、各開閉ユニット２０やバッファユニット４０との基板Ｗの入れ替え動作のために必要な第１の搬送ロボット３２の三次元領域の移動範囲（アームやハンドの移動範囲も含む）である。第１の搬送ロボット３２は、第１の搬送室３３において各開閉ユニット２０側に位置した状態で、第１の移動機構３１の端から端まで第１の移動機構３１の延伸方向に往復移動することが可能であり、開閉ユニット２０に正対して基板Ｗの入れ替え動作を行う。また、第１の搬送ロボット３２は、第１の搬送室３３において第２の搬送ユニット５０側に位置した状態で、バッファユニット４０に正対して基板Ｗの入れ替え動作を行う。

バッファユニット４０は、第１の搬送室３３において第２の搬送ユニット５０側に位置付けられ、第１の移動機構３１の延伸方向の中央から少しずらされて設けられている。このバッファユニット４０は、第１の搬送ユニット３０と第２の搬送ユニット５０との間で基板Ｗの受け渡し（持ち替え）を行うため、基板Ｗが一時的に置かれるバッファ台である。バッファユニット４０には、未処理や処理済の基板Ｗが所定間隔で積層されて収納される。

第２の搬送ユニット５０は、第２の移動機構５１と、第２の搬送ロボット５２とを有している。これらの第２の移動機構５１及び第２の搬送ロボット５２は、第２の搬送室５３内に設けられている。第２の搬送室５３は、第１の移動機構３１の延伸方向に水平面内で直交する方向に平行に延伸する直方体形状の部屋である。この第２の搬送室５３は、第１の搬送室３３において延伸方向の中央付近につながっており、第１の搬送室３３及び第２の搬送室５３は平面視でＴ字形状である一つの搬送室（基板搬送室）を形成している。この第２の搬送室５３を短手方向から挟むように基板処理ユニット６０が四つずつ互いに対向するように設けられている。

第２の搬送室５３には、装置付帯ユニット７０用の出入口５３ａが設けられている。この出入口５３ａは、第２の搬送室５３において延伸方向の一端の壁面に設けられている。人（例えば作業者）は出入口５３ａから装置付帯ユニット７０内に出入りする。また、第２の搬送室５３には、室内を撮像する複数の撮像部５３ｂが設置されている。例えば、第２の搬送室５３の天井部において延伸方向の両端に撮像部５３ｂが個別に設けられている。撮像部５３ｂとしては、例えば、撮像を行うカメラが用いられる。なお、第２の搬送室５３には、第１の搬送室３３と同様、天井部からクリーンエアーをダウンフローで流す空調ユニット（図示せず）が配置されており、搬送する基板Ｗの上方からクリーンエアーが下向きに流れている。これにより、基板周辺部などで発生する塵や埃が基板Ｗに付着すること、また、第２の移動機構５１や第２の搬送ロボット５２などで発生する塵や埃が舞い上がって基板Ｗに付着することが抑えられる。

第２の移動機構５１は、第１の移動機構３１の延伸方向に水平面内で直交する方向に延伸しており、第１の移動機構３１の延伸方向に水平面内で直交する方向に平行な直線上で第２の搬送ロボット５２を移動させる機構である。この第２の移動機構５１上に第２の搬送ロボット５２が設けられており、第２の移動機構５１は第２の搬送ロボット５２を一列に並ぶ各基板処理ユニット６０の端から端まで往復移動させることが可能に構成されている。第２の移動機構５１としては、例えば、リニアガイドを有する移動機構が用いられる。

第２の搬送ロボット５２は、第２の移動機構５１の延伸方向に移動可能であり、旋回台５２ａを介して第２の移動機構５１上に設けられている。旋回台５２ａは、第２の移動機構５１の直線上に位置する旋回軸５２ｂを中心として旋回可能に形成されている。第２の搬送ロボット５２は、旋回台５２ａにおいて旋回軸５２ｂと反対側の端部に載置されている。第２の搬送ロボット５２は、旋回台５２ａが旋回することで、第２の移動機構５１の直上からオフセットする。つまり、第２の移動機構５１の延伸方向の両側のどちらかの片側にオフセットすることになる（図１参照）。旋回台５２ａは、第２の搬送ロボット５２を支持しつつ、第２の搬送ロボット５２と共に第２の移動機構５１により第２の移動機構５１の延伸方向に沿って移動する。これにより、第２の搬送ロボット５２は、基板処理ユニット６０又はバッファユニット４０との基板Ｗの受け渡しが可能になる位置に移動することが可能になっている。また、第２の搬送ロボット５２は、移動しながら旋回することが可能になっており、各処理室６１とバッファユニット４０とのアクセスを最短ルートで基板Ｗを搬送することができる。なお、旋回台５２ａは、旋回機構（図示せず）によって旋回可能になっている。

第２の搬送ロボット５２は、第１の搬送ロボット３２と同様に、例えば、昇降軸及び旋回軸（いずれも図示せず）を有しており、昇降軸に沿って昇降が可能に、また、旋回軸を中心として旋回台５２ａ上で旋回が可能に、さらに、二本の伸縮アームを独立で移動させることが可能になっている。各伸縮アームには、基板Ｗを把持する基板ハンドが取り付けられている。基板Ｗを把持する動作と、把持した基板Ｗをセット場所に置く動作（ハンド開放）を二本のアームを連続して動作させることで、短時間で基板Ｗの入れ替えを行う。第２の搬送ロボット５２は、第２の移動機構５１において基板Ｗの入れ替え対象の基板処理ユニット６０に近い側に旋回軸５２ｂを中心として旋回台３２ａにより旋回した状態で、基板Ｗの入れ替え対象の基板処理ユニット６０での基板Ｗの入れ替え動作を行う。また、第２の搬送ロボット５２は、第２の移動機構５１においてバッファユニット４０側に移動した状態で、バッファユニット４０での基板Ｗの入れ替え動作を行う。

ここで、図２に示すように、第２の搬送ロボット５２の動作範囲（移動範囲）Ｈ２は、各基板処理ユニット６０やバッファユニット４０との基板Ｗの入れ替え動作のために必要な第２の搬送ロボット５２の三次元領域の移動範囲（アームやハンドの移動範囲も含む）である。第２の搬送ロボット５２は、第２の搬送室５３において一列に並ぶ各基板処理ユニット６０側に位置した状態で、第２の移動機構５１の端から端まで第２の移動機構５１の延伸方向に往復移動することが可能であり、基板処理ユニット６０に正対して基板Ｗの入れ替え動作を行う。また、第２の搬送ロボット５２が第２の搬送室５３においてバッファユニット４０側に位置した状態で、バッファユニット４０に正対して基板Ｗの入れ替え動作を行う。

基板処理ユニット６０は、第２の搬送ロボット５２が第２の移動機構５１の延伸方向に沿って移動するロボット移動路の両側に例えば四つずつ設けられている。基板処理ユニット６０は、処理室６１を有しており、例えば、枚葉式の基板処理ユニットである。処理室６１は、例えば直方体形状に形成されている。この処理室６１内には、基板保持部や処理液供給部（いずれも図示せず）などが設けられている。基板保持部としては、例えば、基板Ｗを水平状態で保持して回転する回転テーブルが用いられる。また、処理液供給部としては、例えば、基板保持部により保持された基板Ｗの被処理面に処理液（例えば、薬液やリンス液、洗浄液）をノズル（図示せず）から供給する処理液供給部が用いられる。

処理室６１は、基板用の出入口となる基板シャッタ（図示せず）を有している。基板シャッタは、処理室６１において第２の搬送室５３側の壁面に開閉可能に形成されている。この処理室６１には、天井部からクリーンエアーをダウンフローで流す空調ユニット（図示せず）が配置されており、搬送される基板Ｗの上方からクリーンエアーが下向きに流れている。これにより、基板周辺部などで発生する塵や埃が基板Ｗに付着すること、また、第２の搬送ロボット５２などで発生する塵や埃が舞い上がって基板Ｗに付着することが抑えられる。なお、メンテナンス作業を行う作業者は、基板シャッタを開けて第２の搬送室５３側から処理室６１に対してメンテナンス作業を行う。

装置付帯ユニット７０は、第２の搬送室５３において第１の搬送室３３（第１の搬送ユニット３０）と反対側に位置付けられ、第２の搬送室５３の隣に設けられている。この装置付帯ユニット７０は、液供給ユニット７１と、制御ユニット７２とを有する。液供給ユニット７１は、各基板処理ユニット６０にそれぞれ各種の処理液を供給することが可能に構成されている。

制御ユニット７２は、図３に示すように、コンピュータ７２ａと、記憶部７２ｂと、領域コントローラ７２ｃと、ロボットコントローラ（制御部）７２ｄとを具備する。これらの各部は、例えば、ハードウエア（例えば電気回路）及びソフトウエアの両方又はどちらか一方で構成されている。コンピュータ７２ａは、各部を集中的に制御する主制御部（例えばマイクロコンピュータ）である。記憶部７２ｂは、各種情報や各種プログラムなどを記憶する。

コンピュータ７２ａは、記憶部７２ｂに記憶された基板処理情報や各種プログラムに基づき、各開閉ユニット２０や第１の搬送ユニット３０、バッファユニット４０、第２の搬送ユニット５０、各基板処理ユニット６０などの各部を制御する。また、コンピュータ７２ａは、第１の移動機構３１や第１の搬送ロボット３２、第２の移動機構５１、第２の搬送ロボット５２などから機械的な位置情報、例えば、それらの各部が個別に備える複数のエンコーダなどから個々の位置情報（例えば、平面座標や空間座標）を随時得ることができる。さらに、コンピュータ７２ａは、各撮像部３３ｂ、５３ｂから個々の画像情報を随時得ることができる。なお、各撮像部３３ｂ、５３ｂは、それぞれ第１の搬送室３３や第２の搬送室５３の搬送室内をリアルタイムに撮像し、撮像により得た画像に関する画像情報を領域コントローラ７２ｃに送る。

領域コントローラ７２ｃは、認識部（検出部）７３と、設定部７４と、追従部７５とを有している。認識部７３は、各撮像部３３ｂ、５３ｂにより得られた画像情報に基づく画像を解析し、第１の搬送室３３又は第２の搬送室５３内の人（人の有無）、第１の搬送ロボット３２、第２の搬送ロボット５２を検出し、それらの位置や領域（三次元領域）を認識する。設定部７４は、認識部７３により検出された人の位置を含む所望サイズの空間領域である領域Ｒ１（図４及び図５参照）を設定し、領域Ｒ１の形状やサイズ、位置などを含む情報を記憶部７２ｂに保存する。領域Ｒ１とは、例えば、検出した人を少なくとも含む所望サイズの円柱形状の空間領域であり、領域Ｒ１は空間座標で設定される。追従部７５は、設定部７４により設定された領域Ｒ１を人の移動に応じて移動させる。例えば、追従部７５は、記憶部７２ｂに記憶された情報のうち領域Ｒ１の位置情報を人の移動に応じて変更する。

コンピュータ７２ａは、認識部７３が第１の搬送室３３又は第２の搬送室５３内に居る人の位置を検出すると、運転モードを通常運転モードからメンテナンス作業モード（作業モードの一例）に切り替える。通常運転モードは、基板処理装置１０が通常運転を行い、人が第１の搬送室３３や第２の搬送室５３に立ち入らないモードである。メンテナンス作業モードは、人がメンテナンス作業のために第１の搬送室３３や第２の搬送室５３に立ち入るモードである。例えば、コンピュータ７２ａは、認識部７３が第１の搬送室３３又は第２の搬送室５３内の人の位置を検出すると、人が第１の搬送室３３又は第２の搬送室５３に立ち入ったことを把握し、運転モードを通常運転モードからメンテナンス作業モードに切り替える。また、コンピュータ７２ａは、認識部７３が第１の搬送室３３及び第２の搬送室５３内の人の位置を検出しなくなると、人が第１の搬送室３３又は第２の搬送室５３から居なくなったことを把握し、運転モードをメンテナンス作業モードから通常運転モードに切り替える。このようにコンピュータ７２ａは切替部として機能する。

ロボットコントローラ７２ｄは、運転モードがメンテナンス作業モードである場合にのみ、第１の搬送ロボット３２や第２の搬送ロボット５２が領域Ｒ１を避けて移動するように第１の移動機構３１、第１の搬送ロボット３２（旋回台３２ａも含む：以降同様）、第２の移動機構５１、第２の搬送ロボット５２（旋回台５２ａも含む：以降同様）などを制御する。つまり、ロボットコントローラ７２ｄは、第１の搬送ロボット３２の動作範囲Ｈ１や第２の搬送ロボット５２の動作範囲Ｈ２に関する動作範囲情報に基づいて第１の搬送ロボット３２の動作範囲Ｈ１や第２の搬送ロボット５２の動作範囲Ｈ２を認識し、認識した動作範囲Ｈ１、Ｈ２を領域Ｒ１に接触させないように領域Ｒ１の移動に応じて変化させ、変化させた動作範囲Ｈ１、Ｈ２を随時、記憶部７２ｂに保存する。そして、ロボットコントローラ７２ｄは、記憶部７２ｂに保存した動作範囲Ｈ１、Ｈ２内だけで第１の搬送ロボット３２及び第２の搬送ロボット５２が基板Ｗを搬送するように第１の移動機構３１、第１の搬送ロボット３２、第２の移動機構５１、第２の搬送ロボット５２などを制御する。なお、前述の動作範囲情報は、例えば、空間座標で動作範囲Ｈ１、Ｈ２を指定する情報であり、予め記憶部７２ｂに記憶されている。

（メンテナンス作業）
次に、前述の基板処理装置１０において作業者が行うメンテナンス作業について説明する。一例として、作業者が図４及び図５中のＡ１の処理室６１に対してメンテナンス作業を行う場合について説明する。

作業者は、図４に示すように、第１の搬送室３３の出入口３３ａから第１の搬送室３３に入り、バッファユニット４０の近傍まで移動し、図５に示すように、バッファユニット４０の近傍から第２の搬送室５３に入って、図５中のＡ１の処理室６１に正対する位置まで移動する。そして、作業者は、Ａ１の処理室６１内の各部に対してメンテナンス作業を行い、メンテナンス作業が完了すると、先ほど第１の搬送室３３の出入口３３ａからＡ１の処理室６１に正対する位置まで移動してきた経路を逆に移動し、第１の搬送室３３の出入口３３ａから退室する。

このように作業者は移動してメンテナンス作業を行うが、第１の搬送室３３及び第２の搬送室５３では、各撮像部３３ｂ、５３ｂにより室内がリアルタイムで撮影されている。作業者が第１の搬送室３３に入室すると、各撮像部３３ｂにより得られた画像情報に基づいて作業者が認識部７３によって検出され、通常運転モードがメンテナンス作業モードにコンピュータ７２ａにより切り替えられる。一方、作業者がメンテナンス作業を完了して第１の搬送室３３及び第２の搬送室５３から退室すると、各撮像部３３ｂ、５３ｂにより得られた画像情報から作業者が認識部７３によって検出されず、コンピュータ７２ａによりメンテナンス作業モードが通常運転モードに切り替えられる。通常運転モードでは、認識部７３の認識動作、設定部７４の設定動作、追従部７５の追従動作及びロボットコントローラ７２ｄの回避制御動作（第２の搬送ロボット５２に領域Ｒ１を回避させる制御動作）が禁止され、メンテナンス作業モードでは前述の各動作が許可される。

また、各撮像部３３ｂ、５３ｂにより得られた画像情報に基づいて、作業者、第１の搬送ロボット３２、第２の搬送ロボット５２が認識部７３により検出され、作業者の有無及び位置と、第１の搬送ロボット３２の位置、第２の搬送ロボット５２の位置が認識される。認識部７３により検出された作業者の位置を含む領域Ｒ１が設定部７４により設定され、領域Ｒ１の形状やサイズ、位置などを含む情報が記憶部７２ｂに保存される。各撮像部３３ｂ、５３ｂにより得られた画像情報から、作業者の有無及び位置と、第１の搬送ロボット３２の位置、第２の搬送ロボット５２の位置はリアルタイムに認識される。このため、記憶部７２ｂに記憶された情報のうち領域Ｒ１の位置情報は、作業者の移動に応じて随時変更される。

ロボットコントローラ７２ｄは、記憶部７２ｂに記憶された動作範囲情報に基づいて第１の搬送ロボット３２の動作範囲Ｈ１や第２の搬送ロボット５２の動作範囲Ｈ２を認識し、記憶部７２ｂに記憶された情報に基づいて、認識した動作範囲Ｈ１、Ｈ２を領域Ｒ１に接触させないように領域Ｒ１の移動に応じて変化させる。図５では、ロボットコントローラ７２ｄは、認識した動作範囲Ｈ２を領域Ｒ１に接触させないように領域Ｒ１の移動に応じて変化させ、変化させた動作範囲Ｈ２に基づいて、第２の搬送ロボット５２が領域Ｒ１を避けて基板Ｗを搬送するように、すなわち変化させた動作範囲Ｈ２内だけで第２の搬送ロボット５２が基板Ｗを搬送するように第２の移動機構５１及び第２の搬送ロボット５２を制御する。

ここで、基本的に、第１の搬送ロボット３２は各開閉ユニット２０とバッファユニット４０との間で基板搬送を行うが、第１の搬送ロボット３２の動作範囲Ｈ１内において基板Ｗの搬送ルートが最短距離になるように基板Ｗを搬送する。また、第２の搬送ロボット５２は処理室６１とバッファユニット４０との間、さらに、各処理室６１の間で基板搬送を行うが、第２の搬送ロボット５２の動作範囲Ｈ２内において基板Ｗの搬送ルートが最短距離になるように基板Ｗを搬送する。したがって、基板Ｗの搬送ルートは、第１の搬送ロボット３２の動作範囲Ｈ１又は第２の搬送ロボット５２の動作範囲Ｈ２内において最短距離となるよう、ロボットコントローラ７２ｄによって設定される。つまり、基板Ｗの搬送ルートが最短距離（最短ルート）となることが基準にされ、第１の搬送ロボット３２の動作範囲Ｈ１又は第２の搬送ロボット５２の動作範囲Ｈ２内での基板搬送動作が実現される。

例えば、第２の搬送ロボット５２の旋回方向が、第２の搬送ロボット５２が旋回動作により動作範囲Ｈ２外を通る旋回方向（例えば反時計回り）である場合には、その旋回方向と逆の旋回方向（例えば時計回り）、すなわち、旋回動作により動作範囲Ｈ２内を通る旋回方向にされる。また、旋回方向の変更だけでは第２の搬送ロボット５２が旋回動作により動作範囲Ｈ２外を通る場合には、第２の搬送ロボット５２が第２の移動機構５１によって作業者から離れる方向（作業者が作業している処理室とは反対側の処理室側にオフセットした状態）に移動しつつ旋回したり、あるいは、二本の伸縮アームを縮めつつ旋回したりする。旋回動作としては、第２の搬送ロボット５２が旋回台３２ａにより旋回する動作や第２の搬送ロボット５２が単体で、旋回台３２ａ上において旋回する動作がある（図２参照）。これらのような動作を含める様々な動作がロボットコントローラ７２ｄによって適宜選択されて制御が実行されるが、各処理室６１とバッファユニット４０との間における基板Ｗの搬送ルートが最短距離となるように選択される。

なお、前述の説明では、作業者が図４及び図５中のＡ１の処理室６１に対してメンテナンス作業を行う場合を想定しているが、これに限るものではなく、例えば、第１の搬送室３３の出入口３３ａから第１の搬送室３３に入って一番近い開閉ユニット２０に対してメンテナンス作業を行う場合を想定する。この場合、ロボットコントローラ７２ｄは第１の搬送ロボット３２の動作範囲Ｈ１を領域Ｒ１に接触させないように領域Ｒ１の移動に応じて変化させる。つまり、ロボットコントローラ７２ｄは、認識した動作範囲Ｈ１を領域Ｒ１に接触させないように領域Ｒ１の移動に応じて変化させ、変化させた動作範囲Ｈ１に基づいて、第１の搬送ロボット３２が領域Ｒ１を避けて基板Ｗを搬送するように、すなわち変化させた動作範囲Ｈ１内だけで第１の搬送ロボット３２が基板Ｗを搬送するように第１の移動機構３１及び第１の搬送ロボット３２を制御する。

また、ロボットコントローラ７２ｄは、認識部７３によって認識された第１の搬送ロボット３２の位置及び領域Ｒ１の位置に基づき、第１の搬送ロボット３２と領域Ｒ１との離間距離が所定距離以下であるか否かを判断する。この所定距離は、第１の搬送ロボット３２が低速で移動する距離である。ロボットコントローラ７２ｄが第１の搬送ロボット３２と領域Ｒ１との離間距離が所定距離以下であると判断すると、第１の搬送ロボット３２の移動速度を下げ、第１の搬送ロボット３２の移動動作を低速動作に移行させる。例えば、第１の搬送ロボット３２が作業者に近づく場合には、第１の搬送ロボット３２の移動速度を規定速度から下げる。なお、第１の搬送ロボット３２が作業者から離れる場合には、第１の搬送ロボット３２の移動速度を下げずに規定速度のままにしてもよい。また、ロボットコントローラ７２ｄは、認識部７３によって認識された第２の搬送ロボット５２の位置及び領域Ｒ１の位置に基づき、第２の搬送ロボット５２と領域Ｒ１との離間距離が所定距離以下であるか否かを判断し、その判断結果に応じ、第２の搬送ロボット５２に対して前述と同様の処理を行う。この所定距離は、第２の搬送ロボット５２が低速で移動する距離である。

図４では、作業者は第１の搬送室３３の出入口３３ａから第１の搬送室３３に入り、バッファユニット４０の近傍まで移動する。第１の搬送ロボット３２が第１の移動機構３１の直上から各開閉ユニット２０側にオフセットし、第１の搬送ロボット３２と領域Ｒ１との離間距離が所定距離以下にならないため、第１の搬送ロボット３２の移動動作は低速動作にされない。一方、作業者がバッファユニット４０の近傍に位置する状態で、第１の搬送ロボット３２がバッファユニット４０に対して基板搬送のための動作を行うと、第１の搬送ロボット３２と領域Ｒ１との離間距離が所定距離以下となるため、第１の搬送ロボット３２の移動動作は低速動作とされる。また、図５では、メンテナンス作業中、作業者はＡ１の処理室６１に正対する位置にいる。このため、第２の搬送ロボット５２がバッファユニット４０に対して基板搬送のための動作を行う場合、第２の搬送ロボット５２と領域Ｒ１との離間距離が所定距離以下となるため、第２の搬送ロボット５２の移動動作は低速動作とされる。

また、ロボットコントローラ７２ｄは、認識部７３によって認識された第１の搬送ロボット３２の位置及び領域Ｒ１の位置に基づき、第１の搬送ロボット３２と領域Ｒ１との離間距離が所定停止距離（＜所定離間距離）以下であるか否かを判断する。この所定停止距離は、第１の搬送ロボット３２と領域Ｒ１との離間距離が、前述した所定離間距離よりも短く、第１の搬送ロボット３２が領域Ｒ１と接触しない距離に予め設定されている。作業者が第１の搬送ロボット３２に近づき過ぎ、ロボットコントローラ７２ｄが第１の搬送ロボット３２と領域Ｒ１との離間距離が所定停止距離以下であると判断すると、互いの離間距離が所定停止距離よりも長くなるまで第１の搬送ロボット３２の移動を禁止する。例えば、作業者がバッファユニット４０の周辺を通過したり、バッファユニット４０の周辺で立ち止まったりして、ロボットコントローラ７２ｄが第１の搬送ロボット３２と領域Ｒ１との離間距離が所定停止距離以下であると判断すると、第１の搬送ロボット３２の移動を禁止し、第１の搬送ロボット３２がバッファユニット４０にアクセスすることを中断する。また、ロボットコントローラ７２ｄは、認識部７３によって認識された第２の搬送ロボット５２の位置及び領域Ｒ１の位置に基づき、第２の搬送ロボット５２と領域Ｒ１との離間距離が所定停止距離以下であるか否かを判断し、その判断結果に応じ、第２の搬送ロボット５２に対して前述と同様の処理を行う。この所定停止距離は、第２の搬送ロボット５２と領域Ｒ１との離間距離が、前述した所定離間距離よりも短く、第１の搬送ロボット３２が領域Ｒ１と接触しない距離に予め設定されている。

ここで、基板搬送の流れについて説明すると、基板Ｗに対して二種類の処理が行われるため、基板Ｗは、開閉ユニット２０、バッファユニット４０、第１の処理室６１、第２の処理室６１、バッファユニット４０、開閉ユニット２０の順番で搬送される。第１の処理室６１及び第２の処理室６１では、互いに異なる処理液により基板Ｗに対する処理が行われる。詳しくは、図４及び図５に示すように、第２の移動機構５１を挟んで並ぶ八つの処理室６１において、片側で一列に並ぶ四つの処理室（第１の処理室）６１と、もう一方の片側で一列に並ぶ四つの処理室（第２の処理室）６１とが存在する。基板Ｗに対して二種類の処理を行う場合には、片側で一列に並ぶ四つの第１の処理室６１と、もう一方の片側で一列に並ぶ四つの第２の処理室６１とおいて、互いに異なる処理が実行される。このとき、第２の移動機構５１を挟んで正対する第１の処理室６１と第２の処理室６１とが一組となり、第１の処理室６１での処理が完了すると、第２の搬送ロボット５２により第１の処理室から第２の処理室６１に基板Ｗが搬送される。なお、図５では、第２の搬送ロボット５２の動作範囲Ｈ２に基づき、メンテナンス対象となるＡ１の処理室６１に対するアクセスが禁止されるため、Ａ１の処理室６１に対する基板搬送、また、Ａ１の処理室（第１の処理室）６１から組である第２の処理室６１への基板搬送も禁止される。

第１の搬送ロボット３２は、開閉ユニット２０内の専用ケースから未処理の基板Ｗを取り出し、旋回して（又は移動して旋回し）未処理の基板Ｗをバッファユニット４０内にセットする。第２の搬送ロボット５２は、バッファユニット４０内から未処理の基板Ｗを取り出し、旋回して（又は旋回して移動し）未処理の基板Ｗを所望の第１の処理室６１内にセットする。その後、第１の処理室６１において基板Ｗに処理が行われる。第１の処理室６１での処理が終了すると、第２の搬送ロボット５２は、第１の処理室６１内から基板Ｗを取り出し、１８０度旋回して基板Ｗを第２の処理室６１内にセットする。その後、第２の処理室６１において基板Ｗに処理が行われる。第２の処理室６１での処理が終了すると、第２の搬送ロボット５２は、第２の処理室６１内から基板Ｗを取り出し、旋回して（又は旋回して移動し）基板Ｗをバッファユニット４０内に置く。第１の搬送ロボット３２は、バッファユニット４０内から処理済の基板Ｗを取り出し、旋回して（又は旋回して移動し）処理済の基板Ｗを所望の専用ケース内にセットする。

ただし、第２の搬送ロボット５２による基板搬送の流れは、第１の処理室６１とそれに正対する第２の処理室６１の組ごとに実行されるが、第１の処理室６１及び第２の処理室６１では、処理内容が異なるため、処理時間も異なる。生産性を向上させるため、第２の搬送ロボット５２は、バッファユニット４０、第１の処理室６１、第２の処理室６１の各場所において一方のアームにより処理済の基板Ｗを取り出し、他方のアームによって未処理の基板Ｗをセットする。つまり、第２の搬送ロボット５２は、バッファユニット４０、第１の処理室６１、第２の処理室６１の各場所において処理済の基板Ｗの取り出し動作と未処理の基板Ｗの受け渡し動作（基板の入れ替え動作）を一組の動作として行う。また、第１の搬送ロボット３２も、バッファユニット４０において処理済の基板Ｗの取り出し動作と未処理の基板Ｗの受け渡し動作（基板の入れ替え動作）を一組の動作として行う。さらに、生産性を向上させるため、各第１の処理室６１にそれぞれ未処理の基板Ｗがセットされて各第１の処理室６１で並行して処理が行われ、処理が終わった第１の処理室６１から処理済の基板Ｗが取り出され、対応する第２の処理室６１にセットされて各第２の処理室６１で並行して処理が行われる。したがって、実際の基板搬送の流れは、前述の基板搬送の流れよりも複雑となる。

このような基板搬送中でも、作業者は第１の搬送ロボット３２及び第２の搬送ロボット５２に干渉することなく、図４及び図５中のＡ１の処理室６１の前面まで移動することができ、図４及び図５中のＡ１の処理室６１にアクセスし、そのＡ１の処理室６１に対するメンテナンス作業を行うことができる。つまり、搬送室（第１の搬送室３３、第２の搬送室５３）に作業者が入っても、搬送ロボット（第１の搬送ロボット３２、第２の搬送ロボット５２）は搬送動作を継続することができる。作業者が搬送室に居ることが認識されると、搬送ロボットの動作範囲Ｈ１、Ｈ２と作業者の領域Ｒ１とが認識され、搬送ロボットが作業者を回避して移動するように制御される。搬送ロボットは、メンテナンス作業を行う作業者との接触を回避しつつ、基板Ｗを搬送する搬送作業を続ける。搬送ロボットの電源停止や基板処理装置１０の電源停止などにより搬送作業を停止しなくても、作業者と搬送ロボットは搬送室を共用してそれぞれの作業を行うことができる（協調作業の実現）。したがって、搬送室内に作業者が入った場合でも、搬送ロボットは基板搬送を停止することなく、搬送作業を継続することが可能であり、基板処理装置１０は基板処理を継続することができる。これにより、メンテナンス作業により基板処理が停止することを抑え、生産性の低下を抑えることができる。また、メンテナンス作業が長引いたとしても、搬送ロボットは搬送作業を継続するため、基板処理装置１０は基板処理を継続することが可能であり、生産性の低下を抑えることができる。

また、第１の搬送ロボット３２が旋回台３２ａにより第１の移動機構３１の直上からオフセットしており、第１の搬送室３３のほぼ半分のエリア（第１の搬送室３３において第２の搬送室５３側のエリア）は第１の搬送ロボット３２の動作範囲外になっている。このため、人が第１の搬送ロボット３２の動作範囲外を歩いて移動することが可能であり、第１の搬送ロボット３２が第１の移動機構３１の直上にある場合（人が第１の搬送ロボット３２の動作範囲内に侵入して移動する場合）に比べ、第１の搬送ロボット３２と接触することを抑えることができる。したがって、第１の搬送ロボット３２と第１の移動機構３１との間に旋回台３２ａを追加することで、第１の搬送ロボット３２が第１の移動機構３１の直上からオフセットし、人と干渉しないスペースを設けることが可能となり、メンテナンス作業などで人が第１の搬送室３３内に入っても、第１の搬送ロボット３２が基板搬送を継続することができる。

さらに、作業者が複数の処理室６１のなかの特定の処理室６１に対してメンテナンス作業を長時間行う必要がある場合にも、基板処理装置１０を停止させずに基板処理や基板搬送を継続しながら、作業者は第２の搬送室５３内でメンテナンス作業を行うことができる。また、作業者が第２の搬送室５３内でメンテナンス作業を行うことが可能となるので、第２の搬送室５３側とは反対側、すなわち搬送室外に設けることがあるメンテナンススペース（作業者が基板処理装置１０の装置外から処理室６１内にアクセスするためのスペース）を省略することができる。これにより、装置外のメンテナンスエリアを削減することが可能となるので、維持費用が高額なクリーンルームのスペース利用効率を高くすることができる。つまり、基板処理装置１０の装置外のエリアをメンテナンススペースとして広く取る必要も無くなるので、クリーンルームに複数台の基板処理装置１０を設置する場合でも、それらの基板処理装置１０の装置間隔を狭くすることが可能であり、クリーンルームを有効に使用することができる。また、基板搬送に必要なクリーン度を維持した搬送室内でメンテナンス作業ができれば、装置外のスペースのクリーン度を現状よりも低くすることができる可能性もあり、クリーンルームのクリーン度を維持する維持品を軽減することができる。また、塵の影響が少ない搬送室側からメンテナンス作業を行えるため、処理室解放後のクリーン度復帰に係る時間を短縮することも可能となり、生産性の低下を抑えることができる。

また、第１の搬送ロボット３２及び第２の搬送ロボット５２を機械的な位置情報（例えば、エンコーダからの位置情報）に基づいて制御することに加え、各撮像部３３ｂ、５３ｂにより得られる画像情報から認識部７３により生成される位置情報に基づいて制御することによって、より正確な位置制御を行うことが可能となり、第１の搬送ロボット３２及び第２の搬送ロボット５２を確実に監視することができる。また、実際の第１の搬送ロボット３２及び第２の搬送ロボット５２の位置を把握することが可能であり、機械的な位置情報だけの制御に比べ、安全性を高めることができる。

以上説明したように、第１の実施形態によれば、搬送室（第１の搬送室３３、第２の搬送室５３）内の人の位置を検出して認識し、認識した人の位置を含む領域Ｒ１を設定し、設定した領域Ｒ１を人の移動に応じて移動させ、移動させた領域Ｒ１を搬送ロボット（第１の搬送ロボット３２、第２の搬送ロボット５２）が避けて基板Ｗを搬送するように搬送ロボット及び移動機構（第１の移動機構３１、第２の移動機構５１）の動作を制御する。これにより、搬送室内に作業者が入った場合でも、搬送ロボットは基板搬送を停止することなく、搬送作業を継続することが可能であり、基板処理装置１０は基板処理を継続することができる。これにより、メンテナンス作業により基板処理が停止することを抑え、生産性の低下を抑えることができる。また、メンテナンス作業が長引いたとしても、搬送ロボットは搬送作業を継続するため、基板処理装置１０は基板処理を継続することが可能であり、生産性の低下を抑えることができる。

＜第２の実施形態＞
第２の実施形態について図６及び図７を参照して説明する。なお、第２の実施形態では、第１の実施形態との相違点（入力部及び設定部）について説明し、その他の説明を省略する。

図６に示すように、第２の実施形態に係る第１の搬送室３３には、入力部３３ｃが設けられている。入力部３３ｃは、第１の搬送室３３の出入口３３ａの近傍に配置されおり、人（例えば作業者）からの入力操作を受け付ける。入力部３３ｃとしては、例えば、スイッチやボタン、タッチパネルなどが用いられる。入力部３３ｃは、領域コントローラ７２ｃに電気的に接続されており、人からの入力操作を受け付けると、入力信号を領域コントローラ７２ｃ（図３参照）に送る。例えば、作業者が入力部３３ｃを操作してメンテナンス対象の処理室６１を指示すると、メンテナンス対象の処理室６１を示す入力情報が入力信号として領域コントローラ７２ｃに入力される。

領域コントローラ７２ｃの設定部７４は、入力部３３ｃから入力された入力情報に基づき、その入力情報により示される処理室６１の前面に、人が作業するための作業領域Ｒ２を設定し、設定した作業領域Ｒ２に関する作業領域情報を記憶部７２ｂに記憶する。例えば、人が入力部３３ｃを操作し、図６中のＡ２の処理室６１をメンテナンス対象の処理室として指定すると、指定されたメンテナンス対象の処理室６１の前面に作業領域Ｒ２が設定される。作業領域Ｒ２とは、例えば、検出した人が処理室６１の前面でメンテナンス対象の処理室６１に対して安全にメンテナンス作業を行うことができる所望サイズの直方体形状の空間領域である。作業領域Ｒ２はメンテナンス対象の処理室６１の前面に空間座標で設定される。なお、作業領域Ｒ２の設定のために作業者が入力する情報は、作業者が作業する領域を特定できる情報であればよく、メンテナンス対象の処理室６１を指定する情報には限定されない。例えば、作業者が入ることができる装置内のいずれかの場所を示す情報であれば、入力情報とすることができる。このため、作業領域Ｒ２そのものを指定する情報を入力情報としてもよいし、搬送エリア内のいずれかの場所を示す情報を入力情報としてもよい。また、作業領域Ｒ２は領域Ｒ１とは別に設定される。

メンテナンス作業において、作業者が図６中のＡ２の処理室６１に対してメンテナンス作業を行う場合、作業者は第１の搬送室３３の出入口３３ａから第１の搬送室３３に入り、入力部３３ｃを操作して、図６中のＡ２の処理室６１をメンテナンス対象として指定する。そして、作業者は、第１の搬送室３３の出入口３３ａの近傍からバッファユニット４０の近傍まで移動し、バッファユニット４０の近傍から第２の搬送室５３に入って、Ａ２の処理室６１に正対する位置まで移動する。そして、作業者は、Ａ２の処理室６１内の各部に対してメンテナンス作業を行い、メンテナンス作業が完了すると、先ほど第１の搬送室３３の出入口３３ａからＡ２の処理室６１に正対する位置まで移動してきた経路を逆に移動し、第１の搬送室３３の出入口３３ａから退室する。

入力部３３ｃが作業者により操作され、図６中のＡ２の処理室６１がメンテナンス対象であることが指定されると、メンテナンス対象がＡ２の処理室６１であることを示す入力情報が領域コントローラ７２ｃに送信される。送信された入力情報に基づき、設定部７４によって作業領域Ｒ２がＡ２の処理室６１の前面に設定される。他の処理は第１の実施形態と同様であるが、ロボットコントローラ７２ｄは、設定された作業領域Ｒ２に関する作業領域情報に基づき、第２の搬送ロボット５２が領域Ｒ１及び作業領域Ｒ２を避けて基板Ｗを搬送するように第２の搬送ロボット５２及び第２の移動機構５１を制御する。

基板搬送中でも、作業者は第１の搬送ロボット３２及び第２の搬送ロボット５２に干渉することなく、図６中のＡ２の処理室６１の前面まで移動することができ、Ａ２の処理室６１にアクセスし、そのＡ２の処理室６１に対するメンテナンス作業を行うことができる。つまり、第１の実施形態と同様、搬送室（第１の搬送室３３、第２の搬送室５３）に作業者が入っても、搬送ロボット（第１の搬送ロボット３２、第２の搬送ロボット５２）は搬送動作を継続することができる。したがって、メンテナンス作業により基板処理が停止することを抑え、生産性の低下を抑えることができる。また、メンテナンス作業が長引いたとしても、搬送ロボットは搬送作業を継続するため、基板処理装置１０は基板処理を継続することが可能であり、生産性の低下を抑えることができる。また、メンテナンスの対象となる処理室６１の前面に作業領域Ｒ２が設定される。これにより、第２の搬送ロボット５２は作業領域Ｒ２を避けて移動するため、メンテナンス作業中に第２の搬送ロボット５２が作業者に接触することを確実に抑えることが可能となり、作業者はより安全にメンテナンス作業を行うことができる。

なお、図７に示すように、仕切部材Ｒ２ａにより作業領域Ｒ２を囲うようにしてもよい。仕切部材Ｒ２ａとしては、例えば、カーテンが用いられる。このカーテンを用いる場合には、処理室６１ごとにその前面に位置する作業領域Ｒ２の天井部分にカーテンレールが設けられている。作業者は作業領域Ｒ２まで移動したら、作業領域Ｒ２で仕切部材Ｒ２ａを設置し（例えばカーテンをカーテンレールに取り付け）、仕切部材Ｒ２ａによって作業領域Ｒ２を囲う。また、シャッタなどとすれば、防護壁とできる。これにより、処理室６１内及び作業領域Ｒ２内を第２の搬送室５３（搬送エリア）内と区分けして、汚染が処理室６１内及び作業領域Ｒ２内から第２の搬送室５３内に広がることを抑制することが可能になるので、作業員によるメンテナンス作業によって周囲に塵が拡散することを抑えることができる。

以上説明したように、第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、メンテナンスの対象となる処理室６１の前面に作業領域Ｒ２を設定することによって、第２の搬送ロボット５２は作業領域Ｒ２を避けて移動する。これにより、第２の搬送ロボット５２がメンテナンス作業中に作業者に接触することを確実に抑えることが可能となるので、作業者はより安全にメンテナンス作業を行うことができる。

＜他の実施形態＞
前述の説明では、第１の搬送ロボット３２の移動に関して一軸の第１の移動機構３１及び旋回台３２ａを用いること、また、第２の搬送ロボット５２の移動に関して一軸の第２の移動機構５１及び旋回台５２ａを用いることを例示したが、これに限るものではなく、例えば、第１の搬送ロボット３２又は第２の搬送ロボット５２を支持する移動台及び二軸の移動機構を設け、その移動台を二軸の移動機構により平面内で直交する二方向（例えばＸ方向及びＹ方向）に移動させるようにしてもよい。第１の搬送ロボット３２又は第２の搬送ロボット５２は、二軸の移動機構により二方向に同時に移動することが可能であり、最短ルートで基板Ｗを搬送することができる。

また、前述の説明では、人の有無や位置を把握するための手段として、撮像部３３ｂ、５３ｂを用いることを例示したが、これに限るものではなく、例えば、超音波や光利用の距離センサ、床面の足位置を確認するマットスイッチ（接触センサ、重量センサ、ひずみセンサなど）、サーモカメラ、音響（注意を促す音）などを用いるようにしてもよい。

さらに、このような手段としては、電波を発信する発信器を用いてもよい。この発信器を人が所持し又は身に着けていて、発信される電波に基づいて、認識部（検出部）７３が人の位置を認識（検出）する。これにより、発信器を中心とした所定の領域、つまり、人の位置を含む領域Ｒ１が設定される。例えば、発信器から発信される電波を、あらかじめ基板処理装置１０内に設置され位置情報が登録された受信器が受信する。これにより、認識部７３は、発信器からの電波強度がもっとも強い受信器の位置を人の位置としたり、複数の受信器が受信した電波強度に基づいて、演算により人の位置を求めることができる。より具体的には、携帯電話、スマートフォン、ウェアラブルデバイス、タブレット端末、ＩＤカード等の情報通信端末を発信器として、発信器から発信されるビーコンを受信するアクセスポイント、ルータ等の端末を受信器とすることができる。

また、前述の説明では、領域Ｒ１として円柱形状の空間領域を用いることを例示したが、これに限るものではなく、例えば、検出した人を少なくとも含むことが可能な所望サイズである、直方体形状の空間領域や紡錘体形状の空間領域、人型の空間領域を用いるようにしてもよい。また、作業領域Ｒ２として、直方体形状の空間領域を用いることを例示したが、これに限るものではなく、例えば、検出した人を作業中でも含むことが可能な所望サイズである円柱形状の空間領域や紡錘体形状の空間領域を用いるようにしてもよい。領域Ｒ１と作業領域Ｒ２とが重複したときには、いずれか一方に優先度を持たせることができる。例えば、領域Ｒ１と作業領域Ｒ２のいずれか大きい領域の方を優先させてもよい。また、作業領域Ｒ２から人が飛び出した場合、撮像部３３ｂ、５３ｂが作業者を認識し、すぐに領域Ｒ１として設定して、その設定された領域Ｒ１を、第１の搬送ロボット３２、第２の搬送ロボット５２が避けるように制御してもよい。

また、前述の説明では、一人でメンテナンス作業を行うことを例示したが、これに限るものではなく、例えば、複数人でメンテナンス作業を行うようにしてもよい。複数人でメンテナンス作業を行う場合には、人ごとに領域Ｒ１を設定し、第１の搬送ロボット３２や第２の搬送ロボット５２は、人ごとに設定された領域Ｒ１（複数の領域Ｒ１）を避けて基板Ｗを搬送することになる。

また、前述の説明では、第１の搬送ロボット３２又は第２の搬送ロボット５２と領域Ｒ１との離間距離に基づき、第１の搬送ロボット３２又は第２の搬送ロボット５２の移動速度を下げることを例示したが、これに限るものではなく、例えば、作業者が移動している場合、第１の搬送ロボット３２又は第２の搬送ロボット５２の移動速度を下げるようにしてもよい。また、作業者の移動速度に応じて、第１の搬送ロボット３２又は第２の搬送ロボット５２の移動速度を変更するようにしてもよい。例えば、ロボットコントローラ７２ｄは、作業者の移動速度が上がると、第１の搬送ロボット３２又は第２の搬送ロボット５２の移動速度を下げ、逆に作業者の移動速度が下がると、第１の搬送ロボット３２又は第２の搬送ロボット５２の移動速度を上げる。なお、追従部７５は、記憶部７２ｂに記憶された情報のうち領域Ｒ１の位置情報を人の移動に応じて変更するが、この領域Ｒ１の位置情報の変化に応じて作業者の移動速度を求めることが可能である。

また、前述の説明では、第１の搬送ロボット３２又は第２の搬送ロボット５２が作業者に近づく場合に移動速度を下げることを例示したが、これに限るものではなく、例えば、第１の搬送ロボット３２又は第２の搬送ロボット５２が作業者に近づく場合でも、移動速度を下げないようにしてもよく、また、第１の搬送ロボット３２又は第２の搬送ロボット５２が作業者から離れる場合に移動速度を下げるようにしてもよい。また、前述の説明では、第１の搬送ロボット３２及び第２の搬送ロボット５２による基板Ｗの搬送ルートが最短距離となるように、搬送ルートを選択するようにしたが、領域Ｒ１との離間距離に応じて低速で移動する距離が短い搬送ルートを、優先して選択しても良い。これにより、基板搬送時間の短縮につながる。

また、前述の説明では、メンテナンス対象の処理室６１の前面に作業領域Ｒ２（図６又は図７参照）を設定することを例示したが、これに限るものではなく、作業領域Ｒ２に加え、認識部７３により検出された作業者（第１の搬送室３３の出入口３３ａから第１の搬送室３３に入室した作業者）が第１の搬送室３３の出入口３３ａから作業領域Ｒ２まで移動するための移動領域（図示せず）を設定部７４により設定するようにしてもよい。移動領域とは、作業者が搬送室に入室して作業領域Ｒ２まで第１の搬送ロボット３２及び第２の搬送ロボット５２に接触せずに移動することができる所望サイズの空間領域である。ロボットコントローラ７２ｄは、第１の搬送ロボット３２や第２の搬送ロボット５２が作業領域Ｒ２及び移動領域を避けて基板Ｗを搬送するように第１の移動機構３１、第１の搬送ロボット３２、第２の移動機構５１、第２の搬送ロボット５２などの動作を制御する。この処理では、領域Ｒ１の設定や追従などの処理を実行しなくしてもよい。その後、作業者が移動して作業領域Ｒ２内に居ることが認識部７３によって検出された場合、設定部７４は移動領域を削除する。作業者が作業領域Ｒ２内で作業している場合、ロボットコントローラ７２ｄは、第１の搬送ロボット３２や第２の搬送ロボット５２が作業領域Ｒ２だけを避けて基板Ｗを搬送するように第１の移動機構３１、第１の搬送ロボット３２、第２の移動機構５１、第２の搬送ロボット５２などの動作を制御する。

また、前述の説明では、基板Ｗに対して二種類の処理を行うことを例示したが、これに限るものではなく、例えば、一種類の処理を行うようにしてもよく、また、三種類の処理を行うようにしてもよい。基板Ｗに対して一種類の処理を行う場合、第２の搬送ロボット５２は、基板Ｗをバッファユニット４０、処理室６１、バッファユニット４０という順番で搬送する。基板Ｗに対して三種類の処理を行う場合、第２の搬送ロボット５２は、基板Ｗをバッファユニット４０、第１の処理室６１、第２の処理室６１、第３の処理室６１、バッファユニット４０という順番で搬送する。つまり、処理１→処理２→処理３の順に処理を行ってからバッファユニット４０に処理済の基板を戻す作業になる。例えば、処理１を行う第１の処理室６１の数を２つ、処理２を行う第２の処理室６１の数を４つ、処理３を行う第３の処理室６１を２つにするが、これは、処理２が処理１又は処理３に比べて２倍の時間を要することを想定し、台数を倍に設定するためである。

なお、ロボットの動作範囲Ｈ１、Ｈ２内に作業者がいることを撮像部３３ｂ、５３ｂのセンサで検出することによってロボット動作に制限をかけているが、作業者は出入口３３ａ、５３ａの扉から入室、退出することを基本的な動作とする。したがって、ドアの入出なく作業者がロボットの動作範囲に現れる、または、動作範囲からいなくなる事象が発生した場合は、作業者の異常動作、あるいはセンサの異常として、ワーニングやアラームによる作業者の動作の確認を行うようにしてもよい。

また、カメラによる撮像を２か所で行い、２か所のカメラが共に作業者の認識をしない場合、カメラの異常として、搬送ロボットの動作を一旦停止、つまり一時的に停止してもよい。

また、複数のセンサを使って、いずれかのセンサが作業者を認識している場合は、搬送ロボットの動作を一旦停止するか、あるいはメンテナンス作業モードから通常作業モードに戻らないようにしてもよい。

また、搬送ロボットの動作が一時的に停止していることを、作業者が所持している端末などの操作画面に表示してもよい。また、カメラの異常などの停止の原因も、端末に表示してもよい。このような場合、作業者が装置から離れて安全を確保できたら、一時的な停止を解除する指示を端末から入力することにより、搬送ロボットに動作を開始させてもよい。また、作業者が装置内を移動する場合などは、一時的な停止を解除する指示を端末から入力しないことにより、停止を継続するようにして安全を確保してもよい。

また、作業者の動きによっては、搬送ロボットが作業者を回避できず、ロボットの動作を継続することができない状態が生じる場合がある。このように動作を継続できない状態のパターンをあらかじめ設定しておくことにより、ロボットが動作を一旦停止したら、あらかじめ設定されたパターンに相当する状態が解消されない限り、ロボットが動作を開始しないようにしてもよい。

以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０ 基板処理装置
３１ 第１の移動機構
３２ 第１の搬送ロボット
３３ 第１の搬送室
３３ｂ 撮像部
５１ 第２の移動機構
５２ 第２の搬送ロボット
５３ 第２の搬送室
５３ｂ 撮像部
６１ 処理室
７２ 制御ユニット
７２ｃ 領域コントローラ
７２ｄ ロボットコントローラ（制御部）
７３ 認識部（検出部）
７４ 設定部
７５ 追従部
Ｒ１ 領域
Ｒ２ 作業領域
Ｗ 基板

Claims (12)

1. 搬送室内に設けられ、基板を搬送する搬送ロボットと、
   前記搬送室内に設けられ、前記搬送ロボットを移動させる移動機構と、
   前記搬送室内の人の位置を検出する検出部と、
   前記検出部により検出された前記人の位置を含む領域を設定する設定部と、
   前記設定部により設定された前記領域を前記人の移動に応じて移動させる追従部と、
   前記追従部により移動する前記領域を前記搬送ロボットが避けて前記基板を搬送するように前記搬送ロボット及び前記移動機構を制御する制御部と、
   を備える基板処理装置。
2. 前記制御部は、前記搬送ロボットの動作範囲を認識し、認識した前記搬送ロボットの動作範囲を、前記追従部により移動する前記領域に接触させないように変化させ、変化させた前記搬送ロボットの動作範囲内で前記搬送ロボットが前記基板を搬送するように前記搬送ロボット及び前記移動機構を制御する請求項１に記載の基板処理装置。
3. 前記設定部は、前記人が作業を行うための作業領域を設定し、
   前記制御部は、前記搬送ロボットが、前記設定部により設定された前記作業領域を避けて前記基板を搬送するように前記搬送ロボット及び前記移動機構を制御する請求項１又は請求項２に記載の基板処理装置。
4. 前記人が作業する領域を特定できる情報を入力可能な入力部をさらに備え、
   前記設定部は、前記入力部により入力された前記情報に基づき、前記人が作業を行うための作業領域と、前記人が前記搬送室内において前記作業領域まで移動するための移動領域とを設定し、
   前記制御部は、前記搬送ロボットが、前記設定部により設定された前記作業領域と、前記移動領域とを避けて前記基板を搬送するように前記搬送ロボット及び前記移動機構を制御する請求項１又は請求項２に記載の基板処理装置。
5. 前記検出部は、前記搬送室内の前記搬送ロボットを検出し、
   前記制御部は、前記検出部により検出された前記搬送ロボットと前記検出部により検出された前記人との離間距離を求め、求めた前記離間距離に基づいて前記搬送ロボットの移動速度を変える請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の基板処理装置。
6. 前記検出部により前記人が検出された場合、運転モードを通常運転モードから作業モードに切り替える切替部を備え、
   前記制御部は、前記運転モードが前記作業モードである場合にのみ、前記追従部により移動する前記領域を前記搬送ロボットが避けて前記基板を搬送するように前記搬送ロボット及び前記移動機構を制御する請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の基板処理装置。
7. 基板を搬送する搬送ロボット及び前記搬送ロボットを移動させる移動機構が設けられた搬送室内の人の位置を検出部により検出する工程と、
   前記検出部により検出された前記人の位置を含む領域を設定部により設定する工程と、
   前記設定部により設定された前記領域を前記人の移動に応じて追従部により移動させる工程と、
   前記追従部により移動する前記領域を前記搬送ロボットが避けて前記基板を搬送するように前記搬送ロボット及び前記移動機構を制御部により制御する工程と、
   を有する基板処理方法。
8. 前記制御部は、前記搬送ロボットの動作範囲を認識し、認識した前記搬送ロボットの動作範囲を、前記追従部により移動する前記領域に接触させないように変化させ、変化させた前記搬送ロボットの動作範囲内で前記搬送ロボットが前記基板を搬送するように前記搬送ロボット及び前記移動機構を制御する請求項７に記載の基板処理方法。
9. 前記設定部は、前記人が作業を行うための作業領域を設定し、
   前記制御部は、前記搬送ロボットが、前記設定部により設定された前記作業領域を避けて前記基板を搬送するように前記搬送ロボット及び前記移動機構を制御する請求項７又は請求項８に記載の基板処理方法。
10. 前記人が作業する領域を特定できる情報を入力する入力工程をさらに備え、
    前記設定部は、前記入力工程において入力された前記情報に基づき、前記人が作業を行うための作業領域と、前記人が前記搬送室内において前記作業領域まで移動するための移動領域とを設定し、
    前記制御部は、前記搬送ロボットが、前記設定部により設定された前記作業領域と、前記移動領域とを避けて前記基板を搬送するように前記搬送ロボット及び前記移動機構を制御する請求項７又は請求項８に記載の基板処理方法。
11. 前記検出部は、前記搬送室内の前記搬送ロボットを検出し、
    前記制御部は、前記検出部により検出された前記搬送ロボットと前記検出部により検出された前記人との離間距離を求め、求めた前記離間距離に基づいて前記搬送ロボットの移動速度を変える請求項７から請求項１０のいずれか一項に記載の基板処理方法。
12. 前記検出部により前記人が検出された場合、運転モードを通常運転モードから作業モードに切り替える工程を有し、
    前記制御部は、前記運転モードが前記作業モードである場合にのみ、前記追従部により移動する前記領域を前記搬送ロボットが避けて前記基板を搬送するように前記搬送ロボット及び前記移動機構を制御する請求項７から請求項１１のいずれか一項に記載の基板処理方法。

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