JPWO2007135888A1 - 静電アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
Description
前記移動方向に対して直交する方向を幅方向としたときに、前記固定側電極および前記可動側電極は、それぞれ前記幅方向へ向けて線状パターンまたは帯状パターンで形成され、前記固定側電極と前記可動側電極は、共にその少なくとも一部に波形状または山谷形状の変形パターン部を有しており、
前記固定側電極と前記可動側電極とが、同一のパターン形状で形成されていることを特徴とするものである。
前記固定側電極が、前記固定子側の中心線に対して線対称形状であり、前記可動側電極が、前記可動子側の中心線に対して線対称に形成されているものが好ましい。
20,20A 固定子
21,31 ベース層
22,32 保護層
23,33 電極層
23u,23v,23w 固定側電極
25u,25v,25w 引き出し線
26u,26v,26w 接続電極
27 スルーホール
30,30A 可動子
33u,33v,33w 可動側電極
35u,35v,35w 引き出し線
36u,36v,36w 接続電極
37 スルーホール
40 潤滑剤
fx 復帰力
Pa,P0,P1,P2,P3,P4 変形パターン部のX方向のピッチ寸法
L 電極の幅方向のピッチ間隔
Oa 固定子の移動中心線
Ob 可動子の移動中心線
U,V,W 駆動信号
前記移動方向に対して直交する方向を幅方向としたときに、前記固定側電極および前記可動側電極は、それぞれ前記幅方向へ向けて線状パターンまたは帯状パターンで形成され、前記固定側電極と前記可動側電極は、共にその少なくとも一部に波形状または山谷形状の変形パターン部を有しており、
前記固定側電極と前記可動側電極には、前記変形パターン部が幅方向に向けて複数箇所設けられており、前記幅方向で隣り合う前記変形パターン部のピッチ寸法は、前記固定子側の中心線および前記可動子側の中心線から離れた箇所が、それよりも前記中心線に近い箇所に比べて広く形成されており、
前記固定側電極と前記可動側電極とが、同一のパターン形状で形成されていることを特徴とするものである。
Claims (6)
- 複数の固定側電極が形成された固定子と、複数の可動側電極が形成された可動子と、前記固定側電極と前記可動側電極との間に所定の駆動信号を与える駆動信号生成部とを有し、前記可動子が前記固定子に対して対向配置された状態で所定の移動方向に移動させられる静電アクチュエータであって、
前記移動方向に対して直交する方向を幅方向としたときに、前記固定側電極および前記可動側電極は、それぞれ前記幅方向へ向けて線状パターンまたは帯状パターンで形成され、前記固定側電極と前記可動側電極は、共にその少なくとも一部に波形状または山谷形状の変形パターン部を有しており、
前記固定側電極と前記可動側電極とが、同一のパターン形状で形成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。 - 前記固定子の幅方向の中心を通って前記移動方向に延びる仮想的な直線を固定子側の中心線とし、同じく前記可動子の幅方向の中心を通って前記移動方向に延びる仮想的な直線を可動子側の中心線としたときに、
前記固定側電極が、前記固定子側の中心線に対して線対称形状であり、前記可動側電極が、前記可動子側の中心線に対して線対称に形成されている請求項1記載の静電アクチュエータ。 - 前記固定側電極と前記可動側電極は、共に、移動方向に向けて隣り合う電極どうしが同一のパターン形状で形成されている請求項1または2記載の静電アクチュエータ。
- 前記固定側電極と前記可動側電極には、前記変形パターン部が幅方向に向けて複数箇所設けられており、前記幅方向で隣り合う前記変形パターン部のピッチ寸法は、前記固定子側の中心線および前記可動子側の中心線から離れた箇所が、それよりも前記中心線に近い箇所に比べて広く形成されている請求項1ないし3のいずれかに記載の静電アクチュエータ。
- 少なくとも前記可動子が、薄いシート状に形成されている請求項1ないし4のいずれかに記載の静電アクチュエータ。
- 前記駆動信号生成部から、前記固定側電極と前記可動側電極との間に、三相交流状の駆動信号が与えられる請求項1ないし5のいずれかに記載の静電アクチュエータ。
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JP3729288B2 (ja) * | 1996-02-23 | 2005-12-21 | 財団法人神奈川科学技術アカデミー | 静電アクチュエータ |
JP2000358385A (ja) * | 1999-06-14 | 2000-12-26 | Canon Inc | 静電アクチュエータ駆動方法、静電アクチュエータ駆動機構、および静電アクチュエータ |
KR100464312B1 (ko) * | 1999-10-21 | 2004-12-31 | 삼성전자주식회사 | 최적 형상의 판 전극을 갖는 회전 구동 마이크로액츄에이터 |
JP3437520B2 (ja) * | 2000-03-01 | 2003-08-18 | キヤノン株式会社 | 静電アクチュエータ駆動機構、静電アクチュエータ駆動方法、及びこれらによる静電アクチュエータ、回転ステージ、ポリゴンミラー |
JP2003309666A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Matsushita Electric Works Ltd | 緊急通報システム |
JP3805713B2 (ja) * | 2002-04-24 | 2006-08-09 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 静電浮上モータ |
JP4145181B2 (ja) * | 2003-03-28 | 2008-09-03 | オリンパス株式会社 | 静電アクチュエータおよび変位方法 |
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JP2005107399A (ja) * | 2003-10-01 | 2005-04-21 | Olympus Corp | ミラー装置 |
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JP4146813B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2008-09-10 | ファナック株式会社 | 静電モータ |
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