JPH04172973A - 駆動装置の電極形状 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、静電気力を利用して高抵抗体を動かす駆動装
置の電極形状に関する。

〔従来の技術〕

従来の静電気力を利用して高抵抗体を動かす駆動装置の
電極形状は、第２図に示すように直線形電極５が並行に
並んでいるものが主であった。

この電極を用いた駆動方法について第５図に示す。下部
の固定子は、絶縁体６の中に直線形電極５を形成してい
る。上部の移動対象物７は、高抵抗体である。移動対象
物７は、固定子の上に接触した状態で置（。まず、第６
図（ａ）の様に電極に高電圧を印加すると、平衡状態に
なるまで移動対象物７に電流が流れ、移動対象物７と絶
縁体６の境界に電荷が誘導される。この電荷は、第３図
（ｂ）に示すような、境界面に対する電荷の鏡像の位置
に置いた仮想的な電荷で置き換えることができる。この
充電操作の恢に印加電圧を第５図（Ｃ）のように切り替
えると、電極内の電荷は瞬時に移動するが、移動対象物
７に誘導された電荷は、抵抗が高いためすぐには移動で
きない。配線Ｂ５の電極が誘導した移動対象物７の電荷
とその下の配線Ｃ４の電極の電荷は同符号になるため、
移動対象物７を浮上させる方向の反発力が発生し、もう
１つの配線Ａ２の電極の電荷により、横方向の駆動力が
発生する。反発力により固定子・移動対象物の間の摩擦
が減少し、駆動力により移動対象物７は、第５図（ｄ）
のように電極１ピッチ程度移動する。この充電と移動の
２つのパターンの電圧を、！極を１つずつずらしながら
印加することにより、移動対象物７を続けて動かしてい
（ことができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、前述の従来の技術では移動対象物の移動の方向
性が悪いという問題点を有する。

第５図（ａ）の様に電極上に移動対象物を置いて電荷を
かけると、第５図（ｂ＞の斜線部分に電荷が誘導される
。第５図（ｃ）は、電極に対して移動対象物の進む方向
と垂直上側に、又第５図（ｄ）は垂直下側にずれたとき
のモデルを示す。いま電極と移動対象物の電荷のパター
ンが同極性であり、引き合う方向に力がかかっていると
すると移動対象物が移動方向と垂直にずれても電極と移
動対象物の電荷のパターンは常に一致した状態となるた
め垂直方向への拘束力は無く移動の方向性が悪（なる。

そこで本発明はこのような問題点を解決するものでその
目的とするとごろは移動対象物の移動の方向性をよくす
ることを提供するところにある。

〔課題を解決するための手段〕 本発明の駆動装置の電極形状は、くの字形をしているこ
とを特徴とする。

〔実施例〕

第１図（α）及び第１図（ｌは、本発明の実施例におけ
る静電気力を利用して高抵抗体を動かす駆動装置の電極
形状を示す図である。

この電極を用いた駆動方法は、従来例で示した方法と同
様である。くの字形を槙１に高電圧を印加すると、平衡
状態になるまで高抵抗体である移動対象物７に電流が流
れ、移動対象物７と絶縁体６の境界に電荷が誘導される
。この充電操作の後に印加電圧を切シ替えると、電極内
の電荷は瞬時に移動するが、移動対象物７に誘導された
電荷は、抵抗が高いためすぐには移動できない。移動対
象物７の電荷とその下の電極の極性が同符号のときには
、移動子を浮上させる方向の反発力が発生し、異符号の
ときには引き寄せる力が発生する。

いま移動対象物７の電荷と真下の電極の極性が同符号で
さらに、その隣の電極の極性が異符号であるとき移動対
象物は隣の電極に引き寄せられ移動する。この充電と移
動の２つのパターンの電圧を、電極を１つずつずらしな
がら印加することにより、移動対象物７を続けて動かす
ことができる。

第４図（ｃＬ）に示す様に電極上に移動対象物７を置い
て電荷をかけると第４図（ｂ）に示す様に移動対象物７
の斜線で示す部分に電荷が誘導される。第４図（ｃ）は
移動対象物７に対して移動する方向と垂直上側に移動対
象物７がずれた“と゛きのモデルを示す図である。いま
電極と移動対象物７の電荷のパターンが同極性であり引
き合う方向に力がかかるとすると垂直方向下側に移動対
象物７が引き寄せられ電極パターンと移動対象物７の電
荷が誘導された部分８のパターンが一致する状態で安定
する。逆に第４図（ｄ）は、移動対象物７が移動方向と
垂直下側にずれたときのモデルを示す図である。この場
合も同様に電極パターンと移動対象物７の電荷が誘導さ
れた部分８のパターンが一致するような力がかがり一致
した状態で安定する。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明によれば、静電気力を利用して
絶縁体を動かす駆動装置の電極形状を（の字形にするこ
とにより移動の方向性を良（でき安定した移動をさせる
ことができるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の静電気力を利用した駆動装置の電極
形状を示す図。 第２図は、従来の静電気力を利用した駆動装置の電極形
状を示す図。 第３図は、駆動装置の駆動方法を示す図。 第４図は、本発明の電極による位置出し方法を示す図。 第５図は、従来の電極による位置ずれを示す図１・・・
・・・・・・くの字形電極 ２・・・・・・・・・配線Ａ ５・・・・・・・・・配線Ｂ ４・・・・・・・・・配線Ｃ ５・・・・・・・・・直線形電極 ６・・・・・・・・・絶縁体 ７・・・・・・・・・移動対象物 ８・・・・・・・・・電荷が誘導された部分以上 出願人　セイコーエプソン株式会社 代理人　弁理士　鈴木喜三部（他１名）・　　３虻吃ノ 第　／　）払　　＼・配穀Ｃ ８２已　＼゛３ ゝ今 ７→動４Ｌ物 ８３　図 メ　４　已

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 静電気力を利用して高抵抗体を動かす駆動装置において
   電極形状がくの字形であることを特徴とする駆動装置の
   電極形状。