JPH06339285A - 静電アクチュエータ - Google Patents
静電アクチュエータInfo
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- JPH06339285A JPH06339285A JP5123724A JP12372493A JPH06339285A JP H06339285 A JPH06339285 A JP H06339285A JP 5123724 A JP5123724 A JP 5123724A JP 12372493 A JP12372493 A JP 12372493A JP H06339285 A JPH06339285 A JP H06339285A
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- insulator
- electrode
- electrodes
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 移動体の搬送の方向性を良くした静電アクチ
ュエータを得ること。 【構成】 方形の絶縁体２と、絶縁体２中に設けられた
複数の電極１１とからなり、上記電極１１はその形状を
周期三角波形にしたから、移動体中心と電極中心とのズ
レが所定値以下であれば、移動体６の移動方向と直角な
方向への拘束力を発生させるため、移動体６に斜行など
が発生せず安定した搬送が行なえる。
ュエータを得ること。 【構成】 方形の絶縁体２と、絶縁体２中に設けられた
複数の電極１１とからなり、上記電極１１はその形状を
周期三角波形にしたから、移動体中心と電極中心とのズ
レが所定値以下であれば、移動体６の移動方向と直角な
方向への拘束力を発生させるため、移動体６に斜行など
が発生せず安定した搬送が行なえる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、静電気力を利用して
高抵抗体を動かす静電アクチュエータに関するものであ
る。
高抵抗体を動かす静電アクチュエータに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図６は例えば特開平４ー１７２９７３号
公報に示された従来の静電アクチュエータの駆動方法を
示す図、図７は同静電アクチュエータを示す平面図であ
る。図において、１は方形の絶縁体２の中に等間隔で平
行に設けられた直線形の電極、３は電極１に接続された
配線Ａ、４は電極１に接続された配線Ｂ、５は電極１に
接続された配線Ｃ、６は高抵抗体の移動体である。
公報に示された従来の静電アクチュエータの駆動方法を
示す図、図７は同静電アクチュエータを示す平面図であ
る。図において、１は方形の絶縁体２の中に等間隔で平
行に設けられた直線形の電極、３は電極１に接続された
配線Ａ、４は電極１に接続された配線Ｂ、５は電極１に
接続された配線Ｃ、６は高抵抗体の移動体である。
【０００３】次に、従来例の動作について説明する。移
動体６を絶縁体２の上に載置し、図６の（１）のように
各電極１に配線Ａ、配線Ｂ、配線Ｃより高電圧を印加す
ると、平衡状態になるまで移動体６に電流が流れ、移動
体６の表面に電荷が誘導される。この電荷は、図６の
（２）に示すように上記印加電圧の正（＋）負（−）と
は逆極性で帯電し、移動体６は絶縁体２の表面に吸い付
く状態になる。この後に配線Ａ、配線Ｂ、配線Ｃの印加
電圧を図６の（３）のように切り替えると、電極１内の
電荷は瞬時に移動するが、移動体６に帯電した電荷は、
抵抗が高いためすぐには移動できない。従って、配線Ｂ
４と配線Ｃ５に接続された電極１と、これに対向する位
置の移動体６の電荷は同極性になるため、移動体６を浮
上させる反発力が発生する。これとともに、配線Ａ３の
電極１の電荷により横方向に搬送力が発生する。上記反
発力により、移動体６と絶縁体２との間の摩擦が減少
し，搬送力により移動体６は図６の（４）に示すように
電極１のピッチ分程度移動する。このように印加電圧を
切替えていくことで移動体６を連続して搬送できる。
動体６を絶縁体２の上に載置し、図６の（１）のように
各電極１に配線Ａ、配線Ｂ、配線Ｃより高電圧を印加す
ると、平衡状態になるまで移動体６に電流が流れ、移動
体６の表面に電荷が誘導される。この電荷は、図６の
（２）に示すように上記印加電圧の正（＋）負（−）と
は逆極性で帯電し、移動体６は絶縁体２の表面に吸い付
く状態になる。この後に配線Ａ、配線Ｂ、配線Ｃの印加
電圧を図６の（３）のように切り替えると、電極１内の
電荷は瞬時に移動するが、移動体６に帯電した電荷は、
抵抗が高いためすぐには移動できない。従って、配線Ｂ
４と配線Ｃ５に接続された電極１と、これに対向する位
置の移動体６の電荷は同極性になるため、移動体６を浮
上させる反発力が発生する。これとともに、配線Ａ３の
電極１の電荷により横方向に搬送力が発生する。上記反
発力により、移動体６と絶縁体２との間の摩擦が減少
し，搬送力により移動体６は図６の（４）に示すように
電極１のピッチ分程度移動する。このように印加電圧を
切替えていくことで移動体６を連続して搬送できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の静電アクチュエ
ータは以上にように構成されており、絶縁体２の中に直
線形の電極１が移動体６の搬送方向に等間隔で平行に設
けられているため、搬送方向と直角な方向への拘束力が
なく、さらに移動体の表面状態のバラツキなどのわずか
な外乱で移動体６と絶縁体２との密着性が変化して移動
体６の斜行などが発生し、移動体６の搬送が不安定にな
るという問題点があった。
ータは以上にように構成されており、絶縁体２の中に直
線形の電極１が移動体６の搬送方向に等間隔で平行に設
けられているため、搬送方向と直角な方向への拘束力が
なく、さらに移動体の表面状態のバラツキなどのわずか
な外乱で移動体６と絶縁体２との密着性が変化して移動
体６の斜行などが発生し、移動体６の搬送が不安定にな
るという問題点があった。
【０００５】なお、従来技術として、上記問題点を解決
するために、図８に示すように電極７をくの字形に形成
することで、搬送方向と直角な方向への拘束力を持たせ
ようとしたものが考えられている。しかし、このように
電極７をくの字形に形成した場合には、図９に示すよう
に移動体６の中心線が、くの字形の電極７の中心線と一
致しない状態でセットした場合には、搬送力の分力とし
て発生する搬送方向に直角な方向の力の総和が左右どち
らかに片寄ってしまうため、積極的に移動体６の斜行が
発生してしまうという問題があった。
するために、図８に示すように電極７をくの字形に形成
することで、搬送方向と直角な方向への拘束力を持たせ
ようとしたものが考えられている。しかし、このように
電極７をくの字形に形成した場合には、図９に示すよう
に移動体６の中心線が、くの字形の電極７の中心線と一
致しない状態でセットした場合には、搬送力の分力とし
て発生する搬送方向に直角な方向の力の総和が左右どち
らかに片寄ってしまうため、積極的に移動体６の斜行が
発生してしまうという問題があった。
【０００６】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、移動体の搬送の方向性を良くし
た静電アクチュエータを得ることを目的とする。
ためになされたもので、移動体の搬送の方向性を良くし
た静電アクチュエータを得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この第１の発明に係る静
電アクチュエータは、電極を周期三角波形に形成したも
のである。
電アクチュエータは、電極を周期三角波形に形成したも
のである。
【０００８】この第２の発明に係る静電アクチュエータ
は、電極が移動体の搬送方向に等間隔で平行に配列され
た直線形の主電極と、隣接する主電極の両端部の相互間
に設けられた複数の直線形の副電極とからなるものであ
る。
は、電極が移動体の搬送方向に等間隔で平行に配列され
た直線形の主電極と、隣接する主電極の両端部の相互間
に設けられた複数の直線形の副電極とからなるものであ
る。
【０００９】この第３の発明に係る静電アクチュエータ
は、電極の幅が移動体の搬送方向と直角な方向の両端側
にいくほど次第に幅広になるものである。
は、電極の幅が移動体の搬送方向と直角な方向の両端側
にいくほど次第に幅広になるものである。
【００１０】この第４の発明に係る静電アクチュエータ
は、電極が移動体の搬送方向に等間隔で平行に配列さ
れ、絶縁体の中央部に位置する直線形の横電極と、移動
体の搬送方向と直角方向に等間隔で平行に配列され、絶
縁体の両端部に位置する直線形の横電極とからなるもの
である。
は、電極が移動体の搬送方向に等間隔で平行に配列さ
れ、絶縁体の中央部に位置する直線形の横電極と、移動
体の搬送方向と直角方向に等間隔で平行に配列され、絶
縁体の両端部に位置する直線形の横電極とからなるもの
である。
【００１１】また、この第５の発明に係る静電アクチュ
エータは、電極が移動体の搬送方向に等間隔で平行に配
列され、中央部が直線形で、両端部がそれぞれ同方向に
折曲して形成されているものである。
エータは、電極が移動体の搬送方向に等間隔で平行に配
列され、中央部が直線形で、両端部がそれぞれ同方向に
折曲して形成されているものである。
【００１２】
【作用】第１の発明における電極は周期三角波形に形成
されているから、移動体中心と電極中心とのズレが所定
値以下であれば、移動体の移動方向と直角な方向への拘
束力を発生させるため、移動体に斜行などが発生せず、
移動体の安定した搬送が行なえる。
されているから、移動体中心と電極中心とのズレが所定
値以下であれば、移動体の移動方向と直角な方向への拘
束力を発生させるため、移動体に斜行などが発生せず、
移動体の安定した搬送が行なえる。
【００１３】第２の発明における電極は、電極が移動体
の搬送方向に等間隔で平行に配列された直線形の主電極
と、隣接する主電極の両端部の相互間に設けられた複数
の直線形の副電極とからなり、主電極の両端部のピッチ
が副電極が設けられていることによって実質的に密にな
っているから、移動体の両サイドほど強い力を受けるた
め、移動体は外乱により生ずる回転力に対して大きな拘
束力を有し、移動体に斜行などが発生せず、移動体の安
定した搬送が行なえる。
の搬送方向に等間隔で平行に配列された直線形の主電極
と、隣接する主電極の両端部の相互間に設けられた複数
の直線形の副電極とからなり、主電極の両端部のピッチ
が副電極が設けられていることによって実質的に密にな
っているから、移動体の両サイドほど強い力を受けるた
め、移動体は外乱により生ずる回転力に対して大きな拘
束力を有し、移動体に斜行などが発生せず、移動体の安
定した搬送が行なえる。
【００１４】第３の発明における電極は、その幅が移動
体の搬送方向と直角な方向の両端側にいくほど次第に幅
広になっているから、移動体の両サイドほど強い力を受
けるため、移動体は外乱により生ずる回転力に対して大
きな拘束力を有し、移動体に斜行などが発生せず、移動
体の安定した搬送が行なえる。
体の搬送方向と直角な方向の両端側にいくほど次第に幅
広になっているから、移動体の両サイドほど強い力を受
けるため、移動体は外乱により生ずる回転力に対して大
きな拘束力を有し、移動体に斜行などが発生せず、移動
体の安定した搬送が行なえる。
【００１５】第４の発明における電極は、移動体の搬送
方向に等間隔で平行に配列され、絶縁体の中央部に位置
する直線形の横電極と、移動体の搬送方向と直角方向に
等間隔で平行に配列され、絶縁体の両端部に位置する直
線形の縦電極とからなり、絶縁体の両端部に縦電極が設
けられているから、絶縁体の両端部では移動体を外側に
引張る力を発生させて移動体と電極との密着性が良くな
り、外乱により生ずる回転力に対する拘束力を有し、移
動体に斜行などが発生せず、移動体の安定した搬送が行
なえる。
方向に等間隔で平行に配列され、絶縁体の中央部に位置
する直線形の横電極と、移動体の搬送方向と直角方向に
等間隔で平行に配列され、絶縁体の両端部に位置する直
線形の縦電極とからなり、絶縁体の両端部に縦電極が設
けられているから、絶縁体の両端部では移動体を外側に
引張る力を発生させて移動体と電極との密着性が良くな
り、外乱により生ずる回転力に対する拘束力を有し、移
動体に斜行などが発生せず、移動体の安定した搬送が行
なえる。
【００１６】第５の発明における電極は、移動体の搬送
方向に等間隔で平行に配列され、中央部が直線形で、両
端部がそれぞれ同方向に折れ曲がって形成されているか
ら、移動体の搬送方向と直角な方向に対して拘束力を発
生させるとともに、移動体を外側に引張る力を発生させ
ることにより、移動体と電極との密着性が良くなり、外
乱により生ずる回転力に対する拘束力を増し、移動体に
斜行などが発生せず、移動体の安定した搬送が行なえ
る。
方向に等間隔で平行に配列され、中央部が直線形で、両
端部がそれぞれ同方向に折れ曲がって形成されているか
ら、移動体の搬送方向と直角な方向に対して拘束力を発
生させるとともに、移動体を外側に引張る力を発生させ
ることにより、移動体と電極との密着性が良くなり、外
乱により生ずる回転力に対する拘束力を増し、移動体に
斜行などが発生せず、移動体の安定した搬送が行なえ
る。
【００１７】
実施例１．図１はこの発明の第１実施例を示す平面図で
ある。図１において、２と６は上記従来例と同一のもの
であり、その構成の説明を省略する。１１は絶縁体２の
中に移動体６の搬送方向に等間隔で平行に配列された周
期三角波形の電極である。L1は電極１１の左側の折曲点
と移動体６の左側端との距離、L2は電極１１の左側の折
曲点と右側の折曲点との距離、L3は電極１１の右側の折
曲点と移動体６の右側端との距離を示す。
ある。図１において、２と６は上記従来例と同一のもの
であり、その構成の説明を省略する。１１は絶縁体２の
中に移動体６の搬送方向に等間隔で平行に配列された周
期三角波形の電極である。L1は電極１１の左側の折曲点
と移動体６の左側端との距離、L2は電極１１の左側の折
曲点と右側の折曲点との距離、L3は電極１１の右側の折
曲点と移動体６の右側端との距離を示す。
【００１８】次に、上記実施例の動作について説明す
る。周期三角形の電極１１に図６（１）に示すような高
電圧を印加する（配線Ａ３には０Ｖ，配線Ｂ４には−
Ｖ，配線Ｃ５には＋Ｖ）。上記従来例でも説明したよう
に、移動体６に電荷が誘導され帯電し（図６の
（２））、絶縁体２に吸付き、ここで図６の（３）に示
すように配線Ａ〜Ｃの印加電圧を切替る（配線Ａ３には
−Ｖ，配線Ｂ４には＋Ｖ，配線Ｃ５には−Ｖ）。よっ
て、移動体６とこれに対向する電極１１は反発し、移動
体６は浮上すると同時に、隣接する電極１１の電荷によ
り引かれるような搬送力を受け、約電極１ピッチ分移動
する。このようにして電極１１への印加電圧を順次切替
えていけば、移動体６は連続して搬送できる。
る。周期三角形の電極１１に図６（１）に示すような高
電圧を印加する（配線Ａ３には０Ｖ，配線Ｂ４には−
Ｖ，配線Ｃ５には＋Ｖ）。上記従来例でも説明したよう
に、移動体６に電荷が誘導され帯電し（図６の
（２））、絶縁体２に吸付き、ここで図６の（３）に示
すように配線Ａ〜Ｃの印加電圧を切替る（配線Ａ３には
−Ｖ，配線Ｂ４には＋Ｖ，配線Ｃ５には−Ｖ）。よっ
て、移動体６とこれに対向する電極１１は反発し、移動
体６は浮上すると同時に、隣接する電極１１の電荷によ
り引かれるような搬送力を受け、約電極１ピッチ分移動
する。このようにして電極１１への印加電圧を順次切替
えていけば、移動体６は連続して搬送できる。
【００１９】この実施例では、電極１１を周期三角波形
に形成しているので、従来のくの字形の電極７と同様、
移動方向と直角な方向の拘束力が発生するので、移動体
６を斜行させることなく搬送できるものである。
に形成しているので、従来のくの字形の電極７と同様、
移動方向と直角な方向の拘束力が発生するので、移動体
６を斜行させることなく搬送できるものである。
【００２０】さらに、移動体６の中心が電極１１の中心
とズレてセッされても、L2=L1 ＋L2の関係が成立する範
囲であれば、搬送方向と直角な方向の力は左右均等にな
り移動体６が斜行することはない。
とズレてセッされても、L2=L1 ＋L2の関係が成立する範
囲であれば、搬送方向と直角な方向の力は左右均等にな
り移動体６が斜行することはない。
【００２１】実施例２．図２はこの発明の第２実施例を
示す平面図である。図２において、２と６は上記従来例
と同一のものであり、その構成の説明を省略する。２１
は絶縁体２の中に移動体６の搬送方向に等間隔で平行に
配列された直線形の主電極である。２２は互いに隣接す
る直線形の主電極２１の両端部の相互間にそれぞれ設け
られた２つの直線形の副電極である。かかる副電極２２
によって主電極２１の両端部のピッチが実質的に密に形
成されることとなる。
示す平面図である。図２において、２と６は上記従来例
と同一のものであり、その構成の説明を省略する。２１
は絶縁体２の中に移動体６の搬送方向に等間隔で平行に
配列された直線形の主電極である。２２は互いに隣接す
る直線形の主電極２１の両端部の相互間にそれぞれ設け
られた２つの直線形の副電極である。かかる副電極２２
によって主電極２１の両端部のピッチが実質的に密に形
成されることとなる。
【００２２】次に、上記実施例の動作について説明す
る。上記実施例１で説明したように、図６の（１）〜
（４）の順序で電圧を切替えて印加することにより、移
動体６の搬送が行えるものである。この実施例では、隣
接する直線形の主電極２１の両端部の相互間に直線形の
副電極２２が設けられ、直線形の主電極２１の両端部に
おけるピッチが副電極２２の存在によって実質的に密に
なっているので、移動体６はその両端部で強い力を受け
ることになる。よって、外乱で移動体６の位置をずらそ
うとしても、移動体６はその両サイドを電荷の力により
確実に拘束されているので、回転ズレなどが発生せず、
移動体６の安定した搬送が可能なものである。
る。上記実施例１で説明したように、図６の（１）〜
（４）の順序で電圧を切替えて印加することにより、移
動体６の搬送が行えるものである。この実施例では、隣
接する直線形の主電極２１の両端部の相互間に直線形の
副電極２２が設けられ、直線形の主電極２１の両端部に
おけるピッチが副電極２２の存在によって実質的に密に
なっているので、移動体６はその両端部で強い力を受け
ることになる。よって、外乱で移動体６の位置をずらそ
うとしても、移動体６はその両サイドを電荷の力により
確実に拘束されているので、回転ズレなどが発生せず、
移動体６の安定した搬送が可能なものである。
【００２３】実施例３．図３はこの発明の第３実施例を
示す平面図である。図３において、２と６は上記従来例
と同一のものであり、その構成の説明を省略する。３１
は絶縁体２の中に移動体６の搬送方向に等間隔で平行に
配列されたくの字状の電極であり、その幅は中心部から
両端部にいくほど次第に幅広となるように形成されてい
る。
示す平面図である。図３において、２と６は上記従来例
と同一のものであり、その構成の説明を省略する。３１
は絶縁体２の中に移動体６の搬送方向に等間隔で平行に
配列されたくの字状の電極であり、その幅は中心部から
両端部にいくほど次第に幅広となるように形成されてい
る。
【００２４】次に上記実施例の動作について説明する。
上記実施例１で説明したように、図６の（１）〜（４）
の順序で電圧を切替えて印加することにより、移動体６
の搬送が行なえるものである。この実施例では電極３１
をくの字形とするとともに、その幅を中心部から両端部
にいくほ次第に幅広となるように形成しているので、移
動体６はその両端部にいくほど強い力を受けることにな
る。よって、外乱で移動体６の位置をずらそうとして
も、移動体６はその両端部ほど電荷の力で確実に拘束さ
れているので、回転ズレなどが発生せず、移動体６の安
定した搬送が可能なものである。なお、この実施例では
電極３１をくの字形に形成したが、これに限定されず、
一直線状に形成して、その中心部から両端部にいくほど
電極を幅広に形成してもよい。
上記実施例１で説明したように、図６の（１）〜（４）
の順序で電圧を切替えて印加することにより、移動体６
の搬送が行なえるものである。この実施例では電極３１
をくの字形とするとともに、その幅を中心部から両端部
にいくほ次第に幅広となるように形成しているので、移
動体６はその両端部にいくほど強い力を受けることにな
る。よって、外乱で移動体６の位置をずらそうとして
も、移動体６はその両端部ほど電荷の力で確実に拘束さ
れているので、回転ズレなどが発生せず、移動体６の安
定した搬送が可能なものである。なお、この実施例では
電極３１をくの字形に形成したが、これに限定されず、
一直線状に形成して、その中心部から両端部にいくほど
電極を幅広に形成してもよい。
【００２５】実施例４．図４はこの発明の第４実施例を
示す平面図である。図４において、２と６は上記従来例
と同一のものであり、その構成の説明を省略する。４１
は絶縁体２の中央部にあって移動体６の搬送方向に直角
な方向に形成した直線形の横電極、４２は絶縁体２の左
右両端部にあって搬送方向に延びる直線形の縦電極であ
る。
示す平面図である。図４において、２と６は上記従来例
と同一のものであり、その構成の説明を省略する。４１
は絶縁体２の中央部にあって移動体６の搬送方向に直角
な方向に形成した直線形の横電極、４２は絶縁体２の左
右両端部にあって搬送方向に延びる直線形の縦電極であ
る。
【００２６】次に、上記実施例の動作について説明す
る。横電極４１、縦電極４２とも上記実施例１で説明し
たように、図６の（１）〜（４）の順序で電圧を切替え
て印加することにより、移動体６の搬送が行なえるもの
である。この実施例では、横電極４１は主に移動体６を
搬送方向に移動させる力を発生し、縦電極４２は主に移
動体６を両側に引張る力を発生して、移動体６を絶縁体
２の上に確実に押し広げて密着性を確保している。よっ
て、外乱で移動体６の位置をずらそうとしても、移動体
６は確実に絶縁体２に密着して拘束されているので、回
転ズレなどが発生せず、移動体６の安定した搬送が可能
である。
る。横電極４１、縦電極４２とも上記実施例１で説明し
たように、図６の（１）〜（４）の順序で電圧を切替え
て印加することにより、移動体６の搬送が行なえるもの
である。この実施例では、横電極４１は主に移動体６を
搬送方向に移動させる力を発生し、縦電極４２は主に移
動体６を両側に引張る力を発生して、移動体６を絶縁体
２の上に確実に押し広げて密着性を確保している。よっ
て、外乱で移動体６の位置をずらそうとしても、移動体
６は確実に絶縁体２に密着して拘束されているので、回
転ズレなどが発生せず、移動体６の安定した搬送が可能
である。
【００２７】実施例５．図５はこの発明の第５実施例を
示す平面図である。図５において、２と６は上記従来例
と同一のものであり、その構成の説明を省略する。５１
は絶縁体２中に移動体６の搬送方向に配列され、中央部
が直線形で、両側部が同方向に折曲されて形成されてい
る。
示す平面図である。図５において、２と６は上記従来例
と同一のものであり、その構成の説明を省略する。５１
は絶縁体２中に移動体６の搬送方向に配列され、中央部
が直線形で、両側部が同方向に折曲されて形成されてい
る。
【００２８】次に、上記実施例の動作について説明す
る。上記実施例１で説明したように、図６（１）〜
（４）の順序で電圧を切替えて印加することにより、移
動体６の搬送が行なえるものである。この実施例では、
電極は中央部が直線形で、両側部が同方向に折曲されて
形成されているので、従来のくの字形の電極と同様、移
動方向と直角な方向の拘束力が発生する。さらに、この
電極の同方向に折曲されている両側部には主に移動体６
を外側に引張る方向の力を発生するので、移動体６は絶
縁体２の上に押し広げられ密着性が確保される。よっ
て、外乱で移動体６の位置をずらそうとしても、移動体
６は確実に絶縁体２に密着して拘束されているので、回
転ズレなどが発生せず、移動体６の安定した搬送が可能
である。
る。上記実施例１で説明したように、図６（１）〜
（４）の順序で電圧を切替えて印加することにより、移
動体６の搬送が行なえるものである。この実施例では、
電極は中央部が直線形で、両側部が同方向に折曲されて
形成されているので、従来のくの字形の電極と同様、移
動方向と直角な方向の拘束力が発生する。さらに、この
電極の同方向に折曲されている両側部には主に移動体６
を外側に引張る方向の力を発生するので、移動体６は絶
縁体２の上に押し広げられ密着性が確保される。よっ
て、外乱で移動体６の位置をずらそうとしても、移動体
６は確実に絶縁体２に密着して拘束されているので、回
転ズレなどが発生せず、移動体６の安定した搬送が可能
である。
【００２９】
【発明の効果】以上のように、第１の発明によれば、電
極は、周期三角波形に形成されているので、移動体中心
と電極中心とのズレが所定値以下であれば、移動体の移
動方向と直角な方向への拘束力を発生させるため、移動
体に斜行などが発生せず、移動体の安定した搬送が行な
えるという効果を有する。
極は、周期三角波形に形成されているので、移動体中心
と電極中心とのズレが所定値以下であれば、移動体の移
動方向と直角な方向への拘束力を発生させるため、移動
体に斜行などが発生せず、移動体の安定した搬送が行な
えるという効果を有する。
【００３０】第２の発明における電極は、電極が移動体
の搬送方向に等間隔で平行に配列された直線形の主電極
と、隣接する主電極の両端部の相互間に設けられた複数
の直線形の副電極とからなり、主電極の両端部のピッチ
が副電極が設けられていることによって実質的に密にな
っているので、移動体の両サイドほど強い力を受けるた
め、移動体は外乱により生ずる回転力に対して大きな拘
束力を有し、移動体に斜行などが発生せず、移動体の安
定した搬送が行なえるという効果を有する。
の搬送方向に等間隔で平行に配列された直線形の主電極
と、隣接する主電極の両端部の相互間に設けられた複数
の直線形の副電極とからなり、主電極の両端部のピッチ
が副電極が設けられていることによって実質的に密にな
っているので、移動体の両サイドほど強い力を受けるた
め、移動体は外乱により生ずる回転力に対して大きな拘
束力を有し、移動体に斜行などが発生せず、移動体の安
定した搬送が行なえるという効果を有する。
【００３１】第３の発明における電極は、その幅が移動
体の搬送方向と直角な方向の両端側にいくほど次第に幅
広になっているので、移動体の両サイドほど強い力を受
けるため、移動体は外乱により生ずる回転力に対して大
きな拘束力を有し、移動体に斜行などが発生せず、移動
体の安定した搬送が行なえるという効果を有する。
体の搬送方向と直角な方向の両端側にいくほど次第に幅
広になっているので、移動体の両サイドほど強い力を受
けるため、移動体は外乱により生ずる回転力に対して大
きな拘束力を有し、移動体に斜行などが発生せず、移動
体の安定した搬送が行なえるという効果を有する。
【００３２】第４の発明における電極は、移動体の搬送
方向に等間隔で平行に配列され、絶縁体の中央部に位置
する直線形の横電極と、移動体の搬送方向と直角方向に
等間隔で平行に配列され、絶縁体の両端部に位置する直
線形の縦電極とからなり、絶縁体の両端部に縦電極が設
けられているので、絶縁体の両端部では移動体を外側に
引張る力を発生させて移動体と電極との密着性が良くな
り、外乱により生ずる回転力に対する拘束力を有し、移
動体に斜行などが発生せず、移動体の安定した搬送が行
なえるという効果を有する。
方向に等間隔で平行に配列され、絶縁体の中央部に位置
する直線形の横電極と、移動体の搬送方向と直角方向に
等間隔で平行に配列され、絶縁体の両端部に位置する直
線形の縦電極とからなり、絶縁体の両端部に縦電極が設
けられているので、絶縁体の両端部では移動体を外側に
引張る力を発生させて移動体と電極との密着性が良くな
り、外乱により生ずる回転力に対する拘束力を有し、移
動体に斜行などが発生せず、移動体の安定した搬送が行
なえるという効果を有する。
【００３３】第５の発明における電極は、移動体の搬送
方向に等間隔で平行に配列され、中央部が直線形で、両
端部がそれぞれ同方向に折れ曲がって形成されているの
で、移動体の搬送方向と直角な方向に対して拘束力を発
生させるとともに、移動体を外側に引張る力を発生させ
るため、移動体と電極との密着性が良くなり、外乱によ
り生ずる回転力に対する拘束力を増し、移動体に斜行な
どが発生せず、移動体の安定した搬送が行なえるという
効果を有する。
方向に等間隔で平行に配列され、中央部が直線形で、両
端部がそれぞれ同方向に折れ曲がって形成されているの
で、移動体の搬送方向と直角な方向に対して拘束力を発
生させるとともに、移動体を外側に引張る力を発生させ
るため、移動体と電極との密着性が良くなり、外乱によ
り生ずる回転力に対する拘束力を増し、移動体に斜行な
どが発生せず、移動体の安定した搬送が行なえるという
効果を有する。
【図１】この発明の第１実施例を示す平面図である。
【図２】この発明の第２実施例を示す平面図である。
【図３】この発明の第３実施例を示す平面図である。
【図４】この発明の第４実施例を示す平面図である。
【図５】この発明の第５実施例を示す平面図である。
【図６】従来の静電アクチュエータの駆動方法を示す図
である。
である。
【図７】従来の静電アクチュエータを示す平面図であ
る。
る。
【図８】従来のもう一つの静電アクチュエータを示す平
面図である。
面図である。
【図９】図８の静電アクチュエータにおいて位置をずら
してセットした状態を示す図である。
してセットした状態を示す図である。
２ 絶縁体 ６ 移動体 １１ 周期三角波形の電極
Claims (5)
- 【請求項１】 方形の絶縁体と、絶縁体中に設けられた
複数の電極とからなる静電気力を利用して高抵抗な移動
体を動かす静電アクチュエータにおいて、 上記電極は周期三角波形に形成したことを特徴とする静
電アクチュエータ。 - 【請求項２】 方形の絶縁体と、絶縁体中に設けられた
複数の電極とからなる静電気力を利用して高抵抗な移動
体を動かす静電アクチュエータにおいて、 上記電極は移動体の搬送方向に等間隔で平行に配列され
た直線形の主電極と、隣接する主電極の両端部の相互間
に設けられた複数の直線形の副電極とからなることを特
徴とする静電アクチュエータ。 - 【請求項３】 方形の絶縁体と、絶縁体中に設けられた
複数の電極とからなる静電気力を利用して高抵抗な移動
体を動かす静電アクチュエータにおいて、 上記電極はその幅が上記移動体の搬送方向と直角な方向
の両端側にいくほど次第に幅広になることを特徴とする
静電アクチュエータ。 - 【請求項４】 方形の絶縁体と、絶縁体中に設けられた
複数の電極とからなる静電気力を利用して高抵抗な移動
体を動かす静電アクチュエータにおいて、 上記電極は、移動体の搬送方向に等間隔で平行に配列さ
れ、絶縁体の中央部に位置する直線形の横電極と、移動
体の搬送方向と直角方向に等間隔で平行に配列され、絶
縁体の両端部に位置する直線形の横電極とからなること
を特徴とする静電アクチュエータ。 - 【請求項５】 方形の絶縁体と、絶縁体中に設けられた
複数の電極とからなる静電気力を利用して高抵抗な移動
体を動かす静電アクチュエータにおいて、 上記電極は移動体の搬送方向に等間隔で平行に配列さ
れ、中央部が直線形で、両端部がそれぞれ同方向に折れ
曲がって形成されていることを特徴とする静電アクチュ
エータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5123724A JPH06339285A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 静電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5123724A JPH06339285A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 静電アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06339285A true JPH06339285A (ja) | 1994-12-06 |
Family
ID=14867797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5123724A Pending JPH06339285A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 静電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06339285A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5869916A (en) * | 1995-05-26 | 1999-02-09 | Asmo Co., Ltd. | Electrostatic actuator with different electrode spacing |
| US6563249B1 (en) * | 1999-10-21 | 2003-05-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Rotary microactuator having optimally curved electrodes |
| WO2007135888A1 (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Alps Electric Co., Ltd. | 静電アクチュエータ |
| JP2007318915A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Dainippon Printing Co Ltd | 静電アクチュエータの電極構造 |
-
1993
- 1993-05-26 JP JP5123724A patent/JPH06339285A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5869916A (en) * | 1995-05-26 | 1999-02-09 | Asmo Co., Ltd. | Electrostatic actuator with different electrode spacing |
| US6563249B1 (en) * | 1999-10-21 | 2003-05-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Rotary microactuator having optimally curved electrodes |
| WO2007135888A1 (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Alps Electric Co., Ltd. | 静電アクチュエータ |
| JP4810571B2 (ja) * | 2006-05-18 | 2011-11-09 | アルプス電気株式会社 | 静電アクチュエータ |
| JP2007318915A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Dainippon Printing Co Ltd | 静電アクチュエータの電極構造 |
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