JPH11225487A - 板状被駆動体の駆動装置 - Google Patents
板状被駆動体の駆動装置Info
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- JPH11225487A JPH11225487A JP10024772A JP2477298A JPH11225487A JP H11225487 A JPH11225487 A JP H11225487A JP 10024772 A JP10024772 A JP 10024772A JP 2477298 A JP2477298 A JP 2477298A JP H11225487 A JPH11225487 A JP H11225487A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 浮上力を得るために空気圧浮上手段や近距離
音波浮上手段を用いるとともに、引き続き、静電力によ
る駆動を行うことにより、駆動力を高めるとともに、シ
ステムのコスト低減と、安定性を図ることができる板状
被駆動体の駆動装置を提供する。 【解決手段】 誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体２
０５を浮上させる、固定部材２０１に設けられる空気圧
浮上手段と、前記固定部材２０１の表面に形成され、前
記板状被駆動体２０５を搬送する搬送用電極２０３とを
備え、前記板状被駆動体２０５を、前記空気圧浮上手段
により浮上させ、前記搬送用電極２０３で静電力により
搬送する。
音波浮上手段を用いるとともに、引き続き、静電力によ
る駆動を行うことにより、駆動力を高めるとともに、シ
ステムのコスト低減と、安定性を図ることができる板状
被駆動体の駆動装置を提供する。 【解決手段】 誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体２
０５を浮上させる、固定部材２０１に設けられる空気圧
浮上手段と、前記固定部材２０１の表面に形成され、前
記板状被駆動体２０５を搬送する搬送用電極２０３とを
備え、前記板状被駆動体２０５を、前記空気圧浮上手段
により浮上させ、前記搬送用電極２０３で静電力により
搬送する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、板状被駆動体の駆
動装置に係り、特に、空気圧浮上手段や近距離音波浮上
手段によって浮上させ、その後、静電力により駆動する
技術に関するものである。
動装置に係り、特に、空気圧浮上手段や近距離音波浮上
手段によって浮上させ、その後、静電力により駆動する
技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この分野の技術としては、本願の
発明者により提案された、例えば、特願平８−２６１７
０８号「誘電体や絶縁体からなる物体の静電浮上搬送装
置」に開示されたものがある。図９は従来の静電浮上搬
送装置のシステム構成図、図１０はその静電浮上搬送装
置の電極配置を示す平面図である。
発明者により提案された、例えば、特願平８−２６１７
０８号「誘電体や絶縁体からなる物体の静電浮上搬送装
置」に開示されたものがある。図９は従来の静電浮上搬
送装置のシステム構成図、図１０はその静電浮上搬送装
置の電極配置を示す平面図である。
【０００３】図９において、１０は被駆動体に静電力に
よる浮上力と搬送力を与えるための固定子、２０は被搬
送体、３１〜３６は被搬送体の浮上位置及び姿勢を検出
するための変位センサ、４０は制御器、５０は浮上用高
電圧アンプ、５１は駆動用高電圧アンプ、６０は高電圧
切換器、６５は駆動信号発生器、７１〜９１は被搬送体
の搬送位置を検出するためのオン・オフ機能を有する近
接センサである。
よる浮上力と搬送力を与えるための固定子、２０は被搬
送体、３１〜３６は被搬送体の浮上位置及び姿勢を検出
するための変位センサ、４０は制御器、５０は浮上用高
電圧アンプ、５１は駆動用高電圧アンプ、６０は高電圧
切換器、６５は駆動信号発生器、７１〜９１は被搬送体
の搬送位置を検出するためのオン・オフ機能を有する近
接センサである。
【０００４】図１０において、被搬送体を非接触に支持
するための浮上用電極１０１ａ〜１２０ａ、１０１ｂ〜
１２０ｂ、１０１ｃ〜１２０ｃ、１０１ｄ〜１２０ｄ、
１２５、１２６と、被搬送体に搬送力を発生させるため
の搬送用電極１３１〜１５４を有する固定子を示す。な
お、図１０において、１６１〜１６６は変位センサ用
穴、１７１〜１９１は近接センサ用穴である。
するための浮上用電極１０１ａ〜１２０ａ、１０１ｂ〜
１２０ｂ、１０１ｃ〜１２０ｃ、１０１ｄ〜１２０ｄ、
１２５、１２６と、被搬送体に搬送力を発生させるため
の搬送用電極１３１〜１５４を有する固定子を示す。な
お、図１０において、１６１〜１６６は変位センサ用
穴、１７１〜１９１は近接センサ用穴である。
【０００５】被搬送体２０の浮上位置及び姿勢は、変位
センサ３１〜３６により検出され、制御器４０に入力さ
れる。制御器４０では、この入力された信号と目標値と
を比較し、被搬送体２０を安定浮上させるための電圧を
作り出し、浮上用高電圧アンプ５０に出力する。搬送用
電極１３１〜１５４に３相電圧を印加して移動電場を生
成させ、この生成された移動電場と、被搬送体に誘導さ
れる誘電電荷との間に発生する位相遅れを利用して、浮
上された被搬送体に搬送力を作用させる。
センサ３１〜３６により検出され、制御器４０に入力さ
れる。制御器４０では、この入力された信号と目標値と
を比較し、被搬送体２０を安定浮上させるための電圧を
作り出し、浮上用高電圧アンプ５０に出力する。搬送用
電極１３１〜１５４に３相電圧を印加して移動電場を生
成させ、この生成された移動電場と、被搬送体に誘導さ
れる誘電電荷との間に発生する位相遅れを利用して、浮
上された被搬送体に搬送力を作用させる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の静電浮上搬送装置では、以下のような問題があ
った。 （ａ）一つの固定子の上に浮上用電極と搬送用電極とを
別々に構成するため、固定子の表面の大部分は浮上のた
めに使われ、搬送用電極の総面積は小さくなるため搬送
力はかなり限られる。
た従来の静電浮上搬送装置では、以下のような問題があ
った。 （ａ）一つの固定子の上に浮上用電極と搬送用電極とを
別々に構成するため、固定子の表面の大部分は浮上のた
めに使われ、搬送用電極の総面積は小さくなるため搬送
力はかなり限られる。
【０００７】（ｂ）浮上体を安定浮上させるために、被
駆動体と固定子間のギャップをフィードバックし、浮上
用電極に適当な電圧を印加する必要があり、また、浮上
しながらの搬送となると、搬送経路上に一定間隔におい
てそのギャップを測定する変位センサを設置する必要が
あり、システムの構成費が高くなる。 （ｃ）固定子上の電極が被駆動体に対して発生する静電
力は、被駆動体を浮上させるための垂直方向の作用力
と、搬送するための搬送方向の作用力が主である。しか
し、偏心無しで安定して被駆動体を回転させること、又
は左右のゆれが無く指定した搬送方向に安定して搬送す
るには、何らかの拘束力を回転トルク又は直進駆動力と
同時に被駆動体に作用させる必要がある。
駆動体と固定子間のギャップをフィードバックし、浮上
用電極に適当な電圧を印加する必要があり、また、浮上
しながらの搬送となると、搬送経路上に一定間隔におい
てそのギャップを測定する変位センサを設置する必要が
あり、システムの構成費が高くなる。 （ｃ）固定子上の電極が被駆動体に対して発生する静電
力は、被駆動体を浮上させるための垂直方向の作用力
と、搬送するための搬送方向の作用力が主である。しか
し、偏心無しで安定して被駆動体を回転させること、又
は左右のゆれが無く指定した搬送方向に安定して搬送す
るには、何らかの拘束力を回転トルク又は直進駆動力と
同時に被駆動体に作用させる必要がある。
【０００８】この点において、従来の静電浮上搬送装置
が発生する当該拘束力はエッジ効果によるもののみであ
り、拘束力は非常に小さく、被駆動体を安定して高速に
回転させることや、搬送することは実現されていないの
が現状である。本発明は、上記問題点を解決するため
に、静電力による駆動力は、他の駆動手段と簡単に組み
合わされることに注目し、浮上力を得るために空気圧浮
上手段や近距離音波浮上手段を用いるとともに、引き続
き、静電力による駆動を行うことにより、駆動力を高め
るとともに、システムのコスト低減と、安定化を図るこ
とができる板状被駆動体の駆動装置を提供することを目
的とする。
が発生する当該拘束力はエッジ効果によるもののみであ
り、拘束力は非常に小さく、被駆動体を安定して高速に
回転させることや、搬送することは実現されていないの
が現状である。本発明は、上記問題点を解決するため
に、静電力による駆動力は、他の駆動手段と簡単に組み
合わされることに注目し、浮上力を得るために空気圧浮
上手段や近距離音波浮上手段を用いるとともに、引き続
き、静電力による駆動を行うことにより、駆動力を高め
るとともに、システムのコスト低減と、安定化を図るこ
とができる板状被駆動体の駆動装置を提供することを目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕板状被駆動体の駆動装置において、誘電体や絶縁
体からなる板状被駆動体を浮上させる、固定部材に設け
られる空気圧浮上手段と、前記固定部材の表面に形成さ
れ、前記板状被駆動体を搬送する搬送用電極とを備え、
前記板状被駆動体を、前記空気圧浮上手段により浮上さ
せ、前記搬送用電極で静電力により搬送するようにした
ものである。
成するために、 〔１〕板状被駆動体の駆動装置において、誘電体や絶縁
体からなる板状被駆動体を浮上させる、固定部材に設け
られる空気圧浮上手段と、前記固定部材の表面に形成さ
れ、前記板状被駆動体を搬送する搬送用電極とを備え、
前記板状被駆動体を、前記空気圧浮上手段により浮上さ
せ、前記搬送用電極で静電力により搬送するようにした
ものである。
【００１０】〔２〕板状被駆動体の駆動装置において、
誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、振
動板に設けられる近距離音波浮上手段と、前記振動板の
表面に形成され、前記板状被駆動体を搬送する搬送用電
極とを備え、前記板状被駆動体を、前記近距離音波浮上
手段により浮上させ、前記搬送用電極で静電力により搬
送するようにしたものである。
誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、振
動板に設けられる近距離音波浮上手段と、前記振動板の
表面に形成され、前記板状被駆動体を搬送する搬送用電
極とを備え、前記板状被駆動体を、前記近距離音波浮上
手段により浮上させ、前記搬送用電極で静電力により搬
送するようにしたものである。
【００１１】〔３〕板状被駆動体の駆動装置において、
誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、固
定部材に設けられる空気圧浮上手段と、前記固定部材の
表面に形成され、前記板状被駆動体を回転する回転用電
極とを備え、前記板状被駆動体を、前記空気圧浮上手段
により浮上させ、前記回転用電極で静電力により回転さ
せるようにしたものである。
誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、固
定部材に設けられる空気圧浮上手段と、前記固定部材の
表面に形成され、前記板状被駆動体を回転する回転用電
極とを備え、前記板状被駆動体を、前記空気圧浮上手段
により浮上させ、前記回転用電極で静電力により回転さ
せるようにしたものである。
【００１２】〔４〕板状被駆動体の駆動装置において、
誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、振
動板に設けられる近距離音波浮上手段と、前記振動板の
表面に形成され、前記板状被駆動体を回転する回転用電
極とを備え、前記板状被駆動体を、前記近距離音波浮上
手段により浮上させ、前記回転用電極で静電力により回
転させるようにしたものである。
誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、振
動板に設けられる近距離音波浮上手段と、前記振動板の
表面に形成され、前記板状被駆動体を回転する回転用電
極とを備え、前記板状被駆動体を、前記近距離音波浮上
手段により浮上させ、前記回転用電極で静電力により回
転させるようにしたものである。
【００１３】〔５〕上記〔１〕、〔２〕、〔３〕又は
〔４〕記載の板状被駆動体の駆動装置において、前記板
状被駆動体は平板状体である。 〔６〕上記〔５〕記載の板状被駆動体の駆動装置におい
て、前記平板状被駆動体はガラス板である。 〔７〕上記〔５〕記載の板状被搬送体の駆動装置におい
て、前記平板状被駆動体はセラミックス板である。
〔４〕記載の板状被駆動体の駆動装置において、前記板
状被駆動体は平板状体である。 〔６〕上記〔５〕記載の板状被駆動体の駆動装置におい
て、前記平板状被駆動体はガラス板である。 〔７〕上記〔５〕記載の板状被搬送体の駆動装置におい
て、前記平板状被駆動体はセラミックス板である。
【００１４】〔８〕上記〔１〕又は〔２〕記載の板状被
駆動体の駆動装置において、前記搬送用電極は、前記板
状被駆動体の安定直進駆動のための拘束力を発生する電
極配置を有するようにしたものである。
駆動体の駆動装置において、前記搬送用電極は、前記板
状被駆動体の安定直進駆動のための拘束力を発生する電
極配置を有するようにしたものである。
〔９〕上記〔３〕又は〔４〕記載の板状被駆動体の駆動
装置において、前記回転用電極は、前記板状被駆動体の
安定回転駆動のための拘束力を発生する電極配置を有す
るようにしたものである。
装置において、前記回転用電極は、前記板状被駆動体の
安定回転駆動のための拘束力を発生する電極配置を有す
るようにしたものである。
【００１５】上記したように、本発明によれば、静電力
は他の空気圧浮上手段や近距離音波浮上手段と簡単に組
み合わされることに注目し、それらの浮上手段で被駆動
体を浮上させ、浮上した被駆動体を静電力により駆動す
ることができる。このように、静電力は、浮上した被駆
動体を駆動することのみに用いるように設計できるの
で、大きな駆動力を発生することができる。
は他の空気圧浮上手段や近距離音波浮上手段と簡単に組
み合わされることに注目し、それらの浮上手段で被駆動
体を浮上させ、浮上した被駆動体を静電力により駆動す
ることができる。このように、静電力は、浮上した被駆
動体を駆動することのみに用いるように設計できるの
で、大きな駆動力を発生することができる。
【００１６】また、本発明の電極のパターンは、被駆動
体の安定駆動のために、被駆動体に拘束力と駆動力とを
同時に生成できるように構成しており、誘電体や絶縁体
からなる被駆動体を非接触で、かつ、高速に駆動するこ
とができる。
体の安定駆動のために、被駆動体に拘束力と駆動力とを
同時に生成できるように構成しており、誘電体や絶縁体
からなる被駆動体を非接触で、かつ、高速に駆動するこ
とができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施例を示す
板状被駆動体の駆動装置の構成図であり、図１（ａ）は
その板状被駆動体の駆動装置の全体模式図、図１（ｂ）
はその板状被駆動体の駆動装置の要部断面図、図２はそ
の板状被駆動体の駆動装置の電極配置を示す図である。
て詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施例を示す
板状被駆動体の駆動装置の構成図であり、図１（ａ）は
その板状被駆動体の駆動装置の全体模式図、図１（ｂ）
はその板状被駆動体の駆動装置の要部断面図、図２はそ
の板状被駆動体の駆動装置の電極配置を示す図である。
【００１８】図１において、２０１は固定部材、２０２
は固定部材の表面となる電極面、２０３は固定部材の表
面に形成される板状被駆動体２０５に静電力を与えて駆
動するための搬送用ドット状電極、２０４は板状被駆動
体２０５を浮上させる空気圧、２１０は固定部材に形成
される空気室、２１１は電極面２０２と同じ面に形成さ
れる微小空気孔、２２０は３相交流電圧発生器、２２１
は搬送用ドット状電極２０３に接続される高電圧アンプ
である。
は固定部材の表面となる電極面、２０３は固定部材の表
面に形成される板状被駆動体２０５に静電力を与えて駆
動するための搬送用ドット状電極、２０４は板状被駆動
体２０５を浮上させる空気圧、２１０は固定部材に形成
される空気室、２１１は電極面２０２と同じ面に形成さ
れる微小空気孔、２２０は３相交流電圧発生器、２２１
は搬送用ドット状電極２０３に接続される高電圧アンプ
である。
【００１９】以下、図２を参照しながら固定部材の表面
となる電極面に形成される搬送用ドット状電極について
説明する。図２において、固定部材の表面となる電極面
２０２には、搬送用ドット状電極２０３が形成され、そ
の搬送用ドット状電極２０３は、例えば、中央線上に配
置されるドット状電極２０３ａ、そのドット状電極２０
３ａの両外側に配置されるドット状電極２０３ｂ，その
ドット状電極２０３ｂの両外側に配置されるドット状電
極２０３ｃ，そのドット状電極２０３ｃの両外側に配置
されるドット状電極２０３ｄ、そのドット状電極２０３
ｄの両外側に配置されるドット状電極２０３ｅを備え、
それらドット状電極２０３は、板状被駆動体２０５の進
行方向に向かってドット状電極間配線２３１によってＶ
字形状になるよう配線している。
となる電極面に形成される搬送用ドット状電極について
説明する。図２において、固定部材の表面となる電極面
２０２には、搬送用ドット状電極２０３が形成され、そ
の搬送用ドット状電極２０３は、例えば、中央線上に配
置されるドット状電極２０３ａ、そのドット状電極２０
３ａの両外側に配置されるドット状電極２０３ｂ，その
ドット状電極２０３ｂの両外側に配置されるドット状電
極２０３ｃ，そのドット状電極２０３ｃの両外側に配置
されるドット状電極２０３ｄ、そのドット状電極２０３
ｄの両外側に配置されるドット状電極２０３ｅを備え、
それらドット状電極２０３は、板状被駆動体２０５の進
行方向に向かってドット状電極間配線２３１によってＶ
字形状になるよう配線している。
【００２０】最外側のドット状電極２０３ｅには３相配
線２３２が設けられ、３相の高電圧アンプ２２１に接続
される。また、上記した各ドット状電極間には微小空気
孔２１１が形成されており、空気室２１０から送り出さ
れる空気圧２０４により、板状被駆動体２０５が浮上す
る。誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体２０５が浮上
すると、上記した搬送用ドット状電極２０３に印加され
る３相高電圧により、浮上された板状被駆動体２０５
に、直進搬送駆動力と安定直進駆動のための拘束力とが
同時に発生する。
線２３２が設けられ、３相の高電圧アンプ２２１に接続
される。また、上記した各ドット状電極間には微小空気
孔２１１が形成されており、空気室２１０から送り出さ
れる空気圧２０４により、板状被駆動体２０５が浮上す
る。誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体２０５が浮上
すると、上記した搬送用ドット状電極２０３に印加され
る３相高電圧により、浮上された板状被駆動体２０５
に、直進搬送駆動力と安定直進駆動のための拘束力とが
同時に発生する。
【００２１】この点について詳細に説明すると、図２に
示す電極パターンは、直進搬送駆動力と、板状被駆動体
の表面上の各所から板状被駆動体表面上にあり、電極パ
ターンの中心線の真上にある平行直線に垂直に作用する
拘束力とを同時に板状被駆動体に発生する。この電極パ
ターンは、搬送方向に平行して９列の電極群が等間隔に
配置されている。２電極間の間隔は０．７ｍｍである。
示す電極パターンは、直進搬送駆動力と、板状被駆動体
の表面上の各所から板状被駆動体表面上にあり、電極パ
ターンの中心線の真上にある平行直線に垂直に作用する
拘束力とを同時に板状被駆動体に発生する。この電極パ
ターンは、搬送方向に平行して９列の電極群が等間隔に
配置されている。２電極間の間隔は０．７ｍｍである。
【００２２】各列上の各々の電極は隣合う列上の電極と
斜めに細いドット状電極間配線２３１で連結され、中央
の列を中心にＶ字を成す。これらＶ字型に連結されてい
る電極群を同電位電極群と呼ぶことにする。隣合う３個
の同電位電極群を一組にし、ＶP-P 値は同じで互いに１
２０°の位相差を持つ交流電圧を搬送方向に、位相の大
きい順でそれぞれに印加する。
斜めに細いドット状電極間配線２３１で連結され、中央
の列を中心にＶ字を成す。これらＶ字型に連結されてい
る電極群を同電位電極群と呼ぶことにする。隣合う３個
の同電位電極群を一組にし、ＶP-P 値は同じで互いに１
２０°の位相差を持つ交流電圧を搬送方向に、位相の大
きい順でそれぞれに印加する。
【００２３】この電極配置に前述した３相交流電圧を印
加することにより、搬送方向に働く作用力と、前項で述
べた拘束力とを同時に板状被駆動体に発生することがで
きる。搬送時、その拘束力はガイドの働きをなし、搬送
方向に働く作用力は板状被駆動体を搬送する。よって、
板状被駆動体を左右ゆれ無しで直線的に搬送することが
できる。
加することにより、搬送方向に働く作用力と、前項で述
べた拘束力とを同時に板状被駆動体に発生することがで
きる。搬送時、その拘束力はガイドの働きをなし、搬送
方向に働く作用力は板状被駆動体を搬送する。よって、
板状被駆動体を左右ゆれ無しで直線的に搬送することが
できる。
【００２４】このリニア型電極パターンの電極配置はも
う一つの働きを持つ。電極パターン内の任意の電極を取
っても、その電極の電圧位相はその周りの４つの電極の
それと違い、電界の強さが大きく、板状被駆動体に素早
く電荷を誘導できるため印加電圧の周波数を比較的高く
上げられる。そのため高速な直進搬送駆動が可能であ
る。
う一つの働きを持つ。電極パターン内の任意の電極を取
っても、その電極の電圧位相はその周りの４つの電極の
それと違い、電界の強さが大きく、板状被駆動体に素早
く電荷を誘導できるため印加電圧の周波数を比較的高く
上げられる。そのため高速な直進搬送駆動が可能であ
る。
【００２５】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。図３は本発明の第２の実施例を示す板状被駆動体の
駆動装置の構成図であり、図３（ａ）はその板状被駆動
体の駆動装置の全体模式図、図３（ｂ）はその板状被駆
動体の駆動装置の要部断面図、図４はその板状被駆動体
の駆動装置の電極配置を示す図である。
る。図３は本発明の第２の実施例を示す板状被駆動体の
駆動装置の構成図であり、図３（ａ）はその板状被駆動
体の駆動装置の全体模式図、図３（ｂ）はその板状被駆
動体の駆動装置の要部断面図、図４はその板状被駆動体
の駆動装置の電極配置を示す図である。
【００２６】図３において、３０１は固定部材、３０２
は固定部材の表面となる電極面、３０３は固定部材の表
面に形成される板状被駆動体３０５に静電力を与えて回
転するための回転用ドット状電極、３０４は板状被駆動
体３０５を浮上させる空気圧、３１０は固定部材に形成
される空気室、３１１は電極面３０２と同じ面に形成さ
れる微小空気孔、３２０は３相交流電圧発生器、３２１
は回転用ドット状電極３０３に接続される高電圧アンプ
である。
は固定部材の表面となる電極面、３０３は固定部材の表
面に形成される板状被駆動体３０５に静電力を与えて回
転するための回転用ドット状電極、３０４は板状被駆動
体３０５を浮上させる空気圧、３１０は固定部材に形成
される空気室、３１１は電極面３０２と同じ面に形成さ
れる微小空気孔、３２０は３相交流電圧発生器、３２１
は回転用ドット状電極３０３に接続される高電圧アンプ
である。
【００２７】このように構成したので、板状被駆動体３
０５は、微小空気孔３１１を介して空気室３１０から送
り出される空気圧３０４により浮上され、その後、後述
する回転用電極の静電力により回転駆動される。以下、
図４を参照しながら固定部材の表面となる電極面に形成
される回転用電極について説明する。
０５は、微小空気孔３１１を介して空気室３１０から送
り出される空気圧３０４により浮上され、その後、後述
する回転用電極の静電力により回転駆動される。以下、
図４を参照しながら固定部材の表面となる電極面に形成
される回転用電極について説明する。
【００２８】図４において、固定部材の表面となる円形
状の電極面３０２には、回転用ドット状電極３０３が形
成され、その回転用ドット状電極３０３は、例えば、一
番内側にリング状に配置されるドット状電極３０３ａ、
そのドット状電極３０３ａの外側にリング状に配置され
るドット状電極３０３ｂ，そのドット状電極３０３ｂの
外側にリング状に配置されるドット状電極３０３ｃ，そ
のドット状電極３０３ｃの外側にリング状に配置される
ドット状電極３０３ｄ、そのドット状電極３０３ｄの外
側にリング状に配置されるドット状電極３０３ｅ、その
ドット状電極３０３ｅの外側にリング状に配置されるド
ット状電極３０３ｆ、そのドット状電極３０３ｆの外側
にリング状に配置されるドット状電極３０３ｇ、そのド
ット状電極３０３ｇの外側にリング状に配置される最外
側のドット状電極３０３ｈを備え、それらの回転用ドッ
ト状電極３０３は、中心から外側に向かって斜行するド
ット状電極間配線３３１によって配線されている。
状の電極面３０２には、回転用ドット状電極３０３が形
成され、その回転用ドット状電極３０３は、例えば、一
番内側にリング状に配置されるドット状電極３０３ａ、
そのドット状電極３０３ａの外側にリング状に配置され
るドット状電極３０３ｂ，そのドット状電極３０３ｂの
外側にリング状に配置されるドット状電極３０３ｃ，そ
のドット状電極３０３ｃの外側にリング状に配置される
ドット状電極３０３ｄ、そのドット状電極３０３ｄの外
側にリング状に配置されるドット状電極３０３ｅ、その
ドット状電極３０３ｅの外側にリング状に配置されるド
ット状電極３０３ｆ、そのドット状電極３０３ｆの外側
にリング状に配置されるドット状電極３０３ｇ、そのド
ット状電極３０３ｇの外側にリング状に配置される最外
側のドット状電極３０３ｈを備え、それらの回転用ドッ
ト状電極３０３は、中心から外側に向かって斜行するド
ット状電極間配線３３１によって配線されている。
【００２９】最外側のリング状に配置されるドット状電
極３０３ｈには３相配線３３２が接続され、その３相配
線３３２は３相の高電圧アンプ３２１に接続される。そ
こで、微小空気孔３１１を介して空気室３１０から送り
出される空気圧３０４により誘電体や絶縁体からなる板
状被駆動体３０５が浮上されると、上記した回転用ドッ
ト状電極３０３に印加される３相高電圧により、浮上さ
れた誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体３０５に回転
トルクと安定回転のための拘束力とが同時に発生する。
極３０３ｈには３相配線３３２が接続され、その３相配
線３３２は３相の高電圧アンプ３２１に接続される。そ
こで、微小空気孔３１１を介して空気室３１０から送り
出される空気圧３０４により誘電体や絶縁体からなる板
状被駆動体３０５が浮上されると、上記した回転用ドッ
ト状電極３０３に印加される３相高電圧により、浮上さ
れた誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体３０５に回転
トルクと安定回転のための拘束力とが同時に発生する。
【００３０】次に、本発明の第３実施例について説明す
る。図５は本発明の第３実施例を示す板状被駆動体の駆
動装置の構成図であり、図５（ａ）はその板状被駆動体
の駆動装置の全体模式図、図５（ｂ）はその板状被駆動
体の駆動装置の要部断面図、図６はその板状被駆動体の
駆動装置の電極配置を示す図である。
る。図５は本発明の第３実施例を示す板状被駆動体の駆
動装置の構成図であり、図５（ａ）はその板状被駆動体
の駆動装置の全体模式図、図５（ｂ）はその板状被駆動
体の駆動装置の要部断面図、図６はその板状被駆動体の
駆動装置の電極配置を示す図である。
【００３１】図５において、４０１は振動板、４０２は
振動板の表面となる電極面、４０３は振動板の表面に形
成される板状被駆動体４０５に静電力を与えて駆動する
ための搬送用ドット状電極、４０４は板状被駆動体４０
５を浮上させる音波浮揚力、４１１は発振器、４１２は
その発振器４１１に接続される振動子であり、この振動
子４１２により、振動板４０１を振動させる。また、４
２０は３相交流電圧発生器、４２１は搬送用ドット状電
極４０３に接続される高電圧アンプである。
振動板の表面となる電極面、４０３は振動板の表面に形
成される板状被駆動体４０５に静電力を与えて駆動する
ための搬送用ドット状電極、４０４は板状被駆動体４０
５を浮上させる音波浮揚力、４１１は発振器、４１２は
その発振器４１１に接続される振動子であり、この振動
子４１２により、振動板４０１を振動させる。また、４
２０は３相交流電圧発生器、４２１は搬送用ドット状電
極４０３に接続される高電圧アンプである。
【００３２】そこで、振動子４１２により、振動板４０
１が振動すると、音波浮揚力４０４が発生して、板状被
駆動体４０５は浮上する。すると、後述するように静電
力を生じる電極により、板状被駆動体４０５を搬送駆動
することができる。以下、図６を参照しながら固定部材
の表面となる電極面に形成される搬送用ドット状電極に
ついて説明する。
１が振動すると、音波浮揚力４０４が発生して、板状被
駆動体４０５は浮上する。すると、後述するように静電
力を生じる電極により、板状被駆動体４０５を搬送駆動
することができる。以下、図６を参照しながら固定部材
の表面となる電極面に形成される搬送用ドット状電極に
ついて説明する。
【００３３】図６において、振動板の表面となる電極面
４０２には、搬送用ドット状電極４０３が形成され、そ
の搬送用ドット状電極４０３は、例えば、中央線上に配
置されるドット状電極４０３ａ、そのドット状電極４０
３ａの両外側に配置されるドット状電極４０３ｂ，その
ドット状電極４０３ｂの両外側に配置されるドット状電
極４０３ｃ，そのドット状電極４０３ｃの両外側に配置
されるドット状電極４０３ｄ、そのドット状電極４０３
ｄの両外側に配置されるドット状電極４０３ｅを備え、
それらの搬送用ドット状電極４０３は、板状被駆動体４
０５の進行方向に向かってドット電極間配線４３１によ
ってＶ字形状になるよう配線している。最外側のドット
状電極４０３ｅには３相配線４３２が設けられ、３相の
高電圧アンプ４２１に接続されている。
４０２には、搬送用ドット状電極４０３が形成され、そ
の搬送用ドット状電極４０３は、例えば、中央線上に配
置されるドット状電極４０３ａ、そのドット状電極４０
３ａの両外側に配置されるドット状電極４０３ｂ，その
ドット状電極４０３ｂの両外側に配置されるドット状電
極４０３ｃ，そのドット状電極４０３ｃの両外側に配置
されるドット状電極４０３ｄ、そのドット状電極４０３
ｄの両外側に配置されるドット状電極４０３ｅを備え、
それらの搬送用ドット状電極４０３は、板状被駆動体４
０５の進行方向に向かってドット電極間配線４３１によ
ってＶ字形状になるよう配線している。最外側のドット
状電極４０３ｅには３相配線４３２が設けられ、３相の
高電圧アンプ４２１に接続されている。
【００３４】そこで、振動子４１２により、振動板４０
１が振動すると、音波浮揚力４０４が発生して、板状被
駆動体４０５は浮上する。すると、上記した搬送用ドッ
ト状電極４０３に印加される３相高電圧により、浮上さ
れた板状被駆動体４０５に直進搬送駆動力と安定直進駆
動のための拘束力とが同時に発生する。このように、振
動子４１２の超音波振動がホーンで増幅され振動板４０
１に伝わる。この振動により、振動板４０１の表面に音
波浮揚力４０４が発生し、板状被駆動体４０５を被接触
で浮上させる。ここでは、浮上ギャップを約１００μｍ
にしている。しかし、この音波浮揚力４０４は板状被駆
動体４０５に対して振動板４０１面に垂直な作用力しか
発生せず、板状被駆動体４０５の板面方向上で板状被駆
動体４０５を駆動することはできない。
１が振動すると、音波浮揚力４０４が発生して、板状被
駆動体４０５は浮上する。すると、上記した搬送用ドッ
ト状電極４０３に印加される３相高電圧により、浮上さ
れた板状被駆動体４０５に直進搬送駆動力と安定直進駆
動のための拘束力とが同時に発生する。このように、振
動子４１２の超音波振動がホーンで増幅され振動板４０
１に伝わる。この振動により、振動板４０１の表面に音
波浮揚力４０４が発生し、板状被駆動体４０５を被接触
で浮上させる。ここでは、浮上ギャップを約１００μｍ
にしている。しかし、この音波浮揚力４０４は板状被駆
動体４０５に対して振動板４０１面に垂直な作用力しか
発生せず、板状被駆動体４０５の板面方向上で板状被駆
動体４０５を駆動することはできない。
【００３５】そこで、振動板４０１の上面に電極パター
ンを構成し静電力による作用力で、浮上された板状被駆
動体４０５を板状被駆動体４０５の板面方向上で駆動す
る。静電力による作用力を得るために、振動板４０１の
上面に特定の電極パターンを構成し、３相交流電圧を印
加して移動電場を形成させる。この移動電場と、板状被
駆動体４０５に誘導される誘導電荷との間に生じる位相
遅れにより、静電力が生じ板状被駆動体４０５を左右ふ
れ無く安定して直進駆動することができる。
ンを構成し静電力による作用力で、浮上された板状被駆
動体４０５を板状被駆動体４０５の板面方向上で駆動す
る。静電力による作用力を得るために、振動板４０１の
上面に特定の電極パターンを構成し、３相交流電圧を印
加して移動電場を形成させる。この移動電場と、板状被
駆動体４０５に誘導される誘導電荷との間に生じる位相
遅れにより、静電力が生じ板状被駆動体４０５を左右ふ
れ無く安定して直進駆動することができる。
【００３６】次に、本発明の第４実施例について説明す
る。図７は本発明の第４の実施例を示す板状被駆動体の
駆動装置の構成図であり、図７（ａ）はその板状被駆動
体の駆動装置の全体模式図、図７（ｂ）はその板状被駆
動体の駆動装置の要部断面図、図８はその板状被駆動体
の駆動装置の電極配置を示す図である。
る。図７は本発明の第４の実施例を示す板状被駆動体の
駆動装置の構成図であり、図７（ａ）はその板状被駆動
体の駆動装置の全体模式図、図７（ｂ）はその板状被駆
動体の駆動装置の要部断面図、図８はその板状被駆動体
の駆動装置の電極配置を示す図である。
【００３７】図７において、５０１は振動板、５０２は
振動板の表面となる電極面、５０３は振動板の表面に形
成される板状被駆動体５０５に静電力を与えて回転する
ための回転用ドット状電極、５０４は板状被駆動体５０
５を浮上させる音波浮揚力、５１１は発振器、５１２は
その発振器５１１に接続される振動子であり、この振動
子５１２により、振動板５０１を振動させる。５２０は
３相交流電圧発生器、５２１は回転用ドット状電極５０
３に接続される高電圧アンプである。
振動板の表面となる電極面、５０３は振動板の表面に形
成される板状被駆動体５０５に静電力を与えて回転する
ための回転用ドット状電極、５０４は板状被駆動体５０
５を浮上させる音波浮揚力、５１１は発振器、５１２は
その発振器５１１に接続される振動子であり、この振動
子５１２により、振動板５０１を振動させる。５２０は
３相交流電圧発生器、５２１は回転用ドット状電極５０
３に接続される高電圧アンプである。
【００３８】そこで、振動子５１２により、振動板５０
１が振動すると、音波浮揚力５０４が発生して、板状被
駆動体５０５は浮上する。すると、後述するように静電
力を生じる電極により、板状被駆動体５０５を回転駆動
することができる。以下、図８を参照しながら振動板の
表面となる電極面に形成される回転用ドット状電極につ
いて説明する。
１が振動すると、音波浮揚力５０４が発生して、板状被
駆動体５０５は浮上する。すると、後述するように静電
力を生じる電極により、板状被駆動体５０５を回転駆動
することができる。以下、図８を参照しながら振動板の
表面となる電極面に形成される回転用ドット状電極につ
いて説明する。
【００３９】図８において、振動板の表面となる円形状
の電極面５０２には、回転用ドット状電極５０３が形成
され、その回転用ドット状電極５０３は、例えば、一番
内側にリング状に配置されるドット状電極５０３ａ、そ
のドット状電極５０３ａの外側にリング状に配置される
ドット状電極５０３ｂ，そのドット状電極５０３ｂの外
側にリング状に配置されるドット状電極５０３ｃ，その
ドット状電極５０３ｃの外側にリング状に配置されるド
ット状電極５０３ｄ、そのドット状電極５０３ｄの外側
にリング状に配置されるドット状電極５０３ｅ、そのド
ット状電極５０３ｅの外側にリング状に配置されるドッ
ト状電極５０３ｆ、そのドット状電極５０３ｆの外側に
リング状に配置されるドット状電極５０３ｇ、そのドッ
ト状電極５０３ｇの外側にリング状に配置される最外側
のドット状電極５０３ｈを備え、それら回転用ドット状
電極５０３は、中心から外側に向かって斜行するドット
状電極間配線５３１によって配線されている。
の電極面５０２には、回転用ドット状電極５０３が形成
され、その回転用ドット状電極５０３は、例えば、一番
内側にリング状に配置されるドット状電極５０３ａ、そ
のドット状電極５０３ａの外側にリング状に配置される
ドット状電極５０３ｂ，そのドット状電極５０３ｂの外
側にリング状に配置されるドット状電極５０３ｃ，その
ドット状電極５０３ｃの外側にリング状に配置されるド
ット状電極５０３ｄ、そのドット状電極５０３ｄの外側
にリング状に配置されるドット状電極５０３ｅ、そのド
ット状電極５０３ｅの外側にリング状に配置されるドッ
ト状電極５０３ｆ、そのドット状電極５０３ｆの外側に
リング状に配置されるドット状電極５０３ｇ、そのドッ
ト状電極５０３ｇの外側にリング状に配置される最外側
のドット状電極５０３ｈを備え、それら回転用ドット状
電極５０３は、中心から外側に向かって斜行するドット
状電極間配線５３１によって配線されている。
【００４０】最外側のリング状に配置されるドット状電
極５０３ｈには３相配線５３２が接続され、その３相配
線５３２は３相の高電圧アンプ５２１に接続される。そ
こで、振動板５０１が振動し、音波浮揚力５０４が発生
して、誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体５０５が浮
上されると、上記した回転用ドット状電極５０３に印加
される３相高電圧により、浮上された誘電体や絶縁体か
らなる板状被駆動体３０５に回転トルクと安定回転のた
めの拘束力とが同時に発生する。
極５０３ｈには３相配線５３２が接続され、その３相配
線５３２は３相の高電圧アンプ５２１に接続される。そ
こで、振動板５０１が振動し、音波浮揚力５０４が発生
して、誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体５０５が浮
上されると、上記した回転用ドット状電極５０３に印加
される３相高電圧により、浮上された誘電体や絶縁体か
らなる板状被駆動体３０５に回転トルクと安定回転のた
めの拘束力とが同時に発生する。
【００４１】以下、この点について詳細に説明すると、
上記した電極パターンは、回転トルクと、板状被駆動体
５０５の表面上の各所から電極パターンの円心軸に垂直
に作用する力とを同時に板状被駆動体５０５に生成する
ことができる。この電極パターンは上記した８つの同心
円を成すドット状電極群から構成されている。２電極間
の間隔は０．７ｍｍである。各リング状の各々の電極
は、右下の電極と細い電極間の配線５３１で連結されて
いる。
上記した電極パターンは、回転トルクと、板状被駆動体
５０５の表面上の各所から電極パターンの円心軸に垂直
に作用する力とを同時に板状被駆動体５０５に生成する
ことができる。この電極パターンは上記した８つの同心
円を成すドット状電極群から構成されている。２電極間
の間隔は０．７ｍｍである。各リング状の各々の電極
は、右下の電極と細い電極間の配線５３１で連結されて
いる。
【００４２】これら斜めに連結されている電極群を同電
位電極群と呼ぶことにする。各リングには７８個の電極
を有するため、この電極パターンは７８個の同電位電極
群で構成されている。また、隣合う３個の同電位電極群
を一組にし、ＶP-P は同じで互いに１２０°の位相差を
持つ交流電圧を時計方向に、位相の大きい順でそれぞれ
に印加する。
位電極群と呼ぶことにする。各リングには７８個の電極
を有するため、この電極パターンは７８個の同電位電極
群で構成されている。また、隣合う３個の同電位電極群
を一組にし、ＶP-P は同じで互いに１２０°の位相差を
持つ交流電圧を時計方向に、位相の大きい順でそれぞれ
に印加する。
【００４３】この電極配置に前述した３相交流電圧を印
加することにより、電極パターンの円心を中心とした回
転電場と、各電極から電極パターンの円心に向く移動電
場とが同時に形成される。この回転電場と移動電場の同
時形成により、回転トルクと板状被駆動体の表面上の各
所から電極パターンの円心軸に垂直に向く拘束力とが同
時に板状被駆動体に発生する。
加することにより、電極パターンの円心を中心とした回
転電場と、各電極から電極パターンの円心に向く移動電
場とが同時に形成される。この回転電場と移動電場の同
時形成により、回転トルクと板状被駆動体の表面上の各
所から電極パターンの円心軸に垂直に向く拘束力とが同
時に板状被駆動体に発生する。
【００４４】回転トルクの作用により回転する板状被駆
動体は、偏心により回転中心が電極パターンの中心軸か
らずれようとする時に、その拘束力が働き、回転中心を
電極パターンの中心軸上に引き戻す。この拘束力の働き
により、板状被駆動体を安定して拘束し回転させること
ができる。この電極配置はもう一つの働きを持つ。電極
パターン内のどの電極を取っても、その電極の電圧位相
はその周りの４つの電極のそれと違い、電界の強さが大
きく、板状被駆動体に素早く電荷を誘導することができ
て、高周波な交流電圧を印加できるため、高速な回転が
得られる。
動体は、偏心により回転中心が電極パターンの中心軸か
らずれようとする時に、その拘束力が働き、回転中心を
電極パターンの中心軸上に引き戻す。この拘束力の働き
により、板状被駆動体を安定して拘束し回転させること
ができる。この電極配置はもう一つの働きを持つ。電極
パターン内のどの電極を取っても、その電極の電圧位相
はその周りの４つの電極のそれと違い、電界の強さが大
きく、板状被駆動体に素早く電荷を誘導することができ
て、高周波な交流電圧を印加できるため、高速な回転が
得られる。
【００４５】一例として、直径１００ｍｍ、厚み０．７
ｍｍ、質量１７．６ｇのガラス板を浮上し回転させた。
浮上ギャップは１００μｍ、印加する３相交流電圧のＶ
P-Pは１ｋＶであった。この場合の最大回転角速度は約
２０００ｒｐｍであった。本発明は、大型化が進んでい
る液晶パネルの非接触搬送や位置決めへの応用が大きく
期待できる。
ｍｍ、質量１７．６ｇのガラス板を浮上し回転させた。
浮上ギャップは１００μｍ、印加する３相交流電圧のＶ
P-Pは１ｋＶであった。この場合の最大回転角速度は約
２０００ｒｐｍであった。本発明は、大型化が進んでい
る液晶パネルの非接触搬送や位置決めへの応用が大きく
期待できる。
【００４６】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００４７】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、浮上力を得るため
に空気圧浮上手段を用いるとともに、引き続き、静電力
による搬送駆動を行うことにより、搬送駆動力を高める
とともに、システムのコスト低減と、安定化を図ること
ができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、浮上力を得るため
に空気圧浮上手段を用いるとともに、引き続き、静電力
による搬送駆動を行うことにより、搬送駆動力を高める
とともに、システムのコスト低減と、安定化を図ること
ができる。
【００４８】（２）請求項２記載の発明によれば、浮上
力を得るために近距離音波浮上手段を用いるとともに、
引き続き、静電力による搬送駆動を行うことにより、搬
送駆動力を高めるとともに、システムのコスト低減と、
安定化を図ることができる。 （３）請求項３記載の発明によれば、浮上力を得るため
に空気圧浮上手段を用いるとともに、引き続き、静電力
による回転駆動を行うことにより、回転駆動力を高める
とともに、システムのコスト低減と、安定化を図ること
ができる。
力を得るために近距離音波浮上手段を用いるとともに、
引き続き、静電力による搬送駆動を行うことにより、搬
送駆動力を高めるとともに、システムのコスト低減と、
安定化を図ることができる。 （３）請求項３記載の発明によれば、浮上力を得るため
に空気圧浮上手段を用いるとともに、引き続き、静電力
による回転駆動を行うことにより、回転駆動力を高める
とともに、システムのコスト低減と、安定化を図ること
ができる。
【００４９】（４）請求項４記載の発明によれば、浮上
力を得るために近距離音波浮上手段を用いるとともに、
引き続き、静電力による回転駆動を行うことにより、回
転駆動力を高めるとともに、システムのコスト低減と、
安定化を図ることができる。 （５）請求項５記載の発明によれば、浮上力を得るため
に空気圧浮上手段又は近距離音波浮上手段により、平板
状体を浮上させるとともに、静電力により、平板状体の
駆動力を高めることができる。
力を得るために近距離音波浮上手段を用いるとともに、
引き続き、静電力による回転駆動を行うことにより、回
転駆動力を高めるとともに、システムのコスト低減と、
安定化を図ることができる。 （５）請求項５記載の発明によれば、浮上力を得るため
に空気圧浮上手段又は近距離音波浮上手段により、平板
状体を浮上させるとともに、静電力により、平板状体の
駆動力を高めることができる。
【００５０】（６）請求項６記載の発明によれば、浮上
力を得るために空気圧浮上手段又は近距離音波浮上手段
により、ガラス板を浮上させるとともに、静電力によ
り、ガラス板の駆動力を高めることができる。 （７）請求項７記載の発明によれば、浮上力を得るため
に空気圧浮上手段又は近距離音波浮上手段により、セラ
ミックス板を浮上させるとともに、静電力により、セラ
ミックス板の駆動力を高めることができる。
力を得るために空気圧浮上手段又は近距離音波浮上手段
により、ガラス板を浮上させるとともに、静電力によ
り、ガラス板の駆動力を高めることができる。 （７）請求項７記載の発明によれば、浮上力を得るため
に空気圧浮上手段又は近距離音波浮上手段により、セラ
ミックス板を浮上させるとともに、静電力により、セラ
ミックス板の駆動力を高めることができる。
【００５１】（８）請求項８記載の発明によれば、搬送
用電極は、板状被駆動体の安定直進駆動のための拘束力
を発生させ、安定かつ高速駆動することができる。 （９）請求項９記載の発明によれば、回転用電極は、板
状被駆動体の安定回転駆動のための拘束力を得ることが
でき、安定、かつ高速回転駆動することができる。
用電極は、板状被駆動体の安定直進駆動のための拘束力
を発生させ、安定かつ高速駆動することができる。 （９）請求項９記載の発明によれば、回転用電極は、板
状被駆動体の安定回転駆動のための拘束力を得ることが
でき、安定、かつ高速回転駆動することができる。
【図１】本発明の第１実施例を示す板状被駆動体の駆動
装置の構成図である。
装置の構成図である。
【図２】本発明の第１実施例を示す板状被駆動体の駆動
装置の電極配置を示す図である。
装置の電極配置を示す図である。
【図３】本発明の第２実施例を示す板状被駆動体の駆動
装置の構成図である。
装置の構成図である。
【図４】本発明の第２実施例を示す板状被駆動体の駆動
装置の電極配置を示す図である。
装置の電極配置を示す図である。
【図５】本発明の第３実施例を示す板状被駆動体の駆動
装置の構成図である。
装置の構成図である。
【図６】本発明の第３実施例を示す板状被駆動体の駆動
装置の電極配置を示す図である。
装置の電極配置を示す図である。
【図７】本発明の第４実施例を示す板状被駆動体の駆動
装置の構成図である。
装置の構成図である。
【図８】本発明の第４実施例を示す板状被駆動体の駆動
装置の電極配置を示す図である。
装置の電極配置を示す図である。
【図９】従来の静電浮上搬送装置のシステム構成図であ
る。
る。
【図１０】従来の静電浮上搬送装置の電極配置を示す平
面図である。
面図である。
２０１，３０１ 固定部材 ２０２，３０２，４０２，５０２ 電極面 ２０３，４０３ 搬送用ドット状電極 ２０４，３０４ 空気圧 ２０５，３０５，４０５，５０５ 板状被駆動体 ２１０ 空気室 ２１１，３１１ 微小空気孔 ２２０，３２０，４２０，５２０ ３相交流電圧発生
器 ２２１，３２１，４２１，５２１ 高電圧アンプ ２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃ，２０３ｄ，２０３ｅ，
３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃ，３０３ｄ，３０３ｅ，
３０３ｆ，３０３ｇ，３０３ｈ，４０３ａ，４０３ｂ，
４０３ｃ，４０３ｄ，４０３ｅ，５０３ａ，５０３ｂ，
５０３ｃ，５０３ｄ，５０３ｅ，５０３ｆ，５０３ｇ，
５０３ｈ ドット状電極 ２３１，３３１，４３１，５３１ ドット状電極間配
線 ２３２，３３２，４３２，５３２ ３相配線 ３０３，５０３ 回転用ドット状電極 ４０１，５０１ 振動板 ４０４，５０４ 音波浮揚力 ４１１，５１１ 発振器 ４１２，５１２ 振動子
器 ２２１，３２１，４２１，５２１ 高電圧アンプ ２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃ，２０３ｄ，２０３ｅ，
３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃ，３０３ｄ，３０３ｅ，
３０３ｆ，３０３ｇ，３０３ｈ，４０３ａ，４０３ｂ，
４０３ｃ，４０３ｄ，４０３ｅ，５０３ａ，５０３ｂ，
５０３ｃ，５０３ｄ，５０３ｅ，５０３ｆ，５０３ｇ，
５０３ｈ ドット状電極 ２３１，３３１，４３１，５３１ ドット状電極間配
線 ２３２，３３２，４３２，５３２ ３相配線 ３０３，５０３ 回転用ドット状電極 ４０１，５０１ 振動板 ４０４，５０４ 音波浮揚力 ４１１，５１１ 発振器 ４１２，５１２ 振動子
Claims (9)
- 【請求項１】 板状被駆動体の駆動装置において、
（ａ）誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させ
る、固定部材に設けられる空気圧浮上手段と、（ｂ）前
記固定部材の表面に形成され、前記板状被駆動体を搬送
する搬送用電極とを備え、（ｃ）前記板状被駆動体を、
前記空気圧浮上手段により浮上させ、前記搬送用電極で
静電力により搬送することを特徴とする板状被搬送体の
駆動装置。 - 【請求項２】 板状被駆動体の駆動装置において、
（ａ）誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させ
る、振動板に設けられる近距離音波浮上手段と、（ｂ）
前記振動板の表面に形成され、前記板状被駆動体を搬送
する搬送用電極とを備え、（ｃ）前記板状被駆動体を、
前記近距離音波浮上手段により浮上させ、前記搬送用電
極で静電力により搬送することを特徴とする板状被搬送
体の駆動装置。 - 【請求項３】 板状被駆動体の駆動装置において、
（ａ）誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させ
る、固定部材に設けられる空気圧浮上手段と、（ｂ）前
記固定部材の表面に形成され、前記板状被駆動体を回転
する回転用電極とを備え、（ｃ）前記板状被駆動体を、
前記空気圧浮上手段により浮上させ、前記回転用電極で
静電力により回転させることを特徴とする板状被搬送体
の駆動装置。 - 【請求項４】 板状被駆動体の駆動装置において、
（ａ）誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させ
る、振動板に設けられる近距離音波浮上手段と、（ｂ）
前記振動板の表面に形成され、前記板状被駆動体を回転
する回転用電極とを備え、（ｃ）前記板状被駆動体を、
前記近距離音波浮上手段により浮上させ、前記回転用電
極で静電力により回転させることを特徴とする板状被搬
送体の駆動装置。 - 【請求項５】 請求項１、２、３又は４記載の板状被駆
動体の駆動装置において、前記板状被駆動体は平板状体
であることを特徴とする板状被搬送体の駆動装置。 - 【請求項６】 請求項５記載の板状被駆動体の駆動装置
において、前記平板状被駆動体はガラス板であることを
特徴とする板状被搬送体の駆動装置。 - 【請求項７】 請求項５記載の板状被搬送体の駆動装置
において、前記平板状被駆動体はセラミックス板である
ことを特徴とする板状被搬送体の駆動装置。 - 【請求項８】 請求項１又は２記載の板状被駆動体の駆
動装置において、前記搬送用電極は、前記板状被駆動体
の安定直進駆動のための拘束力を発生する電極配置を有
することを特徴とする板状被搬送体の駆動装置。 - 【請求項９】 請求項３又は４記載の板状被駆動体の駆
動装置において、前記回転用電極は、前記板状被駆動体
の安定回転駆動のための拘束力を発生する電極配置を有
することを特徴とする板状被駆動体の駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02477298A JP4067621B2 (ja) | 1998-02-05 | 1998-02-05 | 板状被駆動体の駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02477298A JP4067621B2 (ja) | 1998-02-05 | 1998-02-05 | 板状被駆動体の駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11225487A true JPH11225487A (ja) | 1999-08-17 |
| JP4067621B2 JP4067621B2 (ja) | 2008-03-26 |
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ID=12147472
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02477298A Expired - Fee Related JP4067621B2 (ja) | 1998-02-05 | 1998-02-05 | 板状被駆動体の駆動装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JP4067621B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003226428A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-12 | Fuji Electric Co Ltd | 超音波浮揚装置、超音波浮揚方法、超音波吸引装置、および、超音波吸引方法 |
| JPWO2004084396A1 (ja) * | 2003-03-17 | 2006-06-29 | 株式会社アイエイアイ | 超音波浮上装置 |
| WO2011055482A1 (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-12 | 村田機械株式会社 | 非接触保持装置、移載装置、及び、非接触保持方法 |
| JP2016063168A (ja) * | 2014-09-19 | 2016-04-25 | 村田機械株式会社 | ワークの非接触保持装置 |
-
1998
- 1998-02-05 JP JP02477298A patent/JP4067621B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP4616008B2 (ja) * | 2003-03-17 | 2011-01-19 | 株式会社アイエイアイ | 超音波浮上装置 |
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| JP2011100895A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Murata Machinery Ltd | 非接触保持装置及び移載装置 |
| TWI486239B (zh) * | 2009-11-06 | 2015-06-01 | Murata Machinery Ltd | A non-contact holding device, a transfer device, and a non-contact holding method |
| JP2016063168A (ja) * | 2014-09-19 | 2016-04-25 | 村田機械株式会社 | ワークの非接触保持装置 |
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