JPS6155012A - 振動波による搬送方法及び装置 - Google Patents

振動波による搬送方法及び装置

Info

Publication number
JPS6155012A
JPS6155012A JP59175105A JP17510584A JPS6155012A JP S6155012 A JPS6155012 A JP S6155012A JP 59175105 A JP59175105 A JP 59175105A JP 17510584 A JP17510584 A JP 17510584A JP S6155012 A JPS6155012 A JP S6155012A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rod
bodies
vibration
shaped body
voltage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP59175105A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0238483B2 (ja
Inventor
Ichiro Okumura
一郎 奥村
Kazuhiro Izukawa
和弘 伊豆川
Takuo Okuno
奥野 卓夫
Takayuki Tsukimoto
貴之 月本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP59175105A priority Critical patent/JPS6155012A/ja
Priority to DE19853530057 priority patent/DE3530057A1/de
Publication of JPS6155012A publication Critical patent/JPS6155012A/ja
Priority to US06/941,532 priority patent/US4763776A/en
Publication of JPH0238483B2 publication Critical patent/JPH0238483B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G54/00Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G54/02Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G27/00Jigging conveyors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G27/00Jigging conveyors
    • B65G27/10Applications of devices for generating or transmitting jigging movements
    • B65G27/16Applications of devices for generating or transmitting jigging movements of vibrators, i.e. devices for producing movements of high frequency and small amplitude
    • B65G27/24Electromagnetic devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001Driving devices, e.g. vibrators
    • H02N2/0015Driving devices, e.g. vibrators using only bending modes
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/026Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00Machine element or mechanism
    • Y10T74/15Intermittent grip type mechanical movement
    • Y10T74/1558Grip units and features
    • Y10T74/1565Gripper releasing devices
    • Y10T74/1576Holding pawl lifter

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Jigging Conveyors (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は振動波による搬送方法及びその装置に関し、特
に実質上平行に配置された複数本の棒状体のそれぞれに
曲げ振動を与えることに基づき該棒状体に接する物体の
搬送を行なう方法及び装置に関する。
〔従来技術〕
従来の搬送装置においては、アクチエータタとして多く
は電磁力を利用した七−夕あるいはりニアモータが用い
られている。しかして、これらの7クチーエータは鉄芯
や銅の巻線や永久磁石等によ多構成されているため部品
点数が多く、また重量も大きくな)、従って搬送装置の
小型化及び経盆化が困難であるという欠点がある。
また、超音波振動子によ)弾性体表面に横波と縦波との
合成された進行波を生ぜしめ、これを回転運動または一
方向運動に変換することによ)モータまたはりニアモー
タを構成することが提案されている(特開昭58−14
8682号公報)。
このモータまたはリニアモータは部品点数が比較的少な
いので、これをアクチュエータとして用いて搬送装置を
構成することにょ)、ある程度の小型化及び軽量化が可
能となる。しかしながら、このアクチュエータは進行波
を用いているため振動波を循環させることが必要であシ
、この循環部分を設けておくことが必須であるため、こ
れを用いて搬送装置を構成しても未だ十分な小型化及び
軽量化を実現することはできない。
〔発明の目的〕
本発明は、以上の如き従来技術に鑑み、新規な搬送方法
を提供し、この方法を実施するための構造が簡単で小型
化及び軽量化が可能な搬送装置を提供することを目的と
する。
0発例の要旨〕 本発明によれば、上記の目的は、複数の棒状体を実質上
平行に配列し、各棒状体に2方向の曲げ振動を生ぜしめ
、これによシ棒状体をラセン形に変形せしめ且つ該変形
された棒状体をその長さ方向の軸のまわ9に回転せしめ
ることKより、該棒状体に接する物体を棒状体の配列方
向に移動させることにより達成される。
また、本発明によれば、この様な搬送方法の実施のため
に使用される装置として、複数の棒状体が実質上平行て
配列されており、各棒状体にはその長さ方向に垂直な面
内における異なる少なくとも2つの方向に該棒状体に曲
げ振動を生ぜしめるための振動子が付設されているもの
が提供される。
〔発明の実施例〕
以下、図面を参照しながら本発明の具体的実施例を説明
する。
第1図は本発明による搬送装置の概略部分斜視図であシ
、第2図はその■−■断百図である。本実施例装置にお
いては、棒状体2が複数本平行に配列されている。この
棒状体2はその長さ方向と垂直な断面の形状が正方形で
ある均質な材質からなシ、曲げ弾性を有する。該棒状体
2はその4つの側面のうちの2つが水平に且つ他の2つ
が垂直になる様に両端部を支持部材4及び4′によシ支
持されている。各棒状体2にはその両端部において上面
及び−側面に電歪素子6,7及び6’、7’が接着され
ている。この電歪素子はたとえばPZT (チタン酸ジ
ルコン酸鉛)圧電セラミック等の電歪素子であってその
歪方向が棒状体2の長さ方向に一致する様に取付けられ
ている。電歪素子6の両面(即ち棒状体2との接合面及
び該接合面と反対側の面)には一対の電極が形成されて
いる。そのうちの一方の!極には交流電圧印加手段8の
一端が接続されてお夛、他方の電極は棒状体2及び支持
部材4内を通る導線を介して接地されている。また、電
圧印加手段8の他端も接地されており、これによシミ歪
素子6への交流電圧印加回路が形成される。同様にして
、電歪素子7には交流電圧印加手段9が接続されており
、電歪素子6′及び7′にはそれぞれ交流電圧印加手段
8′及び9′が接続されている。
次に、本実施例装置の作用につき説明する。
電圧印加手段8によシ棒状体2の側面に取付けられた電
歪素子6に棒状体2のX方向の曲げ振動の固有振動数に
一致する周波数fxの交流電圧を印加すると、棒状体2
においてX方向に曲げ振動が生ずる。電圧印加手段8′
にょフ電歪素子6′にも周波数fxの交流電圧を印加す
る。但し、電歪素子6への印加電圧VXと電歪素子6′
への印加電圧v’xとでは、第3図に示される様に、位
相を180度異冷しせておく。これにょシ棒状体2には
X方向に両端が振動の節となる大きな定常振動が実現さ
れる。
この時の棒状体2の様子をM4図(a)K示し、その振
動状態を第4図(b)に示す。本図においては振動が4
次のモードである例を示した。
同様にして、電圧印加手段9にょシ棒状体2の上面に取
付けられた電歪素子7に棒状体2のX方向の曲げ振動の
固有振動数て一致する周波数fyの交流電圧vyを印加
し、電圧印加手段9′にょシミ歪素子7′にも、第5図
に示される様に位相を180度異冷しせて、周波数fy
の交流電圧v′yを印加する。
これによシ、棒状体2にはX方向にX方向の場合と同様
な定常振動が実現される。
本実施例においては、棒状体2がX方向及びX方向に関
して全く同一の形状及び材質であるので、fx 、 f
yとは一致する。
そこで、電歪素子6及び6′に印加する交流電圧Vx 
、 Vxと電歪素子7及び7′に印加する交流電圧vy
 、 v’yとの位相差をそれぞれ90度に設定して(
即ち、第3図及び第5図の様K)電歪素子6゜7及び6
’、7’に同時に交流電圧を印加すると棒状体2には回
転振動が発生する。即ち、第4図に示される様なX方向
の曲げ振動とy方向の曲げ振動とを重ね合わせると、第
6図に示される様に、棒状体2はラセン形状を保ちなが
ら各部分が矢印で示される様に同一の角速度にてラセン
軸Xのまわ)に回転する。
第7図は本実施例装置の使用状態における第1図の■−
■断面図である。上記の如くに棒状体2を回転振動せし
めると、各棒状体2は矢印で示される様に同一方向に回
転振動を行なうので、該棒状体2上に載置された物体1
0は棒状体2との接触部分(即ち振動の腹の部分)Kお
ける摩擦力にて棒状体2の配列方向即ちX方向に搬送さ
れる。
尚、棒状体2の回転振動半径は電歪素子へ印加する電圧
の大きさを制御することによF:J適宜設定することが
でき、これによ)物体10の搬送速度を変えることがで
きる。
以上の実施例においては棒状体として断面が正方形のも
のを使用したが、本発明においては棒状体の断面形状は
円形、その他の形状をとることもできる。但し、均質な
材質を用いる場合には90度回転対称の形状であるのが
好ましい。
また、以上の実施例においては棒状体2の両端部に電歪
素子を取付けた例を示したが、電歪素子は一方の端部に
のみ取付けられていてもよい。更に、第8図に示される
様に、棒状体2の全長にわたって電歪素子6aを取付け
、棒状体2の振動モードに応じて適宜の個所で分割され
た電i12゜12’、 12″、 12”を設け、該電
極に電圧印加手段13及び14により1つおきに180
度位相の異なる交流電圧を印加する様にしてもよい。こ
うすることによ)、比較的小さな印加電圧で棒状体20
回転振動半径を大きくすることができ、搬送速度を増加
させることができる。
更に、上記実施例においては棒状体2の両端における曲
げモーメントがOとなる様に支持部材4及び4′によυ
支持されているが、第8図に示される様に支持部材4及
び4′によフ固定保持されてもよい。この場合には支持
部材の構造が比較的簡単となる。
尚、本発明においては、複数の棒状体の配列は完全に平
行である必要はなく、たとえば曲がったルートで物体を
搬送させる場合には該ルートを形成する様に適宜の角度
をもって配列される。
また、本発明においては、棒状体2の異なる2方向での
曲げ振動の周波数は完全に一致する必要はなく、周波数
は異なっていてもよい。但し、この場合には振動のエネ
ルギーのうち搬送に利用される割合が低下し搬送の効率
は低下する。
〔発明の効果〕
以上の如き本発明によれば、駆動手段を著しく簡素化す
ることができるので、簡単な構成によシ −搬送を行な
うことができ、また装置の小型化及び経世化が実現でき
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明搬送装置の部分斜視図であシ、第2図は
その■−■断面図である。第3図及び第°5図は電歪素
子への印加電圧のグラフである。第4図(a)及び(b
)ならびに8g6図は棒状体の振動状態を示す図である
。第7図は本発明装置の使用状態における断面図である
。第8図は本発明装置の断面図である。 2:棒状体、4:支持部材、6,7:電歪素子。 8.9:電圧印加手段、lO:被搬送物体。 第2図 第3図 1 Vx’ 第4図(0) 第4図(b) 、−一一一一一二一一一 −一一一一 I−一一一一第
5図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数の棒状体を実質上平行に配列し、各棒状体に
    2方向の曲げ振動を生ぜしめ、これにより棒状体をラセ
    ン形に変形せしめ且つ該変形された棒状体をラセン軸の
    まわりに回転せしめることにより、該棒状体に接する物
    体を棒状体の配列方向に移動させることを特徴とする、
    振動波による搬送方法。
  2. (2)複数の棒状体が実質上平行に配列されており、各
    棒状体にはその長さ方向に垂直な面内における異なる少
    なくとも2つの方向に該棒状体に曲げ振動を生ぜしめる
    ための振動子が付設されていることを特徴とする、振動
    波による搬送装置。
  3. (3)振動子が電歪素子である、第2項の搬送装置。
  4. (4)2つの方向の曲げ振動が90度の位相差をもつ、
    第2項の搬送装置。
JP59175105A 1984-08-24 1984-08-24 振動波による搬送方法及び装置 Granted JPS6155012A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59175105A JPS6155012A (ja) 1984-08-24 1984-08-24 振動波による搬送方法及び装置
DE19853530057 DE3530057A1 (de) 1984-08-24 1985-08-22 Verfahren und vorrichtung zum transport eines gegenstandes
US06/941,532 US4763776A (en) 1984-08-24 1986-12-10 Method and apparatus for transporting an article

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59175105A JPS6155012A (ja) 1984-08-24 1984-08-24 振動波による搬送方法及び装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6155012A true JPS6155012A (ja) 1986-03-19
JPH0238483B2 JPH0238483B2 (ja) 1990-08-30

Family

ID=15990343

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59175105A Granted JPS6155012A (ja) 1984-08-24 1984-08-24 振動波による搬送方法及び装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4763776A (ja)
JP (1) JPS6155012A (ja)
DE (1) DE3530057A1 (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62266884A (ja) * 1986-05-14 1987-11-19 Marcon Electronics Co Ltd 変位素子の駆動方法
JPS62266883A (ja) * 1986-05-14 1987-11-19 Marcon Electronics Co Ltd 変位素子
JPS6359777A (ja) * 1986-08-29 1988-03-15 Canon Inc 振動駆動モ−タ
JPS63110968A (ja) * 1986-10-28 1988-05-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波リニアモ−タ
JPS63176206A (ja) * 1987-01-12 1988-07-20 Murata Mfg Co Ltd 圧電型パ−ツフイ−ダ
JPS63189342A (ja) * 1987-01-31 1988-08-04 Canon Inc 振動波によるカ−ド搬送装置
JPS63294280A (ja) * 1987-05-25 1988-11-30 Hiroshi Shimizu 圧電駆動装置
JPS63294281A (ja) * 1987-05-25 1988-11-30 Hiroshi Shimizu 圧電駆動装置
JPH01264868A (ja) * 1988-04-18 1989-10-23 Murata Mfg Co Ltd 紙送り装置
JP2006141091A (ja) * 2004-11-10 2006-06-01 Shimizu Corp 超音波モータおよび可変剛性バネ
CN109250431A (zh) * 2017-07-13 2019-01-22 昕芙旎雅有限公司 工件输送装置

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5146129A (en) * 1986-12-01 1992-09-08 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave motor
US5062622A (en) * 1989-01-19 1991-11-05 Canon Kabushiki Kaisha Vibratory sheet feeder which uses phase adjustment to control the sheet feeding speed
JP2687233B2 (ja) * 1989-02-10 1997-12-08 キヤノン株式会社 シート送り装置
JPH0336129A (ja) * 1989-07-04 1991-02-15 Canon Inc シート送り装置
EP0543114A1 (en) * 1991-11-18 1993-05-26 Rockwell International Corporation Multiresonant actuator
US5890580A (en) * 1993-07-12 1999-04-06 Kaijo Corporation Object levitating apparatus, object transporting apparatus, and object levitating bearing along with an object levitating process and object transporting process
JP3931552B2 (ja) * 2000-11-07 2007-06-20 株式会社豊田自動織機 物体浮揚搬送装置
TWI245590B (en) * 2004-05-06 2005-12-11 Toppoly Optoelectronics Corp An electrostatic discharge protection device and an apparatus using the same
US7827818B2 (en) * 2008-12-30 2010-11-09 Linde Ag Conveyor belt having rotating drive shaft
DE102013107154B4 (de) 2013-07-08 2020-09-10 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Antriebsvorrichtung
JP6343618B2 (ja) * 2013-10-01 2018-06-13 住友理工株式会社 搬送装置
JP6819010B2 (ja) * 2019-03-27 2021-01-27 シンフォニアテクノロジー株式会社 ワーク搬送装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB758631A (en) * 1952-01-31 1956-10-10 Nat Res Dev Improvements in and relating to ultrasonic oscillators and vibratory tools
DE1044478B (de) * 1952-09-19 1958-11-20 Siemens Ag Verfahren zum Betrieb eines piezoelektrischen rohrfoermigen Biegeschwingers
US2960314A (en) * 1959-07-06 1960-11-15 Jr Albert G Bodine Method and apparatus for generating and transmitting sonic vibrations
US3295667A (en) * 1965-05-20 1967-01-03 Simplicity Eng Co Anti-blinding mechanism for screen panels
US3536001A (en) * 1966-04-18 1970-10-27 Albert G Bodine Method for sonic propulsion
US3416632A (en) * 1966-10-20 1968-12-17 Albert G. Bodine Jr. Beat frequency sonic technique and apparatus for use in seismic surveys
US3613869A (en) * 1970-09-15 1971-10-19 Hydromation Eng Co Mechanism for cyclically moving a parts accumulator-conveyor
US3841461A (en) * 1972-07-20 1974-10-15 Univ California Singulator
US3980172A (en) * 1973-10-09 1976-09-14 Rapistan, Incorporated Low line pressure accumulator
SU589171A1 (ru) * 1975-01-22 1978-01-25 Lyubarskij Anatolij Ya Устройство шагового типа дл перемещени грузов, преимущественно грунта
DE2516165A1 (de) * 1975-04-14 1976-10-28 Rainer Dipl Ing Sieke Hydrodynamische foerdervorrichtung
GB1539000A (en) * 1976-03-29 1979-01-24 Lipe Rollway Corp Moulded resilient element material for vibratory feeder
SU715400A1 (ru) * 1978-02-16 1980-02-15 Каунасский Политехнический Институт Им.Антанаса Снечкуса Вибрационный конвейер
JPS58148682A (ja) * 1982-02-25 1983-09-03 Toshio Sashita 超音波振動を利用したモータ装置の駆動方法とモータ装置
CA1208269A (en) * 1982-02-25 1986-07-22 Toshiiku Sashida Motor device utilizing ultrasonic oscillation

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0257352B2 (ja) * 1986-05-14 1990-12-04 Marukon Denshi Kk
JPS62266883A (ja) * 1986-05-14 1987-11-19 Marcon Electronics Co Ltd 変位素子
JPS62266884A (ja) * 1986-05-14 1987-11-19 Marcon Electronics Co Ltd 変位素子の駆動方法
JPH0257351B2 (ja) * 1986-05-14 1990-12-04 Marukon Denshi Kk
JPS6359777A (ja) * 1986-08-29 1988-03-15 Canon Inc 振動駆動モ−タ
JPS63110968A (ja) * 1986-10-28 1988-05-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波リニアモ−タ
JPS63176206A (ja) * 1987-01-12 1988-07-20 Murata Mfg Co Ltd 圧電型パ−ツフイ−ダ
JPS63189342A (ja) * 1987-01-31 1988-08-04 Canon Inc 振動波によるカ−ド搬送装置
JPH0458273B2 (ja) * 1987-05-25 1992-09-17 Hiroshi Shimizu
JPS63294281A (ja) * 1987-05-25 1988-11-30 Hiroshi Shimizu 圧電駆動装置
JPH0458272B2 (ja) * 1987-05-25 1992-09-17 Hiroshi Shimizu
JPS63294280A (ja) * 1987-05-25 1988-11-30 Hiroshi Shimizu 圧電駆動装置
JPH01264868A (ja) * 1988-04-18 1989-10-23 Murata Mfg Co Ltd 紙送り装置
JP2006141091A (ja) * 2004-11-10 2006-06-01 Shimizu Corp 超音波モータおよび可変剛性バネ
JP4573102B2 (ja) * 2004-11-10 2010-11-04 清水建設株式会社 超音波モータおよび可変剛性バネ
CN109250431A (zh) * 2017-07-13 2019-01-22 昕芙旎雅有限公司 工件输送装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE3530057C2 (ja) 1989-03-23
JPH0238483B2 (ja) 1990-08-30
DE3530057A1 (de) 1986-03-06
US4763776A (en) 1988-08-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6155012A (ja) 振動波による搬送方法及び装置
JP3118251B2 (ja) 超音波駆動装置及びその方法
US4339682A (en) Rotative motor using a piezoelectric element
JPS6013481A (ja) 振動波モ−タ
US6870306B2 (en) Overlapping type piezoelectric stator, overlapping type piezoelectric actuator and applications thereof
JPS6022478A (ja) 超音波リニアモータ
JPH05146171A (ja) 超音波振動子
KR100712591B1 (ko) 전방향성 초음파 압전 액츄에이터 시스템
JPH0311983A (ja) 超音波モータの駆動方法および超音波モータ用振動子
JPS62157116A (ja) パ−ツフイ−ダ
JPH03139180A (ja) 超音波浮揚装置
JPH03265477A (ja) 超音波振動装置及びその方法並びにこれらを用いた駆動装置及びその方法
JPH05115846A (ja) 超音波振動子およびこの振動子を有する駆動装置
JP2543149B2 (ja) 超音波リニアモ―タ
JPS63189342A (ja) 振動波によるカ−ド搬送装置
JP2874174B2 (ja) 超音波振動子及び超音波モータ
JP2632897B2 (ja) 振動波駆動装置
JPH0491677A (ja) 超音波モータ
JPH06101941B2 (ja) リニア駆動モ−タ
JPH0787706B2 (ja) 超音波リニアモ−タ
JPH01308172A (ja) 超音波駆動装置
JPH05948B2 (ja)
JPS63294270A (ja) 超音波モ−タの駆動方法
JP2018108001A (ja) ワーク搬送装置
JPH07274554A (ja) 超音波リニアモータ