JP3118251B2

JP3118251B2 - 超音波駆動装置及びその方法

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Publication number: JP3118251B2
Application number: JP02316659A
Authority: JP
Inventors: 飯島　　保
Original assignee: Nisca Corp
Current assignee: Nisca Corp
Priority date: 1990-11-21
Filing date: 1990-11-21
Publication date: 2000-12-18
Anticipated expiration: 2015-12-18
Also published as: JPH04190684A; US5200665A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、超音波駆動装置及びその方法に係り、特
に、単一の平板状弾性体の端面に、縦振動による浮揚力
と、屈曲振動による駆動力とを発生させる超音波駆動装
置及びその方法に関する。

［従来の技術］小型、軽量、かつ構造がシンプルであるなどの点に着
目して、超音波楕円振動を利用した超音波駆動装置（超
音波モータ）が開発されている。

従来、超音波モータ装置としては、弾性体に発生する
振動の態様から分類すると、定在波を用いる定在波型超
音波モータ装置と進行波を用いる進行波型超音波モータ
装置との二つのタイプに大別される。上記のもののう
ち、定在波型超音波モータ装置としては、上記弾性体の
（厚さ方向に対して垂直な）平面上にローラなどの運動
抽出体を圧接し、縦振動により駆動力を抽出するように
したものが知られている。

上記構成の超音波モータにおいて、大きなトルクを得
るためには、弾性体や運動抽出体の素材として摩擦係数
の高いものを選び、かつ運動抽出体を弾性体に強く押圧
することが必要である。

［発明が解決しようとする課題］ところで上記従来の装置にあっては、押圧は弾性体の
平面に垂直な方向に加えられるため、弾性体が変形し、
振動特性に、異状が生じることが多々あった。このた
め、強い押圧を加えられず、したがって、大きなトルク
を得ることができなかった。また、平板状の弾性体を用
いる上記従来の装置は、構造上リニアモータには適して
いる反面、回転モータを構成するには困難な面があっ
た。

回転型超音波モータとしては、従来、ねじり振動と縦
振動とを用いるものが知られているが、励振部がランジ
バン型であるため、小型化には限界があった。

しかも、この種のものはねじり振動と縦振動の両振動
を同じに得るためには、まず第１の振動弾性体に縦振動
を与え、この縦振動をランジバン型の励振部を有する第
２の振動弾性体に加えることによって、この第２の振動
弾性体に縦振動と、その縦振動によりねじり振動を生起
するもので、少なくとも第１と第２の振動弾性体が、必
要となり構造が複雑である。又特に第２の振動弾性体に
ねじり振動を誘起する為に先の特殊な励振部が、必要で
あるだけではなく、第１と第２の振動弾性体の圧接状態
によって縦振動とねじり振動との誘起特性がバラツキ易
い欠点があった。

［発明の目的］この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、耐圧
性の向上を図ることにより、加圧による弾性体の変形や
破損を防止すると共に、高いトルクを安定的に得ること
ができる超音波駆動装置及びその方法を提供することを
目的としている。

また、この発明は、小型の超音波駆動装置を得ること
ができる超音波駆動装置及びその方法を目的としてい
る。

さらに又、この発明は、正逆の切替えが可能な超音波
駆動装置を提供することを目的としている。

［課題を解決するための手段］上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、
６面体からなる弾性体と、該弾性体に縦振動と屈曲振動
とを生起する圧電体とからなる超音波駆動装置におい
て、前記弾性体の一つの端面に形成した一対の運動抽出
部と、この抽出部に圧接する回転抽出体とを設けるとと
もに、前記圧電体を前記端面に隣接し該端面に対し直交
する平面に前記圧電体を設け、前記端面に縦振動を、前
記平面に屈曲振動を生起してなることを特徴としてい
る。

請求項２記載の発明は、前記圧電体が第１の対の圧電
体と第２の対の圧電体とからなると共に、前記平面と対
向する平面にそれぞれの圧電体が互いに対向するように
配置してなることを特徴としている。

請求項３記載の発明は、前記圧電体が第１の対の圧電
体と第２の対の圧電体とからなると共に、互いに対向す
る二つの広平面に、かつ、一方の圧電体を180度回転す
れば、他方の圧電体に重なる位置関係に、それぞれ配設
してなることを特徴としている。

請求項４記載の発明は、前記圧電体を、前記弾性体の
屈曲振動共振時に、前記平面に生じる屈曲振動定在波の
節間に配設してなることを特徴としている。

請求項５記載の発明は、前記弾性体をフレーム部材に
固定するための支持部を、前記弾性体の前記平面に生じ
る屈曲振動定在波の節部の位置に設けたことを特徴とし
ている。

請求項６記載の発明は、前記弾性体をフレーム部材に
固定するための支持部を、前記弾性体の前記平面に生じ
る屈曲振動定在波及び縦振動定在波の節部の位置に設け
たことを特徴としている。

請求項７記載の発明は、前記縦振動を生起させる第１
の圧電体と前記屈曲振動を生起させる第２の圧電体とを
配設してなることを特徴としている。

請求項８記載の発明は、前記第２の圧電体は一対の圧
電体からなることを特徴としている。

請求項９記載の発明は、前記第１の圧電体に交流電圧
を印加する第１の電源と前記第２の圧電体に交流電圧を
印加する第２の電源とからなることを特徴としている。

請求項10記載の発明は、前記回転抽出体が回転可能な
円板からなることを特徴としている。

請求項11記載の発明は、前記回転抽出体が回転可能な
リングからなることを特徴としている。

［作用］上記構成において、電源を投入して、圧電体を励振す
れば、これに伴い、まず、弾性体に縦振動定在波が生起
する。ついで、屈曲振動定在波が誘起される。このよう
にして弾性体の一つの端面には、縦振動による浮揚力
が、屈曲振動による駆動力がそれぞれ得られる。

上記構成によれば、移動部による押圧は、弾性体の広
平面に垂直な方向に加えられるため、押圧による弾性体
の変形や破損を防止することができ、したがって、高い
トルクを安定的に得ることが可能となる。

また、請求項２記載の構成において、上記第１の圧電
体と第２の圧電体に電圧を択一的に印加することによ
り、容易に正逆転を行うことができる。

［実施例］以下、図面を参照してこの発明の実施例について説明
する。

（第１実施例）第１図（ａ）は、この発明の第１実施例である超音波
駆動装置の構成を示す平面図、同図（ｂ）は、同装置の
本体たる振動部の構成を示す側面図、第２図は同装置の
移動部の構成を示す斜視図、第３図（ａ）、（ｂ）は同
振動部を構成する弾性体を示す斜視図及び平面図であ
る。

まず最初に、第３図を参照して、この第１実施例に用
いられる弾性体の概略形状について説明する。

同図において、符号１が弾性体であり、この弾性体１
は、互いに平行に相対向する２つの広い平面1a、1b（以
下、広平面という）と、これらの広平面1a、1bに直交
し、幅が狭小な４つの平面1c・・・（以下、端面とい
う）とからなる平板状直方体の形状に形成されている。
弾性体１は、圧電セラミックもしくは一般にステンレス
やアルミなどの金属板から作られる。

また、この弾性体１は、次のような振動特性を有する
ように形成されている。

すなわち、この弾性体１は、同図（ａ）のｚ方向に生
じ、振動波形が第１式で表される縦振動の共振周波数
と、 Uz＝Asin（K_Lz） ……（１）ｙ方向に生じ、振動波形が第２式で表される反対称屈曲
振動の共振周波数が相等しいか近接するように形成され
ている。

Ux＝Bsinh（K_By）＋DsiN（K_Ey） ……（２）なお、第１式、第２式において、Uzは、ｚ方向の変
位、Uxはｘ方向の変位、K_Lは縦振動（波）の波数、K_Eは
屈曲振動、（波）の波数である。

上記したように、Ｚ方向縦振動及びＹ方向反対称屈曲
振動の共振周波数が相等しくなるように、あるいは近接
するように、弾性体１の寸法形状を設定することは可能
であり、その理論的根拠を以下に示す。

周知のように、板状の弾性体の縦振動の共振周波数f_L
は、第３式のように表される。

ここで、Ｅは弾性体のヤング率、ρはその密度、ｌは
Ｚ方向の長さである。

一方板状の弾性体の屈曲振動の共振周波数fBは、第４
式のように表される。

ここで、ｗは弾性体のｙ方向の長さ、ＬはＸ方向の長
さ（弾性体の厚さ）である。

また、αは第５式の根であり、値が小さな方から順
に、屈曲振動の共振モードの次数の順に対応している。

siN（α/2）cosh（α/2）＋cos（α/2）siNh（α/2）＝０ ……（５）今、第３式の右辺と、第４式の右辺が等しい（f_L＝
f_B）と仮定すれば、第６式が導かれる。

第６式が、ｚ方向縦振動の共振周波数とｙ方向反対称
屈曲振動の共振周波数とを同一にするための条件であ
り、第６式より明らかなように、ｚ方向の長さｌ、ｙ方
向の幅ｗ、ｘ方向の長さｔの３変数のうち任意の２つを
自由に設定することが可能である。

この例の弾性体１は、上述の理論などに基づき、縦振
動共振モードがL₁₀（定在波の節が一つ）に、反対称屈
曲振動共振モードがB₃₀（定在波の節Ｎが三つ、第３図
（ｂ）になるように、その寸法形状が定められている。

次に、第１図（ａ），（ｂ）及び第２図を参照して、
この発明の第１実施例である超音波駆動装置の構成につ
いて説明する。

第１図（ａ），（ｂ）に示すように、平板状の弾性体
１の広平面1a,1bには、圧電体（圧電振動子）2a,2bがそ
れぞれ接着されている。これらの圧電体2a及び2bは、互
いに向き合わないように、かつ、屈曲振動定在波B₃₀の
腹部の位置に配設されている。さらに、これらの圧電体
2a,2bの両表面には図示せぬ導電層がそれぞれ形成され
ている。また、上記弾性体１の端面1cの両端部には、超
音波振動による駆動力を抽出するための突起部3a,3bが
形成されている。

以上示した弾性体１、圧電体2a,2b及び突起部3a,3bに
よって超音波駆動装置の振動部が概略構成されている。

次に、４は弾性体１の縦振動共振モードL₁₀における
共振周波数と同一の周波数の交流電圧を出力する超音波
励振用の電源である。この電源４の２つの出力端子のう
ち、一の端子は電気線路を介して弾性体１に接続され、
他の端子は電気線路を介して圧電体2a,2bに並列接続さ
れている。５は上記振動体から運動を抽出する円板状の
移動部であって、突起部3a,3bに圧接されている。な
お、縦振動定在波の節部であると共に、屈曲振動定在波
の節部でもある弾性体１の広平面1a（1b）の中心点に
は、貫通孔６が設けられ、この貫通孔６に図示せぬ支持
体を通すことにより、図示せぬフレーム部材に固定支持
されるようになっている。

上記構成の超音波駆動装置において、電源４を投入し
て、圧電体2a,2bに高周波電圧を印加すると、これに応
じて、圧電体2a,2bは励振する。圧電体2a,2bの励振に伴
い、弾性体１には、励振モードL₁₀の縦振動定在波が生
起する。そして、この縦振動定在波に共鳴して、振動モ
ードB₃₀の屈曲振動定在波が誘起される。

かくして、第１式で示した縦振動共振と第２式で示し
た反対称屈曲振動共振が同時に生起し、このため、縦振
動によって浮揚力が得られ、屈曲振動によって、第３図
（ｂ）に示すように、屈曲振動の節部を境として、それ
ぞれ方向の異なる駆動力の分布（図中矢印）が得られ
る。したがって、突起部3a,3bには、互いに平行かつ反
対方向の駆動力が生じるため、これら突起部3a,3bの上
に圧接されている円板状の移動部５は、縦振動によって
浮揚力を与えられ、屈曲振動によって、第２図に示すＡ
方向の回転力を与えられる。

上記構成によれば、移動部５による押圧は、弾性体１
の広平面1a,1bに垂直な方向に加えられるため、押圧に
よる弾性体１の変形を防止することができる。したがっ
て、大きなトルクを安定的に得ることができる。振動部
がランジバン型でないため、小型化を達成することが容
易である。

（第２実施例）第４図（ａ）は、この発明の第２実施例である超音波
駆動装置の構成を示す平面図、同図（ｂ）は、同装置の
本体たる振動部の構成を示す側面図、第５図は同装置の
移動部の構成を示す斜視図である。

これらの図において、第１図（ａ），（ｂ）及び第２
図に示す各部に対応する部分については、同一符号を付
してその説明を省略する。この第２実施例が上記第１実
施例と大きく異なるところは、圧電体2a,2bと同一構成
の圧電体2c,2d及びスイッチ機構７を付加した点であ
る。

上記圧電体2cは、広平面1b上に、圧電体2aと互いに向
き合って接着されている。また、上記圧電体2dは、広平
面1a上に、圧電体2bと互いに向き合って接着されてい
る。

これらの圧電体2a〜2dは、上記第１実施例と同様に、
屈曲振動定在波B₃₀の腹部の位置に配設されている。

次に、圧電体2aと2b及び圧電体2cと2dはそれぞれ電気
的に並列接続されており、それぞれ一対の圧電体として
動作するようになっている。上記スイッチ機構７は、電
源４の出力電圧を圧電体2a,2bあるいは圧電体2c,2dに択
一的に印加する構成となっている。

上記構成の超音波駆動装置において、まず、スイッチ
機構７を操作して、電源４と圧電体2a,2bとを電気的接
続状態にして、圧電体2a,2bに高周波電圧を印加する
と、上述した第１実施例において説明したと同様の動作
が行なわれ、第５図に示す移動部５は同図に示す矢印Ａ
方向に回転する。

次に、スイッチ機構７を操作して、圧電体の電気的接
続状態を切換えると、圧電体2a,2bは電気的にオープン
の状態となり、圧電体2c,2dが電気的接続状態となる。
これにより、今度は、圧電体2c,2dが励振し、これらの
励振に伴い、弾性体１には振動モードL₁₀の縦振動定在
波が生起する。そして、この縦振動定在波に共鳴して、
振動モードB₃₀の屈曲振動定在波が誘起される。この場
合において、縦振動の位相は、スイッチの切り換えによ
り、いずれの対の圧電体を励振させるかに関係無く、同
位相であるが、屈曲振動の位相は、スイッチの切り換え
によって、逆相になるため、圧電体2a,2bを励振させる
場合と、圧電体2c,2dを励振させる場合とで、互いに逆
向き（第５図のＡ方向、Ｂ方向）の回転力を得ることが
できる。

上記構成によれば、スイッチ機構７の操作だけで、適
宜、回転の向きを変えることができる。

また、非駆動側の圧電体を振動センサとして使用すれ
ば、振動の検出が可能であり、正逆の駆動周波数が一致
しない場合に、振動の補正が可能となる。

さらに、非駆動側の圧電体は電気的にオープン状態な
ので、駆動側の圧電体とは、弾性定数が異なり、弾性体
は非対称なものとなる。この結果、対称なときには結合
しない縦振動と屈曲振動とを結合させることができる。
そして、結合が生じていれば、縦振動の共振周波数で駆
動すれば良く、縦振動と屈曲振動との共振周波数を厳密
に一致させる必要がなく管理上有利となる。

（第３実施例）第６図は、この発明の第３実施例である超音波駆動装
置の構成を示す平面図である。

この第３実施例が、上記第１実施例（第１図）及び第
２実施例（第４図）と大きく異なるところは、２相の励
振用の電源を用いた点である。

第６図に示すように、弾性体１の広平面1a上には、弾
性体１に縦振動を生起させるための圧電体2eが接着され
ている。一方、広平面1b上には、弾性体１の屈曲振動を
生起させるための一対の圧電体2f,2gが、弾性体1bの縦
中心線に対して左右対称となるように、かつ分極が互い
に逆向きとなるように、それぞれ接着されている。ま
た、4aは圧電体2eを励振するための電源であり、4bは圧
電体2f,2gを同時に励振するための電源である。上記構
成によれば、縦振動と屈曲振動とを独立に生起させるこ
とができるので、一段と高いトルクを得ることができ
る。

（第４実施例）第７図は、第４実施例である超音波駆動装置の構成を
示す側面図である。この図において、符号８は振動部、
９は移動部であり、これらは、第１図（ａ）、（ｂ）及
び第２図に示したと同一構成のものである。より具体的
に言えば、この例の振動部８を構成する弾性体の材質は
SUS304（ステンレス）、寸法は31mm（ｗ）×25.5mm
（Ｈ）×５（Ｔ）mmであり、両端に高さ5mmの突起部が
設けられている。圧電体の材質はＣ−１（富士セラミッ
クス製の圧電セラミックスの商品名）で、寸法は、20mm
×10mm×0.5mmである。移動部９はS45C（鋼）によって
作られ、直径は35mmである。10は断面コ字状のフレーム
部材、11は振動部８をフレーム部材８に固定支持するた
めの支持部材（M2のビス）、12は移動部９を加圧するた
めの調節可能な加圧部材であって、軸部13と加圧板14と
ゴム部材15と加圧バネ16と加圧ネジ17とからなってい
る。18は回転力を出力する出力軸である。これら移動部
９、軸部13、出力軸18は、軸心を共通にして構成されて
いる。

上記の構成において、加圧部材17を調整して、移動部
９の加圧を750g、印加電圧を10V、20V、30V、駆動周波
数を102.6KHzに設定して特性実験を行った。

実験の結果は、第８図に示すように、500g程度の高い
トルクが得られた。

なお、上述の第１実施例においては、弾性体１に生起
する屈曲振動モードが反対称屈曲振動モードB₃₀となる
ように、弾性体１の寸法形状を定めた場合について述べ
たが（第２図参照）、この発明は上記モードの場合に限
定するものではなく、たとえば、使用の態様などに応じ
て、適宜、反対称振動モードをB₁₀,B₆₀に設定すること
も可能である。

この場合において、仮に、縦振動共振、反対称屈曲振
動共振とも最低次のモードに設定する場合には、弾性体
の寸法条件を定める第５式右辺のαの値は7.85である。

また、上述の実施例においては、弾性体に生起する屈
曲振動モードが反対称屈曲振動モードとなるように、該
弾性体の寸法形状を定めた場合について述べたが、これ
に限らず、使用の態様次第では、対称屈曲振動モードを
生起させるように、弾性体の寸法形状を定めるようにし
ても、上述したと同様の効果を得ることができる。

また、上述の実施例においては、直方体状の弾性体を
用いた場合について述べたが、この発明は、平板状であ
る限り、直方体に限定するものではない。

また、上述の実施例においては、縦振動の波形が第１
式で表され、屈曲振動の波形が第２式で表される場合に
ついて述べたが、これに限らず、これらに類似する関係
にあればよい。

また、上述の実施例においては、ｚ方向縦振動および
ｙ方向反対称屈曲振動の共振周波数が相等しくなる寸法
条件として、第５式を使用する場合について述べたが、
これに限らず、他の近似式や経験式を用いても良く、ま
た、実験やシュミレーショにより寸法条件を求めても良
い。特に、弾性体が平板状直方体でない場合には、他の
近似式やシュミレーションが有効なものとなる。

また、上述の実施例においては、円板状の移動部５
（第２図）が、端面1cの両端に設けられた突起部3a及び
3bに圧接される場合について述べたが、第９図に示すよ
うに、適宜、いずれか一の突起部にのみ、圧接されるよ
うにしてもよい。

また、上述の実施例においては、弾性体１に突起部3
a,3bを設けた場合について述べたが、これに代えて、第
10図に示すように、円板状の移動部19に突起部20a,20b
を設けるようにして、これらの突起部20a,20bを弾性体2
1に圧接するようにしても、上述したと同様の効果を得
ることができる。

また、上述の実施例においては、弾性体１の端面1cの
最端部に突起部を設けるようにした場合について述べた
が、要は、屈曲定在波の節部以外であれば、最端部に限
るものではない。

また、上述の実施例においては、円板状の移動部５
（第２図）を用いた場合について述べたが、これに限ら
ず、たとえば、第11図に示すように、比較的半径の大き
な環状の移動部22aを突起部3aに圧接するようにし、比
較的半径の小さな環状の移動部22bを突起部3bに圧接す
るようにしても良い。このようにすれば、正逆両方の駆
動力を同時に得ることが可能である。また、第12図に示
すように、ローラ状の移動部23を用いるようにしてもよ
い。

さらにまた、上述の実施例においては、振動部に突起
部を設けるようにした場合について述べたが、第13図に
示すように、そろばん状の移動部25を用いるようにすれ
ば、突起部のない弾性体24によって構成することが可能
である。

［発明の効果］以上説明したように、この発明の構成によれば、移動
部による押圧は、弾性体の広平面に垂直な方向に加えら
れるため、押圧による弾性体の変形を防止することがで
きる。したがって、大きなトルクを安定的に得ることが
できる。

また、振動部が弾性体に圧電体を張るだけのため、小
型化を達成することが容易である。

また、スイッチ機構の操作だけで、適宜、駆動力の向
きを変えることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は、この発明の第１実施例である超音波駆
動装置の構成を示す平面図、同図（ｂ）は同装置の本体
たる振動部の構成を示す側面図、第２図は同装置の移動
部の構成を示す斜視図、第３図（ａ）は同振動部を構成
する弾性体を示す斜視図、同図（ｂ）は同振動部の平面
図、第４図（ａ）は、この発明の第２実施例である超音
波駆動装置の構成を示す平面図、同図（ｂ）は同装置の
本体たる振動部の構成を示す側面図、第５図は同装置の
移動部の構成を示す斜視図、第６図は、この発明の第３
実施例である超音波駆動装置の構成を示す平面図、第７
図は、第４実施例である超音波駆動装置の構成を示す側
面図、第８図は同装置の特性を示すグラフ、第９図ない
し第13図はこの発明の他の変形例を示す図である。 1,21,24……弾性体、1a,1b……広平面、 1c……端面、2a〜2g……圧電体、 3a,3b,20a,20b……突起部、 4,4a,4b……電源、5,9,19……円板状の移動部、６……貫通孔、７……スイッチ機構（電源切換手段）、 ……移動部、10……フレーム部材、 11……支持部材、12……加圧部材、18……出力軸 22a,22b……環状の移動部、 23……ローラ状の移動部、 25……そろばん状の移動部、

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】６面体からなる弾性体と、該弾性体に縦振
動と屈曲振動とを生起する圧電体とからなる超音波駆動
装置において、前記弾性体の一つの端面に形成した一対
の運動抽出部と、この抽出部に圧接する回転抽出体とを
設けるとともに、前記圧電体を前記端面に隣接し該端面
に対し直交する平面に前記圧電体を設け、前記端面に縦
振動を、前記平面に屈曲振動を生起してなることを特徴
とする超音波駆動装置。
【請求項２】前記圧電体が第１の対の圧電体と第２の対
の圧電体とからなると共に、前記平面と対向する平面に
それぞれの圧電体が互いに対向するように配置してなる
ことを特徴とする請求項１記載の超音波駆動装置。
【請求項３】前記圧電体が第１の対の圧電体と第２の対
の圧電体とからなると共に、互いに対向する二つの広平
面に、かつ、一方の圧電体を180度回転すれば、他方の
圧電体に重なる位置関係に、それぞれ配設してなること
を特徴とする請求項１記載の超音波駆動装置。
【請求項４】前記圧電体を、前記弾性体の屈曲振動共振
時に、前記平面に生じる屈曲振動定在波の節間に配設し
てなることを特徴とする請求項１、２又は３記載の超音
波駆動装置。
【請求項５】前記弾性部をフレーム部材に固定するため
の支持部を、前記弾性体の前記平面に生じる屈曲振動定
在波の節部の位置に設けたことを特徴とする請求項４記
載の超音波駆動装置。
【請求項６】前記弾性部をフレーム部材に固定するため
の支持部を、前記弾性体の前記平面に生じる屈曲振動定
在波及び縦振動定在波の節部の位置に設けたことを特徴
とする請求項４記載の超音波駆動装置。
【請求項７】前記縦振動を生起させる第１の圧電体と前
記屈曲振動を生起させる第２の圧電体とを配設してなる
ことを特徴とする請求項１記載の超音波駆動装置。
【請求項８】前記第２の圧電体は一対の圧電体からなる
ことを特徴とする請求項７記載の超音波駆動装置。
【請求項９】前記第１の圧電体に交流電圧を印加する第
１の電源と前記第２の圧電体に交流電圧を印加する第２
の電源とからなることを特徴とする請求項７又は８記載
の超音波駆動装置。
【請求項１０】前記回転抽出体が回転可能な円板からな
ることを特徴とする請求項１記載の超音波駆動装置。
【請求項１１】前記回転抽出体が回転可能なリングから
なることを特徴とする請求項１記載の超音波駆動装置。