JP4201407B2 - 圧電駆動要素を有する駆動装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、少なくとも2個の回転要素のための少なくとも1個の圧電駆動要素を有する駆動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の駆動装置は、例えば、DE 35 00 607 C2により公知である。この既知の駆動装置は、その厚み振動がひねり結合器によってにねじれ共振器のねじれ振動に変換される圧電厚み共振器を有する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このような構成には、ピエゾ体積が励起されるねじり共振器の体積よりも実質的に小さいので、効率が低いと言う問題がある。この既知の駆動装置における個々の回転要素の間の軸方向の距離は、ねじれ共振器の寸法によって決まってしまう。回転方向は、モーターユニットを軸に対して置き換えない限り反転できない。
【0004】
本発明の目的は、より高い効率を持ちかつ回転要素の位置決めの自由度が大きい第一パラグラフに定義されるタイプの新たな駆動装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、この目的は、少なくとも2個の回転要素のための少なくとも1個の圧電駆動要素を有する駆動装置において、前記圧電駆動装置が圧電共振器と前記圧電共振器上に配置されかつ互いに対向して配置されている少なくとも2個の摩擦要素とを有し、前記摩擦要素を有する前記圧電共振器が、前記2個の回転要素間に配置されかつプレローディング力により押さえられていて、前記摩擦要素の各々が前記回転要素の一方に作用し、かつ前記圧電共振器の振動モードを励起させる電気的手段が設けられていることにより達成されている。
【0006】
この電気的な手段により、圧電共振器と圧電共振器に固定されている摩擦要素とが、共に振動状態にセットされる。振動摩擦要素が、定期的に回転要素の1つに作用し、その結果、摩擦力が回転要素と摩擦要素の間に発生する。この摩擦力は、回転要素を回転させる。このプレロード力により、回転要素と摩擦要素との間の確実な係合が得られる。
【0007】
この駆動装置の場合、圧電共振器は摩擦要素によって直接回転要素に作用する。共振器を追加する必要はない。したがって、圧電駆動要素に必要な体積は、DE 35 00 607 C2の構成のそれよりも実質上小さい。得られる効率はかなり高く、10%程度にもなる。圧電共振器の形状は、長方形が望ましい。この形状により、圧電共振器を回転要素の間の軸方向の異なった距離に適合させることができる。この駆動装置の設計自由度は、大きい。使用される圧電駆動素子の数を変えることにより、ほとんど任意に回転要素の数を増加または減小させることができる。
【0008】
回転要素とは、回転可能な要素、例えば駆動軸または駆動ホイールを意味するものとする。
【0009】
本発明の有利な実施例の場合、圧電共振器は単一モード共振器である。単一モード共振器には、拡張モード共振器とたわみモード共振器の何れも使用できる。単一モード共振器が拡張モード共振器の形態を取りかつ2つの回転要素の間に挿入されている場合、回転要素が安定して回転するように2つの回転要素の間の結合線に対して拡張モード共振器の振動軸をわずか傾けておくのが望ましい。2つの回転要素は、同じ方向に回転する。
【0010】
これに代えて、単一モード共振器をたわみモード共振器にしても良い。2つの回転要素の安定した回転を確実にするために、たわみモード共振器は、2つの回転要素の間の結合線に平行にわずか位置をずらして配置させる。2つの回転要素は、たわみモード共振器の対向する摩擦要素により反対の方向に駆動される。
【0011】
請求項3に記載される本発明の有利な実施例の場合、圧電共振器はデュアルモード共振器である。デュアルモード共振器の各々の点は、二次元円形運動か楕円の回転運動を行うことができる。回転運動の方向は、電気的励起手段により励起を変えることによって変更させることができる。これにより、デュアルモード共振器によって簡単に2つの回転要素の回転方向を逆にすることが可能になる。デュアルモード共振器は、デュアルモード共振器の拡張モードの軸を2つの回転要素の間の結合線に実質的に一致させて、2つの回転要素の間に正確に対称的に配置させることが望ましい。デュアルモード共振器の摩擦要素は、楕円運動か円形運動を行い、次に、各々回転要素に単一方向の摩擦力を与える。この結果,2つの回転要素は、同じ回転方向に回転する。
【0012】
請求項6によると、2つの摩擦要素が楕円運動を行う様に駆動装置を設計するのが望ましい。楕円運動により、摩擦要素と回転要素の間に特に満足できる摩擦力を得ることが可能になる。楕円の縦軸が2つの回転要素の間の結合線に対して傾けられているときに、特にこれが顕著である。摩擦要素の動きの主方向を縦方向の対称軸に対して調整することができる。このようにして、請求項7に定義される本発明の有利な実施例を実現することが可能となる。本発明のこの有利な実施例の場合、摩擦要素の動きの主方向、すなわち、楕円の縦対称軸方向の動きの方向は、本質的には、当該回転要素の材料と当該摩擦要素の材料の摩擦角に対応している。このようにして、摩擦要素と回転要素の間の静摩擦を得、その結果駆動装置の最適効率を得ることが可能となる。最も大きい静摩擦力が、請求項8に定義される有利な実施例により得られる。請求項9に記載されている様に、28.8°の摩擦角を有する特に適切な材料は、酸化アルミニウムである。
【0013】
請求項4に定義される本発明の有利な実施例は、非常に簡単にかつ廉価に実現することができる。圧電板から突出している駆動部材によって、摩擦要素の振動の振幅が得られる。分極方向は、第一表面のすべての4つの電極で同一である。請求項5に記載されているように、デュアルモード共振器の2つの直交した振動の共振周波数は、互いに近接しているので、電気的に動作周波数を与えることによって2つの直交した振動を満足できる振幅と必要な位相で発生させることができる。この有利な実施例の場合、請求項4に記載される4つの電極のうちの2つと共通接地電極しか、電子制御回路に結合する必要が無い。そのため、電子制御回路が全体として必要とする部品が少なくなる。
【0014】
請求項10に記載される本発明の有利な実施例と請求項11に記載される本発明の有利な実施例とは、特にシェーバーの使用に適している。請求項10に記載される駆動装置は、3つの圧電駆動要素とそれらの駆動力が、3つの回転要素に対して対称的に配列されているという利点を有している。この結果、3つの回転要素のトルクも同じになる。
【0015】
請求項11の駆動装置は、3つの回転要素が2つの圧電駆動要素のみによって駆動される利点を有している。これにより、1つの圧電駆動要素を請求項10に記載される駆動装置から省略することが出来る。圧電駆動要素の両方に結合されている回転要素は、他の2つの回転要素より高いトルクを有している。しかしながら、シェーバーに関しては3つの回転要素は回転数が同一でありさえすれば良いので、このことがシェーバーでの使用に不利にはなることはない。請求項11に記載される駆動装置の場合、このことが確実に行われるように構成されている。請求項12の駆動装置の場合、3つの回転要素の1つが固定ベアリングでマウントされかつ他の2つの回転要素が浮動ベアリングでマウントされることが望ましい。固定ベアリングとは、駆動装置のハウジングに非可動にマウントされているベアリングを意味する。一方、浮動ベアリングは、駆動装置のハウジングに、例えば、スロットに移動可能な状態で設けられる。これにより、例えば、ハウジングと浮動ベアリングの間に配置されかつそのスプリング力が浮動ベアリングを介して当該圧電駆動要素に伝えられるスプリングを用いて、圧電駆動要素に対して浮動ベアリングを保持することが可能になる。
【0016】
請求項13に記載されるように、回転要素が2つの場合のベアリング構造も同様に実現することができる。
【0017】
【実施例】
本発明のいくつかの実施例が、図1〜7に関連した具体例によりより詳細に記述される。
【0018】
図1は、回転要素が2つの場合の駆動装置を示す。第一回転要素は第一駆動軸1であり、第二回転要素は第二駆動軸2である。第一駆動軸1と第二駆動軸2とは、互いに離れて配置されている。圧電駆動要素3は、第一駆動軸1と第二駆動軸2の間に配置されている。圧電駆動要素3は、第一側面4a、第二側面4b、第三側面4cおよび第四側面4dを有する長方形のデュアルモード圧電共振器4を備えている。この圧電共振器は、第一電極5a、第二電極5b、第三電極5cと第四電極5dを有している。4つの電極の5a、5b、5cおよび5dは、例えば、スクリーン印刷法により、圧電共振器の第一主表面6に設けられる。第一電極5aと第四電極5dは、第一ボンディングワイヤ7によって互いに電気的に接続され、第二電極5bと第三電極5cは、第二ボンディングワイヤワイヤ8によって電気的に互いに接続される。第一電極5aと第二電極5bは、圧電共振器4での振動を励起する電気信号を発生させる電気的制御ユニット9に結合される。第一駆動部材10は、例えば、粘着材によって、第三側面4cに中央で結合される。第二駆動部材11は、例えば、第四側面4dに、例えば粘着材によって中央で結合される。第一駆動部材10と第二駆動部材11は、酸化アルミニウムにより作られることが望ましい。
【0019】
図2は、圧電共振器4の側面を示す。圧電共振器4は、第一主表面6と第二主表面13とを有する第一圧電本体12を有する。第二主表面13は、接地電極5eで完全に覆われている。接地電極5eは、図示されない方法で同様に制御ユニット9に結合されている。圧電本体12の分極方向は、第一主表面6上の4つの電極5a、5b、5cおよび5dの下で同一である。分極の方向は、図2の2本の矢印によって示されている。
【0020】
図1で示されるように、第一駆動部材10と第二駆動部材11とを有する圧電共振器4は、第一駆動軸1と第二駆動軸2の間でプレロード力Fの下に保持されている。このプレロード力Fの結果、第一駆動部材10は、第一駆動軸1に押し付けられ、第二駆動部材11は第二駆動軸2に押し付けられている。第一駆動軸1と第二駆動軸2は、酸化アルミニウムの層でコーティングされている。電気信号を第一電極5aと接地電極5eに供給する制御ユニット9によって、デュアルモード振動を発生させるように圧電共振器4を励起させることが出来る。プレロード力F、圧電共振器4の幾可学的形状および第一駆動部材10と第一駆動軸1との間かつ第二駆動部材11と第二駆動軸2との間の摩擦係数は、圧電共振器4、第一駆動部材10と第二駆動部材11が楕円の回転運動を行なうように選択される。第一駆動部材10と第二駆動部材11は、摩擦力を各々第一駆動軸1と第二駆動軸2に与え、その結果第一駆動軸1と第二駆動軸2が回転する。第一駆動部材10と第二駆動部材11の楕円回転運動の回転方向が、同じなので、第一駆動軸1と第二駆動軸2は振動圧電共振器4によって同じ回転方向に駆動される。図1には、第一回転方向15が示されている。
【0021】
第一制御ユニット9から制御信号を第二電極5bと接地電極5eに与えることによって、圧電共振器4もまた図1で示される振動モードと反対に向く楕円振動モードを発生させることが出来る。この結果、図1に示される構成は、駆動軸を第一回転方向15と逆方向にも回転させることが出来る。このようにして、制御ユニット9からの制御信号を変えることのみで第一駆動軸1と第二駆動軸2の回転方向を反転させることができる。
【0022】
酸化アルミニウムの摩擦角は、28.8°である。プレロード力Fと圧電共振器4の幾可学的形状とは、楕円回転運動の間第一駆動部材10と第二駆動部材11がそれぞれ第一駆動軸1と第二駆動軸2に実質上28.8°の角度で接するように選択される。したがって、第一駆動部材10と第二駆動部材11の接触角は、実質上摩擦角に対応している。制御電圧が適切な場合には、静摩擦が、第一駆動部材10と第一駆動軸1との間かつ第二駆動軸2と第二駆動部材11との間に発生し、これにより最適速度が得られる。この結果、駆動装置の良好な効率が確実に実現される。
【0023】
第一駆動軸1と第二駆動軸2の速度とトルクは、第一制御ユニット9によって供給される電圧の振幅とプレロード力Fによって変化または調整させることが出来る。
【0024】
圧電共振器4の正確な構造と電気的制御の様々な可能性は、EP 633 616 A2に記載されているので、必要に応じ参照されたい。
【0025】
図3は、第一駆動軸20と第二駆動軸21を有する駆動装置を示す。単一モード圧電共振器22は、第一駆動軸20と第二駆動軸21の間に配置されている。圧電共振器22は、長方形でかつ第一電極23をその上面に有しかつ接地電極(図示せず)をその背面に有する。第一拡張モード23は、拡張振動の励起を可能にする形状を有している。圧電共振器22は、拡張モード共振器として構成されている。圧電共振器22は、その端面24aに第一駆動部材25を、その対向する端面24bに第二駆動部材26を有している。第一駆動部材25と第二駆動部材26は、粘着材によって圧電共振器22に固定されている。圧電共振器22は、電気的制御ユニット(図示せず)によって、二重矢27によって示される方向に拡張振動を発生させるように駆動される。圧電共振器22の縦対称軸28は、第一駆動軸20と第二駆動軸21の中心20aと21aとを結合する結合線29に対して角度α傾いている。第一駆動部材25と第二駆動部材26とを有する圧電共振器22は、第一駆動軸20と第二駆動軸21との間にプレロード力のFにより保持されている。振動モードの場合、第一駆動部材25と第二駆動部材26は、二重矢印27によって示される方向に第一駆動軸20と第二駆動軸21に微少の衝動を与える。この結果、これらの2つの回転軸は、同じ回転方向30に駆動される。
【0026】
図4は、第一駆動軸31と第二駆動軸32とを有する駆動装置を示す。第一回転軸31は中心3laを有し、第二回転軸32は中心32aを有している。長方形の圧電共振器33は、第一駆動軸31と第二駆動軸32の間に配置されている。圧電共振器33は、その上面に第一電極35を有し、その下側表面に接地電極(図示せず)を有する。第一電極35は、曲げ振動の励起を可能にする形状を有している。圧電共振器33は、電気的制御ユニット(図示せず)によって二重矢36によって示される方向に曲げ振動を発生させるように作動させることができる。圧電共振器33は、その端面33aに第一駆動部材37を、その端面33bに第二駆動部材38を有する。圧電共振器33の縦対称軸39は、第一駆動軸31の中心3laと第二駆動軸32の中心32aの結合線40に平行に配置される。
【0027】
振動モードの場合、圧電共振器33は、第一駆動部材37と第二駆動部材38と共に二重矢36によって示される方向に振動する。その結果、第一駆動部材37は微少の衝動を第一駆動軸31に与え、第二駆動部材38は微少の衝動を第二駆動軸32に与える。これにより、第一駆動軸31が第一回転方向41に回転し、第二駆動軸32が逆回転方向42に回転する。
【0028】
プレロード力Fが、圧電共振器33を第一駆動軸31と第二駆動軸32に矢印43の方向に押し付ける。
【0029】
図5は、第一駆動軸45、第二駆動軸46と第三駆動軸47を有しそれらが三角形に配置されている駆動装置を示す。第一圧電共振器48は、第一駆動軸45と第三駆動軸47との間に配置されていて、第二圧電共振器49は第二駆動軸と第三駆動軸47との間に配置されている。第一圧電共振器48と第二圧電共振器49は、図1に関して記述される構造のデュアルモード圧電共振器である。第一駆動軸45は浮動ベアリング50内に、第二駆動軸46bは第二浮動ベアリング51内に、そして第三駆動軸47は固定ベアリング52内に、各々マウントされている。第一浮動ベアリング50は、スロット53内で可動でかつスプリングによって第一圧電共振器48の方向に押し付けられている。スロット53は、駆動装置のハウジング(図示せず)内に形成されている。第二浮動ベアリング51は、スロット55内で可動でかつスプリング56によって第二圧電共振器49の方向に押されている。固定ベアリング52は、ハウジング(図示せず)にしっかり固定されている。第一圧電共振器48は、第一駆動軸45と勘合する第一駆動部材48aと、第三駆動軸47と勘合する第二駆動部材48bとを有する。第二圧電共振器49は、第二駆動軸46と勘合する第一駆動部材49aと、第三駆動軸47と勘合する第二駆動部材49bとを有する。
【0030】
第一駆動軸45は、このようにして、スプリング54のスプリング力によって第一圧電共振器48に対して弾力的に押し付けられている。この結果、第一圧電共振器48は、第一駆動軸45と第三駆動軸47との間に弾力的に保持されている。同様に、第二圧電共振器49は、第二駆動軸46と第三駆動軸47との間でスプリング56により弾力的に保持されている。
【0031】
第一圧電共振器48と第二圧電共振器49は、楕円振動するように制御ユニット(図示せず)によって励起させることが出来る。この結果、駆動部材48a、48b、49aおよび49bが、摩擦力を第一駆動軸45と第二駆動軸46と第三駆動軸47とに与える。3本の駆動軸45、46および47の回転方向は、図1に記述されるように、制御ユニット(図5では図示されていない)によって同一方向と逆方向にさせることが出来る。
【0032】
3本の駆動軸45、46および47の回転スピードは、実質的に等しい。第三駆動軸47が、第一圧電共振器48と第二圧電共振器49と協働するので、第三駆動軸47の利用可能なトルクは、第三駆動軸45と第二駆動軸46の利用可能なトルクよりも大となる。
【0033】
図6は、三角形に配置されている第一駆動軸60と第二駆動軸61と第三駆動軸62とを有する駆動装置を示す。第一駆動軸60は浮動ベアリング63に、第二駆動軸61は浮動ベアリング64に、そして第三駆動軸62は浮動ベアリング65に、各々マウントされている。第一圧電共振器66は、第一駆動軸60と第二駆動軸61の間に配置されている。第二圧電共振器67は、第一駆動軸60と第三駆動軸62の間に配置されている。第三圧電共振器68は、第二駆動軸61と第三駆動軸62の間に配置されている。第一圧電共振器66、第二圧電共振器67および第三圧電共振器68は、それぞれ、図1に示される構成のものである。浮動ベアリング63は、スプリング69によりハウジング(図示せず)に押し付けられている。浮動ベアリング64は、スプリング70によってハウジング(図示せず)に押し付けられていて、浮動ベアリング65は、スプリング71によってハウジング(図示せず)に押し付けられている。このようにして、第一圧電共振器66は、第一駆動軸60と第二駆動軸61の間に弾力的に保持されている。第二圧電共振器67は、第一駆動軸60と第三駆動軸62の間に弾力的に保持されている。第三圧電共振器68は、第二駆動軸61と第三駆動軸62の間に弾力的に保持されている。3個の圧電共振器66、67および68は、制御ユニット(図示せず)によって楕円振動をするように励起させることが出来る。これにより、第一駆動軸60、第二駆動軸61および第三駆動軸62は同じ回転方向に回転する。電気的制御ユニットによって簡単に回転方向を反転させることが出来る。図6に示されるように、駆動装置が完全に対称型の構成を持つので、利用可能なトルクと回転数は3本の駆動軸60、61および62について全て同一である。
【0034】
図7は、第一シェービングヘッド73と第二シェービングヘッド74と第三シェービングヘッド75とを有するシェーバーを示す。第一シェービングヘッド73と第二シェービングヘッド74と第三シェービングヘッド75とは、図5に示される駆動装置か図6で示される駆動装置により駆動される。
【図面の簡単な説明】
【図1】デュアルモード圧電共振器がプレロード力下の2本の駆動軸の間に保持されている2本の駆動軸のための駆動装置を線図的に示す。
【図2】図1の圧電共振器の側面図である。
【図3】拡張モード圧電単一モード共振器が2本の駆動軸の間に配置されている2本の駆動軸のための駆動装置を線図的に示す。
【図4】たわみモードの圧電モノラルモード共振器がプレロード力の下で2本の駆動軸の間に配置されている2本の駆動軸のための駆動装置を示す。
【図5】2個の圧電共振器が各々プレロード力の下で3本の駆動軸のうちの2本の駆動軸の間に配置されている3本の駆動軸のための駆動装置を示す。
【図6】3個の圧電共振器が各々プレロード力の下で3本の駆動軸のうちの2本の駆動軸の間に配置されている3本の駆動軸のための駆動装置を示す。
【図7】図5または図6に示される駆動装置が3本の駆動軸のために設けられていて、三角形の構成に配置されていてかつ各々が駆動軸により駆動される3個のカッターを備えたシェーバーを示す。
【符号の説明】
1 第一駆動軸
2 第二駆動軸
3 圧電駆動要素
4 デュアルモード圧電共振器
9 電気的制御ユニット
10 第一駆動部材
11 第二駆動部材
22 圧電共振器
20 第一駆動軸
21 第二駆動軸
25 第一駆動部材
26 第二駆動部材
33 圧電共振器
31 第一駆動軸
32 第二駆動軸
37 第一駆動部材
38 第二駆動部材
45 第一駆動軸
46 第二駆動軸
47 第三駆動軸
48 第一圧電共振器
49 第二圧電共振器
50 第一浮動ベアリング
51 第二浮動ベアリング
52 固定ベアリング
60 第一駆動軸
61 第二駆動軸
62 第三駆動軸
66 第一圧電共振器
67 第二圧電共振器
63 浮動ベアリング
64 浮動ベアリング
65 浮動ベアリング

Claims (13)

  1. 三角形に配置されている第1の回転要素、第2の回転要素、及び第3の回転要素を有する駆動装置であって、第1の圧電駆動要素が、前記第1の回転要素と前記第2の回転要素との間に配されていると共に、バイアス力によって弾力的に保持されており、前記第1の圧電駆動要素は、圧電共振器と、この圧電共振器上に設けられていると共に、相互に対向して配されている少なくとも2つの摩擦要素とを有しており、前記第1の圧電駆動要素の前記摩擦要素のうちの一方は、常に、前記第1の回転要素又は前記第2の回転要素の何れか一方に対して押し付けられており、前記圧電共振器の振動を生成する電気的手段が設けられている、駆動装置において、第2の圧電駆動要素が、前記第1の回転要素と前記第3の回転要素との間に配されていると共に、バイアス力によって弾力的に保持されており、前記第2の圧電駆動要素は、圧電共振器と、この圧電共振器上に設けられていると共に、相互に対向して配されている少なくとも2つの摩擦要素とを有しており、前記第2の圧電駆動要素の前記摩擦要素のうちの一方は、常に、前記第1の回転要素又は前記第3の回転要素の何れか一方に対して押し付けられていることを特徴とする、駆動装置
  2. 第3の圧電駆動要素が、前記第2の回転要素と前記第3の回転要素との間に配されていると共に、バイアス力によって弾力的に保持されており、前記第3の圧電駆動要素は、圧電共振器と、この圧電共振器上に設けられていると共に、相互に対向して配されている少なくとも2つの摩擦要素とを有しており、前記第3の圧電駆動要素の前記摩擦要素のうちの一方は、常に、前記第1の回転要素又は前記第3の回転要素の何れか一方に対して押し付けられていることを特徴とする、請求項1に記載の駆動装置
  3. 前記圧電共振器がデュアルモード共振器であることを特徴とする請求項1又は2に記載の駆動装置。
  4. 前記圧電駆動要素が、第一主面と第二主面とを有する実質上の圧電板を有し、前記第一主面が、少なくとも4個の電極を有し、かつ前記第二主面が少なくとも1個の電極を有し、1個の電極が前記第一主面の各四分円に配置されていて、かつ前記摩擦要素が前記圧電板から突出する駆動部材として構成されていることを特徴とする請求項3に記載の駆動装置。
  5. 前記圧電共振器の幾何学形状を、前記圧電共振器の2個の共振周波数が、一方の共振周波数が励起されると他方の共振周波数も同様に励起されるように互いに近接するように選択することを特徴とする請求項3に記載の駆動装置。
  6. 前記バイアス力と、前記圧電共振器の幾何学形状と、前記摩擦要素と前記回転要素との間の摩擦係数とが、前記2個の摩擦要素が実質上楕円回転運動を行うように選択され、前記楕円の対称の長軸が前記2個の回転要素間の前記結合線に対して傾けられていることを特徴とする請求項3に記載の駆動装置。
  7. 前記バイアス力と、前記圧電共振器の幾何学形状と、前記摩擦要素と前記回転要素との間の摩擦係数とが、前記摩擦要素の動きの主方向が回転要素と前記摩擦要素との間の摩擦角に実質上対応していることを特徴とする請求項6に記載の駆動装置。
  8. 前記摩擦角が15°〜35°の範囲にあるように、前記回転要素と前記摩擦要素の材料を選択することを特徴とする請求項7に記載の駆動装置。
  9. 前記摩擦要素および/または前記回転要素の前記表面が、酸化アルミニウムからなることを特徴とする請求項1又は2に記載の駆動装置。
  10. 前記3個の回転要素の内の1個が固定ベアリングにマウントされていて、他の2個の回転要素が其々浮動ベアリングにマウントされていて、前記2個の圧電駆動要素が、前記第一ベアリングにマウントされている前記回転要素と前記浮動ベアリングにマウントされている前記回転要素の一方との間に其々配置されていて、かつ前記浮動ベアリングが前記バイアス力によって各圧電駆動要素に対して弾力的に保持されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の駆動装置。
  11. 前記圧電板の長さと幅の比が、 1:3 1:4 の間にあることを特徴とする請求項4に記載の駆動装置。
  12. 請求項1又は2に記載の駆動装置を含むシェーバ。
  13. 請求項1又は2に記載の駆動装置を含む家庭電化製品。
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