JP2759805B2 - 振動子型アクチュエータ - Google Patents
振動子型アクチュエータInfo
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- JP2759805B2 JP2759805B2 JP63231727A JP23172788A JP2759805B2 JP 2759805 B2 JP2759805 B2 JP 2759805B2 JP 63231727 A JP63231727 A JP 63231727A JP 23172788 A JP23172788 A JP 23172788A JP 2759805 B2 JP2759805 B2 JP 2759805B2
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- Japan
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- vibrator
- piezoelectric vibrator
- piezoelectric
- voltage
- vibration displacement
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、銀行カードなどのカードを読み取る機械に
おいて該カードを移送したりするのに用いて好適なアク
チュエータに関し、特に電気機械変換素子として圧電振
動子を用いる振動子型アクチュエータに関する。
おいて該カードを移送したりするのに用いて好適なアク
チュエータに関し、特に電気機械変換素子として圧電振
動子を用いる振動子型アクチュエータに関する。
（従来の技術と課題） 電気エネルギを機械エネルギに変換する電気機械変換
手段として圧電振動子を用いる振動子型アクチュエータ
のうちでは超音波モータがよく知られている。超音波モ
ータには、電磁力で回転する電磁モータより回転速度が
低く、トルクが大きいという特徴があるから、精密機械
のアクチュエータとして用途は広い、 ところが従来から知られている超音波モータは、圧電
振動子等の機械構造や圧電振動子を励振する電気回路が
複雑であり、小型化が難しく、また高価であった。
手段として圧電振動子を用いる振動子型アクチュエータ
のうちでは超音波モータがよく知られている。超音波モ
ータには、電磁力で回転する電磁モータより回転速度が
低く、トルクが大きいという特徴があるから、精密機械
のアクチュエータとして用途は広い、 ところが従来から知られている超音波モータは、圧電
振動子等の機械構造や圧電振動子を励振する電気回路が
複雑であり、小型化が難しく、また高価であった。
小型化が容易で安価に製造できる振動子型アクチュエ
ータとしては、本願発明者と同一人により発明され特許
出願された「振動子型アクチュエータ」（特願昭63−12
9122号、63−157506号）がある。これら既出願の振動子
型アクチュエータで用いる圧電振動子は円柱型である
が、用途によっては直方形圧電振動子の方が実装し易く
て便利な場合も多い。
ータとしては、本願発明者と同一人により発明され特許
出願された「振動子型アクチュエータ」（特願昭63−12
9122号、63−157506号）がある。これら既出願の振動子
型アクチュエータで用いる圧電振動子は円柱型である
が、用途によっては直方形圧電振動子の方が実装し易く
て便利な場合も多い。
圧電振動子が直方形（角板形や角柱形）であって、現
在までに発表されている超音波モータには次のものがあ
る。
在までに発表されている超音波モータには次のものがあ
る。
正方形板の、同形縮退された面内屈曲振動モード
（Flexural−Flexuralmode）を利用したもの（富川
他：“面内振動の多重モード振動子利用による超音波モ
ータ”、US87−32（1987））。
（Flexural−Flexuralmode）を利用したもの（富川
他：“面内振動の多重モード振動子利用による超音波モ
ータ”、US87−32（1987））。
正方形状圧電セラミックスの、２つの垂直振動（Be
nding−Bendingmode）により、楕円運動を得るタイプの
もの（富川 他：“超音波モータの構成とその一応
用”、US87−５（1987））。
nding−Bendingmode）により、楕円運動を得るタイプの
もの（富川 他：“超音波モータの構成とその一応
用”、US87−５（1987））。
これら２種類については、特性結果は報告されていな
い。
い。
圧電セラミックス単体の角柱（角棒）にストリップ
状の電極を形成し、その電極で分極と励振を行う、同形
縮退型２重モード屈曲振動子を用いる超音波リニアモー
タ（谷口、清水：“圧電セラミックス音片型超音波リニ
アモータ”、音講論集、62.10）。
状の電極を形成し、その電極で分極と励振を行う、同形
縮退型２重モード屈曲振動子を用いる超音波リニアモー
タ（谷口、清水：“圧電セラミックス音片型超音波リニ
アモータ”、音講論集、62.10）。
楕円運動駆動の場合：入力141V,0.89W,f＝21.7kHzのと
き最大速度16cm/s、最大推力60gw 直線運動駆動の場合：入力283V,0.93W,f＝22.3kHzのと
き最大速度7.6cm/s、最大推力75gw 第５図は上記の超音波モータを説明する図であり、
同図（ａ）は圧電振動子の斜視図、同図（ｂ）は圧電振
動子における分極および励振の方向を示す概念図、同図
（ｃ）はその圧電振動子における振動モードを示す概念
図、同図（ｄ）および（ｅ）はそれぞれその超音波モー
タの平面図および側面図である。
き最大速度16cm/s、最大推力60gw 直線運動駆動の場合：入力283V,0.93W,f＝22.3kHzのと
き最大速度7.6cm/s、最大推力75gw 第５図は上記の超音波モータを説明する図であり、
同図（ａ）は圧電振動子の斜視図、同図（ｂ）は圧電振
動子における分極および励振の方向を示す概念図、同図
（ｃ）はその圧電振動子における振動モードを示す概念
図、同図（ｄ）および（ｅ）はそれぞれその超音波モー
タの平面図および側面図である。
ところが、上記〜の超音波モータでは圧電振動子
等の機械構造や圧電振動子を励振する電気回路が複雑で
あり、小型化や価格に難点がある。
等の機械構造や圧電振動子を励振する電気回路が複雑で
あり、小型化や価格に難点がある。
そこで、本発明の目的は、構造が簡単で、小型化が容
易で、安価に製作でき、圧電振動子が直方形である振動
子型アクチュエータの提供にある。
易で、安価に製作でき、圧電振動子が直方形である振動
子型アクチュエータの提供にある。
（課題を解決するための手段） 前述の課題を解決するために本発明が提供する手段
は、圧電振動子と、前記圧電振動子が交流電圧を印加さ
れることにより生ずる振動変位に基づき動作する移動子
を備える振動子型アクチュエータであって、前記圧電振
動子は、ほぼ立方体に成形されたセラミック圧電体と、
このセラミック圧電体の分極軸に垂直な２つの端面に固
着されている一対の電極から成り、前記圧電振動子は、
前記圧電振動子の共振周波数のうちの１つとほぼ等しい
周波数を有する前記交流電圧を前記一対の電極に印加さ
れることにより、前記セラミック圧電体の４つの側面に
おいて前記分極軸と平行な方向または垂直な方向に、前
記移動子の動力源となる前記振動変位を生じ、前記振動
変位の方向は前記交流電圧の前記周波数によって制御さ
れ、前記振動変位の大きさは前記交流電圧の大きさによ
って制御され、前記移動子は前記セラミック圧電体の前
記分極軸に平行な前記４つの側面のうちの少なくとも１
つに接触していることを特徴とする。
は、圧電振動子と、前記圧電振動子が交流電圧を印加さ
れることにより生ずる振動変位に基づき動作する移動子
を備える振動子型アクチュエータであって、前記圧電振
動子は、ほぼ立方体に成形されたセラミック圧電体と、
このセラミック圧電体の分極軸に垂直な２つの端面に固
着されている一対の電極から成り、前記圧電振動子は、
前記圧電振動子の共振周波数のうちの１つとほぼ等しい
周波数を有する前記交流電圧を前記一対の電極に印加さ
れることにより、前記セラミック圧電体の４つの側面に
おいて前記分極軸と平行な方向または垂直な方向に、前
記移動子の動力源となる前記振動変位を生じ、前記振動
変位の方向は前記交流電圧の前記周波数によって制御さ
れ、前記振動変位の大きさは前記交流電圧の大きさによ
って制御され、前記移動子は前記セラミック圧電体の前
記分極軸に平行な前記４つの側面のうちの少なくとも１
つに接触していることを特徴とする。
（実施例） 次に実施例を挙げ本発明を詳しく説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。この
実施例は圧電振動子１と、ロータ２と、ロータ２を圧電
振動子１に押し付ける圧接手段（図示せず）とからなっ
ている。そして、圧電振動子１はセラミックの圧電体11
と、電極12,13とからなっており、ロータ２には回転軸2
1が設けてある。圧電体11の形状は一辺が5mmの立方体で
ある。ヤング率をY33 E（N/m2）、密度をρ（kg/m3）、
ポアソン比をσとすると、圧電体11の材料定数はY33 E＝
7.7×1010,ρ＝7.6×103,σ＝0.28である。圧電体11の
分極軸は電極12,13に垂直な方向にある。
実施例は圧電振動子１と、ロータ２と、ロータ２を圧電
振動子１に押し付ける圧接手段（図示せず）とからなっ
ている。そして、圧電振動子１はセラミックの圧電体11
と、電極12,13とからなっており、ロータ２には回転軸2
1が設けてある。圧電体11の形状は一辺が5mmの立方体で
ある。ヤング率をY33 E（N/m2）、密度をρ（kg/m3）、
ポアソン比をσとすると、圧電体11の材料定数はY33 E＝
7.7×1010,ρ＝7.6×103,σ＝0.28である。圧電体11の
分極軸は電極12,13に垂直な方向にある。
第２図（ａ），（ｂ）は周波数ｆが248.2kHZ,348.2kH
zの交流電圧を第１図実施例の電極12と13との間に印加
したときに、その実施例の圧電体11の表面に生じる振動
変位を矢印で示す概念図である。
zの交流電圧を第１図実施例の電極12と13との間に印加
したときに、その実施例の圧電体11の表面に生じる振動
変位を矢印で示す概念図である。
第３図は、第１図実施例における圧電振動子１に200
〜600kHzの交流電圧を印加したときに、その圧電振動子
が示すアドミッタンスの周波数特性図である。本図から
明らかなように、この圧電振動子１は周波数f1,f2にお
いて共振しており、これら周波数において大きな振動変
位が現われる。そのf1が248.2kHZ,f2348.2kHzであり、
この周波数で圧電振動子１を励振すると、前に述べたよ
うに第２図に矢印で示す如くに振動変位が起こる。
〜600kHzの交流電圧を印加したときに、その圧電振動子
が示すアドミッタンスの周波数特性図である。本図から
明らかなように、この圧電振動子１は周波数f1,f2にお
いて共振しており、これら周波数において大きな振動変
位が現われる。そのf1が248.2kHZ,f2348.2kHzであり、
この周波数で圧電振動子１を励振すると、前に述べたよ
うに第２図に矢印で示す如くに振動変位が起こる。
第１図実施例は第２図の振動変位を回転力として取り
出すアクチュエータであり、ロータ２は回転軸21の回り
に第１図の矢印の向きに回転する。
出すアクチュエータであり、ロータ２は回転軸21の回り
に第１図の矢印の向きに回転する。
なお、第１図には、ロータ２を圧電体11に安定に接触
させる手段は示されていないが、例えば、回転軸21の軸
受けをスプリングで圧電体11の方向に押し付ければよ
く、常套手段なので、詳しい説明は省略する。
させる手段は示されていないが、例えば、回転軸21の軸
受けをスプリングで圧電体11の方向に押し付ければよ
く、常套手段なので、詳しい説明は省略する。
第１図実施例のロータ２をカードに接触させる構造を
採用することにより、銀行の金銭自動引き出し機などに
本実施例は利用できる。なお、ロータ２には硬質プラス
チックや金属などの如く硬い材料が適しており、カード
に直接に触れてはカードに損傷を与えることがあり得
る。そのようなおそれを除くには、ゴム等でなる第２の
ロータを設け、ロータ２の回転をその第２のロータに伝
え、第２のロータをカードに接触させればよい。
採用することにより、銀行の金銭自動引き出し機などに
本実施例は利用できる。なお、ロータ２には硬質プラス
チックや金属などの如く硬い材料が適しており、カード
に直接に触れてはカードに損傷を与えることがあり得
る。そのようなおそれを除くには、ゴム等でなる第２の
ロータを設け、ロータ２の回転をその第２のロータに伝
え、第２のロータをカードに接触させればよい。
第４図は、第１図実施例の圧電振動子１に周波数ｆが
348.2kHzの交流電圧を印加してロータ２を回転させたと
きにおける印加電圧とロータの回転速度との関係を示す
図である。本図から明らかなように、実施例ではロータ
２の回転速度は印加電圧で広範囲に制御できる。
348.2kHzの交流電圧を印加してロータ２を回転させたと
きにおける印加電圧とロータの回転速度との関係を示す
図である。本図から明らかなように、実施例ではロータ
２の回転速度は印加電圧で広範囲に制御できる。
（発明の効果） 以上に実施例を挙げて詳しく説明したように、本発明
では圧電振動子の形が直方形で機器に実装し易く、構造
が簡単であり、しかも小形（実施例は一辺5mmの立方体
とそれより更に小さいロータでなる）である。したがっ
て、本発明のアクチュエータは安価に製造できる。
では圧電振動子の形が直方形で機器に実装し易く、構造
が簡単であり、しかも小形（実施例は一辺5mmの立方体
とそれより更に小さいロータでなる）である。したがっ
て、本発明のアクチュエータは安価に製造できる。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第１
図実施例における圧電振動子１に現れる振動変位を示す
概念図、第３図は第１図実施例における圧電振動子１の
周波数−アドミッタンス関係を示す特性図、第４図は第
１図実施例における印加電圧とロータ回転速度の関係を
示す図、第５図は従来の振動子型アクチュエータの一種
である超音波モータを説明する図である。 １……圧電振動子、２……ロータ、11……セラミック圧
電体、12,13……電極、21……ロータの回転軸。
図実施例における圧電振動子１に現れる振動変位を示す
概念図、第３図は第１図実施例における圧電振動子１の
周波数−アドミッタンス関係を示す特性図、第４図は第
１図実施例における印加電圧とロータ回転速度の関係を
示す図、第５図は従来の振動子型アクチュエータの一種
である超音波モータを説明する図である。 １……圧電振動子、２……ロータ、11……セラミック圧
電体、12,13……電極、21……ロータの回転軸。
Claims (1)
- 【請求項１】圧電振動子と、前記圧電振動子が交流電圧
を印加されることにより生ずる振動変位に基づき動作す
る移動子を備える振動子型アクチュエータにおいて、 前記圧電振動子が、ほぼ立方体に成形されたセラミック
圧電体と、このセラミック圧電体の分極軸に垂直な２つ
の端面に固着されている一対の電極から成り、 前記圧電振動子は、前記圧電振動子の共振周波数のうち
の１つとほぼ等しい周波数を有する前記交流電圧を前記
一対の電極に印加されることにより、前記セラミック圧
電体の４つの側面において前記分極軸と平行な方向また
は垂直な方向に、前記移動子の動力源となる前記振動変
位を生じ、前記振動変位の方向は前記交流電圧の前記周
波数によって制御され、前記振動変位の大きさは前記交
流電圧の大きさによって制御され、 前記移動子は、前記セラミック圧電体の前記分極軸に平
行な前記４つの側面のうちの少なくとも１つに接触して
いることを特徴とする振動子型アクチュエータ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63231727A JP2759805B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 振動子型アクチュエータ |
| US07/357,733 US4999536A (en) | 1988-05-26 | 1989-05-26 | Vibrator-type actuator |
| EP89305351A EP0344008B1 (en) | 1988-05-26 | 1989-05-26 | Vibrator-type actuator |
| DE68917525T DE68917525T2 (de) | 1988-05-26 | 1989-05-26 | Antriebsanordnung vom Schwingungstyp. |
| US07/655,102 US5130599A (en) | 1988-05-26 | 1991-02-14 | Vibrator-type actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63231727A JP2759805B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 振動子型アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0284077A JPH0284077A (ja) | 1990-03-26 |
| JP2759805B2 true JP2759805B2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=16928082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63231727A Expired - Fee Related JP2759805B2 (ja) | 1988-05-26 | 1988-09-16 | 振動子型アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2759805B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4851100B2 (ja) * | 2005-02-21 | 2012-01-11 | 株式会社アイエイアイ | 超音波浮上装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5832518B2 (ja) * | 1975-09-01 | 1983-07-13 | キエフスキ−．ポリチエフニチエスキ−．Ｉｎｓｔ．イメニ．５０−レチア．ベリコイ．オクチヤブルスコイ．ソシイアリスチチエスコイ．レボリユツイ− | 圧電モ−タ |
-
1988
- 1988-09-16 JP JP63231727A patent/JP2759805B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0284077A (ja) | 1990-03-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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