JPS63294279A

JPS63294279A - 圧電駆動装置

Info

Publication number: JPS63294279A
Application number: JP62130314A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Shimizu; 洋清水; Takashi Takada; 高田　孝; Masateru Ishibashi; 誠輝石橋
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1987-05-25
Filing date: 1987-05-25
Publication date: 1988-11-30
Also published as: JPH0470876B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野〕この発明は、圧電素子を用いた往復動型または回転型等
の圧電駆動装置に関するものである。

〔背景技術〕

従来、圧電素子を用いた超音波モータとして、特公昭５
９−０３７６７２号公報に示されるものがある。

これは、圧電素子を振動体に貼りつげて縦振動を発生さ
せ、振動体の先端部に傾きを持った駆動片を形成し、そ
の先端部が前記縦振動によって楕円運動を行い、円板と
接触することにより、摩擦力により円板を回転させるも
のである。

しかし、この従来構造であると、回転方向が駆動片の傾
き方向によって決まってしまい、また駆動片の先端部は
細く、摩擦のために摩耗も大きく、寿命的にも問題があ
る。

また、他の従来例として、特開昭５８−１４８６８２号
公報に示されるものがある。この例は、圧電素子の全体
振動を振動体に伝え、一方の波形をもう一方の波形と９
０’位相をずらせて振動させることにより、振動体表面
に進行波を発生させ、その上にロータを接触させること
により、摩擦でロータを回転させるものである。

この例によると、逆転も可能であるが、常に振動子全体
にエネルギを与える必要があり、しかも圧電素子の振動
体に貼着された面と反対側の面の振動は吸収してやる必
要がある。このためエネルギロスが大きく、効率向上に
難がある。また、リニアモータの形成には進行波を循環
させる方策を取らなければ、エネルギロスが大きすぎて
問題に成らず、その循環方法も極めて難しい。

〔発明の目的〕・この発明は、低消費電力で効率良く機械的駆動力を得る
ことができ、かつ接触点が多点化されて摩耗が軽減され
、また安定駆動が可能な圧電駆動装置を提供することを
目的とする。

〔発明の開示〕

この発明の圧電駆動装置は、弾性をイ１する材料にて口
字状または口字状に形成され、かつ一対の対向辺の断面
形状が各々ほぼ方形である振動体を少なくとも１個備え
、さらに前記振動体は前記各対向辺の少なくとも隣合う
２面に圧電素子部を有してなり、この圧電素子部に所定
の高周波電圧が印加されて前記対向辺が屈曲振動により
共振する振動子と、前記各対向辺の隣合う圧電素子部に位相差を持たせて高
周波電圧を印加する電源装置と、前記振動子の対向辺の
各１面に接触される接触部材とを備え、前記振動体の前記対向辺の最大振幅部と前記接触部材の
前記対向辺と接触する部分の少なくとも一部とのいずれ
か一方を永久磁石とし、他方を磁性体とし、前記振動体の前記対向辺の最大振幅部と前記接触部材の
前記対向辺と接触する部分の少なくとも一部とのいずれ
か一方を永久磁石とし、他方を磁性体とし、前記振動子の対向辺の最大振幅点が円または楕円運動を
することにより、前記接触部材または振動子のいずれか
が駆動されるものである。

前記圧電素子部は、前記振動体に圧電素子を貼着して形
成したものであっても、また前記振動体を圧電材料にて
形成して、この圧電材料に直接に電極を形成したもので
あってもよい。

この発明の構成によると、各振動体の各対向辺の隣合う
２面に設ｉ−１だ圧電素子部に位相差を持たせた高周波
電圧を印加するので、各対向辺は最大振幅点が円または
楕円運動をする。この対向辺の１面に接触部材が接触す
るので、摩擦力でこの接触部材または振動子のいずれか
が駆動され、機械的駆動力が得られる。

この場合に、各振動体は口字状または口字状としである
ので、その両射向辺が互いに共振し、大きな振幅が得ら
れる。そのため、電気的エネルギを効率良く機械的駆動
力に変換できる。

また、振動体と接触部材とが永久磁石と磁性体とで接す
るようにしているので、磁力により両者の間に安定した
接触力が得られ、前記摩擦力による駆動が確実となる。

しかも、振動体の円または楕円運動に伴なって磁力によ
る移動力が前記摩擦力による進行方向と同方向に与えら
れる。そのため、摩擦力と磁力とが加わった駆動力が得
られることになり、効率の良い駆動ができる。しかも、
永久磁石を設けたという簡単な構造で、この効率向上が
図れる。

さらに、振動体の共振は、２本の対向辺が連続した基端
部において非振動状態となるように行われるので、基端
部を支持部とすることにより、支持によって振動を妨げ
ることがなく、このことがらも高効率が得られる。また
、このように振動体に振動しない箇所があることから、
振動子と接触部材のいずれを固定側としても可動側とし
ても用いることができる。さらに、振動体は２木の対向
辺を有し、この部分で接触部材に接するので、接触点が
多点化される。そのため、摩耗が軽減され、かつ安定し
た駆動が可能となる実施例この発明の第１の実施例を第１図ないし第６図に基づい
て説明する。この圧電駆動装置は、リニアモータに適用
した例であり、金属弾性材料にて口字状に形成されしか
も一対の対向辺３の断面形状が各々方形である１個の振
動体２がらなり、この振動体２は前記各対向辺３の隣合
う２面に圧電素子を貼着して圧電素子部４が形成され、
この圧電素子部４に所定の高周波電圧が印加されると対
向辺３が屈曲振動により共振する振動子１と、各対向辺
３の隣合う圧電素子部４に位相差を持たせて高周波電圧
を印加する電源装置５と、振動子１の対向辺３の各１面
に設けた永久磁石７と、この永久磁石７と接触せしめら
れる磁性体よりなる接触部材６とを備え、振動子１の対
向辺３の最大振幅点が円または楕円運動をすることによ
り、接触部材６または振動子１のいずれかが駆動される
ものである。この場合、永久磁石７の円または楕円運動
によって接触部材６との間に磁束の変化が生じ、円また
は楕円運動に伴なって接触および磁力により駆動される
。また、振動子１と接触部材６との間に磁力で接触力が
得られる。

振動体２はニリン八等の恒弾性体を用いているが、精度
や大振幅が不要のときは、一般の鋼材を用いても良く、
またその他の金属やセラミック等を用いることもできる
。振動体２が磁性体であれば、磁束の変化量が大きく、
駆動効率が向上する。

振動体２の各対向辺３の断面形状は方形であるが、各角
部に面取りを施して８角形状の断面形状としてもよく、
また面取りの代りに角部を丸めてもよい。要は、対向辺
３は互いに直角に隣合う４面を有する断面形状であれば
よい。振動体２の基端部２ａは、固定しても振動に影響
を与えない長さをとり、第２図のように基台２１に固定
しである。基台２１に対し、接触部材６は相対的に第１
図の矢印Ｐ方向へ進退移動自在にガイド手段（図示せず
）で支持しである。接触部材６ば、対抗辺３の圧電素子
部４が貼着されていない各１面における先端部であるＸ
点および７点（第４図（Ｂ））に接するように配置しで
ある。なお、必ずしも先端部に接するようにしなくても
よい。また、接触部材６は、対抗辺３の圧電素子部４が
貼着された１面における圧電素子部４の貼着されていな
い部分に接触するようにしてもよい。さらに、振動子１
は、振動体２の一対の対抗辺３の３面または４面に圧電
素子部４を貼着し、対向辺３の圧電素子部４が貼着され
ていない１面、または圧電素子部４が貼着された１面に
おける圧電素子部４の貼着されていない部分に接触部材
６が接するようにしてもよい。これらの例において、対
向辺３の圧電素子部４が貼着された面に、絶縁部材を介
して接触部材６が接するようにしてもよい。

電源装置５は、第６図に示すように高周波電源８と９０
°位相器９とを有し、各圧電素子部４（４，〜４４）に
同図のように電圧を印加する。

同図の＋、−の符号は分極方向を示す。

動作振動体２の２木の対向辺３の各圧電素子部４１〜４４に
、第６図の電源装置５で高周波電圧を印加して励振する
と、各対向辺３はそれぞれの圧電素子部４１〜４４の励
振に従って縦および横方向に振動する。このとき圧電素
子部４□、４４には圧電素子部４．．４３よりも９０°
位相を遅らせた電圧を印加すると、振動子１０対向辺３
の先端部のＸ点、Ｙ点は、第５図の様な円または楕円軌
道を描いて運動する。したがって、対向辺３の１面に接
触部材６が接触するように配置しであると、接触部材６
は矢印Ｐ方向に直線的に移動する。Ｘ点、Ｙ点の楕円軌
道の偏平度は、対向辺３の曲げ方向による曲げ剛性の違
いや、各圧電素子部４１〜４４に印加する電圧の大きさ
１位相差等により調整できる。

圧電素子部４２．４４に９０°進み位相の電圧を印加す
れば、第５図と反対回りの軌道を描くことになり、接触
部材６は矢印Ｐと逆方向に移動する。

この時、振動子の先端部の永久磁石７と磁性体よりなる
接触部材６は、互いに吸引し合って一定の接触力を維持
し、さらに振動子１の円または楕円運動に従って永久磁
石７の磁束変化により接触部材６が移動する。すなわち
、前記接触力による摩擦駆動力と磁力による駆動力とを
加えた駆動力を得ることができる。

このように動作するが、各振動体２はコ字状としである
ので、その側対向辺３が互いに共振し、大きな振幅が得
られる。そのため、電気的エネルギを効率良く機械的駆
動力に変換できる。また、振動体２の共振は、２木の対
向辺３が連続した基端部２ａにおいて第３図（Ａ）のよ
うに非振動状態となるように行われるので、基端部２ａ
を支持部とすることにより、支持によって振動を妨げる
ことがなく、このことからも高効率が得られる。

また、このように振動体２に振動しない箇所があること
から、振動子１と接触部材６のいずれを固定側としても
可動側としても用いることができる。

さらに、振動体２は２木の対向辺３を有し、この部分で
接触部材６に接するので、接触点が多点化される。その
ため、摩耗が軽減され、かつ安定した駆動が可能となる
。

この実施例では、対向辺３を第３図（Ａ）のように１次
モートで振動させる場合につき説明したが、第３図（Ｂ
）、　　（Ｃ）に示すように、２次モードや３次モート
等、高次モードで振動させると、対向辺３の接触部材６
に対する接触点をより一層多くできる。これにより、接
触点における摩耗をより一層少なくし、かつ動作の安定
を図ることができる。１次モードは、対向辺３の長手方
向につき、１枚の圧電素子部４を貼り付けた場合に発生
する。２次モードは、この１枚の圧電素子部４を長手方
向に２分割し、分極方向を反対にして貼付けたときに発
生する。３次モードは、１枚の圧電素子部４を長手方向
に３分割し、中央の分割圧電素子と両側の分割圧電素子
の分極方向を反対として貼り付け、各分割圧電素子の同
一面側の電極を共通として同一の電圧を印加したときに
発生する振幅モードを示す。

なお、第１図ないし第６図に示した第１の実施例では、
振動子１側に永久磁石７を設レジ、接触部材６を磁性体
としたが、この逆に接触部材６を永久磁石とし、振動子
１を単に磁性体としてもよい。

前記磁性体は永久磁石を含むものであり、接触部材６と
振動子１の両方を永久磁石としてもよい。

第７図以下に説明する各実施例においても、接触部材と
振動子のいずれを永久磁石としてもよい。

要は、振動体の対向辺の最大振幅部と振動子の前記対向
辺と接触する部分の少なくとも一部とのいずれか一方を
永久磁石とし、他方を磁性体としてあればよい。

第７図は、１個の口字状の振動体２からなる振動子１を
用いて回転モータとした実施例を示す。

永久磁石よりなる接触部材１６は円板状に形成し、その
軸１８を軸受１９で基台１７に回転自在に支持しである
。磁性体よりなる振動子１は、基端部２ａで基台１７の
立片部分に固定しである。振動子１の２本の対向辺３は
接触部材１６と平行に配置し、その先端部が接触部材１
６の外周縁に位置するようにする。対向辺３の先端には
摩擦片２０をつけ、２木の振動子３が同方向に円運動す
るように振動させ、接触部材１６が回転するようにしで
ある。その他は第１の実施例と同様である。

第８図および第９図は、２個の口字状の磁性体よりなる
振動体２を間隔を開けて重合的に配置し、上下の振動体
２の間に永久磁石よりなる接触部材６′を配置したもの
である。上下の振動体２は互いに基端部２ａでスペーサ
（図示せず）を介して重ね合わせである。なお、スペー
サを用いずに基台（図示せず）に各振動体２を個別に取
付けてもよい。再振動体２の対向辺３の各点ｍ、ｎ、ｐ
。

ｑは、圧電素子部４により第９図のように振動させられ
、接触部材６′は上下両面で各対向辺３に接して直進駆
動される。この場合、２個の振動体２で駆動するので、
より一層大出力の駆動力が得られ、かつ動作が安定する
。その他は、第１の実施例と同様である。再振動体２は
、第１０図のように基端部２ａ′で互いに一体化させ、
１個の振動子１′としてもよい。

第１１図は、２個の口字状の振動体２を互いに反対向き
として一体のＨ形の振動子１“を構成した例である。こ
の振動子１″は、例えば第１２図のように用いる。すな
わち、磁性体よりなる振動子１“の中心部に軸３１を固
定し、軸３１は基台３７に固定し、軸受３８の装着され
た円板状の永久磁石よりなる接触部材３６を軸３１に嵌
めて回転自在とし、４本の対向辺３の先端を接触部材３
６の外周縁に配置する。そして、各圧電素子部４により
、４本の対向辺３の先端が同じ方向に円運動するように
撓ませることにより、接触部材３６が回転し、回転型の
モータを構成する。その他は第１の実施例と同様である
。

第１３図ないし第１５図は、１個の口字状の振動体１０
２からなる振動体１０１を用いた実施例を示す。この例
では、１次モードの振動とした場合、対向辺１０３の中
央部の点が円または楕円運動し、その平面部に接触部材
１０６を接触させると、中央部の円または楕円運動によ
り、接触部材１０６は移動することになる。接触部材１
０６は矢印Ｑ方向に直接的に進退自在に支持してリニア
モータとすることもでき、また接触部材１０６を回転自
在に支持して回転型モータとすることもできる。この例
の場合、１次モードでは第１５図（Ａ）のような振動と
なり、２次モードおよび３次モードではそれぞれ第１５
図（Ｂ）、　　（Ｃ’）のような振動となる。１２１は
、基台である。圧電素子部４の分極方法は前述と同様で
ある。その他の構成効果は第１の実施例と同様である。

第１６図および第１７図は、口字状の磁性体よりなる振
動体１０２を、スペーサ１０５を介して２枚重合的に配
置し、再振動体１０２の間に永久磁石よりなる接触部材
１０６を矢印Ｑ方向に直線的に進退自在に配置したもの
である。４本の対向辺１０３は第９図の運動をするよう
に圧電素子部４を取付ける。その他は第１の実施例と同
様である。

なお、前記各実施例では、対向辺３．１．０３の隣り合
う２面のみに圧電素子部４を貼り付けたが、３面に圧電
素子部４を貼付けても、また４面に貼付けてもよい。３
面に貼付けた場合は、残りの１面に接触部材６．６’、
１０６を接触させるようにすることが望ましい。４面に
貼付けた場合は、絶縁部材を介して対向辺３と接触部材
６．６’。

１０６とを接触させることが望ましい。絶縁部材は接触
部材６．６’、１０６側に設けても、対向辺３側に設け
てもよい。

第１８図ないし第２０図は、各々振動子４０１〜４０１
″を圧電材料で形成し、直接に圧電素子部４０４〜４０
４″を形成した実施例を示す。圧型材料としては、ＰＺ
Ｔ（ジルコンチタン酸鉛磁器）等の圧電セラミック、ま
たは圧電セラミックとプラスチックとの複合圧電材料等
が用いられる。

なお、これら圧電材料は磁性を有しないが、プラスチッ
クと磁性材料との混合物に圧電セラミックスを混合した
材料で形成し、振動子４０１〜４０１″の全体に磁性体
としての特徴を持たせても良い。

また、磁性材料を混合する代わりに、振動子４．０１〜
４０１　″に後述のように設ける各電極を磁性材料で形
成し、振動子４０１〜４０１　″に磁性体としての効果
を持たせても良い。

第１８図の例は、振動子４０１を１個のコ字形振動体４
０２からなるものとし、方形断面形状の対向辺４０３の
隣り合う２面に、１次モードの縦効果を利用した圧電素
子部４０４を直接に形成したものである。各圧電素子部
４０４は、対向辺４０４の長手方向と垂直な複数本の電
極ａｌ、Ｊを前記長手方向に配列し、これら１本おきの
電極ａ１．ｂ１どうしを接続部ａ２．ｂ２で接続して２
組の電極組ａ、ｂを形成する。すなわち、電極ａ１．ｔ
）１を横方向に交差指状に設ける。これら２組の電極ｌ
、ａ、ｂ間に直流電圧を印加して、分極処理を施す。図
の＋、−は分極の極性を示す。

このように分極処理して、第６図の電源装置５と同様な
電源装置により高周波電圧を印加すれば、対向辺４０３
は圧電素子部４０４の主として圧電縦効果による伸縮が
生じ、屈曲振動を行う。また、対向辺４０３の隣合う２
面の圧電素子部４０４に位相差を持つ電圧を印加すれば
、対向辺４０３の先端は円または楕円運動を行う。なお
、各圧電素子部４０４の電極ａ１．ｂ１は２木だけでも
よい。

第１９図の例は、対向辺４０３′の隣り合う２面に、圧
電横効果を利用した圧電素子部４０４′を形成したもの
である。この例では、電極ｃ、　　ｄは縦方向の交差指
状に設ける。すなわち、各圧電素子部４０４′は、対向
辺４０３′の長手方向に沿って２本または多数本の平行
な電極ｃ、ｄからなる交差指電極を形成する。この電極
ｃ、ｄ間に直流電圧を印加して分極処理を施す。図の＋
、−は分極の極性を示す。このように分極処理して電極
Ｃ，ｄ間に高周波電圧を印加すれば、対向辺４０３′は
圧電素子部４０４′の圧電横効果による伸縮を生じ屈曲
振動を行う。その他の構成作用は、第１８図の実施例と
同様である。

第２０図の例は、振動子４０１　”が１個の口字状の振
動体４０２　”の２次の屈曲モードを利用する実施例で
、各対向辺４０３　”の隣合う２面の各々に圧電横効果
を利用した圧電素子部４０４　″を２個づつ形成したも
のである。すなわち、対向辺４０３″に長手方向中央部
の両側に位置して、長手方向に沿う電極ｅ、　　ｆを２
本ずつ平行に４本設け、平行な２木ずつを１組としてこ
の２本の間に直流電圧を印加して分極処理する。このと
き、１組目の電極ｅ、ｆと２組目の電極ｅ、ｆとは極性
を反対にして分極し、同相の高周波電圧を印加す・るか
または、分極を同一方向とし反対の極性の高周波電圧を
印加する。

これら第１８図ないし第２０図の振動子４０１〜４０１
″を用いて前記各実施例と同様に接触部材６．３６等と
組合せることにより、往復動型または回転型等の圧電駆
動装置が構成される。

なお、これら第１８図ないし第２０図の例と同様に、第
１０図、第１１図、第１６図の例のように振動子が複数
個の振動体からなるものにおいても、振動子を圧電材料
で形成して直接に電極を形成することもできる。

また、貼付けの場合と同様に、対向辺４０３〜４０３“
の３面または４面に圧電素子部４０４〜４０４　″を設
けることもでき、さらに高次モードで対向辺４０３〜４
０３　″を振動させるように構成することもできる。

このように、振動子４０１〜４０１“に圧電セラミック
等の圧電材料を用いて振動子４０１〜４０１　”に圧電
素子部４０４〜４０４“を直接に形成することにより、
圧電素子の貼着が省略でき、接着層がないことから性能
の安定が図れる。また、圧電素子を貼付けたものと異な
り、貼付は誤差による特性のばらつきがなく、かつ工数
が削減されて生産性が向上する。しかも、形状的にも複
雑なものが可能となり、コスト面および性能面で有利な
圧電駆動装置が構成できる。

〔発明の効果〕

この発明の圧電駆動装置は、各振動体を口字状または口
字状としであるので、その側対向辺が互いに共振し、大
きな振幅が得られる。しかも、振動体と接触子との間に
永久磁石と磁性体を設けているので、一定の接触力が極
めて簡易に得られ、さらに磁力による駆動力の増加があ
り、そのため、電気的エネルギを効率良く機械的駆動力
に変換できる。

また、振動体の共振は、２本の対向辺が連続した基端部
において非振動状態となるように行われるので、基端部
を支持部とすることにより、支持によって振動を妨げる
ことがなく、このことからも高効率が得られる。また、
このように振動体に振動しない箇所があることから、振
動子と接触部材のいずれを固定側としても可動側として
も用いることができる。さらに、振動体は２本の対向辺
を有し、この部分で接触部材に接するので、接触点が多
点化される。そのため、摩耗が軽減され、かつ安定した
駆動が可能となるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の斜視図、第２図はその破
断側面図、第３図は同じくその振動モードの説明図、第
４図（Ａ）は同じくその振動子の平面図、第４図（Ｂ）
は同じくその正面図、第５図は同じくその動作説明図、
第６図は同じくその電源装置のブロック図、第７図（Ａ
）、　　（Ｂ）はそれぞれ他の実施例の平面図および破
断側面図、第８図（Ａ）はさらに他の実施例の平面図、
第８図（Ｂ）はその正面図、第９図は同じくその動作説
明図、第１０図はさらに他の実施例の振動子の斜視図、
第１１図はさらに他の実施例の振動子の斜視図、第１２
図（Ａ）、　　（Ｂ）はそれぞれその全体の破断平面図
および縦断側面図、第１３図はさらに他の実施例の斜視
図、第１４図はその破断側面図、第１５図は同じくその
振動モードの説明図、第１６図はさらに他の実施例の振
動子の斜視図、第１７図はその全体の斜視図、第１８図
ないし第２０図はそれぞれ互いに異なるさらに他の実施
例における振動子の斜視図である。１．１’、１“、１０１．４０１〜４０１＃・・・振動
子、２，１０２，４０２，４０２’、４０２″・・・振
動体、３，１０３，３０３，３０３’、３０３　″・・
・対向辺、４．４、〜４．．４０４．４０４’。４０４“・・・圧電素子部、６．６’、１６，１０６゜
２０６．３０６・・・接触部材、７・・・永久磁石特許
出願人　　清　　水　　　洋 −：Ｌ　　　Ｌ ψ　　　　　口　　　　　し −へ　　　ｎ第１６図第２０図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）弾性を有する材料にてコ字状またはロ字状に形成
され、かつ一対の対向辺の断面形状が各々ほぼ方形であ
る振動体を少なくとも１個備え、さらに前記振動体は前
記各対向辺の少なくとも隣合う２面に圧電素子部を有し
てなり、この圧電素子部に所定の高周波電圧が印加され
て前記対向辺が屈曲振動により共振する振動子と、前記各対向辺の隣合う圧電素子部に位相差を持たせて高
周波電圧を印加する電源装置と、前記振動子の対向辺の各１面に接触される接触部材とを
備え、前記振動体の前記対向辺の最大振幅部と前記接触部材の
前記対向辺と接触する部分の少なくとも一部とのいずれ
か一方を永久磁石とし、他方を磁性体とし、前記振動子の対向辺の最大振幅点が円または楕円運動を
することにより、前記接触部材または振動子のいずれか
が駆動される圧電駆動装置。
（２）前記圧電素子部は、前記振動体に圧電素子を貼着
して形成される特許請求の範囲第（１）項記載の圧電駆
動装置。
（３）前記振動体は圧電セラミックスで構成し、前記圧
電素子部はこの圧電セラミックに駆動用電極を直接形成
してなる特許請求の範囲第（１）項記載の圧電駆動装置
。
（４）前記振動子は、１個の振動体からなる特許請求の
範囲第（２）項または第（３）項記載の圧電駆動装置。
（５）前記振動子は、２個の振動体からなる特許請求の
範囲第（２）項または第（３）項記載の圧電駆動装置。
（６）前記２個の振動体は、所定の間隔を介在させて重
合的に配設され、前記接触部材が前記振動体の２対の対
向辺に接触される特許請求の範囲第（５）記載の圧電駆
動装置。
（７）前記２個の振動体は、個々の振動体がコ字状をな
すものであってＨ型に配設され、前記接触部材が前記振
動体の２対の対向辺に接触されている特許請求の範囲第
（５）項記載の圧電駆動装置。
（８）前記接触部材は、平板状に形成され、前記接触部
材または前記振動子のいずれかが直線的に駆動される特
許請求の範囲第（２）項または第（３）項記載の圧電駆
動装置。
（９）前記接触部材は、円板状に形成され、前記接触部
材または前記振動子のいずれかが回転的に駆動される特
許請求の範囲第（２）項または第（３）項記載の圧電駆
動装置。
（１０）前記振動体の材質が磁性体である特許請求範囲
第（１）項ないし第（９）項のいずれかに記載の圧電駆
動装置。
（１１）前記振動体は永久磁石でない磁性体よりなり、
前記接触部材の前記対向辺と接触する部分が永久磁石よ
りなる特許請求範囲第（１）項ないし第（９）項のいず
れかに記載の圧電駆動装置。