JPH10191658A - 振動アクチュエータ - Google Patents
振動アクチュエータInfo
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- JPH10191658A JPH10191658A JP8320189A JP32018996A JPH10191658A JP H10191658 A JPH10191658 A JP H10191658A JP 8320189 A JP8320189 A JP 8320189A JP 32018996 A JP32018996 A JP 32018996A JP H10191658 A JPH10191658 A JP H10191658A
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 長時間効率よく安定した駆動を可能にする。
【解決手段】 振動子１０Ａと、振動子１０Ａに加圧接
触してその振動子との間で相対運動を行なう相対運動部
材２０を含む振動アクチュエータにおいて、振動子１０
Ａと相対運動部材２０の接触面の所定位置に、その接触
面に付着した付着物を除去する付着物除去領域である表
面粗さが大きい部分２２を形成した。
触してその振動子との間で相対運動を行なう相対運動部
材２０を含む振動アクチュエータにおいて、振動子１０
Ａと相対運動部材２０の接触面の所定位置に、その接触
面に付着した付着物を除去する付着物除去領域である表
面粗さが大きい部分２２を形成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動子と、この振
動子に加圧接触する相対運動部材との間で相対運動を行
なう振動アクチュエータに関する。
動子に加圧接触する相対運動部材との間で相対運動を行
なう振動アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術として、例えば、弾性体に縦
振動と屈曲振動とを調和的に発生させることにより駆動
力を得る縦−屈曲型振動アクチュエータが知られてい
る。
振動と屈曲振動とを調和的に発生させることにより駆動
力を得る縦−屈曲型振動アクチュエータが知られてい
る。
【０００３】図１２は、縦−屈曲型振動アクチュエータ
の従来例を示す正面図である。この振動子１０では、１
次の縦振動と４次の屈曲振動（又は８次の屈曲振動）と
の共振周波数が非常に近い値になるように、弾性体１１
が矩形平板形状に設計される。この弾性体１１の一方の
平面には、電気機械変換素子である２つの圧電体１２
ａ，１２ｂが接合される。
の従来例を示す正面図である。この振動子１０では、１
次の縦振動と４次の屈曲振動（又は８次の屈曲振動）と
の共振周波数が非常に近い値になるように、弾性体１１
が矩形平板形状に設計される。この弾性体１１の一方の
平面には、電気機械変換素子である２つの圧電体１２
ａ，１２ｂが接合される。
【０００４】この振動子１０では、圧電体１２ａ，１２
ｂに２つの共振周波数に近い周波数の交流電圧が２相印
加される。これにより、弾性体１１には調和した２つの
振動が発生する。
ｂに２つの共振周波数に近い周波数の交流電圧が２相印
加される。これにより、弾性体１１には調和した２つの
振動が発生する。
【０００５】弾性体１１の他方の平面であって発生する
４次の屈曲振動の腹となる部分には、駆動力取出部１１
ａ，１１ｂが突起状に形成される。これらの駆動力取出
部１１ａ，１１ｂの先端が楕円状に周期的に変位する。
そのため、駆動力取出部１１ａ，１１ｂの先端が相対運
動部材４０に加圧接触することにより、駆動力が取り出
されていた。
４次の屈曲振動の腹となる部分には、駆動力取出部１１
ａ，１１ｂが突起状に形成される。これらの駆動力取出
部１１ａ，１１ｂの先端が楕円状に周期的に変位する。
そのため、駆動力取出部１１ａ，１１ｂの先端が相対運
動部材４０に加圧接触することにより、駆動力が取り出
されていた。
【０００６】これにより、振動子１０は、相対運動部材
４０が固定されている場合には軌道となる相対運動部材
４０上を図面上の右方向又は左方向に自走する。また、
振動子１０が固定されている場合には駆動対象物となる
相対運動部材４０を図面上の右方向又は左方向に駆動し
ていた。
４０が固定されている場合には軌道となる相対運動部材
４０上を図面上の右方向又は左方向に自走する。また、
振動子１０が固定されている場合には駆動対象物となる
相対運動部材４０を図面上の右方向又は左方向に駆動し
ていた。
【０００７】これらの駆動力取出部１１ａ，１１ｂの相
対運動部材４０との接触面には、相対運動部材４０との
摺動抵抗を低減するために、図示しない摺動材等を接着
等により接合していた。また、相対運動部材４０の駆動
力取出部１１ａ，１１ｂとの摺動面は、同様に摺動抵抗
を低減するために鏡面ラップ処理が行われていた。
対運動部材４０との接触面には、相対運動部材４０との
摺動抵抗を低減するために、図示しない摺動材等を接着
等により接合していた。また、相対運動部材４０の駆動
力取出部１１ａ，１１ｂとの摺動面は、同様に摺動抵抗
を低減するために鏡面ラップ処理が行われていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の振動アクチュエータは、長時間駆動した場合に、弾性
体１１と相対運動部材４０との接触面に、摺動による磨
耗粉等が付着する。この摩耗粉の付着は、駆動力等が低
下する原因となる。そのため、短時間しか安定した駆動
を行うことができないという課題があった。
の振動アクチュエータは、長時間駆動した場合に、弾性
体１１と相対運動部材４０との接触面に、摺動による磨
耗粉等が付着する。この摩耗粉の付着は、駆動力等が低
下する原因となる。そのため、短時間しか安定した駆動
を行うことができないという課題があった。
【０００９】また、振動子１０が往復運動する場合は、
相対運動部材４０の摺動面における折り返し位置及びそ
の近傍での摩耗粉の堆積が著しい。そのため、折り返し
位置において、振動子１０が停止してしまうという課題
があった。振動子１０が固定され相対運動部材４０が往
復運動する場合も同様であり、相対運動部材４０の摺動
面における相対運動部材４０の折り返し位置での摩耗粉
の堆積が著しい。そのため、最悪の場合には、折り返し
位置において相対運動部材４０が停止してしまうという
課題があった。
相対運動部材４０の摺動面における折り返し位置及びそ
の近傍での摩耗粉の堆積が著しい。そのため、折り返し
位置において、振動子１０が停止してしまうという課題
があった。振動子１０が固定され相対運動部材４０が往
復運動する場合も同様であり、相対運動部材４０の摺動
面における相対運動部材４０の折り返し位置での摩耗粉
の堆積が著しい。そのため、最悪の場合には、折り返し
位置において相対運動部材４０が停止してしまうという
課題があった。
【００１０】さらに、相対運動部材４０の摺動面には鏡
面ラップ処理が施されていたため、摩耗粉が、鏡面ラッ
プ処理面の非常に細かい傷の中に入り込んでしまい、こ
びり付き易いという課題があった。
面ラップ処理が施されていたため、摩耗粉が、鏡面ラッ
プ処理面の非常に細かい傷の中に入り込んでしまい、こ
びり付き易いという課題があった。
【００１１】本発明は、長時間効率的に安定した駆動を
行うことができる振動アクチュエータを提供することを
目的とする。
行うことができる振動アクチュエータを提供することを
目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、振動子と、この振動子に加圧接
触して振動子との間で相対運動を行なう相対運動部材を
含む振動アクチュエータにおいて、振動子と相対運動部
材の接触面の双方又は一方の所定位置に、その接触面に
付着した付着物を除去する付着物除去領域を形成したこ
とを特徴とする。
に、請求項１の発明は、振動子と、この振動子に加圧接
触して振動子との間で相対運動を行なう相対運動部材を
含む振動アクチュエータにおいて、振動子と相対運動部
材の接触面の双方又は一方の所定位置に、その接触面に
付着した付着物を除去する付着物除去領域を形成したこ
とを特徴とする。
【００１３】請求項２の発明は、請求項１に記載の振動
アクチュエータにおいて、相対運動が往復運動である場
合には、付着物除去領域が、相対運動部材の両端部に設
けられていることを特徴とする。
アクチュエータにおいて、相対運動が往復運動である場
合には、付着物除去領域が、相対運動部材の両端部に設
けられていることを特徴とする。
【００１４】請求項３の発明は、請求項１に記載の振動
アクチュエータにおいて、付着物除去領域が、振動子の
駆動力取出部に部分的に接触することを特徴とする。
アクチュエータにおいて、付着物除去領域が、振動子の
駆動力取出部に部分的に接触することを特徴とする。
【００１５】請求項４の発明は、請求項１から請求項３
までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおい
て、付着物除去領域が、相対運動部材の他の部分と表面
粗さが異なることを特徴とする。
までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおい
て、付着物除去領域が、相対運動部材の他の部分と表面
粗さが異なることを特徴とする。
【００１６】請求項５の発明は、請求項１から請求項４
までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおい
て、付着物除去領域が、接触面に対して研磨加工が可能
な表面を有することを特徴とする。
までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおい
て、付着物除去領域が、接触面に対して研磨加工が可能
な表面を有することを特徴とする。
【００１７】請求項６の発明は、請求項１から請求項５
までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおい
て、付着物除去領域が、砂摺りにより形成されることを
特徴とする。
までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおい
て、付着物除去領域が、砂摺りにより形成されることを
特徴とする。
【００１８】請求項７の発明は、請求項２から請求項６
までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおい
て、往復運動を行う振動子の折り返し位置は、可変であ
ることを特徴とする。
までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおい
て、往復運動を行う振動子の折り返し位置は、可変であ
ることを特徴とする。
【００１９】
（第１実施形態）以下、図面等を参照して、実施形態を
あげて、本発明を詳細に説明する。なお、以下に説明す
る各実施形態では、前述した従来例と同様な機能を果た
す部分には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜
省略する。また、以降の各実施形態の説明は、振動アク
チュエータとして超音波の振動域を利用する超音波アク
チュエータを例にとって、行う。
あげて、本発明を詳細に説明する。なお、以下に説明す
る各実施形態では、前述した従来例と同様な機能を果た
す部分には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜
省略する。また、以降の各実施形態の説明は、振動アク
チュエータとして超音波の振動域を利用する超音波アク
チュエータを例にとって、行う。
【００２０】図１は、本発明による超音波アクチュエー
タの第１実施形態を示す平面図及び正面図である。本実
施形態の超音波アクチュエータは、１次の縦振動と４次
の屈曲振動とを調和的に発生させ、その縮退により、所
定の位置から駆動力を取り出す超音波アクチュエータで
ある。この超音波アクチュエータは、振動子１０Ａと相
対運動部材２０とを備える。
タの第１実施形態を示す平面図及び正面図である。本実
施形態の超音波アクチュエータは、１次の縦振動と４次
の屈曲振動とを調和的に発生させ、その縮退により、所
定の位置から駆動力を取り出す超音波アクチュエータで
ある。この超音波アクチュエータは、振動子１０Ａと相
対運動部材２０とを備える。
【００２１】振動子１０Ａは、弾性体１１と、この弾性
体１１の一方の平面に接合された４つの圧電体１２ａ〜
１２ｄとを有する。圧電体１２ａ，１２ｂは、駆動用圧
電体であり、圧電効果（二次のモードの効果）によっ
て、弾性体１１に縦振動及び屈曲振動を発生させる。ま
た、圧電体１２ｃ，１２ｄは、弾性体１１に発生する振
動の状態をモニタするためのモニタ用圧電体であり、そ
の出力は、制御回路（不図示）に接続される。さらに、
弾性体１１には、本体中央部の駆動面側にＧＮＤ線とな
る電極１４が接着される。
体１１の一方の平面に接合された４つの圧電体１２ａ〜
１２ｄとを有する。圧電体１２ａ，１２ｂは、駆動用圧
電体であり、圧電効果（二次のモードの効果）によっ
て、弾性体１１に縦振動及び屈曲振動を発生させる。ま
た、圧電体１２ｃ，１２ｄは、弾性体１１に発生する振
動の状態をモニタするためのモニタ用圧電体であり、そ
の出力は、制御回路（不図示）に接続される。さらに、
弾性体１１には、本体中央部の駆動面側にＧＮＤ線とな
る電極１４が接着される。
【００２２】この振動子１０Ａは、圧電体１２ａ，１２
ｂに電気的に位相が９０度異なる交流電圧を印加するこ
とにより、弾性体１１に１次の縦振動及び４次の屈曲振
動を発生させる。そして、弾性体１１の他方の平面であ
って発生する４次の屈曲振動の腹となる部分には、駆動
力取出部１１ａ，１１ｂが突起状に形成される。そし
て、駆動力取出部１１ａ，１１ｂの先端が楕円運動する
ことにより駆動力が発生する。これにより、振動子１０
Ａは、直線の軌道となる相対運動部材２０の上を自走す
ることができる。駆動力取出部１１ａ，１１ｂの先端に
は、摺動材１３ａ，１３ｂが貼付される。
ｂに電気的に位相が９０度異なる交流電圧を印加するこ
とにより、弾性体１１に１次の縦振動及び４次の屈曲振
動を発生させる。そして、弾性体１１の他方の平面であ
って発生する４次の屈曲振動の腹となる部分には、駆動
力取出部１１ａ，１１ｂが突起状に形成される。そし
て、駆動力取出部１１ａ，１１ｂの先端が楕円運動する
ことにより駆動力が発生する。これにより、振動子１０
Ａは、直線の軌道となる相対運動部材２０の上を自走す
ることができる。駆動力取出部１１ａ，１１ｂの先端に
は、摺動材１３ａ，１３ｂが貼付される。
【００２３】本実施形態では、相対運動部材２０は、鏡
面加工された部分（以下、鏡面部分）２１と、鏡面部分
２１の両側に形成された、表面粗さを大きく加工した部
分（以下、表面粗さが大きい部分）２２とからなる。振
動子１０Ａは、表面粗さが大きい部分２２を通過するこ
とにより、摺動材１３ａ，１３ｂに付着した磨耗粉等が
粗さの作用によって除去される。
面加工された部分（以下、鏡面部分）２１と、鏡面部分
２１の両側に形成された、表面粗さを大きく加工した部
分（以下、表面粗さが大きい部分）２２とからなる。振
動子１０Ａは、表面粗さが大きい部分２２を通過するこ
とにより、摺動材１３ａ，１３ｂに付着した磨耗粉等が
粗さの作用によって除去される。
【００２４】本実施形態の相対運動部材２０の特徴は、
振動子１０Ａが自走する直線軌道となる鏡面部分２１の
両端に、表面粗さが大きい部分２２を配置したことであ
る。この位置に表面粗さが大きい部分２２が配置され
る。そのため、振動子１０Ａは、通常走行時には鏡面部
分２１上を走行でき、駆動には何ら支障はない。一方、
停止して方向転換する両端の位置において、表面粗さが
大きい部分２２を通過することより、磨耗粉等が捕捉さ
れることにより除去される。
振動子１０Ａが自走する直線軌道となる鏡面部分２１の
両端に、表面粗さが大きい部分２２を配置したことであ
る。この位置に表面粗さが大きい部分２２が配置され
る。そのため、振動子１０Ａは、通常走行時には鏡面部
分２１上を走行でき、駆動には何ら支障はない。一方、
停止して方向転換する両端の位置において、表面粗さが
大きい部分２２を通過することより、磨耗粉等が捕捉さ
れることにより除去される。
【００２５】図２（Ａ）〜図２（Ｅ）は、第１実施形態
に係る振動アクチュエータを構成する相対運動部材の変
形形態を示す図である。図１に示す実施形態では、表面
粗さが大きい部分２２は、鏡面部分２１の両端側に設定
した。しかし、図２（Ａ）に示すように中央部であって
もよいし、図２（Ｂ）に示すように内部側の２か所、若
しくは図２（Ｃ）に示すように内部側の３か所又は４か
所以上であってもよい。なお、表面粗さが大きい部分２
２を複数か所設ける場合には、振動子１０の駆動力取出
部１１ａ，１１ｂが同時に載らないピッチに配置するこ
とが好ましい。
に係る振動アクチュエータを構成する相対運動部材の変
形形態を示す図である。図１に示す実施形態では、表面
粗さが大きい部分２２は、鏡面部分２１の両端側に設定
した。しかし、図２（Ａ）に示すように中央部であって
もよいし、図２（Ｂ）に示すように内部側の２か所、若
しくは図２（Ｃ）に示すように内部側の３か所又は４か
所以上であってもよい。なお、表面粗さが大きい部分２
２を複数か所設ける場合には、振動子１０の駆動力取出
部１１ａ，１１ｂが同時に載らないピッチに配置するこ
とが好ましい。
【００２６】さらに、表面粗さが大きい部分２２は、図
２（Ｄ）及び図２（Ｅ）に示すように、相対運動部材２
０の長手方向に対して斜めとなる向きに配置してもよ
い。このように配置することにより、振動子１０の駆動
力取出部１１ａ，１１ｂの先端が、表面粗さが大きい部
分２２に全部乗ってしまうことが解消される。そのた
め、駆動効率が一時的に極端に低下する領域が解消され
る。
２（Ｄ）及び図２（Ｅ）に示すように、相対運動部材２
０の長手方向に対して斜めとなる向きに配置してもよ
い。このように配置することにより、振動子１０の駆動
力取出部１１ａ，１１ｂの先端が、表面粗さが大きい部
分２２に全部乗ってしまうことが解消される。そのた
め、駆動効率が一時的に極端に低下する領域が解消され
る。
【００２７】なお、この表面粗さが大きい部分２２は、
鏡面部分２１と段差を生じないように、ラッピングペー
パ等を貼付することにより形成してもよい。
鏡面部分２１と段差を生じないように、ラッピングペー
パ等を貼付することにより形成してもよい。
【００２８】（第２実施形態）図３は、本発明による振
動アクチュエータの第２実施形態を示す図である。本実
施形態は、振動子１０Ａが自走するのではなく、ローラ
状の相対運動部材３０を駆動する場合を示している。
動アクチュエータの第２実施形態を示す図である。本実
施形態は、振動子１０Ａが自走するのではなく、ローラ
状の相対運動部材３０を駆動する場合を示している。
【００２９】この相対運動部材３０では、円周上のある
決まった位置に、表面粗さが大きい部分３２が形成され
る。表面粗さが大きい部分３２は、１回転する毎に、振
動子１０Ａの駆動力取出部１１ａ，１１ｂを、必ず１回
だけ通過することが可能となる。
決まった位置に、表面粗さが大きい部分３２が形成され
る。表面粗さが大きい部分３２は、１回転する毎に、振
動子１０Ａの駆動力取出部１１ａ，１１ｂを、必ず１回
だけ通過することが可能となる。
【００３０】なお、相対運動部材３０は、第１実施形態
の変形形態である図２に示す各種形態であり、表面粗さ
が大きい部分３２を形成することも可能である。また、
相対的に移動することができるものであれば、ローラ状
に限定されず、如何なる形状であってもよい。
の変形形態である図２に示す各種形態であり、表面粗さ
が大きい部分３２を形成することも可能である。また、
相対的に移動することができるものであれば、ローラ状
に限定されず、如何なる形状であってもよい。
【００３１】（第３実施形態）図４は、本発明による振
動アクチュエータの第３実施形態を示す断面図であり、
図５は、図４の振動アクチュエータの振動子を示した斜
視図であり、さらに、図６は、図５の振動アクチュエー
タの振動子を抜き出して示した図である。
動アクチュエータの第３実施形態を示す断面図であり、
図５は、図４の振動アクチュエータの振動子を示した斜
視図であり、さらに、図６は、図５の振動アクチュエー
タの振動子を抜き出して示した図である。
【００３２】振動子５０は、弾性体５２，５３と、圧電
体５４，５５とを備える。弾性体５２，５３は、厚肉の
円筒体を縦に２分割した形状の部材であり、その分割面
には圧電体５４，５５が挟み込まれる。
体５４，５５とを備える。弾性体５２，５３は、厚肉の
円筒体を縦に２分割した形状の部材であり、その分割面
には圧電体５４，５５が挟み込まれる。
【００３３】圧電体５４，５５は、電気エネルギーを機
械的変位に変換する電気機械変換素子である。圧電体５
４，５５は、駆動信号により励振し、弾性体５２，５３
に１次の縦振動と１次の捩じり振動とを発生することに
より、弾性体５２，５３の駆動面Ｄに駆動力を発生させ
る。
械的変位に変換する電気機械変換素子である。圧電体５
４，５５は、駆動信号により励振し、弾性体５２，５３
に１次の縦振動と１次の捩じり振動とを発生することに
より、弾性体５２，５３の駆動面Ｄに駆動力を発生させ
る。
【００３４】圧電体５４，５５は、合計４層から成る。
４層のうちの２層の圧電体５４は、圧電定数ｄ15を用い
る捩じり振動用圧電体である。一方、残り２層の圧電体
５５は、圧電定数ｄ31を用いる縦振動用圧電体である。
４層のうちの２層の圧電体５４は、圧電定数ｄ15を用い
る捩じり振動用圧電体である。一方、残り２層の圧電体
５５は、圧電定数ｄ31を用いる縦振動用圧電体である。
【００３５】弾性体５２，５３は、図５に示すように、
高さ方向の略中心に、圧電体５４，５５の積層方向と平
行に貫通孔５２ｂ，５３ｂが形成される。弾性体５２，
５３は、これらの貫通孔５２ｂ，５３ｂにボルト５８ａ
を貫通させてナット５８ｂを締結することにより、圧電
体５４，５５を挟み込んだ状態で固定される。また、ボ
ルト５８ａは、弾性体５２，５３の軸方向の中心に挿入
された固定軸５７に、ネジ止めされることにより、固定
される。
高さ方向の略中心に、圧電体５４，５５の積層方向と平
行に貫通孔５２ｂ，５３ｂが形成される。弾性体５２，
５３は、これらの貫通孔５２ｂ，５３ｂにボルト５８ａ
を貫通させてナット５８ｂを締結することにより、圧電
体５４，５５を挟み込んだ状態で固定される。また、ボ
ルト５８ａは、弾性体５２，５３の軸方向の中心に挿入
された固定軸５７に、ネジ止めされることにより、固定
される。
【００３６】相対運動部材６０は、移動子母材６１と、
移動子母材６１の一方の端面に貼付されて振動子５０の
駆動面Ｄに接触する摺動材６２とから構成される。相対
運動部材６０は、移動子母材６１の内周部に嵌合された
ベアリング等の位置決め部材５９ａにより、固定軸５７
に対して位置決めされる。
移動子母材６１の一方の端面に貼付されて振動子５０の
駆動面Ｄに接触する摺動材６２とから構成される。相対
運動部材６０は、移動子母材６１の内周部に嵌合された
ベアリング等の位置決め部材５９ａにより、固定軸５７
に対して位置決めされる。
【００３７】また、相対運動部材６０は、本実施形態で
は加圧部材である皿バネ５９ｃによって、振動子５０の
駆動面Ｄに加圧接触させられている。なお、加圧部材と
しては、他にコイルバネや板バネ等を例示することがで
きる。
は加圧部材である皿バネ５９ｃによって、振動子５０の
駆動面Ｄに加圧接触させられている。なお、加圧部材と
しては、他にコイルバネや板バネ等を例示することがで
きる。
【００３８】固定軸５７は、弾性体５２，５３の軸方向
に形成された中空部５２ａ，５３ａに貫通した状態で装
着される。固定軸５７は、弾性体５２，５３等からなる
振動子５０を固定するとともに、相対運動部材６０を半
径方向に位置決めする。固定軸５７は、その先端部近傍
にネジ部が形成されており、加圧部材５９ｃの加圧力を
調整する加圧力調整部材であるナット５９ｄが設けられ
ている。
に形成された中空部５２ａ，５３ａに貫通した状態で装
着される。固定軸５７は、弾性体５２，５３等からなる
振動子５０を固定するとともに、相対運動部材６０を半
径方向に位置決めする。固定軸５７は、その先端部近傍
にネジ部が形成されており、加圧部材５９ｃの加圧力を
調整する加圧力調整部材であるナット５９ｄが設けられ
ている。
【００３９】第３実施形態では、弾性体５２の駆動面Ｄ
の中心寄りに、ラッピング部材５６が設けられる。この
ラッピング部材５６は、その表面が駆動面Ｄと同一面と
なる位置に形成される。ラッピング部材５６は、接触す
る摺動材６２の表面をラッピングすることにより、付着
物を除去する作用を奏する。
の中心寄りに、ラッピング部材５６が設けられる。この
ラッピング部材５６は、その表面が駆動面Ｄと同一面と
なる位置に形成される。ラッピング部材５６は、接触す
る摺動材６２の表面をラッピングすることにより、付着
物を除去する作用を奏する。
【００４０】ラッピング部材５６は、図６に２点鎖線で
示したように、駆動に有効に寄与している領域Ｄ１，Ｄ
２を外した位置に配置することが駆動効率の低下をでき
るだけ抑制するためには望ましい。
示したように、駆動に有効に寄与している領域Ｄ１，Ｄ
２を外した位置に配置することが駆動効率の低下をでき
るだけ抑制するためには望ましい。
【００４１】図７は、第３実施形態に係る振動アクチュ
エータの振動子の変形形態を示す図である。この振動子
５０Ａは、圧電体５４，５５の上面が少し窪むようにし
て、その窪みにラッピング部材５６Ａを取り付けて構成
してある。このような構成によれば、振動子５０Ａの組
み立てが容易になる。
エータの振動子の変形形態を示す図である。この振動子
５０Ａは、圧電体５４，５５の上面が少し窪むようにし
て、その窪みにラッピング部材５６Ａを取り付けて構成
してある。このような構成によれば、振動子５０Ａの組
み立てが容易になる。
【００４２】（第４実施形態）本実施形態では、図１に
おける表面粗さが大きい部分２２を、グリーンシリコン
カーバイド（（株）フジミインコーポレーテッド製 Ｇ
Ｃ♯８００ 砥粒直径１．４０μｍ）と鋳鉄製錠盤とを
用いて湿式研磨を行うことにより、形成した。
おける表面粗さが大きい部分２２を、グリーンシリコン
カーバイド（（株）フジミインコーポレーテッド製 Ｇ
Ｃ♯８００ 砥粒直径１．４０μｍ）と鋳鉄製錠盤とを
用いて湿式研磨を行うことにより、形成した。
【００４３】表面粗さが大きい部分２２の中心線平均粗
さは、０．１６μｍであった。駆動力取出部１１ａ，１
１ｂの端面に貼付された摺動材１３ａ，１３ｂに付着し
た摩耗粉や、相対運動部材２０の摺動面に付着しており
摺動材１３ａ，１３ｂによって掻き出された摩耗粉等
が、表面粗さが大きい部分２２を通過することにより捕
捉されることが確認された。
さは、０．１６μｍであった。駆動力取出部１１ａ，１
１ｂの端面に貼付された摺動材１３ａ，１３ｂに付着し
た摩耗粉や、相対運動部材２０の摺動面に付着しており
摺動材１３ａ，１３ｂによって掻き出された摩耗粉等
が、表面粗さが大きい部分２２を通過することにより捕
捉されることが確認された。
【００４４】さらに、図２における表面粗さが大きい部
分２２Ａ〜２２Ｅ，図３における表面粗さが大きい部分
３２，図４〜図７における表面粗さが大きい部分５６等
を、全く同様の手段により、形成した。その結果、駆動
に伴って発生する摩耗粉が捕捉されることが確認され
た。
分２２Ａ〜２２Ｅ，図３における表面粗さが大きい部分
３２，図４〜図７における表面粗さが大きい部分５６等
を、全く同様の手段により、形成した。その結果、駆動
に伴って発生する摩耗粉が捕捉されることが確認され
た。
【００４５】（第５実施形態）本実施形態では、図８〜
図１１に示すように、相対運動部材２０の両端部側に、
ピッチＬ１及びＬ２の２段階で、又はピッチＬ１の１段
階で、フォトカプラ７０ａ，７０ｂ，７０ｃ，７０ｄを
設置した。そして、相対運動部材２０上を移動する振動
子１０Ａがフォトカプラ７０ａ〜７０ｄからの出力光を
遮光する度に、振動子１０Ａが反転する回路を用いて、
超音波アクチュエータを連続運転し、停止するまでの駆
動時間を測定した。
図１１に示すように、相対運動部材２０の両端部側に、
ピッチＬ１及びＬ２の２段階で、又はピッチＬ１の１段
階で、フォトカプラ７０ａ，７０ｂ，７０ｃ，７０ｄを
設置した。そして、相対運動部材２０上を移動する振動
子１０Ａがフォトカプラ７０ａ〜７０ｄからの出力光を
遮光する度に、振動子１０Ａが反転する回路を用いて、
超音波アクチュエータを連続運転し、停止するまでの駆
動時間を測定した。
【００４６】図８，図９は、ともに、相対運動部材２０
の両端部側に表面粗さが大きい部分を備える本発明例で
ある。図８に示す例では、両端部側それぞれに設置され
る２基のフォトカプラ７０ａ〜７０ｄは、表面粗さが大
きい部分２２にかかる位置に設置される。図９に示す例
では、外側の２基のフォトカプラ７０ａ，７０ｄが表面
粗さの大きい部分２２にかかる位置に設置され、内側の
２基のフォトカプラ７０ｂ，７０ｃは鏡面部分２１にか
かる位置に設置される。
の両端部側に表面粗さが大きい部分を備える本発明例で
ある。図８に示す例では、両端部側それぞれに設置され
る２基のフォトカプラ７０ａ〜７０ｄは、表面粗さが大
きい部分２２にかかる位置に設置される。図９に示す例
では、外側の２基のフォトカプラ７０ａ，７０ｄが表面
粗さの大きい部分２２にかかる位置に設置され、内側の
２基のフォトカプラ７０ｂ，７０ｃは鏡面部分２１にか
かる位置に設置される。
【００４７】一方、図１０，図１１は、ともに、相対運
動部材２０に表面粗さが大きい部分を有さない比較例で
ある。なお、本発明例及び比較例ともに、摺動材１３
ａ，１３ｂは、ポリフロン（ダイキン工業（株）製）に
より製作した。
動部材２０に表面粗さが大きい部分を有さない比較例で
ある。なお、本発明例及び比較例ともに、摺動材１３
ａ，１３ｂは、ポリフロン（ダイキン工業（株）製）に
より製作した。
【００４８】図８，図９に示す本発明例と図１０に示す
比較例とでは、フォトカプラ７０ａ〜７０ｄが、相対運
動部材２０の両側に２基ずつ合計４基設置される。そし
て、内側の２基のフォトカプラ７０ｂ，７０ｃ（ピッ
チ：Ｌ１）の間を、振動子１０Ａが１０万往復したら、
外側の２基のフォトカプラ７０ａ，７０ｄ（ピッチ：Ｌ
２）の間を１０往復し、その後内側の２基のフォトカプ
ラ７０ｂ，７０ｃの間を往復するという動作を繰り返し
行う。このように、図８，図９に示す本発明例と図１０
に示す比較例とでは、往復運動を行う振動子１０Ａの折
り返し位置は、可変である。
比較例とでは、フォトカプラ７０ａ〜７０ｄが、相対運
動部材２０の両側に２基ずつ合計４基設置される。そし
て、内側の２基のフォトカプラ７０ｂ，７０ｃ（ピッ
チ：Ｌ１）の間を、振動子１０Ａが１０万往復したら、
外側の２基のフォトカプラ７０ａ，７０ｄ（ピッチ：Ｌ
２）の間を１０往復し、その後内側の２基のフォトカプ
ラ７０ｂ，７０ｃの間を往復するという動作を繰り返し
行う。このように、図８，図９に示す本発明例と図１０
に示す比較例とでは、往復運動を行う振動子１０Ａの折
り返し位置は、可変である。
【００４９】また、図１１に示す比較例では、繰り返し
を行うように、回路を用いて制御した。図１１は、２基
のフォトカプラ７０ａ，７０ｄ（ピッチ：Ｌ１）の間
を、振動子１０Ａが往復運動する。往復運動を行う振動
子１０Ａの折り返し位置は、固定である。
を行うように、回路を用いて制御した。図１１は、２基
のフォトカプラ７０ａ，７０ｄ（ピッチ：Ｌ１）の間
を、振動子１０Ａが往復運動する。往復運動を行う振動
子１０Ａの折り返し位置は、固定である。
【００５０】このような連続運転を行うことにより、振
動子１０Ａが摩耗粉の堆積により停止した時までの往復
数を測定することにより、超音波アクチュエータの連続
運転に関する耐久性を調べた。
動子１０Ａが摩耗粉の堆積により停止した時までの往復
数を測定することにより、超音波アクチュエータの連続
運転に関する耐久性を調べた。
【００５１】その結果、図８に示す本発明例では１５０
０万往復であり、図９に示す本発明例では１０００万往
復であった。これに対し、図１０に示す比較例では２０
０万往復であり、図１１に示す比較例では４０万往復で
あった。
０万往復であり、図９に示す本発明例では１０００万往
復であった。これに対し、図１０に示す比較例では２０
０万往復であり、図１１に示す比較例では４０万往復で
あった。
【００５２】以上の結果から、本発明によれば、従来の
超音波アクチュエータの耐久性を、約４０倍にも増加す
ることができたことがわかる。すなわち、本発明は、一
見極めて簡単な構成であるにもかかわらず、極めて実用
的意義の大きな発明であることが明らかである。
超音波アクチュエータの耐久性を、約４０倍にも増加す
ることができたことがわかる。すなわち、本発明は、一
見極めて簡単な構成であるにもかかわらず、極めて実用
的意義の大きな発明であることが明らかである。
【００５３】また、図８に示す本発明例と、図９に示す
本発明例とを比較すると、図８に示す本発明例のほうが
１．５倍程度耐久性が優れる。これは、図８に示す例で
は、表面粗さが大きい部分２２のうちの略２か所（フォ
トカプラ７０ａ〜７０ｄの設置位置により決定される振
動子１０Ａの往復位置）を中心に、摩耗粉が表面粗さが
大きい部分２２に均等に堆積する。
本発明例とを比較すると、図８に示す本発明例のほうが
１．５倍程度耐久性が優れる。これは、図８に示す例で
は、表面粗さが大きい部分２２のうちの略２か所（フォ
トカプラ７０ａ〜７０ｄの設置位置により決定される振
動子１０Ａの往復位置）を中心に、摩耗粉が表面粗さが
大きい部分２２に均等に堆積する。
【００５４】これに対し、図９に示す本発明例では、ピ
ッチＬ１で往復運動している場合には、摩耗粉は鏡面部
分２１の縁部に堆積し、往復運動のピッチをＬ２に変更
すると、鏡面部分２１の縁部に堆積した摩耗粉とその後
に発生する摩耗粉とが一緒にフォトカプラ７０ａ，７０
ｄの設置位置付近に堆積してしまう。そのため、いわ
ば、表面粗さが大きい部分２２の一部に摩耗粉が偏った
状態で堆積することになり、その分だけ、図８に示す本
発明例よりも耐久性が低下したものと考えられる。
ッチＬ１で往復運動している場合には、摩耗粉は鏡面部
分２１の縁部に堆積し、往復運動のピッチをＬ２に変更
すると、鏡面部分２１の縁部に堆積した摩耗粉とその後
に発生する摩耗粉とが一緒にフォトカプラ７０ａ，７０
ｄの設置位置付近に堆積してしまう。そのため、いわ
ば、表面粗さが大きい部分２２の一部に摩耗粉が偏った
状態で堆積することになり、その分だけ、図８に示す本
発明例よりも耐久性が低下したものと考えられる。
【００５５】さらに、比較例同士の比較にはなるが、図
１０に示す比較例と、図１１に示す比較例との耐久性に
も大きな差がある。これは、超音波アクチュエータを往
復する際に、相対運動の振幅（折り返しのピッチ）を適
当なタイミングで変更することにより、摩耗粉の堆積部
分が分散される。これにより、超音波アクチュエータの
耐久性が向上するものと考えれる。
１０に示す比較例と、図１１に示す比較例との耐久性に
も大きな差がある。これは、超音波アクチュエータを往
復する際に、相対運動の振幅（折り返しのピッチ）を適
当なタイミングで変更することにより、摩耗粉の堆積部
分が分散される。これにより、超音波アクチュエータの
耐久性が向上するものと考えれる。
【００５６】したがって、本発明のように、摩耗粉を表
面粗さが粗い部分で捕捉する場合には、往復運動を行う
相対運動部材の折り返し点を適宜手段により可変とする
ことにより、超音波アクチュエータの耐久性を向上する
ことができる。
面粗さが粗い部分で捕捉する場合には、往復運動を行う
相対運動部材の折り返し点を適宜手段により可変とする
ことにより、超音波アクチュエータの耐久性を向上する
ことができる。
【００５７】
【発明の効果】以上に示すとおりに、本発明によれば、
振動子と、その振動子に接触して相対運動を行なう相対
運動部材との、双方又は一方の接触面に、その接触面に
付着した付着物を除去する付着物除去領域を形成したの
で、長時間効率よく駆動することができるという効果が
ある。
振動子と、その振動子に接触して相対運動を行なう相対
運動部材との、双方又は一方の接触面に、その接触面に
付着した付着物を除去する付着物除去領域を形成したの
で、長時間効率よく駆動することができるという効果が
ある。
【００５８】さらに、その付着物除去領域を砂摺りによ
り形成することにより、効率的に付着物を除去すること
ができる。また、往復運動を行う振動子（又は相対運動
部材）の折り返し位置を可変とすることにより、振動ア
クチュエータの寿命を長くすることができる。
り形成することにより、効率的に付着物を除去すること
ができる。また、往復運動を行う振動子（又は相対運動
部材）の折り返し位置を可変とすることにより、振動ア
クチュエータの寿命を長くすることができる。
【図１】本発明による振動アクチュエータの第１実施形
態を示す平面図及び正面図である。
態を示す平面図及び正面図である。
【図２】第１実施形態に係る振動アクチュエータの相対
運動部材の変形形態を示す図である。
運動部材の変形形態を示す図である。
【図３】本発明による振動アクチュエータの第２実施形
態を示す図である。
態を示す図である。
【図４】本発明による振動アクチュエータの第３実施形
態を示す断面図である。
態を示す断面図である。
【図５】第３実施形態に係る振動アクチュエータの振動
子を示した斜視図である。
子を示した斜視図である。
【図６】第３実施形態にかかる振動アクチュエータの振
動子を抜き出して示した図である。
動子を抜き出して示した図である。
【図７】第３実施形態にかかる振動アクチュエータの振
動子の変形形態を示した図である。
動子の変形形態を示した図である。
【図８】第５実施形態における本発明例を示す説明図で
ある。
ある。
【図９】第５実施形態における他の本発明例を示す説明
図である。
図である。
【図１０】第５実施形態における比較例を示す説明図で
ある。
ある。
【図１１】第５実施形態における他の比較例を示す説明
図である。
図である。
【図１２】縦−屈曲型振動アクチュエータの従来例を示
す正面図である。
す正面図である。
１０，１０Ａ 振動子 １１ 弾性体 １２ａ〜１２ｄ 圧電体 １３ａ，１３ｂ 摺動材 ２０ 相対運動部材 ２１ 鏡面部分 ２２ 表面粗さが大きい部分 ５０ 振動子 ５２，５３ 弾性体 ５４，５５ 圧電体 ５６ ラッピング部材 ５７ 固定軸 ６０ 相対運動部材 ７０ａ〜７０ｄ フォトカプラ
Claims (7)
- 【請求項１】 振動子と、前記振動子に加圧接触してそ
の振動子との間で相対運動を行なう相対運動部材を含む
振動アクチュエータにおいて、 前記振動子と前記相対運動部材の接触面の双方又は一方
の所定位置に、その接触面に付着した付着物を除去する
付着物除去領域を形成したことを特徴とする振動アクチ
ュエータ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の振動アクチュエータに
おいて、 前記相対運動が往復運動である場合には、 前記付着物除去領域は、前記相対運動部材の両端部に設
けられていることを特徴とする振動アクチュエータ。 - 【請求項３】 請求項１に記載の振動アクチュエータに
おいて、 前記付着物除去領域は、前記振動子の駆動力取出部に部
分的に接触することを特徴とする振動アクチュエータ。 - 【請求項４】 請求項１から請求項３までのいずれか１
項に記載の振動アクチュエータにおいて、 前記付着物除去領域は、前記相対運動部材の他の部分と
表面粗さが異なることを特徴とする振動アクチュエー
タ。 - 【請求項５】 請求項１から請求項４までのいずれか１
項に記載の振動アクチュエータにおいて、 前記付着物除去領域は、前記接触面に対して研磨加工が
可能な表面を有することを特徴とする振動アクチュエー
タ。 - 【請求項６】 請求項１から請求項５までのいずれか１
項に記載の振動アクチュエータにおいて、 前記付着物除去領域は、砂摺りにより形成されることを
特徴とする振動アクチュエータ。 - 【請求項７】 請求項２から請求項６までのいずれか１
項に記載の振動アクチュエータにおいて、 前記往復運動を行う前記振動子の折り返し位置は、可変
であることを特徴とする振動アクチュエータ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8320189A JPH10191658A (ja) | 1996-01-09 | 1996-11-29 | 振動アクチュエータ |
| US08/781,054 US5866970A (en) | 1996-01-09 | 1997-01-09 | Vibration actuator |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP145096 | 1996-01-09 | ||
| JP28429796 | 1996-10-25 | ||
| JP8-284297 | 1996-10-25 | ||
| JP8-1450 | 1996-10-25 | ||
| JP8320189A JPH10191658A (ja) | 1996-01-09 | 1996-11-29 | 振動アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10191658A true JPH10191658A (ja) | 1998-07-21 |
Family
ID=27274925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8320189A Pending JPH10191658A (ja) | 1996-01-09 | 1996-11-29 | 振動アクチュエータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5866970A (ja) |
| JP (1) | JPH10191658A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009044932A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Olympus Corp | 超音波モータの駆動方法及び超音波モータ |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10234193A (ja) * | 1996-12-17 | 1998-09-02 | Nikon Corp | 駆動装置及び情報記録処理装置 |
| JP6501487B2 (ja) * | 2014-10-27 | 2019-04-17 | キヤノン株式会社 | 超音波モータ及び超音波モータを用いた駆動装置 |
| JP5950139B1 (ja) * | 2015-03-04 | 2016-07-13 | Smk株式会社 | 電子機器の振動発生装置 |
Family Cites Families (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH642205A5 (fr) * | 1981-06-29 | 1984-03-30 | Asulab Sa | Circuit amplificateur pour sonde de mesure. |
| DE3434448A1 (de) * | 1984-09-17 | 1986-03-27 | Schering AG, 1000 Berlin und 4709 Bergkamen | Verfahren zur herstellung von pregnan-derivaten |
| US4812697A (en) * | 1986-04-09 | 1989-03-14 | Taga Electric Co., Ltd. | Ultrasonic vibrator and a method of controllingly driving same |
| CA1289999C (en) * | 1987-07-14 | 1991-10-01 | Keisuke Honda | Ultrasonic driving device |
| JP2615871B2 (ja) * | 1988-06-29 | 1997-06-04 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モータ |
| US5140215A (en) * | 1988-09-19 | 1992-08-18 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Vibrator and ultrasonic motor employing the same |
| US5216313A (en) * | 1988-12-16 | 1993-06-01 | Alps Electric Co., Ltd. | Ultrasonic wave linear motor |
| US5039899A (en) * | 1989-02-28 | 1991-08-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric transducer |
| JPH02311183A (ja) * | 1989-05-25 | 1990-12-26 | Brother Ind Ltd | 超音波モータ |
| JP2935504B2 (ja) * | 1989-07-05 | 1999-08-16 | キヤノン株式会社 | モータ |
| US5136200A (en) * | 1989-07-27 | 1992-08-04 | Olympus Optical Co., Ltd. | Ultransonic motor |
| US5191688A (en) * | 1989-07-27 | 1993-03-09 | Olympus Optical Co., Ltd. | Method for producing a superior longitudinal vibrator |
| JPH0389875A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Brother Ind Ltd | リニア超音波モータ |
| JP3118251B2 (ja) * | 1990-11-21 | 2000-12-18 | ニスカ株式会社 | 超音波駆動装置及びその方法 |
| JP3045564B2 (ja) * | 1991-06-12 | 2000-05-29 | アルプス電気株式会社 | 超音波モータ |
| JP3117817B2 (ja) * | 1991-11-27 | 2000-12-18 | アスモ株式会社 | 超音波モータのステータ及びその製造方法 |
| JP3098858B2 (ja) * | 1992-06-08 | 2000-10-16 | オリンパス光学工業株式会社 | 超音波モータ |
| US5416375A (en) * | 1992-06-15 | 1995-05-16 | Olympus Optical Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
| US5698930A (en) * | 1993-11-15 | 1997-12-16 | Nikon Corporation | Ultrasonic wave motor and method of manufacture |
| JP3279021B2 (ja) * | 1993-11-15 | 2002-04-30 | 株式会社ニコン | 超音波モータとその製造方法 |
| JPH08140377A (ja) * | 1994-11-09 | 1996-05-31 | Nikon Corp | 超音波アクチュエータ |
| EP0674350B1 (en) * | 1994-03-23 | 2000-05-31 | Nikon Corporation | Ultrasonic motor |
| JP3823340B2 (ja) * | 1994-08-01 | 2006-09-20 | 株式会社ニコン | 振動モータ |
| JPH08242593A (ja) * | 1995-01-06 | 1996-09-17 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ |
-
1996
- 1996-11-29 JP JP8320189A patent/JPH10191658A/ja active Pending
-
1997
- 1997-01-09 US US08/781,054 patent/US5866970A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009044932A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Olympus Corp | 超音波モータの駆動方法及び超音波モータ |
| US7960925B2 (en) | 2007-08-10 | 2011-06-14 | Olympus Corporation | Ultrasonic motor driving method and ultrasonic motor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5866970A (en) | 1999-02-02 |
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