JP3098858B2 - 超音波モータ - Google Patents
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- 150000004677 hydrates Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 13
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 13
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- MQRWBMAEBQOWAF-UHFFFAOYSA-N acetic acid;nickel Chemical compound [Ni].CC(O)=O.CC(O)=O MQRWBMAEBQOWAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 2
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 229940078494 nickel acetate Drugs 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 229910052580 B4C Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910001593 boehmite Inorganic materials 0.000 description 1
- QDMRQDKMCNPQQH-UHFFFAOYSA-N boranylidynetitanium Chemical compound [B].[Ti] QDMRQDKMCNPQQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N boron carbide Chemical compound B12B3B4C32B41 INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N chromate(2-) Chemical compound [O-][Cr]([O-])(=O)=O ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M hydroxidooxidoaluminium Chemical compound O[Al]=O FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- LMYQFCDLMRNPLY-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)alumane Chemical compound O[Al]=O.O[Al]=O LMYQFCDLMRNPLY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N phosphanylidynenickel Chemical compound [P].[Ni] OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003158 γ-Al2O3 Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/106—Langevin motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/003—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
- H02N2/004—Rectangular vibrators
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- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0065—Friction interface
- H02N2/007—Materials
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
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- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波モータ、詳しく
は超音波振動子の特定表面に発生する超音波振動によ
り、該特定表面に圧接した移動体を該超音波振動子に対
して所望の方向に相対移動させる超音波モータに関す
る。
は超音波振動子の特定表面に発生する超音波振動によ
り、該特定表面に圧接した移動体を該超音波振動子に対
して所望の方向に相対移動させる超音波モータに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、超音波モータは種々知られてお
り、たとえば、特開平１−２８３０７２号公報にもその
１例が開示されている。図９は、該従来の超音波モータ
の主要部を示した概略図である。この超音波モータは、
図中、電歪素子１１１に接合された振動体１１２に生ず
る進行性振動波により、摩擦面を介して該振動体１１２
に接触している移動体１１３を摩擦駆動する超音波振動
波モータであって、該振動体１１２と移動体１１３との
何れか一方の摩擦面に陽極酸化法による硬質アルマイト
処理を施し、他方の摩擦面を炭化ホウ素，ホウ素チタニ
ウム，チッ化ホウ素のうち一種以上を含有するニッケル
リン基合金からなる超硬材料で構成されている。そし
て、上記硬質アルマイトによる摺動部材によって超音波
モータの寿命を向上させ、また、高μ摩擦面による移動
体の駆動によって該駆動力向上させることを狙うもので
ある。
り、たとえば、特開平１−２８３０７２号公報にもその
１例が開示されている。図９は、該従来の超音波モータ
の主要部を示した概略図である。この超音波モータは、
図中、電歪素子１１１に接合された振動体１１２に生ず
る進行性振動波により、摩擦面を介して該振動体１１２
に接触している移動体１１３を摩擦駆動する超音波振動
波モータであって、該振動体１１２と移動体１１３との
何れか一方の摩擦面に陽極酸化法による硬質アルマイト
処理を施し、他方の摩擦面を炭化ホウ素，ホウ素チタニ
ウム，チッ化ホウ素のうち一種以上を含有するニッケル
リン基合金からなる超硬材料で構成されている。そし
て、上記硬質アルマイトによる摺動部材によって超音波
モータの寿命を向上させ、また、高μ摩擦面による移動
体の駆動によって該駆動力向上させることを狙うもので
ある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の摺動部材の組合わせは非常に有効な手段である
が、寿命という点を考えるとまだ問題点が多い。すなわ
ち、電磁型のモータの寿命に比べると上記従来の超音波
モータの寿命はまだ短く実用上このことが普及の妨げと
なっている。以下、この寿命の問題点について説明す
る。
従来の摺動部材の組合わせは非常に有効な手段である
が、寿命という点を考えるとまだ問題点が多い。すなわ
ち、電磁型のモータの寿命に比べると上記従来の超音波
モータの寿命はまだ短く実用上このことが普及の妨げと
なっている。以下、この寿命の問題点について説明す
る。
【０００４】摩耗が発生する場合、移動体側の硬質アル
マイト（アルミニウムを陽極酸化して耐食性酸化被膜を
形成する方法の日本における登録名）が削られてパウダ
ー状の粉（大きさはｓｕｂ−μｍオーダー）とフレーク
状の粉（大きさは数十μｍ）とが発生する。このフレー
ク状の粉の発生は、硬質アルマイトの表面附近の脱落現
象に起因するもので、これは該硬質アルマイトの結晶構
造が弱いために起る。そして、一担脱落現象が生じる
と、該フレーク状の粉は移動体と振動体との間に入り込
んで砥粒のような働きを行い該脱落現象を助長する。す
なわち、上記フレーク状の粉は摩擦面間を転がりながら
該硬質アルマイト表面を削ることになる。このとき、該
硬質アルマイト表面からは多量のパウダー状の微細な粉
が発生し、さらに該表面を削るので該硬質アルマイトの
寿命、すなわち、超音波モータとしての寿命は著しく低
下することになる。
マイト（アルミニウムを陽極酸化して耐食性酸化被膜を
形成する方法の日本における登録名）が削られてパウダ
ー状の粉（大きさはｓｕｂ−μｍオーダー）とフレーク
状の粉（大きさは数十μｍ）とが発生する。このフレー
ク状の粉の発生は、硬質アルマイトの表面附近の脱落現
象に起因するもので、これは該硬質アルマイトの結晶構
造が弱いために起る。そして、一担脱落現象が生じる
と、該フレーク状の粉は移動体と振動体との間に入り込
んで砥粒のような働きを行い該脱落現象を助長する。す
なわち、上記フレーク状の粉は摩擦面間を転がりながら
該硬質アルマイト表面を削ることになる。このとき、該
硬質アルマイト表面からは多量のパウダー状の微細な粉
が発生し、さらに該表面を削るので該硬質アルマイトの
寿命、すなわち、超音波モータとしての寿命は著しく低
下することになる。
【０００５】図６は、上記従来の硬質アルマイトの断面
を拡大して示した斜視図である。
を拡大して示した斜視図である。
【０００６】アルマイト１はアルミニウム３を陽極酸化
して形成された耐食性酸化被膜である。なお、バリア層
２は上記アルマイト１とアルミニウム３との中間部材で
あり、Ａｌ2 ＋ Ａｌ2Ｏ3 ・Ｈ2Ｏ で表される。上記ア
ルマイト１は、電解直後においてはその表面に多数の微
小孔４が形成された多孔質酸化被膜γ−Ａｌ2Ｏ3となっ
ているが、この状態のままでは耐久性に欠けるため通常
酢酸ニッケル等による封孔処理が行われて上記微小孔４
が塞がれる。しかし、同図６に示すように上述した酢酸
ニッケル等による封孔処理ではアルマイト１表面から数
μｍの範囲１０５までしか封孔処理が成されない。つま
り、該微小孔４の下部から底部にかけては中空状態とな
っている。また、この現象はアルマイト１の膜厚が厚い
ほど顕著に見られる。そして、摩耗によって該アルマイ
ト１表面の一部が脱落すると該アルマイト１表面には中
空となっている多数の上記微小孔４が現れることにな
る。これにより該アルマイト１自体の強度が弱くなり、
ますます脱落現象が激しくなって摩耗が助長される。
して形成された耐食性酸化被膜である。なお、バリア層
２は上記アルマイト１とアルミニウム３との中間部材で
あり、Ａｌ2 ＋ Ａｌ2Ｏ3 ・Ｈ2Ｏ で表される。上記ア
ルマイト１は、電解直後においてはその表面に多数の微
小孔４が形成された多孔質酸化被膜γ−Ａｌ2Ｏ3となっ
ているが、この状態のままでは耐久性に欠けるため通常
酢酸ニッケル等による封孔処理が行われて上記微小孔４
が塞がれる。しかし、同図６に示すように上述した酢酸
ニッケル等による封孔処理ではアルマイト１表面から数
μｍの範囲１０５までしか封孔処理が成されない。つま
り、該微小孔４の下部から底部にかけては中空状態とな
っている。また、この現象はアルマイト１の膜厚が厚い
ほど顕著に見られる。そして、摩耗によって該アルマイ
ト１表面の一部が脱落すると該アルマイト１表面には中
空となっている多数の上記微小孔４が現れることにな
る。これにより該アルマイト１自体の強度が弱くなり、
ますます脱落現象が激しくなって摩耗が助長される。
【０００７】一方、図７は上記アルマイト１の角部分の
１例を拡大して示した斜視図であるが、図に示すように
角部７にはアルマイト１が形成されていない。これは、
アルマイト１がアルミニウム３の表面において垂直方向
にしか成長しない性質を有するためであり、これにより
該角部１０７でアルマイト１が割れたようになってその
断面が露呈した状態になっている。このような状態で角
部１０７に外部より力がかかると該角部１０７から小片
１０８が欠落し、この欠落した部分からアルマイト１が
崩れていく現象か生じる。
１例を拡大して示した斜視図であるが、図に示すように
角部７にはアルマイト１が形成されていない。これは、
アルマイト１がアルミニウム３の表面において垂直方向
にしか成長しない性質を有するためであり、これにより
該角部１０７でアルマイト１が割れたようになってその
断面が露呈した状態になっている。このような状態で角
部１０７に外部より力がかかると該角部１０７から小片
１０８が欠落し、この欠落した部分からアルマイト１が
崩れていく現象か生じる。
【０００８】図８は上記アルマイト１の角部分の他の例
を示す拡大斜視図であり、図に示すようにＣ面形状の面
取を施した例であるが、この場合においても該アルマイ
ト１は割れたようになっていて、上記図７に示す場合と
同様に該アルマイト１より小片１０８が多数欠落するこ
とになる。この小片１０８は上述したフレーク状の粉よ
りも大きく砥粒の作用をさらに助長することになる。
を示す拡大斜視図であり、図に示すようにＣ面形状の面
取を施した例であるが、この場合においても該アルマイ
ト１は割れたようになっていて、上記図７に示す場合と
同様に該アルマイト１より小片１０８が多数欠落するこ
とになる。この小片１０８は上述したフレーク状の粉よ
りも大きく砥粒の作用をさらに助長することになる。
【０００９】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであり、摩耗が少なく、かつ、小片の欠落がない摺動
部材を有し、長寿命化を実現した超音波モータを提供す
ることを目的とする。
のであり、摩耗が少なく、かつ、小片の欠落がない摺動
部材を有し、長寿命化を実現した超音波モータを提供す
ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明による超音波モータは、超音波振動子の特定
表面に発生する超音波振動により、上記特定表面に圧接
した移動体を上記超音波振動子に対して所望の方向に相
対移動させる超音波モータにおいて、上記超音波振動子
と上記移動体との何れか一方の接触面に、底部まで水和
物で充填された複数の微小孔を有する多孔質酸化被膜を
施した摺動部材を具備する。
めに本発明による超音波モータは、超音波振動子の特定
表面に発生する超音波振動により、上記特定表面に圧接
した移動体を上記超音波振動子に対して所望の方向に相
対移動させる超音波モータにおいて、上記超音波振動子
と上記移動体との何れか一方の接触面に、底部まで水和
物で充填された複数の微小孔を有する多孔質酸化被膜を
施した摺動部材を具備する。
【００１１】
【作用】本発明においては、超音波振動子と移動体との
何れか一方の接触面に形成する摺動部材に施す多孔質酸
化被膜の微小孔に底部まで水和物を充填するか、もしく
は、該摺動部材の角部に曲面形状の面取を施すかの少な
くとも一方を成す。
何れか一方の接触面に形成する摺動部材に施す多孔質酸
化被膜の微小孔に底部まで水和物を充填するか、もしく
は、該摺動部材の角部に曲面形状の面取を施すかの少な
くとも一方を成す。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
する。
【００１３】図１は、本発明の超音波モータの摺動部材
に施している多孔質酸化被膜（アルマイト）の１実施例
を示した拡大断面斜視図である。
に施している多孔質酸化被膜（アルマイト）の１実施例
を示した拡大断面斜視図である。
【００１４】図に示すように、アルマイト１に形成され
る微小孔４の内部には水和物５が該微小孔４の底部まで
充填されている。この水和物５は封孔温度により異なる
が、以下の化学式で示されるベーマイトが最も適してい
る。
る微小孔４の内部には水和物５が該微小孔４の底部まで
充填されている。この水和物５は封孔温度により異なる
が、以下の化学式で示されるベーマイトが最も適してい
る。
【００１５】 Ａｌ2Ｏ3 ＋Ｈ2Ｏ → ２ＡｌＯ（ＯＨ）→ Ａｌ2Ｏ3・Ｈ2Ｏ 本実施例では、上記水和物５を上記微小孔４の底部まで
形成する際に、蒸気封孔処理法を採用している。この蒸
気封孔処理法とは高温高圧の蒸気下に被アルマイト処理
物質を所定時間放置して上記微小孔を封孔する処理方法
である。さらに詳しく説明すると、図中、アルミニウム
３，バリア層２，アルマイト１とで構成される被アルマ
イト処理物質を、たとえば温度１００°Ｃ〜２００°
Ｃ，圧力３〜１０ａｔｍの蒸気雰囲気中で３０分以上放
置すると、上記アルマイト１の微小孔４内において化学
変化によって上記ベーマイト（Ａｌ2Ｏ3・Ｈ2Ｏ ）等の
水和物５が発生する。これにより、該微小孔４内は該水
和物５によって満たされることになる。
形成する際に、蒸気封孔処理法を採用している。この蒸
気封孔処理法とは高温高圧の蒸気下に被アルマイト処理
物質を所定時間放置して上記微小孔を封孔する処理方法
である。さらに詳しく説明すると、図中、アルミニウム
３，バリア層２，アルマイト１とで構成される被アルマ
イト処理物質を、たとえば温度１００°Ｃ〜２００°
Ｃ，圧力３〜１０ａｔｍの蒸気雰囲気中で３０分以上放
置すると、上記アルマイト１の微小孔４内において化学
変化によって上記ベーマイト（Ａｌ2Ｏ3・Ｈ2Ｏ ）等の
水和物５が発生する。これにより、該微小孔４内は該水
和物５によって満たされることになる。
【００１６】上記水和物５で微小孔４が完全に充填され
たアルマイト１は、中実構造を形成することで中空状態
のときと比べて強度が数十倍に向上し、また、該アルマ
イト１は高温化に置かれた後冷却されるので、その結晶
構造もアニール（焼なまし）効果によってより強い構造
となる。
たアルマイト１は、中実構造を形成することで中空状態
のときと比べて強度が数十倍に向上し、また、該アルマ
イト１は高温化に置かれた後冷却されるので、その結晶
構造もアニール（焼なまし）効果によってより強い構造
となる。
【００１７】これにより、上記アルマイト１の表面にお
けるフレーク状の粉（表面脱落）の発生が極端に少なく
なり、また、パウダー状の粉の発生も抑えられる。さら
に、該アルマイト１表面において摩耗が生じても該表面
の状態は常に一定で、摩耗が顕著になることはない。
けるフレーク状の粉（表面脱落）の発生が極端に少なく
なり、また、パウダー状の粉の発生も抑えられる。さら
に、該アルマイト１表面において摩耗が生じても該表面
の状態は常に一定で、摩耗が顕著になることはない。
【００１８】一方、上記アルマイト１の角部に曲面形状
の面取を施すことで、割れのないアルマイト１が角部全
表面に形成され、小片１０８（図８参照）の発生が皆無
となる。
の面取を施すことで、割れのないアルマイト１が角部全
表面に形成され、小片１０８（図８参照）の発生が皆無
となる。
【００１９】次に、アルマイト処理を施した後に、上述
したように水和物５で微小孔４を完全に充填したアルマ
イト１が形成された摺動部材を具備する超音波モータの
各実施例を説明する。
したように水和物５で微小孔４を完全に充填したアルマ
イト１が形成された摺動部材を具備する超音波モータの
各実施例を説明する。
【００２０】図２は、本発明の第１実施例である超音波
モータの積層状態を示す側面図、また、図３（ａ）は、
上記第１実施例である超音波モータの主要部の構成を示
す拡大斜視図である。
モータの積層状態を示す側面図、また、図３（ａ）は、
上記第１実施例である超音波モータの主要部の構成を示
す拡大斜視図である。
【００２１】図２に示すように、この超音波モータ９
は、３枚の電極１３間に配設された２枚の圧電素子１４
の上下部にそれぞれ共振器１１，１２を配設した超音波
振動子１０と該超音波振動子１０の一端面に圧接され、
同超音波振動子１０の超音波振動によって所定方向に回
転する移動体である回転子１９とで主要部が構成されて
いる。
は、３枚の電極１３間に配設された２枚の圧電素子１４
の上下部にそれぞれ共振器１１，１２を配設した超音波
振動子１０と該超音波振動子１０の一端面に圧接され、
同超音波振動子１０の超音波振動によって所定方向に回
転する移動体である回転子１９とで主要部が構成されて
いる。
【００２２】図３（ａ）に示すように、上記圧電素子１
４はドーナツ形状を呈し、中心を通る分極境界線１４ａ
によって互いに反対方向に分極されている。そして、２
枚の該圧電素子１４がその分極境界線１４ａが互いに９
０°ずれるようにして積層方向に配設されている。ま
た、上記圧電素子１４の上下方には該圧電素子１４の伸
縮により振動する共振器１１，１２がそれぞれ該圧電素
子１４を挟むように配設されている。さらに、上記２枚
の圧電素子１４および上記共振器１１，１２の間には該
圧電素子１４とほぼ同大同型の接触面を有する電圧印加
用の電極板１３が挟まれて配設されている。該３枚の電
極板１３には、それぞれ端子Ａ，Ｇ，Ｂが突設されてい
て、それぞれ図示しない電源に接続されている。
４はドーナツ形状を呈し、中心を通る分極境界線１４ａ
によって互いに反対方向に分極されている。そして、２
枚の該圧電素子１４がその分極境界線１４ａが互いに９
０°ずれるようにして積層方向に配設されている。ま
た、上記圧電素子１４の上下方には該圧電素子１４の伸
縮により振動する共振器１１，１２がそれぞれ該圧電素
子１４を挟むように配設されている。さらに、上記２枚
の圧電素子１４および上記共振器１１，１２の間には該
圧電素子１４とほぼ同大同型の接触面を有する電圧印加
用の電極板１３が挟まれて配設されている。該３枚の電
極板１３には、それぞれ端子Ａ，Ｇ，Ｂが突設されてい
て、それぞれ図示しない電源に接続されている。
【００２３】上記超音波振動子１０は上記２枚の圧電素
子１４，共振器１１，１２，３枚の電極板１３が図示の
如く積層して構成されていて、これらの構成部材の中心
を固定ボルト１５（図２参照）によって所定の圧着力で
締めつけ固定している。
子１４，共振器１１，１２，３枚の電極板１３が図示の
如く積層して構成されていて、これらの構成部材の中心
を固定ボルト１５（図２参照）によって所定の圧着力で
締めつけ固定している。
【００２４】上記共振器１１は底部を有する中空の円筒
形状を呈し、上部の、互いに直角に交わる２つの径方向
には縦方向の切欠が形成されていて端面は４当分されて
いる。また、該共振器１１の振動拡大のために外周側面
には中心方向へ複数の溝１６が形成されている。該共振
器１１の端面、すなわち、超音波振動子１０の端面には
該超音波振動子１０の超音波振動によって所定方向に回
転する回転子１９が複数のベアリング１７を介して上記
固定ボルト１５に軸支されて配設されている。該回転子
１９の、上記超音波振動子１０との接触面の反対側には
上記固定ボルト１５に軸支されたばね１８ａによる押圧
機構１８（図２参照）が配設されていて、該回転子１９
は、上記ばね１８ａの付勢力によって上記共振器１１の
端面に押圧されている。
形状を呈し、上部の、互いに直角に交わる２つの径方向
には縦方向の切欠が形成されていて端面は４当分されて
いる。また、該共振器１１の振動拡大のために外周側面
には中心方向へ複数の溝１６が形成されている。該共振
器１１の端面、すなわち、超音波振動子１０の端面には
該超音波振動子１０の超音波振動によって所定方向に回
転する回転子１９が複数のベアリング１７を介して上記
固定ボルト１５に軸支されて配設されている。該回転子
１９の、上記超音波振動子１０との接触面の反対側には
上記固定ボルト１５に軸支されたばね１８ａによる押圧
機構１８（図２参照）が配設されていて、該回転子１９
は、上記ばね１８ａの付勢力によって上記共振器１１の
端面に押圧されている。
【００２５】上記回転子１９は、熱処理されることで硬
度がＨｖ６５０以上になっているＳＫ材によって形成さ
れていて、また、上記共振器１１は振動伝達に勝れた材
質、たとえば、アルミニウム合金にシュウ酸アルマイト
処理が５０μｍの厚さで施されたアルマイト１（図１参
照）で形成されている。該アルマイト１は、蒸気封孔
（温度１４０°Ｃ、圧力４ａｔｍ、放置時間１００分の
蒸気下）によって封孔処理され微小孔４（図１参照）を
完全に水和物５で充填している。
度がＨｖ６５０以上になっているＳＫ材によって形成さ
れていて、また、上記共振器１１は振動伝達に勝れた材
質、たとえば、アルミニウム合金にシュウ酸アルマイト
処理が５０μｍの厚さで施されたアルマイト１（図１参
照）で形成されている。該アルマイト１は、蒸気封孔
（温度１４０°Ｃ、圧力４ａｔｍ、放置時間１００分の
蒸気下）によって封孔処理され微小孔４（図１参照）を
完全に水和物５で充填している。
【００２６】一方、図３（ｂ）は上記共振器１１の端部
を拡大して示した側断面図である。
を拡大して示した側断面図である。
【００２７】この図３（ｂ）に示すように該共振器１１
の、上記回転子１９との接触面の角部１１ａには、上記
アルマイト１の膜厚の２倍以上を半径とする曲面形状の
面取（本実施例では、半径ｒ＝０．１ｍｍ）が形成され
ている。そして、該角部１１ａにもアルマイト処理が施
されている。
の、上記回転子１９との接触面の角部１１ａには、上記
アルマイト１の膜厚の２倍以上を半径とする曲面形状の
面取（本実施例では、半径ｒ＝０．１ｍｍ）が形成され
ている。そして、該角部１１ａにもアルマイト処理が施
されている。
【００２８】このように構成される超音波モータ９は、
上記電極板１３のうち上下に配設している電極板１３の
端子Ａ，Ｂに共振周波数附近の正弦波電圧を時間的に９
０°ずらして印加し、２つの圧電素子１４間に配設して
いる電極板１３の端子Ｇをアースすることで、超音波振
動子１０に一次モードの屈曲振動が該振動子１０の中心
軸周りに回転する運動が発生し、回転子１９が所定方向
に回転する。
上記電極板１３のうち上下に配設している電極板１３の
端子Ａ，Ｂに共振周波数附近の正弦波電圧を時間的に９
０°ずらして印加し、２つの圧電素子１４間に配設して
いる電極板１３の端子Ｇをアースすることで、超音波振
動子１０に一次モードの屈曲振動が該振動子１０の中心
軸周りに回転する運動が発生し、回転子１９が所定方向
に回転する。
【００２９】上記第１実施例の超音波モータは以下に示
す効果を有する。
す効果を有する。
【００３０】蒸気封孔処理によって形成された水和物５
がアルマイト１の微小孔４を完全に充填するため該アル
マイト１の強度が向上する。すなわち、微小孔４が埋め
られるため、アルマイト１の被膜の耐圧縮力および耐曲
げ力が通常の被膜、たとえば酢酸ニッケル封孔処理によ
って封孔されたシュウ酸アルマイト被膜に対して約３倍
の強度が得られる。そして、たとえ、上記アルマイト１
の表面部分が初期摩耗によって摩耗しても微小孔４が中
空状態で露出する、すなわち、開口部を有して露出する
ことがないため、摩擦係数等を安定に維持することがで
き摩耗がさらに増長することがない。また、高温化に置
いた後に冷却するのでアニール（焼きなまし）効果によ
ってアルマイト１の六角形結晶の結合力が強くなり、結
晶の境界面から発生する脱落（フレーク状の粉）が減少
する。さらに、共振器１１の角部１１ａには曲面形状の
面取が施されており、したがって、該角部１１ａには上
記アルマイト１の被膜が割れることなくアルミニウム表
面に形成される。ここで、この面取は該アルマイト１の
膜厚の２倍以上を半径寸法とすることが必要で、それ以
下を半径寸法とした場合、該面取部に無数のクラックが
発生し、従来のような小片の欠落が発生しやすくなる。
がアルマイト１の微小孔４を完全に充填するため該アル
マイト１の強度が向上する。すなわち、微小孔４が埋め
られるため、アルマイト１の被膜の耐圧縮力および耐曲
げ力が通常の被膜、たとえば酢酸ニッケル封孔処理によ
って封孔されたシュウ酸アルマイト被膜に対して約３倍
の強度が得られる。そして、たとえ、上記アルマイト１
の表面部分が初期摩耗によって摩耗しても微小孔４が中
空状態で露出する、すなわち、開口部を有して露出する
ことがないため、摩擦係数等を安定に維持することがで
き摩耗がさらに増長することがない。また、高温化に置
いた後に冷却するのでアニール（焼きなまし）効果によ
ってアルマイト１の六角形結晶の結合力が強くなり、結
晶の境界面から発生する脱落（フレーク状の粉）が減少
する。さらに、共振器１１の角部１１ａには曲面形状の
面取が施されており、したがって、該角部１１ａには上
記アルマイト１の被膜が割れることなくアルミニウム表
面に形成される。ここで、この面取は該アルマイト１の
膜厚の２倍以上を半径寸法とすることが必要で、それ以
下を半径寸法とした場合、該面取部に無数のクラックが
発生し、従来のような小片の欠落が発生しやすくなる。
【００３１】また、多孔質酸化被膜（アルマイト１）の
なかでも、本実施例にて採用しているシュウ酸アルマイ
トは一般に用いられている硫酸アルマイトよりも結晶構
造が大きく、高硬度で耐摩耗性に特に優れている。
なかでも、本実施例にて採用しているシュウ酸アルマイ
トは一般に用いられている硫酸アルマイトよりも結晶構
造が大きく、高硬度で耐摩耗性に特に優れている。
【００３２】このように、アルマイトの微小孔を水和物
で完全に充填することがアルマイトの被膜強度を向上さ
せるために有効で、摩耗の原因となるフレーク状の粉の
発生を減少させ、それによって引き起こされるパウダー
状の粉をも減少させる。また、角部の曲面形状の面取に
よって小片の欠落発生を皆無にし、長寿命の超音波モー
タを提供することができる。このタイプの超音波モータ
の場合、通常のアルマイトと水和物で完全に埋められた
アルマイトでは寿命に約５倍の差がある。なお、このよ
うな微小孔を完全に埋められたアルマイトは、耐食性も
数段向上するため、医療など薬品を多用する分野にも適
用することが可能となる。
で完全に充填することがアルマイトの被膜強度を向上さ
せるために有効で、摩耗の原因となるフレーク状の粉の
発生を減少させ、それによって引き起こされるパウダー
状の粉をも減少させる。また、角部の曲面形状の面取に
よって小片の欠落発生を皆無にし、長寿命の超音波モー
タを提供することができる。このタイプの超音波モータ
の場合、通常のアルマイトと水和物で完全に埋められた
アルマイトでは寿命に約５倍の差がある。なお、このよ
うな微小孔を完全に埋められたアルマイトは、耐食性も
数段向上するため、医療など薬品を多用する分野にも適
用することが可能となる。
【００３３】次に、本発明の第２実施例である超音波モ
ータについて説明する。
ータについて説明する。
【００３４】図４は、上記第２実施例の超音波モータを
示す（ａ）概略斜視図、（ｂ）該超音波モータにおける
回転子と弾性体との接触部を示した拡大側断面図、
（ｃ）該超音波モータにおける回転子の微小突出部を示
した拡大断面図である。
示す（ａ）概略斜視図、（ｂ）該超音波モータにおける
回転子と弾性体との接触部を示した拡大側断面図、
（ｃ）該超音波モータにおける回転子の微小突出部を示
した拡大断面図である。
【００３５】この第２実施例は、上記第１実施例と同様
のアルマイト処理を施した後に、上述したように水和物
５で微小孔４を完全に充填したアルマイト１が形成され
た摺動部材を具備する超音波モータであるが、リング形
状の進行波型超音波モータである。
のアルマイト処理を施した後に、上述したように水和物
５で微小孔４を完全に充填したアルマイト１が形成され
た摺動部材を具備する超音波モータであるが、リング形
状の進行波型超音波モータである。
【００３６】図４（ａ）に示すように、リング形状の弾
性体２２は、一方の端面には径方向に振動拡大用の溝２
３が形成され、もう他方の端面には進行波を発生させる
ように分極された圧電素子２４が接合されている。な
お、該弾性体２２は、たとえばＳＵＳ４４０Ｃを材料に
して形成され、熱処理によって硬度がＨｖ９００以上に
なっている。上記弾性体２２の一方の端面（図中、上
面）にはリング形状の回転子２５が配設されている。こ
の回転子２５はアルミニウム合金で形成され、また、そ
の表面には硫酸とクエン酸の混合浴で処理された前記ア
ルマイト１が厚さ３０μｍで形成されている。そして、
このアルマイト１は上記第１実施例と同様に蒸気封孔処
理によって微小孔４が水和物５で完全に充填されてい
る。なお、該蒸気封孔の条件は上記第１実施例と同様で
ある。
性体２２は、一方の端面には径方向に振動拡大用の溝２
３が形成され、もう他方の端面には進行波を発生させる
ように分極された圧電素子２４が接合されている。な
お、該弾性体２２は、たとえばＳＵＳ４４０Ｃを材料に
して形成され、熱処理によって硬度がＨｖ９００以上に
なっている。上記弾性体２２の一方の端面（図中、上
面）にはリング形状の回転子２５が配設されている。こ
の回転子２５はアルミニウム合金で形成され、また、そ
の表面には硫酸とクエン酸の混合浴で処理された前記ア
ルマイト１が厚さ３０μｍで形成されている。そして、
このアルマイト１は上記第１実施例と同様に蒸気封孔処
理によって微小孔４が水和物５で完全に充填されてい
る。なお、該蒸気封孔の条件は上記第１実施例と同様で
ある。
【００３７】図４（ｂ）に示すように、上記回転子２５
の下部にはばね性を有するフランジ２７が形成されてい
る。このフランジ２７の、上記弾性体２２の一方の端面
（図中、上面）との接触面にはリング形状の微小の突出
部２８が突設されていて、該回転子２５は該突設部２８
を介して上記弾性体２２の振動を受け所定方向に回転す
るようになっている。
の下部にはばね性を有するフランジ２７が形成されてい
る。このフランジ２７の、上記弾性体２２の一方の端面
（図中、上面）との接触面にはリング形状の微小の突出
部２８が突設されていて、該回転子２５は該突設部２８
を介して上記弾性体２２の振動を受け所定方向に回転す
るようになっている。
【００３８】図４（ｃ）は、上記図４（ｂ）における、
上記弾性体２２と上記突出部２８との接触部２８ｂを拡
大して示したもので、図に示すように該突出部２８の角
部２８ａはアルマイト１の膜厚の２倍を半径寸法（本実
施例では、ｒ＝０．２ｍｍ）とする曲面形状の面取が施
されている。なお、上記アルマイト１は該突出部２８全
体を覆っているため該突出部２８の角部２８ａも該アル
マイト１で覆われている。
上記弾性体２２と上記突出部２８との接触部２８ｂを拡
大して示したもので、図に示すように該突出部２８の角
部２８ａはアルマイト１の膜厚の２倍を半径寸法（本実
施例では、ｒ＝０．２ｍｍ）とする曲面形状の面取が施
されている。なお、上記アルマイト１は該突出部２８全
体を覆っているため該突出部２８の角部２８ａも該アル
マイト１で覆われている。
【００３９】なお、本第２実施例は、上記第１実施例に
おいて使用したシュウ酸アルマイトに限らず、多孔質型
酸化被膜である硫酸アルマイト，リン酸アルマイト，ク
ロム酸アルマイト等を用いても上記第１実施例と同様の
効果が得られる。したがって、本第２実施例は上記シュ
ウ酸アルマイトよりも安価なこれらのアルマイトを用い
ることができ量産品に適している。
おいて使用したシュウ酸アルマイトに限らず、多孔質型
酸化被膜である硫酸アルマイト，リン酸アルマイト，ク
ロム酸アルマイト等を用いても上記第１実施例と同様の
効果が得られる。したがって、本第２実施例は上記シュ
ウ酸アルマイトよりも安価なこれらのアルマイトを用い
ることができ量産品に適している。
【００４０】次に、本発明の第３実施例である超音波モ
ータについて説明する。
ータについて説明する。
【００４１】図５は、上記第３実施例の超音波モータを
示しており、同図（ａ）は超音波振動子と移動体とを示
した概略斜視図、同図（ｂ）は該超音波振動子を下方か
ら見た底面図、同図（ｃ）は上記移動体と上記超音波振
動子における弾性体との接触部を示した拡大断面図であ
る。
示しており、同図（ａ）は超音波振動子と移動体とを示
した概略斜視図、同図（ｂ）は該超音波振動子を下方か
ら見た底面図、同図（ｃ）は上記移動体と上記超音波振
動子における弾性体との接触部を示した拡大断面図であ
る。
【００４２】この第３実施例も上記第１，第２実施例同
様、アルマイト処理を施した後に、上述したように水和
物５で微小孔４を完全に充填したアルマイト１が形成さ
れた摺動部材を具備する超音波モータであるが、リニア
型の超音波モータである。
様、アルマイト処理を施した後に、上述したように水和
物５で微小孔４を完全に充填したアルマイト１が形成さ
れた摺動部材を具備する超音波モータであるが、リニア
型の超音波モータである。
【００４３】図５（ａ）に示すように、積層型圧電アク
チュエータ２９の一方の端面（図中、下面）には、該積
層型圧電アクチュエータ２９と同大の断面形状を有する
たとえばリン青銅で形成された弾性体３０が、また、他
方（図中、上面）には、該積層型圧電アクチュエータ２
９と同大の断面形状を有する同じくリン青銅で形成され
た弾性体３１がそれぞれ接合されている。図５（ｂ）の
底面図に示すように上記弾性体３０の４つの側面にはそ
れぞれ同形状の圧電素子３２が上記積層型圧電アクチュ
エータ２９の積層方向と垂直の方向に接合され、４方向
にベンディングモードの振動を励振するようになってい
る。
チュエータ２９の一方の端面（図中、下面）には、該積
層型圧電アクチュエータ２９と同大の断面形状を有する
たとえばリン青銅で形成された弾性体３０が、また、他
方（図中、上面）には、該積層型圧電アクチュエータ２
９と同大の断面形状を有する同じくリン青銅で形成され
た弾性体３１がそれぞれ接合されている。図５（ｂ）の
底面図に示すように上記弾性体３０の４つの側面にはそ
れぞれ同形状の圧電素子３２が上記積層型圧電アクチュ
エータ２９の積層方向と垂直の方向に接合され、４方向
にベンディングモードの振動を励振するようになってい
る。
【００４４】上記弾性体３１の上面中央部には図５
（ａ）に示すようにアルミニウム合金の半球状の突起３
３が突設されていて、該突起３３を介して移動体３４が
該弾性体３１に圧接して配設されている。なお、この突
起３３と移動体３４との接触部３３ｂは図５（ｃ）の拡
大図に示すようになっている。上記突起３３の表面は上
記第１，第２実施例と同様にアルマイト処理が施され、
たとえばシュウ酸アルマイトが４０μｍ形成されてい
る。また、該半球状の突起３３の半径は、表面に形成さ
れたアルマイト１の膜厚の２倍以上になっている。さら
に、該アルマイト１は上記第１，第２実施例と同様に蒸
気封孔処理によって微小孔４が水和物５で充填されてい
る。この蒸気封孔処理の条件は上記第１，第２実施例と
同様であるが放置時間をさらに長くしている。また、上
記移動体３４はＳＫ材で熱処理によって硬度をＨｖ９０
０以上にされている。
（ａ）に示すようにアルミニウム合金の半球状の突起３
３が突設されていて、該突起３３を介して移動体３４が
該弾性体３１に圧接して配設されている。なお、この突
起３３と移動体３４との接触部３３ｂは図５（ｃ）の拡
大図に示すようになっている。上記突起３３の表面は上
記第１，第２実施例と同様にアルマイト処理が施され、
たとえばシュウ酸アルマイトが４０μｍ形成されてい
る。また、該半球状の突起３３の半径は、表面に形成さ
れたアルマイト１の膜厚の２倍以上になっている。さら
に、該アルマイト１は上記第１，第２実施例と同様に蒸
気封孔処理によって微小孔４が水和物５で充填されてい
る。この蒸気封孔処理の条件は上記第１，第２実施例と
同様であるが放置時間をさらに長くしている。また、上
記移動体３４はＳＫ材で熱処理によって硬度をＨｖ９０
０以上にされている。
【００４５】超音波振動子は積層型圧電アクチュエータ
２９からの縦振動と、弾性体３０の各側面に配設された
圧電素子３２のうち対向する２枚を用いて発生するベン
ディングモードの振動とを合成して、上記半球状の突起
３３に楕円の振動を発生させ、図示しない押圧手段によ
って該突起３３に圧着された移動体３４を直線的に移動
させるようになっている。
２９からの縦振動と、弾性体３０の各側面に配設された
圧電素子３２のうち対向する２枚を用いて発生するベン
ディングモードの振動とを合成して、上記半球状の突起
３３に楕円の振動を発生させ、図示しない押圧手段によ
って該突起３３に圧着された移動体３４を直線的に移動
させるようになっている。
【００４６】この第３実施例によれば、弾性体３１と移
動体３４との間に配設した摺動部材を、アルマイト１の
膜厚の２倍以上を半径とする半球形状の突起３３で構成
したことで、小片の欠落等の発生を防止することができ
る。また、蒸気封孔処理の放置時間を増加させたことに
より、微小孔４の水和物５の充填密度を増加させ、より
強度を向上させて耐摩耗性を上げることができ、超音波
モータとしての寿命も長くなっている。
動体３４との間に配設した摺動部材を、アルマイト１の
膜厚の２倍以上を半径とする半球形状の突起３３で構成
したことで、小片の欠落等の発生を防止することができ
る。また、蒸気封孔処理の放置時間を増加させたことに
より、微小孔４の水和物５の充填密度を増加させ、より
強度を向上させて耐摩耗性を上げることができ、超音波
モータとしての寿命も長くなっている。
【００４７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ア
ルマイトの微小孔をすべて水和物で充填することによっ
て該アルマイトの強度、結合力を向上させ、また、摺動
部材に曲面形状の面取を施したことで、摩耗が少なく、
かつ、小片の欠落がない摺動部材を有し、長寿命化を実
現した超音波モータを提供するが可能となる。
ルマイトの微小孔をすべて水和物で充填することによっ
て該アルマイトの強度、結合力を向上させ、また、摺動
部材に曲面形状の面取を施したことで、摩耗が少なく、
かつ、小片の欠落がない摺動部材を有し、長寿命化を実
現した超音波モータを提供するが可能となる。
【図１】本発明の超音波モータにおける摺動部材に施さ
れる多孔質酸化被膜の拡大断面図。
れる多孔質酸化被膜の拡大断面図。
【図２】本発明の第１実施例の超音波モータを示す側面
図。
図。
【図３】上記第１実施例の超音波モータにおける、
（ａ）主要部の積層状態を示す拡大斜視図と、（ｂ）超
音波振動子と回転子との接触部を示した拡大断面図。
（ａ）主要部の積層状態を示す拡大斜視図と、（ｂ）超
音波振動子と回転子との接触部を示した拡大断面図。
【図４】本発明の第２実施例の超音波モータの、（ａ）
概略斜視図、（ｂ）回転子と弾性体との接触部を示した
拡大側断面図、（ｃ）回転子の微小突出部を示した拡大
断面図。
概略斜視図、（ｂ）回転子と弾性体との接触部を示した
拡大側断面図、（ｃ）回転子の微小突出部を示した拡大
断面図。
【図５】本発明の第３実施例の超音波モータの、（ａ）
超音波振動子と移動体とを示した概略斜視図、（ｂ）下
方から見た底面図、（ｃ）移動体と超音波振動子との接
触部を示した拡大断面図。
超音波振動子と移動体とを示した概略斜視図、（ｂ）下
方から見た底面図、（ｃ）移動体と超音波振動子との接
触部を示した拡大断面図。
【図６】従来の硬質アルマイトの断面を拡大して示した
斜視図。
斜視図。
【図７】上記硬質アルマイトの角部分の１例を拡大して
示した斜視図。
示した斜視図。
【図８】上記硬質アルマイトの角部分の他の例を示す拡
大斜視図。
大斜視図。
【図９】従来の超音波モータの１例の主要部を示した概
略図。
略図。
１…アルマイト ２…バリア層 ３…アルミニウム ４…微小孔 ５…水和物 ９…超音波モータ １０…超音波振動子 １１，１２…共振器 １１ａ…角部 １１ｂ…接触部 １３…電極板 １４…圧電素子 １９…移動体（回転子）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−97179（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−283072（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−283475（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−154075（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−100178（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−61894（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/12 H02N 2/16
Claims (3)
- 【請求項１】 超音波振動子の特定表面に発生する超音
波振動により、上記特定表面に圧接した移動体を上記超
音波振動子に対して所望の方向に相対移動させる超音波
モータにおいて、上記超音波振動子と上記移動体との何
れか一方の接触面に、底部まで水和物で充填された複数
の微小孔を有する多孔質酸化被膜を施した摺動部材が形
成されていることを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項２】 上記摺動部材の角部に曲面形状の面取を
施したことを特徴とする請求項１記載の超音波モータ。 - 【請求項３】 上記曲面形状の面取の半径は、上記多孔
質酸化被膜の膜厚の２倍以上であることを特徴とする請
求項２記載の超音波モータ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04147565A JP3098858B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 超音波モータ |
| US08/065,195 US5357164A (en) | 1992-06-08 | 1993-05-20 | Ultrasonic motor |
| DE4318912A DE4318912C2 (de) | 1992-06-08 | 1993-06-07 | Ultraschallmotor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04147565A JP3098858B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05344757A JPH05344757A (ja) | 1993-12-24 |
| JP3098858B2 true JP3098858B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=15433227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04147565A Expired - Fee Related JP3098858B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 超音波モータ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5357164A (ja) |
| JP (1) | JP3098858B2 (ja) |
| DE (1) | DE4318912C2 (ja) |
Families Citing this family (136)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US10485607B2 (en) | 2016-04-29 | 2019-11-26 | Ethicon Llc | Jaw structure with distal closure for electrosurgical instruments |
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| US11684412B2 (en) | 2019-12-30 | 2023-06-27 | Cilag Gmbh International | Surgical instrument with rotatable and articulatable surgical end effector |
| US20210196359A1 (en) | 2019-12-30 | 2021-07-01 | Ethicon Llc | Electrosurgical instruments with electrodes having energy focusing features |
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| FR2223306B1 (ja) * | 1973-03-27 | 1975-08-22 | Rhone Progil | |
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-
1992
- 1992-06-08 JP JP04147565A patent/JP3098858B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-05-20 US US08/065,195 patent/US5357164A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-06-07 DE DE4318912A patent/DE4318912C2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05344757A (ja) | 1993-12-24 |
| DE4318912A1 (de) | 1993-12-16 |
| US5357164A (en) | 1994-10-18 |
| DE4318912C2 (de) | 1996-03-28 |
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Legal Events
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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