JPH06205592A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JPH06205592A JPH06205592A JP5254552A JP25455293A JPH06205592A JP H06205592 A JPH06205592 A JP H06205592A JP 5254552 A JP5254552 A JP 5254552A JP 25455293 A JP25455293 A JP 25455293A JP H06205592 A JPH06205592 A JP H06205592A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Abstract
(57)【要約】
【目的】 弾性体と移動子との接触する面に段差を設け
ることで、研磨面を少なくし研磨加工時間を短くする。 【構成】 本発明の超音波モータは、駆動信号により励
振される圧電体２と、圧電体の励振によって進行波が発
生される弾性体２と、弾性体に発生する進行波によって
駆動される移動子４とを備え、弾性体の移動子側の面に
は、移動子に接触する第１の面１ｂと、第１の面の高さ
に対して０．３ｍｍ程度の段差をもって低く形成された
第２の面１ｃ，ｄとが形成されている。そして、第１の
面は研磨され第２の面は研磨されない。
ることで、研磨面を少なくし研磨加工時間を短くする。 【構成】 本発明の超音波モータは、駆動信号により励
振される圧電体２と、圧電体の励振によって進行波が発
生される弾性体２と、弾性体に発生する進行波によって
駆動される移動子４とを備え、弾性体の移動子側の面に
は、移動子に接触する第１の面１ｂと、第１の面の高さ
に対して０．３ｍｍ程度の段差をもって低く形成された
第２の面１ｃ，ｄとが形成されている。そして、第１の
面は研磨され第２の面は研磨されない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波振動を利用した超
音波モータに関する。
音波モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の超音波モータとしては、例えば
特開平２−２９０１７１号公報に開示されているものが
あった。従来の超音波モータでは弾性体に発生する振動
の振幅が小さいため、上述の公報では、ロータに接する
側の弾性体の面の平面度を平面研磨加工によって極めて
高精度に加工することの必要性が述べられている。
特開平２−２９０１７１号公報に開示されているものが
あった。従来の超音波モータでは弾性体に発生する振動
の振幅が小さいため、上述の公報では、ロータに接する
側の弾性体の面の平面度を平面研磨加工によって極めて
高精度に加工することの必要性が述べられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の超音波モータにおいては、弾性体のロータに接
する側の面の全領域を平面研磨加工をしていたので、平
面研磨加工に長時間を要し、製造コストの上昇を招くと
いう問題点があった。そこで、本発明は、性能を低下さ
せることなく製造コストの低減が可能な超音波モータを
提供することを目的とする。
た従来の超音波モータにおいては、弾性体のロータに接
する側の面の全領域を平面研磨加工をしていたので、平
面研磨加工に長時間を要し、製造コストの上昇を招くと
いう問題点があった。そこで、本発明は、性能を低下さ
せることなく製造コストの低減が可能な超音波モータを
提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、駆動信号により励振される圧電体２と、この圧電
体の励振によって進行性進行波が発生する弾性体１と、
この弾性体に発生する進行波によって駆動される移動子
４とを備え、弾性体の移動子側の面は、移動子に接触し
研磨される第１の面１ｂと、この第１の面より研磨され
ない程度の所定の段差をもつ第２の面１ｃ，ｄとを形成
し、第１の面に発生する進行波の振幅と第２の面に発生
する進行波の振幅とが略同じであるように超音波モータ
を構成した。
めに、駆動信号により励振される圧電体２と、この圧電
体の励振によって進行性進行波が発生する弾性体１と、
この弾性体に発生する進行波によって駆動される移動子
４とを備え、弾性体の移動子側の面は、移動子に接触し
研磨される第１の面１ｂと、この第１の面より研磨され
ない程度の所定の段差をもつ第２の面１ｃ，ｄとを形成
し、第１の面に発生する進行波の振幅と第２の面に発生
する進行波の振幅とが略同じであるように超音波モータ
を構成した。
【０００５】
【作用】本発明によれば、弾性体の移動子側の面に、移
動子に接触する第１の面と、第１の面の高さに対して所
定の段差をもって低く形成された第２の面とを形成した
ので、平面研磨加工の対象領域を従来より狭くすること
ができ、性能を低下させることなく製造コストの低減が
可能になる。
動子に接触する第１の面と、第１の面の高さに対して所
定の段差をもって低く形成された第２の面とを形成した
ので、平面研磨加工の対象領域を従来より狭くすること
ができ、性能を低下させることなく製造コストの低減が
可能になる。
【０００６】
【実施例】図１〜図４を参照して、本発明の第１実施例
である超音波モータについて説明する。本実施例の超音
波モータの全体構成を図３(a)、(b)を参照して説明す
る。りん青銅、ステンレスまたはインバー等からなる円
環状の弾性体１の一方の面１Ａ（図３(a)では上面）に
は円板環状の圧電体２が一体的に接着されており、これ
ら弾性体１および圧電体２によりステータ３が構成され
ている。圧電体２が設けられている面と反対側の弾性体
１の他方の面１Ｂ（図３(a)では下面）には円環状のロ
ータ４が設けられており、このロータ４は不図示のばね
部材により所定の押圧力で弾性体１の上記他方の面１Ｂ
に押圧、接触されている。
である超音波モータについて説明する。本実施例の超音
波モータの全体構成を図３(a)、(b)を参照して説明す
る。りん青銅、ステンレスまたはインバー等からなる円
環状の弾性体１の一方の面１Ａ（図３(a)では上面）に
は円板環状の圧電体２が一体的に接着されており、これ
ら弾性体１および圧電体２によりステータ３が構成され
ている。圧電体２が設けられている面と反対側の弾性体
１の他方の面１Ｂ（図３(a)では下面）には円環状のロ
ータ４が設けられており、このロータ４は不図示のばね
部材により所定の押圧力で弾性体１の上記他方の面１Ｂ
に押圧、接触されている。
【０００７】圧電体２には、図３(b)に示すような電極
５ａ〜５ｄが形成されている。電極５ｂ、５ｄはさらに
数個のセグメント（不図示）に分割されており、圧電体
２のうち上述のセグメントに接する部分は、それぞれ隣
り合うセグメントどうしで交互に互い違いに分極されて
いる。本実施例では、圧電体２の分極方向はこの圧電体
２の厚さ方向、すなわち図３(a)の上下方向とされてい
る。
５ａ〜５ｄが形成されている。電極５ｂ、５ｄはさらに
数個のセグメント（不図示）に分割されており、圧電体
２のうち上述のセグメントに接する部分は、それぞれ隣
り合うセグメントどうしで交互に互い違いに分極されて
いる。本実施例では、圧電体２の分極方向はこの圧電体
２の厚さ方向、すなわち図３(a)の上下方向とされてい
る。
【０００８】電極５ａを接地し、各電極５ｂ、５ｄにそ
れぞれ互いに９０度位相のずれた周波信号（たとえばV0
sinωt、V0cosωtで表される交流電圧）を供給すると、
この周波信号により圧電体１が励振されて弾性体２に図
４に示すような進行性振動波が形成される。なお、図４
では図示の簡略化のために弾性体２、ロータ４ともにあ
る箇所で切り開いて展開した形で図示してある。
れぞれ互いに９０度位相のずれた周波信号（たとえばV0
sinωt、V0cosωtで表される交流電圧）を供給すると、
この周波信号により圧電体１が励振されて弾性体２に図
４に示すような進行性振動波が形成される。なお、図４
では図示の簡略化のために弾性体２、ロータ４ともにあ
る箇所で切り開いて展開した形で図示してある。
【０００９】進行性振動波は図４のＮで示す方向に進行
し、振動波の１つの山の頂点Ａの付近の粒子の運動に注
目すると、その運動は図４に示すような楕円運動の軌跡
を描いており、運動の方向は弾性体２の表面において振
動波の進行方向Ｎと逆の方向になる。したがって、弾性
体２の押圧、接触されているロータ４は進行波の進行方
向Ｎと逆の方向Ｍに移動する。これにより、ロータ４が
回転駆動される。なお、超音波モータの駆動原理の詳細
は、たとえば特開昭６０−２４５４８２号公報等に開示
されているので、本明細書に開示した事項以上の説明は
省略する。
し、振動波の１つの山の頂点Ａの付近の粒子の運動に注
目すると、その運動は図４に示すような楕円運動の軌跡
を描いており、運動の方向は弾性体２の表面において振
動波の進行方向Ｎと逆の方向になる。したがって、弾性
体２の押圧、接触されているロータ４は進行波の進行方
向Ｎと逆の方向Ｍに移動する。これにより、ロータ４が
回転駆動される。なお、超音波モータの駆動原理の詳細
は、たとえば特開昭６０−２４５４８２号公報等に開示
されているので、本明細書に開示した事項以上の説明は
省略する。
【００１０】図１は、ステータ３のみを拡大して示した
斜視図、図２は図１の断面部を拡大して示した断面図で
ある。上述のように、ステータ３は本来は回転中心軸Ｏ
Ｏを中心に円環形状をなしているが、図１では断面部１
ａの形状を示すために一部破断して描いてある。本実施
例では、図２に示すように、ロータ４の外径・内径間の
幅が弾性体１の外径・内径間の幅より狭く形成され、か
つ、ロータ４に対向する側の弾性体１の面がこのロータ
４の幅に対応して凹凸をもって形成されている。すなわ
ち、ロータ４に対向する側の弾性体１の面１Ｂは、ロー
タ４に接触する面（第１の面）１ｂと、この面１ｂより
１段低くなった面（第２の面）１ｃ、１ｄとを備えてい
る。面１ｂおよび面１ｃ、１ｄは、弾性体１を上からみ
た状態でそれぞれ回転中心軸ＯＯを中心とした同心円環
状に形成され、内周から順に面１ｃ、面１ｂおよび面１
ｄが形成されている。
斜視図、図２は図１の断面部を拡大して示した断面図で
ある。上述のように、ステータ３は本来は回転中心軸Ｏ
Ｏを中心に円環形状をなしているが、図１では断面部１
ａの形状を示すために一部破断して描いてある。本実施
例では、図２に示すように、ロータ４の外径・内径間の
幅が弾性体１の外径・内径間の幅より狭く形成され、か
つ、ロータ４に対向する側の弾性体１の面がこのロータ
４の幅に対応して凹凸をもって形成されている。すなわ
ち、ロータ４に対向する側の弾性体１の面１Ｂは、ロー
タ４に接触する面（第１の面）１ｂと、この面１ｂより
１段低くなった面（第２の面）１ｃ、１ｄとを備えてい
る。面１ｂおよび面１ｃ、１ｄは、弾性体１を上からみ
た状態でそれぞれ回転中心軸ＯＯを中心とした同心円環
状に形成され、内周から順に面１ｃ、面１ｂおよび面１
ｄが形成されている。
【００１１】面１ｂ〜１ｄを含む弾性体１は、たとえば
旋盤等による機械加工もしくはメタルインジェクション
等による成形加工の後に、面１ｂが平面研磨されて高精
度の平面度に仕上げられる。また、面１ｃ、１ｄは面１
ｂに対し１段低く形成されているので、面１ｂの平面研
磨加工時には研磨対象から外され、研磨は行われない。
旋盤等による機械加工もしくはメタルインジェクション
等による成形加工の後に、面１ｂが平面研磨されて高精
度の平面度に仕上げられる。また、面１ｃ、１ｄは面１
ｂに対し１段低く形成されているので、面１ｂの平面研
磨加工時には研磨対象から外され、研磨は行われない。
【００１２】図２に示すように、弾性体１の外径・内径
間の幅をｅ、面１ｂの外径・内径間の幅をｆ、ロータ４
と弾性体１とが接触する部分の幅（これはロータ４の外
径・内径間の幅に等しい）をｇ、弾性体１の厚みをｈ、
面１ｂと面１ｃ、１ｄとの段差をｉとしたときの、これ
ら変数の条件について説明する。上述のように、本実施
例では、弾性体１の幅ｅはロータ４の幅ｇよりも充分広
く、また、面１ｂの幅ｆはロータ４の幅ｇよりやや広く
形成されている。面１ｂの幅ｆは、狭くすればするほど
平面研磨加工時に加工時間を短くすることが可能とな
り、コスト低減に大きく寄与する。実際には、ｆ／ｅを
１／３にすると、平面研磨加工時間は１／３以下になる
ことが実験により得られている。具体的な効果を外径φ
７０ｍｍのステータ３で確認したところ、従来は２０分
の時間を要していた平面研磨加工が、ｆ／ｅ＝１／３に
したところ、６分に短縮することができた。
間の幅をｅ、面１ｂの外径・内径間の幅をｆ、ロータ４
と弾性体１とが接触する部分の幅（これはロータ４の外
径・内径間の幅に等しい）をｇ、弾性体１の厚みをｈ、
面１ｂと面１ｃ、１ｄとの段差をｉとしたときの、これ
ら変数の条件について説明する。上述のように、本実施
例では、弾性体１の幅ｅはロータ４の幅ｇよりも充分広
く、また、面１ｂの幅ｆはロータ４の幅ｇよりやや広く
形成されている。面１ｂの幅ｆは、狭くすればするほど
平面研磨加工時に加工時間を短くすることが可能とな
り、コスト低減に大きく寄与する。実際には、ｆ／ｅを
１／３にすると、平面研磨加工時間は１／３以下になる
ことが実験により得られている。具体的な効果を外径φ
７０ｍｍのステータ３で確認したところ、従来は２０分
の時間を要していた平面研磨加工が、ｆ／ｅ＝１／３に
したところ、６分に短縮することができた。
【００１３】段差ｉの高さが高くなると、ロータ４の駆
動に対して不要なモードの振動が発生し、効率の低下や
騒音の発生に結びつく。従って、段差ｉはなるべく低く
することが好ましく、面１ｂの平面研磨加工時に面１
ｃ、１ｄが研磨されない程度の段差があればよい。言い
換えれば、研磨盤などにより面１ｂの平面研磨加工をす
る際に、この研磨盤等が微小間隙をもって面１ｃ、１ｄ
に接触しない程度の段差であることが好ましい。一般的
には、弾性体の厚さｈの１０％以下であることが望まし
く、弾性体１の直径が１０〜１００ｍｍ程度の超音波モ
ータにおいては、０．３ｍｍ以下程度であることが好ま
しい。
動に対して不要なモードの振動が発生し、効率の低下や
騒音の発生に結びつく。従って、段差ｉはなるべく低く
することが好ましく、面１ｂの平面研磨加工時に面１
ｃ、１ｄが研磨されない程度の段差があればよい。言い
換えれば、研磨盤などにより面１ｂの平面研磨加工をす
る際に、この研磨盤等が微小間隙をもって面１ｃ、１ｄ
に接触しない程度の段差であることが好ましい。一般的
には、弾性体の厚さｈの１０％以下であることが望まし
く、弾性体１の直径が１０〜１００ｍｍ程度の超音波モ
ータにおいては、０．３ｍｍ以下程度であることが好ま
しい。
【００１４】この程度の段差であれば、面１ｂに生じる
進行性振動波の振幅と、面１ｃ、１ｄに生じる進行性振
動波の振幅とは略同じ程度である。すなわち、面１ｂと
面１ｃとでの動体速度はこの所定の段差では変わらない
ことになる。別言すれば、面１ｂに生じる進行性振動波
の振幅と面１ｃに生じる進行性振動波の振幅とが同じに
なるように所定の段差が形成されている。
進行性振動波の振幅と、面１ｃ、１ｄに生じる進行性振
動波の振幅とは略同じ程度である。すなわち、面１ｂと
面１ｃとでの動体速度はこの所定の段差では変わらない
ことになる。別言すれば、面１ｂに生じる進行性振動波
の振幅と面１ｃに生じる進行性振動波の振幅とが同じに
なるように所定の段差が形成されている。
【００１５】この弾性体１の断面に注目してみると、ロ
ータ４に対向する側の弾性体１の面１Ｂと圧電体２が設
けられている弾性体１の面１Ａとの略中間位置に中立面
６が存在することになる。すなわち、弾性体１の中立面
６が弾性体の高さ方向の略中央に位置するように所定の
段差が形成されている。図５は本発明の第２実施例であ
る超音波モータを示す図であって、図２と同様にステー
タの断面形状を描いたものである。図２と異なるところ
は、ロータが接触する面１０ｂ（図２の面１ｂに対応す
る）を、弾性体１０の外周部に位置させたことである。
図２に示す第１実施例では弾性体１の内周部に設けられ
た面１ｃと外周部に設けられた面１ｄとの間に面１ｂを
位置させているのに対して、本実施例では弾性体１０の
外周部に面１０ｂを位置させているので、面４ｂと面４
ｃとの間に段差を形成、加工する工程が第１実施例に比
較して減り、更にコスト低減が可能になる。
ータ４に対向する側の弾性体１の面１Ｂと圧電体２が設
けられている弾性体１の面１Ａとの略中間位置に中立面
６が存在することになる。すなわち、弾性体１の中立面
６が弾性体の高さ方向の略中央に位置するように所定の
段差が形成されている。図５は本発明の第２実施例であ
る超音波モータを示す図であって、図２と同様にステー
タの断面形状を描いたものである。図２と異なるところ
は、ロータが接触する面１０ｂ（図２の面１ｂに対応す
る）を、弾性体１０の外周部に位置させたことである。
図２に示す第１実施例では弾性体１の内周部に設けられ
た面１ｃと外周部に設けられた面１ｄとの間に面１ｂを
位置させているのに対して、本実施例では弾性体１０の
外周部に面１０ｂを位置させているので、面４ｂと面４
ｃとの間に段差を形成、加工する工程が第１実施例に比
較して減り、更にコスト低減が可能になる。
【００１６】なお、この面１０ｂは、弾性体１０の内周
側に形成してもよい。また、面４ｂと面４ｃとの間の段
差の寸法に関する条件は第１実施例と同様である。圧電
体２ステータ３とロータ４は図２と同符号で示してあ
る。図６は本発明の第３実施例である超音波モータを示
す図であって、図１と同様にステータの斜視図を一部破
断して描いたものである。圧電体２、ステータ３は第１
実施例と同符号で示してある。第１実施例と異なるとこ
ろは、ロータ（不図示）が接触する側の弾性体２０に、
その全周にわたって周方向に等間隔に複数の突起２１を
設けて、弾性体２０を櫛歯形状にしたことである。
側に形成してもよい。また、面４ｂと面４ｃとの間の段
差の寸法に関する条件は第１実施例と同様である。圧電
体２ステータ３とロータ４は図２と同符号で示してあ
る。図６は本発明の第３実施例である超音波モータを示
す図であって、図１と同様にステータの斜視図を一部破
断して描いたものである。圧電体２、ステータ３は第１
実施例と同符号で示してある。第１実施例と異なるとこ
ろは、ロータ（不図示）が接触する側の弾性体２０に、
その全周にわたって周方向に等間隔に複数の突起２１を
設けて、弾性体２０を櫛歯形状にしたことである。
【００１７】ロータが接触する面２０ｂは、旋盤等によ
る機械加工後もしくはメタルインジェクション等による
成形加工により図６に示す弾性体２０が形成された後
に、平面研磨により高精度の平面度に仕上げられる。面
２０ｃ、２０ｄは、面２０ｂに対して１段低く形成され
ているので、面２０ｂの平面研磨加工時には研磨対象か
ら外され、研磨は行われない。この段差の寸法に関する
条件は、第１実施例と同様である。
る機械加工後もしくはメタルインジェクション等による
成形加工により図６に示す弾性体２０が形成された後
に、平面研磨により高精度の平面度に仕上げられる。面
２０ｃ、２０ｄは、面２０ｂに対して１段低く形成され
ているので、面２０ｂの平面研磨加工時には研磨対象か
ら外され、研磨は行われない。この段差の寸法に関する
条件は、第１実施例と同様である。
【００１８】弾性体２０を櫛歯状に形成することによ
り、ロータが接触する面２０ｂも複数形成される。言い
換えれば、図１に示す面１ｂが図６では多数の面２０ｂ
に分割されている。図６に示すような形状に弾性体２０
を形成すると、ロータに接触する部分の弾性体２０の変
位（図４に示す楕円運動の回転半径）が図１の弾性体１
に比較して大きくなり、駆動効率の向上を図ることがで
きる。なお、弾性体を櫛歯状に形成することの効果につ
いては、特開昭５９−１７８９８８号公報や特開昭５９
−２０１６８５号公報等に開示されているため、本明細
書に開示した範囲以上の詳細な説明は省略する。
り、ロータが接触する面２０ｂも複数形成される。言い
換えれば、図１に示す面１ｂが図６では多数の面２０ｂ
に分割されている。図６に示すような形状に弾性体２０
を形成すると、ロータに接触する部分の弾性体２０の変
位（図４に示す楕円運動の回転半径）が図１の弾性体１
に比較して大きくなり、駆動効率の向上を図ることがで
きる。なお、弾性体を櫛歯状に形成することの効果につ
いては、特開昭５９−１７８９８８号公報や特開昭５９
−２０１６８５号公報等に開示されているため、本明細
書に開示した範囲以上の詳細な説明は省略する。
【００１９】なお、本発明の超音波モータは、その細部
が上述の各実施例に限定されず、種々の変形が可能であ
る。一例として、上述の各実施例は回転型超音波モータ
であったが、直線型モータ（リニアモータ）であっても
よい。
が上述の各実施例に限定されず、種々の変形が可能であ
る。一例として、上述の各実施例は回転型超音波モータ
であったが、直線型モータ（リニアモータ）であっても
よい。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、弾性体の
移動子側の面は、移動子に接触し研磨される第１の面
と、第１の面より研磨されない程度の所定の段差をもつ
第２の面とを形成しているにも拘わらず、第１の面に発
生する進行波の振幅と第２の面に発生する進行波の振幅
とが略同じであるので、移動子の駆動に対して不要なモ
ードの振動の発生を防止でき、効率の低下や騒音の発生
に結びつかない。
移動子側の面は、移動子に接触し研磨される第１の面
と、第１の面より研磨されない程度の所定の段差をもつ
第２の面とを形成しているにも拘わらず、第１の面に発
生する進行波の振幅と第２の面に発生する進行波の振幅
とが略同じであるので、移動子の駆動に対して不要なモ
ードの振動の発生を防止でき、効率の低下や騒音の発生
に結びつかない。
【図１】本発明の第１実施例である超音波モータを示す
図であって、そのステータを示す斜視図である。
図であって、そのステータを示す斜視図である。
【図２】図１の破断面１ａを拡大して示す断面図であ
る。
る。
【図３】第１実施例の超音波モータを示す断面図であ
る。
る。
【図４】第１実施例の超音波モータの駆動原理を説明す
るための図である。
るための図である。
【図５】本発明の第２実施例である超音波モータのステ
ータを示す断面図である。
ータを示す断面図である。
【図６】本発明の第３実施例である超音波モータのステ
ータを示す斜視図である。
ータを示す斜視図である。
１、４、５ ； 弾性体 ２ ； 圧電体 ３ ； ロータ
Claims (7)
- 【請求項１】 駆動信号により励振される圧電体と、 前記圧電体の励振によって進行性進行波が発生する弾性
体と、 前記弾性体に発生する進行波によって駆動される移動子
とを備え、 前記弾性体の移動子側の面は、前記進行波の進行方向に
延びて前記移動子に接触する第１の面と、前記進行波の
進行方向に延びて、前記第１の面の平面加工時に研磨さ
れないような所定の段差をもって前記第１の面の高さに
対して低く形成された第２の面とを形成し、 前記第１の面に発生する進行波の振幅と前記第２の面に
発生する進行波の振幅とが略同じであるように前記所定
の段差が形成されていることを特徴とする超音波モー
タ。 - 【請求項２】 請求項１の超音波モータにおいて、 前記段差は前記弾性体の高さの１０％以下であることを
特徴とする超音波モータ。 - 【請求項３】 請求項１の超音波モータにおいて、 前記段差は０. ３ｍｍ以下であることを特徴とする超音
波モータ。 - 【請求項４】 請求項１の超音波モータにおいて、 前記第２の面は、前記弾性体の幅方向において前記第１
の面の両側部にそれぞれ形成されていることを特徴とす
る超音波モータ。 - 【請求項５】 請求項１の超音波モータにおいて、 前記第１の面は前記弾性体の幅方向において一方の側部
に形成され、前記第２の面は前記弾性体の他方の側部に
形成されていることを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項６】 請求項１の超音波モータにおいて、 前記弾性体および前記移動子はそれぞれ環状に形成され
ており、 前記移動子は前記弾性体に生じる波により回転駆動され
ることを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項７】 駆動信号により励振される圧電体と、 前記圧電体の励振によって進行性進行波が発生する弾性
体と、 前記弾性体に発生する進行波によって駆動される移動子
とを備え、 前記弾性体の移動子側の面は、前記進行波の進行方向に
延びて前記移動子に接触する第１の面と、前記進行波の
進行方向に延び、前記第１の面の平面加工時に研磨され
ないような所定の段差をもって前記第１の面の高さに対
して低く形成された第２の面とを形成し、 前記弾性体の中立面が前記弾性体の高さ方向のの略中間
に位置するように前記所定の段差が形成されていること
を特徴とする超音波モータ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25455293A JP3307020B2 (ja) | 1992-10-19 | 1993-10-12 | 超音波モータ |
| US08/312,654 US5554906A (en) | 1992-10-19 | 1994-09-27 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4-279948 | 1992-10-19 | ||
| JP27994892 | 1992-10-19 | ||
| JP25455293A JP3307020B2 (ja) | 1992-10-19 | 1993-10-12 | 超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06205592A true JPH06205592A (ja) | 1994-07-22 |
| JP3307020B2 JP3307020B2 (ja) | 2002-07-24 |
Family
ID=26541732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25455293A Expired - Lifetime JP3307020B2 (ja) | 1992-10-19 | 1993-10-12 | 超音波モータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5554906A (ja) |
| JP (1) | JP3307020B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| US7157831B2 (en) * | 2004-09-30 | 2007-01-02 | Quality Research, Development & Consulting, Inc. | Energy efficient vibration driven motor |
| JP5256762B2 (ja) * | 2008-02-08 | 2013-08-07 | 株式会社ニコン | レンズ鏡筒、カメラ |
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| JPS59201684A (ja) * | 1983-04-30 | 1984-11-15 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPS59201685A (ja) * | 1983-04-30 | 1984-11-15 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPH0687671B2 (ja) * | 1984-05-18 | 1994-11-02 | 株式会社ニコン | 超音波モータ |
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| US5055732A (en) * | 1988-04-05 | 1991-10-08 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor |
| JPH01264582A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波リニアモータ |
| JP2926600B2 (ja) * | 1989-02-10 | 1999-07-28 | 株式会社ニコン | 超音波モータおよびその製造方法 |
| US5066884A (en) * | 1989-02-10 | 1991-11-19 | Nikon Corporation | Ultrasonic motor having high drive efficiency |
| US5039899A (en) * | 1989-02-28 | 1991-08-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric transducer |
| US5204577A (en) * | 1989-05-15 | 1993-04-20 | Nikon Corporation | Ultrasonic motor improved in driving efficiency |
| US5136200A (en) * | 1989-07-27 | 1992-08-04 | Olympus Optical Co., Ltd. | Ultransonic motor |
| US5172023A (en) * | 1990-11-09 | 1992-12-15 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Ultrasonic motor |
| JP3118251B2 (ja) * | 1990-11-21 | 2000-12-18 | ニスカ株式会社 | 超音波駆動装置及びその方法 |
| KR950002401B1 (ko) * | 1991-04-02 | 1995-03-17 | 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤 | 초음파모우터 |
-
1993
- 1993-10-12 JP JP25455293A patent/JP3307020B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-09-27 US US08/312,654 patent/US5554906A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5554906A (en) | 1996-09-10 |
| JP3307020B2 (ja) | 2002-07-24 |
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