JP3601397B2 - 可変コンデンサのステータの製造方法および可変コンデンサ - Google Patents
可変コンデンサのステータの製造方法および可変コンデンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3601397B2 JP3601397B2 JP2000030082A JP2000030082A JP3601397B2 JP 3601397 B2 JP3601397 B2 JP 3601397B2 JP 2000030082 A JP2000030082 A JP 2000030082A JP 2000030082 A JP2000030082 A JP 2000030082A JP 3601397 B2 JP3601397 B2 JP 3601397B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- polishing
- variable capacitor
- conductive film
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims description 42
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 28
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 72
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000701 coagulant Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/04—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/04—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode
- H01G5/06—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode due to rotation of flat or substantially flat electrodes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/43—Electric condenser making
- Y10T29/435—Solid dielectric type
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49009—Dynamoelectric machine
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/49128—Assembling formed circuit to base
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/4913—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/49155—Manufacturing circuit on or in base
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/49155—Manufacturing circuit on or in base
- Y10T29/49156—Manufacturing circuit on or in base with selective destruction of conductive paths
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacture Of Motors, Generators (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、可変コンデンサに備えるステータの製造方法に関するもので、特に、研磨工程を経て製造されるステータの製造方法に関するものである。
【０００２】
この発明は、また、上述のような製造方法によって得られたステータを備える、可変コンデンサに関するものである。
【０００３】
【従来の技術】
この発明にとって興味ある可変コンデンサが、たとえば特開平１１−８７１７３号公報に記載されている。この公報に記載された可変コンデンサが、図４ないし図６に図示されている。
【０００４】
図４は、可変コンデンサ１の外観を示す斜視図であり、図５は、図４に示した可変コンデンサ１の外観を下面側から示す斜視図であり、図６は、図４に示した可変コンデンサ１の断面図である。
【０００５】
可変コンデンサ１は、それを構成するエレメントとして、ステータ２、ロータ３およびカバー４を備えている。
【０００６】
より詳細には、ステータ２は、セラミック誘電体をもって構成され、互いに平行な第１および第２の主面２１および２２ならびに第１および第２の主面２１および２２間を連結する側面２３を有する。また、ステータ２の内部には、第１および第２の主面２１および２２と平行に延びるように、ステータ電極５および６が並んで形成されている。これらステータ電極５および６にそれぞれ電気的に接続されるように、ステータ２の側面２３の一部上、すなわち各端部外表面上には、導電膜をもってステータ端子７および８が形成される。
【０００７】
なお、上述のように、２つのステータ電極５および６ならびに２つのステータ端子７および８が形成されたのは、ステータ２の構造を対称とし、このステータ２を用いての可変コンデンサ１の組み立てにおいて、ステータ２の方向を考慮する必要をなくすためである。図４ないし図６に示した組み立て状態では、ステータ電極５およびステータ端子７が機能していて、ステータ電極６およびステータ端子８は機能していない。
【０００８】
ステータ２の第２の主面２２上には、その中央部を縦断するように延びるリブ９が形成されている。
【０００９】
ロータ３は、導電性の金属から構成されるもので、上述したステータ２の第１の主面２１上に配置される。ロータ３の下面には、突出する段部をもって略半円状のロータ電極１１が形成されている。また、ロータ３の下面には、ロータ電極１１と等しい高さを有する突起１２が形成され、ロータ電極１１の存在によりロータ３が傾くことが防止される。ロータ３には、また、これを回転操作するためのドライバ等の工具を受け入れるドライバ溝１３が形成されている。
【００１０】
カバー４は、導電性の金属から構成されるもので、ロータ３を収容しながら、ステータ２に固定される。このとき、ロータ３は、カバー４によって、ステータ２に対して回転可能なように保持される。
【００１１】
カバー４には、ロータ３のドライバ溝１３を露出させる調整用穴１４が形成される。調整用穴１４の周囲には、ロータ３に接触して、ロータ３をステータ２に向かって圧接させるためのばね作用部１５が設けられている。ばね作用部１５には、調整用穴１４の周囲において、中心に向かうほど下方へ傾斜する形状が付与されるとともに、複数の突起１６が設けられている。
【００１２】
カバー４には、また、下方へ延びる係合片１７および１８が相対向するように設けられている。係合片１７および１８は、それぞれ、ステータ２の第２の主面２２に係合するように折り曲げられ、それによって、カバー４がステータ２に対して固定される。ステータ２に設けられた前述のリブ９は、ステータ２の第２の主面２２に沿って折り曲げられた係合片１７および１８の突出度合いと同程度の突出度合いをもって突出し、それによって、この可変コンデンサ１が適宜の配線基板（図示せず。）上で安定した状態で実装されることができる。
【００１３】
さらに、カバー４には、ロータ端子１９が下方へ延びるように設けられている。
【００１４】
以上のような構成を有する可変コンデンサ１において、ロータ電極１１は、ステータ２の第１の主面２１に接触しながら、ステータ電極５に対して、ステータ２を構成するセラミック誘電体の一部を介して対向し、それによって、静電容量が形成される。この静電容量を変化させるべく、ロータ電極１１の、ステータ電極５に対する有効対向面積を変化させるため、ロータ３が回転操作される。この調整された静電容量は、ステータ電極５に電気的に接続されたステータ端子７と、ロータ電極１１を形成するロータ３に接触するカバー４に設けられたロータ端子１９との間に取り出される。
【００１５】
このような可変コンデンサ１において、最大静電容量をより大きくし、かつ安定した静電容量が得られるようにするため、ステータ２の第１の主面２１に研磨を施し、それによって、主面２１とステータ電極５および６との間の誘電体厚みをより薄くするとともに、ロータ電極１１と接触する主面２１においてより平滑な面が得られるようにしている。
【００１６】
また、ステータ２の第１の主面２１に対する研磨には、次のような目的もある。
【００１７】
前述したステータ端子７および８となるべき導電膜は、たとえば、ステータ２の各端部を、所定の厚みを有する導電性ペーストからなる浴内に突入させることによって、ステータ２の各端部に導電性ペーストを付与し、次いで焼き付けることによって形成される。したがって、導電膜は、ステータ２の側面２３上だけでなく、側面２３から第１および第２の主面２１および２２の各一部にまで延びるように形成される。
【００１８】
しかしながら、この可変コンデンサ１においては、図４および図６に示されているように、ステータ端子７および８は、ステータ２の第１の主面２１上にまで延びないように形成されている。このようなステータ端子７および８の形成状態を得るため、上述のように導電膜を形成した後、ステータ２の第１の主面２１に対して研磨が施され、それによって、第１の主面２１上にある導電膜が除去される。
【００１９】
このように、ステータ端子７および８がステータ２の第１の主面２１上で形成されないようにすることにより、ステータ端子７および８の各上端部は、カバー４の端縁あるいはロータ３の周面に対して、比較的長い距離を隔てて位置されることができる。
【００２０】
したがって、可変コンデンサ１の組み立て時においてステータ２に対するロータ３やカバー４の位置合わせに誤差が生じたり、ロータ３の回転時においてカバー４やロータ３の位置ずれが生じたりしても、カバー４の端縁とステータ端子７および８の各上端部との間、あるいは、ロータ３の周面とステータ端子７および８の各上端部との間で、短絡や耐電圧不良の問題が生じる危険性を低減することができる。
【００２１】
上述のステータ２の第１の主面２１を研磨するにあたっては、研磨工程の能率化を図るため、通常、複数のステータ２を同時に取り扱うことが行なわれる。
【００２２】
図７には、上述したような研磨を実施するために採用される従来の研磨方法が示されている。なお、図７は、後述するように、この発明が解決しようとする課題を説明するためにも用いられる。
【００２３】
図７には、図４ないし図６に示したステータ２が概略的に図示されているが、図４ないし図６に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付している。また、図７において、ステータ２となるべきステータ用部品は、「２ａ」の参照符号をもって示されている。
【００２４】
図７（１）に示すように、複数のステータ用部品２ａが用意される。ステータ用部品２ａには、その側面２３から第１および第２の主面２１および２２の各一部にまで延びるように、導電膜をもってステータ端子７および８が形成されている。
【００２５】
次に、図７（２）に示すように、ホルダ２５の保持面２６上に、複数のステータ用部品２ａが保持された状態とされる。各ステータ用部品２ａは、その第２の主面２２が保持面２６側に向いた状態とされる。各ステータ用部品２ａを保持面２６に固定するため、たとえば粘着が適用される。
【００２６】
次に、ホルダ２５によって保持された状態で、複数のステータ用部品２ａの第１の主面２１側が、図７（２）および（３）に順次示すように、研磨盤２７によって研磨される。
【００２７】
図７（４）には、ステータ用部品２ａを研磨して得られた複数のステータ２が図示されている。
【００２８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した研磨方法によれば、図７（４）に示すように、研磨後の第１の主面２１とステータ電極５および６との間の厚みが、複数のステータ２の間でばらついてしまうことがある。このことは、可変コンデンサ１における最大静電容量のばらつきの原因となる。
【００２９】
上述のようなばらつきは、ステータ端子７および８の厚みのばらつきが原因となって生じるものである。すなわち、図７（２）に示すように、複数のステータ用部品２ａは、それぞれ、ステータ端子７および８を平面状の保持面２６に接触させた状態でホルダ２５によって保持されている。したがって、ステータ端子７および８となる導電膜の厚みの差は、ステータ用部品２ａの第１の主面２１の位置の差として現れる。その結果、研磨盤２７によって研磨されることによって得られた複数のステータ２において、第１の主面２１とステータ電極５および６との間の厚みにばらつきが生じてしまう。
【００３０】
また、図７（１）〜（４）の各々において、左から２番目に示すステータ用部品２ａまたはステータ２のように、ステータ端子７および８となる導電膜が過度に薄い場合には、図７（３）に示すように、研磨盤２７がステータ用部品２ａの第１の主面２１にまで届かず、そのため、図７（４）に示すように、ステータ２の第１の主面２１上において、ステータ端子７および８を完全に除去できないことがある。
【００３１】
また、図７に示した研磨方法によれば、個々のステータ用部品２ａにおいて、２つのステータ端子７および８の間で導電膜の厚みに差がある場合には、図８に示すような問題に遭遇する。図８（１）および（２）は、それぞれ、図７（３）および（４）に対応している。
【００３２】
図８（１）に示すように、ステータ端子７となる導電膜がステータ端子８となる導電膜に比べて薄い場合、ステータ用部品２ａは、ホルダ２５の保持面２６に対して傾斜した状態で保持される。そのため、研磨盤２７による研磨は、この傾斜した状態にあるステータ用部品２ａに対して施されることになる。
【００３３】
その結果、図８（２）に示すように、得られたステータ２において、研磨によって与えられた第１の主面２１は、第２の主面２２とは平行にならず、同様に、ステータ電極５および６に対しても平行にはならない。
【００３４】
上述のようなステータ２を可変コンデンサ１に組み込むと、ロータ３の回転が安定せず、また、静電容量も不安定なものとなってしまう。
【００３５】
そこで、この発明の目的は、上述したような種々の問題を解決し得る、可変コンデンサのステータの製造方法、およびこのような製造方法によって得られたステータを備える可変コンデンサを提供しようとすることである。
【００３６】
【課題を解決するための手段】
この発明は、まず、誘電体をもって構成され、互いに平行な第１および第２の主面ならびに第１および第２の主面間を連結する側面を有し、第１および第２の主面と平行に延びかつ第１の主面に接触しながら回転可能なように保持されたロータに設けられたロータ電極に対して誘電体の少なくとも一部を介して対向するステータ電極、およびステータ電極に電気的に接続されるように側面の一部上に形成されたステータ端子を備える、可変コンデンサに用いるステータの製造方法に向けられるものであって、上述した技術的課題を解決するため、次のような構成を備えることを特徴としている。
【００３７】
すなわち、この発明に係る可変コンデンサのステータの製造方法においては、ステータ電極およびステータ端子を備え、ステータ端子が側面から第１および第２の主面の各一部にまで延びる導電膜によって形成され、かつ、第１の主面上であって、導電膜が形成されていない領域に、導電膜の厚みより高い頂面を与えるような段差をもって凸部が設けられた、ステータとなるべきステータ用部品を用意する工程と、凸部の頂面を基準としながら、導電膜の第１の主面の一部にまで延びる部分が除去されるように、ステータ用部品の第１の主面側を研磨する工程とが実施されることを特徴としている。
【００３８】
上述した研磨する工程は、各凸部の頂面が同一面上に並ぶように、複数のステータ用部品をホルダによって保持する工程と、ホルダによって保持された状態で、複数のステータ用部品の第１の主面側を研磨する工程とを備えることが好ましい。
【００３９】
上述した複数のステータ用部品をホルダによって保持する工程は、平面状の整列面を有する整列部材を用意する工程と、整列部材の整列面に、各凸部の頂面をそれぞれ接触させた状態で、複数のステータ用部品を整列部材によって整列させる工程と、ステータ用部品をホルダに固定するための研磨用固定剤を用意する工程と、整列部材によって整列された複数のステータ用部品の各第２の主面側を、研磨用固定剤を介してホルダに固定する工程とを備えることがより好ましい。
【００４０】
この発明に係る可変コンデンサのステータの製造方法は、ステータが、ステータ電極を誘電体の内部に形成しているとき、特に有利に適用される。
【００４１】
また、この発明に係る可変コンデンサのステータの製造方法は、ステータ端子となる導電膜が、導電性ペ−ストを側面から第１および第２の主面の各一部にまで延びるように付与し、次いで焼き付けることによって形成されたものであるとき、特に有利に適用される。
【００４２】
この発明は、また、上述したような製造方法によって得られたステータを用いた、可変コンデンサにも向けられる。
【００４３】
【発明の実施の形態】
以下に、図４ないし図６に示した可変コンデンサ１に備えるステータ２の製造方法について説明する。
【００４４】
図１は、前述した図７に対応する図であって、この発明の一実施形態によるステータ２の製造方法に備えるいくつかの工程を順次示している。なお、図１において、ステータ２に関連する要素には、図４ないし図６で用いた参照符号と同様の参照符号を用いている。
【００４５】
まず、図１（１）に示すように、複数のステータ用部品２ｂが用意される。ステータ用部品２ｂの詳細は、図２に斜視図で図示されている。
【００４６】
図２を主として参照して、ステータ用部品２ｂは、たとえばセラミック誘電体をもって構成され、ステータ電極５および６ならびにステータ端子７および８を備えている。ステータ端子７および８は、たとえば、ステータ用部品２ｂの各端部を、所定の厚みを有する導電性ペーストからなる浴内に突入させることによって、ステータ用部品２ｂの各端部に導電性ペーストを付与し、次いで焼き付けることによって形成された導電膜から構成される。そのため、ステータ端子７および８を構成する導電膜は、ステータ用部品２ｂの側面２３の一部上だけでなく、側面２３から第１および第２の主面２１および２２の各一部にまで延びるように形成されている。
【００４７】
なお、図１（１）において、複数のステータ用部品２ｂの各々のステータ端子７および８となる導電膜の厚みに関して、ばらついているものが図示されている。このようなステータ端子７および８における厚みのばらつきは、特に、前述したように、導電膜が導電性ペーストの付与および焼付けによって形成されるとき、より生じやすい傾向がある。
【００４８】
再び図２を参照して、ステータ用部品２ｂの第１の主面２１上であって、ステータ端子７および８となる導電膜が形成されていない領域には、この導電膜の厚みより高い頂面３１を与えるような段差をもって凸部３２が設けられている。
【００４９】
次に、図１（２）に示すように、複数のステータ用部品２ｂは、各々の凸部３２の頂面３１を基準として位置合わせされる。より具体的には、平面状の整列面３３を有する整列部材３４が用意され、この整列部材３４の整列面３３に、各頂面３１をそれぞれ接触させた状態で、複数のステータ用部品２ｂが並べられ、それによって、複数のステータ用部品２ｂの各凸部３２の頂面３１が同一面上に並ぶようにされる。なお、この状態において、複数のステータ用部品２ｂを、粘着等の手段により、整列面３３に一時的に位置決めするようにしてもよい。
【００５０】
上述の状態において、各ステータ用部品２ｂの凸部３２は、ステータ端子７および８となる導電膜の厚みより高い頂面３１を与えているので、ステータ端子７および８となる導電膜の厚みにばらつきがあっても、このばらつきに影響されずに、複数のステータ用部品２ｂを整列させることができる。
【００５１】
次に、上述のようにして整列された複数のステータ用部品２ｂを、第２の主面２２側において保持するための保持面３５を有するホルダ３６が用意されるとともに、各ステータ用部品２ｂをホルダ３６に固定するための研磨用固定剤３７が用意される。
【００５２】
そして、整列部材３４によって整列された複数のステータ用部品２ｂの各第２の主面２２側が、研磨用固定剤３７を介してホルダ３６の保持面３５に固定することが行なわれる。このとき、研磨用固定剤３７は、各ステータ用部品２ｂのステータ端子７および８の厚みにばらつきが生じていても、各凸部３２の頂面３１が同一面上に並ぶ状態を維持したまま、複数のステータ用部品２ｂをホルダ３６に固定することができる。
【００５３】
研磨用固定剤３７としては、種々の態様のものを用いることができる。
【００５４】
第１に、研磨用固定剤３７として、たとえば水または低温凝固剤のように、室温において液体状態であり、かつ室温より低い温度に冷却することによって固化するものを用いることができる。この場合には、ステータ用部品２ｂをホルダ３６に固定するため、室温（あるいは室温より高い温度）でステータ用部品２ｂとホルダ３６との間に研磨用固定剤３７を液体状態で介在させ、次いで、研磨用固定剤３７を冷却して固化することが行なわれる。
【００５５】
第２に、研磨用固定剤３７として、ワックスまたはパラフィンのように、室温において固体状態であり、かつ室温より高い温度に加熱することによって液化するものを用いることができる。この場合には、ステータ用部品２ｂをホルダ３６に固定するため、室温より高い温度に加熱しながらステータ用部品２ｂとホルダ３６との間に研磨用固定剤３７を液体状態で介在させ、次いで、研磨用固定剤３７を室温に戻して固化することが行なわれる。
【００５６】
整列部材３４は、上述のように、ステータ用部品２ｂがホルダ３６に固定された後は不要となり、ステータ用部品２ｂから取り除かれる。
【００５７】
次に、図１（３）に示すように、ホルダ３６によって保持された複数のステータ用部品２ｂの第１の主面２１側が、研磨盤３８によって研磨される。この研磨によって、凸部３２が除去されるだけでなく、ステータ端子７および８となる導電膜の第１の主面２１の一部にまで延びる部分が除去される。
【００５８】
なお、研磨盤３８が平面状の研磨面３９を有している場合には、図１（２）に示した整列部材３４の代わりに、この研磨盤３８を用いてもよい。すなわち、研磨盤３８の研磨面３９に各凸部３２の頂面３１をそれぞれ接触させた状態とすることによって、各凸部３２の頂面３１が同一面上に並ぶように、複数のステータ用部品２ｂを整列させ、次いで、研磨用固定剤３７を介して、これらステータ用部品２ｂをホルダ３６に固定し、引き続いて、研磨盤３８を作動させて研磨を実施するようにしてもよい。
【００５９】
以上のようにして、ステータ用部品２ｂを研磨して得られたステータ２は、図１（４）に示すように、ホルダ３６から取り外される。このとき、研磨用固定剤３７の液化温度以上に加熱して、ステータ用部品２ｂをホルダ３６から分離するとともに、ステータ用部品２ｂに付着した研磨用固定剤３７を除去することが行なわれる。なお、ホルダ３６から取り外されたステータ用部品２ｂに付着している研磨用固定剤３７の除去にあたっては、加熱以外に、溶剤等を用いる洗浄、機械的な剥離等を適用してもよい。
【００６０】
このようにして、複数のステータ用部品２ｂの各凸部３２の頂面３１を基準としながら、研磨が実施されるので、複数のステータ用部品２ｂの各々のステータ端子７および８となる導電膜の厚みの差に影響されることなく、実質的に均一な研磨量を複数のステータ用部品２ｂにおいて得ることができる。したがって、研磨を終えて得られた複数のステータ２において、第１の主面２１とステータ電極５および６との間の厚みのばらつきを小さくすることができる。
【００６１】
また、図１に示した研磨方法を採用すれば、個々のステータ用部品２ｂにおいて、ステータ端子７および８の間で導電膜の厚みに差があっても、このような厚みの差に影響されずに、適正な研磨を施すことができる。このことを、図３を参照して説明する。
【００６２】
図３には、ステータ端子７となる導電膜がステータ端子８となる導電膜より薄い、ステータ用部品２ｂおよびステータ２が示されている。
【００６３】
図３（１）に示すように、凸部３２の頂面３１を基準とすることによって、ステータ端子７および８の間で導電膜の厚みに差があっても、研磨用固定剤３７を介してホルダ３６にステータ用部品２ｂを傾くことなく固定することができるとともに、研磨盤３８による研磨を実施したとき、ステータ電極５および６に対して平行な状態で研磨面３９を作用させることができる。
【００６４】
したがって、図３（２）に示すように、研磨後のステータ２において、その第１の主面２１とステータ電極５および６との平行状態を維持することができる。言い換えると、図８に示すような不適正な研磨状態がもたらされることを防止することができる。
【００６５】
以上説明したような製造方法によって得られたステータ２は、図４ないし図６に示した可変コンデンサ１において有利に用いることができる。なお、可変コンデンサ１の構造については、前述のとおりであるので、ここで説明を繰り返すことはしない。
【００６６】
以上、この発明を、図示した実施形態に関連して説明したが、この発明の範囲内において、その他、いくつかの変形例が可能である。
【００６７】
たとえば、図示の実施形態では、複数のステータ用部品２ｂを同時に取り扱いながら研磨を実施したが、凸部３２の頂面３１を基準としながらの研磨を実施する限り、ステータ用部品２ｂを１個ずつ取り扱いながら研磨を実施するようにしてもよい。
【００６８】
また、複数のステータ用部品２ｂを同時に取り扱う場合、図示した実施形態では、複数のステータ用部品２ｂをホルダ３６によって保持した状態とするため、研磨用固定剤３７を用いたが、このような研磨用固定剤３７を用いず、たとえば機械的な手段によってステータ用部品２ｂを挟持するような構成を採用してもよい。
【００６９】
また、図示の実施形態では、得ようとするステータ２は、ステータ電極５および６を誘電体の内部に形成しているものであったが、ステータ電極がステータの外表面上に形成されているステータの製造方法においても、この発明を適用することができる。
【００７０】
また、図示の実施形態では、ステータ端子７および８となる導電膜は、導電性ペーストを付与し、次いで焼き付けることによって形成されたものであったが、このような導電膜が他の方法によって形成されたものである場合にも、この発明を適用することができる。
【００７１】
また、図示の実施形態では、ステータ２またはステータ用部品２ｂは、２つのステータ電極５および６ならびに２つのステータ端子７および８を備えるものであったが、単に１つのステータ電極および単に１つのステータ端子を備えるステータ用部品からステータを製造する場合であっても、この発明を適用することができる。この後者の態様は、図３に示したステータ用部品２ｂまたはステータ２の状態の極端な場合に相当するもので、たとえば、図３において、一方のステータ端子７がない場合であっても、凸部３２の頂面３１を基準とする限り、適正な研磨を実施できることが理解できる。
【００７２】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、得ようとするステータとなるべきステータ用部品において、ステータ端子を側面から第１および第２の主面の各一部にまで延びる導電膜によって形成し、第１の主面上に、導電膜の厚みより高い頂面を与えるような段差をもって凸部が設けられており、このようなステータ用部品に対して研磨を実施するにあたって、凸部の頂面を基準としながら、導電膜の第１の主面の一部にまで延びる部分が除去されるように、ステータ用部品の第１の主面側を研磨するようにしているので、複数のステータ用部品の間あるいは個々のステータ用部品の中で、ステータ端子となる導電膜の厚みにばらつきが存在していても、このような厚みのばらつきに影響されることなく、ステータ端子となる導電膜の第１の主面上にある部分を完全に除去することができるとともに、複数のステータ用部品において均一な研磨量および傾きのない研磨状態を得ることができる。
【００７３】
したがって、この発明に係る製造方法によって得られたステータを用いて可変コンデンサを構成すれば、可変コンデンサにおける最大静電容量を高い精度でかつ安定なものとすることができ、また、ロータの回転も安定なものとすることができるので、静電容量の調整操作および調整された静電容量の安定化を図ることができる。
【００７４】
この発明において、各凸部の頂面が同一面上に並ぶように、複数のステータ用部品をホルダによって保持した状態で、研磨を実施するようにすれば、研磨工程の能率化を図ることができる。
【００７５】
上述した複数のステータ用部品をホルダによって保持するにあたり、平面状の整列面を有する整列部材およびステータ用部品をホルダに固定するための研磨用固定剤を用意し、整列部材の整列面に、各凸部の頂面をそれぞれ接触させた状態で、複数のステータ用部品を整列部材によって整列させながら、これら複数のステータ用部品の各第２の主面側を、研磨用固定剤を介してホルダに固定するようにすれば、各凸部の頂面が同一面上に並ぶように複数のステータ用部品をホルダによって保持した状態を能率的に得ることができる。
【００７６】
また、この発明に係る製造方法によって得ようとするステータが、ステータ電極を誘電体の内部に形成している構造を有している場合には、特に高精度の研磨が要求されるので、この発明に係る製造方法が極めて有意義である。
【００７７】
また、ステータ端子となる導電膜が、導電性ペーストを付与し、次いで焼き付けることによって形成されたものである場合には、このような導電膜の厚みに関してばらつきが比較的生じやすいので、前述したような導電膜の厚みのばらつきに影響されることなく適正な研磨を実施できるという効果は一層意義深いものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態によるステータの製造方法に備えるいくつかの工程を順次図解的に示す断面図である。
【図２】図１（１）に示したステータ用部品２ｂの外観を示す斜視図である。
【図３】図１に示した製造方法を実施した場合において、ステータ用部品２ｂ上の２つのステータ端子７および８の間で導電膜の厚みに差がある場合の研磨状態を図解的に示す断面図である。
【図４】この発明にとって興味ある可変コンデンサ１の外観を示す斜視図である。
【図５】図４に示した可変コンデンサ１の外観を下面側から示す斜視図である。
【図６】図４に示した可変コンデンサ１の断面図である。
【図７】従来のステータの製造方法に備えるいくつかの工程を順次図解的に示す断面図である。
【図８】図７に示した製造方法を実施した場合において、ステータ用部品２ａ上の２つのステータ端子７および８の間で導電膜の厚みに差がある場合の研磨状態を図解的に示す断面図である。
【符号の説明】
１ 可変コンデンサ
２ ステータ
２ｂ ステータ用部品
３ ロータ
５，６ ステータ電極
７，８ ステータ端子
１１ ロータ電極
２１ 第１の主面
２２ 第２の主面
２３ 側面
３１ 頂面
３２ 凸部
３３ 整列面
３４ 整列部材
３６ ホルダ
３７ 研磨用固定剤
３８ 研磨盤
【発明の属する技術分野】
この発明は、可変コンデンサに備えるステータの製造方法に関するもので、特に、研磨工程を経て製造されるステータの製造方法に関するものである。
【０００２】
この発明は、また、上述のような製造方法によって得られたステータを備える、可変コンデンサに関するものである。
【０００３】
【従来の技術】
この発明にとって興味ある可変コンデンサが、たとえば特開平１１−８７１７３号公報に記載されている。この公報に記載された可変コンデンサが、図４ないし図６に図示されている。
【０００４】
図４は、可変コンデンサ１の外観を示す斜視図であり、図５は、図４に示した可変コンデンサ１の外観を下面側から示す斜視図であり、図６は、図４に示した可変コンデンサ１の断面図である。
【０００５】
可変コンデンサ１は、それを構成するエレメントとして、ステータ２、ロータ３およびカバー４を備えている。
【０００６】
より詳細には、ステータ２は、セラミック誘電体をもって構成され、互いに平行な第１および第２の主面２１および２２ならびに第１および第２の主面２１および２２間を連結する側面２３を有する。また、ステータ２の内部には、第１および第２の主面２１および２２と平行に延びるように、ステータ電極５および６が並んで形成されている。これらステータ電極５および６にそれぞれ電気的に接続されるように、ステータ２の側面２３の一部上、すなわち各端部外表面上には、導電膜をもってステータ端子７および８が形成される。
【０００７】
なお、上述のように、２つのステータ電極５および６ならびに２つのステータ端子７および８が形成されたのは、ステータ２の構造を対称とし、このステータ２を用いての可変コンデンサ１の組み立てにおいて、ステータ２の方向を考慮する必要をなくすためである。図４ないし図６に示した組み立て状態では、ステータ電極５およびステータ端子７が機能していて、ステータ電極６およびステータ端子８は機能していない。
【０００８】
ステータ２の第２の主面２２上には、その中央部を縦断するように延びるリブ９が形成されている。
【０００９】
ロータ３は、導電性の金属から構成されるもので、上述したステータ２の第１の主面２１上に配置される。ロータ３の下面には、突出する段部をもって略半円状のロータ電極１１が形成されている。また、ロータ３の下面には、ロータ電極１１と等しい高さを有する突起１２が形成され、ロータ電極１１の存在によりロータ３が傾くことが防止される。ロータ３には、また、これを回転操作するためのドライバ等の工具を受け入れるドライバ溝１３が形成されている。
【００１０】
カバー４は、導電性の金属から構成されるもので、ロータ３を収容しながら、ステータ２に固定される。このとき、ロータ３は、カバー４によって、ステータ２に対して回転可能なように保持される。
【００１１】
カバー４には、ロータ３のドライバ溝１３を露出させる調整用穴１４が形成される。調整用穴１４の周囲には、ロータ３に接触して、ロータ３をステータ２に向かって圧接させるためのばね作用部１５が設けられている。ばね作用部１５には、調整用穴１４の周囲において、中心に向かうほど下方へ傾斜する形状が付与されるとともに、複数の突起１６が設けられている。
【００１２】
カバー４には、また、下方へ延びる係合片１７および１８が相対向するように設けられている。係合片１７および１８は、それぞれ、ステータ２の第２の主面２２に係合するように折り曲げられ、それによって、カバー４がステータ２に対して固定される。ステータ２に設けられた前述のリブ９は、ステータ２の第２の主面２２に沿って折り曲げられた係合片１７および１８の突出度合いと同程度の突出度合いをもって突出し、それによって、この可変コンデンサ１が適宜の配線基板（図示せず。）上で安定した状態で実装されることができる。
【００１３】
さらに、カバー４には、ロータ端子１９が下方へ延びるように設けられている。
【００１４】
以上のような構成を有する可変コンデンサ１において、ロータ電極１１は、ステータ２の第１の主面２１に接触しながら、ステータ電極５に対して、ステータ２を構成するセラミック誘電体の一部を介して対向し、それによって、静電容量が形成される。この静電容量を変化させるべく、ロータ電極１１の、ステータ電極５に対する有効対向面積を変化させるため、ロータ３が回転操作される。この調整された静電容量は、ステータ電極５に電気的に接続されたステータ端子７と、ロータ電極１１を形成するロータ３に接触するカバー４に設けられたロータ端子１９との間に取り出される。
【００１５】
このような可変コンデンサ１において、最大静電容量をより大きくし、かつ安定した静電容量が得られるようにするため、ステータ２の第１の主面２１に研磨を施し、それによって、主面２１とステータ電極５および６との間の誘電体厚みをより薄くするとともに、ロータ電極１１と接触する主面２１においてより平滑な面が得られるようにしている。
【００１６】
また、ステータ２の第１の主面２１に対する研磨には、次のような目的もある。
【００１７】
前述したステータ端子７および８となるべき導電膜は、たとえば、ステータ２の各端部を、所定の厚みを有する導電性ペーストからなる浴内に突入させることによって、ステータ２の各端部に導電性ペーストを付与し、次いで焼き付けることによって形成される。したがって、導電膜は、ステータ２の側面２３上だけでなく、側面２３から第１および第２の主面２１および２２の各一部にまで延びるように形成される。
【００１８】
しかしながら、この可変コンデンサ１においては、図４および図６に示されているように、ステータ端子７および８は、ステータ２の第１の主面２１上にまで延びないように形成されている。このようなステータ端子７および８の形成状態を得るため、上述のように導電膜を形成した後、ステータ２の第１の主面２１に対して研磨が施され、それによって、第１の主面２１上にある導電膜が除去される。
【００１９】
このように、ステータ端子７および８がステータ２の第１の主面２１上で形成されないようにすることにより、ステータ端子７および８の各上端部は、カバー４の端縁あるいはロータ３の周面に対して、比較的長い距離を隔てて位置されることができる。
【００２０】
したがって、可変コンデンサ１の組み立て時においてステータ２に対するロータ３やカバー４の位置合わせに誤差が生じたり、ロータ３の回転時においてカバー４やロータ３の位置ずれが生じたりしても、カバー４の端縁とステータ端子７および８の各上端部との間、あるいは、ロータ３の周面とステータ端子７および８の各上端部との間で、短絡や耐電圧不良の問題が生じる危険性を低減することができる。
【００２１】
上述のステータ２の第１の主面２１を研磨するにあたっては、研磨工程の能率化を図るため、通常、複数のステータ２を同時に取り扱うことが行なわれる。
【００２２】
図７には、上述したような研磨を実施するために採用される従来の研磨方法が示されている。なお、図７は、後述するように、この発明が解決しようとする課題を説明するためにも用いられる。
【００２３】
図７には、図４ないし図６に示したステータ２が概略的に図示されているが、図４ないし図６に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付している。また、図７において、ステータ２となるべきステータ用部品は、「２ａ」の参照符号をもって示されている。
【００２４】
図７（１）に示すように、複数のステータ用部品２ａが用意される。ステータ用部品２ａには、その側面２３から第１および第２の主面２１および２２の各一部にまで延びるように、導電膜をもってステータ端子７および８が形成されている。
【００２５】
次に、図７（２）に示すように、ホルダ２５の保持面２６上に、複数のステータ用部品２ａが保持された状態とされる。各ステータ用部品２ａは、その第２の主面２２が保持面２６側に向いた状態とされる。各ステータ用部品２ａを保持面２６に固定するため、たとえば粘着が適用される。
【００２６】
次に、ホルダ２５によって保持された状態で、複数のステータ用部品２ａの第１の主面２１側が、図７（２）および（３）に順次示すように、研磨盤２７によって研磨される。
【００２７】
図７（４）には、ステータ用部品２ａを研磨して得られた複数のステータ２が図示されている。
【００２８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した研磨方法によれば、図７（４）に示すように、研磨後の第１の主面２１とステータ電極５および６との間の厚みが、複数のステータ２の間でばらついてしまうことがある。このことは、可変コンデンサ１における最大静電容量のばらつきの原因となる。
【００２９】
上述のようなばらつきは、ステータ端子７および８の厚みのばらつきが原因となって生じるものである。すなわち、図７（２）に示すように、複数のステータ用部品２ａは、それぞれ、ステータ端子７および８を平面状の保持面２６に接触させた状態でホルダ２５によって保持されている。したがって、ステータ端子７および８となる導電膜の厚みの差は、ステータ用部品２ａの第１の主面２１の位置の差として現れる。その結果、研磨盤２７によって研磨されることによって得られた複数のステータ２において、第１の主面２１とステータ電極５および６との間の厚みにばらつきが生じてしまう。
【００３０】
また、図７（１）〜（４）の各々において、左から２番目に示すステータ用部品２ａまたはステータ２のように、ステータ端子７および８となる導電膜が過度に薄い場合には、図７（３）に示すように、研磨盤２７がステータ用部品２ａの第１の主面２１にまで届かず、そのため、図７（４）に示すように、ステータ２の第１の主面２１上において、ステータ端子７および８を完全に除去できないことがある。
【００３１】
また、図７に示した研磨方法によれば、個々のステータ用部品２ａにおいて、２つのステータ端子７および８の間で導電膜の厚みに差がある場合には、図８に示すような問題に遭遇する。図８（１）および（２）は、それぞれ、図７（３）および（４）に対応している。
【００３２】
図８（１）に示すように、ステータ端子７となる導電膜がステータ端子８となる導電膜に比べて薄い場合、ステータ用部品２ａは、ホルダ２５の保持面２６に対して傾斜した状態で保持される。そのため、研磨盤２７による研磨は、この傾斜した状態にあるステータ用部品２ａに対して施されることになる。
【００３３】
その結果、図８（２）に示すように、得られたステータ２において、研磨によって与えられた第１の主面２１は、第２の主面２２とは平行にならず、同様に、ステータ電極５および６に対しても平行にはならない。
【００３４】
上述のようなステータ２を可変コンデンサ１に組み込むと、ロータ３の回転が安定せず、また、静電容量も不安定なものとなってしまう。
【００３５】
そこで、この発明の目的は、上述したような種々の問題を解決し得る、可変コンデンサのステータの製造方法、およびこのような製造方法によって得られたステータを備える可変コンデンサを提供しようとすることである。
【００３６】
【課題を解決するための手段】
この発明は、まず、誘電体をもって構成され、互いに平行な第１および第２の主面ならびに第１および第２の主面間を連結する側面を有し、第１および第２の主面と平行に延びかつ第１の主面に接触しながら回転可能なように保持されたロータに設けられたロータ電極に対して誘電体の少なくとも一部を介して対向するステータ電極、およびステータ電極に電気的に接続されるように側面の一部上に形成されたステータ端子を備える、可変コンデンサに用いるステータの製造方法に向けられるものであって、上述した技術的課題を解決するため、次のような構成を備えることを特徴としている。
【００３７】
すなわち、この発明に係る可変コンデンサのステータの製造方法においては、ステータ電極およびステータ端子を備え、ステータ端子が側面から第１および第２の主面の各一部にまで延びる導電膜によって形成され、かつ、第１の主面上であって、導電膜が形成されていない領域に、導電膜の厚みより高い頂面を与えるような段差をもって凸部が設けられた、ステータとなるべきステータ用部品を用意する工程と、凸部の頂面を基準としながら、導電膜の第１の主面の一部にまで延びる部分が除去されるように、ステータ用部品の第１の主面側を研磨する工程とが実施されることを特徴としている。
【００３８】
上述した研磨する工程は、各凸部の頂面が同一面上に並ぶように、複数のステータ用部品をホルダによって保持する工程と、ホルダによって保持された状態で、複数のステータ用部品の第１の主面側を研磨する工程とを備えることが好ましい。
【００３９】
上述した複数のステータ用部品をホルダによって保持する工程は、平面状の整列面を有する整列部材を用意する工程と、整列部材の整列面に、各凸部の頂面をそれぞれ接触させた状態で、複数のステータ用部品を整列部材によって整列させる工程と、ステータ用部品をホルダに固定するための研磨用固定剤を用意する工程と、整列部材によって整列された複数のステータ用部品の各第２の主面側を、研磨用固定剤を介してホルダに固定する工程とを備えることがより好ましい。
【００４０】
この発明に係る可変コンデンサのステータの製造方法は、ステータが、ステータ電極を誘電体の内部に形成しているとき、特に有利に適用される。
【００４１】
また、この発明に係る可変コンデンサのステータの製造方法は、ステータ端子となる導電膜が、導電性ペ−ストを側面から第１および第２の主面の各一部にまで延びるように付与し、次いで焼き付けることによって形成されたものであるとき、特に有利に適用される。
【００４２】
この発明は、また、上述したような製造方法によって得られたステータを用いた、可変コンデンサにも向けられる。
【００４３】
【発明の実施の形態】
以下に、図４ないし図６に示した可変コンデンサ１に備えるステータ２の製造方法について説明する。
【００４４】
図１は、前述した図７に対応する図であって、この発明の一実施形態によるステータ２の製造方法に備えるいくつかの工程を順次示している。なお、図１において、ステータ２に関連する要素には、図４ないし図６で用いた参照符号と同様の参照符号を用いている。
【００４５】
まず、図１（１）に示すように、複数のステータ用部品２ｂが用意される。ステータ用部品２ｂの詳細は、図２に斜視図で図示されている。
【００４６】
図２を主として参照して、ステータ用部品２ｂは、たとえばセラミック誘電体をもって構成され、ステータ電極５および６ならびにステータ端子７および８を備えている。ステータ端子７および８は、たとえば、ステータ用部品２ｂの各端部を、所定の厚みを有する導電性ペーストからなる浴内に突入させることによって、ステータ用部品２ｂの各端部に導電性ペーストを付与し、次いで焼き付けることによって形成された導電膜から構成される。そのため、ステータ端子７および８を構成する導電膜は、ステータ用部品２ｂの側面２３の一部上だけでなく、側面２３から第１および第２の主面２１および２２の各一部にまで延びるように形成されている。
【００４７】
なお、図１（１）において、複数のステータ用部品２ｂの各々のステータ端子７および８となる導電膜の厚みに関して、ばらついているものが図示されている。このようなステータ端子７および８における厚みのばらつきは、特に、前述したように、導電膜が導電性ペーストの付与および焼付けによって形成されるとき、より生じやすい傾向がある。
【００４８】
再び図２を参照して、ステータ用部品２ｂの第１の主面２１上であって、ステータ端子７および８となる導電膜が形成されていない領域には、この導電膜の厚みより高い頂面３１を与えるような段差をもって凸部３２が設けられている。
【００４９】
次に、図１（２）に示すように、複数のステータ用部品２ｂは、各々の凸部３２の頂面３１を基準として位置合わせされる。より具体的には、平面状の整列面３３を有する整列部材３４が用意され、この整列部材３４の整列面３３に、各頂面３１をそれぞれ接触させた状態で、複数のステータ用部品２ｂが並べられ、それによって、複数のステータ用部品２ｂの各凸部３２の頂面３１が同一面上に並ぶようにされる。なお、この状態において、複数のステータ用部品２ｂを、粘着等の手段により、整列面３３に一時的に位置決めするようにしてもよい。
【００５０】
上述の状態において、各ステータ用部品２ｂの凸部３２は、ステータ端子７および８となる導電膜の厚みより高い頂面３１を与えているので、ステータ端子７および８となる導電膜の厚みにばらつきがあっても、このばらつきに影響されずに、複数のステータ用部品２ｂを整列させることができる。
【００５１】
次に、上述のようにして整列された複数のステータ用部品２ｂを、第２の主面２２側において保持するための保持面３５を有するホルダ３６が用意されるとともに、各ステータ用部品２ｂをホルダ３６に固定するための研磨用固定剤３７が用意される。
【００５２】
そして、整列部材３４によって整列された複数のステータ用部品２ｂの各第２の主面２２側が、研磨用固定剤３７を介してホルダ３６の保持面３５に固定することが行なわれる。このとき、研磨用固定剤３７は、各ステータ用部品２ｂのステータ端子７および８の厚みにばらつきが生じていても、各凸部３２の頂面３１が同一面上に並ぶ状態を維持したまま、複数のステータ用部品２ｂをホルダ３６に固定することができる。
【００５３】
研磨用固定剤３７としては、種々の態様のものを用いることができる。
【００５４】
第１に、研磨用固定剤３７として、たとえば水または低温凝固剤のように、室温において液体状態であり、かつ室温より低い温度に冷却することによって固化するものを用いることができる。この場合には、ステータ用部品２ｂをホルダ３６に固定するため、室温（あるいは室温より高い温度）でステータ用部品２ｂとホルダ３６との間に研磨用固定剤３７を液体状態で介在させ、次いで、研磨用固定剤３７を冷却して固化することが行なわれる。
【００５５】
第２に、研磨用固定剤３７として、ワックスまたはパラフィンのように、室温において固体状態であり、かつ室温より高い温度に加熱することによって液化するものを用いることができる。この場合には、ステータ用部品２ｂをホルダ３６に固定するため、室温より高い温度に加熱しながらステータ用部品２ｂとホルダ３６との間に研磨用固定剤３７を液体状態で介在させ、次いで、研磨用固定剤３７を室温に戻して固化することが行なわれる。
【００５６】
整列部材３４は、上述のように、ステータ用部品２ｂがホルダ３６に固定された後は不要となり、ステータ用部品２ｂから取り除かれる。
【００５７】
次に、図１（３）に示すように、ホルダ３６によって保持された複数のステータ用部品２ｂの第１の主面２１側が、研磨盤３８によって研磨される。この研磨によって、凸部３２が除去されるだけでなく、ステータ端子７および８となる導電膜の第１の主面２１の一部にまで延びる部分が除去される。
【００５８】
なお、研磨盤３８が平面状の研磨面３９を有している場合には、図１（２）に示した整列部材３４の代わりに、この研磨盤３８を用いてもよい。すなわち、研磨盤３８の研磨面３９に各凸部３２の頂面３１をそれぞれ接触させた状態とすることによって、各凸部３２の頂面３１が同一面上に並ぶように、複数のステータ用部品２ｂを整列させ、次いで、研磨用固定剤３７を介して、これらステータ用部品２ｂをホルダ３６に固定し、引き続いて、研磨盤３８を作動させて研磨を実施するようにしてもよい。
【００５９】
以上のようにして、ステータ用部品２ｂを研磨して得られたステータ２は、図１（４）に示すように、ホルダ３６から取り外される。このとき、研磨用固定剤３７の液化温度以上に加熱して、ステータ用部品２ｂをホルダ３６から分離するとともに、ステータ用部品２ｂに付着した研磨用固定剤３７を除去することが行なわれる。なお、ホルダ３６から取り外されたステータ用部品２ｂに付着している研磨用固定剤３７の除去にあたっては、加熱以外に、溶剤等を用いる洗浄、機械的な剥離等を適用してもよい。
【００６０】
このようにして、複数のステータ用部品２ｂの各凸部３２の頂面３１を基準としながら、研磨が実施されるので、複数のステータ用部品２ｂの各々のステータ端子７および８となる導電膜の厚みの差に影響されることなく、実質的に均一な研磨量を複数のステータ用部品２ｂにおいて得ることができる。したがって、研磨を終えて得られた複数のステータ２において、第１の主面２１とステータ電極５および６との間の厚みのばらつきを小さくすることができる。
【００６１】
また、図１に示した研磨方法を採用すれば、個々のステータ用部品２ｂにおいて、ステータ端子７および８の間で導電膜の厚みに差があっても、このような厚みの差に影響されずに、適正な研磨を施すことができる。このことを、図３を参照して説明する。
【００６２】
図３には、ステータ端子７となる導電膜がステータ端子８となる導電膜より薄い、ステータ用部品２ｂおよびステータ２が示されている。
【００６３】
図３（１）に示すように、凸部３２の頂面３１を基準とすることによって、ステータ端子７および８の間で導電膜の厚みに差があっても、研磨用固定剤３７を介してホルダ３６にステータ用部品２ｂを傾くことなく固定することができるとともに、研磨盤３８による研磨を実施したとき、ステータ電極５および６に対して平行な状態で研磨面３９を作用させることができる。
【００６４】
したがって、図３（２）に示すように、研磨後のステータ２において、その第１の主面２１とステータ電極５および６との平行状態を維持することができる。言い換えると、図８に示すような不適正な研磨状態がもたらされることを防止することができる。
【００６５】
以上説明したような製造方法によって得られたステータ２は、図４ないし図６に示した可変コンデンサ１において有利に用いることができる。なお、可変コンデンサ１の構造については、前述のとおりであるので、ここで説明を繰り返すことはしない。
【００６６】
以上、この発明を、図示した実施形態に関連して説明したが、この発明の範囲内において、その他、いくつかの変形例が可能である。
【００６７】
たとえば、図示の実施形態では、複数のステータ用部品２ｂを同時に取り扱いながら研磨を実施したが、凸部３２の頂面３１を基準としながらの研磨を実施する限り、ステータ用部品２ｂを１個ずつ取り扱いながら研磨を実施するようにしてもよい。
【００６８】
また、複数のステータ用部品２ｂを同時に取り扱う場合、図示した実施形態では、複数のステータ用部品２ｂをホルダ３６によって保持した状態とするため、研磨用固定剤３７を用いたが、このような研磨用固定剤３７を用いず、たとえば機械的な手段によってステータ用部品２ｂを挟持するような構成を採用してもよい。
【００６９】
また、図示の実施形態では、得ようとするステータ２は、ステータ電極５および６を誘電体の内部に形成しているものであったが、ステータ電極がステータの外表面上に形成されているステータの製造方法においても、この発明を適用することができる。
【００７０】
また、図示の実施形態では、ステータ端子７および８となる導電膜は、導電性ペーストを付与し、次いで焼き付けることによって形成されたものであったが、このような導電膜が他の方法によって形成されたものである場合にも、この発明を適用することができる。
【００７１】
また、図示の実施形態では、ステータ２またはステータ用部品２ｂは、２つのステータ電極５および６ならびに２つのステータ端子７および８を備えるものであったが、単に１つのステータ電極および単に１つのステータ端子を備えるステータ用部品からステータを製造する場合であっても、この発明を適用することができる。この後者の態様は、図３に示したステータ用部品２ｂまたはステータ２の状態の極端な場合に相当するもので、たとえば、図３において、一方のステータ端子７がない場合であっても、凸部３２の頂面３１を基準とする限り、適正な研磨を実施できることが理解できる。
【００７２】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、得ようとするステータとなるべきステータ用部品において、ステータ端子を側面から第１および第２の主面の各一部にまで延びる導電膜によって形成し、第１の主面上に、導電膜の厚みより高い頂面を与えるような段差をもって凸部が設けられており、このようなステータ用部品に対して研磨を実施するにあたって、凸部の頂面を基準としながら、導電膜の第１の主面の一部にまで延びる部分が除去されるように、ステータ用部品の第１の主面側を研磨するようにしているので、複数のステータ用部品の間あるいは個々のステータ用部品の中で、ステータ端子となる導電膜の厚みにばらつきが存在していても、このような厚みのばらつきに影響されることなく、ステータ端子となる導電膜の第１の主面上にある部分を完全に除去することができるとともに、複数のステータ用部品において均一な研磨量および傾きのない研磨状態を得ることができる。
【００７３】
したがって、この発明に係る製造方法によって得られたステータを用いて可変コンデンサを構成すれば、可変コンデンサにおける最大静電容量を高い精度でかつ安定なものとすることができ、また、ロータの回転も安定なものとすることができるので、静電容量の調整操作および調整された静電容量の安定化を図ることができる。
【００７４】
この発明において、各凸部の頂面が同一面上に並ぶように、複数のステータ用部品をホルダによって保持した状態で、研磨を実施するようにすれば、研磨工程の能率化を図ることができる。
【００７５】
上述した複数のステータ用部品をホルダによって保持するにあたり、平面状の整列面を有する整列部材およびステータ用部品をホルダに固定するための研磨用固定剤を用意し、整列部材の整列面に、各凸部の頂面をそれぞれ接触させた状態で、複数のステータ用部品を整列部材によって整列させながら、これら複数のステータ用部品の各第２の主面側を、研磨用固定剤を介してホルダに固定するようにすれば、各凸部の頂面が同一面上に並ぶように複数のステータ用部品をホルダによって保持した状態を能率的に得ることができる。
【００７６】
また、この発明に係る製造方法によって得ようとするステータが、ステータ電極を誘電体の内部に形成している構造を有している場合には、特に高精度の研磨が要求されるので、この発明に係る製造方法が極めて有意義である。
【００７７】
また、ステータ端子となる導電膜が、導電性ペーストを付与し、次いで焼き付けることによって形成されたものである場合には、このような導電膜の厚みに関してばらつきが比較的生じやすいので、前述したような導電膜の厚みのばらつきに影響されることなく適正な研磨を実施できるという効果は一層意義深いものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態によるステータの製造方法に備えるいくつかの工程を順次図解的に示す断面図である。
【図２】図１（１）に示したステータ用部品２ｂの外観を示す斜視図である。
【図３】図１に示した製造方法を実施した場合において、ステータ用部品２ｂ上の２つのステータ端子７および８の間で導電膜の厚みに差がある場合の研磨状態を図解的に示す断面図である。
【図４】この発明にとって興味ある可変コンデンサ１の外観を示す斜視図である。
【図５】図４に示した可変コンデンサ１の外観を下面側から示す斜視図である。
【図６】図４に示した可変コンデンサ１の断面図である。
【図７】従来のステータの製造方法に備えるいくつかの工程を順次図解的に示す断面図である。
【図８】図７に示した製造方法を実施した場合において、ステータ用部品２ａ上の２つのステータ端子７および８の間で導電膜の厚みに差がある場合の研磨状態を図解的に示す断面図である。
【符号の説明】
１ 可変コンデンサ
２ ステータ
２ｂ ステータ用部品
３ ロータ
５，６ ステータ電極
７，８ ステータ端子
１１ ロータ電極
２１ 第１の主面
２２ 第２の主面
２３ 側面
３１ 頂面
３２ 凸部
３３ 整列面
３４ 整列部材
３６ ホルダ
３７ 研磨用固定剤
３８ 研磨盤
Claims (6)
- 誘電体をもって構成され、互いに平行な第１および第２の主面ならびに前記第１および第２の主面間を連結する側面を有し、前記第１および第２の主面と平行に延びかつ前記第１の主面に接触しながら回転可能なように保持されたロータに設けられたロータ電極に対して前記誘電体の少なくとも一部を介して対向するステータ電極、および前記ステータ電極に電気的に接続されるように前記側面の一部上に形成されたステータ端子を備える、可変コンデンサに用いるステータの製造方法であって、
前記ステータ電極および前記ステータ端子を備え、前記ステータ端子が前記側面から前記第１および第２の主面の各一部にまで延びる導電膜によって形成され、かつ、前記第１の主面上であって、前記導電膜が形成されていない領域に、前記導電膜の厚みより高い頂面を与えるような段差をもって凸部が設けられた、前記ステータとなるべきステータ用部品を用意する工程と、
前記凸部の前記頂面を基準としながら、前記導電膜の前記第１の主面の一部にまで延びる部分が除去されるように、前記ステータ用部品の前記第１の主面側を研磨する工程と
を備える、可変コンデンサのステータの製造方法。 - 前記研磨する工程は、
各前記凸部の前記頂面が同一面上に並ぶように、複数の前記ステータ用部品をホルダによって保持する工程と、
前記ホルダによって保持された状態で、複数の前記ステータ用部品の前記第１の主面側を研磨する工程と
を備える、請求項１に記載の可変コンデンサのステータの製造方法。 - 前記複数のステータ用部品をホルダによって保持する工程は、
平面状の整列面を有する整列部材を用意する工程と、
前記整列部材の前記整列面に、各前記凸部の前記頂面をそれぞれ接触させた状態で、複数の前記ステータ用部品を前記整列部材によって整列させる工程と、
前記ステータ用部品を前記ホルダに固定するための研磨用固定剤を用意する工程と、
前記整列部材によって整列された複数の前記ステータ用部品の各前記第２の主面側を、前記研磨用固定剤を介して前記ホルダに固定する工程と
を備える、請求項２に記載の可変コンデンサのステータの製造方法。 - 前記ステータは、前記ステータ電極を前記誘電体の内部に形成している、請求項１ないし３のいずれかに記載の可変コンデンサのステータの製造方法。
- 前記ステータ用部品を用意する工程において、前記導電膜は、導電性ペーストを前記側面から前記第１および第２の主面の各一部にまで延びるように付与し、次いで焼き付けることによって形成される、請求項１ないし４のいずれかに記載の可変コンデンサのステータの製造方法。
- 請求項１ないし５のいずれかに記載の製造方法によって得られたステータを用いた、可変コンデンサ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000030082A JP3601397B2 (ja) | 2000-02-08 | 2000-02-08 | 可変コンデンサのステータの製造方法および可変コンデンサ |
| GB0102842A GB2359194B (en) | 2000-02-08 | 2001-02-05 | Method of producing stator of variable capacitor and variable capacitor |
| CNB011026642A CN1162882C (zh) | 2000-02-08 | 2001-02-07 | 生产可变电容器定子的方法 |
| US09/778,188 US6625858B2 (en) | 2000-02-08 | 2001-02-07 | Method of producing stator of variable capacitor |
| KR10-2001-0006139A KR100366929B1 (ko) | 2000-02-08 | 2001-02-08 | 가변 커패시터용 고정자 제조 방법 및 가변 커패시터 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000030082A JP3601397B2 (ja) | 2000-02-08 | 2000-02-08 | 可変コンデンサのステータの製造方法および可変コンデンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001223133A JP2001223133A (ja) | 2001-08-17 |
| JP3601397B2 true JP3601397B2 (ja) | 2004-12-15 |
Family
ID=18555143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000030082A Expired - Lifetime JP3601397B2 (ja) | 2000-02-08 | 2000-02-08 | 可変コンデンサのステータの製造方法および可変コンデンサ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6625858B2 (ja) |
| JP (1) | JP3601397B2 (ja) |
| KR (1) | KR100366929B1 (ja) |
| CN (1) | CN1162882C (ja) |
| GB (1) | GB2359194B (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4487502B2 (ja) * | 2003-06-20 | 2010-06-23 | 株式会社村田製作所 | 可変コンデンサ |
| JP2006210843A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Fujitsu Ltd | 可変キャパシタ及びその製造方法 |
| US20070192267A1 (en) * | 2006-02-10 | 2007-08-16 | Numenta, Inc. | Architecture of a hierarchical temporal memory based system |
| US11538123B1 (en) * | 2019-01-23 | 2022-12-27 | Wells Fargo Bank, N.A. | Document review and execution on mobile devices |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3694710A (en) * | 1970-04-13 | 1972-09-26 | Mallory & Co Inc P R | Variable capacitance multilayered ceramic capacitor |
| US3681828A (en) * | 1970-05-21 | 1972-08-08 | Frank G J Mezey | Method of making rotors for variable capacitors |
| US3705335A (en) * | 1971-08-19 | 1972-12-05 | Jfd Electronics Corp | Low height ceramic capacitor for printed circuit board mounting |
| JPS6011451B2 (ja) * | 1977-07-26 | 1985-03-26 | 松下電器産業株式会社 | 可変磁器コンデンサ |
| US4292660A (en) * | 1977-12-24 | 1981-09-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Variable capacitor |
| JPS6223079Y2 (ja) * | 1981-01-27 | 1987-06-12 | ||
| US5034851A (en) * | 1990-05-23 | 1991-07-23 | American Technical Ceramics Corporation | Miniature monolithic multilayered capacitors and method for trimming |
| JPH04321210A (ja) * | 1991-04-22 | 1992-11-11 | Murata Mfg Co Ltd | トリマコンデンサ |
| KR100254146B1 (ko) * | 1992-04-16 | 2000-04-15 | 무라따 미치히로 | 전자부품의 제조방법 및 가변 콘덴서 |
| JP3307020B2 (ja) * | 1992-10-19 | 2002-07-24 | 株式会社ニコン | 超音波モータ |
| US5414589A (en) * | 1993-06-07 | 1995-05-09 | Rohm Co., Ltd. | Capacitor having a changeable dielectric capacity and manufacturing method thereof |
| JPH10303071A (ja) * | 1997-04-24 | 1998-11-13 | Kyocera Corp | トリマコンデンサ |
| JP3387382B2 (ja) | 1997-09-08 | 2003-03-17 | 株式会社村田製作所 | 可変コンデンサ |
| TW391021B (en) * | 1997-09-08 | 2000-05-21 | Murata Manufacturing Co | Variable capacitor |
| US6171921B1 (en) * | 1998-06-05 | 2001-01-09 | Motorola, Inc. | Method for forming a thick-film resistor and thick-film resistor formed thereby |
-
2000
- 2000-02-08 JP JP2000030082A patent/JP3601397B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-02-05 GB GB0102842A patent/GB2359194B/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-02-07 US US09/778,188 patent/US6625858B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-02-07 CN CNB011026642A patent/CN1162882C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2001-02-08 KR KR10-2001-0006139A patent/KR100366929B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1308347A (zh) | 2001-08-15 |
| KR20010078373A (ko) | 2001-08-20 |
| KR100366929B1 (ko) | 2003-01-09 |
| JP2001223133A (ja) | 2001-08-17 |
| CN1162882C (zh) | 2004-08-18 |
| US6625858B2 (en) | 2003-09-30 |
| US20010018789A1 (en) | 2001-09-06 |
| GB2359194A (en) | 2001-08-15 |
| GB0102842D0 (en) | 2001-03-21 |
| GB2359194B (en) | 2002-03-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6473221B2 (en) | Galvano-mirror and method of making the same | |
| US6023406A (en) | LC composite component with variable capacitor and inductor | |
| JP4358391B2 (ja) | 電気モータにおける整流子へのリング状電気雑音防止素子の接続方法と、その方法によって接続された電気雑音防止素子を備える整流子 | |
| JP3601397B2 (ja) | 可変コンデンサのステータの製造方法および可変コンデンサ | |
| JP2004227918A (ja) | Ｆｐｃ接続用マイクロコネクタ及びその製造方法 | |
| US4260860A (en) | DIP Rotary switch | |
| US6134097A (en) | Variable capacitor | |
| JP3379382B2 (ja) | 可変コンデンサ | |
| JP3666333B2 (ja) | 研磨方法ならびに電子部品および可変コンデンサ | |
| JP3387382B2 (ja) | 可変コンデンサ | |
| JP2001252865A (ja) | 研磨方法ならびに電子部品および可変コンデンサ | |
| JPH0548364A (ja) | 圧電共振子の製造方法 | |
| JP2001126957A (ja) | 可変コンデンサ | |
| JP2001246555A (ja) | 研磨方法ならびに電子部品および可変コンデンサ | |
| JPS5824429Y2 (ja) | トリマコンデンサ | |
| JPH11135362A (ja) | トリマコンデンサ | |
| JPH05283285A (ja) | トリマコンデンサ | |
| JPH06283387A (ja) | トリマーコンデンサ | |
| JPH0312763B2 (ja) | ||
| JPH08213270A (ja) | ケース収納型電子部品 | |
| JPS5855613Y2 (ja) | 電気部品の摺動子受台 | |
| KR100241158B1 (ko) | 유전체 유니트의 제조 방법 | |
| JPS5934989Y2 (ja) | 可変磁器コンデンサ | |
| JP2001332448A (ja) | 可変コンデンサ | |
| JPH04321210A (ja) | トリマコンデンサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040730 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040831 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040913 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3601397 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071001 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081001 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091001 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101001 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101001 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111001 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121001 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 9 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |