JP2001246555A - 研磨方法ならびに電子部品および可変コンデンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】可変コンデンサのステータとなる誘電体エレメ
ントのような複数のワークに対して研磨を施すとき、複
数のワークの全体としての厚みが互いに異なっていて
も、均一な研磨量が得られるようにする。 【解決手段】整列部材４２の整列面４１に、各被研磨面
２２をそれぞれ接触させた状態で、整列用固定剤４３を
用いて、複数のワーク２１を整列部材４２によって保持
した状態とした後、複数のワーク２１の各反対面側２７
を、研磨用固定剤４６を介してホルダ４５の保持面４４
に固定してから、整列部材４２をワーク２１から分離
し、次いで、ホルダ４５によって固定された状態で、複
数のワーク２１の被研磨面２２を研磨盤４７によって研
磨する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、厚みが異なる複
数のワークの厚み方向の各一方端側に位置する端面を被
研磨面として、これらワークに対して研磨を施す、研磨
方法に関するもので、特に、複数のワークにおいて均一
な研磨量を得るための改良に関するものである。

【０００２】この発明は、また、上述のような研磨方法
によって研磨されたエレメントを備える電子部品、たと
えば可変コンデンサに関するものである。

【０００３】

【従来の技術】この発明にとって興味ある電子部品、よ
り具体的には、可変コンデンサが、たとえば、特開平６
−２９０９９４号公報または特開平１０−３２１４６７
号公報に記載されている。これら公報に記載される各可
変コンデンサは、実質的に共通するエレメントを備えて
いるが、後者の特開平１０−３２１４６７号公報に記載
された可変コンデンサが、図６ないし図８に図示されて
いる。

【０００４】図６は、可変コンデンサ１の外観を示す斜
視図であり、図７は、図６に示した可変コンデンサ１の
外観を下面側から示す斜視図であり、図８は、図６に示
した可変コンデンサ１の断面図である。

【０００５】可変コンデンサ１は、それを構成するエレ
メントとして、ステータ２、ロータ３およびカバー４を
備えている。

【０００６】より詳細には、ステータ２は、セラミック
誘電体をもって構成され、その内部には、ステータ電極
５および６が並んで形成されている。これらステータ電
極５および６にそれぞれ電気的に接続されるように、ス
テータ２の各端部外表面上には、導電膜をもってステー
タ端子７および８が形成される。

【０００７】なお、上述のように、２つのステータ電極
５および６ならびに２つのステータ端子７および８が形
成されたのは、ステータ２の構造を対称とし、このステ
ータ２を用いての可変コンデンサ１の組み立てにおい
て、ステータ２の方向を考慮する必要をなくすためであ
る。図６ないし図８に示した組み立て状態では、ステー
タ電極５およびステータ端子７が機能していて、ステー
タ電極６およびステータ端子８は機能していない。

【０００８】ステータ２の下面には、その中央部を縦断
するように延びる凸部９が形成されている。

【０００９】ロータ３は、導電性の金属から構成される
もので、上述したステータ２の厚み方向の上方端側に位
置する端部１０上に配置される。ロータ３の下面には、
突出する段差をもって略半円状のロータ電極１１が形成
されている。また、ロータ３の下面には、ロータ電極１
１と等しい高さを有する突起１２が形成され、ロータ電
極１１の存在によりロータ３が傾くことが防止される。
ロータ３には、また、これを回転操作するためのドライ
バ等の工具を受け入れるドライバ溝１３が形成されてい
る。

【００１０】カバー４は、導電性の金属から構成される
もので、ロータ３を収容しながら、ステータ２に固定さ
れる。このとき、ロータ３は、カバー４によって、ステ
ータ２に対して回転可能なように保持される。

【００１１】カバー４には、ロータ３のドライバ溝１３
を露出させる調整用穴１４が形成される。調整用穴１４
の周囲には、ロータ３に接触して、ロータ３をステータ
２に向かって圧接させるためのばね作用部１５が設けら
れている。ばね作用部１５には、調整用穴１４の周囲に
おいて、中心に向かうほど下方へ傾斜する形状が付与さ
れるとともに、複数の突起１６が設けられている。

【００１２】カバー４には、また、下方へ延びる係合片
１７および１８が相対向するように設けられている。係
合片１７および１８は、それぞれ、ステータ２の下面に
係合するように折り曲げられ、それによって、カバー４
がステータ２に対して固定される。ステータ２の下面に
設けられた前述の凸部９は、ステータ２の下面に沿って
折り曲げられた係合片１７および１８の突出度合いと同
程度の突出度合いをもって突出し、それによって、この
可変コンデンサ１が適宜の配線基板（図示せず。）上で
安定した状態で実装されることができる。

【００１３】さらに、カバー４には、ロータ端子１９が
下方へ延びるように設けられている。

【００１４】以上のような構成を有する可変コンデンサ
１において、ロータ電極１１は、ステータ電極５に対し
て、ステータ２を構成するセラミック誘電体の一部を介
して対向し、それによって、静電容量が形成される。こ
の静電容量を変化させるべく、ロータ電極１１の、ステ
ータ電極５に対する有効対向面積を変化させるため、ロ
ータ３が回転操作される。この調整された静電容量は、
ステータ電極５に電気的に接続されたステータ端子７
と、ロータ電極１１を形成するロータ３に接触するカバ
ー４に設けられたロータ端子１９との間に取り出され
る。

【００１５】このような可変コンデンサ１において、最
大静電容量をより大きくし、かつ安定した静電容量が得
られるようにするため、ステータ２の端面１０に研磨を
施し、それによって、端面１０とステータ電極５および
６との間の誘電体厚みをより薄くするとともに、ロータ
電極１１と接触する端面１０においてより平滑な面が得
られるようにしている。

【００１６】上述のステータ２の端面１１の研磨にあた
っては、研磨工程の能率化を図るため、通常、複数のス
テータ２を同時に取り扱うことが行われる。

【００１７】図９には、上述したような研磨を実施する
ために採用される従来の研磨方法が示されている。図９
において、研磨されるべきワーク２１は、前述したステ
ータ２を意図しており、これを概略的に図示している。

【００１８】ワーク２１は、図示した姿勢において、厚
み方向の下方端側に被研磨面２２を位置させていて、こ
の被研磨面２２は、前述した端面１０に相当する。ま
た、ワーク２１内には、前述したステータ電極５および
６に対応する電極２３が被研磨面２２と平行に延びる状
態で図示されている。また、ワーク２１には、前述した
凸部９に相当する凸部２４が形成されている。

【００１９】図９（１）に示すように、平面状の保持面
２５を有する板状のホルダ２６が用意されるとともに、
複数のワーク２１が用意される。これらワーク２１は、
その製造方法に起因して、厚みが異なっている。

【００２０】次に、ホルダ２６の保持面２５に、被研磨
面２２に対向する反対面２７をそれぞれ接触させた状態
で、複数のワーク２１がホルダ２６によって保持された
状態とされる。なお、図示しないが、各ワーク２１を保
持面２５に固定するため、たとえば粘着剤が適用され
る。

【００２１】次に、ホルダ２６によって保持された状態
で、複数のワーク２１の被研磨面２２が、研磨盤２８に
よって研磨される。図９（１）において、研磨盤２８の
研磨後の位置が破線で示されている。したがって、研磨
盤２８を示す実線と破線との間の距離に相当する研磨量
をもって研磨される。

【００２２】図９（２）には、研磨後の複数のワーク２
１が図示されている。ここに示すように、この従来の研
磨方法では、被研磨面２２に対向する反対面２７を基準
として研磨を実施しているため、ワーク２１の全体の厚
みの差が、被研磨面２２と電極２３との間の厚みに影響
を与え、複数のワーク２１において、被研磨面２２と電
極２３との間の厚みにばらつきが生じてしまう。このこ
とは、可変コンデンサ１における静電容量のばらつきの
原因となる。

【００２３】上述のような問題を解決するため、図１０
に示すような研磨方法も提案されている。図１０におい
て、図９に示した要素に相当する要素には同様の参照符
号を付し、重複する説明は省略する。

【００２４】図１０（１）に示すように、平面状の保持
面２９を有する第１のホルダ３０および複数のワーク２
１が用意される。

【００２５】次に、保持面２９に、各被研磨面２２をそ
れぞれ接触させた状態で、複数のワーク２１が第１のホ
ルダ３０によって保持された状態とされる。

【００２６】次に、第１のホルダ３０によって保持され
た状態で、研磨盤３１によって、複数のワーク２１の被
研磨面２２が破線で示す位置まで１次研磨される。

【００２７】図１０（２）には、上述した１次研磨を終
えた後の複数のワーク２１が示されている。この段階
で、ワーク２１は、その全体としての厚みが同じとなる
ようにされる。

【００２８】次に、図１０（３）に示すように、平面状
の保持面３２を有する第２のホルダ３３が用意される。

【００２９】次に、複数のワーク２１が、第２のホルダ
３３の保持面３２に各反対面２７をそれぞれ接触させた
状態で、第２のホルダ３３によって保持された状態とさ
れる。

【００３０】次に、第２のホルダ３３によって保持され
た複数のワーク２１の被研磨面２２が、研磨盤３４によ
って、破線で示す位置まで２次研磨される。なお、この
研磨盤３４は、前述した研磨盤３１と同じものを用いて
もよい。

【００３１】このような研磨方法によれば、１次研磨の
段階で反対面２７を研磨することによって複数のワーク
２１の全体としての各厚みを同じにしてから、２次研磨
において被研磨面２２を研磨するようにしているので、
２次研磨を終えて得られた複数のワーク２１において、
被研磨面２２と電極２３との間の厚みのばらつきを低減
することができる。

【００３２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１０
に示した研磨方法では、１次研磨および２次研磨という
ように、研磨を２段階実施しなければならないため、工
程数が増え、その結果、研磨加工のためのコストが増大
する。

【００３３】また、研磨加工においては、不可避的に加
工ばらつきが生じてしまうのが通常であるが、このよう
な加工ばらつきの生じることが避けられない研磨加工を
２回実施することになるので、加工ばらつきが重畳され
てしまい、加工精度の低下を招く。

【００３４】そこで、この発明の目的は、上述したよう
な問題を解決し得る研磨方法、ならびに、このような研
磨方法によって研磨されたエレメントを備える電子部品
および可変コンデンサを提供しようとすることである。

【００３５】

【課題を解決するための手段】この発明は、まず、厚み
が異なる複数のワークの厚み方向の各一方端側に位置す
る端面を被研磨面として、複数のワークに対して研磨を
施す、研磨方法に向けられるものであって、上述した技
術的課題を解決するため、次のような構成を備えること
を特徴としている。

【００３６】すなわち、この発明に係る研磨方法におい
ては、各被研磨面が同一面上に並ぶように、複数のワー
クをホルダによって保持する工程と、ホルダによって保
持された状態で、複数のワークの被研磨面を研磨する工
程とが実施されることを特徴としている。

【００３７】この発明に係る研磨方法は、好ましくは、
次のような工程に従って実施される。

【００３８】すなわち、好ましい実施態様において、こ
の発明に係る研磨方法は、厚みが異なる複数のワークの
厚み方向の各一方端側に位置する端面を被研磨面とし
て、複数のワークに対して研磨を施す、研磨方法であっ
て、平面状の整列面、および、整列面に開口する複数の
エアー吸引孔を有する整列部材を用意する工程と、整列
部材の整列面に、各被研磨面をそれぞれ接触させた状態
で、複数のワークを前記整列部材によって整列させ、複
数のエアー吸引孔からエアー吸引することによってワー
クを前記整列部材に固定する工程と、整列部材によって
固定された複数のワークを、被研磨面に対向する反対面
側において保持するための保持面を有するホルダおよび
各ワークをホルダに固定するための研磨用固定剤をそれ
ぞれ用意する工程と、整列部材によって固定された複数
のワークの各反対面側を、研磨用固定剤を介してホルダ
の保持面に固定する工程と、整列部材を、複数のワーク
から分離する工程と、ホルダによって固定された状態
で、複数のワークの被研磨面を研磨する工程とを備える
ことを特徴としている。

【００３９】上述した整列部材は、整列面に各被研磨面
をそれぞれ接触させた状態で、複数のワークを整列させ
固定できるものであればよく、このような整列部材は、
上述のエアー吸引孔からエアー吸引することによってワ
ークを固定するもの以外にも、種々の態様のものを用い
ることができる。

【００４０】たとえば、平面状の整列面を有する整列部
材、および、複数のワークを整列部材に固定するための
粘着剤を用意する工程と、整列部材の整列面に粘着剤を
塗布する工程と、粘着剤の塗布された整列部材の整列面
に、各被研磨面をそれぞれ接触させた状態で、複数のワ
ークを整列部材によって整列させ、粘着剤を用いて複数
のワークを整列部材に固定する工程とを実施してもよ
い。

【００４１】また、平面状の整列面を有する整列部材、
および、複数のワークを整列部材に固定するための粘着
面を少なくとも一方面側に有する粘着シートを用意する
工程と、整列部材の整列面に、整列面と同一方向に粘着
面を向けて粘着シートを固定する工程と、整列部材の整
列面に固定された粘着シートの粘着面に、各被研磨面を
それぞれ接触させた状態で、複数のワークを整列させ、
粘着シートを用いて複数のワークを整列部材に固定する
工程とを実施してもよい。

【００４２】また、上述の粘着シートを用いて複数のワ
ークを整列部材に固定する場合には、整列部材は整列面
に開口する複数のエアー吸引孔を有し、複数のエアー吸
引孔からエアー吸引することによって粘着シートを整列
部材に固定してもよい。

【００４３】さらに、上述の粘着シートを用いて複数の
ワークを整列部材に固定する場合には、前記粘着シート
は両面に粘着面を有しており、粘着シートのいずれか一
方面側の粘着面を整列部材の整列面に貼付けることによ
って粘着シートを整列部材に固定してもよい。

【００４４】また、複数の前記ワークの少なくとも一部
が金属により構成されているものである場合には、整列
面に磁力を備えた整列部材を用意し、整列部材の整列面
に各被研磨面をそれぞれ接触させた状態で複数のワーク
を整列部材によって整列させ、磁力によって複数のワー
クを整列部材に固定する方法を用いることができる。前
記ワークには、たとえば、外表面に電極を形成した誘電
体エレメント等を用いることができる。

【００４５】上述した研磨用固定剤は、それに及ぼされ
る条件によって、定形状態となったり不定形状態となっ
たりするもので、このような研磨用固定剤として、種々
の態様のものを用いることができる。

【００４６】たとえば、研磨用固定剤が、室温において
液体状態であり、かつ室温より低い温度に冷却すること
によって固化するものである場合、ワークをホルダに固
定する工程においては、室温以上の温度でワークとホル
ダとの間に研磨用固定剤を液体状態で介在させる工程
と、次いで、研磨用固定剤を冷却して固化する工程とが
実施される。

【００４７】また、研磨用固定剤が、室温において固体
状態であり、かつ室温より高い温度に加熱することによ
って液化するものである場合には、ワークをホルダに固
定する工程においては、室温より高い温度に加熱しなが
らワークとホルダとの間に研磨用固定剤を液体状態で介
在させる工程と、次いで、研磨用固定剤を室温に戻して
固化する工程とが実施される。

【００４８】また、複数のワークの被研磨面を研磨する
工程において、研磨用固定剤を冷却するようにしてもよ
い。

【００４９】この発明に係る研磨方法は、たとえば、前
述した可変コンデンサ１のためのステータ２に対して施
される研磨に有利に適用される。すなわち、この研磨方
法において、ワークは内部に電極を形成した誘電体エレ
メントであり、被研磨面は、電極と平行に延びる誘電体
エレメントの端面である場合である。

【００５０】この発明は、また、上述したような研磨方
法によって研磨されたエレメントを備える電子部品にも
向けられる。

【００５１】また、この発明は、上述のような研磨方法
によって研磨された誘電体エレメントを備える、可変コ
ンデンサにも向けられる。

【００５２】

【発明の実施の形態】図１には、この発明の一実施形態
による研磨方法に備えるいくつかの工程が順次示されて
いる。図１において、研磨されるべきワーク２１は、前
述の図６ないし図８に示した可変コンデンサ１に備える
ステータ２を意図しており、これを概略的に図示すると
ともに、このワーク２１に関して、図９および図１０で
用いた参照符号と同じ参照符号を対応の部分に用いてい
る。

【００５３】まず、図１（１）に示すように、平面状の
整列面４１、および整列面４１に開口する複数のエアー
吸引孔４３を有する整列部材４２が用意される。そし
て、整列部材４２の整列面４１に、各被研磨面２２をそ
れぞれ接触させた状態で、複数のワーク２１が並べられ
る。次に、エアー吸引孔４３からエアー吸引することに
よってワーク２１が整列部材４２に固定される。

【００５４】次に、図１（２）に示すように、整列部材
４２に固定された複数のワーク２１を、被研磨面２２に
対向する反対面２７側において保持するための保持面４
４を有するホルダ４５が用意されるとともに、各ワーク
２１をホルダ４５に固定するための研磨用固定剤４６が
用意される。

【００５５】そして、整列部材４２に固定された複数の
ワーク２１の各反対面２７側を、研磨用固定剤４６を介
してホルダ４５の保持面４４に固定することが行われ
る。この研磨用固定剤４６は、厚みが異なる複数のワー
ク２１と保持面４４との間に形成される種々の寸法の隙
間の差を吸収しながら、これら隙間を充填するように付
与される。

【００５６】この研磨用固定剤４６としては、種々の態
様のものを用いることができる。

【００５７】第１に、研磨用固定剤４６として、たとえ
ば水または低温凝固剤のように、室温において液体状態
であり、かつ室温より低い温度に冷却することによって
固化するものを用いることができる。この場合には、ワ
ーク２１をホルダ４５に固定するため、室温（あるいは
室温より高い温度）でワーク２１とホルダ４５との間に
研磨用固定剤４６を液体状態で介在させ、次いで、研磨
用固定剤４６を冷却して固化することが行われる。

【００５８】第２に、研磨用固定剤４６として、ワック
スまたはパラフィンのように、室温において固体状態で
あり、かつ室温より高い温度に加熱することによって液
化するものを用いることができる。この場合には、ワー
ク２１をホルダ４５に固定するため、室温より高い温度
に加熱しながらワーク２１とホルダ４５との間に研磨用
固定剤４６を液体状態で介在させ、次いで、研磨用固定
剤４６を室温に戻して固化することが行われる。

【００５９】次に、図１（３）に示すように、整列部材
４２が複数のワーク２１から分離される。この場合に
は、エアー吸引孔４３からのエアー吸引を停止すること
によって、整列部材４２がワーク２１から容易に取り外
される。

【００６０】次に、図１（４）に示すように、研磨用固
定剤４６を介してホルダ４５によって保持された複数の
ワーク２１の被研磨面２２が、研磨盤４７によって、た
とえば破線で示す位置まで研磨される。

【００６１】以上のようにして、各被研磨面２２が同一
面上に並んだ状態で、研磨が実施されるので、複数のワ
ーク２１の各々の全体の厚みの間での差に影響されるこ
となく、実質的に均一な研磨量を複数のワーク２１にお
いて得ることができ、研磨工程の後、被研磨面２２と電
極２３との間の厚みのばらつきを小さくすることができ
る。

【００６２】なお、研磨後のワーク２１の間で、全体と
しての厚みがばらつくが、このようなばらつきは、前述
した可変コンデンサ１における特性に対して実質的な影
響を及ぼすものではない。

【００６３】また、上述した研磨工程において、研磨用
固定剤４６を冷却しながら、この研磨工程を実施するよ
うにしてもよい。特に、研磨用固定剤４６が、室温より
低い温度に冷却することによって固化するものである場
合には、このように、冷却しながら研磨工程を実施する
ことが望ましい。

【００６４】上述のように研磨工程を終えた後、ホルダ
４５からワーク２１が取り出される。このとき、研磨用
固定剤４６の液化温度以上に加熱して、ワーク２１をホ
ルダ４５から取り外すとともに、ワーク２１に付着した
研磨用固定剤４６を除去することが行われる。なお、ホ
ルダ４５から取り出されたワーク２１に付着している研
磨用固定剤４６の除去にあたっては、加熱以外に、溶剤
等を用いる洗浄、機械的な剥離等を適用してもよい。

【００６５】前述の図１（１）に示した、ワーク２１を
整列部材４２に固定する工程において、上述した整列部
材は整列面に開口する複数のエアー吸引孔を有し、エア
ー吸引孔からエアー吸引することによってワークを固定
したが、整列部材は複数のワークを整列させ固定できる
ものであればよく、次のような固定方法が採用されても
よい。

【００６６】第１に、たとえば、平面状の整列面５１を
有する板状の整列部材５２、および複数のワーク２１を
整列部材５２に固定するための粘着剤５３を用いること
ができる。図２（１）に示すように、整列部材５２の整
列面５１に粘着剤５３を塗布した後、図２（２）に示す
ように、整列部材５２の整列面５１に各被研磨面２２を
それぞれ接触させた状態で、複数のワーク２１を整列さ
せれば、粘着剤５３を用いて複数のワーク２１を整列部
材５２に固定することができる。

【００６７】粘着剤５３としては、たとえば、アクリル
ゴム等の合成ゴム系の粘着剤やシリコーンゴム系の粘着
剤等を用いることができる。これらの粘着剤５３は、整
列部材５２の整列面５１に均一に薄く塗布されるため、
整列面５１とワーク２１の各被研磨面２２との間に粘着
剤５３が介在することによって、各被研磨面２２位置が
ばらつくことはなく、各被研磨面２２を同一面上に並べ
ることができる。

【００６８】またこの場合、前述の図１（３）に示した
ように、整列部材５２を複数のワーク２１から分離する
工程においては、機械的な剥離、溶剤等を用いる洗浄等
を用いて整列部材５２をワーク２１から取り外すことが
できる。

【００６９】第２に、たとえば、少なくとも一方面側に
粘着面を有する粘着シートを用いて、複数のワークを整
列部材に固定することができる。具体的には、まず、図
３（１）に示すように、整列面４１に開口する複数のエ
アー吸引孔６３を有する整列部材６２、および、一方面
側に粘着面６７を有する粘着シート６８を用意し、整列
部材６２の整列面６１に、上記粘着シート６８の粘着面
６７を整列面６１と同一方向に向けて配置して、複数の
エアー吸引孔６３からエアー吸引することによって粘着
シート６８を整列部材６２に固定する。次に、図３
（２）に示すように、整列部材６２に固定された粘着シ
ート６８の粘着面６７に、各被研磨面２２をそれぞれ接
触させた状態で、複数のワーク２１を整列させること
で、複数のワーク２１を整列部材６２に固定することが
できる。

【００７０】また、両面に粘着面を有する粘着シートを
用いて、複数のワークを整列部材に固定することもでき
る。具体的には、まず、図４（１）に示すように、平面
状の整列面７１を有する板状の整列部材７２、および、
両面に粘着面７７を有する粘着シート７８を用意し、整
列部材７２の整列面７１に、上記粘着シート７８のいず
れか一方面側の粘着面７７を貼付けることによって、粘
着シート７８を整列部材７２に固定する。次に、図４
（２）に示すように、整列部材７２に固定された粘着シ
ート７８の他方面側（整列面７１と同一方向に向いた面
側）の粘着面７７に、各被研磨面２２をそれぞれ接触さ
せた状態で、複数のワーク２１を整列させることで、複
数のワーク２１を整列部材７２に固定することができ
る。

【００７１】粘着シート６８、７８としては、たとえ
ば、ポリエステルやポリイミド等からなる厚さ１０〜１
００μｍ程度の基材表面に、アクリルゴム等の合成ゴム
系の粘着剤やシリコーンゴム系の粘着剤等からなる粘着
面６７、７７が形成されているものが使用できる。これ
らの基材は厚さが均一で、また、これらの粘着剤は基材
表面に均一に薄く塗布されるため、整列面６１、７１と
ワーク２１の各被研磨面２２との間に粘着シート６８、
７８が介在することによって、各被研磨面２２位置がば
らつくことはなく、各被研磨面２２を同一面上に並べる
ことができる。

【００７２】上記のように、粘着シートを用いてワーク
を整列部材に固定する場合、前述の図１（３）に示した
ように、整列部材６２、７２を複数のワーク２１から分
離する工程においては、機械的な剥離、溶剤等を用いる
洗浄等を用いて整列部材６２、７２をワーク２１から取
り外すことができる。

【００７３】第３に、整列面に磁力を備える整列部材を
用いることで、複数のワークを整列部材に固定すること
もできる。本実施例で用いるワーク２１は、上述のよう
に、図８に示した可変コンデンサ１に備えるステータ２
を意図しており、ステータ２の各端部外表面上には、導
電膜をもってステータ端子７および８が形成されてい
る。たとえば、ステータ端子７および８がＮｉ等の磁力
によって引きつけられる金属で形成されている場合、整
列面に磁力を備える整列部材を用いると、ステータ端子
７および８が磁力によって整列面方向に引きつけられ、
複数のワークを整列部材に固定することができる。

【００７４】具体的には、たとえば、図５（１）に示す
ように、Ｆｅ板等からなる整列部材８２、および、磁石
８４を用意し、整列部材８２の整列面８１に各被研磨面
２２をそれぞれ接触させた状態で複数のワーク２１を整
列部材８２によって整列させる。続いて、図５（２）に
示すように、整列部材８２の整列面８１と反対方向から
整列部材８２に磁石８４を近づけることによって、ワー
ク２１が磁力によって整列面８１方向に引きつけられ、
複数のワーク２１を整列部材８２に固定することができ
る。また、整列部材８２を複数のワーク２１から分離す
る工程においては、磁石８４を整列部材８２から遠ざけ
ることで、整列部材８２をワーク２１から容易に取り外
すことができる。

【００７５】以上、この発明に係る研磨方法が適用され
るワーク２１が、図６ないし図８に示した可変コンデン
サ１に備えるステータ２である場合について説明した
が、これに限定されるものではない。ワークが、内部に
電極を形成した誘電体エレメントであり、被研磨面が、
電極と平行に延びる誘電体エレメントの端面である場合
であれば、同様に、この発明に係る研磨方法を有利に適
用することができる。また、このような誘電体エレメン
トに限らず、電子部品に備えるエレメントであって、研
磨されるべきエレメント、さらには、電子部品以外に用
いられるエレメントであっても、この発明に係る研磨方
法を有利に適用することができる。

【００７６】同様に、ワークを磁力によって整列部材に
固定する場合には、上記エレメントは外表面に電極が形
成されているものに限定されず、エレメントの少なくと
も一部が金属により構成されていれば、この発明に係る
研磨方法を有利に適用することができる。

【００７７】

【発明の効果】以上のように、この発明に係る研磨方法
によれば、各被研磨面が同一面上に並ぶように、複数の
ワークをホルダによって保持し、このホルダによって保
持された状態で、複数のワークの被研磨面を研磨するの
で、ワークの全体としての厚みのばらつきに影響される
ことなく、複数のワークにおいて均一な研磨量を得るこ
とができる。

【００７８】また、上述のような均一な研磨量を得るた
め、１回の研磨工程を実施するだけでよいので、研磨加
工のためのコストを低減できるとともに、加工精度を向
上させることができる。

【００７９】この発明において、複数のワークの各被研
磨面が同一面上に並ぶようにするため、平面状の整列面
を有する整列部材を用意し、この整列部材の整列面に、
各被研磨面をそれぞれ接触させた状態で、複数のワーク
を整列部材によって整列させるようにすれば、複数のワ
ークの各被研磨面が同一面上に並ぶ状態を容易に得るこ
とができる。

【００８０】また、複数のワークをホルダによって保持
した状態を得るため、ワークをホルダに固定するための
研磨用固定剤を用意し、上述したように整列部材によっ
て整列された複数のワークの各被研磨面に対向する各反
対面側を、研磨用固定剤を介してホルダの保持面に固定
するようにすれば、ワークの全体としての厚みのばらつ
きに関わらず、複数のワークをホルダによって保持した
状態を容易に得ることができる。したがって、このよう
に複数のワークをホルダの保持面に固定した後、整列部
材を複数のワークから分離すれば、複数のワークの各被
研磨面を露出させることができ、ホルダによって固定さ
れた状態で、複数のワークの被研磨面を研磨することが
できる。

【００８１】この発明に係る研磨方法が、可変コンデン
サにおける誘電体エレメントであって内部に電極を形成
したもの、より特定的には、ステータ電極を形成したス
テータの研磨に対して適用されると、可変コンデンサが
与える静電容量のばらつきを小さくすることができ、そ
の結果、静電容量の許容範囲が狭いことが要求されるよ
り精度の高い可変コンデンサを得ることが可能になる。
また、研磨量のばらつきを小さくすることができるの
で、電極と被研磨面との間の厚みを小さくすることが容
易になり、したがって、最大静電容量を大きくすること
ができ、結果として、静電容量の調整範囲を拡大するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態に備えるいくつかの工程
を順次図解的に示す断面図である。

【図２】この発明の別の実施形態による研磨方法を説明
するための断面図である。

【図３】この発明の別の実施形態による研磨方法を説明
するための断面図である。

【図４】この発明の別の実施形態による研磨方法を説明
するための断面図である

【図５】この発明の別の実施形態による研磨方法を説明
するための断面図である。

【図６】この発明にとって興味ある可変コンデンサ１の
外観を示す斜視図である。

【図７】図６に示した可変コンデンサ１の外観を下面側
から示す斜視図である。

【図８】図６に示した可変コンデンサ１の断面図であ
る。

【図９】この発明にとって興味ある従来の第１の研磨方
法を説明するための断面図である。

【図１０】この発明にとって興味ある従来の第２の研磨
方法を説明するための断面図である。

【符号の説明】

１ 可変コンデンサ ２ ステータ ５、６ ステータ電極 ２１ ワーク ２２ 被研磨面 ２３ 電極 ４１、５１、６１、７１、８１ 整列面 ４２、５２、６２、７２、８２ 整列部材 ４３ エアー吸引孔 ４４ 保持面 ４５ ホルダ ４７ 研磨盤 ５３ 粘着剤 ６８、７８ 粘着シート ８４ 磁石

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】厚みが異なる複数のワークの厚み方向の各
   一方端側に位置する端面を被研磨面として、複数の前記
   ワークに対して研磨を施す、研磨方法であって、 平面状の整列面、および、前記整列面に開口する複数の
   エアー吸引孔を有する整列部材を用意する工程と、 前記整列部材の前記整列面に、各前記被研磨面をそれぞ
   れ接触させた状態で、複数の前記ワークを前記整列部材
   によって整列させ、前記複数のエアー吸引孔からエアー
   吸引することによって前記ワークを前記整列部材に固定
   する工程と、 前記整列部材によって固定された複数の前記ワークを、
   前記被研磨面に対向する反対面側において保持するため
   の保持面を有するホルダおよび各前記ワークを前記ホル
   ダに固定するための研磨用固定剤をそれぞれ用意する工
   程と、 前記整列部材によって固定された複数の前記ワークの各
   前記反対面側を、前記研磨用固定剤を介して前記ホルダ
   の前記保持面に固定する工程と、 前記整列部材を、複数の前記ワークから分離する工程
   と、 前記ホルダによって固定された状態で、複数の前記ワー
   クの前記被研磨面を研磨する工程と、を備える研磨方
   法。
2. 【請求項２】厚みが異なる複数のワークの厚み方向の各
   一方端側に位置する端面を被研磨面として、複数の前記
   ワークに対して研磨を施す、研磨方法であって、 平面状の整列面を有する整列部材、および、複数の前記
   ワークを前記整列部材に固定するための粘着剤を用意す
   る工程と、 前記整列部材の前記整列面に前記粘着剤を塗布する工程
   と、 前記粘着剤の塗布された前記整列部材の前記整列面に、
   各前記被研磨面をそれぞれ接触させた状態で、複数の前
   記ワークを前記整列部材によって整列させ、前記粘着剤
   を用いて複数の前記ワークを前記整列部材に固定する工
   程と、 前記整列部材によって固定された複数の前記ワークを、
   前記被研磨面に対向する反対面側において保持するため
   の保持面を有するホルダおよび各前記ワークを前記ホル
   ダに固定するための研磨用固定剤をそれぞれ用意する工
   程と、 前記整列部材によって固定された複数の前記ワークの各
   前記反対面側を、前記研磨用固定剤を介して前記ホルダ
   の前記保持面に固定する工程と、 前記整列部材を、複数の前記ワークから分離する工程
   と、 前記ホルダによって固定された状態で、複数の前記ワー
   クの前記被研磨面を研磨する工程と、を備える研磨方
   法。
3. 【請求項３】厚みが異なる複数のワークの厚み方向の各
   一方端側に位置する端面を被研磨面として、複数の前記
   ワークに対して研磨を施す、研磨方法であって、 平面状の整列面を有する整列部材、および、複数の前記
   ワークを前記整列部材に固定するための粘着面を少なく
   とも一方面側に有する粘着シートを用意する工程と、 前記整列部材の前記整列面に、前記整列面と同一方向に
   前記粘着面を向けて前記粘着シートを固定する工程と、 前記整列部材の前記整列面に固定された前記粘着シート
   の粘着面に、各前記被研磨面をそれぞれ接触させた状態
   で、複数の前記ワークを整列させ、前記粘着シートを用
   いて複数の前記ワークを前記整列部材に固定する工程
   と、 前記整列部材によって固定された複数の前記ワークを、
   前記被研磨面に対向する反対面側において保持するため
   の保持面を有するホルダおよび各前記ワークを前記ホル
   ダに固定するための研磨用固定剤をそれぞれ用意する工
   程と、 前記整列部材によって固定された複数の前記ワークの各
   前記反対面側を、前記研磨用固定剤を介して前記ホルダ
   の前記保持面に固定する工程と、 前記整列部材を、複数の前記ワークから分離する工程
   と、 前記ホルダによって固定された状態で、複数の前記ワー
   クの前記被研磨面を研磨する工程と、を備える研磨方
   法。
4. 【請求項４】前記整列部材は、前記整列面に開口する複
   数のエアー吸引孔を有し、 前記整列部材の前記整列面に、前記整列面と同一方向に
   前記粘着面を向けて前記粘着シートを固定する工程は、
   前記複数のエアー吸引孔からエアー吸引することによっ
   て前記粘着シートを前記整列部材に固定する工程を備え
   る、請求項４に記載の研磨方法。
5. 【請求項５】前記粘着シートは、両面に粘着面を有し、 前記整列部材の前記整列面に、前記整列面と同一方向に
   前記粘着面を向けて前記粘着シートを固定する工程は、
   前記粘着シートのいずれか一方面側の前記粘着面を前記
   整列部材の前記整列面に貼付けることによって、前記粘
   着シートを前記整列部材に固定する工程を備える、請求
   項４に記載の研磨方法。
6. 【請求項６】厚みが異なる複数のワークの厚み方向の各
   一方端側に位置する端面を被研磨面として、複数の前記
   ワークに対して研磨を施す、研磨方法であって、 複数の前記ワークの少なくとも一部が金属により構成さ
   れており、 平面状の整列面を有し、整列面に磁力を備えた整列部材
   を用意する工程と、 前記整列部材の前記整列面に、各前記被研磨面をそれぞ
   れ接触させた状態で、 複数の前記ワークを前記整列部材によって整列させ、磁
   力によって複数の前記ワークを前記整列部材に固定する
   工程と、 前記整列部材によって固定された複数の前記ワークを、
   前記被研磨面に対向する反対面側において保持するため
   の保持面を有するホルダおよび各前記ワークを前記ホル
   ダに固定するための研磨用固定剤をそれぞれ用意する工
   程と、 前記整列部材によって固定された複数の前記ワークの各
   前記反対面側を、前記研磨用固定剤を介して前記ホルダ
   の前記保持面に固定する工程と、 前記整列部材を、複数の前記ワークから分離する工程
   と、 前記ホルダによって固定された状態で、複数の前記ワー
   クの前記被研磨面を研磨する工程と、を備える研磨方
   法。
7. 【請求項７】前記ワークは、外表面に電極を形成した誘
   電体エレメントである、請求項６に記載の研磨方法。
8. 【請求項８】前記研磨用固定剤は、室温において液体状
   態であり、かつ室温より低い温度に冷却することによっ
   て固化するものであり、前記ワークをホルダに固定する
   工程は、室温以上の温度で前記ワークと前記ホルダとの
   間に前記研磨用固定剤を液体状態で介在させる工程と、
   次いで、前記研磨用固定剤を冷却して固化する工程とを
   備える、請求項１ないし７のいずれかに記載の研磨方
   法。
9. 【請求項９】前記研磨用固定剤は、室温において固体状
   態であり、かつ室温より高い温度に加熱することによっ
   て液化するものであり、前記ワークをホルダに固定する
   工程は、室温より高い温度に加熱しながら前記ワークと
   前記ホルダとの間に前記研磨用固定剤を液体状態で介在
   させる工程と、次いで、前記研磨用固定剤を室温に戻し
   て固化する工程とを備える、請求項１ないし７のいずれ
   かに記載の研磨方法。
10. 【請求項１０】前記複数のワークの被研磨面を研磨する
    工程は、前記研磨用固定剤を冷却しながら実施される、
    請求項１ないし９のいずれかに記載の研磨方法。
11. 【請求項１１】前記ワークは、内部に電極を形成した誘
    電体エレメントであり、前記被研磨面は、前記電極と平
    行に延びる前記誘電体エレメントの端面である、請求項
    １ないし１０のいずれかに記載の研磨方法。
12. 【請求項１２】請求項１ないし１１のいずれかに記載の
    研磨方法によって研磨された誘電体エレメントを備え
    る、電子部品。
13. 【請求項１３】請求項１ないし１１のいずれかに記載の
    研磨方法によって研磨された誘電体エレメントを備え
    る、可変コンデンサ。