JPH06233557A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH06233557A JPH06233557A JP5019099A JP1909993A JPH06233557A JP H06233557 A JPH06233557 A JP H06233557A JP 5019099 A JP5019099 A JP 5019099A JP 1909993 A JP1909993 A JP 1909993A JP H06233557 A JPH06233557 A JP H06233557A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- ultrasonic motor
- electrodes
- motor according
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 24
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 5
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
性の劣化、毬は高コスト化等の問題を解決する。 【構成】 PZTの側面に電極2、3を有する第1部分
1aと、該第1部分以外の部分であって少なくとも該材
料の存在しない部分を有する第2部分1bとから構成さ
れるステータ1と、該ステータの該第2部分に接触し該
電極に印加された周波電圧により該第2部分に発生する
進行性の振動波により駆動される移動子4とを有する超
音波モータ。
Description
音波モータに関するものである。
平1−17353号公報の様なものがあった。そこで
は、金属等からなる弾性体と圧電体等からなる電気機械
変換素子部とを接着して、固定子(ステータ)を構成し
ていた。
来の装置においては、異なる種類の材料を接着すること
により生じる、温度変化に対する性能の変化や接着部の
耐候性の劣化、また複数個の材料を用いることによる高
コスト化等の多くの問題を有していた。そこで本発明
は、温度変化に対する性能の変化や接着部の耐候性の劣
化、また高コスト化等の問題を解決することを目的とし
ている。
に本発明では、所定の処理を施すことにより電気エネル
ギを機械エネルギに変換が可能になる材料からなり、該
所定の処理が施され両面に電極2,3を有する第1部分
1aと、該第1部分以外の部分であって少なくとも該材
料の存在しない部分を有する第2部分1bとから構成さ
れるステータ1と、該ステータの該第2部分に接触し該
電極に印加された周波電圧により該第2部分に発生する
進行性の振動波により駆動される移動子4とを有する様
に超音波モータを構成した。
(第1部分)と作用部(第2部分)とを同一材料で一体
に構成したので、温度変化に対する性能の変化や接着部
の耐候性の劣化が防止でき、また低コスト化が可能にな
る。
定子1は、図1のように全体が同一の材料によって一体
的に形成されている。材料としては、所定の処理を施す
ことにより電気エネルギを機械エネルギに変換が可能に
なる材料であって、本実施例ではPZT(ジルコン酸チ
タン酸鉛)を用いた場合を開示してある。従って、所定
の処理とはここでは分極処理をさす。
下方部分には、移動子4と接触する面と直交する両側面
に電極群2と電極3を有している。これを第1部分1a
と呼ぶ。固定子1の第1部分1a以外を第2部分1bと
呼び、この第2部分1bには、少なくともPZTの存在
しない空孔1cを設けてある。空孔の形状は、長方形で
も楕円でもあってもよい。電極群2と電極3との間には
周波電圧が印加され、これにより第1部分が長手方向、
すなわち電極群2の配列方向に伸縮する。第1部分が伸
縮すると、空孔の上側の部分1dを支点にして、櫛歯部
分1eに進行性の振動波が発生する。
面形状(櫛歯部分1eを含む断面形状)は略正方形であ
るが、長方形、台形又は円形であってもよい。移動子4
は、固定子1の第2部分1bに接触し、発生した進行性
の振動波によって駆動される。進行性の振動波によっ
て、移動子が駆動されることは、例えば特公平1−17
353号公報等に開示されているので、ここでは詳細説
明は割愛する。
3は、そのC−C断面図である。図2(b)は、電極配
列と、進行性の振動波の波長との関係を説明する図で、
電極4個分が1波長に相当することがわかる。図3は、
固定子1の分極配列と、周波電圧の印加方法との関係を
説明する図である。周波電圧の印加は、図3のようにA
相電圧とB相電圧を、電極群2を介して空間的に交互に
印加する。A相電圧とB相電圧とは、時間的に互いにπ
/2の位相を有している。分極配列は、図の様に電極2
個分づつ同方向に分極された組が、交互に逆方向に配列
してある。電極3は共通電極である。これにより、進行
性の振動波が発生する原理は、本出願人による特開昭6
0−245482号公報に開示したので、詳細説明は省
略する。
た場合の斜視図である。図1と同じ機能を有するものに
は同じ番号を付記してある。固定子1の製作の都合上、
櫛歯部分1eの方形方向の幅が、半径方向に伸びるに従
って幅広くなってもよいし、となり合う櫛歯部分1e間
の溝の幅が半径方向に伸びるに従って幅広くなってもよ
い。また、空孔1cの孔幅が半径方向に伸びるに従って
幅広くなってもよい。なお、図4では電極2、3の厚み
幅を、図1のように誇張して描いてはいない。
る。この形状で、進行性の振動波が発生する原理も、本
出願人による特開昭60−245482号公報に開示し
てあるので、詳細説明は省略する。図6は、本発明の回
路のブロック図である。発振器5から出力される周波電
圧(一般に20KHz〜200KHz程度の超音波帯
域)は、増幅器6で増幅され、端子AからA相電圧とし
て固定子1に入力される。また、発振器5から出力され
る周波電圧は、移相器7にも入力され、ここでπ/2だ
け移相され、増幅器8で増幅され、端子BからB相電圧
として固定子1に入力される。端子Pは固定子1もしく
は超音波モータ(1、4)の振動状態を表す信号で、周
波数決定回路9はその信号に応じて発振器5の周波数を
制御する。
子11の正面図である。移動子4との関係は、第1実施
例と同様なので、図中には記載していない。図7(b)
は、電極配列と、進行性の振動波の波長との関係を説明
する図で、電極2個分が1波長に相当することがわか
る。第1実施例との相違点は、第2部分のPZTの存在
しない部分11cと、電極12との両方が、1波長中に
2個づつ存在しているところである。電極配置と進行性
の振動波の波長の関係は、本出願人による特開昭60−
245482号公報の第10〜13図に開示した型と同
様で、A相とB相との配線をそれぞれまとめることがで
きるという利点がある。
子21の正面図である。移動子との関係は、第1実施例
と同様なので、図中には記載していない。図8(b)
は、電極配列と、進行性の振動波の波長との関係を説明
する図で、電極2個分が1波長に相当することがわか
る。第1実施例との相違点は、電極22が、1波長中に
2個にしてあるところにある。電極配置と進行性の振動
波の波長の関係としては、本出願人による特開昭60−
245482号公報の第10〜13図に開示した型と同
様で、A相とB相の配線をそれぞれまとめることができ
るという利点がある。
理を施すことにより電気エネルギを機械エネルギに変換
が可能になる材料であれば、本実施例に開示したPZT
(ジルコン酸チタン酸鉛)に限定されない。例えば他の
圧電材料や、電歪材料、磁歪材料等であってもよい。ま
た、少なくとも第2部分の固定子1と同一の材料が存在
しない部分1cは、本実施例に開示した空孔に限定され
ない。例えば、剛性の低い金属や樹脂、無機材料等で構
成してもよい。
駆動部(第1部分)と作用部(第2部分)とを同一材料
で一体に構成したので、温度変化に対する性能の変化や
接着部の耐候性の劣化が防止でき、また低コスト化が可
能となる。さらに接着層を使用しない構造なので、高温
環境下での使用も可能になる。
ある。
る。
Claims (6)
- 【請求項1】 所定の処理を施すことにより電気エネル
ギを機械エネルギに変換が可能になる材料からなり、該
所定の処理が施され両面に電極を有する第1部分と、該
第1部分以外の部分であって少なくとも該材料の存在し
ない部分を有する第2部分とから構成される固定子と、 該固定子の該第2部分に接触し、該電極に印加された周
波電圧により該第2部分に発生する進行性の振動波によ
り駆動される移動子とを有することを特徴とする超音波
モータ。 - 【請求項2】 請求項1項に記載の超音波モータにおい
て、 前記材料が圧電材料で、前記所定の処理が分極処理であ
ることをことを特徴とする。 - 【請求項3】 請求項1に記載の超音波モータにおい
て、 前記第2部分の前記材料の存在しない部分が空孔である
ことをことを特徴とする。 - 【請求項4】 請求項1に記載の超音波モータにおい
て、 前記固定子が円環形状で、前記電極が内周と外周とに設
けられ、該内周の電極が共通電極であることをことを特
徴とする。 - 【請求項5】 請求項1に記載の超音波モータにおい
て、 前記第2部分の前記材料の存在しない部分が、前記電極
と、同一ピッチで配列されていることを特徴とする。 - 【請求項6】 請求項1に記載の超音波モータにおい
て、 前記第2部分の前記材料の存在しない部分が、前記電極
の配列の整数倍のピッチで配列されていることを特徴と
する。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5019099A JPH06233557A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 超音波モータ |
DE4403627A DE4403627A1 (de) | 1993-02-05 | 1994-02-05 | Ultraschallmotor mit verbessertem Stator |
FR9401351A FR2706227A1 (fr) | 1993-02-05 | 1994-02-07 | Moteur à ultrasons. |
US08/668,389 US5719462A (en) | 1993-02-05 | 1996-06-25 | Ultrasonic motor having improved stator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5019099A JPH06233557A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 超音波モータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06233557A true JPH06233557A (ja) | 1994-08-19 |
Family
ID=11990032
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5019099A Pending JPH06233557A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 超音波モータ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5719462A (ja) |
JP (1) | JPH06233557A (ja) |
DE (1) | DE4403627A1 (ja) |
FR (1) | FR2706227A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2773924B1 (fr) * | 1998-01-16 | 2000-03-17 | Figest Bv | Moteur piezo-electrique a onde progressive |
US6518689B2 (en) | 2000-02-18 | 2003-02-11 | Honeywell Federal Manufacturing & Technologies, Llc | Piezoelectric wave motor |
US6262515B1 (en) | 2000-02-18 | 2001-07-17 | Honeywell International, Inc. | Piezoelectric wave motor |
GB0126372D0 (en) * | 2001-11-02 | 2002-01-02 | 1 Ltd | Curved electro-active actuators |
US7642697B2 (en) * | 2007-03-23 | 2010-01-05 | Seiko Instruments Inc. | Ultrasonic motor and electronic device using the same |
GB0813161D0 (en) * | 2008-07-18 | 2008-08-27 | Airbus Uk Ltd | Ramped stiffener and apparatus and method for forming the same |
US20120206013A1 (en) * | 2009-10-15 | 2012-08-16 | Benny Gaber | Modes of operation of piezoelectric motor |
KR20110062989A (ko) * | 2009-12-04 | 2011-06-10 | 삼성전자주식회사 | 압전 모터 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3964014A (en) * | 1974-10-15 | 1976-06-15 | General Electric Company | Sonic transducer array |
JPS59201685A (ja) * | 1983-04-30 | 1984-11-15 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
JPS6013481A (ja) * | 1983-07-04 | 1985-01-23 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
JPS60170472A (ja) * | 1984-02-10 | 1985-09-03 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
JPS61180582A (ja) * | 1985-02-04 | 1986-08-13 | Marcon Electronics Co Ltd | 圧電形超音波モ−タ |
US4742260A (en) * | 1986-02-06 | 1988-05-03 | Hiroshi Shimizu | Piezoelectrically driving device |
JP2632811B2 (ja) * | 1986-08-29 | 1997-07-23 | キヤノン株式会社 | 振動駆動モータ |
JP2524346B2 (ja) * | 1987-03-27 | 1996-08-14 | オリンパス光学工業株式会社 | 超音波モ−タ |
JPS6477485A (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-23 | Nec Corp | Ultrasonic motor |
JPH0697864B2 (ja) * | 1987-09-18 | 1994-11-30 | 日本電気株式会社 | 超音波モータ |
GB8726953D0 (en) * | 1987-11-18 | 1987-12-23 | Delta Biotechnology Ltd | Yeast expression system |
US4948513A (en) * | 1988-05-27 | 1990-08-14 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Method for controlling overspray in paint spray booths |
JPH0255585A (ja) * | 1988-08-18 | 1990-02-23 | Rion Co Ltd | 超音波モータ |
JPH0260476A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-28 | Sumio Sato | 磁石エンジン |
JP2764123B2 (ja) * | 1989-04-28 | 1998-06-11 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 超音波モータ及び超音波モータを有するアナログ式電子時計 |
WO1991004584A1 (en) * | 1989-09-08 | 1991-04-04 | Massachusetts Institute Of Technology | Miniature actuator |
JP3118251B2 (ja) * | 1990-11-21 | 2000-12-18 | ニスカ株式会社 | 超音波駆動装置及びその方法 |
DE4216050C2 (de) * | 1992-05-15 | 1995-05-24 | Daimler Benz Ag | Ultraschallwanderwellenmotor mit formschlüssiger Anregung von Wanderwellen |
JPH0741207B2 (ja) * | 1993-02-18 | 1995-05-10 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | マイクロアクチュエータ |
JPH06269183A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Nikon Corp | 超音波モータ |
IL106296A0 (en) * | 1993-07-09 | 1993-12-28 | Nanomotion Ltd | Ceramic motor |
-
1993
- 1993-02-05 JP JP5019099A patent/JPH06233557A/ja active Pending
-
1994
- 1994-02-05 DE DE4403627A patent/DE4403627A1/de not_active Withdrawn
- 1994-02-07 FR FR9401351A patent/FR2706227A1/fr active Pending
-
1996
- 1996-06-25 US US08/668,389 patent/US5719462A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4403627A1 (de) | 1994-08-18 |
US5719462A (en) | 1998-02-17 |
FR2706227A1 (fr) | 1994-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4678956A (en) | Vibration wave motor | |
EP1122878B1 (en) | Piezoelectric driving body for ultrasonic motors | |
JPH06269183A (ja) | 超音波モータ | |
JPH06233557A (ja) | 超音波モータ | |
JPS61224880A (ja) | 振動波モ−タ | |
JP2001157473A (ja) | 電気機械エネルギ変換素子を振動源とする振動体、この振動体を駆動源とする振動波駆動装置、振動波駆動装置を有する装置およびこの振動体を搬送源とする搬送装置 | |
JPH05344765A (ja) | 圧電モータおよびその駆動方法 | |
JP4095282B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
JPH06339287A (ja) | 超音波モータ | |
JPH05236767A (ja) | 振動モータ | |
JPS61191278A (ja) | 超音波モ−タ | |
US5596240A (en) | Ultrasonic motor | |
JP2934964B2 (ja) | 超音波モータ及び超音波モータの製造方法 | |
JP2532425B2 (ja) | 超音波モ−タ | |
JPH0556670A (ja) | 進行波型モータ | |
JPH0232771A (ja) | 進行波モータ | |
JPS6248276A (ja) | 圧電モ−タ | |
JPH0628951Y2 (ja) | 圧電アクチユエ−タ | |
JP2816851B2 (ja) | 圧電捩り変位素子,圧電伸縮変位素子,及び圧電複合変位素子 | |
JP3297162B2 (ja) | 振動モータ | |
JPH0681523B2 (ja) | 振動波モ−タ | |
JP2002369556A (ja) | 電気−機械エネルギー変換素子及び振動波駆動装置 | |
JPH06133569A (ja) | 超音波モータ | |
JPH0697863B2 (ja) | 圧電駆動装置 | |
JP2021197798A (ja) | アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Effective date: 20040210 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20050722 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20050804 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Effective date: 20050804 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |
|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050809 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20050804 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071002 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20080311 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |