JP2928752B2 - 静電アクチュエータ及びその駆動方法 - Google Patents
静電アクチュエータ及びその駆動方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は静電気力によって駆
動される静電アクチュエータ及びその駆動方法に関す
る。
動される静電アクチュエータ及びその駆動方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体製造プロセスを利用した様
々なマイクロマシン駆動用静電アクチュエータが報告さ
れている。これら静電アクチュエータは静電気力によっ
て駆動されるが、いずれもマイクロマシン駆動用として
は必ずしも十分な性能を持つには至っていない。その原
因のひとつであり、これらのアクチュエータに共通する
問題点として、可動子と固定子間の摩擦の問題がある。
この解決策として多くは、可動子を弾性体により支持
し、可動子と固定子が接触しないよう構造をとってい
る。しかし、この様な構造においては可動子の移動範囲
が、支持する弾性体により制限され、大きな移動範囲を
実現することは困難である。
々なマイクロマシン駆動用静電アクチュエータが報告さ
れている。これら静電アクチュエータは静電気力によっ
て駆動されるが、いずれもマイクロマシン駆動用として
は必ずしも十分な性能を持つには至っていない。その原
因のひとつであり、これらのアクチュエータに共通する
問題点として、可動子と固定子間の摩擦の問題がある。
この解決策として多くは、可動子を弾性体により支持
し、可動子と固定子が接触しないよう構造をとってい
る。しかし、この様な構造においては可動子の移動範囲
が、支持する弾性体により制限され、大きな移動範囲を
実現することは困難である。
【０００３】この問題を解決するために図７に示す構造
の静電アクチュエータが提案されている（静電駆動型リ
ニアマイクロアクチュエータの開発（ステッピング駆動
モデルのシリコン加工プロセスによる開発）：日本機械
学会ロボティクス・メカトロニクス講演会‘９５講演論
文集ＶＯＬ．Ａ ｐｐ．４０２〜４０３（１９９
５））。この静電アクチュエータは、一対の固定子６０
ａ，６０ｂと可動子７１とを備えている。固定子６０ａ
は、絶縁物または極めて電気抵抗の高い材料からなる本
体部６２ａ上に２個の電極６１ａ1 、６１ａ2 を設けた
ものである。各電極６１ａi （ｉ＝１，２）は所定のピ
ッチをもって平行に配置された複数の平行電極部と、こ
れらの平行電極部の一端を接続する接続用電極部とから
構成される。そして電極６１ａ1 と電極６１ａ2 は互い
違いとなるように１／２ピッチずれて配置されている。
の静電アクチュエータが提案されている（静電駆動型リ
ニアマイクロアクチュエータの開発（ステッピング駆動
モデルのシリコン加工プロセスによる開発）：日本機械
学会ロボティクス・メカトロニクス講演会‘９５講演論
文集ＶＯＬ．Ａ ｐｐ．４０２〜４０３（１９９
５））。この静電アクチュエータは、一対の固定子６０
ａ，６０ｂと可動子７１とを備えている。固定子６０ａ
は、絶縁物または極めて電気抵抗の高い材料からなる本
体部６２ａ上に２個の電極６１ａ1 、６１ａ2 を設けた
ものである。各電極６１ａi （ｉ＝１，２）は所定のピ
ッチをもって平行に配置された複数の平行電極部と、こ
れらの平行電極部の一端を接続する接続用電極部とから
構成される。そして電極６１ａ1 と電極６１ａ2 は互い
違いとなるように１／２ピッチずれて配置されている。
【０００４】また固定子６０ｂもまた同様に絶縁物また
は極めて電気抵抗の高い材料からなる本体部６２ｂ上に
２個の電極６１ｂ1 、６１ｂ2 を設けたものであり、各
電極６１ｂi （ｉ＝１，２）は所定のピッチをもって平
行に配置された複数の平行電極部と、これらの平行電極
部の一端を接続する接続用電極部とから構成される。そ
して電極６１ｂ1 と電極６１ｂ2 は互い違いとなるよう
に１／２ピッチずれて配置されている。
は極めて電気抵抗の高い材料からなる本体部６２ｂ上に
２個の電極６１ｂ1 、６１ｂ2 を設けたものであり、各
電極６１ｂi （ｉ＝１，２）は所定のピッチをもって平
行に配置された複数の平行電極部と、これらの平行電極
部の一端を接続する接続用電極部とから構成される。そ
して電極６１ｂ1 と電極６１ｂ2 は互い違いとなるよう
に１／２ピッチずれて配置されている。
【０００５】一方、可動子７１の電極７２は電極パッド
６５ａ1 、６５ａ2 、６５ｂ1 、６５ｂ2 およびリニア
ガイド８０とともにシリコン基板７０をエッチングする
ことにより形成される。
６５ａ1 、６５ａ2 、６５ｂ1 、６５ｂ2 およびリニア
ガイド８０とともにシリコン基板７０をエッチングする
ことにより形成される。
【０００６】一対の固定子６０ａ、６０ｂの電極が形成
された面が対向するようにして、エッチングされたシリ
コン基板７０を挟み込んだ後に、シリコン基板７０を、
図７に示す切断線９０ａ、９０ｂ、９１ａ、９１ｂに沿
って切断する。すると、電極パッド６５ａ1 、６５ａ2
は固定子６０ａの電極６１ａ1 、６１ａ2 に各々接続
し、電極パッド６５ｂ1 、６５ｂ2 は固定子６０ｂの電
極６１ｂ1 、６１ｂ2 に各々接続する。また、固定子６
０ａと固定子６０ｂの間にはリニアガイド８０等によっ
て所定の隙間が形成され、この隙間を可動子７１が固定
子６０ａ、６０ｂ間で交互に吸着されながら移動するこ
とになる。
された面が対向するようにして、エッチングされたシリ
コン基板７０を挟み込んだ後に、シリコン基板７０を、
図７に示す切断線９０ａ、９０ｂ、９１ａ、９１ｂに沿
って切断する。すると、電極パッド６５ａ1 、６５ａ2
は固定子６０ａの電極６１ａ1 、６１ａ2 に各々接続
し、電極パッド６５ｂ1 、６５ｂ2 は固定子６０ｂの電
極６１ｂ1 、６１ｂ2 に各々接続する。また、固定子６
０ａと固定子６０ｂの間にはリニアガイド８０等によっ
て所定の隙間が形成され、この隙間を可動子７１が固定
子６０ａ、６０ｂ間で交互に吸着されながら移動するこ
とになる。
【０００７】なお、固定子６０ａの電極６１ａ1 、６１
ａ2 の表面及び固定子６０ｂの電極６１ａ1 、６１ａ2
の表面は一般に絶縁膜６３ａ及び絶縁膜６３ｂによって
各々被覆される（図８参照）。また可動子７１は電極７
２の表面が絶縁膜７３ａ、７３ｂによって被覆される
（図８参照）。
ａ2 の表面及び固定子６０ｂの電極６１ａ1 、６１ａ2
の表面は一般に絶縁膜６３ａ及び絶縁膜６３ｂによって
各々被覆される（図８参照）。また可動子７１は電極７
２の表面が絶縁膜７３ａ、７３ｂによって被覆される
（図８参照）。
【０００８】次にこの静電アクチュエータの動作を図８
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【０００９】まず、固定子６０ｂの電極６１ｂ2 に電圧
Ｖボルトを印加し、可動子７１を下側の固定子６０ｂの
電極６１ｂ2 に引きつける（図８（ａ）参照）。このと
き可動子７１の電極７２及び固定子６０ｂの電極６１
ｂ，並びに固定子６０ａの電極６１ａ1 、６１ａ2 には
零ボルトが印加されている。
Ｖボルトを印加し、可動子７１を下側の固定子６０ｂの
電極６１ｂ2 に引きつける（図８（ａ）参照）。このと
き可動子７１の電極７２及び固定子６０ｂの電極６１
ｂ，並びに固定子６０ａの電極６１ａ1 、６１ａ2 には
零ボルトが印加されている。
【００１０】次に固定子６０ａの電極６１ａ2 にのみ電
圧Ｖボルトを印加し、固定子６０ａの電極６１ａ1 及び
固定子６０ｂの電極６１ｂ1 、６１ｂ2 並びに可動子７
１の電極７２に零ボルトを印加すると、可動子７１が上
側の固定子６０ａの電極６１ａ2 に引き上げられ、可動
子７１が半ピッチ分、図面上で右側に移動する（図８
（ｂ）参照）。
圧Ｖボルトを印加し、固定子６０ａの電極６１ａ1 及び
固定子６０ｂの電極６１ｂ1 、６１ｂ2 並びに可動子７
１の電極７２に零ボルトを印加すると、可動子７１が上
側の固定子６０ａの電極６１ａ2 に引き上げられ、可動
子７１が半ピッチ分、図面上で右側に移動する（図８
（ｂ）参照）。
【００１１】続いて固定子６０ｂの電極６１ｂ1 のみに
電圧Ｖボルトを印加し、他の電極に零ボルトを印加する
と、可動子７１は下側の固定子６０ｂの電極６１ｂ1 に
引きつけられ、可動子７１が半ピッチ分右側に移動する
（図８（ｃ）参照）。
電圧Ｖボルトを印加し、他の電極に零ボルトを印加する
と、可動子７１は下側の固定子６０ｂの電極６１ｂ1 に
引きつけられ、可動子７１が半ピッチ分右側に移動する
（図８（ｃ）参照）。
【００１２】その後、固定子６０ａの電極６１ａ1 のみ
に電圧Ｖボルトを印加し、他の電極に零ボルトを印加す
ると、可動子７１は更に半ピッチ分右側に移動すること
になる（図８（ｄ）参照）。
に電圧Ｖボルトを印加し、他の電極に零ボルトを印加す
ると、可動子７１は更に半ピッチ分右側に移動すること
になる（図８（ｄ）参照）。
【００１３】このような静電アクチュエータにおいて
は、可動子７１が固定子６０ａ、６０ｂ間で交互に吸着
されながら駆動されることにより、摺動部を持たないた
め、摩擦の影響が低減され、大きな駆動範囲を持ってい
る。
は、可動子７１が固定子６０ａ、６０ｂ間で交互に吸着
されながら駆動されることにより、摺動部を持たないた
め、摩擦の影響が低減され、大きな駆動範囲を持ってい
る。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述のよ
うな可動子７１が固定子６０ａ及び固定子６０ｂに交互
に吸着され、接触しつつ駆動される静電アクチュエータ
においては、可動子と固定子の互いに接触する表面にお
いて、接触による帯電現象が発生し、現れた電荷による
静電気力の影響のため、可動子の動きを固定子の電極へ
の印加電圧によって安定的に制御することは困難であっ
た。例えば図８（ａ）に示すように固定子６０ｂの電極
６０ｂ2 にＶボルト、可動子７１の電極７２に零ボルト
の電圧を印加すると、静電吸引力が発生し、固定子６０
ｂと可動子７１が引きつけられて吸着する。この際、固
定子６０ｂの表面の絶縁膜６３ｂと可動子７１の表面の
絶縁膜７３ｂが接触し、各々の絶縁膜６３ｂ、７３ｂが
帯電する。このとき上記絶縁膜６３ｂ、７３ｂに現れる
電荷の極性と電荷の量は、互いの絶縁膜６３ｂ、７３ｂ
の材料特性と印加する電圧の大きさにより決定される。
上記絶縁膜６３ｂ、７３ｂに帯電による電荷が発生し、
残留した場合には、図８（ｂ）に示すように電圧Ｖボル
トを印加する電極を、電極６１ｂ2 から上側固定子６０
ａの電極６１ａ2 に切り替えても、可動子７１は下側固
定子６０ｂに吸着されたままとなり、可動子７１を剥離
し、上側固定子６０ａへ吸着することが困難となる。
うな可動子７１が固定子６０ａ及び固定子６０ｂに交互
に吸着され、接触しつつ駆動される静電アクチュエータ
においては、可動子と固定子の互いに接触する表面にお
いて、接触による帯電現象が発生し、現れた電荷による
静電気力の影響のため、可動子の動きを固定子の電極へ
の印加電圧によって安定的に制御することは困難であっ
た。例えば図８（ａ）に示すように固定子６０ｂの電極
６０ｂ2 にＶボルト、可動子７１の電極７２に零ボルト
の電圧を印加すると、静電吸引力が発生し、固定子６０
ｂと可動子７１が引きつけられて吸着する。この際、固
定子６０ｂの表面の絶縁膜６３ｂと可動子７１の表面の
絶縁膜７３ｂが接触し、各々の絶縁膜６３ｂ、７３ｂが
帯電する。このとき上記絶縁膜６３ｂ、７３ｂに現れる
電荷の極性と電荷の量は、互いの絶縁膜６３ｂ、７３ｂ
の材料特性と印加する電圧の大きさにより決定される。
上記絶縁膜６３ｂ、７３ｂに帯電による電荷が発生し、
残留した場合には、図８（ｂ）に示すように電圧Ｖボル
トを印加する電極を、電極６１ｂ2 から上側固定子６０
ａの電極６１ａ2 に切り替えても、可動子７１は下側固
定子６０ｂに吸着されたままとなり、可動子７１を剥離
し、上側固定子６０ａへ吸着することが困難となる。
【００１５】これは静電吸引力の大きさが、引きつけあ
う電荷どうしの距離の２乗に反比例するため、帯電現象
により発生した電荷の量がたとえ少なくても、吸着して
いる下側固定子６０ｂとの距離が可動子７１を引き離そ
うとするための電極６１ａ2との距離に比べて十分に短
く、下側固定子６０ｂとの吸着力がそれを剥離させる力
よりも大きくなるからである。
う電荷どうしの距離の２乗に反比例するため、帯電現象
により発生した電荷の量がたとえ少なくても、吸着して
いる下側固定子６０ｂとの距離が可動子７１を引き離そ
うとするための電極６１ａ2との距離に比べて十分に短
く、下側固定子６０ｂとの吸着力がそれを剥離させる力
よりも大きくなるからである。
【００１６】本発明は上記事情を考慮してなされたもの
であって、可動子の良好かつ安定した駆動を実現するこ
とのできる静電アクチュエータ及びその駆動方法を提供
することを目的とする。
であって、可動子の良好かつ安定した駆動を実現するこ
とのできる静電アクチュエータ及びその駆動方法を提供
することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明による静電アクチ
ュエータの第１の態様は、第１の本体部と、この第１の
本体部の面上に形成されて少なくとも２相の電圧が印加
される複数の電極と、を有している固定子と、前記第１
の本体部と対向するように配置される第２の本体部と、
この第２の本体部の、前記第１の本体部の電極が形成さ
れた面と対向する面に形成された複数の電極と、を有し
ている可動子と、を備え、前記第１および第２の本体部
における前記電極がそれぞれ形成された面のうちの一方
の面の、前記電極が形成された領域と干渉しない領域
に、前記第１および第２の本体部における互いの電極同
士が間接的に又は直接的に接触するのを防止すべく、他
方の面に当接する突起が設けられていることを特徴とす
る。
ュエータの第１の態様は、第１の本体部と、この第１の
本体部の面上に形成されて少なくとも２相の電圧が印加
される複数の電極と、を有している固定子と、前記第１
の本体部と対向するように配置される第２の本体部と、
この第２の本体部の、前記第１の本体部の電極が形成さ
れた面と対向する面に形成された複数の電極と、を有し
ている可動子と、を備え、前記第１および第２の本体部
における前記電極がそれぞれ形成された面のうちの一方
の面の、前記電極が形成された領域と干渉しない領域
に、前記第１および第２の本体部における互いの電極同
士が間接的に又は直接的に接触するのを防止すべく、他
方の面に当接する突起が設けられていることを特徴とす
る。
【００１８】また本発明による静電アクチュエータの第
２の態様は、第１の本体部と、この第１の本体部の面上
に形成されて少なくとも２相の電圧が印加される複数の
電極と、この電極を覆う第１の絶縁膜と、を有している
固定子と、前記第１の本体部と対向するように配置され
る第２の本体部と、この第２の本体部の、前記第１の本
体部の電極が形成された面と対向する面に形成された複
数の電極と、この電極を覆う第２の絶縁膜と、を有しい
ている可動子と、を備え、前記第１および第２の絶縁膜
の少なくとも一方は導電体によって覆われていることを
特徴とする。
２の態様は、第１の本体部と、この第１の本体部の面上
に形成されて少なくとも２相の電圧が印加される複数の
電極と、この電極を覆う第１の絶縁膜と、を有している
固定子と、前記第１の本体部と対向するように配置され
る第２の本体部と、この第２の本体部の、前記第１の本
体部の電極が形成された面と対向する面に形成された複
数の電極と、この電極を覆う第２の絶縁膜と、を有しい
ている可動子と、を備え、前記第１および第２の絶縁膜
の少なくとも一方は導電体によって覆われていることを
特徴とする。
【００１９】また本発明による静電アクチュエータの第
３の態様は、本体部と、この本体部の対向する面上に形
成される複数の電極と、を各々有し、所定の隙間をもっ
て対向配置された一対の固定子と、前記一対の固定子間
に配置され、前記固定子の電極に所定の電圧パルスが印
加されることにより一方の端部から他方の端部へと順
次、前記一対の固定子に交互に吸着されながら前記隙間
を行進する可動子と、を備え、前記可動子は、前記固定
子に対向する面内に、貫通しない穴が設けられているこ
とを特徴とする。
３の態様は、本体部と、この本体部の対向する面上に形
成される複数の電極と、を各々有し、所定の隙間をもっ
て対向配置された一対の固定子と、前記一対の固定子間
に配置され、前記固定子の電極に所定の電圧パルスが印
加されることにより一方の端部から他方の端部へと順
次、前記一対の固定子に交互に吸着されながら前記隙間
を行進する可動子と、を備え、前記可動子は、前記固定
子に対向する面内に、貫通しない穴が設けられているこ
とを特徴とする。
【００２０】また本発明による静電アクチュエータの駆
動方法は、本体部と、この本体部の対向する面上に形成
される複数の電極と、を各々備え、所定の隙間をもって
対向配置された一対の固定子と、前記一対の固定子間に
配置され、前記固定子の電極に所定の電圧パルスが印加
されることにより一方の端部から他方の端部へと順次、
前記一対の固定子に交互に吸着されながら前記隙間を進
行する可動子と、を有する静電アクチュエータにおい
て、前記可動子が前記固定子の一方に吸着される際に、
前記可動子が前記一方の固定子に接触する直前に、電圧
を印加する電極を前記一方の固定子から他方の固定子に
切り換えることを特徴とする。
動方法は、本体部と、この本体部の対向する面上に形成
される複数の電極と、を各々備え、所定の隙間をもって
対向配置された一対の固定子と、前記一対の固定子間に
配置され、前記固定子の電極に所定の電圧パルスが印加
されることにより一方の端部から他方の端部へと順次、
前記一対の固定子に交互に吸着されながら前記隙間を進
行する可動子と、を有する静電アクチュエータにおい
て、前記可動子が前記固定子の一方に吸着される際に、
前記可動子が前記一方の固定子に接触する直前に、電圧
を印加する電極を前記一方の固定子から他方の固定子に
切り換えることを特徴とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】本発明による静電アクチュエータ
の第１の実施の形態の構成を図１に示す。この実施の形
態の静電アクチュエータは、１対の固定子１ａ、１ｂ
と、可動子１１とを備えている。固定子１ａは例えばパ
イレックスガラス等の絶縁体からなる本体部２ａと、こ
の本体部２ａの一表面上に形成された、例えばアルミニ
ウム、チタン、金または銅等の導電性材料からなる複数
個（図面上では１個）の電極３ａと、この電極３ａを覆
う、例えばポリイミド、酸化シリコンまたは窒化シリコ
ン等の絶縁性材料からなる絶縁膜４ａとを備えている。
また同様に固定子１ｂも、本体部２ｂと、この本体部２
ｂの一表面上に形成された複数個（図面上では１個）の
電極３ｂと、この電極３ｂを覆う絶縁膜４ｂとを備えて
いる。そしてこれらの固定子１ａ、１ｂは電極３ａ、３
ｂが形成された面が対向するように所定の隙間をもって
配置される。なお、複数個の電極３ａ及び電極３ｂには
少なくとも２相駆動の電圧パルスが印加される。
の第１の実施の形態の構成を図１に示す。この実施の形
態の静電アクチュエータは、１対の固定子１ａ、１ｂ
と、可動子１１とを備えている。固定子１ａは例えばパ
イレックスガラス等の絶縁体からなる本体部２ａと、こ
の本体部２ａの一表面上に形成された、例えばアルミニ
ウム、チタン、金または銅等の導電性材料からなる複数
個（図面上では１個）の電極３ａと、この電極３ａを覆
う、例えばポリイミド、酸化シリコンまたは窒化シリコ
ン等の絶縁性材料からなる絶縁膜４ａとを備えている。
また同様に固定子１ｂも、本体部２ｂと、この本体部２
ｂの一表面上に形成された複数個（図面上では１個）の
電極３ｂと、この電極３ｂを覆う絶縁膜４ｂとを備えて
いる。そしてこれらの固定子１ａ、１ｂは電極３ａ、３
ｂが形成された面が対向するように所定の隙間をもって
配置される。なお、複数個の電極３ａ及び電極３ｂには
少なくとも２相駆動の電圧パルスが印加される。
【００２２】一方可動子１１は例えばシリコン等からな
る本体部１２と、この本体部１２の各々の面に形成され
た電極１３ａ、１３ｂと、これらの電極１３ａ、１３ｂ
を覆う絶縁膜１４ａ、１４ｂとを備えており、上記固定
子１ａ、１ｂ間の隙間に配置される。なお電極１３ａ及
び電極１３ｂは電気的に接続されている。そして可動子
１１の本体部１２の表面には、固定子との接触による帯
電現象の発生を防止するために、微小な突起１２ａ、１
２ｂが設けられている。
る本体部１２と、この本体部１２の各々の面に形成され
た電極１３ａ、１３ｂと、これらの電極１３ａ、１３ｂ
を覆う絶縁膜１４ａ、１４ｂとを備えており、上記固定
子１ａ、１ｂ間の隙間に配置される。なお電極１３ａ及
び電極１３ｂは電気的に接続されている。そして可動子
１１の本体部１２の表面には、固定子との接触による帯
電現象の発生を防止するために、微小な突起１２ａ、１
２ｂが設けられている。
【００２３】この突起１２ａ、１２ｂは、固定子１ａの
電極３ａ及び絶縁膜４ａと、固定子１ｂの電極３ｂ及び
絶縁膜４ｂと、可動子１１の電極１３ａ、１３ｂ及び絶
縁膜１４ａ、１４ｂとが形成されている領域と干渉しな
い、可動子１１の本体部１２の表面上の領域に設けられ
る。そしてこの突起１２ａの高さは固定子１ａの電極３
ａ及び絶縁膜４ａの厚みと、可動子１１の電極１３ａ及
び絶縁膜１４ａの厚みとの和よりも高く、突起１２ｂの
高さは、固定子１ｂの電極３ｂ及び絶縁膜４ｂの厚み
と、可動子１１の電極１３ｂ及び絶縁膜１４ｂの厚みと
の和よりも高くなるように設定されている。
電極３ａ及び絶縁膜４ａと、固定子１ｂの電極３ｂ及び
絶縁膜４ｂと、可動子１１の電極１３ａ、１３ｂ及び絶
縁膜１４ａ、１４ｂとが形成されている領域と干渉しな
い、可動子１１の本体部１２の表面上の領域に設けられ
る。そしてこの突起１２ａの高さは固定子１ａの電極３
ａ及び絶縁膜４ａの厚みと、可動子１１の電極１３ａ及
び絶縁膜１４ａの厚みとの和よりも高く、突起１２ｂの
高さは、固定子１ｂの電極３ｂ及び絶縁膜４ｂの厚み
と、可動子１１の電極１３ｂ及び絶縁膜１４ｂの厚みと
の和よりも高くなるように設定されている。
【００２４】上述の突起１２ａ、１２ｂを設けたことに
より、固定子１ａ、１ｂの電極３ａ、３ｂの一方に電圧
＋Ｖボルトを印加し、可動子１１の電極１３ａ、１３ｂ
に電圧−Ｖボルトを印加しても可動子１１が固定子１ａ
または固定子１ｂに接触することがなくなり、帯電現象
の発生を防止することが可能となる。これにより可動子
の良好かつ安定した駆動を実現することができる。
より、固定子１ａ、１ｂの電極３ａ、３ｂの一方に電圧
＋Ｖボルトを印加し、可動子１１の電極１３ａ、１３ｂ
に電圧−Ｖボルトを印加しても可動子１１が固定子１ａ
または固定子１ｂに接触することがなくなり、帯電現象
の発生を防止することが可能となる。これにより可動子
の良好かつ安定した駆動を実現することができる。
【００２５】なお、上記実施の形態の静電アクチュエー
タにおいては、突起１２ａ、１２ｂは可動子１１側に設
けたが、固定子１ａ、１ｂ側に設けても良い。
タにおいては、突起１２ａ、１２ｂは可動子１１側に設
けたが、固定子１ａ、１ｂ側に設けても良い。
【００２６】また、互いに対向する面が吸着、剥離を繰
り返して駆動される静電アクチュエータの対向する面の
一方に突起を設ければ良好かつ安定した駆動を実現する
ことができる。
り返して駆動される静電アクチュエータの対向する面の
一方に突起を設ければ良好かつ安定した駆動を実現する
ことができる。
【００２７】なお、可動子１１の電極１３ａ、１３ｂを
被覆する絶縁膜１４ａ、１４ｂは高電圧駆動の場合に必
要であるが、低電圧駆動の場合には無くても良い。
被覆する絶縁膜１４ａ、１４ｂは高電圧駆動の場合に必
要であるが、低電圧駆動の場合には無くても良い。
【００２８】次に本発明による静電アクチュエータの第
２の実施の形態の構成を図２に示す。この実施の形態の
静電アクチュエータは、固定子２０ａと、可動子２０ｂ
を有している。固定子２０ａは絶縁体からなる本体部２
１ａと、この本体部２１ａの表面上に形成された導電性
材料からなる複数個（図面上では１個）の電極２２ａ
と、この電極２２ａを覆う絶縁膜２３ａとを有してい
る。また可動子２０ｂは絶縁体からなる本体部２１ｂ
と、この本体部２１ｂの表面上に形成された導電性材料
からなる複数個（図面上では１個）の電極２２ｂと、こ
の電極２２ｂを覆う絶縁膜２３ｂと、この絶縁膜２３ｂ
を覆う導電性材料からなる導電膜４とを備えている。な
お、複数個の電極２２ａは少なくとも２相駆動電圧パル
スが印加される。
２の実施の形態の構成を図２に示す。この実施の形態の
静電アクチュエータは、固定子２０ａと、可動子２０ｂ
を有している。固定子２０ａは絶縁体からなる本体部２
１ａと、この本体部２１ａの表面上に形成された導電性
材料からなる複数個（図面上では１個）の電極２２ａ
と、この電極２２ａを覆う絶縁膜２３ａとを有してい
る。また可動子２０ｂは絶縁体からなる本体部２１ｂ
と、この本体部２１ｂの表面上に形成された導電性材料
からなる複数個（図面上では１個）の電極２２ｂと、こ
の電極２２ｂを覆う絶縁膜２３ｂと、この絶縁膜２３ｂ
を覆う導電性材料からなる導電膜４とを備えている。な
お、複数個の電極２２ａは少なくとも２相駆動電圧パル
スが印加される。
【００２９】そして固定子２０ａの電極２２ａが形成さ
れた面と、可動子２０ｂの電極２２ｂが形成された面を
対向するように配置し、固定子２０ａの電極２２ａに＋
Ｖボルトの電圧を印加し、可動子２０ｂの電極２２ｂに
−Ｖボルトの電圧を印加すれば、可動子２０ｂは固定子
２０ａに吸着し、また同じ極性の電圧を印加すれば、可
動子２０ｂは、固定子２０ａから剥離する。
れた面と、可動子２０ｂの電極２２ｂが形成された面を
対向するように配置し、固定子２０ａの電極２２ａに＋
Ｖボルトの電圧を印加し、可動子２０ｂの電極２２ｂに
−Ｖボルトの電圧を印加すれば、可動子２０ｂは固定子
２０ａに吸着し、また同じ極性の電圧を印加すれば、可
動子２０ｂは、固定子２０ａから剥離する。
【００３０】上述のように構成された静電アクチュエー
タにおいては、可動子２０ｂには絶縁膜２３ｂを覆うよ
うに導電膜２４が形成されているため、接触帯電により
発生した電荷を導電膜２４を介して逃がすことが可能と
なり、帯電現象による、可動子への電荷の影響を減少す
ることができる。これにより良好かつ安定した駆動を実
現することができる。なお、上記実施の形態において
は、導電膜２４は可動子２０ｂに設けたが、固定子２０
ａにのみ設けても良いし、固定子２０ａ及び可動子２０
ｂの両方に設けても良い。
タにおいては、可動子２０ｂには絶縁膜２３ｂを覆うよ
うに導電膜２４が形成されているため、接触帯電により
発生した電荷を導電膜２４を介して逃がすことが可能と
なり、帯電現象による、可動子への電荷の影響を減少す
ることができる。これにより良好かつ安定した駆動を実
現することができる。なお、上記実施の形態において
は、導電膜２４は可動子２０ｂに設けたが、固定子２０
ａにのみ設けても良いし、固定子２０ａ及び可動子２０
ｂの両方に設けても良い。
【００３１】また、図８に示す従来の静電アクチュエー
タにおいて、固定子６０ａ、６０ｂ及び可動子７１の一
方または両方に絶縁膜を覆うように導電膜を設ければ、
良好かつ安定した可動子の駆動を実現することができる
ことは言うまでもない。
タにおいて、固定子６０ａ、６０ｂ及び可動子７１の一
方または両方に絶縁膜を覆うように導電膜を設ければ、
良好かつ安定した可動子の駆動を実現することができる
ことは言うまでもない。
【００３２】次に本発明による静電アクチュエータの駆
動方法の第１の実施の形態を図３及び図４を参照して説
明する。この実施の形態の駆動方法に用いられる静電ア
クチュエータは、図７及び図８に示す従来の静電アクチ
ュエータと同一の構造を有している。すなわち、この静
電アクチュエータは、一対の固定子３０ａ、３０ｂと、
可動子４０とを備えている。固定子３０ａは複数の電極
３１ａ、３２ａを有しており、これらの電極３１ａ、３
２ａは絶縁膜３３ａに覆われている。また固定子３０ｂ
も同様に複数の電極３１ｂ、３２ｂを有しており、これ
らの電極３１ｂ、３２ｂは絶縁膜３３ｂに覆われてい
る。そしてこれらの一対の固定子３０ａ、３０ｂは所定
の隙間を持って対向配置される。一方、可動子４０は、
上記隙間に配置され、本体部４１とこの本体部４１上に
形成された電極４２とを有しており、これらの本体部４
１及び電極４２は絶縁膜４３ａ、４３ｂによって覆われ
ている。
動方法の第１の実施の形態を図３及び図４を参照して説
明する。この実施の形態の駆動方法に用いられる静電ア
クチュエータは、図７及び図８に示す従来の静電アクチ
ュエータと同一の構造を有している。すなわち、この静
電アクチュエータは、一対の固定子３０ａ、３０ｂと、
可動子４０とを備えている。固定子３０ａは複数の電極
３１ａ、３２ａを有しており、これらの電極３１ａ、３
２ａは絶縁膜３３ａに覆われている。また固定子３０ｂ
も同様に複数の電極３１ｂ、３２ｂを有しており、これ
らの電極３１ｂ、３２ｂは絶縁膜３３ｂに覆われてい
る。そしてこれらの一対の固定子３０ａ、３０ｂは所定
の隙間を持って対向配置される。一方、可動子４０は、
上記隙間に配置され、本体部４１とこの本体部４１上に
形成された電極４２とを有しており、これらの本体部４
１及び電極４２は絶縁膜４３ａ、４３ｂによって覆われ
ている。
【００３３】次にこの静電アクチュエータの動作を説明
する。
する。
【００３４】可動子４０の電極４２には動作中は常に配
線４４を介して−Ｖボルトの電圧が印加されている。こ
の状態で固定子３０ｂの電極３１ｂに＋Ｖボルトの電圧
を印加すると、可動子４０は固定子３０ｂに引きつけら
れる。（図３（ａ）及び図４の状態（ａ）参照）。可動
子４０の表面が固定子３０ｂの表面に接触する直前に
（図４に示す時刻ｔ1 参照）電圧＋Ｖボルトを印加する
電極を、下側の固定子３０ｂの電極３１ｂから上側の固
定子３０ａの電極３２ａに切り換える（図４の状態
（ａ）参照）。これは可動子４０が慣性力によって下側
固定子３０ｂに接触しようとするのを、上側固定子３０
ａとの静電吸引力により防ぐものである。こうすること
により、可動子４０は下側固定子３０ｂに接触すること
なく、図４に示す状態（ａ）から状態（ｂ）すなわち可
動子４０が上側固定子３０ａに吸引される状態（図３
（ｂ）参照）に移行する。
線４４を介して−Ｖボルトの電圧が印加されている。こ
の状態で固定子３０ｂの電極３１ｂに＋Ｖボルトの電圧
を印加すると、可動子４０は固定子３０ｂに引きつけら
れる。（図３（ａ）及び図４の状態（ａ）参照）。可動
子４０の表面が固定子３０ｂの表面に接触する直前に
（図４に示す時刻ｔ1 参照）電圧＋Ｖボルトを印加する
電極を、下側の固定子３０ｂの電極３１ｂから上側の固
定子３０ａの電極３２ａに切り換える（図４の状態
（ａ）参照）。これは可動子４０が慣性力によって下側
固定子３０ｂに接触しようとするのを、上側固定子３０
ａとの静電吸引力により防ぐものである。こうすること
により、可動子４０は下側固定子３０ｂに接触すること
なく、図４に示す状態（ａ）から状態（ｂ）すなわち可
動子４０が上側固定子３０ａに吸引される状態（図３
（ｂ）参照）に移行する。
【００３５】そして、可動子４０が上側固定子３０ａに
接触する直前に（図４に示す時刻ｔ2 参照）、電圧＋Ｖ
ボルトを印加する電極を、上側固定子３０ａの電極３２
ａから下側固定子３０ｂの電極３２ｂに切り換える。す
ると、可動子４０は上側固定子３０ａに接触することな
く、図４に示す状態（ｂ）から状態（ｃ）すなわち可動
子４０が下側固定子３０ｂに吸引される状態（図３
（ｃ）参照）に移行する。
接触する直前に（図４に示す時刻ｔ2 参照）、電圧＋Ｖ
ボルトを印加する電極を、上側固定子３０ａの電極３２
ａから下側固定子３０ｂの電極３２ｂに切り換える。す
ると、可動子４０は上側固定子３０ａに接触することな
く、図４に示す状態（ｂ）から状態（ｃ）すなわち可動
子４０が下側固定子３０ｂに吸引される状態（図３
（ｃ）参照）に移行する。
【００３６】そして可動子４０が下側固定子３０ｂに接
触する直前に（図４に示す時刻ｔ3参照）、電圧＋Ｖボ
ルトを印加する電極を、下側固定子３０ｂの電極３２ｂ
から上側固定子３０ａの電極３１ａに切り換える。する
と、可動子４０は下側固定子３０ｂに接触することな
く、図４に示す状態（ｃ）から状態（ｄ）すなわち可動
子４０が上側固定子３０ａに吸引される状態（図３
（ｄ）参照）に移行する。
触する直前に（図４に示す時刻ｔ3参照）、電圧＋Ｖボ
ルトを印加する電極を、下側固定子３０ｂの電極３２ｂ
から上側固定子３０ａの電極３１ａに切り換える。する
と、可動子４０は下側固定子３０ｂに接触することな
く、図４に示す状態（ｃ）から状態（ｄ）すなわち可動
子４０が上側固定子３０ａに吸引される状態（図３
（ｄ）参照）に移行する。
【００３７】上述のことを繰り返すことにより、可動子
４０を固定子３０ａ、３０ｂに接触することなく、駆動
することが可能となるので、接触帯電による電荷の発生
を防ぐことができ、これにより良好かつ安定した駆動を
実現することができる。
４０を固定子３０ａ、３０ｂに接触することなく、駆動
することが可能となるので、接触帯電による電荷の発生
を防ぐことができ、これにより良好かつ安定した駆動を
実現することができる。
【００３８】次に本発明による静電アクチュエータの駆
動方法の第２の実施の形態を図５を参照して説明する。
この実施の形態の駆動方法は、図３及び図４に示す第１
の実施の形態の駆動方法において、電圧を印加する電極
を切り換える直後のみ、印加電圧＋Ｖボルトよりも高い
電圧を印加するものである。
動方法の第２の実施の形態を図５を参照して説明する。
この実施の形態の駆動方法は、図３及び図４に示す第１
の実施の形態の駆動方法において、電圧を印加する電極
を切り換える直後のみ、印加電圧＋Ｖボルトよりも高い
電圧を印加するものである。
【００３９】例えば、状態（ａ）から状態（ｂ）に移行
する場合は、第１の実施の形態では時刻ｔ1 で電極３１
ｂ（電極Ａ）に印加する電圧を＋Ｖボルトから零ボルト
に、電極３２ａ（電極Ｂ）に印加する電圧を零ボルトか
ら＋Ｖボルトに切り換えたが、この第２の実施の形態に
おいては、電極Ａに印加する電圧を＋Ｖボルトから零ボ
ルトに、電極Ｂに印加する電圧を零ボルトから＋Ｖより
高い電圧値に切り換え、少し経過した時点で電極Ｂに印
加する電圧を＋Ｖボルトにするものである。
する場合は、第１の実施の形態では時刻ｔ1 で電極３１
ｂ（電極Ａ）に印加する電圧を＋Ｖボルトから零ボルト
に、電極３２ａ（電極Ｂ）に印加する電圧を零ボルトか
ら＋Ｖボルトに切り換えたが、この第２の実施の形態に
おいては、電極Ａに印加する電圧を＋Ｖボルトから零ボ
ルトに、電極Ｂに印加する電圧を零ボルトから＋Ｖより
高い電圧値に切り換え、少し経過した時点で電極Ｂに印
加する電圧を＋Ｖボルトにするものである。
【００４０】このように印加電極を切り換える直後のみ
印加電圧値を高くすることにより、可動子の慣性力に打
勝つ静電吸引力を発生せしめ、可動子が固定子に接触す
ることなくスムーズに状態の移行（例えば図５に示す状
態（ａ）から状態（ｂ）への移行等）を実現することを
可能にし、良好かつ安定した駆動を実現することができ
る。
印加電圧値を高くすることにより、可動子の慣性力に打
勝つ静電吸引力を発生せしめ、可動子が固定子に接触す
ることなくスムーズに状態の移行（例えば図５に示す状
態（ａ）から状態（ｂ）への移行等）を実現することを
可能にし、良好かつ安定した駆動を実現することができ
る。
【００４１】次に本発明による静電アクチュエータの第
３の実施の形態を図６を参照して説明する。図６は第３
の実施の形態の静電アクチュエータの可動子の構成を示
す斜視図である。この実施の形態の静電アクチュエータ
は、図３及び図４で説明した静電アクチュエータにおい
て、可動子４０の代わりに図６に示す可動子５０を用い
たものである。
３の実施の形態を図６を参照して説明する。図６は第３
の実施の形態の静電アクチュエータの可動子の構成を示
す斜視図である。この実施の形態の静電アクチュエータ
は、図３及び図４で説明した静電アクチュエータにおい
て、可動子４０の代わりに図６に示す可動子５０を用い
たものである。
【００４２】この可動子５０は例えばシリコン基板をエ
ッチングすることによって形成され、本体部５０ａと、
パッド部５０ｂ1 ，５０ｂ2 とを有している。そして本
体部５０ａの一対の固定子に対向する面内に、複数の貫
通しない孔５１が設けられている。これらの孔５１は可
動子５０の進行方向（図６において矢印で示す方向）と
ほぼ直交する方向に形成される。なおこれらの孔５１は
側面に迄達しないよう形成されるのが望ましい。これら
の孔は、可動子５０が固定子と接触しないように印加電
極を切り換える際に、可動子５０が固定子に近づくにつ
れ、その運動を防げるように働く流体（例えば、空気、
水等）の粘性力による力（スクイズフィルム効果）を利
用するためのものである。
ッチングすることによって形成され、本体部５０ａと、
パッド部５０ｂ1 ，５０ｂ2 とを有している。そして本
体部５０ａの一対の固定子に対向する面内に、複数の貫
通しない孔５１が設けられている。これらの孔５１は可
動子５０の進行方向（図６において矢印で示す方向）と
ほぼ直交する方向に形成される。なおこれらの孔５１は
側面に迄達しないよう形成されるのが望ましい。これら
の孔は、可動子５０が固定子と接触しないように印加電
極を切り換える際に、可動子５０が固定子に近づくにつ
れ、その運動を防げるように働く流体（例えば、空気、
水等）の粘性力による力（スクイズフィルム効果）を利
用するためのものである。
【００４３】なお、この実施の形態においては、静電ア
クチュエータの起動時に固定子からの剥離を容易にする
ために、可動子５０の上記孔５１が形成された面に上記
複数個の孔５１を連通するように上記孔５１に比べて浅
くて細い溝５３が形成されている。この溝５３は可動子
５０の進行方向に２個設けられているが、進行方向とほ
ぼ直交する方向に設けても良いことは言うまでもない。
また可動子５０と固定子との剥離が容易な場合は上記溝
５３は設けなくても良い。
クチュエータの起動時に固定子からの剥離を容易にする
ために、可動子５０の上記孔５１が形成された面に上記
複数個の孔５１を連通するように上記孔５１に比べて浅
くて細い溝５３が形成されている。この溝５３は可動子
５０の進行方向に２個設けられているが、進行方向とほ
ぼ直交する方向に設けても良いことは言うまでもない。
また可動子５０と固定子との剥離が容易な場合は上記溝
５３は設けなくても良い。
【００４４】なお、図６に示す可動子５０のパッド５０
ｂ1 ，５０ｂ2 には、可動子５０に外部から電圧を印加
するために用いられる導線（例えば図３に示す導線４
４）が接続される。
ｂ1 ，５０ｂ2 には、可動子５０に外部から電圧を印加
するために用いられる導線（例えば図３に示す導線４
４）が接続される。
【００４５】以上説明したように本実施の形態の静電ア
クチュエータにおいては、可動子５０の固定子と対向す
る面に貫通しない孔５１が設けられていることにより、
印加電極の切り換えを行えば、可動子５０を固定子に接
触させることなくスムーズに駆動することができ、良好
かつ安定した駆動を実現することができる。
クチュエータにおいては、可動子５０の固定子と対向す
る面に貫通しない孔５１が設けられていることにより、
印加電極の切り換えを行えば、可動子５０を固定子に接
触させることなくスムーズに駆動することができ、良好
かつ安定した駆動を実現することができる。
【００４６】なお、上記第３の実施の形態の静電アクチ
ュエータにおいては、孔５１は複数個設けたが１個でも
良いことは言うまでもない。また、この孔５１は可動子
５０の進行方向に形成しても良い。
ュエータにおいては、孔５１は複数個設けたが１個でも
良いことは言うまでもない。また、この孔５１は可動子
５０の進行方向に形成しても良い。
【００４７】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、良好
かつ安定した駆動を実現することができる。
かつ安定した駆動を実現することができる。
【図１】本発明による静電アクチュエータの第１の実施
の形態の構成を示す断面図。
の形態の構成を示す断面図。
【図２】本発明による静電アクチュエータの第２の実施
の形態の構成を示す断面図。
の形態の構成を示す断面図。
【図３】本発明による静電アクチュエータの駆動方法の
第１の実施の形態の動作を説明する動作説明図。
第１の実施の形態の動作を説明する動作説明図。
【図４】第１の実施の形態の駆動方法において印加され
る電圧の波形図。
る電圧の波形図。
【図５】本発明による静電アクチュエータの駆動方法の
第２の実施の形態において印加される電圧の波形図。
第２の実施の形態において印加される電圧の波形図。
【図６】本発明による静電アクチュエータの第３の実施
の形態に用いられる可動子の構成を示す斜視図。
の形態に用いられる可動子の構成を示す斜視図。
【図７】従来の静電アクチュエータの構成を示す斜視
図。
図。
【図８】従来の静電アクチュエータの動作を説明する動
作説明図。
作説明図。
１ａ，１ｂ 固定子 ２ａ，２ｂ 本体部 ３ａ，３ｂ 電極 ４ａ，４ｂ 絶縁膜 １１ 可動子 １２ 本体部 １２ａ 突起 １３ａ，１３ｂ 電極 １４ａ，１４ｂ 絶縁膜 ２０ａ 固定子 ２０ｂ 可動子 ２１ａ，２１ｂ 本体部 ２２ａ，２２ｂ 電極 ２３ａ，２３ｂ 絶縁膜 ２４ 導電体 ３０ａ，３０ｂ 固定子 ３１ａ，３１ｂ 電極 ３２ａ，３２ｂ 電極 ３３ａ，３３ｂ 絶縁膜 ４０ 可動子 ４１ 本体部 ４２ 電極 ４３ａ，４３ｂ 絶縁膜 ４４ 導線 ５０ 可動子 ５０ａ 本体部 ５０ｂ，５０ｃ パッド部 ５１ 孔 ５３ 溝 ６０ａ，６０ｂ 固定子 ６１ａ1 ，６１ａ2 電極 ６１ｂ1 ，６１ｂ2 電極 ６２ａ，６２ｂ 本体部 ６５ａ1 ，６５ａ2 電極パッド ６５ｂ1 ，６５ｂ2 電極パッド ７０ シリコン基板 ７１ 可動子 ７２ 電極 ８０ リニアガイド ９０ａ，９０ｂ 切断線 ９１ａ，９１ｂ 切断線
Claims (4)
- 【請求項１】第１の本体部と、この第１の本体部の面上
に形成されて少なくとも２相の電圧が印加される複数の
電極と、を有している固定子と、 前記第１の本体部と対向するように配置される第２の本
体部と、この第２の本体部の、前記第１の本体部の電極
が形成された面と対向する面に形成された複数の電極
と、を有している可動子と、 を備え、前記第１および第２の本体部における前記電極がそれぞ
れ形成された面のうちの一方の面の、前記電極が形成さ
れた領域と干渉しない領域に、前記第１および第２の本
体部における互いの電極同士が間接的に又は直接的に接
触するのを防止すべく、他方の面に当接する突起が設け
られている ことを特徴とする静電アクチュエータ。 - 【請求項２】第１の本体部と、この第１の本体部の面上
に形成されて少なくとも２相の電圧が印加される複数の
電極と、この電極を覆う第１の絶縁膜と、を有している
固定子と、 前記第１の本体部と対向するように配置される第２の本
体部と、この第２の本体部の、前記第１の本体部の電極
が形成された面と対向する面に形成された複数の電極
と、この電極を覆う第２の絶縁膜と、を有しいている可
動子と、 を備え、前記第１および第２の絶縁膜の少なくとも一方
は導電体によって覆われていることを特徴とする静電ア
クチュエータ。 - 【請求項３】本体部と、この本体部の対向する面上に形
成される複数の電極と、を各々有し、所定の隙間をもっ
て対向配置された一対の固定子と、 前記一対の固定子間に配置され、前記固定子の電極に所
定の電圧パルスが印加されることにより一方の端部から
他方の端部へと順次、前記一対の固定子に交互に吸着さ
れながら前記隙間を行進する可動子と、 を備え、前記可動子は、前記固定子に対向する面内に、
貫通しない穴が設けられていることを特徴とする静電ア
クチュエータ。 - 【請求項４】本体部と、この本体部の対向する面上に形
成される複数の電極と、を各々備え、所定の隙間をもっ
て対向配置された一対の固定子と、 前記一対の固定子間に配置され、前記固定子の電極に所
定の電圧パルスが印加されることにより一方の端部から
他方の端部へと順次、前記一対の固定子に交互に吸着さ
れながら前記隙間を進行する可動子と、 を有する静電アクチュエータにおいて、 前記可動子が前記固定子の一方に吸着される際に、前記
可動子が前記一方の固定子に接触する直前に、電圧を印
加する電極を前記一方の固定子から他方の固定子に切り
換えることを特徴とする静電アクチュエータの駆動方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31932995A JP2928752B2 (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 静電アクチュエータ及びその駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31932995A JP2928752B2 (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 静電アクチュエータ及びその駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09163761A JPH09163761A (ja) | 1997-06-20 |
| JP2928752B2 true JP2928752B2 (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=18108976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31932995A Expired - Lifetime JP2928752B2 (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 静電アクチュエータ及びその駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2928752B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3529761B2 (ja) | 2001-11-20 | 2004-05-24 | 株式会社東芝 | 静電アクチュエータ及びその駆動方法 |
| US7161273B2 (en) | 2001-11-06 | 2007-01-09 | Omron Corporation | Antistatic mechanism of an electrostatic actuator |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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