JPH04281371A - 静電アクチュエータの電極パターン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、静電力を利用した静電
アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、静電力を利用した静電アクチュエ
ータとして、図３に示すように、絶縁フィルムＡ上に複
数の短冊状の駆動電極Ｂを所定の間隔で配設して、所定
の駆動電極Ｂに複数相の電圧を印加するようにした固定
子Ｃと、その固定子Ｃの電極配設面と対向する面に強誘
電体と低誘電体とが交互に等ピッチで移動方向に配設さ
れた移動子Ｄとから構成されたものが開示されている。 （例えば、特開昭６２−４４０７９号公報）

【０００３
】

【発明が解決しようとする課題】ところが、固定子Ｃの
駆動電極Ｂに複数相の電圧、例えば３相の電圧を印加す
るように配線する場合、３相のうち１相が他の２相と交
差しないように、引き出し線Ｅを用いてスルーホールＦ
やボンディングなどの配線で接続するため、配線を同一
平面上に設けることができず、駆動電極の微細化が難し
くなり、移動子の出力や力密度が低下するという問題点
があった。本発明は、固定子の駆動電極の微細化を可能
にする電極パターンを提供し、コンパクトで、移動子の
出力が大きい静電アクチュエータを実現することを目的
とするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、絶縁体上に短
冊状の駆動電極を複数個、所定の間隔をおいて互いに平
行に配列した固定子と、前記固定子に対向して高抵抗体
を有する移動子とからなり、前記駆動電極に電圧を印加
して固定子に対して移動子を移動させる静電アクチュエ
ータの電極パターンにおいて、３相電源の各相にそれぞ
れ接続される前記駆動電極のうち、いずれか１相に接続
される前記駆動電極が他相に接続される前記駆動電極の
少なくとも２倍の電極数をもつようにしもので、３相電
源の場合、電極パターンの１サイクルがＴ相−Ｓ相−Ｒ
相−Ｓ相の順に配列したものである。また、３相電源の
Ｒ相、Ｓ相、Ｔ相に接続される駆動電極のうち、相順が
Ｔ相−Ｓ相−Ｒ相の順に配列される電極ピッチ幅が、Ｒ
相−Ｓ相−Ｔ相の順に配列される電極ピッチ幅の２分の
１としたものである。

【０００５】

【作用】３相電源の各相にそれぞれ接続される駆動電極
のうち、いずれか１相に接続される駆動電極が他相の少
なくとも２倍の電極数をもつようにしてあるので、少な
くとも２倍の電極数を持つ相は固定子の中央部から各駆
動電極に直列で接続し、他の相は固定子の両側辺からそ
れぞれの駆動電極に接続することができるので、各駆動
電極と３相電源の各相との接続線および同一相の駆動電
極間の接続線は駆動電極と同一平面上に設けることがで
きる。

【０００６】

【実施例】本発明を図に示す実施例について説明する。 図１は本発明の実施例を示す要部側断面図で、ガラス基
板１上に短冊状の駆動電極２を複数個、所定の間隔をお
いて互いに平行に並べ、ガラス基板１および駆動電極２
の上に絶縁体３を被覆して固定子４を形成してある。固
定子４には絶縁フィルム５の上に高抵抗体６を有する移
動子７が対向して設けられている。複数個の駆動電極２
はそれぞれ３相電源（Ｒ相、Ｓ相、Ｔ相）に接続される
ようにしてあり、駆動電極２の電極パターンは図２に示
すように、Ｔ相−Ｓ相−Ｒ相−Ｓ相−Ｔ相−Ｓ相−Ｒ相
−Ｓ相…の順に配列され、電極パターンの１サイクルで
あるＴ相−Ｓ相−Ｒ相−Ｓ相の中で３相の駆動電極のう
ちのいずれか１相、この場合はＳ相が他の相の駆動電極
よりも、少なくとも２倍の数を有するようにしてある。 また電極パターンのうち、Ｔ相−Ｓ相−Ｒ相の順の電極
ピッチ幅は、Ｒ相−Ｓ相−Ｔ相の順の電極ピッチ幅の１
／２となるように構成する。したがって、Ｒ相とＴ相の
電源は固定子３の両側辺から各Ｒ相およびＴ相の駆動電
極に接続し、Ｓ相の電源は固定子３の幅方向の中間部か
ら直列に各Ｓ相の駆動電極に接続することができ、各駆
動電極２と３相電源のＲ相、Ｓ相、Ｔ相との接続線およ
び同一相の駆動電極２間の接続線は駆動電極２と同一平
面上に設けることができる。いま、固定子４の駆動電極
２に電圧を印加することにより、高抵抗体６内で電荷が
移動し、移動子７が帯電する。このとき、固定子４の印
加電圧を他相に切り替えると、移動子７との間に移動子
７を浮上させる反発力と移動子７を移動させる駆動力が
働き、移動子７が微小移動する。

【０００７】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、各
駆動電極と３相電源の各相との接続線および同一相の駆
動電極間の接続線を駆動電極と同一平面上に設けるがで
きるので、スルーホールやボンディングなどの配線をす
る必要が無く、固定子の駆動電極の構成が簡単となり、
駆動電極の微細化を可能にする電極パターンを提供し、
コンパクトで、出力の大きい静電アクチュエータを提供
する効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す要部側断面図である。

【図２】本発明の電極パターンを示す説明図である。

【図３】従来例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１　　ガラス基板 ２　　駆動電極 ３　　絶縁体 ４　　固定子 ５　　絶縁フィルム ６　　高抵抗体 ７　　移動子

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　絶縁体上に短冊状の駆動電極を複数個
   、所定の間隔をおいて互いに平行に配列した固定子と、
   前記固定子に対向して高抵抗体を有する移動子とからな
   り、前記駆動電極に電圧を印加して固定子に対して移動
   子を移動させる静電アクチュエータの電極パターンにお
   いて、３相電源の各相にそれぞれ接続される前記駆動電
   極のうち、いずれか１相に接続される前記駆動電極が他
   相に接続される前記駆動電極の少なくとも２倍の電極数
   をもつことを特徴とする静電アクチュエータの電極パタ
   ーン。
2. 【請求項２】　　前記電極パターンの１サイクルがＴ相
   −Ｓ相−Ｒ相−Ｓ相の順に配列した請求項１記載の静電
   アクチュエータの電極パターン。
3. 【請求項３】　　３相電源のＲ相、Ｓ相、Ｔ相に接続さ
   れる前記駆動電極のうち、相順がＴ相−Ｓ相−Ｒ相の順
   に配列される電極ピッチ幅が、Ｒ相−Ｓ相−Ｔ相の順に
   配列される電極ピッチ幅の２分の１とした請求項１また
   は２記載の静電アクチュエータの電極パターン。