JP3484173B2 - 静電アクチュエータ及びこれを用いたカメラモジュール - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、静電気力を利用
して一対の固定子の間に配置された可動子を駆動する静
電アクチュエータに係り、特に、可動子への電気配線を
不要とした静電アクチュエータ及びこれを焦点調節機構
に用いたカメラモジュールに関する。

【０００２】

【従来の技術】一対の固定子の間に可動子を配置し、そ
の可動子を静電気力（クーロンカ）により駆動する静電
アクチュエータは、例えば、特開平８−１４０３６７号
公報に開示されている。この従来の静電アクチュエータ
は、対向して配置された第１固定子及び第２固定子と、
これらの固定子間に設けられた可動子からなる。第１固
定子及び第２固定子には、長手方向に沿って所定ピッチ
で複数の電極を配列してなる第１電極アレイ及び第２電
極アレイがそれぞれ配列される。但し、第１電極アレイ
の電極と第２電極アレイの電極は、互いに位相を１／２
ピッチ分ずらして配列されている。

【０００３】さらに詳しくは、第１電極アレイ及び第２
電極アレイは、その配列方向において２個周期（１個お
き）毎の電極を１グループとした、４つのグループＡ，
Ｂ，Ｃ，Ｄに仮想的に分割され、グループ単位で可動子
上の電極との間に直流電圧が印加される構成となってい
る。

【０００４】この静電アクチュエータでは、（１）第１
電極アレイと可動子に設けられた電極との間に直流電圧
を印加することで、可動子を静電気力により第１固定子
側に吸引させ、次に（２）第２電極アレイと可動子に設
けられた電極との間に直流電圧を印加することで、可動
子を第２固定子側に吸引する、という２つの駆動動作が
交互に繰り返される。

【０００５】このような駆動動作により、可動子は、微
視的には第１固定子と第２固定子との間で上下振動をし
ながら、巨視的には電極アレイの１／２ピッチずつ固定
子の長手方向に順次移動される。ここで、可動子の移動
方向は、グループＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの電極に直流電圧を印
加する順序に従って決定される。

【０００６】この従来の静電アクチュエータでは、固定
子上の電極アレイと可動子上の電極との間に直流電圧を
印加したときの静電気力を利用することから、固定子上
の電極アレイのみならず、可動子上の電極も電気配線す
ることが必須である。この可動子への電気配線のため、
アクチュエータの量産性が損なわれ、また、配線のため
のスペースが必要となってアクチュエータの小型化に不
利となる問題がある。さらに、可動子の頻繁な移動によ
り可動子上の電極への配線にストレスが加わるため、長
期の使用によっては信頼性という点でも問題がある。

【０００７】また、従来の静電アクチュエータにおいて
は、固定子上の電極アレイと可動子上の電極との間に直
流電圧を印加したとき、電極上に絶縁破壊の対策のため
に形成された誘電体膜に誘電分極が発生し、この誘電分
極により一方の固定子側に吸引された可動子を固定子上
に引きつけたままにしようとする作用力が働く。誘電分
極は、電位としては微小であるが、可動子と固定子間の
距離が短いため、この作用力は、他方の固定子上の電極
と可動子上の電極間の静電気力による作用力よりも相対
的に大きくなることがあり、可動子の正常な移動動作を
妨げる要因となる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、固定
子上の電極アレイと可動子上の電極との間に直流電圧を
印加したときの静電気力を利用して可動子を移動させる
従来の静電アクチュエータにおいては、可動子上の電極
への電気配線が必須であるため、量産性の低下、配線の
ための占有スペースによるアクチュエータの大型化を招
き、また信頼性という点でも問題がある。

【０００９】さらに、従来の静電アクチュエータにおい
ては、電極上に絶縁破壊対策のために形成された誘電体
膜に生じる誘電分極の影響により、可動子の移動動作が
不安定となるおそれがあるという問題点もある。

【００１０】この発明の目的は、可動子への電気配線を
不要とした静電アクチュエータを提供することにある。

【００１１】また、この発明の他の目的は、電極上に形
成された誘電体膜の誘電分極による影響を除去して安定
した動作を実現できる静電アクチュエータを提供するこ
とにある。

【００１２】さらに、この発明の別の目的は、このよう
な静電アクチュエータを焦点調節機構に用いたカメラモ
ジュールを提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明に係る静電アクチュエータは、第１方向も
しくは、第１方向及びこれと直交する第２方向に所定ピ
ッチで配列された複数の電極からなる第１電極アレイを
有する第１固定子と、第１固定子に対向して設けられ、
第１方向及びこれと直交する第２方向の少なくとも一方
の方向に所定ピッチで配列された複数の電極からなる第
２電極アレイを有する第２固定子と、第１固定子と第２
固定子との間に配置され、少なくとも第１電極アレイ及
び第２電極アレイにそれぞれ対向する位置に第３電極及
び第４電極を有する可動子と、第１電極アレイ及び第２
電極アレイに接続された駆動回路とを有する。

【００１４】駆動回路は、第１電極アレイの第１方向及
び第２方向のいずれかの方向に並んだ電極間に第１直流
電圧を印加する第１駆動動作と、第２電極アレイの第１
方向及び第２方向のいずれかの方向に並んだ電極間に第
２直流電圧を印加する第２駆動動作とを交互に、かつ第
１駆動動作により第１直流電圧を印加する電極の位置を
第１方向に順次ずらして繰り返し行うように構成され
る。

【００１５】このように構成されたこの発明の静電アク
チュエータでは、第１固定子上の第１電極アレイ、第２
固定子上の第２電極アレイのいずれにおいても、隣接す
る電極間に直流電圧が印加されることで発生する静電気
力を利用して、可動子上の第３電極及び第４電極を通る
電気力線が縮もうとする作用により可動子を交互に吸引
するため、第３電極及び第４電極はフローティング電極
でよく、配線を行う必要がない。従って、量産性の向上
とアクチュエータの小型化に有利となり、可動子の移動
により配線にストレスが加わることによる信頼性の低下
という問題も解決される。

【００１６】さらに、駆動回路が第１及び第２直流電圧
を同一電極に対して交互に極性反転するように印加すれ
ば、第１電極アレイ及び第２アレイ電極アレイ上に絶縁
破壊対策として誘電体膜を設けた場合でも、その誘電体
膜の誘電分極による帯電をキャンセルして、誘電分極に
よる可動子の移動動作の不安定化を防止することが可能
となる。

【００１７】また、この発明によれば、このような静電
アクチュエータを焦点調節機構に用いたカメラモジュー
ルが提供される。このカメラモジュールは、例えば少な
くとも撮像素子を実装した基板上に上述の静電アクチュ
エータを設け、この静電アクチュエータの可動子に撮像
素子への入射光路に配置されるレンズを一体に設けて構
成される。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態を説明する。

【００１９】（第１実施形態）図１（ａ）及び図１
（ｂ）は、この発明の第１実施形態に係る静電アクチュ
エータの構成を示す図である。ここで、図１（ａ）は、
長手方向（Ｘ方向）に沿う静電アクチュエータの断面
図、図１（ｂ）は、長手方向に直交する方向（Ｙ方向）
に沿う静電アクチュエータの断面図である。また、図２
は、第１固定子及び第２固定子上の電極アレイの平面形
状と駆動回路の内部構成を示している。この静電アクチ
ュエータは、互いに対向して配置された第１固定子１及
び第２固定子２と、第１固定子１と第２固定子２の間に
配置されたＹ方向に沿って移動可能な可動子３と及び駆
動回路４から構成される。

【００２０】第１固定子１は、絶縁性基板１１と、この
基板１１上に形成された第１電極アレイ１２と、電極ア
レイ１２上に形成された誘電体膜１３からなる。第１電
極アレイ１２は、図２に示されるように多数の短冊状の
電極を基板１１の長手方向（第１方向＝Ｘ方向）に沿っ
て所定ピッチＰで一列に配列して構成されている。第１
電極アレイ１２は、電極配列方向（Ｘ方向）に第１、第
２、第３及び第４電極からなる電極グループが等周期並
びに等間隔で配列されている。以下の説明において説明
を簡略にするために、第１、第２、第３及び第４電極
は、夫々Ａ電極１２Ａ、Ｂ電極１２Ｂ、Ｃ電極１２Ｃ及
びＤ電極１２Ｄと称し、図面中にもその配線に符号Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄを付してその接続関係を明瞭にしている。

【００２１】図１（ａ）から明らかなようにＡ電極１２
Ａは、配線１４Ａによって共通接続され、駆動回路４に
接続されている。同様に、Ｂ電極１２Ｂは、配線１４Ｂ
によって共通接続され、駆動回路４に接続され、Ｃ電極
１２Ｃは、配線１４Ｃによって共通接続され、駆動回路
４に接続され、Ｄ電極１２Ｄは、配線１４Ｄによって共
通接続され、駆動回路４に接続されている。配線１４
Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄは、絶縁層を介して二層配
線、即ち、立体配線され、その各一端は、駆動回路４に
接続される。

【００２２】第２固定子２は、絶縁性基板２１と、この
基板２１上に被着された第２電極アレイ２２と、電極ア
レイ２２上に被着された誘電体膜２３からなる。第２電
極アレイ２２は、図２に示されるように２個の帯状の電
極（この明細書において、Ｍ，Ｎ電極と称する。）２２
Ｍ，２２Ｎを基板１１の長手方向（第１方向＝Ｘ方向）
と直交する方向（第２方向＝Ｙ方向）に所定の間隔を存
して、Ｘ方向に沿って形成される。Ｍ電極２２Ｍ及びＮ
電極２２Ｎは、駆動回路４に接続される。

【００２３】第１固定子１及び第２固定子２上には、夫
々誘電体膜１３，２３が形成されている。誘電体膜１３
は、第１電極アレイ１２の電極間を絶縁すると共に第１
電極アレイ１２の電極と可動子３上の第５電極３３とを
絶縁するために設けられている。同様に、誘電体膜２３
は、第２電極アレイ２２の電極間を絶縁すると共に電極
アレイ２２の各電極と可動子３上の第６電極３４とを絶
縁するために設けられている。

【００２４】一般に、静電アクチュエータにおいて、電
極上に誘電体膜が設けられる場合には、誘電体膜の誘電
分極の影響によって、可動子の移動動作が不安定となる
おそれがある。しかしながら、本実施形態では、後に詳
述するように電極への電圧印加パターンを工夫すること
により、このような問題が解決される。

【００２５】可動子３は、その内部が中空の直方体の絶
縁性基体３１で形成されている。この絶縁性基体３１
は、第１固定子１上の第１電極アレイ１２に対向する側
に凸部３２を有し、第１電極アレイ１２に対向するこの
凸部３２の面上には、第５電極３３が被着され、第２固
定子２上の第２電極アレイ２２に対向する凸部３２の面
上には、第６電極３４が被着されている。この可動子３
は、第１固定子１と第２固定子２との間の移動空間に図
１（ａ）の左右方向（Ｘ方向）に移動可能に配置されて
いる。図１（ａ）に示されるように、可動子３の移動方
向（Ｘ方向）に沿った凸部３２の電極面の寸法（幅Ｌ）
は、Ｘ方向における各電極１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１
２Ｄの寸法（幅Ｗa）に対して１．５〜２．０倍程度に
定められている。一方、第５電極３３及び第６電極３４
は、駆動回路４に接続されず、電気的に浮いた状態、い
わゆるフローティング電極とされている。

【００２６】駆動回路４は、図２に示されるように二つ
の直流電圧源４１，４２を有し、直流電圧源４１，４２
からの直流電圧信号をスイッチングして矩形波電圧信号
を発生する二つのスイッチ回路４３，４４及びスイッチ
回路４３，４４からの矩形波電圧信号の出力を制御する
スイッチ制御回路４５を含んでいる。第１電極アレイ１
２を直流電圧源４１に配線１４を介して接続するスイッ
チ回路４３は、入力端子及び出力端子を有し、入力端子
に与えられるスイッチ制御回路４５からの制御信号によ
り出力端子からの出力が制御される。同様に直流電圧源
４２を備えたスイッチ回路４４には、第２電極アレイ２
２が配線２４を介して接続されている。即ち、Ｍ電極２
２Ｍが配線２４Ｍを介してスイッチ回路４４に接続さ
れ、Ｎ電極２２Ｎが配線２４Ｎを介してスイッチ回路４
４に接続されている。また、このスイッチ回路４４は、
入力端子及び出力端子を有し、入力端子に与えられるス
イッチ制御回路４５からの制御信号により出力端子から
の出力が制御される。スイッチ制御回路４５は、例えば
静電アクチュエータに動作指令を与える図示しないホス
トコンピュータからの駆動指令信号Ｓ１及び方向指示信
号Ｓ２に従ってスイッチ回路４３，４４を制御するよう
に構成されている。

【００２７】以下、図３（ａ）〜３（ｆ）に示すタイム
チャート及び図４〜図７を参照して本実施形態の静電ア
クチュエータの動作を説明する。ここで、図３（ａ）〜
３（ｆ）は、Ａ電極１２Ａ，Ｂ電極１２Ｂ，Ｃ電極１２
Ｃ，Ｄ電極１２Ｄ，Ｍ電極１２Ｍ，Ｎ電極２２Ｎに印加
される電圧波形を示し、図４〜図７は、可動子の動作状
態の遷移を示している。

【００２８】動作の開始にあっては、駆動回路４をアク
ティブにする為にスイッチ制御回路４５に駆動指令信号
Ｓ１が入力され、図１（ａ）中で右或いは左方向への可
動子３の移動を指示する方向指示信号Ｓ２が入力され
る。尚、以下の説明では、特記しない限り、可動子３が
右方向に移動されるものとして説明する。

【００２９】この駆動指令信号Ｓ１及び方向指示信号Ｓ
２に応答して、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように
直流電圧源４１からスイッチ回路４３を介してＡ電極１
２Ａに正の電圧、Ｂ電極１２Ｂに負の電圧が一定の期間
Ｔ１の間印加される。このときＡ電極１２Ａ、第５電極
３３、Ｂ電極１２Ｂで構成される回路は、等価的に２つ
のキャパシタを含む直列回路に相当し、図４に示すよう
にＡ電極１２Ａ、第５電極３３、Ｂ電極１２Ｂの経路で
電気力線Ｅ１が生じる。電気力線Ｅ１は、できるだけ縮
もうとするので、Ａ電極１２Ａ及びＢ電極１２Ｂと第５
電極３３との間に静電吸引力が働き、可動子３は、第１
固定子１側に移動する。

【００３０】次に、図３（ｅ）及び図３（ｆ）に示すよ
うに直流電圧源４２からスイッチ回路４４を介して期間
Ｔ２の間、Ｍ電極２２Ｍに正の電圧、Ｎ電極２２Ｎに負
の電圧が印加される。このときＭ電極２２Ｍ、第６電極
３４、Ｎ電極２２Ｎで構成される回路は、等価的に２つ
のキャパシタを含む直列回路に相当し、図５に示すよう
にＭ電極２２Ｍ、第６電極３４、Ｎ電極２２Ｎの経路で
電気力線Ｅ２が生じる。この電気力線Ｅ２もできるだけ
縮もうとするので、Ｍ電極２２Ｍ及びＮ電極２２Ｎと第
６電極３４との間に静電吸引力が働き、可動子３は、第
２固定子２側に移動する。

【００３１】次に、図３（ｂ）及び図３（ｃ）に示すよ
うにＢ電極１２Ｂに正の電圧、Ｃ電極１２Ｃに負の電圧
が期間Ｔ３の間印加され、図６に示されるようにこれに
よりＢ電極１２Ｂ、第５電極３３、Ｃ電極１２Ｃの経路
で電気力線Ｅ３が発生し、Ｂ電極１２Ｂ及びＣ電極１２
Ｃと第５電極３３との間に静電吸引力が働き、可動子３
は、第１固定子１側に移動する。ここで、第１電極アレ
イ１２の電圧が印加されるＢ電極１２Ｂ，Ｃ電極１２Ｃ
は、先に期間Ｔ１において電圧が印加されたＡ電極１２
Ａ，Ｂ電極１２Ｂに対して１ピッチ（Ｐ）分ずれて配置
されている。従って、可動子３は、第１固定子２側に移
動する際に１ピッチＰ分だけ右方向へ移動することにな
る。

【００３２】次に、図３（ｅ）及び３（ｆ）に示される
ようにＮ電極２２Ｎに正の電圧、Ｍ電極２２Ｍに負の電
圧が期間Ｔ４の間印加され、図７に示されるようにこれ
によりＮ電極２２Ｎ、第６電極３４、Ｍ電極２２Ｍの経
路で電気力線Ｅ４が発生し、Ｍ電極２２Ｍ及びＮ電極２
２Ｎと第６電極３４との間に静電吸引力が働き、可動子
３は、第２固定子２側に移動する。

【００３３】以下、期間Ｔ５の間に図３（ｃ）及び図３
（ｄ）に示されるようにＣ電極１２Ｃに正の電圧、Ｄ電
極１２Ｄに負の電圧が印加され、次に図３（ｅ）及び図
３（ｆ）に示されるように期間Ｔ２と同様に期間Ｔ６の
間にＭ電極２２Ｍに正の電圧、Ｎ電極２２Ｎに負の電圧
が印加される。次に、期間Ｔ７の間に図３（ｄ）及び図
３（ａ）に示されるようにＤ電極１２Ｄに正の電圧、Ａ
電極１２Ａに負の電圧が印加され、次に期間Ｔ４と同様
に期間Ｔ８の間に図３（ｅ）及び図３（ｆ）に示される
ようにＮ電極２２Ｎに正の電圧、Ｍ電極２２Ｍに負の電
圧が印加されるという動作が順次行われ、期間Ｔ１〜Ｔ
８で１周期Ｔの動作が終了する。

【００３４】このような動作により、可動子３は、微視
的には第１固定子１と第２固定子２間で振動しながら、
巨視的には第１固定子１上の電極アレイ１２の電極配列
方向（Ｘ方向）、この例では、図１で右方向に順次１ピ
ッチＰずつ移動する。

【００３５】また、図１（ａ）中で左方向への移動を指
示する方向指示信号Ｓ２が入力された場合には、図３
（ａ）〜３（ｆ）において期間Ｔ８から期間Ｔ１に向か
うように、上記と逆の電圧印加パターンで、Ｄ電極１２
Ｄ、Ａ電極１２Ａ間、Ｍ電極１２Ｍ，Ｎ電極２２Ｎ間、
Ｃ電極１２Ｃ、Ｄ電極１２Ｄ間、Ｎ電極２２Ｎ、Ｍ電極
１２Ｍ間、Ｂ電極１２Ｂ、Ｃ電極１２Ｃ間、Ｍ電極１２
Ｍ，Ｎ電極２２Ｎ間、Ａ電極１２Ａ、Ｂ電極１２Ｂ間、
Ｎ電極２２Ｎ、Ｍ電極１２Ｍ間に、順次直流電圧が印加
されることにより、可動子３は、微視的には第１固定子
１と第２固定子２間で振動しながら、巨視的には図１
（ａ）で左方向に順次移動することになる。

【００３６】上述した本実施形態の静電アクチュエータ
では、第１固定子１上の第１電極アレイ１２及び第２固
定子２上の第２電極アレイ２２のいずれにおいても、隣
接する電極間に直流電圧が印加されることで発生する静
電気力を利用して可動子３が交互に吸引される。即ち、
可動子３上の第５電極３３及び第６電極３４を通る電気
力線が縮もうとする作用により可動子３が交互に吸引さ
れる。このような作用では、可動子３上の第５電極３３
及び第６電極３４は、フローティング電極でよく、これ
らの電極３３，３４に駆動回路４から配線を行う必要が
ない。従って、量産性の向上とアクチュエータの小型化
に有利となる。また、可動子３の移動により配線にスト
レスが加わることによる信頼性の問題を解消することが
できる。

【００３７】さらに、本実施形態では、一つの電極に注
目すると、印加される直流電圧の極性が交互に反転され
ている。例えば、Ａ電極１２Ａは、期間Ｔ１では、正の
電圧が印加され、次の期間Ｔ３では負の電圧が印加され
る。Ｂ電極１２Ｂ，Ｃ，Ｄ及びＭ，Ｎ電極２２Ｍ，２２
Ｎについても同様である。このような電圧の印加によっ
て、絶縁破壊対策として設けられた誘電体膜１３，２３
の誘電分極による帯電が逆極性の電圧印加によりキャン
セルされるので、誘電分極による可動子３の移動動作の
不安定化を防止することが可能となる。

【００３８】なお、本実施形態では、可動子３上の第６
電極３４が絶縁性基体３１の平面上に形成されている。
この変形実施形態として、第２固定子２上の第２電極ア
レイ２２を構成するＭ電極２２Ｍ及びＮ電極２２Ｎに対
応させて、絶縁性基体３１の底面に凸面を設け、その凸
面上に第６電極３４を形成してもよい。また、可動子３
の全体を導電性部材で構成し、Ａ電極１２Ａ、Ｂ電極１
２Ｂ，Ｃ電極１２Ｃ，Ｄ電極１２Ｄに対向する部分及び
Ｍ電極１２Ｍ，Ｎ電極２２Ｎに対向する部分を第５電極
３３及び第６電極３４として機能させるようにしても良
い。この点は、後述する他の実施形態においても同様で
ある。

【００３９】（第２実施形態）図８及び図９は、この発
明の第２実施例に係る静電アクチュエータの構造を概略
的に示す断面図及び第１固定子及び第２固定子上の電極
アレイの平面形状と駆動回路のブロックを示している。
図１（ａ）及び図１（ｂ）並びに図２に示した静電アク
チュエータは、第１固定子１で可動子３に対して推進力
が与えられるいわゆる片側推進タイプであるに対して図
８及び図９に示される静電アクチュエータは、第１固定
子１のみならず第２固定子２でも可動子３に対して推進
力が与えられるいわゆる両側推進タイプを示している。

【００４０】この図８及び図９に示される静電アクチュ
エータは、図２に示される第１固定子１と同様の構造を
有する第１固定子１を備えるとともに、第１固定子と同
様に多数の短冊状の電極２２を基板１１の長手方向（第
１方向＝Ｘ方向）に沿って所定ピッチＰで一列に配列
し、第１固定子１と略同様の構造を有する第２固定子２
を有している。第２固定子２は、電極アレイ２２の配列
が第１固定子１の電極アレイの配置に対してＰ／２ピッ
チだけずらされて配置されている。また、第２固定子２
では、Ｅ電極２２Ｅは、配線２４Ｅによって共通接続さ
れ、駆動回路４に接続されている。Ｆ電極２２Ｆは、配
線２４Ｆによって共通接続され、駆動回路４に接続さ
れ、Ｇ電極２２Ｇは、配線２４Ｇによって共通接続さ
れ、駆動回路４に接続され、Ｈ電極２２Ｈは、配線２４
Ｈによって共通接続され、駆動回路４に接続されてい
る。配線２４は、絶縁層を介して二層配線、即ち、立体
配線され、その各一端は、駆動回路４に接続される。

【００４１】また、図８に示される可動子３は、図１
（ａ）に示す可動子と同様の構造を有し、第１固定子１
上の電極アレイ１２に対向する側に凸部３２を有し、電
極アレイ１２に対向するこの凸部３２の面上には、第５
電極３３が被着され、第２固定子２上の電極アレイ２２
に対向する凸部３２を有し、電極アレイ１２に対向する
この凸部３２の面上には、第６電極３４が被着されてい
る。第５電極３３及び第６電極３４は、駆動回路４に接
続されず、電気的に浮いた状態、いわゆるフローティン
グ電極とされている。

【００４２】駆動回路４は、図９に示されるように二つ
の直流電圧源４１，４２を有し、直流電圧源４１，４２
からの直流電圧信号をスイッチングして矩形波電圧信号
を発生する二つのスイッチ回路４３，４４及びスイッチ
回路４３，４４からの矩形波電圧信号の出力を制御する
スイッチ制御回路４５を含んでいる。直流電圧源４１に
第１電極アレイ１２が配線１４を介して接続されるスイ
ッチ回路４３は、入力端子及び出力端子を有し、入力端
子に与えられるスイッチ制御回路４５からの制御信号に
より出力端子からの出力が制御される。同様に直流電圧
源４２に第２電極アレイ２２が配線２４を介して接続さ
れるスイッチ回路４４は、入力端子及び出力端子を有
し、入力端子に与えられるスイッチ制御回路４５からの
制御信号により出力端子からの出力が制御される。スイ
ッチ制御回路４５は、例えば図示しないホストコンピュ
ータからの駆動指令信号Ｓ１及び方向指示信号Ｓ２に従
ってスイッチ回路４３，４４を制御するように構成され
ている。

【００４３】以下、図１０（ａ）〜図１０（ｈ）に示す
タイムチャート及び図１１を参照して本実施形態の静電
アクチュエータの動作を説明する。ここで、図１０
（ａ）〜図１０（ｈ）は、Ａ電極１２Ａ，Ｂ電極１２
Ｂ，Ｃ電極１２Ｃ，Ｄ電極１２Ｄ，Ｅ電極１２Ｅ、Ｆ電
極１２Ｆ、Ｇ電極１２Ｇ、Ｈ電極２２Ｈに印加される電
圧波形を示し、図１１は、可動子の動作状態の遷移を示
している。

【００４４】動作の開始にあっては、駆動回路４をアク
ティブにする為にスイッチ制御回路４５に駆動指令信号
Ｓ１が入力され、図８中で右或いは左方向への可動子３
の移動を指示する方向指示信号Ｓ２が入力される。尚、
以下の説明では、特記しない限り、可動子３が右方向に
移動されるものとして説明する。

【００４５】この駆動指令信号Ｓ１及び方向指示信号Ｓ
２に応答して、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すよ
うに直流電圧源４１からスイッチ回路４３を介してＡ電
極１２Ａに正の電圧、Ｂ電極１２Ｂに負の電圧が一定の
期間Ｔ１の間印加される。このときＡ電極１２Ａ、第５
電極３３、Ｂ電極１２Ｂで構成される回路は、等価的に
２つのキャパシタを含む直列回路に相当し、図１１に示
すようにＡ電極１２Ａ、第５電極３３、Ｂ電極１２Ｂの
経路で電気力線Ｅ１が生じる。電気力線Ｅ１は、できる
だけ縮もうとするので、Ａ電極１２Ａ及びＢ電極１２Ｂ
と第５電極３３との間に静電吸引力が働き、可動子３
は、第１固定子１側に移動する。

【００４６】次に、図１０（ｇ）及び１０（ｈ）に示す
ように直流電圧源４２からスイッチ回路４４を介して期
間Ｔ２の間、Ｇ電極２２Ｇに正の電圧、Ｈ電極２２Ｈに
負の電圧が印加される。このときＧ電極２２Ｇ、第６電
極３４、Ｈ電極２２Ｈで構成される回路は、等価的に２
つのキャパシタを含む直列回路に相当し、同様にＧ電極
２２Ｇ、第６電極３４、Ｈ電極２２Ｈの経路で電気力線
が生じる。この電気力線もできるだけ縮もうとするの
で、Ｇ電極２２Ｇ及びＨ電極２２Ｈと第６電極３４との
間に静電吸引力が働き、可動子３は、第２固定子２側に
移動する。ここで、第１電極アレイ１２の電圧が印加さ
れるＧ電極２２Ｇ，Ｈ電極２２Ｈは、先に期間Ｔ１にお
いて電圧が印加されたＡ電極１２Ａ，Ｂに対してが１／
２ピッチ（Ｐ）分ずれて配置されている。従って、可動
子３は、第１固定子２側に移動する際に１／２ピッチＰ
分だけ右方向へ移動することになる。

【００４７】次に、図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）に示
すようにＢ電極１２Ｂに正の電圧、Ｃ電極１２Ｃに負の
電圧が期間Ｔ３の間印加され、これによりＢ電極１２
Ｂ、第５電極３３、Ｃ電極１２Ｃの経路で電気力線Ｅ３
が発生し、Ｂ電極１２Ｂ及びＣ電極１２Ｃと第５電極３
３との間に静電吸引力が働き、可動子３は、第１固定子
１側に移動する。ここで、第１電極アレイ１２の電圧が
印加されるＢ電極１２Ｂ，Ｃ電極１２Ｃは、先に期間Ｔ
１において電圧が印加されたＡ電極１２Ａ，Ｂに対して
が１ピッチ（Ｐ）分ずれて配置されている。従って、可
動子３は、第１固定子２側に移動する際に１ピッチＰ分
だけ右方向へ移動することになる。

【００４８】次に、図１０（ｅ）及び図１０（ｈ）に示
されるようにＨ電極２２Ｈに正の電圧、Ｅ電極２２Ｅに
負の電圧が期間Ｔ４の間印加され、これによりＨ電極２
２Ｈ、第６電極３４、Ｅ電極２２Ｅの経路で電気力線が
発生し、Ｈ電極２２Ｈ及びＥ電極２２Ｅと第６電極３４
との間に静電吸引力が働き、可動子３は、第２固定子２
側に移動する。

【００４９】以下、期間Ｔ５の間に図１０（ｃ）及び図
１０（ｄ）に示されるようにＣ電極１２Ｃに正の電圧、
Ｄ電極１２Ｄに負の電圧が印加され、次に図１０（ｅ）
及び図１０（ｆ）に示されるように期間Ｔ６の間にＥ電
極２２Ｅに正の電圧、Ｆ電極２２Ｆに負の電圧が印加さ
れる。次に、期間Ｔ７の間に図１０（ｄ）及び図１０
（ａ）に示されるようにＤ電極１２Ｄに正の電圧、Ａ電
極１２Ａに負の電圧が印加され、次に期間Ｔ８の間に図
１０（ｆ）及び図１０（ｇ）に示されるようにＦ電極２
２Ｆに正の電圧、Ｇ電極２２Ｇに負の電圧が印加される
という動作が順次行われ、期間Ｔ１〜Ｔ８で１周期Ｔの
動作が終了する。

【００５０】このような動作により、可動子３は、微視
的には第１固定子１と第２固定子２間で振動しながら、
巨視的には第１固定子１上の電極アレイ１２の電極配列
方向（Ｘ方向）、この例では、図８で右方向に移動す
る。

【００５１】また、図８中で左方向への移動を指示する
方向指示信号Ｓ２が入力された場合には、図１０（ａ）
〜図１０（ｈ）において期間Ｔ８から期間Ｔ１に向かう
ように、上記と逆の電圧印加パターンで、Ｄ電極１２
Ｄ、Ａ電極１２Ａ間、Ｆ電極２２Ｆ，Ｇ電極２２Ｇ間、
Ｃ電極１２Ｃ、Ｄ電極１２Ｄ間、Ｅ電極２２Ｅ、Ｆ電極
２２Ｆ間、Ｂ電極１２Ｂ、Ｃ電極１２Ｃ間、Ｈ電極２２
Ｈ，Ｅ電極２２Ｅ間、Ａ電極１２Ａ、Ｂ電極１２Ｂ間、
Ｇ電極２２Ｇ、Ｈ電極２２Ｈ間に、順次直流電圧が印加
されることにより、可動子３は、微視的には第１固定子
１と第２固定子２間で振動しながら、巨視的には図８で
左方向に順次移動することになる。

【００５２】（第３の実施形態）第１実施形態では、第
１固定子１上の第１電極アレイ１２を可動子３の移動方
向（第１方向＝Ｘ方向）に一列に配列し、第１電極アレ
イ１２のＸ方向において隣接する電極間に直流電圧を印
加している。これに対して、第２実施形態では、図１２
に示されるように２列の第１電極アレイ１２−１，１２
−２が第１方向（Ｘ方向に）沿って並べられ、この第１
方向（Ｘ方向に）に直交する方向（第２方向＝Ｙ方向）
では、第１電極アレイ１２−１，１２−２間に所定の間
隔が空けられている。この第３実施形態では、これらの
各電極列間、すなわちＹ方向において隣接した電極間に
直流電圧が印加される。このように第３実施形態では、
固定子上の電極配列及び電圧の印加方法が第１実施形態
と異なっている。

【００５３】図１２は、この発明の第３実施形態に係る
静電アクチュエータにおける第１固定子１上の第１電極
アレイ１２を示す平面図である。同図１２に示されるよ
うに、第１電極アレイ１２は、所定のピッチＰで配列さ
れた電極１２Ａ+，１２Ｂ+，１２Ｃ+，１２Ｄ+からなる
電極列１２−１及び−電極１２Ａ−，１２Ｂ−，１２Ｃ
−，１２Ｄ−からなる電極列１２−２を有する。一方、
第２固定子２上の第２電極アレイ２２については、第１
実施形態と同様、図２に示されるように２個の帯状の
Ｍ，Ｎ電極２２Ｍ，２２Ｎが所定の間隔空けて基板２１
の長手方向（Ｘ方向）に沿って延出されている。可動子
３には、第１電極アレイ１２の電極列１２−１及び電極
列１２−２にそれぞれ対応して前述した第５電極３３が
２列設けられる。

【００５４】尚、上述した符号に付した付記符号+及び
−は、電気の分野における電位の+及び−を意味せず、
一方の符号+を付した電極の電位がプラスであれば、他
方の符号−を付した電極の電位がマイナスとなり、ま
た、その逆に、一方の符号+を付した電極の電位がマイ
ナスであれば、他方の符号−を付した電極の電位がプラ
スとなる関係を意味している。

【００５５】また、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ電極１２Ａ+，１２
Ｂ+，１２Ｃ+，１２Ｄ+及びＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ電極１２Ａ
−，１２Ｂ−，１２Ｃ−，１２Ｄ−の夫々は、第１実施
形態におけるＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ電極１２Ａ，１２Ｂ，１２
Ｃ，１２Ｄに対応している。Ａ+電極１２Ａ+は、互いに
共通接続されて導電パッドＰ１に接続され、Ｂ極１２Ｂ
+は、互いに共通接続されて導電パッドＰ２に接続さ
れ、Ｃ極１２Ｃ+は、互いに共通接続されて導電パッド
Ｐ３に接続され、Ｄ極１２Ｄ+は、互いに共通接続され
て導電パッドＰ４に接続されている。同様に、Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄ電極１２Ａ−，１２Ｂ−，１２Ｃ−，１２Ｄ−の
夫々も対応する電極に共通接続されて導電パッドＰ５，
Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８に接続されている。パッドＰ１，Ｐ
２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８は、図２と同
様に駆動回路２に接続されている。この駆動回路は、図
２に示したように直流電圧源４１，４２とスイッチ回路
４３，４４及びスイッチ制御回路４５から構成される
が、直流電圧源４１と第１電極アレイ１２との間に接続
されるスイッチ回路４３は、図２に示す実施例とは異な
り、４の出力端子ではなく８つの出力端子を有してい
る。

【００５６】次に、図１３（ａ）〜図１３（ｊ）に示す
タイムチャートを参照して図１２に示される静電アクチ
ュエータの動作を説明する。ここで、図９Ａ〜９Ｊは、
夫々Ａ+電極１２Ａ+，Ａ−電極１２Ａ−，Ｂ+電極１２
Ｂ+，Ｂ−電極１２Ｂ−，Ｃ+電極１２Ｃ+，Ｃ−電極１
２Ｃ−，Ｄ+電極１２Ｄ+，Ｄ−電極１２Ｄ−，Ｍ電極２
２Ｍ，Ｎ電極２２Ｎに印加される電圧波形を示してい
る。

【００５７】始めに、期間Ｔ１の間、図１３（ａ）に示
すようにＡ+電極１２Ａ+に正の電圧、図１３（ｂ）に示
すようにＡ−電極１２Ａ−に負の電圧、図１３（ｃ）に
示すようにＢ+電極１２Ｂ+に正の電圧及び図１３（ｄ）
に示すようにＢ−電極１２Ｂ−に負の電圧が印加され
る。このときＡ+電極１２Ａ+、第５電極３３、Ａ−電極
１２Ａ−で構成される回路及びＢ+電極１２Ｂ+、第５電
極３３、Ｂ−電極１２Ｂ−で構成される回路は、それぞ
れ等価的に２つのキャパシタを含む直列回路に相当し、
Ａ+電極１２Ａ+、第５電極３３、Ａ−電極１２Ａ−の経
路及びＢ+電極１２Ｂ+、第５電極３３、Ｂ−電極１２Ｂ
−の経路で電気力線が生じる。これらの電気力線ができ
るだけ縮もうとすることにより、Ａ+電極１２Ａ+，Ａ
−，Ｂ+，Ｂ−と第５電極３３間に静電吸引力が働き、
可動子３は、第１固定子１側に移動する。

【００５８】次に、期間Ｔ２の間、図１３（ｉ）に示す
ようにＭ電極２２Ｍに正の電圧、図１３（ｊ）に示すよ
うにＮ電極２２Ｎに負の電圧が印加される。このとき、
Ｍ電極２２Ｍ、第６電極３４、Ｎ電極２２Ｎから構成さ
れる回路は、等価的に２つのキャパシタを含む直列回路
に相当し、Ｍ電極２２Ｍ、第６電極３４、Ｎ電極２２Ｎ
の経路で電気力線が生じる。この電気力線ができるだけ
縮もうとすることにより、Ｍ電極２２Ｍ及びＮ電極２２
Ｎと第６電極３４との間に静電吸引力が働き、可動子３
は、第２固定子２側に移動する。

【００５９】次に、必ずしも必要な工程ではないが、期
間Ｔ１における印加電圧の極性とは逆にＡ+電極１２Ａ+
に負の電圧、Ａ−電極１２Ａ−に正の電圧、Ｂ+電極１
２Ｂ+に負の電圧、Ｂ−電極１２Ｂ−に正の電圧が期間
Ｔ３の間印加され、引き続き期間Ｔ２における印加電圧
の極性とは逆に期間Ｔ４の間にＭ電極２２Ｍに負の電
圧、Ｎ電極２２Ｎに正の電圧が印加される。このように
期間Ｔ３，Ｔ４において期間Ｔ１，Ｔ２における印加電
圧の極性とは逆極性の直流電圧がＡ+電極１２Ａ+及びＡ
−電極１２Ａ−間、Ｂ+電極１２Ｂ+及びＢ−電極１２Ｂ
−間、Ｍ電極２２Ｍ及びＮ電極２２Ｎ間に印加されるこ
とにより、絶縁破壊対策として設けられた誘電体膜１
３，２３の誘電分極によって生じる帯電が放電され、誘
電分極による可動子３の移動動作の不安定化を防止する
ことができる。

【００６０】次に、期間Ｔ５の間に、図１３（ｂ）に示
すようにＢ+電極１２Ｂ+に正の電圧、図１３（ｄ）に示
すようにＢ−電極１２Ｂ−に負の電圧、図１３（ｅ）に
示すようにＣ+電極１２Ｃ+に正の電圧、図１３（ｆ）に
示すようにＣ−電極１２Ｃ−に負の電圧が印加される。
その結果、Ｂ+電極１２Ｂ+，Ｂ−電極１２Ｂ−，Ｃ+電
極１２Ｃ+，Ｃ−電極１２Ｃ−と第５電極３３間に静電
吸引力が働き、可動子３は、第１固定子１側に移動す
る。ここで、第１電極アレイ１２の電圧が印加されるＢ
+電極１２Ｂ+，Ｂ−電極１２Ｂ−，Ｃ+電極１２Ｃ+，Ｃ
−電極１２Ｃ−は、先に期間Ｔ１において電圧が印加さ
れたＡ+電極１２Ａ+，Ａ−電極１２Ａ−，Ｂ+電極１２
Ｂ+，Ｂ−電極１２Ｂ−に対して位置が１ピッチ（Ｐ）
分ずれて配置されていることから、可動子３は、第１固
定子１側に移動する際に１ピッチＰ分だけ右方向へ移動
することになる。次いで、図１３（ｉ）及び１３Ｊに示
すように期間Ｔ６の間にＭ電極２２Ｍに正の電圧、Ｎ電
極２２Ｎに負の電圧が印加されることにより、Ｍ電極２
２Ｍ及びＮ電極２２Ｎと第６電極３４との間に静電吸引
力が働き、可動子３は、第２固定子２側に移動する。

【００６１】さらに、期間Ｔ３，Ｔ４と同様に、期間Ｔ
５，Ｔ６における印加電圧の極性とは逆に、図１３
（ｃ）に示すようにＢ+電極１２Ｂ+に負の電圧、図１３
（ｄ）に示すようにＢ−電極１２Ｂ−に正の電圧、図１
３（ｅ）に示すようにＣ+電極１２Ｃ+に負の電圧、図１
３（ｆ）に示すようにＣ−電極１２Ｃ−に正の電圧が期
間Ｔ７の間印加される。その後、期間Ｔ８の間に図１３
（ｉ）及び図１３（ｊ）に示すように引き続きＭ電極２
２Ｍに負の電圧、Ｎ電極２２Ｎに正の電圧が印加され、
誘電体膜１３，２３の誘電分極による帯電がキャンセル
され、誘電分極による可動子３の移動動作の不安定化が
防止される。

【００６２】以下同様に、第１電極アレイ１２における
電極列１２−１のＡ+電極１２Ａ+，Ｂ+電極１２Ｂ+，Ｃ
+電極１２Ｃ+，Ｄ+電極１２Ｄ+及び電極列１２−２のＡ
−電極１２Ａ−，Ｂ−電極１２Ｂ−，Ｃ−電極１２Ｃ
−，Ｄ−電極１２Ｄ−がそれぞれ二組ずつ選択されて直
流電圧が印加される第１駆動動作と、Ｍ電極２２Ｍ，Ｎ
電極２２Ｎに直流電圧が印加される第２駆動動作が交互
に繰り返され、かつ電極列１２−１及び電極列１２−２
の直流電圧が印加される電極の位置を順次１ピッチＰ分
だけつづらして行われ（期間Ｔ９〜Ｔ１２）、期間Ｔ１
〜Ｔ１２で１周期Ｔの駆動動作が終了する。

【００６３】このような駆動動作によって、第１実施形
態と同様に可動子３は、微視的には第１固定子１と第２
固定子２との間で振動しつつ、巨視的には図１２で右方
向へ移動することになる。電極に直流電圧を印加する順
序を上記と逆にすれば、可動子３は、図１２で左方向に
移動する。

【００６４】本実施形態によれば、第１実施形態と同様
の効果が得られるほか、次のような特有の効果がある。
第１実施形態においては、第１電極アレイ１２の隣接す
る電極間を可動子３上の第５電極３３を経由して通過す
る電気力線Ｅ１，Ｅ３，…が第１固定子１と可動子３間
の静電吸引力に寄与する。第１電極アレイ１２を構成す
る電極の電気力線Ｅ１，Ｅ３，…の方向に沿った方向の
寸法（幅Ｗａ）は、第１固定子と可動子３間の距離に比
して十分に大きいことが望まれる。この幅Ｗａが小さい
と、電気力線Ｅ１，Ｅ３，…が減少し、第５電極３３を
経由することなく第１電極アレイ１２の隣接する電極の
端面間を通過する電気力線が相対的に増加してしまう。
第５電極３３を経由しない後者の電気力線は、第１固定
子１と可動子３間の静電吸引力に寄与しないので、その
割合が相対的に増えることは、可動子３に対する駆動力
の減少につながり、好ましくない。第１電極アレイ１２
の電極配列ピッチを大きくすれば電極の幅Ｗａを大きく
できるので、この問題は、解消されるが、電極配列ピッ
チを大きくすると可動子３の移動分解能が低下する、す
なわち１ステップ当たりの移動量が大きくなってしま
う。

【００６５】これに対して、第３の実施形態において
は、第１電極アレイ１２における電極列１２−１のＡ+
電極１２Ａ+，Ｂ+電極１２Ｂ+，Ｃ+電極１２Ｃ+，Ｄ+電
極１２Ｄ+と電極列１２−２のＡ−電極１２Ａ−，Ｂ−
電極１２Ｂ−，Ｃ−電極１２Ｃ−，Ｄ−電極１２Ｄ−と
の間を可動子３上の第５電極３３を経由して通過する電
気力線が第１固定子１と可動子３間の静電吸引力に寄与
する。この場合は、これらの電気力線の方向に沿った方
向のＡ+電極１２Ａ+，Ｂ+電極１２Ｂ+，Ｃ+電極１２Ｃ
+，Ｄ+電極１２Ｄ+、Ａ−電極１２Ａ−，Ｂ−電極１２
Ｂ−，Ｃ−電極１２Ｃ−，Ｄ−電極１２Ｄ−の寸法（長
さＷｂ）が第１固定子と可動子３間の距離に比して十分
に大きいことが望まれるが、この長さＷｂは、第１電極
アレイ１２の電極配列ピッチＰに左右されることなく容
易に大きくできる。従って、第５電極３３を経由するこ
となく第１電極アレイ１２の隣接する電極の端面間を通
過する電気力線が相対的に減少し、可動子３に対する駆
動力を大きくすることができる。

【００６６】（第４の実施形態）図１４は、この発明の
第４の実施形態に係る静電アクチュエータにおける第１
固定子１上の第１電極アレイ１２を示す平面図である。
同図１４に示されるように、第１電極アレイ１２は、そ
れぞれピッチＰで配列されたＡ+電極１２Ａ+，Ｂ+電極
１２Ｂ+からなる電極列１２−１、Ａ−電極１２Ａ−，
Ｂ−電極１２Ｂ−からなる電極列１２−２、Ｃ+電極１
２Ｃ+，Ｄ+電極１２１２Ｄ+からなる電極列１２−３、
及びＣ−電極１２Ｃ−，Ｄ−電極１２Ｄ−からなる電極
列１２−４を有し、これらが図で上から電極列１２−
１，１２−４，１２−３，１２−２の順で配置されてい
る。

【００６７】電極列１２−１と電極列１２−２は、電気
的にペアの関係にあり、各電極は、Ｘ方向に所定ピッチ
Ｐかつ同一位相で配列される。電極列１２−３と電極列
１２−４も電気的にペアの関係にあり、各電極は、Ｘ方
向に所定ピッチＰかつ同一位相で配列されるが、その位
相は、電極列１２−１及び電極列１２−２に対して１／
２ピッチ（Ｐ／２）だけずれている。

【００６８】一方、第２固定子２上の第２電極アレイ２
２については、第１実施形態と同様、図２に示されるよ
うに２個の帯状のＭ，Ｎ電極２２Ｍ，２２Ｎを所定の間
隔で基板２１の長手方向（Ｘ方向）に沿って形成して構
成される。可動子３については、第１電極アレイ１２の
各電極列１２−１，１２−２，１２−３，１２−４にそ
れぞれ対応して前述した第５電極３３が４列設けられ
る。

【００６９】電極１２Ａ+，電極１２Ｂ+，電極１２Ｃ
+，電極１２Ｄ+，電極１２Ａ−，電極１２Ｂ−，電極１
２Ｃ−，電極１２Ｄ−は、第１実施形態における電極１
２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄに対応し、同一符号が付
される電極が共通接続されると共に、パッドＰ１，Ｐ
２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８を介して駆動
回路に接続される。

【００７０】本実施形態では、まずＡ+電極１２Ａ+に正
の電圧、Ａ−電極１２Ａ−に負の電圧が一定時間印加さ
れることによって、Ａ+電極１２Ａ+、第５電極３３、Ａ
−電極１２Ａ−の経路で電気力線が生じ、この電気力線
ができるだけ縮もうとすることによりＡ+電極１２Ａ+，
Ａ−電極１２Ａ−と第５電極３３間に静電吸引力が働
き、可動子３は、第１固定子１側に移動する。この後、
Ｍ電極２２Ｍに正の電圧、Ｎ電極２２Ｎに負の電圧が印
加されることによって、Ｍ電極２２Ｍ、第６電極３４、
Ｎ電極２２Ｎの経路で電気力線が生じ、この電気力線が
できるだけ縮もうとすることによりＭ電極２２Ｍ及びＮ
電極２２Ｎと第６電極３４との間に静電吸引力が働き、
可動子３は、第２固定子２側に移動する。

【００７１】次に、Ｃ+電極１２Ｃ+に正の電圧、Ｃ−電
極１２Ｃ−に負の電圧が一定時間印加されることによっ
てＣ+電極１２Ｃ+，Ｃ−電極１２Ｃ−と第５電極３３間
に静電吸引力が働き、可動子３は、第１固定子１側に移
動した後、Ｍ電極２２Ｍに負の電圧、Ｎ電極２２Ｎに正
の電圧が印加されることによってＭ電極２２Ｍ及びＮ電
極２２Ｎと第６電極３４との間に静電吸引力が働き、可
動子３は、第２固定子２側に移動する。ここで、第１電
極アレイ１２の電圧が印加されるＣ+電極１２Ｃ+，Ｃ−
電極１２Ｃ−は、先に電圧が印加されたＡ+電極１２Ａ
+，Ａ−電極１２Ａ−に対して位置が１／２ピッチ（Ｐ
／２）分ずれているので、可動子３は、第２固定子２側
に移動する際にＰ／２だけ右方向へ移動することにな
る。

【００７２】以下同様に、Ｂ+電極１２Ｂ+に正の電圧、
Ｂ−電極１２Ｂ−に負の電圧が一定時間印加されること
によってＢ+電極１２Ｂ+，Ｂ−電極１２Ｂ−と第５電極
３３間の静電吸引力で可動子３が第１固定子１側に移動
した後、Ｍ電極２２Ｍに正の電圧、Ｎ電極２２Ｎに負の
電圧が印加されることによってＭ電極２２Ｍ及びＮ電極
２２Ｎと第６電極３４との間の静電吸引力で可動子３が
第２固定子２側に移動し、さらにＤ+電極１２Ｄ+に正の
電圧、Ｄ−電極１２Ｄ−に負の電圧が一定時間印加され
ることによってＤ+電極１２Ｄ+，Ｄ−電極１２Ｄ−と第
５電極３３間の静電吸引力で可動子３が第１固定子１側
に移動した後、Ｍ電極２２Ｍに負の電圧、Ｎ電極２２Ｎ
に正の電圧が印加されることによってＭ電極２２Ｍ及び
Ｎ電極２２Ｎと第６電極３４との間の静電吸引力で可動
子３が第２固定子２側に移動するという駆動動作が行わ
れる。

【００７３】このような駆動動作によって、第１実施形
態と同様に可動子３は、微視的には第１固定子１と第２
固定子２との間で振動しつつ、巨視的には図１４で右方
向へ移動することになる。電極に直流電圧を印加する順
序を上記と逆にすれば、可動子３は、図１０で左方向に
移動する。

【００７４】本実施形態によっても、第１実施形態と同
様の効果が得られる。また、第１実施形態では、可動子
３の移動分解能（１ステップ当たりの移動距離）が第１
電極アレイ１２の電極配列ピッチＰと等しかったのに対
し、第３の実施形態における可動子３の移動分解能は、
第１電極アレイ１２の電極配列ピッチＰの１／２となる
ため、より精度の良い移動が可能となる。

【００７５】また、本実施形態では、電極とパッド間の
接続は、立体配線ではなく、平面配線が可能となり、よ
り量産性の向上が図られる。

【００７６】（第５の実施形態）図１５は、この発明の
第５の実施形態に係る静電アクチュエータにおける第１
固定子１上の第１電極アレイ１２を示す平面図である。
本実施形態では、第３の実施形態で説明した第１電極ア
レイ１２にさらに２列の電極列を追加している。すなわ
ち、第１電極アレイ１２は、それぞれピッチＰで配列さ
れたＡ+電極１２Ａ+，Ｂ+電極１２Ｂ+からなる電極列１
２−１、Ａ−電極１２Ａ−，Ｂ−電極１２Ｂ−からなる
電極列１２−２、Ｃ+電極１２Ｃ+，Ｄ+電極１２Ｄ+から
なる電極列１２−３、Ｃ−電極１２Ｃ−，Ｄ−電極１２
Ｄ−からなる電極列１２−４、電極１２Ｅ+，１２Ｆ+か
らなる電極列１２−５及び電極１２Ｅ−，１２Ｆ−から
なる電極列１２−６を有し、これらが図１５において上
から電極列１２−１，１２−４，１２−５，１２−６，
１２−３，１２−２の順で配置されている。

【００７７】電極列１２−１と電極列１２−２は、電気
的にペアの関係にあり、各電極は、Ｘ方向に所定ピッチ
Ｐかつ同一位相で配列される。電極列１２−３と電極列
１２−４も電気的にペアの関係にあり、各電極は、Ｘ方
向に所定ピッチＰかつ同一位相で配列されるが、その位
相は、電極列１２−１及び電極列１２−２に対して１／
３ピッチ（Ｐ／３）だけずれている。また、電極列１２
−５と電極列１２−６も電気的にペアの関係にあり、各
電極は、Ｘ方向に所定ピッチＰかつ同一位相で配列され
るが、その位相は、電極列１２−３及び電極列１２−４
に対してさらに１／３ピッチ（Ｐ／３）、従って電極列
１２−１及び電極列１２−２に対しては、２／３ピッチ
（２Ｐ／３）だけずれている。

【００７８】一方、第２固定子２上の第２電極アレイ２
２については、第１実施形態と同様、図２に示されるよ
うに２個の帯状のＭ，Ｎ電極２２Ｍ，２２Ｎを所定の間
隔で基板２１の長手方向（第１方向）に沿って形成して
構成される。可動子３については、第１電極アレイ１２
の各電極列１２−１，１２−２，１２−３，１２−４，
１２−５，１２−６にそれぞれ対応して前述した第３電
極３４が６列設けられる。

【００７９】電極１２Ａ+，１２Ｂ+，１２Ｃ+，１２Ｄ
+，１２Ｅ+，１２Ｆ+，１２Ａ−，１２Ｂ−，１２Ｃ
−，１２Ｄ−，１２Ｅ−，１２Ｆ−は、それぞれ１２Ａ
+，１２Ｂ+，１２Ｃ+，１２Ｄ+，１２Ｅ+，１２Ｆ+，１
２Ａ−，１２Ｂ−，１２Ｃ−，１２Ｄ−，１２Ｅ−，１
２Ｆ−のグループに属しており、これらの電極は、対応
する電極グループ毎に共通接続されると共に、パッドＰ
１〜Ｐ１２を介して図示しない駆動回路に接続される。

【００８０】本実施形態では、まずＡ+電極１２Ａ+に正
の電圧、Ａ−電極１２Ａ−に負の電圧が一定時間印加さ
れることによって電極１２Ａ+，１２Ａ−と第５電極３
３間に静電吸引力が働き、可動子３は、第１固定子１側
に移動する。この後、Ｍ電極２２Ｍに正の電圧、Ｎ電極
２２Ｎに負の電圧が印加されることによって、Ｍ電極２
２Ｍ及びＮ電極２２Ｎと第６電極３４との間に静電吸引
力が働き、可動子３は、第２固定子２側に移動する。

【００８１】次に、Ｃ+電極１２Ｃ+に正の電圧、Ｃ−電
極１２Ｃ−に負の電圧が一定時間印加されることによっ
てＣ+電極１２Ｃ+，Ｃ−と第５電極３３間に静電吸引力
が働き、可動子３は、第１固定子１側に移動した後、Ｍ
電極２２Ｍに負の電圧、Ｎ電極２２Ｎに正の電圧が印加
されることによってＭ電極２２Ｍ及びＮ電極２２Ｎと第
６電極３４との間静電吸引力が働き、可動子３は、第２
固定子２側に移動する。次に、電極Ｅ+に正の電圧、電極
Ｆ−に負の電圧が一定時間印加されることによって電極
Ｅ+，Ｅ−と第５電極３３間に静電吸引力が働き、可動
子３は、第１固定子１側に移動した後、Ｍ電極２２Ｍに
正の電圧、Ｎ電極２２Ｎに負の電圧が印加されることに
よってＭ電極２２Ｍ及びＮ電極２２Ｎと第６電極３４と
の間静電吸引力が働き、可動子３は、第２固定子２側に
移動する。

【００８２】次に、電極１２Ｆ+に正の電圧、電極１２
Ｆ−に負の電圧が一定時間印加されることによって電極
１２Ｆ+，１２Ｆ−と第５電極３３間に静電吸引力が働
き、可動子３は、第１固定子１側に移動した後、Ｍ電極
２２Ｍに負の電圧、Ｎ電極２２Ｎに正の電圧が印加され
ることによってＭ電極２２Ｍ及びＮ電極２２Ｎと第６電
極３４との間静電吸引力が働き、可動子３は、第２固定
子２側に移動する。

【００８３】このような駆動動作が繰り返されることに
よって、第１実施形態と同様に可動子３は、微視的には
第１固定子１と第２固定子２との間で振動しつつ、巨視
的には図１５で右方向へ移動する。電極に直流電圧を印
加する順序を上記と逆にすれば、可動子３は、図１５で
左方向に移動する。

【００８４】本実施形態によっても、第１実施形態と同
様の効果が得られるほか、可動子３の移動分解能は、第
１電極アレイ１２の電極配列ピッチＰの１／３となるた
め、さらに精度の良い移動が可能となる。本実施形態の
考えを拡張し、第１電極アレイをさらに多数からなる電
極列にすることもできる。電極列をｎ列（但し、ｎは、
偶数）とすれば、電極配列ピッチＰの１／（ｎ／２）だ
け各電極列の位相を第１方向にずらせることにより、移
動分解能をさらに上げることができる。

【００８５】また、本実施形態によれば、第３の実施形
態と同様に立体配線を必要としないため、量産性を向上
させることができる。

【００８６】（第６の実施形態）図１６（ａ）及び図１
６（ｂ）は、この発明の第６の実施形態に係る第１固定
子１上の第１電極アレイ１２及び第２固定子２上の第２
電極アレイ２２を示す平面図である。第１電極アレイ１
２は、図１６（ａ）に示されるようにそれぞれピッチＰ
でＸ方向に配列されたＡ+電極１２Ａ+，Ｂ+電極１２Ｂ+
からなる電極列１２−１とＡ−電極１２Ａ−，Ｂ−電極
Ｂ−からなる電極列１２−２を有する。第２電極アレイ
２２は、図１６（ｂ）に示されるようにそれぞれピッチ
Ｐで第１方向に配列されたＣ+電極２２Ｃ+，Ｄ+電極１
２Ｄ+からなる電極列２２−１とＣ−電極２２Ｃ−，Ｄ
−電極１２Ｄ−からなる電極列２２−２を有する。但
し、第２電極アレイ２２の電極は、第１電極アレイ１２
の電極に対して位相が１／２ピッチ（Ｐ／２）だけずれ
ている。

【００８７】電極１２Ａ+及び電極１２Ｂ+、は、夫々電
極１２Ａ−、電極１２Ｂ−に対応的に駆動され、電極１
２Ａ+、電極１２Ｂ+、電極１２Ａ−、電極１２Ｂ−は、
夫々共通接続されると共に、パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，
Ｐ４を介して図示しない駆動回路に接続されている。同
様に、電極２２Ｃ+，電極１２Ｄ+は、同様に夫々電極２
２Ｃ−，電極１２Ｄ−に対応し、電極１２Ｃ+，電極１
２Ｄ+、電極２２Ｃ−，電極１２Ｄ−は、共通接続され
ると共に、パッドＰ５，Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８を介して図示
しない駆動回路に接続される。

【００８８】次に、図１７（ａ）〜図１７（ｈ）に示す
タイムチャートを参照して本実施形態の静電アクチュエ
ータの動作を説明する。図１７（ａ）〜１７Ｈは、電極
１２Ａ+，電極１２Ａ−，電極１２Ｂ+，電極１２Ｂ−，
電極２２Ｃ+，電極２２Ｃ−，電極１２Ｄ+，電極１２Ｄ
−に印加される電圧波形を示している。

【００８９】まず、図１７（ａ）及び１７Ｈに示すよう
に期間Ｔ１の間に第１固定子１上のＡ+電極１２Ａ+に正
の電圧、Ａ−電極１２Ａ−に負の電圧が印加される。こ
のときＡ+電極１２Ａ+、第５電極３３、Ａ−電極１２Ａ
−の回路は、等価的に２つのキャパシタを含む直列回路
に相当し、Ａ+電極１２Ａ+、第５電極３３、Ａ−電極１
２Ａ−の経路で電気力線が生じる。この電気力線ができ
るだけ縮もうとすることによって、Ａ+電極１２Ａ+，Ａ
−電極１２Ａ−と第５電極３３間に静電吸引力が働き、
可動子３は、第１固定子１側に移動する。

【００９０】次に、図１７（ｅ）及び１７（ｈ）に示す
ように期間Ｔ２の間に第２固定子２上のＣ+電極２２Ｃ+
に正の電圧、Ｃ−電極２２Ｃ−に負の電圧が一定時間印
加される。このときＣ+電極２２Ｃ+、第６電極３４、Ｃ
−電極２２Ｃ−の回路は、等価的に２つのキャパシタを
含む直列回路に相当し、Ｃ+電極２２Ｃ+、第６電極３
４、Ｃ−電極２２Ｃ−の経路で電気力線が生じる。この
電気力線ができるだけ縮もうとすることによって、Ｃ+
電極２２Ｃ+，Ｃ−電極２２Ｃ−と第６電極３４間に静
電吸引力が働き、可動子３は、第２固定子２側に移動す
る。ここで、Ｃ+電極２２Ｃ+，Ｃ−は、Ａ+電極１２Ａ
+，Ａ−電極１２Ａ−に対して位相がＰ／２だけずれて
いるので、可動子３は、第２固定子２側に移動する際に
図１６でＰ／２だけ右方向へ移動することになる。

【００９１】次に、図１７（ｃ）及び１７（ｄ）に示す
ように期間Ｔ３の間に第１固定子１上のＢ+電極１２Ｂ+
に正の電圧、Ｂ−電極１２Ｂ−に負の電圧が一定時間印
加されることにより、Ｂ+電極１２Ｂ+、第５電極３３、
Ｂ−電極１２Ｂ−の経路で電気力線が生じてＢ+電極１
２Ｂ+，Ｂ−と第５電極３３間に静電吸引力が働き、可
動子３は、第１固定子１側に移動するが、Ｂ+電極１２
Ｂ+，Ｂ−は、Ａ+電極１２Ａ+，Ａ−電極１２Ａ−に対
して位相がＰ／２だけずれているので、可動子３は、第
１固定子２側に移動する際に図１６でＰ／２だけ右方向
へ移動することになる。

【００９２】次に、図１７（ｇ）及び１７（ｈ）に示す
ように期間Ｔ４の間に第２固定子２上のＤ+電極１２Ｄ+
に正の電圧、Ｄ−電極１２Ｄ−に負の電圧が一定時間印
加されることにより、Ｄ+電極１２Ｄ+、第６電極３４、
Ｄ−電極１２Ｄ−の経路で電気力線が生じてＤ+電極１
２Ｄ+，Ｄ−電極１２Ｄ−と第６電極３４間に静電吸引
力が働き、可動子３は、第２固定子２側に移動するが、
Ｄ+電極１２Ｄ+，Ｄ−電極１２Ｄ−は、Ｃ+電極２２Ｃ
+，Ｃ−電極２２Ｃ−に対して位相がＰ／２だけずれて
いるので、可動子３は、第２固定子２側に移動する際に
図１６でＰ／２だけ右方向へ移動することになる。

【００９３】このような駆動動作によって、第１実施形
態と同様に可動子３は、微視的には第１固定子１と第２
固定子２との間で振動しつつ、巨視的には図１６で右方
向へ移動することになる。電極に直流電圧を印加する順
序を上記と逆にすれば、可動子３は、図１６で左方向に
移動する。

【００９４】以下、同様にＡ+電極１２Ａ+，Ａ−電極１
２Ａ−間、Ｂ+電極１２Ｂ+，Ｂ−電極１２Ｂ−間、Ｃ+
電極２２Ｃ+，Ｃ−電極２２Ｃ−間、Ｄ+電極１２Ｄ+，
Ｄ−電極１２Ｄ−間に順次直流電圧が印加され（期間Ｔ
４〜Ｔ８）、期間Ｔ１〜Ｔ８で１周期Ｔの駆動動作が終
了する。但し、図１７（ａ）〜１７（ｈ）に示されるよ
うに期間Ｔ４〜Ｔ８においては、期間Ｔ１〜Ｔ４と逆極
性の直流電圧が印加されることにより、先と同様に誘電
体膜１３，２３の誘電分極による帯電がキャンセルさ
れ、誘電分極による可動子３の移動動作の不安定化が防
止される。

【００９５】（第７の実施形態）図１８は、この発明の
第７の実施形態に係る第１固定子１上の第１電極アレイ
１２を示す平面図である。本実施形態における第１電極
アレイ１２は、第６の実施形態におけるＡ+電極１２Ａ
+，Ｂ+電極１２Ｂ+からなる電極列１２−１を２つから
なる電極列１２−１Ａ，１２−１Ｂに分割し、これらか
らなる電極列１２−１Ａ，１２−１ＢをＡ−電極１２Ａ
−，Ｂ−電極１２Ｂ−からなる電極列１２−２の両側に
配置した点が第５の実施形態と異なっている。

【００９６】この第１電極アレイ１２においては、既に
述べたと同様に電極１２Ａ+及び電極１２Ｂ+は、夫々電
極１２Ａ−及び電極１２Ｂ−に対応的に駆動されるよう
に電極１２Ａ+、電極１２Ｂ+、電極１２Ａ−及び電極１
２Ｂ−は、夫々共通接続されると共に、パッドＰ１，Ｐ
２，Ｐ３，Ｐ４を介して図示しない駆動回路に接続され
ている。

【００９７】第２電極アレイ２２は、図１８に示される
と同様に３列の電極配列でも良く、図９に示すような１
列の電極配列２２或いは図１６（ｂ）に示されるような
２列の電極配列２２でも良い。また、第２電極アレイ２
２の電極２２Ｃ＋、２２Ｄ＋、２２Ｃ−、２２Ｄ−は、
第１電極アレイ１２の電極１２Ａ＋、１２Ｂ＋、１２Ａ
−、１２Ｂ−に対して位相が１／２ピッチ（Ｐ／２）だ
けずれて配置されている。

【００９８】この第１電極アレイ１２においては、既に
述べたと同様に電極１２Ａ+、電極１２Ｂ+及び電極１２
Ｃ＋は、夫々電極１２Ａ−，電極１２Ｂ−及び電極１２
Ｃ−に対応的に駆動されるように電極１２Ａ+，電極１
２Ｂ+，電極１２Ｃ＋、電極１２Ａ−，電極１２Ｂ−、
電極１２Ｃ−は、夫々共通接続されると共に、パッドＰ
１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６を介して図示しない
駆動回路に接続されている。同様に、電極２２Ｃ+，電
極１２Ｄ+は、同様に夫々電極２２Ｃ−，電極１２Ｄ−
に対応し、電極１２Ｃ+，電極１２Ｄ+、電極２２Ｃ−，
電極１２Ｄ−は、共通接続されると共に、パッドＰ５，
Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８を介して図示しない駆動回路に接続さ
れる。

【００９９】図１８に示すような第１電極アレイ１２を
有する第１の固定子１及び図１６（ｂ）に示されるよう
な２列の電極配列２２を有する第２の固定子２を具備し
た静電アクチュエータの動作について、図１９（ａ）〜
図１９（ｈ）を参照して下記に説明する。

【０１００】駆動指令信号Ｓ１及び方向指示信号Ｓ２が
入力されると、この駆動指令信号Ｓ１及び方向指示信号
Ｓ２に応答して、図１９（ａ）及び図１９（ｂ）に示す
ように直流電圧源４１からスイッチ回路４３を介してＡ
＋電極１２Ａ＋に正の電圧、Ａ−電極１２Ａ−に負の電
圧が一定の期間Ｔ１の間印加される。このときＡ＋電極
１２Ａ＋、第５電極３３、Ａ−電極１２Ａ−で構成され
る回路は、既に説明したように等価的に２つのキャパシ
タを含む直列回路に相当する。従って、Ａ＋電極１２Ａ
＋及びＡ−電極１２Ａ−と第５電極３３との間に静電吸
引力が働き、可動子３は、第１固定子１側に移動され
る。

【０１０１】次に、図１９（ｅ）及び１９（ｆ）に示す
ように直流電圧源４２からスイッチ回路４４を介して期
間Ｔ２の間、Ｃ＋電極２２Ｃ＋に正の電圧、Ｃ−電極２
２Ｃ−に負の電圧が印加される。このとき同様にＣ＋電
極２２Ｃ＋、第６電極３４、Ｃ−電極２２Ｃ−で構成さ
れる回路は、等価的に２つのキャパシタを含む直列回路
に相当する。従って、Ｃ＋電極２２Ｃ＋及びＣ−電極２
２Ｃ−と第６電極３４との間に静電吸引力が働き、可動
子３は、第２固定子２側に移動される。

【０１０２】ここで、第１電極アレイ１２の電圧が印加
されるＣ＋電極２２Ｃ＋及びＣ−電極２２Ｃ−は、先に
期間Ｔ１において電圧が印加されたＡ＋電極１２Ａ＋及
びＡ−電極１２Ａ−に対して１／２ピッチ（Ｐ）だけず
れて配置されている。従って、可動子３は、第１固定子
２側に移動する際に１／２ピッチＰ分だけ右方向へ移動
される。

【０１０３】次に、図１９（ｃ）及び図１９（ｄ）に示
すようにＢ＋電極１２Ｂ＋に正の電圧、Ｂ−電極１２Ｂ
−に負の電圧が期間Ｔ３の間印加され、これによりＢ＋
電極１２Ｂ＋、第５電極３３、Ｂ−電極１２Ｂ−の経路
で電気力線Ｅ３が発生し、Ｂ＋電極１２Ｂ＋及びＢ−電
極１２Ｂ−と第５電極３３との間に静電吸引力が働き、
可動子３は、第１固定子１側に移動する。従って、可動
子３は、駆動開始前に比べて第１固定子２側に移動する
際に１ピッチＰ分だけ右方向へ移動することになる。

【０１０４】次に、図１９（ｅ）及び図１９（ｆ）に示
されるようにＤ＋電極２２Ｄ＋に正の電圧、Ｄ−電極２
２Ｄ−に負の電圧が期間Ｔ４の間印加され、これにより
Ｄ＋電極２２Ｄ＋、第６電極３４、Ｄ−電極２２Ｄ−の
経路で電気力線が発生し、Ｄ＋電極２２Ｄ＋及びＤ−電
極２２Ｄ−と第６電極３４との間に静電吸引力が働き、
可動子３は、第２固定子２側に移動する。

【０１０５】以下、期間Ｔ５の間に図１９（ａ）及び図
１９（ｂ）に示されるように１２Ａ−電極１２Ａ−に正
の電圧、１２Ａ＋電極１２Ａ＋に負の電圧が印加され、
次に図１９（ｅ）及び図１９（ｆ）に示されるように期
間Ｔ６の間にＣ−電極２２Ｃ−に正の電圧、Ｃ＋電極２
２Ｃ＋に負の電圧が印加される。次に、期間Ｔ７の間に
図１９（ｃ）及び図１０（ｄ）に示されるようにＢ−電
極１２Ｂ−に正の電圧、Ｂ＋電極１２Ｂ＋に負の電圧が
印加され、次に期間Ｔ８の間に図１９（ｇ）及び図１９
（ｈ）に示されるようにＤ−電極２２Ｄ−に正の電圧、
Ｄ＋電極２２Ｄ＋に負の電圧が印加されるという動作が
順次行われ、期間Ｔ１〜Ｔ８で１周期Ｔの動作が終了す
る。

【０１０６】このような動作により、可動子３は、微視
的には第１固定子１と第２固定子２間で振動しながら、
巨視的には第１固定子１上の電極アレイ１２の電極配列
方向（Ｘ方向）、この例では、図８で右方向に移動す
る。

【０１０７】また、図８中で左方向への移動を指示する
方向指示信号Ｓ２が入力された場合には、図１９（ａ）
〜図１９（ｈ）において期間Ｔ８から期間Ｔ１に向かう
ように、上記と逆の電圧印加パターンで、対応する電極
に電圧が印加されることにより、可動子３は、微視的に
は第１固定子１と第２固定子２間で振動しながら、巨視
的には図８で左方向に順次移動することになる。

【０１０８】図１８に示した実施形態によると、第１〜
第５の実施形態と同様の効果に加えて、次のような特有
の効果を期待することができる。第１〜第５の実施形態
によると、第１固定子１及び第２固定子２と可動子３と
の間に働く静電吸引力が最大となる位置がＹ方向の中心
にあるため、可動子３は、Ｙ方向の中心を軸として左右
に揺動する可能性がある。これに対し、第６の実施形態
によると静電吸引力が最大となる位置は、Ｙ方向の固定
子１の中心から左右にずれた二箇所に存在するため、可
動子３が揺動を起こしにくくなる。このように本実施形
態によれば、第１〜第５の実施形態に比較して可動子３
の挙動及び姿勢の安定化を図ることができるという利点
がある。

【０１０９】（第８の実施形態）図２０は、第８の実施
形態に係る第１固定子１上の第１電極アレイ１２を示し
ている。この図２０に示される第１電極アレイ１２で
は、図１８に示す電極アレイ１２と同様に３列の電極列
１２−２，１２−１Ａ，１２−１Ｂを有している。図２
０に示される第１電極アレイ１２では、図１８に示す電
極配列とは異なり、その電極の結線が異なっている。即
ち、電極列１２−２では、Ａ−電極１２Ａ−、Ｂ−電極
１２Ｂ−、Ｃ−電極１２Ｃ−が周期的に配列され、夫々
対応するＡ−電極１２Ａ−、Ｂ−電極１２Ｂ−、Ｃ−電
極１２Ｃ−に共通接続され、対応するパッドＰ３，Ｐ
４，Ｐ６を介して図示しない駆動回路に接続されてい
る。また、電極列１２−１Ａ，１２−１Ｂでは、Ａ＋電
極１２Ａ＋、Ｂ＋電極１２Ｂ＋、Ｃ＋電極１２Ｃ＋が周
期的に配列され、夫々対応するＡ＋電極１２Ａ＋、Ｂ＋
電極１２Ｂ＋、Ｃ＋電極１２Ｃ＋に共通接続され、対応
するパッドＰ１，Ｐ２，Ｐ５を介して図示しない駆動回
路に接続されている。

【０１１０】一方、第２固定子２上の第２電極アレイ
は、図２に示す第１の実施形態と同様に電極２２Ｍ、２
２ＮがＸ方向に延出された構造を有している。

【０１１１】図２０に示すような第１電極アレイ１２を
有する第１の固定子１及び図２に示されるような電極２
２Ｍ、２２ＮがＸ方向に延出された電極配列２２を有す
る第２の固定子２を具備した静電アクチュエータの動作
について、図２１（ａ）〜図２１（ｈ）を参照して下記
に説明する。

【０１１２】駆動指令信号Ｓ１及び方向指示信号Ｓ２が
入力されると、この駆動指令信号Ｓ１及び方向指示信号
Ｓ２に応答して、図２１（ａ）及び図２１（ｂ）に示す
ように直流電圧源４１からスイッチ回路４３を介してＡ
＋電極１２Ａ＋に正の電圧、Ａ−電極１２Ａ−に負の電
圧が一定の期間Ｔ１の間印加される。このときＡ＋電極
１２Ａ＋、第５電極３３、Ａ−電極１２Ａ−で構成され
る回路は、既に説明したように等価的に２つのキャパシ
タを含む直列回路に相当する。従って、Ａ＋電極１２Ａ
＋及びＡ−電極１２Ａ−と第５電極３３との間に静電吸
引力が働き、可動子３は、第１固定子１側に移動され
る。

【０１１３】次に、図２１（ｇ）及び２１（ｈ）に示す
ように直流電圧源４２からスイッチ回路４４を介して期
間Ｔ２の間、Ｍ電極２２Ｍに正の電圧、Ｎ電極２２Ｎに
負の電圧が印加される。このとき同様にＭ電極２２Ｍ、
第６電極３４、Ｎ電極２２Ｎで構成される回路は、等価
的に２つのキャパシタを含む直列回路に相当する。従っ
て、Ｍ電極２２Ｍ及びＮ電極２２Ｎと第６電極３４との
間に静電吸引力が働き、可動子３は、第２固定子２側に
移動される。

【０１１４】次に、図２１（ｃ）及び図２１（ｄ）に示
すようにＢ＋電極１２Ｂ＋に正の電圧、Ｂ−電極１２Ｂ
−に負の電圧が期間Ｔ３の間印加され、これによりＢ＋
電極１２Ｂ＋、第５電極３３、Ｂ−電極１２Ｂ−の経路
で電気力線Ｅ３が発生し、Ｂ＋電極１２Ｂ＋及びＢ−電
極１２Ｂ−と第５電極３３との間に静電吸引力が働き、
可動子３は、第１固定子１側に移動する。従って、可動
子３は、駆動開始前に比べて第１固定子２側に移動する
際に１ピッチＰ分だけ右方向へ移動することになる。

【０１１５】次に、図２１（ｇ）及び図２１（ｈ）に示
されるようにＮ電極２２Ｎに正の電圧、Ｍ電極２２Ｍに
負の電圧が期間Ｔ４の間印加され、これによりＮ電極２
２Ｎ、第６電極３４、Ｍ電極２２Ｍの経路で電気力線が
発生し、Ｎ電極２２Ｎ及びＭ電極２２Ｍと第６電極３４
との間に静電吸引力が働き、可動子３は、第２固定子２
側に移動する。

【０１１６】以下、期間Ｔ５の間に図２１（ｅ）及び図
２１（ｆ）に示されるようにＣ＋電極１２Ｃ＋に正の電
圧、Ｃ−電極１２Ｃ−に負の電圧が印加され、次に図２
１（ｇ）及び図２１（ｈ）に示されるように期間Ｔ６の
間にＭ電極２２Ｍに正の電圧、Ｎ電極２２Ｎに負の電圧
が印加される。次に、期間Ｔ７の間に図２１（ａ）及び
図２１（ｂ）に示されるようにＡ−電極１２Ａ−に正の
電圧、１２Ａ＋電極１２Ａ＋に負の電圧が印加され、図
２１（ｇ）及び図２１（ｈ）に示されるように期間Ｔ８
の間にＭ電極２２Ｍに負の電圧、Ｎ電極２２Ｎに正の電
圧が印加される。次に期間Ｔ９の間に図２１（ｃ）及び
図２１（ｄ）に示されるようにＢ−電極２２Ｂ−に正の
電圧、Ｂ＋電極２２Ｂ＋に負の電圧が印加され、図２１
（ｇ）及び図２１（ｈ）に示されるように期間Ｔ１０の
間にＭ電極２２Ｍに正の電圧、Ｎ電極２２Ｎに負の電圧
が印加される。更に、期間Ｔ１１の間に図２１（ｅ）及
び図２１（ｆ）に示されるようにＣ−電極１２Ｃ−に正
の電圧、１２Ｃ＋電極１２Ｃ＋に負の電圧が印加され、
図２１（ｇ）及び図２１（ｈ）に示されるように期間Ｔ
１２の間にＭ電極２２Ｍに負の電圧、Ｎ電極２２Ｎに正
の電圧が印加される動作が順次行われ、期間Ｔ１〜Ｔ１
２で２周期２Ｔの動作が終了する。

【０１１７】このような動作により、可動子３は、微視
的には第１固定子１と第２固定子２間で振動しながら、
巨視的には第１固定子１上の電極アレイ１２の電極配列
方向（Ｘ方向）、この例では、図８で右方向に移動す
る。

【０１１８】また、図８中で左方向への移動を指示する
方向指示信号Ｓ２が入力された場合には、図２１（ａ）
〜図２１（ｈ）において期間Ｔ１２から期間Ｔ１に向か
うように、上記と逆の電圧印加パターンで、対応する電
極に電圧が印加されることにより、可動子３は、微視的
には第１固定子１と第２固定子２間で振動しながら、巨
視的には図８で左方向に順次移動することになる。

【０１１９】図２０に示した実施形態によると、第１〜
第５の実施形態と同様の効果に加えて、第７の実施形態
と同様に第１〜第５の実施形態に比較して可動子３の挙
動及び姿勢の安定化を図ることができる。

【０１２０】（第９の実施形態）図２２は、この発明の
第９の実施形態に係る第１固定子１上の第１電極アレイ
１２を示す平面図である。本実施形態における第１電極
アレイ１２は、第６の実施形態におけるＢ+電極１２Ｂ+
を第２方向Ｙに３分割し、これら３分割されたＢ−電極
１２Ｂ−をＡ+電極１２Ａ+の間に配置した点が第５の実
施形態と異なっている。分割されたＢ−電極１２Ｂ−
は、配線により共通に接続され、動作上は一つからなる
電極列として機能する。

【０１２１】一方、第２固定子２上の第２電極アレイ
は、図示していないが、第６の実施形態と同様に第１電
極アレイ１２の電極に対して位相を１／２ピッチ（Ｐ／
２）だけずらして構成される。

【０１２２】本実施形態における駆動動作は、図１８に
示した第７の実施形態と同様であり、図１９（ａ）〜図
１９（ｈ）に示すような電圧パターンで動作されるの
で、その説明を省略する。また、本実施形態に基づく効
果は、第６の実施形態と同様であるが、本実施形態の特
有の効果として、図１９から分かるようにＡ+電極１２
Ａ+及びＢ+電極１２Ｂ+の配線効率を上げることがで
き、基板１１の面積が同じであれば、電極の有効面積を
より大きくとることができるため、可動子３の駆動能力
がより向上することができる。

【０１２３】（第１０の実施形態）図２３は、この発明
の第１０の実施形態に係る第１固定子１上の第１電極ア
レイ１２を示す平面図である。この図２３に示される第
１電極アレイ１２では、図２２に示す電極アレイ１２と
同様の電極配列パターンを有しているが、図２２に示す
電極配列とは異なる結線で接続されている。即ち、図２
３に示される第１電極アレイ１２では、２電極１２Ａ
＋，１２Ａ−、３電極１２Ｂ−、１２＋，１２Ｂ−、２
電極１２Ｃ−,１２Ｃ−、３電極１２Ａ＋，１２Ａ−、
２電極１２Ｂ−、１２＋，１２Ｂ−及び３電極１２Ｃ
−,１２Ｃ−が周期的に配列され、夫々対応するＡ−電
極１２Ａ−、Ｂ−電極１２Ｂ−、Ｃ−電極１２Ｃ−に共
通接続され、対応するパッドＰ３，Ｐ４，Ｐ６を介して
図示しない駆動回路に接続されている。また、Ａ＋電極
１２Ａ＋、Ｂ＋電極１２Ｂ＋、Ｃ＋電極１２Ｃ＋が夫々
対応するＡ＋電極１２Ａ＋、Ｂ＋電極１２Ｂ＋、Ｃ＋電
極１２Ｃ＋に共通接続され、対応するパッドＰ１，Ｐ
２，Ｐ５を介して図示しない駆動回路に接続されてい
る。

【０１２４】一方、このような第１電極アレイ１２は、
図２に示す第１の実施形態と同様に電極２２Ｍ、２２Ｎ
がＸ方向に延出された構造を有する第２固定子２と組み
合わされて静電アクチュエータが構成される。

【０１２５】本実施形態における駆動動作は、図２０に
示した第８の実施形態と同様であり、図２１（ａ）〜図
２１（ｈ）に示すような電圧パターンで動作されるの
で、その説明を省略する。また、本実施形態に基づく効
果は、第９の実施形態と同様であり、可動子３の駆動能
力を向上することができる。

【０１２６】（第１１の実施形態）図２４は、この発明
の第１１の実施形態における第２固定子２上の第２電極
アレイ２２の構成を示す平面図である。この第２電極ア
レイ２１は、第１実施形態における第２電極アレイ２２
を構成するＭ，Ｎ電極２２Ｍ，２２Ｎをそれぞれ櫛歯状
電極とし、これらを非接触で噛み合わせて構成される。
このような構成としても、第１実施形態における第２電
極アレイ２２と同様の効果が得られる。

【０１２７】（第１２の実施形態）次に、この発明に係
る静電アクチュエータの応用例について説明する。この
発明に係る静電アクチュエータは、低消費電力で効率の
良い駆動特性が得られるため、例えば小型電子カメラの
焦点調節機構としての利用に適している。

【０１２８】図２５は、この発明による静電アクチュエ
ータを焦点調節機構に用いた小型電子カメラのモジュー
ル部分を示している。焦点調節機構に適用される静電ア
クチュエータは、既に述べた何れの実施形態に係る構造
を有するものであっても良い。図２５に示されるよう
に、基板１００上にＣＭＯＳもしくはＣＣＤにより構成
される固体撮像素子１０１が配置され、この上に静電ア
クチュエータ１０２が設けられている。この静電アクチ
ュエータ１０２は、図２５に示したように可動子３にレ
ンズ５を一体に設けたものである。また、基板１００上
には、静電アクチュエータ１０２の駆動回路４及び駆動
回路４を制御するためのＤＳＰ（ディジタルシグナルプ
ロセッサ）チップ等を含むＩＣチップ１０３が実装され
ている。

【０１２９】このような電子カメラモジュールは、図２
５中に示されるように極めて小型に構成できるため、携
帯電話機やディジタルカメラ等に好適である。

【０１３０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば可
動子への電気配線が不要であり、量産性及び信頼性に優
れ、小型化にも有利な静電アクチュエータを提供するこ
とができる。

【０１３１】また、電極上に形成された誘電体膜の誘電
分極による影響を除去することも容易であり、それによ
って安定した動作を実現することができる。

【０１３２】さらに、本発明によれば上述した静電アク
チュエータを焦点調節機構に用いることにより、極めて
小型に構成できる携帯電話機やディジタルカメラ等に好
適なカメラモジュールを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）及び（ｂ）は、この発明の第１実施形態
に係る静電アクチュエータの長手方向及びこれと直交す
る方向に沿う概略的断面図

【図２】図１に示す第１固定子及び第２固定子上の第１
電極アレイ及び第２電極アレイと駆動回路の構成を示す
概略図

【図３】（ａ）〜（ｆ）は、図１に示した静電アクチュ
エータの動作を説明するためのタイミングチャート

【図４】図１に示した静電アクチュエータの動作を説明
するための第１ステップでの様子を示す模式図

【図５】図１に示した静電アクチュエータの動作を説明
するための第２ステップでの様子を示す模式図

【図６】図１に示した静電アクチュエータの動作を説明
するための第３ステップでの様子を示す模式図

【図７】図１に示した静電アクチュエータの動作を説明
するための第４ステップでの様子を示す模式図

【図８】この発明の第２実施形態に係る静電アクチュエ
ータの長手方向に沿う概略的断面図

【図９】図８に示した第１固定子及び第２固定子上の第
１電極アレイ及び第２電極アレイと駆動回路の構成を示
す概略図

【図１０】（ａ）〜（ｈ）は、図８に示した静電アクチ
ュエータの動作を説明するためのタイミングチャート

【図１１】図８に示した静電アクチュエータの動作を説
明するための第１ステップでの様子を示す模式図

【図１２】この発明の第３の実施形態に係る静電アクチ
ュエータの第１固定子上の電極アレイの構成を概略的に
示す平面図

【図１３】（ａ）〜（ｊ）は、図１２に示した静電アク
チュエータの動作を説明するためのタイミングチャート

【図１４】この発明の第４の実施形態に係る静電アクチ
ュエータの第１固定子上の第１電極アレイの構成を概略
的に示す平面図

【図１５】この発明の第５の実施形態に係る静電アクチ
ュエータの第１固定子上の第１電極アレイの構成を概略
的に示す平面図

【図１６】この発明の第６の実施形態に係る静電アクチ
ュエータの第１固定子上の第１電極アレイの構成を概略
的に示す平面図

【図１７】（ａ）〜（ｈ）Ｈは、図１６に示した静電ア
クチュエータの動作を説明するためのタイミングチャー
ト

【図１８】この発明の第７の実施形態に係る静電アクチ
ュエータの第１固定子上の第１電極アレイの構成を概略
的に示す平面図

【図１９】（ａ）〜（ｈ）は、図１８に示した静電アク
チュエータの動作を説明するためのタイミングチャート

【図２０】この発明の第８の実施形態に係る静電アクチ
ュエータの第１固定子上の第１電極アレイの構成を概略
的に示す平面図

【図２１】（ａ）〜（ｈ）は、図２０に示した静電アク
チュエータの動作を説明するためのタイミングチャート

【図２２】この発明の第９の実施形態に係る静電アクチ
ュエータの第１固定子上の第１電極アレイの構成を概略
的に示す平面図

【図２３】この発明の第１０の実施形態に係る静電アク
チュエータの第１固定子上の第１電極アレイの構成を概
略的に示す平面図

【図２４】この発明の第１１の実施形態に係る静電アク
チュエータの第１固定子上の第１電極アレイの構成を概
略的に示す平面図

【図２５】この発明の第１２の実施形態としてこの発明
による静電アクチュエータの応用例である小型電子カメ
ラモジュールを示す図

【符号の説明】

１…第１固定子 ２…第２固定子 ３…可動子 ４…駆動回路 ５…レンズ １１…絶縁性基板 １２…第１電極アレイ １２−１〜１２−６…電極列 １３…誘電体膜 ２１…絶縁性基板 ２２…第２電極アレイ ２２−１，２２−２…電極列 ２３…誘電体膜 ３１…絶縁性基体 ３２…凸面 ３３…第３電極 ３４…第４電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 笠原 章裕 東京都港区芝浦一丁目１番１号 株式会 社東芝本社事務所内 (56)参考文献 特開 平11−281870（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−239578（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−38553（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−122948（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−206376（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−140367（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H02N 1/00 G02B 7/02 G02B 7/04 H04N 5/232

Claims (19)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１方向もしくは、第１方向及びこれと直
   交する第２方向に所定ピッチで配列された複数の電極か
   らなる第１電極アレイを有する第１固定子と、 前記第１固定子に対向して設けられ、前記第１方向及び
   これと直交する第２方向の少なくとも一方の方向に所定
   ピッチで配列された複数の電極からなる第２電極アレイ
   を有する第２固定子と、 前記第１固定子と前記第２固定子との間に配置され、少
   なくとも前記第１電極アレイ及び第２電極アレイにそれ
   ぞれ対向する位置に第３電極及び第４電極を有する可動
   子と、 前記第１電極アレイ及び第２電極アレイに接続された駆
   動回路とを備え、 前記駆動回路は、前記第１電極アレイの前記第１方向及
   び第２方向のいずれかの方向に並んだ電極間に第１直流
   電圧を印加する第１駆動動作と、前記第２電極アレイの
   前記第１方向及び第２方向のいずれかの方向に並んだ電
   極間に第２直流電圧を印加する第２駆動動作とを交互
   に、かつ前記第１駆動動作により前記第１直流電圧を印
   加する電極の位置を前記第１方向に順次ずらして繰り返
   し行うことを特徴とする静電アクチュエータ。
2. 【請求項２】前記第１電極アレイは、前記第１方向に複
   数個周期毎に離散した電極の集まりを１グループとした
   複数のグループに分割され、 前記駆動回路は、前記第１駆動動作時に前記第１電極ア
   レイの同一グループの電極に前記第１直流電圧を同時に
   印加する動作を、前記第１電極アレイのグループの位置
   を前記第１方向に順次ずらして繰り返し行うように構成
   される請求項１記載の静電アクチュエータ。
3. 【請求項３】第１方向に所定ピッチで配列され、かつ前
   記第１方向と直交する第２方向に所定の間隔を存して配
   置された複数の電極列からなる第１電極アレイを有する
   第１固定子と、 前記第１固定子に対向して設けられ、前記第１方向及び
   第２方向の少なくとも一方の方向に所定ピッチで配列さ
   れた複数の電極からなる第２電極アレイを有する第２固
   定子と、 前記第１固定子と前記第２固定子との間に配置され、少
   なくとも前記第１電極アレイ及び第２電極アレイにそれ
   ぞれ対向する位置に第３電極及び第４電極を有する可動
   子と、 前記第１電極アレイ及び第２電極アレイに接続された駆
   動回路とを備え、 前記駆動回路は、前記第１電極アレイの前記第２方向に
   おいて隣接する前記電極列の電極間に第１直流電圧を印
   加する第１駆動動作と、前記第２電極アレイの前記第１
   方向及び第２方向のいずれかの方向に並んだ電極間に第
   ２直流電圧を印加する第２駆動動作とを交互に、かつ前
   記第１駆動動作により前記第１直流電圧を印加する電極
   の位置を前記第１方向に順次ずらして繰り返し行う静電
   アクチュエータ。
4. 【請求項４】前記駆動回路は、前記第１駆動動作を前記
   電極列の前記第１方向において隣接する複数の電極につ
   いて同時に行う請求項３記載の静電アクチュエータ。
5. 【請求項５】前記第１電極アレイは、２つの電極列で各
   々構成されるペアを少なくとも２つ有し、各電極列の電
   極は各ペア内では同位相、各ベア間では異なる位相でそ
   れぞれ前記第１方向に配列され、 前記駆動回路は、前記第１駆動動作において前記各ペア
   の前記電極列の電極間に前記第１直流電圧を印加する請
   求項３記載の静電アクチュエータ。
6. 【請求項６】前記第１電極アレイの各々の電極列は、前
   記第１方向に複数個周期毎に離散した電極の集まりを１
   グループとした複数のグループにそれぞれ分割され、 前記駆動回路は、前記第１駆動動作に前記第１電極アレ
   イの各電極列の同一グループの電極と他の電極列の同一
   グループの電極との間に前記第１直流電圧を印加し、か
   つ該第１直流電圧を印加するグループの位置を前記第１
   方向に順次ずらして繰り返し行うように構成される請求
   項５記載の静電アクチュエータ。
7. 【請求項７】第１方向に所定ピッチで配列され、かつ前
   記第１方向と直交する第２方向に所定の間隔を存して配
   置された少なくとも２列の電極列からなる第１電極アレ
   イを有する第１固定子と、 前記第１固定子に対向して設けられ、前記第１方向に前
   記第１電極アレイと同一ピッチでかつ前記第１電極アレ
   イに対して位相をずらして配列されると共に、前記第２
   方向に所定の間隔を存して配置された少なくとも２列の
   電極列からなる第２電極アレイを有する第２固定子と、 前記第１固定子と前記第２固定子との間に配置され、少
   なくとも前記第１電極アレイ及び第２電極アレイにそれ
   ぞれ対向する面に第３電極及び第４電極を有する可動子
   と、 前記第１電極アレイ及び第２電極アレイに接続された駆
   動回路とを備え、 前記駆動回路は、前記第１電極アレイの前記第２方向に
   おいて隣接する電極間に第１直流電圧を印加する第１駆
   動動作と、前記第２電極アレイの前記第２方向において
   隣接する電極間に第２直流電圧を印加する第２駆動動作
   とを交互に、かつ前記第１駆動動作及び第２駆動動作に
   より前記第１直流電圧及び第２直流電圧を印加する電極
   の位置を前記第１方向に順次ずらして繰り返し行う静電
   アクチュエータ。
8. 【請求項８】前記第１電極アレイの各々の電極列及び前
   記第２電極アレイの各々の電極列は、前記第１方向に複
   数個周期毎に離散した電極の集まりを１グループとした
   複数のグループにそれぞれ分割され、 前記駆動回路は、前記第１駆動動作時に前記第１電極ア
   レイの各電極列の同一グループの電極と他の電極列の同
   一グループの電極との間に前記第１直流電圧を印加し、
   前記第２駆動動作時に前記第２電極アレイの各電極列の
   同一グループの電極と他の電極列の同一グループの電極
   との間に前記第２直流電圧を同時に印加し、前記第１駆
   動動作及び第２駆動動作により前記第１直流電圧及び第
   ２直流電圧を電極に印加するグループの位置を前記第１
   方向に順次ずらして繰り返し行うように構成されること
   を特徴とする請求項７記載の静電アクチュエータ。
9. 【請求項９】前記第１電極アレイは、３列の前記電極列
   を有し、 前記駆動回路は、前記第１駆動動作時に前記第１電極ア
   レイの中央の電極列の電極と両側の２つの電極列の電極
   との間に前記第１直流電圧を印加する請求項７記載の静
   電アクチュエータ。
10. 【請求項１０】前記第１固定子及び第２固定子は、前記
    第１電極アレイ及び第２電極アレイの電極表面を覆うよ
    うに設けられた誘電体膜を有する請求項１、３、７のい
    ずれか１項記載の静電アクチュエータ。
11. 【請求項１１】前記第１固定子及び第２固定子は、前記
    第１電極アレイ及び第２電極アレイの電極表面を覆うよ
    うに設けられた誘電体膜を有し、 前記駆動回路は、前記第１及び第２直流電圧を同一電極
    に対して交互に極性反転するように印加する請求項１、
    ３、７のいずれか１項記載の静電アクチュエータ。
12. 【請求項１２】少なくとも撮像素子を実装した基板と、 前記基板上に設けられた請求項１乃至１１のいずれか１
    項記載の静電アクチュエータと、 前記撮像素子への入射光路に配置されるように前記可動
    子に設けられたレンズとを具備するカメラモジュール。
13. 【請求項１３】第１方向に所定のピッチで配列された少
    なくとも第１、第２及び第３の電極を含む第１の電極配
    列を有する第１の固定子と、 空間を介して前記第１の固定子に対向して配置され、少
    なくとも第４及び第５の電極を含む第２の電極配列を有
    する第２の固定子と、 前記空間に配置され、前記第１の電極配列に対向する第
    １電極部及び前記第２の電極配列に対向する第２電極部
    を含み、この第１及び第２電極部が所定のフロート電位
    に維持されている可動子と、 前記所定のフロート電位よりも高い第１レベル及び前記
    所定のフロート電位よりも低い第２レベルを有する直流
    電圧信号を前記第１及び第２の電極配列に交互に印加す
    る駆動回路とを備えた静電アクチュエータであって、 前記駆動回路は、 第１の期間において、第１の直流電圧信号を前記第１の
    電極配列の隣接する第１及び第２の電極に印加し、この
    第１及び第２の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 第２の期間において、第２の直流電圧信号を前記第２の
    電極配列の隣接する第４及び第５の電極に印加し、この
    第４及び第５電極を夫々前記第１及び第２レベルに維持
    して前記可動子の前記第２電極部を引き付け、 第３の期間において、第３の直流電圧信号を前記第１の
    電極配列の隣接する第２及び第３の電極に印加し、この
    第２及び第３の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 前記第１、第２及び第３の直流電圧信号の印加に従って
    前記可動子を前記第１方向に移動させることを特徴とす
    る静電アクチュエータ。
14. 【請求項１４】第１方向に所定のピッチで配列された少
    なくとも第１、第２及び第３の電極を含む第１の電極配
    列を有する第１の固定子と、 空間を介して前記第１の固定子に対向して配置され、前
    記第１方向に延出されている少なくとも第４及び第５の
    電極を含む第２の電極配列を有する第２の固定子と、 前記空間に配置され、前記第１の電極配列に対向する第
    １電極部及び前記第２の電極配列に対向する第２電極部
    を含み、この第１及び第２電極部が所定のフロート電位
    に維持されている可動子と、 前記所定のフロート電位よりも高い第１レベル及び前記
    所定のフロート電位よりも低い第２レベルを有する直流
    電圧信号を前記第１及び第２の電極配列に交互に印加す
    る駆動回路とを備えた静電アクチュエータであって、 前記駆動回路は、 第１の期間において、第１の直流電圧信号を前記第１の
    電極配列の隣接する第１及び第２の電極に印加し、この
    第１及び第２の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 第２の期間において、第２の直流電圧信号を前記第２電
    極配列の第４及び第５電極に印加し、この第４及び第５
    電極を夫々前記第１及び第２レベルに維持して前記可動
    子の前記第２電極部を引き付け、 第３の期間において、第３の直流電圧信号を前記第１の
    電極配列の隣接する第２及び第３電極に印加し、この第
    ２及び第３の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維持
    して前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 第４の期間において、第４の直流電圧信号を前記第２の
    電極配列の隣接する第４及び第５の電極に印加し、この
    第４及び第５の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第２電極部を引き付け、 前記第１、第２、第３及び第４の直流電圧信号の印加に
    従って前記可動子を前記第１方向に移動させることを特
    徴とする静電アクチュエータ。
15. 【請求項１５】第１方向に所定のピッチで配列された少
    なくとも第１、第２及び第３の電極を含む第１の電極配
    列を有する第１の固定子と、 空間を介して前記第１の固定子に対向して配置され、前
    記第１方向に前記所定のピッチで配列される少なくとも
    第４、第５及び第６の電極を含む第２の電極配列を有す
    る第２の固定子と、 前記空間に配置され、前記第１の電極配列に対向する第
    １電極部及び前記第２の電極配列に対向する第２電極部
    を含み、この第１及び第２電極部が所定のフロート電位
    に維持されている可動子と、 前記所定のフロート電位よりも高い第１レベル及び前記
    所定のフロート電位よりも低い第２レベルを有する直流
    電圧信号を前記第１及び第２の電極配列に交互に印加す
    る駆動回路とを備えた静電アクチュエータであって、 前記駆動回路は、 第１の期間において、第１の直流電圧信号を前記第１の
    電極配列の隣接する第１及び第２の電極に印加し、この
    第１及び第２の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 第２の期間において、第２の直流電圧信号を前記第２の
    電極配列の隣接する第４及び第５の電極に印加し、この
    第４及び第５の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第２電極部を引き付け、 第３の期間において、第３の直流電圧信号を前記第１の
    電極配列の隣接する第２及び第３の電極に印加し、この
    第２及び第３の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 第４の期間において、第４の直流電圧信号を前記第２の
    電極配列の隣接する第５及び第６の電極に印加し、この
    第５及び第６の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第２電極部を引き付け、 前記第１、第２、第３及び第４の直流電圧信号の印加に
    従って前記可動子を前記第１方向に移動させることを特
    徴とする静電アクチュエータ。
16. 【請求項１６】第１方向に所定のピッチで配列された少
    なくとも第１、第２及び第３の電極を夫々含む実質的に
    平行な第１及び第２の電極配列を有する第１の固定子
    と、 空間を介して前記第１の固定子に対向して配置され、前
    記第１方向に延出されている少なくとも第４及び第５の
    電極を含む第３の電極配列を有する第２の固定子と、 前記空間に配置され、前記第１の電極配列に対向する第
    １電極部及び前記第２の電極配列に対向する第２電極部
    を含み、この第１及び第２電極部が所定のフロート電位
    に維持されている可動子と、 前記所定のフロート電位よりも高い第１レベル及び前記
    所定のフロート電位よりも低い第２レベルを有する直流
    電圧信号を前記第１及び第２の電極配列に交互に印加す
    る駆動回路とを備えた静電アクチュエータであって、 前記駆動回路は、 第１の期間において、第１の直流電圧信号を前記第１及
    び第２の電極配列の隣接する第１の電極に印加し、この
    隣接する第１の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 第２の期間において、第２の直流電圧信号を前記第３の
    電極配列の第４及び第５の電極に印加し、この第４及び
    第５の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維持して前
    記可動子の前記第２電極部を引き付け、 第３の期間において、第３の直流電圧信号を前記第１及
    び第２の電極配列の隣接する第２の電極に印加し、この
    隣接する第２の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 前記第１、第２、第３及び第４の直流電圧信号の印加に
    従って前記可動子を前記第１方向に移動させることを特
    徴とする静電アクチュエータ。
17. 【請求項１７】第１方向に所定のピッチで配列された少
    なくとも第１及び第２の電極を夫々含む実質的に平行な
    第１及び第２の電極配列を有する第１の固定子と、 空間を介して前記第１の固定子に対向して配置され、前
    記第１方向に前記所定のピッチで、前記第１及び第２の
    電極配列に対して１／２ピッチだけ位相差を与えて配列
    されている少なくとも第３及び第４の電極を夫々含む実
    質的に平行な第３及び第４の電極配列を有する第２の固
    定子と、 前記空間に配置され、前記第１の電極配列に対向する第
    １電極部及び前記第２の電極配列に対向する第２電極部
    を含み、この第１及び第２電極部が所定のフロート電位
    に維持されている可動子と、 前記所定のフロート電位よりも高い第１レベル及び前記
    所定のフロート電位よりも低い第２レベルを有する直流
    電圧信号を前記第１及び第２の電極配列並びに前記第３
    及び第４の電極配列に交互に印加する駆動回路とを備え
    た静電アクチュエータであって、 前記駆動回路は、 第１の期間において、第１の直流電圧信号を前記第１及
    び第２の電極配列の隣接する第１の電極に印加し、この
    隣接する第１の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 第２の期間において、第２の直流電圧信号を前記第３及
    び第４の電極配列の隣接する第３の電極に印加し、この
    隣接する第３の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 第３の期間において、第３の直流電圧信号を前記第１及
    び第２の電極配列の隣接する第２の電極に印加し、この
    隣接する第２の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 第４の期間において、第４の直流電圧信号を前記第３及
    び第４の電極配列の隣接する第４の電極に印加し、この
    隣接する第４の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維
    持して前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 前記第１、第２、第３及び第４の電圧信号の印加に従っ
    て前記可動子を前記第１方向に移動させることを特徴と
    する静電アクチュエータ。
18. 【請求項１８】第１方向に所定のピッチで配列された少
    なくとも第１及び第２の電極を夫々含む実質的に平行な
    第１、第２及び第３の電極配列を有する第１の固定子
    と、 空間を介して前記第１の固定子に対向して配置され、少
    なくとも第４及び第５の電極を含む第４の電極配列を有
    する第２の固定子と、 前記空間に配置され、前記第１の電極配列に対向する第
    １電極部及び前記第２の電極配列に対向する第２電極部
    を含み、この第１及び第２電極部が所定のフロート電位
    に維持されている可動子と、 前記所定のフロート電位よりも高い第１レベル及び前記
    所定のフロート電位よりも低い第２レベルを有する直流
    電圧信号を前記第１及び第２の電極配列並びに第４の電
    極配列に交互に印加する駆動回路とを備えた静電アクチ
    ュエータであって、 前記駆動回路は、 第１の期間において、第１の直流電圧信号を前記第１、
    第２及び第３の電極配列の隣接する第１の電極に印加
    し、前記第１及び第３の電極配列の第１の電極を夫々前
    記第１及び第２レベルの一方に、前記第２の電極配列の
    第１の電極を前記第１及び第２レベルの他方に維持して
    前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 第２の期間において、第２の直流電圧信号を前記第４の
    電極配列の第４及び第５の電極に印加し、この第４及び
    第５の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維持して前
    記可動子の前記第２電極部を引き付け、 第３の期間において、第３の直流電圧信号を前記第１、
    第２及び第３の電極配列の隣接する第２の電極に印加
    し、前記第１及び第３の電極配列の第２の電極を夫々前
    記第１及び第２レベルの一方に、前記第２の電極配列の
    第２の電極を前記第１及び第２レベルの他方に維持して
    前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 前記第１、第２及び第３の電圧信号の印加に従って前記
    可動子を前記第１方向に移動させることを特徴とする静
    電アクチュエータ。
19. 【請求項１９】実質的に平行な第１及び第２の電極配列
    並びに実質的に平行な第３，第４及び第５の電極配列を
    含み、この第１及び第２の電極配列の夫々が第１方向に
    所定のピッチで配列され、第１方向に直交する第２方向
    に一列に配置された第１及び第２の電極を含み、第３、
    第４及び第５の電極配列の夫々が第１方向に所定のピッ
    チで配列され、前記第１及び第２の電極配置列の間で前
    記第２方向に直線的に配置されている第３、第４及び第
    ５の電極を含む第１の固定子と、 空間を介して前記第１の固定子に対向して配置され、少
    なくとも第６及び第７の電極を含む第６の電極配列を有
    する第２の固定子と、 前記空間に配置され、前記第１の電極配列に対向する第
    １電極部及び前記第２の電極配列に対向する第２電極部
    を含み、この第１及び第２電極部が所定のフロート電位
    に維持されている可動子と、 前記所定のフロート電位よりも高い第１レベル及び前記
    所定のフロート電位よりも低い第２レベルを有する直流
    電圧信号を前記第１及び第２の電極配列並びに前記第
    ３，第４及び第５の電極配列の一方及び第４の電極配列
    に交互に印加する駆動回路とを備えた静電アクチュエー
    タにおいて、 前記駆動回路は、 第１の期間において、第１の直流電圧信号を前記第１及
    び第２の電極配列の第１及び第２の電極に印加し、前記
    第１及び第２の電極配列の第１の電極を夫々前記第１及
    び第２レベルに維持して前記可動子の前記第１電極部を
    引き付け、 第２の期間において、第２の直流電圧信号を前記第６の
    電極配列の第６及び第７の電極に印加し、この第６及び
    第７の電極を夫々前記第１及び第２レベルに維持して前
    記可動子の前記第２電極部を引き付け、 第３の期間において、第３の直流電圧信号を前記第３、
    第４及び第５の電極配列の第３、第４及び第５の電極に
    印加し、前記第３及び第５の電極配列の第３及び第５の
    電極を夫々前記第１及び第２レベルの一方に、前記第４
    の電極配列の第４の電極を前記第１及び第２レベルの他
    方に維持して前記可動子の前記第１電極部を引き付け、 前記第１、第２及び第３の電圧信号の印加に従って前記
    可動子を前記第１方向に移動させることを特徴とする静
    電アクチュエータ。