JP3529756B2 - 静電アクチュエータ、静電アクチュエータの駆動方法及びこれを用いたカメラモジュール - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、静電アクチュエー
タ、静電アクチュエータの駆動方法及びこれを用いたカ
メラモジュールに関し、特に、動作を停止した状態から
動作を開始する際に、円滑且つ確実に起動する静電アク
チュエータ、静電アクチュエータの駆動方法及びこれを
用いたカメラモジュールに関する。

【０００２】

【従来の技術】超小型カメラの焦点調節などに用いるた
め、小型、正確且つ安価な直線駆動機構が要求されてい
る。このような用途に答えるものとして、例えば、特開
平８−１４０３６７号公報に静電アクチュエータが開示
されている。図３７は、このような静電アクチュエータ
の構成を表す模式図である。

【０００３】すなわち、同図の静電アクチュエータ１０
１は、可動子１０２と、それを上下より挟み込む２つの
固定子１０３ａ、１０３ｂより構成されている。固定子
１０３ａ、１０３ｂのそれぞれには、２系統ずつの電極
が配されており、上下一組の固定子で、合計４系統の電
極Ａ〜Ｄを持つ。

【０００４】ここで、固定子１０３ａ、１０３ｂに設け
たそれぞれの電極Ａ〜Ｄおよび可動子１０２の電極部１
０４のピッチと電極幅はそれぞれ同一である。ただし、
固定子１０３ａ、１０３ｂにおいては、２系統の電極
（例えばＡとＣ）が、それぞれ順番に交互に現れるよう
に電極が組み合わされている。加えて、上下一組の固定
子の電極（例えばＡとＢ）は、上下でちょうどその配列
パターンの位相が１／２ずれるように配されている。

【０００５】今、電極Ａに高電圧を印加すると、電極Ａ
と可動子１０２の電極部１０４に設けられた電極Ｅとの
間に作用する静電力（クーロンカ）により、可動子は上
側固定子１０３ａに（電極Ａと電極Ｅが重なりあう位置
に）吸引される。続いて、高電圧を印加する電極を電極
Ｂに切り換えると、可動子１０２は下側固定子１０３ｂ
に（電極Ｂと電極Ｅが重なり合う位置に）吸引される。
このように高電圧を印加する電極を電極Ａ→電極Ｂ→電
極Ｃ→電極Ｄと順次切り換えていくと、可動子１０２は
微視的には上下振動をしながら、巨視的には図中の右側
（１自由度）に駆動される。

【０００６】電極に高電圧を加える順番を逆にして、電
極Ａ→電極Ｄ→電極Ｃ→電極Ｂとすれば、可動子は図中
の左側への駆動される。

【０００７】本願明細書においては、図３７に例示した
ように可動子の上下に駆動電極を配した静電アクチュエ
ータを「両側電極タイプ」と称することとする。

【０００８】これに対して、本発明者らは、先に、特願
２００１−１０２４６０号などにおいて、「片側電極タ
イプ」の静電アクチュエータを提案した。

【０００９】図３８は、片側電極タイプの静電アクチュ
エータの概略構成を表す模式図である。

【００１０】この静電アクチュエータにおいては、互い
に対向して第１の固定子２ａ及び第２の固定子２ｂが配
置され、その間に矢印２４に示す方向に沿ってスライド
可能に可動子３が配置されている。

【００１１】第１の固定子２ａには、４系統の電極Ａ〜
Ｄが設けられ、第２の固定子２ｂには、その表面に一様
な１系統の電極Ｆが設けられている。４系統の電極Ａ〜
Ｄは、図示した如く、ストライプ状に配列され、可動子
３の進行方向に沿って見ると順番に表れるように配置さ
れている。そして、電極の系統毎に、制御回路１４０に
よって電圧源１４２から所定の駆動電圧を印加される。

【００１２】図３９は、制御回路１４０により各電極に
印加される電圧波形を表すタイミングチャートである。

【００１３】すなわち、始めに、可動子電極部３ａの電
極Ｅが図３９（ｆ）に示すようにローレベルの電位Ｌに
維持され、図３９（ａ）及び（ｂ）示すように電極Ａ、
Ｂに電圧が印加される。従って、電極Ａ、Ｂと可動子電
極部３ａとの間の静電力によって可動子電極部３ａが電
極Ａ、Ｂに引き寄せられるように可動子３は、第１の固
定子２ａ側に吸引される。続いて、図３９（ｅ）に示さ
れるように制御回路１４０によって電極Ａ、Ｂから切り
換えられて電圧が電極Ｆに印加され、可動子３は、第３
の電極Ａ、Ｂから離れて第２の固定子２ｂ側に吸引され
る。

【００１４】その後、制御回路１４０によって電極Ｆか
ら固定子電極Ｂ、Ｃに切り換えられ、図３９（ｂ）及び
（ｃ）に示されるように固定子電極Ｂ、Ｃに電圧が印加
され、電極Ｂ、Ｃと可動子３ａとの間の静電力によっ
て、可動子３は、第１の固定子２ａ側に吸引される。続
いて、制御回路１４０によって固定子電極Ｂ、Ｃから電
極Ｆに切り換えられて図３９（ｅ）に示されるように電
圧が電極Ｆに印加され、可動子３は、電極Ｂ、Ｃから離
れて第２の固定子２ｂ側に吸引される。

【００１５】その後、制御回路１４０によって電極Ｆか
ら電極Ｃ、Ｄに切り換えられ、図３９（ｃ）及び（ｄ）
に示されるように電極Ｃ、Ｄに電圧が印加され、電極
Ｃ、Ｄと第１の可動子電極部３ａとの間の静電力によっ
て、可動子３は、第１の固定子２ａ側に吸引される。続
いて、制御回路１４０によって電極Ｃ、Ｄから電極Ｆに
切り換えられて図３９（ｅ）に示されるように電圧が電
極Ｆに印加され、可動子３は、固定子電極Ｂから離れて
第２の固定子２ｂ側に吸引される。

【００１６】更に、制御回路１４０によって電極Ｆから
電極Ｄ、Ａに切り換えられ図３９（ｄ）及び（ａ）に示
されるように電極Ｄ、Ａに電圧が印加され、電極Ｄ、Ａ
と可動子電極部３ａとの間の静電力によって、可動子３
は、第１の固定子２ａ側に吸引される。続いて、制御回
路１４０によって固定子電極Ｄ、Ａから電極Ｆに切り換
えられて図３９（ｅ）に示されるように電圧が電極Ｆに
印加され可動子３は、固定子電極Ｄ、Ａから離れて第２
の固定子２ｂ側に吸引される。

【００１７】以上説明した動作を繰り返すことにより、
可動子３は、微視的には上下振動をしながら、巨視的に
は第１の固定子２ａに配列された電極の配列方向に駆動
される。

【００１８】以上説明したように、図３８に例示した
「片側電極タイプ」の静電アクチュエータの場合、固定
子２ｂには一様な一系統の電極Ｄが設けらているのみで
直線駆動を実現している。従って、図３７に表した従来
の静電アクチュエータのように、ストライプ状の電極が
形成された上下２枚の固定子１０３ａ、１０３ｂにおけ
る電極配列パターンの位相を精度良くコントロールする
必要がない。つまり、一対の固定子２ａ、２ｂの位置関
係をそれほど精密に調節する必要がないため、組立に要
する時間と手間を減らし、コストを下げ、量産性を大幅
に改善することができる。

【００１９】図４０は、図３８に例示したような「片側
電極タイプ」の静電アクチュエータを駆動させるため
の、もうひとつのタイミングチャートである。

【００２０】このタイミングの特徴を一言で表現する
と、「下部電極に電圧を印加する際に、駆動電極のいず
れかにも同時に電圧を印加する」ということである。こ
のようなタイミングで電圧を印加すると、可動子３を、
第１の固定子２ａにほぼ吸着した状態のまま、横方向に
移動させることができる。

【００２１】図４０に例示したタイミングについて以下
に説明すると、まず始めに、可動子３の電極Ｆが図４０
（ｆ）に示すようにローレベルの電位に維持され、図４
０（ａ）及び（ｂ）示すように駆動電極Ａ、Ｂに電圧が
印加される。従って、駆動電極Ａ、Ｂと可動子３との間
の静電力によって可動子３が電極Ａ、Ｂに引き寄せられ
るように可動子３は、第１の固定子２ａ側に吸引され
る。

【００２２】続いて、次のタイミングには、駆動電極Ａ
の電圧がローレベルにされ、下部電極Ｆの電圧がハイレ
ベルにされる。この際に、駆動電極Ｂの電圧はハイレベ
ルに維持される。従って、可動子３は、駆動電極が形成
された第１の固定子２ａの側に引き寄せられたまま、下
部電極Ｆからも吸引されて、第１の固定子２ａから僅か
に浮いた状態となり、駆動電極Ｂに向けて横方向にずれ
る。つまり、駆動電極Ｂは、可動子３が下部電極Ｆに吸
着されることを防ぐための「アシスト電極」として作用
する。

【００２３】次に、駆動電極Ｂの電圧をハイレベルに維
持したまま、駆動電極Ｃの電圧をハイレベルに遷移さ
せ、下部電極Ｆの電圧をローレベルにする。すると、可
動子は第１の固定子２ａの側に引き寄せられつつ、駆動
電極Ｃに向けて横方向にずれる。

【００２４】次に、駆動電極Ｃの電圧をハイレベルに維
持したまま、駆動電極Ｂの電圧をろーレベルに遷移さ
せ、下部電極Ｆの電圧をハイレベルにする。すると、や
はり可動子３は、駆動電極の側に引き寄せられたまま、
下部電極Ｆからも吸引されて、第１の固定子２ａから僅
かに浮いた状態となり、駆動電極Ｃに向けて横方向にず
れる。つまり、駆動電極Ｃが「アシスト電極」として作
用する。

【００２５】以下、同様の手順により駆動電極Ｃ、Ｄ、
Ａに順番に電圧を印加することにより、１サイクルが終
了する。このようなサイクルを横方向に並んだ一連の駆
動電極Ａ〜Ｄに繰り返すことにより、可動子３は、第１
の固定子２ａにほぼ吸着した状態のまま、横方向に駆動
される。

【００２６】つまり、図４０の駆動パターンによれば、
下部電極Ｆに電圧を印加する際に、駆動電極Ａ〜Ｄのい
ずれかに同時に電圧を印加することにより「アシスト電
極」として作用させ、可動子３の上下振動を抑えて、駆
動電極の側にほぼ吸着させたままスムーズに駆動させる
ことが可能となる。

【００２７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図３７に例
示したような「両側電極タイプ」の静電アクチュエータ
においても、あるいは図３８乃至図４０に例示したよう
な「片側電極タイプ」の静電アクチュエータにおいて
も、可動子が駆動している時は、アクチュエータの固定
子の駆動電極パターンと可動子の串歯状のパターンとは
平行な位置関係になっている。

【００２８】しかし、アクチュエータの停止状態あるい
は待機状態に駆動電圧が印加されていない場合、アクチ
ュエータの可動子が外部からの振動や衝撃あるいは何ら
かの外力を受けることによって、アクチュエータの固定
子の駆動電極パターンと可動子の串歯状のパターンとが
平行な位置関係が保たれないことも生じうる。

【００２９】このように両者が平行でないと、通常動作
時の必要な推進力よりも多くの力を必要とするため、通
常の印加電圧パターンを用いても安定した起動ができな
い場合がある。また、駆動開始時の可動子の位置が不明
となると、どの電極から駆動シーケンスを開始すべきで
あるかの判断ができないという問題も生ずる場合があ
る。

【００３０】特に、小型の静電アクチュエータは、例え
ば、デジタルカメラや携帯電話あるいは携帯情報端末
（ＰＤＡ）などの各種の携帯機器において、カメラモジ
ュールのフォーカスあるいはズーミングを行うためなど
の応用が期待されている。

【００３１】しかし、これらの携帯機器は、様々な態様
で頻繁に持ち運ばれ取り扱われるものであるから、振動
や衝撃を特に受けやすく、このような環境下においても
円滑な起動が可能な静電アクチュエータの開発は極めて
重要である。

【００３２】本発明は、かかる課題の認識に基づいてな
されたものである。すなわち、その目的は、停止状態に
おいて振動や衝撃などが与えられても円滑に起動するこ
とができる静電アクチュエータ、静電アクチュエータの
駆動方法及びこれを用いたカメラモジュールを提供する
ことにある。

【００３３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明においては、以下の構成を採ることができ
る。

【００３４】すなわち、本発明の第１の静電アクチュエ
ータは、複数の系統の駆動電極を含む第１の電極を有す
る第１の固定子と、第２の電極を有し、前記第１の固定
子と対向して設けられた第２の固定子と、前記第１の固
定子と前記第２の固定子との間に設けられた可動子と、
前記複数の系統の駆動電極のうちの少なくともいずれか
ひとつの系統の駆動電極と前記可動子との間に電位差が
生ずる電圧を印加するタイミングと、前記第２の電極と
前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を印加する
タイミングと、を交互に繰り返すことにより、前記可動
子を前記第１の電極と前記第２の電極との間で複数回振
動させた後、前記複数の系統の駆動電極を順次切り替え
つつ前記第１の電極と前記可動子との間、及び前記第２
の電極と前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を
断続的に印加することにより、前記可動子を前記第１及
び第２の固定子の対向面に対して略平行な駆動方向に向
けて駆動させる、制御回路と、を備えたことを特徴とす
る。

【００３５】上記構成によれば、停止状態あるいは待機
状態において生じた可動子のずれを修正してから安定し
た駆動を実行できる。

【００３６】ここで、前記第１の電極は、前記駆動方向
に沿って少なくとも３系統の駆動電極が順番に現れるよ
うに周期的に配置された前記駆動電極を有し、前記第２
の電極は、前記駆動方向に延設された１系統の下部電極
を有し、前記制御回路は、前記少なくとも３系統の駆動
電極のうちの少なくともいずれかの系統の駆動電極と前
記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を印加するタ
イミングと、前記下部電極と前記可動子との間に電位差
を生じさせる電圧を印加するタイミングと、を交互に繰
り返すことにより、前記可動子を前記少なくともいずれ
かの系統の駆動電極と前記下部電極との間で前記複数回
振動させた後、前記少なくとも３系統の駆動電極と前記
可動子との間に電位差を生じさせる電圧を前記駆動方向
に沿って前記系統ごとに順次切り替えて印加することに
より、前記可動子を前記駆動させるものとすることがで
きる。

【００３７】または、前記第１の電極は、前記駆動方向
に沿って少なくとも２系統の駆動電極が順番に現れるよ
うに周期的に配置された前記駆動電極を有し、前記第２
の電極は、前記駆動方向に沿って少なくとも２系統の駆
動電極が順番に現れるように周期的に配置された前記駆
動電極を有し、前記制御回路は、前記第１の電極の前記
少なくとも２系統の駆動電極のうちの少なくともいずれ
かの系統の駆動電極と前記可動子との間に電位差を生じ
させる電圧を印加するタイミングと、前記第２の電極の
前記少なくとも２系統の駆動電極のうちの少なくともい
ずれかの系統の駆動電極と前記可動子との間に電位差を
生じさせる電圧を印加するタイミングと、を交互に繰り
返すことにより、前記可動子を前記第１の電極の前記少
なくともいずれかの系統の駆動電極と前記第２の電極の
前記少なくともいずれかの系統の駆動電極との間で前記
複数回振動させるものとすることができる。

【００３８】また、本発明の第２の静電アクチュエータ
は、複数の系統の駆動電極を含む第１の電極を有する第
１の固定子と、第２の電極を有し、前記第１の固定子と
対向して設けられた第２の固定子と、前記第１の固定子
と前記第２の固定子との間に設けられた可動子と、前記
複数の系統の駆動電極のうちの少なくともいずれかひと
つの系統の駆動電極と前記可動子との間に電位差が生ず
る電圧を印加するタイミングと、前記第２の電極と前記
可動子との間に電位差を生じさせる電圧を印加するタイ
ミングと、を交互に繰り返すことにより、前記可動子を
前記第１の電極と前記第２の電極との間で振動させつつ
保持し、前記複数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ
前記第１の電極と前記可動子との間、及び前記第２の電
極と前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を断続
的に印加することにより、前記可動子を前記第１及び第
２の固定子の対向面に対して略平行な駆動方向に向けて
駆動させる、制御回路と、を備えたことを特徴とする。

【００３９】前記構成によれば、停止状態あるいは待機
状態において可動子を振動させておくことにより、可動
子のずれを適宜修正して安定した起動を実行させること
ができる。

【００４０】ここで、前記第１の電極は、前記駆動方向
に沿って少なくとも３系統の駆動電極が順番に現れるよ
うに周期的に配置された前記駆動電極を有し、前記第２
の電極は、前記駆動方向に延設された１系統の下部電極
を有し、前記制御回路は、前記少なくとも３系統の駆動
電極のうちの少なくともいずれかの系統の駆動電極と前
記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を印加するタ
イミングと、前記下部電極と前記可動子との間に電位差
を生じさせる電圧を印加するタイミングと、を交互に繰
り返すことにより、前記可動子を前記少なくともいずれ
かの系統の駆動電極と前記下部電極との間で前記振動さ
せつつ保持し、前記少なくとも３系統の駆動電極と前記
可動子との間に電位差を生じさせる電圧を前記駆動方向
に沿って前記系統ごとに順次切り替えて印加することに
より、前記可動子を前記駆動させるものとすることがで
きる。

【００４１】または、前記第１の電極は、前記駆動方向
に沿って少なくとも２系統の駆動電極が順番に現れるよ
うに周期的に配置された前記駆動電極を有し、前記第２
の電極は、前記駆動方向に沿って少なくとも２系統の駆
動電極が順番に現れるように周期的に配置された前記駆
動電極を有し、前記制御回路は、前記第１の電極の前記
少なくとも２系統の駆動電極のうちの少なくともいずれ
かの系統の駆動電極と前記可動子との間に電位差を生じ
させる電圧を印加するタイミングと、前記第２の電極の
前記少なくとも２系統の駆動電極のうちの少なくともい
ずれかの系統の駆動電極と前記可動子との間に電位差を
生じさせる電圧を印加するタイミングと、を交互に繰り
返すことにより、前記可動子を前記第１の電極の前記少
なくともいずれかの系統の駆動電極と前記第２の電極の
前記少なくともいずれかの系統の駆動電極との間で前記
振動させつつ保持するものとすることができる。

【００４２】また、前記可動子を前記駆動させるに際し
て、前記少なくともいずれかの系統の駆動電極から順次
切り替えて前記電圧を印加することができる。

【００４３】また、前記少なくともいずれかの系統の駆
動電極は、隣接する複数の系統の駆動電極であるものと
することができる。

【００４４】また、本発明の第３の静電アクチュエータ
は、複数の系統の駆動電極を含む第１の電極を有する第
１の固定子と、第２の電極を有し、前記第１の固定子と
対向して設けられた第２の固定子と、前記第１の固定子
と前記第２の固定子との間に設けられた可動子と、前記
第１及び第２の電極の少なくともいずれかと前記可動子
との間に電位差を生じさせる電圧を連続的に印加するこ
とにより、前記第１及び第２の電極のいずれかに向けた
力を連続的に前記可動子に作用させた状態で保持し、前
記複数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ前記第１の
電極と前記可動子との間、及び前記第２の電極と前記可
動子との間に電位差を生じさせる電圧を断続的に印加す
ることにより、前記可動子を前記第１及び第２の固定子
の対向面に対して略平行な駆動方向に向けて駆動させ
る、制御回路と、を備えたことを特徴とする。

【００４５】上記構成によれば、停止状態あるいは待機
状態において可動子を固定しておくことにより、可動子
のずれを防いで、安定した起動が可能となる。

【００４６】また、本発明の第４の静電アクチュエータ
は、保護膜により覆われ複数の系統の駆動電極を含む第
１の電極を有する第１の固定子と、保護膜により覆われ
た第２の電極を有し、前記第１の固定子と対向して設け
られた第２の固定子と、前記第１の固定子と前記第２の
固定子との間に設けられた可動子と、前記第１及び第２
の電極のいずれか一方と前記可動子との間に吸引力が発
生するように前記第１及び第２の電極の前記いずれか一
方に電圧を印加するタイミングと、前記第１及び第２の
電極のいずれか他方と前記可動子との間に反発力が発生
するように前記第１及び第２の電極並びに前記可動子の
少なくともいずれかに電圧を印加するタイミングと、を
交互に繰り返すことにより、前記第１及び第２の電極の
前記いずれか一方に向けた力を連続的に前記可動子に作
用させた状態で保持し、前記複数の系統の駆動電極を順
次切り替えつつ前記第１の電極と前記可動子との間、及
び前記第２の電極と前記可動子との間に電位差を生じさ
せる電圧を断続的に印加することにより、前記可動子を
前記第１及び第２の固定子の対向面に対して略平行な駆
動方向に向けて駆動させる、制御回路と、を備えたこと
を特徴とする。

【００４７】上記構成によれば、停止状態あるいは待機
状態において可動子を固定しておくことにより、可動子
のずれを防いで、安定した起動が可能となる。

【００４８】また、前記第１及び第２の固定子の少なく
ともいずれかと前記可動子との間に設けられたストッパ
をさらに備え、前記可動子は、前記力を作用させた状態
において前記ストッパに接触することものとすることが
できる。

【００４９】また、本発明の第５の静電アクチュエータ
は、複数の系統の駆動電極を含む第１の電極を有する第
１の固定子と、複数の系統の下部電極を含む第２の電極
を有し、前記第１の固定子と対向して設けられた第２の
固定子と、前記第１の固定子と前記第２の固定子との間
に設けられた第１の可動子と、前記第１の固定子と前記
第２の固定子との間に設けられた第２の可動子と、前記
複数の系統の下部電極のうちのいずれかの系統の下部電
極と前記第１及び第２の可動子のいずれか一方との間に
電位差を生じさせる電圧を連続的に印加することによ
り、前記第１及び第２の電極のいずれかに向けた力を前
記いずれか一方の可動子に作用させた状態で保持しつ
つ、前記複数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ前記
第１の電極と前記第１及び第２の可動子のいずれか他方
との間、及び前記第２の電極と前記第１及び第２の可動
子のいずれか他方との間に電位差を生じさせる電圧を断
続的に印加することにより、前記いずれか他方の可動子
を前記第１及び第２の固定子の対向面に対して略平行な
駆動方向に向けて駆動させる、制御回路と、を備えたこ
とを特徴とする。

【００５０】上記構成によれば、複数の可動子を有する
場合にも、それぞれの可動子の停止状態あるいは待機状
態において固定することにより、ずれを防いで安定した
起動をさせることができる。

【００５１】ここで、前記制御回路は、前記複数の系統
の駆動電極のうちの少なくともいずれかひとつの系統の
駆動電極と前記可動子との間に電位差が生ずる電圧を印
加するタイミングと、前記第２の電極と前記可動子との
間に電位差を生じさせる電圧を印加するタイミングと、
を交互に繰り返すことにより、前記いずれか他方の可動
子を前記第１の電極と前記第２の電極との間で複数回振
動させた後に、前記いずれか他方の可動子を前記駆動方
向に向けて駆動させるものとすることができる。

【００５２】一方、本発明の静電アクチュエータの駆動
方法は、複数の系統の駆動電極を含む第１の電極を有す
る第１の固定子と、第２の電極を有し、前記第１の固定
子と対向して設けられた第２の固定子と、前記第１の固
定子と前記第２の固定子との間に設けられた可動子と、
を有する静電アクチュエータの駆動方法であって、前記
複数の系統の駆動電極のうちの少なくともいずれかひと
つの系統の駆動電極と前記可動子との間に電位差が生ず
る電圧を印加するタイミングと、前記第２の電極と前記
可動子との間に電位差を生じさせる電圧を印加するタイ
ミングと、を交互に繰り返すことにより、前記可動子を
前記第１の電極と前記第２の電極との間で複数回振動さ
せた後、前記複数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ
前記第１の電極と前記可動子との間、及び前記第２の電
極と前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を断続
的に印加することにより、前記可動子を前記第１及び第
２の固定子の対向面に対して略平行な駆動方向に向けて
駆動させることを特徴とする。

【００５３】または、本発明の静電アクチュエータの駆
動方法は、複数の系統の駆動電極を含む第１の電極を有
する第１の固定子と、第２の電極を有し、前記第１の固
定子と対向して設けられた第２の固定子と、前記第１の
固定子と前記第２の固定子との間に設けられた可動子
と、を有する静電アクチュエータの駆動方法であって、
前記複数の系統の駆動電極のうちの少なくともいずれか
ひとつの系統の駆動電極と前記可動子との間に電位差が
生ずる電圧を印加するタイミングと、前記第２の電極と
前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を印加する
タイミングと、を交互に繰り返すことにより、前記可動
子を前記第１の電極と前記第２の電極との間で振動させ
つつ保持し、前記複数の系統の駆動電極を順次切り替え
つつ前記第１の電極と前記可動子との間、及び前記第２
の電極と前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を
断続的に印加することにより、前記可動子を前記第１及
び第２の固定子の対向面に対して略平行な駆動方向に向
けて駆動させることを特徴とする。

【００５４】または、本発明の静電アクチュエータの駆
動方法は、複数の駆動電極を含む第１の電極を有する第
１の固定子と、第２の電極を有し、前記第１の固定子と
対向して設けられた第２の固定子と、前記第１の固定子
と前記第２の固定子との間に設けられた可動子と、を有
する静電アクチュエータの駆動方法であって、前記第１
及び第２の電極の少なくともいずれかと前記可動子との
間に電位差を生じさせる電圧を連続的に印加することに
より、前記第１及び第２の電極のいずれかに向けた力を
連続的に前記可動子に作用させた状態で保持し、前記複
数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ前記第１の電極
と前記可動子との間、及び前記第２の電極と前記可動子
との間に電位差を生じさせる電圧を断続的に印加するこ
とにより、前記可動子を前記第１及び第２の固定子の対
向面に対して略平行な駆動方向に向けて駆動させること
を特徴とする。

【００５５】または、本発明の静電アクチュエータの駆
動方法は、保護膜により覆われ複数の駆動電極を含む第
１の電極を有する第１の固定子と、保護膜により覆われ
た第２の電極を有し、前記第１の固定子と対向して設け
られた第２の固定子と、前記第１の固定子と前記第２の
固定子との間に設けられた可動子と、を有する静電アク
チュエータの駆動方法であって、前記第１及び第２の電
極のいずれか一方と前記可動子との間に吸引力が発生す
るように前記第１及び第２の電極の前記いずれか一方に
電圧を印加するタイミングと、前記第１及び第２の電極
のいずれか他方と前記可動子との間に反発力が発生する
ように前記第１及び第２の電極並びに前記可動子の少な
くともいずれかに電圧を印加するタイミングと、を交互
に繰り返すことにより、前記第１及び第２の電極の前記
いずれか一方に向けた力を連続的に前記可動子に作用さ
せた状態で保持し、前記複数の系統の駆動電極を順次切
り替えつつ前記第１の電極と前記可動子との間、及び前
記第２の電極と前記可動子との間に電位差を生じさせる
電圧を断続的に印加することにより、前記可動子を前記
第１及び第２の固定子の対向面に対して略平行な駆動方
向に向けて駆動させることを特徴とする。

【００５６】一方、本発明のカメラモジュールは、撮像
素子と、上記した本発明のいずれかの静電アクチュエー
タと、前記静電アクチュエータの前記可動子に設けられ
前記撮像素子に光学的情報を入力するレンズと、を備え
たことを特徴とする。

【００５７】

【発明の実施の形態】以下、具体例を参照しつつ本発明
の実施の形態について詳細に説明する。 （第１の実施の形態） まず、本発明の第１の実施の形態として、起動時に可動
子を強制的に上下に振動させることにより、固定子と可
動子との配置を平行に修正させて円滑な駆動を開始する
静電アクチュエータについて説明する。

【００５８】図１は、本発明の実施の形態にかかる静電
アクチュエータの概略構成を表す模式図である。同図に
ついては、図３８乃至図４０に関して前述したものと同
様の要素には同一の符号を付した。

【００５９】本実施の形態の静電アクチュエータにおい
ても、互いに対向して第１の固定子２ａ及び第２の固定
子２ｂが配置され、その間に矢印２４に示す方向に沿っ
てスライド可能に可動子３が配置されている。

【００６０】ここで、第１及び第２の固定子２ａ、２ｂ
は、平板状であっても良く、或いは、半円筒板状であっ
ても良い。第１及び第２の固定子２ａ、２ｂが平板状で
ある場合には、可動子３は、これらとの対向面がほぼ平
坦な面を有するブロック体あるいは中空ブロックに形成
され、第１及び第２の固定子２ａ、２ｂが半円筒板状で
ある場合には、可動子３は、第１及び第２の固定子２
ａ、２ｂの形状に対応して円柱体あるいは中空シリンダ
ーに形成される。

【００６１】図２は、第１の固定子２ａにおける電極Ａ
〜Ｄの配列を例示する平面図である。

【００６２】同図にも表したように、第１の固定子２ａ
には、４系統の電極Ａ〜Ｄが設けられ、第２の固定子２
ｂには、その表面に一様な１系統の電極Ｆが設けられて
いる。４系統の電極Ａ〜Ｄは、図示した如く、ストライ
プ状の「駆動電極」として配列され、これら駆動電極が
可動子３の進行方向に沿った見た時に順番に表れるよう
に配置されている。そして、電極の系統毎に、制御回路
（スイッチング回路）４０によって電圧源４２から所定
の駆動電圧を印加される。

【００６３】図２に表したように、これら４系統の電極
Ａ〜Ｄは、順次切り替えて電圧を印加することにより、
可動子を所定方向へ移動させるために用いられるもので
あるから、以下、これら電極Ａ〜Ｄを「駆動電極」と称
する。また、これに対して、第２の固定子２ｂに設けら
れた一様な１系統の電極Ｆを「下部電極」と称すること
とする。なお、この下部電極は、１系統であれば単一で
あっても、複数であってもかまわない。

【００６４】なお、図２における符号１０は、可動子３
と駆動電極との間隔を規定するストッパを表す。

【００６５】本実施形態の静電アクチュエータも、図３
９あるいは図４０に例示したような駆動電圧パターンを
印加することにより、可動子３を所定の方向に駆動させ
ることができる。これらの駆動時の動作を「駆動時動
作」と称することとする。

【００６６】本発明の静電アクチュエータは、このよう
な「駆動時動作」に先だって、「起動時動作」を実施す
る。

【００６７】図３は、本発明の静電アクチュエータにお
ける起動時動作と駆動時動作との関係を表す概念図であ
る。すなわち、停止状態あるいは待機状態から「駆動時
動作」を実行させる前に、まず、「起動時動作」を実行
させる。ここで、「駆動時動作」は、例えば、図３９や
図４０などに例示したような電圧パターンを印加して、
可動子３を所定の方向に駆動させる動作である。

【００６８】図４は、起動時動作の前後での固定子と可
動子との配置関係を例示した模式図である。すなわち、
アクチュエータの停止状態あるいは待機状態において
は、外部からの振動や衝撃あるいは外力などにより、同
図（ａ）に例示した如く、固定子２ａと可動子３とは、
互いに平行な状態からずれている場合がある。

【００６９】このような状態から、「起動時動作」を実
行させると、固定子２ａと可動子３とは互いに平行な配
置関係に修正され、その後の駆動時動作により円滑に駆
動を開始させることができる。

【００７０】図５は、図１に例示した「片側電極タイ
プ」の静電アクチュエータの一部を拡大した模式図であ
る。ここでは、同図に表したように、固定子２ａに４系
統の駆動電極Ａ〜Ｄが設けられている場合を例に挙げて
説明する。

【００７１】図６は、起動時動作において静電アクチュ
エータに与える印加電圧パターンの第１の具体例を例示
する模式図である。すなわち、同図に例示した起動時動
作においては、４系統の駆動電極Ａ〜Ｄのうちの隣接す
るいずれか２系統の電極（例えば、電極Ａと電極Ｂ）に
同時に電圧を印加するタイミングと、対向する固定子２
ｂに設けられた下部電極Ｆに電圧を印加するタイミング
と、を交互に繰り返す。

【００７２】すると、図５に表したように、可動子３に
対しては、進行方向に対して平行な方向の推進力Ｆｘ
と、進行方向に対して垂直な上下方向の振動力Ｆｙとが
作用し、上下振動を繰り返しながら駆動電極Ａ〜Ｄのパ
ターンと可動子の凸部パターン３ａとが平行な方向に向
かうように配置関係が修正される。

【００７３】図７は、図６に表したように隣接する２つ
の駆動電極に電圧を同時に印加した場合の、推進力Ｆｘ
の分布を表すグラフ図である。すなわち、同図の横軸
は、４系統の駆動電極Ａ〜Ｄの配列を表し、縦軸は推進
力Ｆｘの大きさを相対的に表す。また、図７は、これら
の駆動電極のうちで、ハッチが施された２つの隣接する
電極に電圧が印加された場合の駆動力の分布を表す。

【００７４】図７から、推進力Ｆｘは、電圧が印加され
ている２つの電極の中心（ｘ＝０）においてはゼロであ
り、ここから離れるに従って、ｘ＝０に引き戻そうとす
る向きに次第に大きくなり、極大を迎えた後、急峻に収
束して、電圧が印加されていない電極の中心（ｘ＝２
ｐ）においてゼロとなることが分かる。つまり、電圧が
印加されている２つの電極の中心（ｘ＝０、プラスマイ
ナス４ｐ・・・）が安定点（収束点）となる。

【００７５】ちなみに、この場合の電極ＣとＤとの中心
は、推進力Ｆｘはゼロであるが、不安定点となる。何故
ならば、電極ＣとＤとの中心よりもマイナス側（電極Ｃ
の側）においては推進力Ｆｘは負であり、この中心から
遠ざかる方向に推進力Ｆｘが作用するからである。また
同様に、電極ＣとＤとの中心よりもプラス側（電極Ｄの
側）においては推進力Ｆｘは正であり、やはりこの中心
から遠ざかる方向に推進力Ｆｘが作用する。

【００７６】例えば、電極Ａ及びＢに対して同時に電圧
を印加した場合について説明すると、電極ＡとＢとの中
心が可動子３の安定点となり、電極ＣとＤとの中心が可
動子３の不安定点となる。そして、可動子の凸部３ａを
これら電極Ａ及びＢの中心に引き寄せようとする推進力
は、電極Ｃあるいは電極Ｄの付近で極大となる。

【００７７】なお、可動子３の凸部３ａが電極Ｄと電極
Ｄとのちょうど中心にある場合には、原理的には推進力
Ｆｘはゼロとなり、安定点に向けて引き寄せる力は作用
しない。但し、本発明における「起動時動作」は、可動
子が電極パターンＡ〜Ｄに対して傾斜している場合に対
処するものである。可動子３の全体に亘って、凸部３ａ
の中心線ＣＬが正確に電極ＣとＤとの中心にあるような
場合は、「起動時動作」は当然に不要であるから、問題
はない。

【００７８】本具体例によれば、図７に表した推進力Ｆ
ｘの分布から分かるように、４系統の駆動電極Ａ〜Ｄの
うちの隣接する２系統の駆動電極に同時に電圧を印加す
ることにより、十分な推進力Ｆｘが得られ、可動子３を
上下に振動させながら、駆動電極パターンに対して平行
に位置修正することができる。

【００７９】そして、図６に表したように、「起動時動
作」として、例えば、タイプＡとして、電極Ａと電極Ｂ
とに同時に電圧を印加するタイミングと、下部電極Ｆに
電圧を印加するタイミングとを繰り返した場合には、可
動子３は、最終的に、電極Ａと電極Ｂとの中央に凸部３
ａの中心線ＣＬが合う位置に収束する。

【００８０】同様に、タイプＢの場合には、電極Ｂと電
極Ｃとに同時に電圧を印加する電圧パターンを与え、可
動子の凸部３ａは電極ＢとＣとの中央部に収束する。

【００８１】また、タイプＣの場合には、電極Ｃと電極
Ｄとに同時に電圧を印加することにより、可動子の凸部
３ａは電極ＣとＤとの中央部に収束する。

【００８２】そして、タイプＤの場合には、電極Ｄと電
極Ａとに同時に電圧を印加することにより、可動子の凸
部３ａは電極ＤとＡとの中央部に収束する。

【００８３】図８は、「起動時動作」と「駆動時動作」
との関係を表す概念図である。

【００８４】上述の如く、起動時動作における電圧の印
加パターンのタイプに応じて、可動子の凸部３ａの収束
位置は異なるので、それに引き続く駆動時動作において
電圧を印加するシーケンスも対応する電極から開始する
ことが望ましい。

【００８５】例えば、図８に表したように、起動時動作
において「タイプＡ」のパターンを用いた場合、可動子
３の凸部３ａは電極Ａと電極Ｂとの中央に整列する。従
って、駆動時動作においては、電極Ａと電極Ｂとに同時
に電圧を印加するフェイズからシーケンスを開始する
と、可動子３はスムーズな動作を開始する。つまり、
「起動時動作」によって可動子３は電極ＡとＢとの中心
に収束しているのであるから、駆動時動作においては、
電極ＡとＢ、電極ＢとＣ、電極ＣとＤ、電極ＤとＡ、・
・・の如くに電圧を順次切り替えて印加することによ
り、可動子３を円滑に駆動させることができる。

【００８６】なお、ここで駆動時動作の具体的な電圧印
加パターンとしては、例えば、図３９あるいは図４０に
例示したような印加パターンを用いることができる。

【００８７】また、同様に、起動時動作においてタイプ
Ｂを選択した場合には、駆動時動作において、電極Ｂと
電極Ｃとに同時に電圧を印加するフェイズからシーケン
スを開始するとよい。

【００８８】また、起動時動作においてタイプＣを選択
した場合には、駆動時動作において、電極Ｃと電極Ｄと
に同時に電圧を印加するフェイズからシーケンスを開始
するとよい。

【００８９】さらに、起動時動作においてタイプＤを選
択した場合には、駆動時動作において、電極Ｄと電極Ａ
とに同時に電圧を印加するフェイズからシーケンスを開
始するとよい。

【００９０】次に、起動時動作の第２の具体例について
説明する。

【００９１】図９は、起動時動作における印加電圧パタ
ーンの第２の具体例を例示する模式図である。すなわ
ち、同図に例示した起動時動作においては、４系統の駆
動電極Ａ〜Ｄのうちの隣接するいずれか３系統の電極
（例えば、電極Ａと電極Ｂと電極Ｃ）に同時に電圧を印
加するタイミングと、対向する固定子２ｂに設けられた
下部電極Ｆに電圧を印加するタイミングと、を交互に繰
り返す。

【００９２】図１０は、図９に表したように隣接する３
系統の駆動電極に電圧を同時に印加した場合の、推進力
Ｆｘの分布を表すグラフ図である。すなわち、同図の横
軸は、４系統の駆動電極Ａ〜Ｄの配列を表し、縦軸は推
進力Ｆｘの大きさを相対的に表す。また、図１０におい
ては、ハッチが施された３つの隣接する電極に電圧が印
加された場合の駆動力の分布が例示されている。

【００９３】図１０から、３つの電極に同時に電圧を印
加した場合、推進力Ｆｘは、電圧が印加されている３つ
の電極の中心、すなわちこれらのうちの真ん中の電極の
中心においてはゼロであり、ここから離れるに従って、
この中心点に引き戻そうとする向きに次第に大きくな
り、極大を迎えた後、急峻に収束して、電圧が印加され
ていない電極の中心においてゼロとなることが分かる。
つまり、電圧が印加されている３つの電極の中心が安定
点（収束点）となる。

【００９４】例えば、図１０に例示したように電極Ａ、
Ｂ及びＣに同時に電圧を印加した場合には、電極Ｂの中
心が収束点となる。そして、電極Ｄの中心は、そこから
遠ざかろうとする推進力分布がゼロを交差する不安定点
となる。

【００９５】図７と図１０とを比較すると、図１０の分
布においては、安定点の周囲における推進力は小さい
が、不安定点の周囲における推進力が大きいことが分か
る。つまり、図１０の分布によれば、起動時動作の開始
直後のように、可動子３が収束点から大きく外れている
場合に、高い発生力を作用させて引き戻すことができる
点で有利である。但し、収束点に近づくと収束力が小さ
くなる。また、同時に３系統の電極に電圧を印加するの
で、消費電力は大きくなる。

【００９６】なお、図１０において、可動子３の凸部３
ａが電極Ｄのちょうど中心にある場合には、原理的には
推進力Ｆｘはゼロとなり、安定点に向けて引き寄せる力
は作用しない。しかし、図７に関して前述したように、
本発明における「起動時動作」は、可動子が電極パター
ンＡ〜Ｄに対して傾斜している場合に対処するものであ
るから、問題はない。むしろ、図１０の分布の場合に
は、この不安定点の付近における推進力が高い点で有利
である。

【００９７】本具体例の場合も、図９に表したように、
「起動時動作」として、例えば、タイプＡとして、電極
Ｄ、Ａ及びＢに同時に電圧を印加するタイミングと、下
部電極Ｆに電圧を印加するタイミングとを繰り返した場
合には、可動子３は、最終的に、電極Ａの中央に凸部３
ａの中心線ＣＬが合う位置に収束する。

【００９８】同様に、タイプＢの場合には、電極Ａ、Ｂ
及びＣに同時に電圧を印加する電圧パターンを与え、可
動子の凸部３ａは電極Ｂの中央部に収束する。

【００９９】また、タイプＣの場合には、電極Ｂ、Ｃ及
びＤに同時に電圧を印加することにより、可動子の凸部
３ａは電極Ｃの中央部に収束する。

【０１００】そして、タイプＤの場合には、電極Ｃ、Ｄ
及びＡに同時に電圧を印加することにより、可動子の凸
部３ａは電極Ｄの中央部に収束する。

【０１０１】本具体例の場合の「起動時動作」と「駆動
時動作」との関係は、図８に例示したものと同様とする
ことができる。

【０１０２】すなわち、図８に表したように、起動時動
作において「タイプＡ」のパターンを用いた場合、可動
子３の凸部３ａは電極Ａの中央に収束する。従って、駆
動時動作においては、電極Ａと電極Ｂとに同時に電圧を
印加するフェイズからシーケンスを開始すると、可動子
３はスムーズな動作を開始する。つまり、「起動時動
作」によって可動子３は電極ＡとＢとの中心に収束して
いるのであるから、駆動時動作においては、電極Ａと
Ｂ、電極ＢとＣ、電極ＣとＤ、電極ＤとＡ、・・・の如
くに電圧を順次切り替えて印加することにより、可動子
３を円滑に駆動させることができる。

【０１０３】また、同様に、起動時動作においてタイプ
Ｂを選択した場合には、駆動時動作において、電極Ｂと
電極Ｃとに同時に電圧を印加するフェイズからシーケン
スを開始するとよい。

【０１０４】また、起動時動作においてタイプＣを選択
した場合には、駆動時動作において、電極Ｃと電極Ｄと
に同時に電圧を印加するフェイズからシーケンスを開始
するとよい。

【０１０５】さらに、起動時動作においてタイプＤを選
択した場合には、駆動時動作において、電極Ｄと電極Ａ
とに同時に電圧を印加するフェイズからシーケンスを開
始するとよい。

【０１０６】次に、起動時動作の第３の具体例について
説明する。

【０１０７】図１１は、起動時動作における印加電圧パ
ターンの第３の具体例を例示する模式図である。すなわ
ち、同図に例示した起動時動作においては、４系統の駆
動電極Ａ〜Ｄのうちの１系統の電極（例えば、電極Ａ）
のみに電圧を印加するタイミングと、対向する固定子２
ｂに設けられた下部電極Ｆに電圧を印加するタイミング
と、を交互に繰り返す。

【０１０８】図１２は、図１１に表したように１系統の
駆動電極のみに電圧を同時に印加した場合の、推進力Ｆ
ｘの分布を表すグラフ図である。すなわち、同図の横軸
は、４系統の駆動電極Ａ〜Ｄの配列を表し、縦軸は推進
力Ｆｘの大きさを相対的に表す。また、図１２において
は、ハッチが施された１系統の電極（例えば、電極Ｂ）
に電圧が印加された場合の駆動力の分布が例示されてい
る。

【０１０９】この場合には、電極Ｂの中心に安定点（収
束点）が形成され、その周囲には比較的急峻な推進力Ｆ
ｘの分布が形成される。そして、電極Ｄの中心に不安定
点が形成され、その両側には、不安定点から遠ざかろう
とする推進力Ｆｘの分布が形成される。図１２の推進力
分布は、図７（２系統の電極に電圧を印加）や図１２
（３系統の電極に電圧を印加）と比較すると推進力Ｆｘ
は小さいため、安定点に静定する方向の発生力は小さく
なるが、起動時動作の消費電力を低く抑えることができ
るという点では有利である。

【０１１０】本具体例の場合も、図９に表したように、
「起動時動作」として、例えば、「タイプＡ」を用い
て、電極Ａのみに電圧を印加するタイミングと、下部電
極Ｆに電圧を印加するタイミングとを繰り返した場合に
は、可動子３は、最終的に、電極Ａの中央に凸部３ａの
中心線ＣＬが合う位置に収束する。

【０１１１】同様に、「タイプＢ」の場合には、電極Ｂ
に電圧を印加する電圧パターンを与え、可動子の凸部３
ａは電極Ｂの中央部に収束する。

【０１１２】また、「タイプＣ」の場合には、電極Ｃに
電圧を印加することにより、可動子の凸部３ａは電極Ｃ
の中央部に収束する。

【０１１３】そして、「タイプＤ」の場合には、電極Ｄ
に電圧を印加することにより、可動子の凸部３ａは電極
Ｄの中央部に収束する。

【０１１４】従って、本具体例の場合の「起動時動作」
と「駆動時動作」との関係も、図８に例示したものと同
様とすることができる。

【０１１５】すなわち、図８に表したように、起動時動
作において「タイプＡ」のパターンを用いた場合、可動
子３の凸部３ａは電極Ａの中央に収束する。従って、駆
動時動作においては、電極Ａと電極Ｂとに同時に電圧を
印加するフェイズからシーケンスを開始すると、可動子
３はスムーズな動作を開始する。つまり、「起動時動
作」によって可動子３は電極ＡとＢとの中心に収束して
いるのであるから、駆動時動作においては、電極Ａと
Ｂ、電極ＢとＣ、電極ＣとＤ、電極ＤとＡ、・・・の如
くに電圧を順次切り替えて印加することにより、可動子
３を円滑に駆動させることができる。

【０１１６】また、同様に、起動時動作においてタイプ
Ｂを選択した場合には、駆動時動作において、電極Ｂと
電極Ｃとに同時に電圧を印加するフェイズからシーケン
スを開始するとよい。

【０１１７】また、起動時動作においてタイプＣを選択
した場合には、駆動時動作において、電極Ｃと電極Ｄと
に同時に電圧を印加するフェイズからシーケンスを開始
するとよい。

【０１１８】さらに、起動時動作においてタイプＤを選
択した場合には、駆動時動作において、電極Ｄと電極Ａ
とに同時に電圧を印加するフェイズからシーケンスを開
始するとよい。

【０１１９】次に、起動時動作の第４の具体例について
説明する。

【０１２０】図１３は、起動時動作における印加電圧パ
ターンの第４の具体例を例示する模式図である。すなわ
ち、同図に例示した起動時動作においては、４系統の駆
動電極Ａ〜Ｄのうちの隣接しない２系統の電極（例え
ば、電極Ａと電極Ｃ）のみに電圧を印加するタイミング
と、対向する固定子２ｂに設けられた下部電極Ｆに電圧
を印加するタイミングと、を交互に繰り返す。

【０１２１】図１４は、図１３に表したように隣接しな
い２系統の駆動電極のみに電圧を同時に印加した場合
の、推進力Ｆｘの分布を表すグラフ図である。すなわ
ち、同図の横軸は、４系統の駆動電極Ａ〜Ｄの配列を表
し、縦軸は推進力Ｆｘの大きさを相対的に表す。また、
図１４においては、ハッチが施された２系統の電極（例
えば、電極Ｂと電極Ｄ）に電圧が印加された場合の駆動
力の分布が例示されている。

【０１２２】この場合には、電極Ｂと電極Ｄの中心にそ
れぞれ安定点（収束点）が形成され、電極Ａと電極Ｃの
中心には不安定点が形成される。つまり、第１乃至第３
具体例と比較すると、２倍の数の収束点が形成されるた
め、起動時動作において、可動子３をいち早く収束点に
静定させることが可能である。

【０１２３】但し、可動子が収束する位置は、「タイプ
Ａ」すなわち電極Ａと電極Ｃに電圧を印加した場合に
は、電極Ａの中心か電極Ｃの中心というように、２つの
可能性が有る。

【０１２４】同様に、「タイプＢ」すなわち電極Ｂと電
極Ｄに電圧を印加した場合には、可動子は、電極Ｂまた
は電極Ｄのいずれかの中心に収束する。

【０１２５】また、「タイプＣ」すなわち電極Ｃと電極
Ａに電圧を印加した場合には、可動子は、電極Ｃまたは
電極Ａのいずれかの中心に収束する。

【０１２６】そして、「タイプＤ」すなわち電極Ｄと電
極Ｂに電圧を印加した場合には、可動子は、電極Ｄまた
は電極Ｂのいずれかの中心に収束する。

【０１２７】従って、起動時動作の後に引き続く駆動時
動作のシーケンスは、いずれかの収束点から開始するも
のとすればよい。

【０１２８】図１５は、本具体例の場合の起動時動作と
駆動時動作の関係を例示する概念図である。

【０１２９】すなわち、起動時動作において「タイプ
Ａ」のパターンを用いた場合、可動子３の凸部３ａは電
極Ａまたは電極Ｃの中央に収束する。これらいずれに収
束するかは、不明であるので、駆動時動作においては、
電極Ａと電極Ｂとに同時に電圧を印加するフェイズから
シーケンスを開始する。この場合に、仮に電極Ｃに収束
していたとすると、駆動時動作の第１フェーズで電極Ａ
及び電極Ｂに電圧を印加した時に、可動子３はわずかに
後退することとなる。しかし、この後退量は駆動電極の
ピッチ程度の量であるので、実用上は何ら問題はない。

【０１３０】また、起動時動作において「タイプＢ」を
選択した場合には、可動子は電極Ｂまたは電極Ｄに収束
するので、駆動時動作においては、電極Ｂと電極Ｃとに
同時に電圧を印加するフェイズからシーケンスを開始す
るとよい。

【０１３１】同様、起動時動作において「タイプＣ」を
選択した場合には、可動子は電極Ｃまたは電極Ａに収束
するので、駆動時動作においては、電極Ａと電極Ｂとに
同時に電圧を印加するフェイズからシーケンスを開始す
ることができる。但し、ここで、電極Ｃと電極Ｄとに同
時に電圧を印加するフェーズから開始してもよい。これ
らいずれを選ぶかは、動作プログラミングの簡略化など
の観点から決定することができる。

【０１３２】また、起動時動作においてタイプＤを選択
した場合には、可動子は電極Ｄまたは電極Ｂに収束する
ので、駆動時動作において、電極Ｂと電極Ｃとに同時に
電圧を印加するフェイズからシーケンスを開始するとよ
い。但し、ここで、電極Ｄと電極Ａとに同時に電圧を印
加するフェーズから開始してもよいのは前述した通りで
ある。

【０１３３】以上説明したように、本発明によれば、図
１に例示したような「片側電極タイプ」の静電アクチュ
エータにおいて、駆動時動作を実行させることによって
固定子に対して可動子３の方向を平行に整列させ、円滑
な駆動を開始させることができる。

【０１３４】ところで、本発明は、図３７に例示したよ
うな「両側電極タイプ」の静電アクチュエータにも適用
して同様の効果を得ることができる。

【０１３５】図１６は、両側電極タイプの静電アクチュ
エータの機構部を拡大した模式図である。同図に例示し
たように、一対の固定子１０３ａ、１０３ｂの間に可動
子１０２が設けられ、これら固定子１０３ａ、１０３ｂ
にそれぞれ設けられた駆動電極Ａ〜Ｄに順次電圧を切り
替えて印加することにより、可動子１０２は進行方向に
駆動される。

【０１３６】このような両面電極タイプの静電アクチュ
エータにおいても、停止状態または待機状態において、
可動子１０２が振動や衝撃あるいは外力などにより固定
子に対して平行方向からズレることがある。

【０１３７】従って、本発明により、起動時動作とし
て、上下方向に振動力Ｆｙを与えるとともに、進行方向
に沿った推進力Ｆｘを与えることにより、可動子１０２
を平行な方向に整列させ、円滑な駆動を開始させること
ができる。

【０１３８】図１７は、両面電極型の静電アクチュエー
タの起動時動作における印加電圧パターンの具体例を表
す模式図である。

【０１３９】すなわち、同図に例示した起動時動作にお
いては、上側の固定子１０３ａに設けられた２系統の駆
動電極Ｂ、Ｃと、下側に設けられた２系統の駆動電極
Ａ、Ｄのいずれかを選択して、上下で交互に電圧を印加
する。例えば、「タイプＡ」の場合、電極Ａと電極Ｂと
に交互に電圧を印加する。こうすれば、可動子１０２を
上下に振動させながら電極Ａ及び電極Ｂの方向に収束さ
せて整列させることができる。

【０１４０】図１８は、本具体例の場合の「起動時動
作」と「駆動時動作」との関係を例示する概念図であ
る。

【０１４１】すなわち、同図に表したように、起動時動
作において「タイプＡ」のパターンを用いた場合、可動
子１０２は電極Ａと電極Ｂとの間で振動し収束する。従
って、駆動時動作においては、電極Ａ→電極Ｂ→電極Ｃ
→電極Ｄ→・・の如く電圧を順次切り替えて印加するこ
とにより、円滑な駆動を開始させることができる。但し
ここで、電極Ａではなく、電極Ｂから駆動シーケンスを
開始してもよい。

【０１４２】同様に、起動時動作において「タイプＢ」
を選択した場合には、起動時動作において可動子１０２
は電極Ｂと電極Ｃとの間で振動し収束する。従って、駆
動時動作において、電極Ｂから駆動シーケンスを開始す
るとよい。但し、電極Ｃから駆動シーケンスを開始して
もよい。

【０１４３】また、起動時動作において「タイプＣ」を
選択した場合には、起動時動作において可動子１０２は
電極Ｃと電極Ｄとの間で振動し収束する。従って、駆動
時動作において、電極Ｃから駆動シーケンスを開始する
とよい。但し、電極Ｄから駆動シーケンスを開始しても
よい。

【０１４４】そして、起動時動作において「タイプＤ」
を選択した場合には、起動時動作において可動子１０２
は電極Ｄと電極Ａとの間で振動し収束する。従って、駆
動時動作において、電極Ｄから駆動シーケンスを開始す
るとよい。但し、電極Ａから駆動シーケンスを開始して
もよい。

【０１４５】以上、図１乃至図１８を参照しつつ詳述し
たように、本発明の第１実施形態においては、停止状態
あるいは待機状態から駆動を開始する前に、「起動時動
作」として可動子を上下に振動させながら推進力を与え
ることにより、固定子の電極パターンに対して平行な方
向に整列させることができる。その結果として、円滑な
駆動を開始させることができる。

【０１４６】また、本実施形態は、図１に表したような
「片側電極タイプ」の静電アクチュエータにおいても、
図１６に表した「両側電極タイプ」の静電アクチュエー
タにおいても同様に実施可能であり、同様の作用効果を
得ることができる。

【０１４７】（第２の実施の形態）次に、本発明の第２
の実施の形態として、停止状態あるいは待機状態におい
て、可動子を上下に振動させることにより可動子を所定
位置に固定する「保持動作」を行う静電アクチュエータ
について説明する。

【０１４８】図１９は、本実施形態の静電アクチュエー
タにおける保持動作と駆動時動作との関係を表す概念図
である。すなわち、アクチュエータの停止状態あるいは
待機状態においては「保持動作」を実行させることによ
り、可動子を固定子のパターンに対して平行に整列させ
ておく。そして、可動子を駆動させる必要が生じた場合
には、「駆動時動作」に移行する。

【０１４９】本実施形態における「保持動作」の内容
は、第１実施形態における「起動時動作」と類似する。
そこで、以下、第１実施形態に関して前述した図１乃至
図１８を参照しつつ、本実施形態の「保持動作」につい
て説明する。

【０１５０】まず、図１に例示したような「片側電極タ
イプ」の静電アクチュエータの場合には、図６に例示し
たように２系統の駆動電極（例えば、電極ＡとＢ）と下
部電極Ｆとの間に交互に電圧を印加することにより、可
動子３を上下に振動させつつ推進力Ｆｘを作用させて、
所定位置に収束・静定させておくことができる。この際
に可動子３に作用する推進力Ｆｘは、図７に表した如き
分布を有する。

【０１５１】このように、停止状態あるいは待機状態に
おいて可動子３を上下に振動させつつ収束点への推進力
を作用させておくと、振動や衝撃あるいは外力などが可
動子３に作用して可動子３が動いたとしても、再びその
付近の所定の収束点に静定させることができる。従っ
て、その後に必要に応じて可動子３を駆動させる際に
は、円滑な駆動を開始させることができる。

【０１５２】従って、例えば、図６に例示したような電
圧パターンを用いて「保持動作」を行った場合には、こ
れに引き続く「駆動時動作」の動作シーケンスは図８に
例示した如くとなる。すなわち、例えば、「タイプＡ」
のパターンで「保持動作」を行う場合、可動子３は、電
極Ａ及びＢの中心点に静定しているので、「駆動時動
作」は、電極Ａ及びＢに電圧を印加するフェイズから開
始するとよい。

【０１５３】一方、本実施形態における「保持動作」と
しては、図９に例示したように、隣接する３系統の電極
（例えば、電極Ａ、Ｂ及びＣ）と下部電極Ｆとの間で交
互に電圧を印加させることにより、可動子を振動させて
収束・静定させても良い。この場合には、消費電力は若
干大きくなるものの、大きい発生力が得られるために、
可動子３をより安定に静定できるという効果が得られ
る。

【０１５４】なお、この場合の推進力Ｆｘの分布は図１
０に関して前述した通りであるのでここでは省略する。

【０１５５】一方、本実施形態における「保持動作」と
して、図１１に例示したように、１系統の電極（例え
ば、電極Ａ）と下部電極Ｆとの間で交互に電圧を印加さ
せることにより、可動子を振動させて収束・静定させて
も良い。この場合には、発生力は小さいが、消費電力が
低い点で有利である。また、この場合の推進力Ｆｘの分
布は図１２に関して前述した通りである。

【０１５６】また、本実施形態における「保持動作」と
して、図１３に例示したように、隣接しない２系統の電
極（例えば、電極ＡとＣ）と下部電極Ｆとの間で交互に
電圧を印加させることにより、可動子を振動させて収束
・静定させても良い。この場合の推進力Ｆｘの分布は図
１４に表した如くである。この場合には、収束点が増え
るため、可動子３が動いたとしても、すぐにその直近の
収束点に静定させることができる。

【０１５７】また、この場合の「保持動作」と「駆動時
動作」との関係についても、図１５に関して前出したも
のと同様にすることができる。

【０１５８】一方、本実施形態も「両側電極タイプ」の
静電アクチュエータに適用することができる。すなわ
ち、図１６に例示したような「両側電極タイプ」の静電
アクチュエータにおいて、停止状態あるいは待機状態
に、図１７に例示したような電圧パターンを印加してお
くことにより、可動子１０２を上下に振動させつつ固定
子１０３ａ、１０３ｂのパターンに対して平行に整列さ
せておくことができる。

【０１５９】そして、この場合の「保持動作」と「駆動
時動作」との関係も、図１８に関して前述したものと同
様にすることができる。

【０１６０】以上、図１乃至図１９を参照しつつ説明し
たように、本実施形態においては、停止状態あるいは待
機状態において、可動子を上下に振動させつつ推進力Ｆ
ｘを作用させる「保持動作」を実行させることにより、
可動子を固定子のパターンに対して平行に整列させてお
くことができる。その結果として、可動子を駆動させる
必要が生じた場合に、円滑かつ速やかな駆動が可能とな
る。

【０１６１】本実施形態は、「片側電極タイプ」の静電
アクチュエータにも「両側電極タイプ」の静電アクチュ
エータにも適用して同様の作用効果を得ることができ
る。

【０１６２】なお、本実施形態における「保持動作」と
しては、図６に例示したような電圧パターンを、アクチ
ュエータの停止状態あるいは待機状態の間、ずっと繰り
返しても良い。このようにすれば、振動や衝撃により可
動子が動いても直ちに位置を修正させて整列させること
ができる。

【０１６３】または、「保持動作」として、図６に例示
したような電圧パターンを間欠的に印加してもよい。す
なわち、数パルス分の電圧パターンを印加した後、所定
の休止時間をはさんで、再び数パルス分の電圧パターン
を印加する、というような間欠的な動作としてもよい。
このようにすれば、「保持動作」の消費電力を低減でき
る。

【０１６４】またさらに、「保持動作」として、図６に
例示したような電圧パターンをクロック周波数を下げて
印加しても良い。すなわち、「駆動時動作」の際に用い
るクロック周波数と比較して低いクロックを用いて電圧
パターンを印加する。このようにすれば、可動子の変動
を直ちに修正できると同時に「保持動作」の消費電力も
低減することができる。

【０１６５】（第３の実施の形態）次に、本発明の第３
の実施の形態として、停止状態あるいは待機状態におい
て、可動子を上下いずれかの固定子に吸引された状態と
することにより可動子を所定位置に固定する「保持動
作」を行う静電アクチュエータについて説明する。

【０１６６】本実施形態における「保持動作」と「駆動
時動作」との関係は、図１９に表したものと同様であ
る。

【０１６７】すなわち、アクチュエータの停止状態ある
いは待機状態においては「保持動作」を実行させること
により、可動子をいずれかの固定子に吸引させておくこ
とにより固定しておく。そして、可動子を駆動させる必
要が生じた場合には、「駆動時動作」に移行する。

【０１６８】図２０は、図１に例示した「片側電極タイ
プ」の静電アクチュエータの機構部を拡大した模式図で
ある。

【０１６９】また、図２１は、固定子２ｂの電極形成面
を眺めた模式図である。

【０１７０】すなわち、駆動電極Ａ〜Ｄと下部電極Ｆの
表面は、それぞれ保護膜４により覆われて保護されてい
る。保護膜４は、絶縁性の材料からなり、例えば、酸化
シリコンや窒化シリコンなどの無機材料、あるいはポリ
イミドなどの有機材料を用いることができる。

【０１７１】そして、これら保護膜４と可動子３とが直
接に接触しないように、ストッパ１０が設けられてい
る。例えば、図２２に表したように、上下の固定子２
ａ、２ｂの表面にストッパ１０を設けて、可動子３とス
トッパ１０とが摺動するようにすれば、可動子３と保護
膜４とが接触するのを防ぐことができる。また、図２３
に表したように、接触を防ぐためのストッパ１０は、可
動子３の側に設けてよい。

【０１７２】さて、図２０に戻って説明を続けると、こ
れらストッパ１０の高さは、例えば、４．５ミクロン程
度とすることができる。また、上下のストッパの間で可
動子３が動き得る振幅値は、例えば４．０ミクロン程度
に設定することができる。

【０１７３】さて、本実施形態においては、アクチュエ
ータの停止状態あるいは待機状態における「保持動作」
として、駆動電極Ａ〜Ｄあるいは下部電極Ｆのいずれか
に電圧を印加して可動子３を吸引する。つまり、可動子
３は、これら電極に吸引されてストッパ１０に押しつけ
られた状態となり、これらの間の摩擦力により固定され
る。

【０１７４】本実施形態において各電極に印加する電圧
パターンとしては、種々のものを挙げることができる。

【０１７５】例えば、最も単純なパターンとしては、駆
動電極Ａ〜Ｄのいずれかまたはこれら全てに電圧を連続
的に印加するパターンを挙げることができる。このよう
にすれば、可動子３を上側の固定子２ａに向けて吸引
し、ストッパ１０に圧接させた状態で固定することがで
きる。

【０１７６】または、下部電極Ｆに連続的に電圧を印加
すれば、可動子３を下側の固定子２ｂに向けて吸引し、
ストッパ１０に圧接させた状態で固定することができ
る。

【０１７７】また一方、駆動電極Ａ〜Ｄのいずれかに順
次切り替えて電圧を印加してもよい。

【０１７８】図２４及び図２５は、このように順次切り
替えて電圧を印加するパターンの具体例を表す模式図で
ある。

【０１７９】すなわち、図２４に表した具体例の場合、
電極Ａと電極Ｂとに交互に電圧を印加することにより可
動子３を吸引して、固定子２ａの側のストッパに圧接固
定することかできる。

【０１８０】また、図２５に表した具体例の場合、電極
Ａ〜Ｄの全てを対象として、順番に切り替えて電圧を印
加する。このようにしても、可動子３を固定子２ａの側
のストッパに圧接固定することかできる。

【０１８１】図２４及び図２５は一例に過ぎず、電圧を
印加する電極の組み合わせとしては、他のあらゆる組み
合わせを用いることが可能である。

【０１８２】しかし、アクチュエータの停止状態あるい
は待機状態が長時間継続するような場合、上述の如く連
続的あるいは断続的に電圧を印加し続けると、駆動電極
Ａ〜Ｄあるいは下部電極Ｆを覆っている保護膜４の分極
が残留する場合がある。すなわち、保護膜４を構成する
酸化シリコンや有機絶縁体などは、電界の印加により分
極するが、その状態を長時間継続すると、電界が消滅し
ても分極が残留する場合がある。このように保護膜４に
「残留分極」が生ずると、「保持動作」が終了して電圧
をゼロに戻しても可動子３は、保護膜４に対して吸引さ
れ続け、「張り付いた」状態となる。つまり、「駆動時
動作」のパルスを与えても可動子３が動かない、という
事態が生ずる場合がある。

【０１８３】本実施形態においては、さらに工夫した電
圧パターンを印加することにより、このような保護膜４
の「残留分極」の発生を解消することができる。

【０１８４】図２６は、残留分極の発生を防ぐことがで
きる電圧パターンを例示する模式図である。

【０１８５】同図に例示したパターンにおいては、駆動
電極Ａ〜Ｄの全てを対象として、電圧の「オン」と「オ
フ」を同期させる。そして、これとは位相を反転させた
「オン」と「オフ」の電圧パターンを可動子３と下部電
極Ｆに印加する。

【０１８６】駆動電極Ａ〜Ｄに電圧を印加し、電極Ｅ及
びＦをローレベルとすると、可動子３（電極Ｅ）を上側
の固定子２ａに吸引することができる。また、電極Ａ及
びＤをローレベルとし、電極Ｅ及びＦをハイレベルとす
ると、やはり可動子３は、上側の固定子２ａに向けて押
しつけられることとなる。

【０１８７】さらに、駆動電極Ａ〜Ｄに電圧が印加され
ている状態と、可動子３（電極Ｅ）に電圧が印加されて
いる状態と、では、電界の向きが反転する。つまり、駆
動電極Ａ〜Ｄを覆っている保護膜４に印加される電界の
向きは、電圧のオン・オフに対応して反転する。

【０１８８】その結果として、保護膜４の分極も短時間
で反転されるために、「残留分極」が生ずる虞はなくな
り、長時間の「保持動作」を継続しても、可動子３の
「張り付き」を解消することができる。

【０１８９】なお、本実施形態において、駆動電極Ａ〜
Ｄのいずれに電圧を印加するかは、適宜決定することが
できる。例えば、図２６に例示したように駆動電極Ａ〜
Ｄの全てに電圧を印加すると、最も大きい吸引力が得ら
れる。一方、駆動電極Ａ〜Ｄのうちのいずれか３系統、
２系統あるいは１系統のみに電圧をそれぞれ印加する場
合には、吸引力は順次低下するが、消費電力の点で順次
有利となる。

【０１９０】図２７は、下部電極の側に可動子を吸引さ
せる場合の電圧パターンの一例を表す模式図である。

【０１９１】すなわち、下部電極Ｆに対して与える電圧
の「オン」と「オフ」に対応して、駆動電極Ａ〜Ｄ及び
可動子３（電極Ｅ）に位相を反転させた電圧を与える。
この場合、下部電極Ｆの電圧が「オン」のフェイズで
は、可動子３は下部電極Ｆに吸引され、一方、駆動電極
Ａ〜Ｄ及び可動子３（電極Ｅ）の電圧が「オン」のフェ
イズではこれらの間に作用する反発力により、可動子３
は下部電極Ｆの側に押しつけられる。

【０１９２】そして、下部電極Ｆを覆う保護膜４に印加
される電界に注目すると、下部電極Ｆが「オン」の状態
と「オフ」の状態とで、電界の向きが反転する。このよ
うにして、下部電極Ｆを覆う保護膜４の「残留分極」を
解消することができる。

【０１９３】一方、本実施形態は、図１６に例示したよ
うな「両側電極タイプ」の静電アクチュエータに適用し
ても同様の作用効果を得ることができる。

【０１９４】すなわち、両面電極タイプの静電アクチュ
エータにおいて、単純に上下いずれかの駆動電極に電圧
を連続的あるいは断続的に印加すれば、可動子１０２を
固定することが可能である。

【０１９５】また、保護膜の残留分極を防ぐためには、
前述の如く可動子１０２にも電圧を印加して電界の向き
を反転させればよい。

【０１９６】図２８は、両側電極タイプの静電アクチュ
エータにおける「保持動作」の電圧パターンを例示する
模式図である。

【０１９７】同図に例示したパターンの場合、例えば、
電極Ａ、Ｂ及びＤと可動子１０２（電極Ｅ）が「オン」
となるフェイズと、電極Ｃのみが「オン」となるフェイ
ズとが交互に繰り返される。このようにすれば、可動子
１０２は電極Ｃの側に吸引され、且つ、電極Ｃの保護膜
に対する電界の向きは周期的に反転するので残留分極を
防ぐことができる。

【０１９８】以上、詳述したように、本実施形態によれ
ば、アクチュエータの停止状態あるいは待機状態におい
て可動子をいずれかの固定子に向けて吸引し、ストッパ
との間の静止摩擦静力により固定することができる。

【０１９９】その結果として、振動や衝撃あるいは外力
などによって可動子が動くことを防止し、駆動を円滑に
開始させることができる。

【０２００】（第４の実施の形態）次に、本発明の第４
の実施の形態として、複数の可動子を有する静電アクチ
ュエータについて説明する。

【０２０１】図２９は、本実施形態にかかる静電アクチ
ュエータの構成を概念的に表した模式図である。すなわ
ち、本実施形態の静電アクチュエータは、固定子２０内
に第１の可動子３１と第２の可動子３２とが設けられて
いる。これら可動子３１、３２は、相互に独立した駆動
が可能とされ、さらに、本発明の第１実施形態にかかる
「起動時動作」、または第２あるいは第３実施形態にか
かる「保持動作」をそれぞれ実行可能とされている。

【０２０２】図３０及び図３１は、本実施形態にかかる
静電アクチュエータをカメラモジュールのレンズ機構に
適用した例を表す模式図である。

【０２０３】このレンズ機構は、四角筒状の固定子２０
と、この固定子２０内を軸方向に沿って往復動自在に配
置された２つの可動子３１、３２とを備え、固定子２０
の一端部に配置され画像を検出するＣＣＤデバイス５０
を設けることでカメラモジュールを構成する。なお、図
中のＣはレンズの光軸方向を表している。

【０２０４】固定子２０は、枠体２１と、ガラス基板上
に半導体プロセス技術を用いてパターンニングされた固
定子電極２２と、枠体２１内部に光軸方向Ｃに沿って延
設された突条部２５と、固定子電極２２に電力を供給す
る電力供給部２６とを備えている。

【０２０５】固定子電極２２は、駆動電極群２３と、下
部電極群２４とを備えている。

【０２０６】駆動電極２３は、光軸方向Ｃに沿って交互
に設けられた４系統の駆動電極２３ａ、２３ｂ、２３
ｃ、２３ｄからなっている。すなわち、各駆動電極２３
ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄは、それぞれ光軸方向Ｃと
交差する方向に沿ってストライプ状に形成されている。
ここで、駆動電極群２３は、４系統に限定されるもので
はなく、３系統あるいは５系統以上とすることもでき
る。

【０２０７】一方、下部電極群２４は、２系統の下部電
極２４ａ、２４ｂからなり、それぞれ光軸方向Ｃに沿っ
てストライプ状に形成されている。

【０２０８】電力供給部２６は、電源保持回路２６ａ及
び制御回路２６ｂを備えている。これらは、図１に例示
した制御回路（スイッチング回路）４０及び電圧源４２
にそれぞれ対応するものである。すなわち、電源保持回
路２６ａは、下部電極群２４のそれぞれの下部電極２４
ａ、２４ｂに対する電圧の供給を選択的に行うことで可
動子３１又は可動子３２のいずれか一方を保持固定し、
その光軸方向Ｃに沿った移動を規制する機能を有してい
る。

【０２０９】制御回路２６ｂは、駆動電極群２３の各駆
動電極２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ及び下部電極群
２４の各下部電極２４ａ、２４ｂのうち電源保持回路２
６ａにて保持状態となっていない下部電極に電圧を交互
供給するとともに、各駆動電極２３ａ、２３ｂ、２３
ｃ、２３ｄに供給する順序を順次切り換える機能を有し
ている。

【０２１０】このような静電アクチュエータにおいて
も、第１実施形態に関して前述した「起動時動作」を実
行させることにより、停止状態あるいは待機状態からの
起動を円滑に行うことができる。この際に、第１の可動
子３１あるいは第２の可動子３２のいずれかを固定して
おく必要がある場合には、第３実施形態に関して前述し
た「保持動作」として、対応する下部電極２４ａと２４
ｂのいずれかに電圧を印加しておけばよい。

【０２１１】また、停止状態あるいは待機状態において
は、第２実施形態あるいは第３実施形態の「保持動作」
を適用することにより、第１及び第２の可動子３１、３
２を整列させあるいは固定しておくことができる。

【０２１２】（第５の実施の形態）次に、本発明の第５
の実施の形態として、第１乃至第４実施形態のいずれか
にかかる静電アクチュエータを搭載した小型カメラモジ
ュールについて説明する。

【０２１３】すなわち、本発明にかかる静電アクチュエ
ータは、第１実施形態に関して前述した「起動時動作」
あるいは、第２及び第３実施形態に関して前述した「保
持動作」を実行させることにより、駆動特性に優れるこ
とから、各種の携帯型の小型カメラの焦点調節機構やズ
ーム機構としての利用に適している。

【０２１４】図３２は、本発明にかかる静電アクチュエ
ータを搭載した小型カメラのモジュール部分を例示した
模式図である。すなわち、同図の小型カメラにおいて
は、基板３２１上には、ＣＭＯＳもしくはＣＣＤ等の撮
像素子があり、その前面には、本発明の第１乃至第４実
施形態にかかる静電アクチュエータ３２２が設けられて
いる。

【０２１５】ここで、静電アクチュエータを構成する可
動子は、例えば、レンズー体型のものを用いることがで
きる。また、基板２１上には静電アクチュエータの駆動
を制御するためのＤＳＰ（Digital Signal Processor）
のＩＣが搭載されている。

【０２１６】図３３は、カメラモジュールのシステム構
成を例示する模式図である。可動子３、１０２の一部に
取り付けられたレンズ３１０を通り、撮像素子３１２に
画像情報が入力される。この画像情報をもとに、波形デ
ータ生成部３２０は、静電アクチュエータ３２２の特定
の電極に印加するパターンを生成する。すなわち、波形
データ生成部３２２は、図１における制御回路４０や電
源４２を包含する構成要素である。

【０２１７】図３４は、本発明の第１実施形態を適用し
た場合の、エラーに対応した駆動ルーチンを表すフロー
チャートである。すなわち、第１実施形態に関して前述
した「起動時動作」が終了した後（Ｓ１）、「駆動時動
作」（前進動作または後退動作）を行う（Ｓ２）。

【０２１８】「起動時動作」が正常に終了した場合は、
駆動動作を行った場合レンズの位置が移動することによ
って画像情報が変化（Ｓ３：ＹＥＳ）する。この画像情
報のうち、例えば輝度情報をモニタし、輝度情報に変化
があった場合は可動子が正常に動作していることが確認
できる。従って、このまま駆動動作を続行する（Ｓ
４）。

【０２１９】一方、もし駆動波形を出力した場合に画像
情報が変化しない場合（Ｓ３：ＮＯ）は、可動子が正常
に動いていない可能性があり、起動時動作をもう一度繰
り返すことによって復旧を試みる。

【０２２０】また、図３５は、本発明の第２または第３
の実施形態の「保持動作」を含めた場合の駆動シーケン
スを例示するフローチャートである。

【０２２１】ここで、「駆動動作」と「保持動作」とは
繰り返し行われるが、保持動作（Ｓ１１）から駆動動作
（Ｓ１２）に切り替わるときに、残留分極により保護膜
に電荷がチャージされている場合は可動子３、１０２を
スムーズに動かすことができない。そのため、駆動動作
を与えたにもかかわらず、映像情報に変化がない場合
（Ｓ１３：ＮＯ）がある。この駆動時の映像情報の変化
（例えば輝度値の変化）をモニタすることで、電荷が絶
縁層にたまっているかどうかを判定できる（Ｓ３）。

【０２２２】電荷が絶縁層に残っている場合はディスチ
ャージ動作を行って、電荷を開放（Ｓ１４）し、もう一
度駆動動作を行う（Ｓ１２）。この場合のディスチャー
ジ動作としては、例えば、一定時間電圧の印加を停止し
たり、あるいは電界が反転するように電圧を印加するな
どの方法がある。

【０２２３】一方、映像情報に変化が生ずる場合（Ｓ１
３：ＹＥＳ）は、そのまま駆動動作を完了させて、シー
ケンスが終了しない場合（Ｓ１５：ＮＯ）には、保持動
作（Ｓ１１）に戻る。また一方、シーケンスを終了する
場合（Ｓ１５：ＹＥＳ）には、処理を終了する。

【０２２４】一方、第４実施形態に関して前述したよう
な複数の可動子を有する静電アクチュエータをカメラモ
ジュールに搭載することもできる。

【０２２５】例えば、ズーム光学系を構成するには、少
なくとも２組の移動可能なレンズ群が必要とされ、光軸
方向に短い小型のズーム光学系は、それぞれのレンズ群
を離した位置から一度近接させて離す位置関係で光学倍
率を変化させることが多い。

【０２２６】図３６は、このような複数の可動子を有す
る静電アクチュエータを搭載したカメラモジュールの動
作シーケンスを例示するフローチャートである。

【０２２７】すなわち、ここでは、第１の可動子に第１
群のレンズを搭載し、第２の可動子に第２群のレンズを
搭載して、これらを順次駆動させる場合を想定してい
る。

【０２２８】まず、第２群を保持した状態で第１群を駆
動させる（Ｓ２１）。ここで、例えば、第３実施形態に
関して前述した「保持動作」により第２群を下部電極に
吸引させて保持しておくことができる。また、第１群の
駆動に先立って、第１実施形態に関して前述した「起動
時動作」を実行させることができる。

【０２２９】次に、映像情報が変化したか否かを判定す
る（Ｓ２２）。第１群が円滑に駆動を開始した場合に
は、映像情報が変化する（Ｓ２２：ＹＥＳ）ので、この
場合には、次のステップＳ２４へ進む。

【０２３０】一方、映像情報が変化しない場合（Ｓ２
２：ＮＯ）は、ディスチャージ動作を実行させる（Ｓ２
３）。この動作は、図３５に関して前述した通りであ
る。

【０２３１】さて、第１群の駆動が終了したら、第１群
を保持して第２群を駆動させる（Ｓ２４）。この際に
も、例えば、第３実施形態に関して前述した「保持動
作」により第１群を下部電極に吸引して固定することが
できる。また、第２群の駆動に先立って、第１実施形態
に関して前述した「起動時動作」を実行させることによ
り、円滑に駆動を開始させることが可能となる。

【０２３２】次に、映像情報が変化したか否かを判定す
る（Ｓ２５）。第２群が円滑に駆動を開始した場合に
は、映像情報が変化する（Ｓ２５：ＹＥＳ）ので、この
場合には、次のステップＳ２７へ進み、第１群、第２群
ともに「保持動作」を実行させる。ここでの「保持動
作」としては、第２あるいは第３実施形態に関して前述
したいずれかを採用することができる。

【０２３３】一方、映像情報が変化しない場合（Ｓ２
５：ＮＯ）は、ディスチャージ動作を実行させる（Ｓ２
６）。この動作も、図３５に関して前述した通りであ
る。

【０２３４】以上説明したように、本発明によれば、第
４実施形態に関して前述した静電アクチュエータを用い
ることより、このような２組のレンズ群を光軸に沿って
独立に移動可能とし、しかも、「起動時動作」あるいは
「保持動作」を実行させることにより、確実且つ円滑な
動作を確保できる。

【０２３５】以上、説明したように、本発明のカメラモ
ジュールは、第１乃至第４実施形態のいずれかを適用し
た静電アクチュエータを搭載することにより、停止状態
あるいは待機状態からの円滑な動作が可能となる。そし
て、確実且つ安定したフォーカシングやズーミングが可
能となり、小型カメラモジュールの性能を向上させるこ
とができる。

【０２３６】そして、日常的に持ち運ばれ、振動や衝撃
あるいは外力が与えられやすい、携帯電話やデジタルカ
メラあるいは携帯型パソコン等のカメラユニットなどと
して用いて好適である。

【０２３７】

【発明の効果】本発明は以上説明した構成を有し以下に
説明する効果を奏する。

【０２３８】まず、本発明によれば、起動時に可動子を
強制的に上下に振動させることにより、固定子と可動子
との配置を平行に修正させて円滑な駆動を開始させるこ
とができる。

【０２３９】また、本発明によれば、停止状態あるいは
待機状態において、可動子を上下に振動させることによ
り可動子を所定位置に固定する「保持動作」を行うこと
により、固定子と可動子との配置を平行に修正させて円
滑な駆動を開始させることができる。

【０２４０】またさらに、本発明によれば、停止状態あ
るいは待機状態において、可動子を上下いずれかの固定
子に吸引された状態とすることにより可動子を所定位置
に固定することにより、固定子と可動子との配置を平行
な状態に維持して円滑な駆動を開始させることができ
る。

【０２４１】すなわち、本発明によれば、振動や衝撃あ
るいは外力が与えられやすい、携帯電話やデジタルカメ
ラあるいは携帯型パソコン等の各種の機器に用いて好適
な静電アクチュエータを実現でき、産業上のメリットは
多大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかる静電アクチュエー
タの概略構成を表す模式図である。

【図２】第１の固定子２ａにおける電極Ａ〜Ｄの配列を
例示する平面図である。

【図３】本発明の静電アクチュエータにおける起動時動
作と駆動時動作との関係を表す概念図である。

【図４】起動時動作の前後での固定子と可動子との配置
関係を例示した模式図である。

【図５】図１に例示した「片側電極タイプ」の静電アク
チュエータの一部を拡大した模式図である。

【図６】起動時動作において静電アクチュエータに与え
る印加電圧パターンの第１の具体例を例示する模式図で
ある。

【図７】図６に表したように隣接する２つの駆動電極に
電圧を同時に印加した場合の、推進力Ｆｘの分布を表す
グラフ図である。

【図８】「起動時動作」と「駆動時動作」との関係を表
す概念図である。

【図９】起動時動作における印加電圧パターンの第２の
具体例を例示する模式図である。

【図１０】、図９に表したように隣接する３系統の駆動
電極に電圧を同時に印加した場合の、推進力Ｆｘの分布
を表すグラフ図である。

【図１１】起動時動作における印加電圧パターンの第３
の具体例を例示する模式図である。

【図１２】図１１に表したように１系統の駆動電極のみ
に電圧を同時に印加した場合の、推進力Ｆｘの分布を表
すグラフ図である。

【図１３】起動時動作における印加電圧パターンの第４
の具体例を例示する模式図である。

【図１４】図１３に表したように隣接しない２系統の駆
動電極のみに電圧を同時に印加した場合の、推進力Ｆｘ
の分布を表すグラフ図である。

【図１５】本発明の具体例の場合の起動時動作と駆動時
動作の関係を例示する概念図である。

【図１６】両側電極タイプの静電アクチュエータの機構
部を拡大した模式図である。

【図１７】両面電極型の静電アクチュエータの起動時動
作における印加電圧パターンの具体例を表す模式図であ
る。

【図１８】本発明の具体例の場合の「起動時動作」と
「駆動時動作」との関係を例示する概念図である。

【図１９】本発明の実施形態の静電アクチュエータにお
ける保持動作と駆動時動作との関係を表す概念図であ
る。

【図２０】図１に例示した「片側電極タイプ」の静電ア
クチュエータの機構部を拡大した模式図である。

【図２１】固定子２ｂの電極形成面を眺めた模式図であ
る。

【図２２】上下の固定子２ａ、２ｂの表面にストッパ１
０を設けられた静電アクチュエータを表す模式図であ
る。

【図２３】ストッパ１０が可動子３の側に設けられた静
電アクチュエータを表す模式図である。

【図２４】このように順次切り替えて電圧を印加するパ
ターンの具体例を表す模式図である。

【図２５】このように順次切り替えて電圧を印加するパ
ターンの具体例を表す模式図である。

【図２６】残留分極の発生を防ぐことができる電圧パタ
ーンを例示する模式図である。

【図２７】下部電極の側に可動子を吸引させる場合の電
圧パターンの一例を表す模式図である。

【図２８】両側電極タイプの静電アクチュエータにおけ
る「保持動作」の電圧パターンを例示する模式図であ
る。

【図２９】本発明の実施形態にかかる静電アクチュエー
タの構成を概念的に表した模式図である。

【図３０】本発明の実施形態にかかる静電アクチュエー
タをカメラモジュールのレンズ機構に適用した例を表す
模式図である。

【図３１】本発明の実施形態にかかる静電アクチュエー
タをカメラモジュールのレンズ機構に適用した例を表す
模式図である。

【図３２】本発明にかかる静電アクチュエータを搭載し
た小型カメラのモジュール部分を例示した模式図であ
る。

【図３３】カメラモジュールのシステム構成を例示する
模式図である。

【図３４】本発明の第１実施形態を適用した場合の、エ
ラーに対応した駆動ルーチンを表すフローチャートであ
る。

【図３５】本発明の第２または第３の実施形態の「保持
動作」を含めた場合の駆動シーケンスを例示するフロー
チャートである。

【図３６】複数の可動子を有する静電アクチュエータを
搭載したカメラモジュールの動作シーケンスを例示する
フローチャートである。

【図３７】両面電極タイプの静電アクチュエータの構成
を表す模式図である。

【図３８】片側電極タイプの静電アクチュエータの概略
構成を表す模式図である。

【図３９】制御回路１４０により各電極に印加される電
圧波形を表すタイミングチャートである。

【図４０】「片側電極タイプ」の静電アクチュエータを
駆動させるための、もうひとつのタイミングチャートで
ある。

【符号の説明】

２ａ 固定子 ２ｂ 固定子 ３ 可動子 ３ａ 凸部 ４ 保護膜 １０ ストッパ ２０ 固定子 ２１ 基板 ２２ 固定子電極 ２３ 駆動電極群 ２３ａ 駆動電極 ２４ 下部電極群 ２４ａ、２４ｂ 下部電極 ２５ 突条部 ２６ 電力供給部 ２６ａ 電源保持回路 ２６ｂ 制御回路 ３１、３２ 可動子 ４０ 制御回路 ４２ 電圧源 ５０ デバイス １０１ 静電アクチュエータ １０２ 可動子 １０３ａ 上側固定子 １０３ａ 固定子 １０３ｂ 下側固定子 １０４ 電極部 １４０ 制御回路 １４２ 電圧源 ３１０ レンズ ３１２ 撮像素子 ３２０ 波形データ生成部 ３２１ 基板 ３２２ 波形データ生成部 ３２２ 静電アクチュエータ Ａ〜Ｄ 駆動電極 ＣＬ 中心線 Ｆ 下部電極 Ｆｘ 推進力 Ｆｙ 振動力

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−239578（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−304192（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−194190（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−225198（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−140367（ＪＰ，Ａ) 特開2001−346385（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H02N 1/00 H02N 11/00 G02B 7/04 G02B 7/08

Claims (18)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数の系統の駆動電極を含む第１の電極を
   有する第１の固定子と、 第２の電極を有し、前記第１の固定子と対向して設けら
   れた第２の固定子と、 前記第１の固定子と前記第２の固定子との間に設けられ
   た可動子と、 前記複数の系統の駆動電極のうちの少なくともいずれか
   ひとつの系統の駆動電極と前記可動子との間に電位差が
   生ずる電圧を印加するタイミングと、前記第２の電極と
   前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を印加する
   タイミングと、を交互に繰り返すことにより、前記可動
   子を前記第１の電極と前記第２の電極との間で複数回振
   動させた後、 前記複数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ前記第１
   の電極と前記可動子との間、及び前記第２の電極と前記
   可動子との間に電位差を生じさせる電圧を断続的に印加
   することにより、前記可動子を前記第１及び第２の固定
   子の対向面に対して略平行な駆動方向に向けて駆動させ
   る、制御回路と、 を備えたことを特徴とする静電アクチュエータ。
2. 【請求項２】前記第１の電極は、前記駆動方向に沿って
   少なくとも３系統の駆動電極が順番に現れるように周期
   的に配置された前記駆動電極を有し、 前記第２の電極は、前記駆動方向に延設された１系統の
   下部電極を有し、 前記制御回路は、前記少なくとも３系統の駆動電極のう
   ちの少なくともいずれかの系統の駆動電極と前記可動子
   との間に電位差を生じさせる電圧を印加するタイミング
   と、前記下部電極と前記可動子との間に電位差を生じさ
   せる電圧を印加するタイミングと、を交互に繰り返すこ
   とにより、前記可動子を前記少なくともいずれかの系統
   の駆動電極と前記下部電極との間で前記複数回振動させ
   た後、 前記少なくとも３系統の駆動電極と前記可動子との間に
   電位差を生じさせる電圧を前記駆動方向に沿って前記系
   統ごとに順次切り替えて印加することにより、前記可動
   子を前記駆動させることを特徴とする請求項１記載の静
   電アクチュエータ。
3. 【請求項３】前記第１の電極は、前記駆動方向に沿って
   少なくとも２系統の駆動電極が順番に現れるように周期
   的に配置された前記駆動電極を有し、 前記第２の電極は、前記駆動方向に沿って少なくとも２
   系統の駆動電極が順番に現れるように周期的に配置され
   た前記駆動電極を有し、 前記制御回路は、前記第１の電極の前記少なくとも２系
   統の駆動電極のうちの少なくともいずれかの系統の駆動
   電極と前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を印
   加するタイミングと、前記第２の電極の前記少なくとも
   ２系統の駆動電極のうちの少なくともいずれかの系統の
   駆動電極と前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧
   を印加するタイミングと、を交互に繰り返すことによ
   り、前記可動子を前記第１の電極の前記少なくともいず
   れかの系統の駆動電極と前記第２の電極の前記少なくと
   もいずれかの系統の駆動電極との間で前記複数回振動さ
   せることを特徴とする請求項１記載の静電アクチュエー
   タ。
4. 【請求項４】複数の系統の駆動電極を含む第１の電極を
   有する第１の固定子と、 第２の電極を有し、前記第１の固定子と対向して設けら
   れた第２の固定子と、 前記第１の固定子と前記第２の固定子との間に設けられ
   た可動子と、 前記複数の系統の駆動電極のうちの少なくともいずれか
   ひとつの系統の駆動電極と前記可動子との間に電位差が
   生ずる電圧を印加するタイミングと、前記第２の電極と
   前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を印加する
   タイミングと、を交互に繰り返すことにより、前記可動
   子を前記第１の電極と前記第２の電極との間で振動させ
   つつ保持し、 前記複数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ前記第１
   の電極と前記可動子との間、及び前記第２の電極と前記
   可動子との間に電位差を生じさせる電圧を断続的に印加
   することにより、前記可動子を前記第１及び第２の固定
   子の対向面に対して略平行な駆動方向に向けて駆動させ
   る、制御回路と、 を備えたことを特徴とする静電アクチュエータ。
5. 【請求項５】前記第１の電極は、前記駆動方向に沿って
   少なくとも３系統の駆動電極が順番に現れるように周期
   的に配置された前記駆動電極を有し、 前記第２の電極は、前記駆動方向に延設された１系統の
   下部電極を有し、 前記制御回路は、前記少なくとも３系統の駆動電極のう
   ちの少なくともいずれかの系統の駆動電極と前記可動子
   との間に電位差を生じさせる電圧を印加するタイミング
   と、前記下部電極と前記可動子との間に電位差を生じさ
   せる電圧を印加するタイミングと、を交互に繰り返すこ
   とにより、前記可動子を前記少なくともいずれかの系統
   の駆動電極と前記下部電極との間で前記振動させつつ保
   持し、 前記少なくとも３系統の駆動電極と前記可動子との間に
   電位差を生じさせる電圧を前記駆動方向に沿って前記系
   統ごとに順次切り替えて印加することにより、前記可動
   子を前記駆動させることを特徴とする請求項４記載の静
   電アクチュエータ。
6. 【請求項６】前記第１の電極は、前記駆動方向に沿って
   少なくとも２系統の駆動電極が順番に現れるように周期
   的に配置された前記駆動電極を有し、 前記第２の電極は、前記駆動方向に沿って少なくとも２
   系統の駆動電極が順番に現れるように周期的に配置され
   た前記駆動電極を有し、 前記制御回路は、前記第１の電極の前記少なくとも２系
   統の駆動電極のうちの少なくともいずれかの系統の駆動
   電極と前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を印
   加するタイミングと、前記第２の電極の前記少なくとも
   ２系統の駆動電極のうちの少なくともいずれかの系統の
   駆動電極と前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧
   を印加するタイミングと、を交互に繰り返すことによ
   り、前記可動子を前記第１の電極の前記少なくともいず
   れかの系統の駆動電極と前記第２の電極の前記少なくと
   もいずれかの系統の駆動電極との間で前記振動させつつ
   保持することを特徴とする請求項４記載の静電アクチュ
   エータ。
7. 【請求項７】前記可動子を前記駆動させるに際して、前
   記少なくともいずれかの系統の駆動電極から順次切り替
   えて前記電圧を印加することを特徴とする請求項２また
   は５に記載の静電アクチュエータ。
8. 【請求項８】前記少なくともいずれかの系統の駆動電極
   は、隣接する複数の系統の駆動電極であることを特徴と
   する請求項２、５及び７のいずれか１つに記載の静電ア
   クチュエータ。
9. 【請求項９】複数の系統の駆動電極を含む第１の電極を
   有する第１の固定子と、 第２の電極を有し、前記第１の固定子と対向して設けら
   れた第２の固定子と、 前記第１の固定子と前記第２の固定子との間に設けられ
   た可動子と、 前記第１及び第２の電極の少なくともいずれかと前記可
   動子との間に電位差を生じさせる電圧を連続的に印加す
   ることにより、前記第１及び第２の電極のいずれかに向
   けた力を連続的に前記可動子に作用させた状態で保持
   し、 前記複数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ前記第１
   の電極と前記可動子との間、及び前記第２の電極と前記
   可動子との間に電位差を生じさせる電圧を断続的に印加
   することにより、前記可動子を前記第１及び第２の固定
   子の対向面に対して略平行な駆動方向に向けて駆動させ
   る、制御回路と、 を備えたことを特徴とする静電アクチュエータ。
10. 【請求項１０】保護膜により覆われ複数の系統の駆動電
    極を含む第１の電極を有する第１の固定子と、 保護膜により覆われた第２の電極を有し、前記第１の固
    定子と対向して設けられた第２の固定子と、 前記第１の固定子と前記第２の固定子との間に設けられ
    た可動子と、 前記第１及び第２の電極のいずれか一方と前記可動子と
    の間に吸引力が発生するように前記第１及び第２の電極
    の前記いずれか一方に電圧を印加するタイミングと、前
    記第１及び第２の電極のいずれか他方と前記可動子との
    間に反発力が発生するように前記第１及び第２の電極並
    びに前記可動子の少なくともいずれかに電圧を印加する
    タイミングと、を交互に繰り返すことにより、前記第１
    及び第２の電極の前記いずれか一方に向けた力を連続的
    に前記可動子に作用させた状態で保持し、 前記複数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ前記第１
    の電極と前記可動子との間、及び前記第２の電極と前記
    可動子との間に電位差を生じさせる電圧を断続的に印加
    することにより、前記可動子を前記第１及び第２の固定
    子の対向面に対して略平行な駆動方向に向けて駆動させ
    る、制御回路と、 を備えたことを特徴とする静電アクチュエータ。
11. 【請求項１１】前記第１及び第２の固定子の少なくとも
    いずれかと前記可動子との間に設けられたストッパをさ
    らに備え、 前記可動子は、前記力を作用させた状態において前記ス
    トッパに接触することを特徴とする請求項９または１０
    に記載の静電アクチュエータ。
12. 【請求項１２】複数の系統の駆動電極を含む第１の電極
    を有する第１の固定子と、 複数の系統の下部電極を含む第２の電極を有し、前記第
    １の固定子と対向して設けられた第２の固定子と、 前記第１の固定子と前記第２の固定子との間に設けられ
    た第１の可動子と、 前記第１の固定子と前記第２の固定子との間に設けられ
    た第２の可動子と、 前記複数の系統の下部電極のうちのいずれかの系統の下
    部電極と前記第１及び第２の可動子のいずれか一方との
    間に電位差を生じさせる電圧を連続的に印加することに
    より、前記第１及び第２の電極のいずれかに向けた力を
    前記いずれか一方の可動子に作用させた状態で保持しつ
    つ、 前記複数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ前記第１
    の電極と前記第１及び第２の可動子のいずれか他方との
    間、及び前記第２の電極と前記第１及び第２の可動子の
    いずれか他方との間に電位差を生じさせる電圧を断続的
    に印加することにより、前記いずれか他方の可動子を前
    記第１及び第２の固定子の対向面に対して略平行な駆動
    方向に向けて駆動させる、制御回路と、 を備えたことを特徴とする静電アクチュエータ。
13. 【請求項１３】前記制御回路は、前記複数の系統の駆動
    電極のうちの少なくともいずれかひとつの系統の駆動電
    極と前記可動子との間に電位差が生ずる電圧を印加する
    タイミングと、前記第２の電極と前記可動子との間に電
    位差を生じさせる電圧を印加するタイミングと、を交互
    に繰り返すことにより、前記いずれか他方の可動子を前
    記第１の電極と前記第２の電極との間で複数回振動させ
    た後に、 前記いずれか他方の可動子を前記駆動方向に向けて駆動
    させることを特徴とする請求項１２記載の静電アクチュ
    エータ。
14. 【請求項１４】複数の系統の駆動電極を含む第１の電極
    を有する第１の固定子と、第２の電極を有し、前記第１
    の固定子と対向して設けられた第２の固定子と、前記第
    １の固定子と前記第２の固定子との間に設けられた可動
    子と、を有する静電アクチュエータの駆動方法であっ
    て、前記複数の系統の駆動電極のうちの少なくともいず
    れかひとつの系統の駆動電極と前記可動子との間に電位
    差が生ずる電圧を印加するタイミングと、前記第２の電
    極と前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を印加
    するタイミングと、を交互に繰り返すことにより、前記
    可動子を前記第１の電極と前記第２の電極との間で複数
    回振動させた後、 前記複数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ前記第１
    の電極と前記可動子との間、及び前記第２の電極と前記
    可動子との間に電位差を生じさせる電圧を断続的に印加
    することにより、前記可動子を前記第１及び第２の固定
    子の対向面に対して略平行な駆動方向に向けて駆動させ
    ることを特徴とする静電アクチュエータの駆動方法。
15. 【請求項１５】複数の系統の駆動電極を含む第１の電極
    を有する第１の固定子と、第２の電極を有し、前記第１
    の固定子と対向して設けられた第２の固定子と、前記第
    １の固定子と前記第２の固定子との間に設けられた可動
    子と、を有する静電アクチュエータの駆動方法であっ
    て、 前記複数の系統の駆動電極のうちの少なくともいずれか
    ひとつの系統の駆動電極と前記可動子との間に電位差が
    生ずる電圧を印加するタイミングと、前記第２の電極と
    前記可動子との間に電位差を生じさせる電圧を印加する
    タイミングと、を交互に繰り返すことにより、前記可動
    子を前記第１の電極と前記第２の電極との間で振動させ
    つつ保持し、 前記複数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ前記第１
    の電極と前記可動子との間、及び前記第２の電極と前記
    可動子との間に電位差を生じさせる電圧を断続的に印加
    することにより、前記可動子を前記第１及び第２の固定
    子の対向面に対して略平行な駆動方向に向けて駆動させ
    ることを特徴とする静電アクチュエータの駆動方法。
16. 【請求項１６】複数の駆動電極を含む第１の電極を有す
    る第１の固定子と、第２の電極を有し、前記第１の固定
    子と対向して設けられた第２の固定子と、前記第１の固
    定子と前記第２の固定子との間に設けられた可動子と、
    を有する静電アクチュエータの駆動方法であって、 前記第１及び第２の電極の少なくともいずれかと前記可
    動子との間に電位差を生じさせる電圧を連続的に印加す
    ることにより、前記第１及び第２の電極のいずれかに向
    けた力を連続的に前記可動子に作用させた状態で保持
    し、 前記複数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ前記第１
    の電極と前記可動子との間、及び前記第２の電極と前記
    可動子との間に電位差を生じさせる電圧を断続的に印加
    することにより、前記可動子を前記第１及び第２の固定
    子の対向面に対して略平行な駆動方向に向けて駆動させ
    ることを特徴とする静電アクチュエータの駆動方法。
17. 【請求項１７】保護膜により覆われ複数の駆動電極を含
    む第１の電極を有する第１の固定子と、保護膜により覆
    われた第２の電極を有し、前記第１の固定子と対向して
    設けられた第２の固定子と、前記第１の固定子と前記第
    ２の固定子との間に設けられた可動子と、を有する静電
    アクチュエータの駆動方法であって、 前記第１及び第２の電極のいずれか一方と前記可動子と
    の間に吸引力が発生するように前記第１及び第２の電極
    の前記いずれか一方に電圧を印加するタイミングと、前
    記第１及び第２の電極のいずれか他方と前記可動子との
    間に反発力が発生するように前記第１及び第２の電極並
    びに前記可動子の少なくともいずれかに電圧を印加する
    タイミングと、を交互に繰り返すことにより、前記第１
    及び第２の電極の前記いずれか一方に向けた力を連続的
    に前記可動子に作用させた状態で保持し、 前記複数の系統の駆動電極を順次切り替えつつ前記第１
    の電極と前記可動子との間、及び前記第２の電極と前記
    可動子との間に電位差を生じさせる電圧を断続的に印加
    することにより、前記可動子を前記第１及び第２の固定
    子の対向面に対して略平行な駆動方向に向けて駆動させ
    ることを特徴とする静電アクチュエータの駆動方法。
18. 【請求項１８】撮像素子と、 請求項１〜１３のいずれか１つに記載の静電アクチュエ
    ータと、 前記静電アクチュエータの前記可動子に設けられ前記撮
    像素子に光学的情報を入力するレンズと、 を備えたことを特徴とするカメラモジュール。