JP2006078969A - エレクトレットアクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【課題】構成が簡単で、且つ構成要素を増やすことなく、移動部材の走行時の揺れを低減させて直進性を向上させることのできるエレクトレットアクチュエータを提供することである。
【解決手段】エレクトレットアクチュエータは、表面に複数の駆動用電極28を有する固定基板29と、該固定基板29の駆動用電極28に対向する部位に所定のピッチで帯状にエレクトレット化されたエレクトレット領域26を有し、上記駆動用電極28の電荷により駆動力を受けて、上記固定基板29に対し相対移動可能な移動子25とを有している。上記エレクトレット領域26は、その略中央の幅が両端の幅よりも大きく形成されている。そして、駆動回路より上記駆動用電極28に電圧が印加されることにより、所定の方向に移動子25が移動する。
【選択図】 図3
【解決手段】エレクトレットアクチュエータは、表面に複数の駆動用電極28を有する固定基板29と、該固定基板29の駆動用電極28に対向する部位に所定のピッチで帯状にエレクトレット化されたエレクトレット領域26を有し、上記駆動用電極28の電荷により駆動力を受けて、上記固定基板29に対し相対移動可能な移動子25とを有している。上記エレクトレット領域26は、その略中央の幅が両端の幅よりも大きく形成されている。そして、駆動回路より上記駆動用電極28に電圧が印加されることにより、所定の方向に移動子25が移動する。
【選択図】 図3
Description
本発明は、デジタルカメラ等に搭載される静電シャッタ装置を駆動するエレクトレットアクチュエータに関するものである。
従来より、シャッタ機構のアクチュエータを小型で簡単な機構にするために、様々な提案がなされている。例えば、移動部材として、永久分極され、延出された誘導体(以下、エレクトレットと称する)を用いた静電アクチュエータが知られている(例えば、特許文献1参照)。この静電アクチュエータは、エレクトレットを用いることにより、複数の駆動用電極に印加する電圧を低く設定している。
一方で、エレクトレットシャッタの直進性を向上させるものとして、駆動用電極の中央部を太く形成する技術が知られている(例えば、特許文献2参照)。
特開平5−184162号公報
特許第3312136号公報
しかしながら、上記特許文献1では、移動部材に設置されたエレクトレットの電荷列と固定基板上の駆動用電極とが平行に配置されているため、移動方向に拘束する力は作用しているものの、移動方向に直交する方向に対して移動部材を拘束するような力は作用していない。そのため、移動部材と固定基板との間で、移動方向に直交する方向に不均一な摩擦力が生じた場合、移動部材の進行方向に直交する方向の揺れを制御することはできないものであった。
また、上記特許文献2に記載のものは、移動部材の帯電分布が一様の場合にのみ成立するものであり、帯電分布が一様ではない場合は、駆動用電極の中央部を太く形成しても、移動部材の移動方向が曲がってしまう虞れがあった。
したがって本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、構成が簡単で、且つ構成要素を増やすことなく、移動部材の走行時の揺れを低減させて直進性を向上させることのできるエレクトレットアクチュエータを提供することを目的とする。
すなわち、請求項1に記載の発明は、表面に複数の駆動用電極を有する固定部材と、上記駆動用電極に対向する部位で所定のピッチで帯状にエレクトレット化された部位を有し、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な移動部材と、上記移動部材を移動させるために上記駆動用電極に電圧を印加する駆動手段と、を具備し、上記帯状エレクトレット化部位の略中央の幅が両端の幅よりも大きいことを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明に於いて、上記駆動用電極の長さは、上記移動部材の上記エレクトレット化部位の長さよりも短いことを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、表面に複数の駆動用電極を有する固定部材と、上記駆動用電極に対向する部位で所定のピッチで帯状にエレクトレット化された部位を有し、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な移動部材と、上記移動部材を移動させるために上記駆動用電極に電圧を印加する駆動手段と、を具備し、上記帯状エレクトレット化部位の略中央の電荷密度が両端の電荷密度よりも高いことを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明に於いて、上記駆動用電極の長さは、上記移動部材の上記エレクトレット化部位の長さよりも短いことを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、表面に複数の駆動用電極を有する固定部材と、上記駆動用電極に対向する部位で所定のピッチで帯状にエレクトレット化された部位を有し、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な移動部材と、上記移動部材を移動させるために上記駆動用電極に電圧を印加する駆動手段と、を具備し、上記帯状エレクトレット化部位の帯電量は、中央部が両端部よりも多いことを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、請求項5に記載の発明に於いて、上記駆動用電極の長さは、上記移動部材の上記エレクトレット化部位の長さよりも短いことを特徴とする。
請求項7に記載の発明は、請求項5に記載の発明に於いて、上記帯状エレクトレット化部位は、略中央の幅が両端の幅よりも大きいことを特徴とする。
請求項8に記載の発明は、請求項5に記載の発明に於いて、上記帯状エレクトレット化部位は、略中央の電荷密度が両端の電荷密度よりも高いことを特徴とする。
請求項9に記載の発明は、表面に延出された複数の駆動用電極を有する固定部材と、上記固定部材の上記駆動用電極と対向する面側であって、その長手方向と直交する方向に所定のピッチで配列された複数のエレクトレット化部位を有し、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な移動部材と、上記移動部材を移動させるために上記駆動用電極に電圧を印加する駆動手段と、を具備し、上記複数のエレクトレット化部位は、その中央部の帯電量が両端部の帯電量よりも多いことを特徴とする。
請求項10に記載の発明は、請求項9に記載の発明に於いて、上記駆動用電極の長手方向の長さは、上記複数のエレクトレット化部位の長手方向の長さよりも短いことを特徴とする。
請求項11に記載の発明は、請求項9に記載の発明に於いて、上記複数のエレクトレット化部位は、略中央の幅が両端の幅よりも大きいことを特徴とする。
請求項12に記載の発明は、請求項9に記載の発明に於いて、上記複数のエレクトレット化部位は、その長手方向に於いて略中央の電荷密度が両端の電荷密度よりも高いことを特徴とする。
本発明によれば、構成が簡単で、且つ構成要素を増やすことなく、移動部材の走行時の揺れを低減させて直進性を向上させることのできるエレクトレットアクチュエータを提供することができる。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。
はじめに、図5及び図6を参照して、本発明に係るエレクトレットアクチュエータに於けるシャッタ機構の駆動原理について説明する。
本シャッタ装置は、基本的に固定部材としての固定子1と移動部材としての移動子2とを備えており、移動子2は固定子1に対して図5(a)及び(b)に於いて左右方向に移動自在に構成されている。そして、固定子1には、被写体からの光像を撮像素子(図示せず)に導くための開口部3が設けられている。更に、この固定子1には、上記移動子2の移動方向と直交する方向に、帯状の複数の延出された駆動用電極4が所定の間隔で並設されている。
上記移動子2は、後述するエレクトレット(永久分極され、延出された誘導体)5の部位を複数備えている。
このような構成に於いて、駆動用電極4に周波電圧を印加すると、駆動用電極4と上述したエレクトレットとの間に吸引力若しくは反発力が発生し、結果的に移動子2が固定子1に対して相対移動する。したがって、移動子2が固定子1の開口部3を、開放若しくは遮蔽するように移動可能にしておけば、これによってシャッタ装置を構成することができる。
図5(a)はシャッタが開の状態を示し、図5(b)はシャッタが閉の状態を示している。尚、固定子1に開口部3は必ずしも必要なものではなく、固定子1を透過部材として、図5(a)に示されるように、駆動用電極4が設けられていない領域、すなわち、透過領域を形成しても良い。以下、被写体光束が通過するこのような領域を便宜的に開口部と称する。また、本構成に係るシャッタ装置を、エレクトレットシャッタと称するものとする。
図6は、こうしたエレクトレットシャッタの断面を模式的に示すと共に該エレクトレットシャッタの駆動回路を示した図である。
エレクトレットシャッタ7に於いて、固定子1に並設されたそれぞれの駆動用電極4には、駆動回路10からの電圧信号線が接続されている。これらの電圧信号線には、4相の電圧信号が印加されるようになっており、従って、駆動用電極4には、4本毎に同一の電圧信号が印加される。図6では、駆動用電極4にA、B、C、Dの符号を付してこの電圧信号を区別している。
移動子2には、固定子1との対向面に永久分極された誘導体(エレクトレット)5を複数備えている。
尚、この図は、あくまでも模式図であり、実際のエレクトレットシャッタに於ける電極やエレクトレット部位の数や配置間隔は、シャッタの大きさ、開口部の面積、エレクトレット部位の極性、その配置形態、シャッタ装置として要求される駆動分解能、シャッタ最高速度等の様々な要因によって適宜決定されるものである。また、このエレクトレットシャッタの場合、正負の極性を有するエレクトレット化部位が交互に配置されたタイプであるが、何れか一方の極性だけでも実現可能である。
図6の左側には、上述したエレクトレットシャッタ7の構成と共に、エレクトレットシャッタ7に印加する電圧信号を発生するための駆動回路10の構成が示されている。
パルス発生回路12で生成した矩形波列(駆動パルス信号)は、位相器13及び昇圧回路14に供給される。昇圧回路14では、入力された矩形波列が100V程度まで昇圧されると共に、2つの極性を有する電圧信号に分岐されて、駆動用電極4A及び4Cに供給される。一方、位相器13に入力された矩形波列は、90°位相が遅れた波形となり、その後、昇圧回路14に入力されて、上述と同様の2つの矩形波列となり、駆動用電極4B及び4Dに供給される。
図7は、上記駆動回路10によって作成されて、駆動用電極4A〜4Dに印加される電圧信号列の例を示したタイミングチャートである。このうち、図7(a)は駆動用電極4A、図7(b)は駆動用電極4B、図7(c)は駆動用電極4C、図7(d)は駆動用電極4Dのタイミングチャートである。
尚、駆動用電極4A〜4Dの電圧の状態は、時間t1〜t4の4つの状態が、時間経過に対応して繰り返して変化するものである。
図8(a)〜(d)は、上述したエレクトレットシャッタ7の動作を説明する図である。尚、図8(a)〜(d)に於いて、同図右側方向をエレクトレットの進行方向として、後方側(左側)に正極(プラス)のエレクトレット(エレクトレット化部位)5a、前方側(右側)に負極(マイナス)のエレクトレット(エレクトレット化部位)5bが配列されているものとする。
図8(a)は、図7に示される時間t1に切り替わった直後のエレクトレットと駆動用電極4の電圧の状態(極性)を示している。
この状態に於いて、正極のエレクトレット5aは、駆動用電極4A(正極)から反発力を受け、駆動用電極4B(負極)から吸引力を受ける。また、負極のエレクトレット5bは、駆動用電極4C(負極)から反発力を受け、駆動用電極4D(正極)から吸引力を受ける。このため、移動子2は、図8(a)の右方向に力を受けて、1つの駆動用電極ピッチd分右方向に移動する。
図8(b)は、時間t2に切り替わった直後のエレクトレットと駆動用電極の電圧の状態を示している。
この状態に於いて、エレクトレット5aは、駆動用電極4B(正極)から反発力を受け、駆動用電極4C(負極)から吸引力を受ける。また、エレクトレット5bは、駆動用電極4D(負極)から反発力を受け、駆動用電極4A(正極)から吸引力を受ける。このため、移動子2は、図8(b)の右方向に力を受けて、1つの駆動用電極ピッチd分移動する。
同様に、図8(c)は、時間t3に切り替わった直後のエレクトレットと駆動用電極の電圧の状態を示している。
この状態に於いて、エレクトレット5aは、駆動用電極4C(正極)から反発力を受け、駆動用電極4D(負極)から吸引力を受ける。また、エレクトレット5bは、更に別の駆動用電極4A(負極)から反発力を受け、駆動用電極4B(正極)から吸引力を受ける。このため、移動子2は、図8(c)の右方向に力を受けて、1つの駆動用電極ピッチd分移動する。
更に、図8(d)は、時間t4に切り替わった直後のエレクトレットと駆動用電極の電圧の状態を示している。
この状態に於いて、エレクトレット5aは、駆動用電極4D(正極)から反発力を受け、駆動用電極4A(負極)から吸引力を受ける。また、エレクトレット5bは、駆動用電極4B(負極)から反発力を受け、駆動用電極4C(正極)から吸引力を受ける。このため、移動子2は、図8(d)の右方向に力を受けて、1つの駆動用電極ピッチd分移動する。
上述したように、移動子2は1つの駆動用電極ピッチd移動し、この動作が繰り返されることで、移動子2は図4(a)→(b)→(c)→(d)のように右方向(図示矢印F方向)に移動する。尚、移動子2を図の左方向に移動するためには、駆動用電極4に印加する電圧の極性を逆に切り替えれば良い。
次に、本発明の実施形態について説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明に係る第1の実施形態の静電シャッタ装置に適用されるエレクトレットアクチュエータを構成する移動子の構成を示す平面図である。
図1は、本発明に係る第1の実施形態の静電シャッタ装置に適用されるエレクトレットアクチュエータを構成する移動子の構成を示す平面図である。
本エレクトレットアクチュエータの移動部材(シャッタ幕)としての移動子25は、図1には示されないが、固定部材としての固定基板と対向する側に、複数の帯状に形成されたエレクトレット領域(エレクトレット化部位)26が、所定ピッチで配設されている。上記移動子25は、その長手方向を移動方向とし、この移動方向と直交する方向に、延出された上記エレクトレット領域26が配設されている。
そして、個々のエレクトレット領域26は、移動子25の移動方向をその幅とした場合に、その幅の寸法が異なるように形成されている。すなわち、エレクトレット領域26の中央部261 の幅E1を最も大きくし、両端部262 、263 の幅E2が最も小さくなるように形成される(E1>E2)。
ここで、上述したように構成されたエレクトレット領域26の移動方向に拘束する力の作用について説明する。
図2(a)は一般的な矩形状のエレクトレット領域26′の例を示したものである。
いま、図2(a)に示されるように、駆動用電極28が固定基板(図示せず)上に所定ピッチで配設されているものとする。この場合、同図に於いて右側を移動方向とすると、エレクトレット領域26′には、図示矢印のように、移動方向にのみ均等に拘束する力Fbが作用する。しかしながら、このような矩形状のエレクトレット領域26′の場合は、移動方向以外に拘束する力が作用しないので、エレクトレット領域26′の移動方向と直交する方向に不均一な摩擦力が生じた場合、その揺れを制御することができない。
ここで、図2(b)に示されるように、その中央部と両端部で幅の異なるエレクトレット領域26について考える。このようなエレクトレット領域26が配設された移動子を移動させる場合、移動方向Faに対して拘束する力は、Fb以外にFc、Fdのように、移動子を中心として端部に向かう方向にも生じる。したがって、移動方向に直交する方向に不均一な摩擦力が生じた場合、これらの拘束力Fc、Fd等により、エレクトレット領域26の移動方向を制御、すなわち揺れを制御することが可能になる。
図3は、本実施形態に於けるエレクトレットアクチュエータの構成を示す図である。
図3(a)に於いて、固定部材としてガラス等で構成される固定基板29の一方の面側に、複数の帯状の延出された駆動用電極28が配設されている。これらの駆動用電極28は矩形状に形成されているもので、その長手方向(長さL1)が固定基板29の長手方向と直交する方向になるように配設されている。また、駆動用電極28上には、絶縁膜(図示せず)が設けられている。この絶縁膜が施されることにより、隣接する駆動用電極間の短絡を防止している。
移動子25は、上記固定基板29上を、その長手方向に移動可能に設けられるもので、固定基板29と対向する面側に複数のエレクトレット領域26を備えている。移動子25には、ポリイミドやテフロン(登録商標)が基材として用いられており、アルミニウム等の金属が蒸着されている。これにより、完全ではないものの、ある程度の遮光性を確保することができる。
エレクトレット領域26は、上述したように、移動子25の移動方向をその幅とした場合に、中央部を最も太くし、両端部の幅を最も細くして形成される。そして、エレクトレット領域26の長さ(L2)は、固定基板29上の駆動用電極28の長さ(L1)よりも長いものとなっている(L1<L2)。また、エレクトレット領域26は、コロナ放電法により形成されている(これをエレクトレット化するという)もので、本実施形態に於いては、正負の極性を有するエレクトレット部位が交互に配置されている(後述する図4参照)。
いま、図3(b)に示されるように、移動子25が固定基板29からずれた(図3(b)に於いて下側)ものとする。すると、図2(b)に示される拘束力Fcにより、移動子25は図3(b)に於いて矢印F1方向に徐々に移動する。そして、移動子25のエレクトレット領域26の中心が固定基板29の駆動用電極28の中心と略等しい位置に到達したならば、移動子25は図示矢印F2方向に移動する。
このようにして、移動子25のずれを制御することが可能になる。
図4は、本実施形態の静電シャッタ装置を構成する駆動制御回路35とシャッタユニット21との信号接続を示す構成図である。
シャッタユニット21を構成するエレクトレットシャッタは、それぞれ独立して、撮影時に固定基板29a及び29bの長手方向に走行する先幕(シャッタ先幕)25aと、後幕(シャッタ後幕)25bとを有するフォーカルプレーンシャッタである。この先幕25a、後幕25bは第1及び第2の移動子(移動部材)に相当し、それぞれ上述したエレクトレット26a、26bを備えている。そして、それぞれのエレクトレット26a、26bの対向面側には、複数の帯状の駆動用電極28a、28bと、被写体光束が通過する領域である開口部(図示せず)が設けられた固定基板29a、29bが配設されている。
エレクトレットシャッタ21には、上述したように、先幕25aと後幕25bが備えられており、そのそれぞれの幕を駆動するために、図6に示されたものと同様の構成の位相器38a、38bを含むもので、駆動手段としての駆動回路37a、37bが2系統設けられている。パルス発生回路36は、図示されないマイクロコンピュータ(CPU)からの開閉制御信号に基づいて先幕25aと後幕25bを駆動する。これにより、シャッタレリーズが行われると、先幕25a、後幕25bに設けられたエレクトレット26a、26bが、駆動用電極28a、28bのA〜Dに順次吸引され、先幕25aと後幕25bが駆動される。
また、図示されないマイクロコンピュータからリセット信号を受け取ったときは、先幕25aと後幕25bが初期状態に駆動される。更に、パルス発生回路36からは、所定のタイミングで上記マイクロコンピュータにストロボ同調信号が出力される。
こうして、開口部(図示せず)等の全開全閉動作が制御される。当然、シャッタレリーズの直前の開口部は、先幕25aで全閉され、後幕25bは開口部より退避した位置にある。
更に、先幕25a、後幕25bは素材として樹脂材料を用いることができるため、軽量である。例えば、先幕25a、後幕25bは、10〜20μmの薄い膜で形成することが可能である。それ故、動作に必要な電力量は少なく、且つ静かな動作を実現することができる。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態を説明する。
次に、本発明の第2の実施形態を説明する。
図9は、本発明に係る第2の実施形態の静電シャッタ装置に適用されるエレクトレットアクチュエータを構成する移動子の構成を示す平面図である。
尚、移動子及びエレクトレット領域の構成以外の基本的な構成及び動作は、図1乃至図8に示される上述した第1の実施形態と同様であるので、同一の部分には同一の参照番号を付してその図示及び説明は省略し、異なる部分についてのみ説明する。
図9に於いて、移動子25には、図示されない固定基板と対向する側に、複数のエレクトレット領域41が、所定ピッチで配設されている。上記移動子25は、その長手方向を移動方向とし、この移動方向と直交する方向に延出されたエレクトレット領域26が配設されている。
個々のエレクトレット領域26は、移動子25の移動方向をその幅とした場合に、その幅の寸法が異なるように形成されている。すなわち、エレクトレット領域26の中央部261 の幅を最も大きくし、両端部262 、263 の幅が最も小さくなるように形成される。加えて、この移動子25がシャッタ幕として閉状態から開状態へ移行する方向を進行方向Fa1 (図9に於いて右側)とすると、エレクトレット41は、進行方向側が凸形状に、該進行方向とは反対方向側が凹形状に形成されている。且つ、エレクトレット領域41の中央部411 の幅を最も大きくし、両端部412 、413 の幅が最も小さくなるように形成される。
このようにエレクトレット領域を構成することにより、進行方向側への移動子25の制御をより確実に行うことができる。
(第3の実施形態)
図10は、本発明に係る第3の実施形態の静電シャッタ装置に適用されるエレクトレットアクチュエータを構成する移動子の構成を示す平面図である。
図10は、本発明に係る第3の実施形態の静電シャッタ装置に適用されるエレクトレットアクチュエータを構成する移動子の構成を示す平面図である。
上述した第1及び第2の実施形態では、エレクトレット領域の幅の寸法を変えることによって、移動子の移動する方向と直交する方向へのぶれを制御するようにしていた。しかしながら、これに限られることなく、エレクトレット領域中の電荷密度を変えることによって上記ぶれを制御するようにしてもよい。
尚、移動子及びエレクトレット領域の構成以外の基本的な構成及び動作は、図1乃至図8に示される上述した第1の実施形態と同様であるので、同一の部分には同一の参照番号を付してその図示及び説明は省略し、異なる部分についてのみ説明する。
図10に於いて、移動子25には、図示されない固定基板と対向する側に、矩形状に延出されたエレクトレット領域43が、所定ピッチで複数配設されている。上記移動子25は、その長手方向を移動方向とし、この移動方向と直交する方向に延出されたエレクトレット領域26が配設されている。
そして、個々のエレクトレット領域26は、その長手方向の中央部を高電荷密度領域431 とし、この高電荷密度領域431 を挟んで両側を低電荷密度領域432 、433 としている。すなわち、エレクトレット領域43の中央部の電荷密度を、両端の電荷密度よりも高くして構成している。
図11は、本第3の実施形態に於けるエレクトレットアクチュエータの構成を示す図である。
図11(a)に於いて、固定基板29の一方の面側に、複数の帯状の延出された駆動用電極28が配設されている。これらの駆動用電極28は矩形状に形成されているもので、その長手方向(長さL1)が固定基板29の長手方向と直交する方向になるように配設されている。また、駆動用電極28上には、絶縁膜(図示せず)が設けられている。この絶縁膜が施されることにより、隣接する駆動用電極間の短絡を防止している。
上述したように、エレクトレット領域43は、中央部を高電荷密度で形成し、その両端部を低電荷密度で形成する。そして、エレクトレット領域43の長さ(L3)は、固定基板29上の駆動用電極28の長さ(L1)よりも長いものとなっている(L1<L3)。
いま、図11(b)に示されるように、移動子25が固定基板29からずれた(図11(b)に於いて下側)ものとする。すると、エレクトレット領域43の中央部に位置する高電荷密度領域431 が固定基板29上の駆動用電極28側に引き寄せられて、移動子25は図11(b)に於いて矢印F3方向に徐々に移動する。そして、移動子25のエレクトレット領域43の中心が固定基板29の駆動用電極28の中心と略等しい位置に到達したならば、移動子25は図示矢印F4方向に移動する。
第3の実施形態のように電荷密度を変化させてエレクトレット領域を構成することは、ピッチの小さい駆動用電極の帯電領域を変化させるのが困難であることから、ピッチの小さい駆動用電極を使用する場合に有利である。
このようにエレクトレット領域を構成しても、移動子の進行方向と直交する方向へのぶれを制御することができる。
(第4の実施形態)
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。
上述した第1及び第2の実施形態では、エレクトレット領域の中央部の幅を最も大きくし、両端部の幅が最も小さくなるように形成していたが、これに限られるものではない。この第4の実施形態では、エレクトレット領域の実際の幅の寸法は中央部と両端部でも同じであり、且つ、実際の電荷密度は変化させずに電荷密度領域を変化させるようにしている。
図12は、本発明に係る第4の実施形態の静電シャッタ装置に適用されるエレクトレットアクチュエータを構成する移動子の構成を示す平面図である。
尚、移動子及びエレクトレット領域の構成以外の基本的な構成及び動作は、図1乃至図8に示される上述した第1の実施形態と同様であるので、同一の部分には同一の参照番号を付してその図示及び説明は省略し、異なる部分についてのみ説明する。
図12に於いて、移動子25には、図示されない固定基板と対向する側に、複数のエレクトレット領域47が、所定ピッチで配設されている。上記移動子25は、その長手方向を移動方向とし、この移動方向と直交する方向に延出されたエレクトレット領域47が配設されている。
個々のエレクトレット領域47は、中央部分が高電荷密度領域471 とされ、該中央部分から両端部に向けて、図示の如くエレクトレット領域47が除去されて低電荷密度領域472 が形成されている。つまり、中央部から両端部に向けてエレクトレット領域の除去される部分の面積が大きくなることにより、当該除去部分が実質的な低電荷密度領域472 として構成されている。
この第4の実施形態では、中央部の帯電幅が大きく(帯電量が多く)、両端部での帯電幅が小さく(帯電量が少なく)なるように帯電調整がなされている。この場合、図示斜線部分がエレクトレット領域471 であり、斜線部以外の部分が低電荷密度領域472 とされている。
このようにエレクトレット領域を構成しても、進行方向側への移動子25のぶれを制御することができる。
尚、図12では、エレクトレット化されていない領域を低電荷密度領域として説明したが、これに限られずに帯電なしの領域としてもよい。
また、図12に示される第4の実施形態では、低電荷密度領域を、エレクトレット領域に於いて、中央部から両端部に向けて除去される部分の面積が大きくするようにした例で説明したが、これに限られるものではない、
例えば、図13に示されるように、エレクトレット領域49の高電荷密度領域491 の両端部近傍を矩形状に除去して、低電荷密度領域492 を形成してもよい。もちろん、この場合も低電荷密度領域に換えて帯電なしの領域としてもよい。
例えば、図13に示されるように、エレクトレット領域49の高電荷密度領域491 の両端部近傍を矩形状に除去して、低電荷密度領域492 を形成してもよい。もちろん、この場合も低電荷密度領域に換えて帯電なしの領域としてもよい。
このようにエレクトレット領域を構成しても、進行方向側への移動子25のぶれを制御することができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態以外にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形実施が可能である。
1…固定子、2…移動子、3…開口部、4、4A〜4D、28、28a、28b…駆動用電極、5、5a、5b、26a、26b…永久分極された誘導体(エレクトレット)、26…エレクトレット領域、261 …中央部、262 、263 …両端部、7…エレクトレットシャッタ、10、35…駆動回路、12、36…パルス発生回路、13、38a、38b…位相器、14、37a、37b…昇圧回路、21…シャッタユニット、25a…先幕、25b…後幕、29、29a、29b…固定基板。
Claims (12)
- 表面に複数の駆動用電極を有する固定部材と、
上記駆動用電極に対向する部位で所定のピッチで帯状にエレクトレット化された部位を有し、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な移動部材と、
上記移動部材を移動させるために上記駆動用電極に電圧を印加する駆動手段と、
を具備し、
上記帯状エレクトレット化部位の略中央の幅が両端の幅よりも大きいことを特徴とするエレクトレットアクチュエータ。 - 上記駆動用電極の長さは、上記移動部材の上記エレクトレット化部位の長さよりも短いことを特徴とする請求項1に記載のエレクトレットアクチュエータ。
- 表面に複数の駆動用電極を有する固定部材と、
上記駆動用電極に対向する部位で所定のピッチで帯状にエレクトレット化された部位を有し、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な移動部材と、
上記移動部材を移動させるために上記駆動用電極に電圧を印加する駆動手段と、
を具備し、
上記帯状エレクトレット化部位の略中央の電荷密度が両端の電荷密度よりも高いことを特徴とするエレクトレットアクチュエータ。 - 上記駆動用電極の長さは、上記移動部材の上記エレクトレット化部位の長さよりも短いことを特徴とする請求項3に記載のエレクトレットアクチュエータ。
- 表面に複数の駆動用電極を有する固定部材と、
上記駆動用電極に対向する部位で所定のピッチで帯状にエレクトレット化された部位を有し、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な移動部材と、
上記移動部材を移動させるために上記駆動用電極に電圧を印加する駆動手段と、
を具備し、
上記帯状エレクトレット化部位の帯電量は、中央部が両端部よりも多いことを特徴とするエレクトレットアクチュエータ。 - 上記駆動用電極の長さは、上記移動部材の上記エレクトレット化部位の長さよりも短いことを特徴とする請求項5に記載のエレクトレットアクチュエータ。
- 上記帯状エレクトレット化部位は、略中央の幅が両端の幅よりも大きいことを特徴とする請求項5に記載のエレクトレットアクチュエータ。
- 上記帯状エレクトレット化部位は、略中央の電荷密度が両端の電荷密度よりも高いことを特徴とする請求項5に記載のエレクトレットアクチュエータ。
- 表面に延出された複数の駆動用電極を有する固定部材と、
上記固定部材の上記駆動用電極と対向する面側であって、その長手方向と直交する方向に所定のピッチで配列された複数のエレクトレット化部位を有し、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な移動部材と、
上記移動部材を移動させるために上記駆動用電極に電圧を印加する駆動手段と、
を具備し、
上記複数のエレクトレット化部位は、その中央部の帯電量が両端部の帯電量よりも多いことを特徴とするエレクトレットアクチュエータ。 - 上記駆動用電極の長手方向の長さは、上記複数のエレクトレット化部位の長手方向の長さよりも短いことを特徴とする請求項9に記載のエレクトレットアクチュエータ。
- 上記複数のエレクトレット化部位は、略中央の幅が両端の幅よりも大きいことを特徴とする請求項9に記載のエレクトレットアクチュエータ。
- 上記複数のエレクトレット化部位は、その長手方向に於いて略中央の電荷密度が両端の電荷密度よりも高いことを特徴とする請求項9に記載のエレクトレットアクチュエータ。
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JP2004265610A JP2006078969A (ja) | 2004-09-13 | 2004-09-13 | エレクトレットアクチュエータ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2004
- 2004-09-13 JP JP2004265610A patent/JP2006078969A/ja not_active Withdrawn
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