JP2005331829A - 静電シャッタ装置、光学機器及び静電シャッタ装置を有する光学機器並びにカメラ - Google Patents

Abstract

【課題】カバーガラスの前面に塵埃等が付着しても撮影画像にその影が映り込むことなく、実際にカメラ等の光学機器に搭載可能な静電シャッタ装置、光学機器及び静電シャッタ装置を有する光学機器並びにカメラを提供することである。
【解決手段】固定子２９ａの長手方向に沿って移動可能な先幕２５ａ、後幕２５ｂが設けられている。そして、この固定子２９ａとカバーガラス２３の間で、該固定子２９ａの端部には、圧電素子３３ａ〜３３ｄが配設されている。圧電素子３３ａ〜３３ｄに周期的な駆動電圧が印加されると、除去フィルタとなるカバーガラス２３が振動されて、該カバーガラス２３の表面に付着した水滴や塵挨等が、その表面から弾き飛ばされて除去される。
【選択図】 図５

Description

本発明は、静電アクチュエータの原理を用いた静電シャッタ装置、光学機器及び静電シャッタ装置を有する光学機器並びにカメラに関するものである。

従来、カメラ等の光学機器に於けるシャッタ装置に於いては、シャッタ羽根をステップモータで駆動する方式や、スプリング力を利用してシャッタ羽根を開閉させる方式のものが知られている。しかしながら、これらの方式によるものは、シャッタ羽根を駆動する駆動装置の駆動力をシャッタ羽根に伝達するために複雑な構造を必要としていた。

そこで、遮光フィルムで形成したシャッタ幕を静電アクチュエータの原理を用いて駆動することにより、軽量化、低コスト化した、極めて簡単な構造のシャッタ装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開平８−２２０５９２号公報

ところで、静電アクチュエータの原理を用いたシャッタ装置（以下、静電シャッタ装置と記す）に於いては、シャッタ幕に機械的に連結する部材が存在しないため、駆動電極基板とカバーガラスとをスペーサを介して積層し、それによってシャッタ幕の移動空間を確保する等の構造上の工夫が必要である。

しかしながら、上記特許文献１には、こうした点に関する具体的な開示がなされていない。

そして、上記のような構造の静電シャッタ装置に於いては、カバーガラスの前面に塵埃等が付着した場合、撮影画像にその影が映り込んでしまうという課題が発生する虞れがある。

したがって本発明は、上記実状に鑑みてなされたものであり、カバーガラスの前面に塵埃等が付着しても撮影画像にその影が映り込むことなく、実際にカメラ等の光学機器に搭載可能な静電シャッタ装置、光学機器及び静電シャッタ装置を有する光学機器並びにカメラを提供することを目的とする。

すなわち、請求項１に記載の発明は、所定ピッチで配置された帯状の駆動用電極が設けられた電極部材と、上記駆動用電極に対向した部位に電位分布を有し、上記駆動用電極に電圧を印加した際に生じる静電力を受けて上記電極部材に対して相対移動する移動部材と、上記移動部材を上記電極部材とで挟むように配置された保護部材と、少なくとも上記保護部材に振動波を発生させる加振部材と、を具備することを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明に於いて、上記振動は、上記保護部材の屈曲運動であることを特徴とする。

請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明に於いて、上記加振部材は、上記保護部材に配置された圧電素子であることを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明に於いて、上記圧電素子は、上記保護部材と上記電極部材の間隔を保つためのスペーサと兼用していることを特徴とする。

請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の発明に於いて、上記振動は、超音波領域の振動波であることを特徴とする。

請求項６に記載の発明は、請求項１に記載の発明に於いて、光束通過領域の周辺に集塵部材を配置したことを特徴とする。

請求項７に記載の発明は、第１の電極部材、第２の電極部材及び保護部材が、スペーサを介して積層されたユニットと、上記ユニット内の上記第１の電極部材と上記第２の電極部材とで形成される空間を移動可能な第１の移動部材と、上記第１の電極部材上に設けられ、上記第１の移動部材に対して静電力を作用させて駆動するための第１の電極部位と、上記ユニット内の上記第２の電極部材と上記保護部材とで形成される空間を移動可能な第２の移動部材と、上記第２の電極部材上に設けられ、上記第２の移動部材に対して静電力を作用させて駆動するための第２の電極部位と、上記保護部材に振動波を発生させる加振部材と、を具備することを特徴とする。

請求項８に記載の発明は、請求項１乃至９の何れか１に記載の発明に於いて、上記移動部材は複数のエレクトレット化部位を有し、該エレクトレット化電圧が上記第１、第２の電極部材に電圧を印加した際に生じる静電力を受けて、上記第１、第２の電極部材に対して相対移動することを特徴とする。

請求項９に記載の発明は、所定ピッチで配置された帯状の駆動用電極が設けられた電極部材と、上記駆動用電極に対向した部位に電位分布を有し、上記駆動用電極に電圧を印加した際に生じる静電力を受けて上記電極部材に対して相対移動する移動部材と、上記移動部材を上記電極部材とで挟むように配置された保護部材と、少なくとも上記保護部材に振動波を発生させる加振部材と、を具備することを特徴とする。

請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の発明に於いて、上記振動は、上記保護部材の屈曲運動であることを特徴とする。

請求項１１に記載の発明は、請求項９に記載の発明に於いて、上記加振部材は、上記保護部材に配置された圧電素子であることを特徴とする。

請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載の発明に於いて、上記圧電素子は、上記保護部材と上記電極部材の間隔を保つためのスペーサと兼用していることを特徴とする。

請求項１３に記載の発明は、請求項９に記載の発明に於いて、上記振動は、超音波領域の振動波であることを特徴とする。

請求項１４に記載の発明は、請求項９に記載の発明に於いて、光束通過領域の周辺に集塵部材を配置したことを特徴とする。

請求項１５に記載の発明は、所定ピッチで配置された帯状の駆動用電極が設けられた第１及び第２の電極部材と、保護部材が、スペーサを介して積層されたユニットと、上記ユニット内の上記第１の電極部材と上記第２の電極部材とで形成される空間を移動可能な第１の移動部材と、上記第１の電極部材上に設けられ、上記第１の移動部材に対して静電力を作用させて駆動するための第１の電極部位と、上記ユニット内の上記第２の電極部材と上記保護部材とで形成される空間を移動可能な第２の移動部材と、上記第２の電極部材上に設けられ、上記第２の移動部材に対して静電力を作用させて駆動するための第２の電極部位と、上記保護部材に振動波を発生させる加振部材と、を具備することを特徴とする。

請求項１６に記載の発明は、請求項９乃至１５の何れか１に記載の発明に於いて、上記移動部材は複数のエレクトレット化部位を有し、該エレクトレット化部位が上記第１及び第２の電極部材の駆動用電極に電圧を印加した際に生じる静電力を受けて、上記第１及び第２の電極部材に対して相対移動することを特徴とする。

請求項１７に記載の発明は、被写体光束が通過する領域を遮蔽する位置に移動可能な移動部材と、上記移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極が設けられた固定部材と、上記固定部材と共に上記移動部材を挟み込むように配置された保護部材と、上記保護部材に対して所定の振動を加える加振部材と、を具備することを特徴とする。

請求項１８に記載の発明は、請求項１７に記載の発明に於いて、上記振動は、上記保護部材の屈曲運動であることを特徴とする。

請求項１９に記載の発明は、請求項１７に記載の発明に於いて、上記加振部材は、上記保護部材に配置された圧電素子で構成されることを特徴とする。

請求項２０に記載の発明は、請求項１９に記載の発明に於いて、上記圧電素子は、上記保護部材と上記固定部材の間隔を保つためのスペーサと兼用していることを特徴とする。

請求項２１に記載の発明は、請求項１７に記載の発明に於いて、上記振動は、超音波領域の振動波であることを特徴とする。

請求項２２に記載の発明は、請求項１７に記載の発明に於いて、上記保護部材に集塵部材が設けられたことを特徴とする。

請求項２３に記載の発明は、請求項２２に記載の発明に於いて、上記集塵部材は、上記被写体光束が通過する領域の周辺に配置されることを特徴とする。

請求項２４に記載の発明は、被写体を撮像するための撮像素子と、上記被写体の光束が通過する開口を遮蔽する位置に移動可能な移動部材と、該移動部材を静電駆動するための複数の駆動用電極が設けられた固定部材と、を有して上記撮像素子の前面に配置された静電シャッタ装置と、上記シャッタ装置の固定部材と共に上記移動部材を挟み込むように配置された保護部材と、上記保護部材に対して所定の振動を加える加振部材と、を具備することを特徴とする。

請求項２５に記載の発明は、請求項２４に記載の発明に於いて、上記振動は、上記保護部材の屈曲運動であることを特徴とする。

請求項２６に記載の発明は、請求項２４に記載の発明に於いて、上記加振部材は、上記保護部材に配置された圧電素子であることを特徴とする。

請求項２７に記載の発明は、請求項２６に記載の発明に於いて、上記圧電素子は、上記保護部材と上記固定部材の間隔を保つためのスペーサと兼用していることを特徴とする。

請求項２８に記載の発明は、請求項２４に記載の発明に於いて、上記振動は、超音波領域の振動波であることを特徴とする。

請求項２９に記載の発明は、請求項２４に記載の発明に於いて、上記保護部材に集塵部材が設けられたことを特徴とする。

請求項３０に記載の発明は、請求項２９に記載の発明に於いて、上記集塵部材は、上記被写体の光束が通過する領域の周辺に配置されることを特徴とする。

本発明によれば、実際にカメラ等の光学機器に搭載可能な静電シャッタ装置、光学機器及び静電シャッタ装置を有する光学機器並びにカメラを提供することができる。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。

はじめに、本発明に係る静電シャッタ装置の駆動原理について、図１及び図２を参照して説明する。

本シャッタ装置は、基本的に固定子１と移動子２とを備えており、移動子２は固定子１に対して図１（ａ）及び（ｂ）に於いて左右方向に移動自在に構成されている。そして、固定子１には、被写体からの光像を撮像素子（図示せず）に導くための開口部３が設けられている。更に、この固定子１には、上記移動子２の移動方向と直交する方向に、帯状の複数の延出された駆動電極４が所定の間隔で並設されている。

上記移動子２は、後述する永久分極された、延出された誘導体（以下、エレクトレットと称する）５の部位を複数備えている。

このような構成に於いて、駆動電極４に周波電圧を印加すると、駆動電極４と上述したエレクトレットとの間に吸引力若しくは反発力が発生し、結果的に移動子２が固定子１に対して相対移動する。したがって、移動子２が固定子１の開口部３を、開放若しくは遮蔽するように移動可能にしておけば、これによってシャッタ装置を構成することができる。

図１（ａ）はシャッタが開の状態を示し、図１（ｂ）はシャッタが閉の状態を示している。尚、固定子１に開口部３は必ずしも必要なものではなく、固定子１を透過部材として、図１（ａ）に示されるように、駆動電極４が設けられていない領域、すなわち、透過領域を形成しても良い。以下、被写体光束が通過するこのような領域を便宜的に開口部と称する。また、本構成に係るシャッタ装置を、エレクトレットシャッタと称するものとする。

図２は、こうしたエレクトレットシャッタの断面を模式的に示すと共に該エレクトレットシャッタの駆動回路を示した図である。

エレクトレットシャッタ７に於いて、固定子１に並設されたそれぞれの駆動電極４には、駆動回路１０からの電圧信号線が接続されている。これらの電圧信号線には、４相の電圧信号が印加されるようになっており、従って、駆動電極４には、４本毎に同一の電圧信号が印加される。図２では、駆動電極４にＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄの符号を付してこの電圧信号を区別している。

移動子２には、固定子１との対向面に永久分極された誘導体（エレクトレット）５を複数備えている。

尚、この図は、あくまでも模式図であり、実際のエレクトレットシャッタに於ける電極やエレクトレット化部位の数や配置間隔は、シャッタの大きさ、開口部の面積、エレクトレット化部位の極性、その配置形態、シャッタ装置として要求される駆動分解能、シャッタ最高速度等の様々な要因によって適宜決定されるものである。また、このエレクトレットシャッタの場合、正負の極性を有するエレクトレット化部位が交互に配置されたタイプであるが、何れか一方の極性だけでも実現可能である。

図２の左側には、上述したエレクトレットシャッタ７の構成と共に、エレクトレットシャッタ７に印加する電圧信号を発生するための駆動回路１０の構成が示されている。

パルス発生回路１２で生成した矩形波列（駆動パルス信号）は、位相器１３及び昇圧回路１４に供給される。昇圧回路１４では、入力された矩形波列が１００Ｖ程度まで昇圧されると共に、２つの極性を有する電圧信号に分岐されて、駆動電極４Ａ及び４Ｃに供給される。一方、位相器１３に入力された矩形波列は、９０°位相が遅れた波形となり、その後、昇圧回路１４に入力されて、上述と同様の２つの矩形波列となり、駆動電極４Ｂ及び４Ｄに供給される。

図３は、上記駆動回路１０によって作成されて、駆動電極４Ａ〜４Ｄに印加される電圧信号列の例を示したタイミングチャートである。このうち、図３（ａ）は駆動電極４Ａ、図３（ｂ）は駆動電極４Ｂ、図３（ｃ）は駆動電極４Ｃ、図３（ｄ）は駆動電極４Ｄのタイミングチャートである。

尚、駆動電極４Ａ〜４Ｄの電圧の状態は、時間ｔ１〜ｔ４の４つの状態が、時間経過に対応して繰り返して変化するものである。

図４（ａ）〜（ｄ）は、上述したエレクトレットシャッタ７の動作を説明する図である。尚、図４（ａ）〜（ｄ）に於いて、同図右側方向をエレクトレットの進行方向として、後方側（左側）に正極（プラス）のエレクトレット（エレクトレット化部位）５ａ、前方側（右側）に負極（マイナス）のエレクトレット（エレクトレット化部位）５ｂが配列されているものとする。

図４（ａ）は、図３に示される時間ｔ１に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極４の電圧の状態（極性）を示している。

この状態に於いて、正極のエレクトレット５ａは、駆動電極Ａ（正極）から反発力を受け、駆動電極Ｂ（負極）から吸引力を受ける。また、負極のエレクトレット５ｂは、駆動電極Ｃ（負極）から反発力を受け、駆動電極Ｄ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図４（ａ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分右方向に移動する。

図４（ｂ）は、時間ｔ２に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。

この状態に於いて、エレクトレット５ａは、駆動電極Ｂ（正極）から反発力を受け、駆動電極Ｃ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、駆動電極Ｄ（負極）から反発力を受け、駆動電極Ａ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図４（ｂ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。

同様に、図４（ｃ）は、時間ｔ３に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。

この状態に於いて、エレクトレット５ａは、駆動電極Ｃ（正極）から反発力を受け、駆動電極Ｄ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、駆動電極Ａ（負極）から反発力を受け、駆動電極Ｂ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図４（ｃ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。

更に、図４（ｄ）は、時間ｔ４に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。

この状態に於いて、エレクトレット５ａは、駆動電極Ｄ（正極）から反発力を受け、駆動電極Ａ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、駆動電極Ａ（負極）から反発力を受け、駆動電極Ｃ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図４（ｄ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。

上述したように、移動子２は１つの駆動電極ピッチｄ移動し、この動作が繰り返されることで、移動子２は図４（ａ）→（ｂ）→（ｃ）→（ｄ）のように右方向（図示矢印Ｆ方向）に移動する。尚、移動子２を図の左方向に移動するためには、駆動電極４に印加する電圧の極性を逆に切り替えれば良い。

次に、本発明の実施形態について説明する。

（第１の実施形態）
図５は本発明に係る第１の実施形態のエレクトレットシャッタユニットの構成を示したもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は断面図である。

本エレクトレットシャッタユニット（静電シャッタ装置）２１は、それぞれ独立して、撮影時に図示矢印Ｆ方向に走行する先幕（シャッタ先幕）２５ａと、後幕（シャッタ後幕）２５ｂとを有するフォーカルプレーンシャッタである。この先幕２５ａ、後幕２５ｂは第１及び第２の移動部材（移動部材）に相当し、上述したエレクトレット５（エレクトレット化部位；図示せず）を備えている。そして、それぞれのエレクトレット５の対向面側には、複数の帯状の延出された電極部材である駆動電極（図５には示されないが、第１の電極部位、第２の電極部位）と、被写体光束が通過する領域である開口部（または透過部）２７ａ、２７ｂが設けられた固定子（固定部材、電極部材）２９ａ、２９ｂが配設されている。

上記先幕２５ａ、後幕２５ｂは、それぞれ固定子２９ａ、２９ｂの長手方向に対して、移動自在に構成されている。そして、上記複数の電極は、図５には示されないが、上記固定子２９ａ、２９ｂ上で、上記先幕２５ａ、後幕２５ｂの移動方向と直交する方向に所定の間隔で並設されている。

上記エレクトレットシャッタユニット２１の被写体側（図５（ｂ）に於いて左側）と、後述するイメージャ側（図５（ｂ）に於いて右側）には、それぞれカバーガラス２３及び２４が設けられている。これらのカバーガラス２３及び２４は、該エレクトレットシャッタユニット２１の保護部材を兼用している。尚、少なくとも前面側のカバーガラス２３は、反射防止幕が施されていてもよい。

また、固定子２９ａ及び２９ｂ上には、先幕２５ａ及び後幕２５ｂの走行方向に沿って、それぞれ先幕２５ａ及び後幕２５ｂの上下にガイド３５〜３８が設けられている。これらのガイド３５〜３８は、先幕２５ａ及び後幕２５ｂの走行を補助するためのものである。更に、固定子２９ａ上で、カバーガラス２３との間には、その四辺の端部近傍に、加振部材である圧電素子３３ａ〜３３ｄがそれぞれ配設されている。これらの圧電素子３３ａ〜３３ｄは、スペーサとしての機能を兼用している。また、固定子２９ｂ上で、該固定子２９ｂと固定子２９ａの間には、その端部近傍にスペーサ３４が配設されている。

ここで、固定子２９ａ、２９ｂは、ガラス等を基板として構成されており、その表面に駆動電極（図示せず）が形成され、更に該駆動電極上に絶縁膜（図示せず）が設けられている。この絶縁膜が施されることにより、隣接する駆動電極間の短絡を防止している。

一方、先幕２５ａ、後幕２５ｂは、ポリイミドやテフロン（登録商標）が基材として用いられており、遮光材料を塗布する等の遮光処理が施されている。これにより、遮光幕としての機能を有することができる。したがって、エレクトレットシャッタユニット２１内の光の乱反射を防止することができる。

そして、これら先幕２５ａ、後幕２５ｂとして使用される基材（フィルム膜）の一方の面、この場合駆動電極と対向する面側には、コロナ放電法により複数のエレクトレットが形成されている（これをエレクトレット化するという）。本実施形態に於いては、正負の極性を有するエレクトレット化部位が交互に配置されている（例えば、図４のエレクトレット５ａ、５ｂ参照）。

尚、上述した固定子２９ａ、２９ｂの開口部２７ａ、２７ｂは、エレクトレットシャッタユニット２１に設けられた開口部２７と対応する位置に設けられている。これにより、開口部２７より取り込まれた被写体光が、光電変換素子であるイメージャ（後述する）に導かれ、このイメージャにより当該被写体の像が光電変換される。

エレクトレットシャッタユニット２１は、先幕２５ａ、後幕２５ｂに誘導される電荷を利用するのではなく、エレクトレットに永久分極されている電荷を利用するため、幕の立ち上がり時間を短縮してシャッタ動作を高速化することができる。

加えて、エレクトレットの電荷量は任意に与えることが可能であることから、駆動力が最大となるような最適の電荷量を与えることができ、極めて大きな駆動力を得ることができる。したがって、後述するイメージャのサイズに応じた最適なエレクトレットシャッタユニット２１を構成することができる。

更に、先幕２５ａ、後幕２５ｂは素材として樹脂材料を用いることができるため、軽量である。例えば、先幕２５ａ、後幕２５ｂは、１０〜２０μｍの薄い膜で形成することが可能である。それ故、動作に必要な電力量は少なく、且つ静かな動作を実現することができる。

図６は、図５（ａ）、（ｂ）に示されるように配設された圧電素子３３ａ〜３３ｄによりカバーガラス２３上に発生される屈曲運動の様子を説明する図である。

後述する防塵フィルタ駆動回路８９により、圧電素子３３ａ〜３３ｄに対して周期的な駆動電圧が印加されると、除去フィルタとなるカバーガラス２３の形状が変化する。例えば、振動の節である不動点がカバーガラス２３の４つの頂点であるとする。そして、圧電素子３３ａ〜３３ｄに所定の電圧が印加されると、カバーガラス２３は、図６に於いて実線で示される部分が振動の節になる。次いで、上記所定の電圧と反対の極性の電圧が印加されると、図６に於いて破線で示される部分が振動の節となり、実線で示される部分が振動の腹に変化して振動する。

このように、４つの不動点からカバーガラス２３に振動が生じることにより、当該カバーガラス２３の表面に付着した水滴や塵挨等は、その表面から弾き飛ばされるようにして除去される。また、このときの共振周波数は、カバーガラス２３の形状や板厚・材質等により決定されるものである。

上記カバーガラス２３上の塵埃の除去動作は、例えば撮像開始動作の直前に行われるようにしておくのが好ましいが、これに限られるものではない。

尚、上述した例では、圧電素子はカバーガラス２３の４辺に設けられているが、これに限られずに、少なくとも１箇所に配設されるものであればよい。

また、上述した例では、圧電素子をカバーガラス２３と固定子２９ａの間に配設したが、これに限られずに、例えば図７に示されるように、カバーガラスの表面（被写体側）に圧電素子３３を配設するようにしてもよい。

第１の実施形態の変形例として、この場合、カバーガラス２３と固定子２９ａ（図７には示されない）の間に、防振性の素材で成るスペーサ３３が設けられている。このように構成すると、カバーガラス２３にのみ上述した振動が発生し、他の部材には振動が生じない。また、カバーガラス２３の表面に圧電素子３３を配設するので、構造上簡単である。

図８は、このエレクトレットシャッタユニット２１が搭載された光学機器としてのデジタル一眼レフカメラの概略配置構成を示した図である。

図６に於いて、このデジタル一眼レフカメラは、ボディユニット５０と、このボディユニット５０の前面部に、ボディマウント４６及びレンズマウント４７を介して装着される、例えばアクセサリ装置として交換可能なレンズユニット５１と、を有して構成されている。

ボディユニット５０内には、レンズユニット５１内の図示されないレンズ群の光軸上に、クイックリターンミラー７０及びフォーカシングスクリーン７１を有したミラーボックスユニット４４と、上述したエレクトレットシャッタユニット２１等を有した撮像ユニット４５を備えている。

上記クイックリターンミラー７０は、撮影光路内、光路外に回動可能に設けられるもので、被写体観察時は実線で示される位置に配置され、撮像動作時は二点差線で示される位置に配置される。また、エレクトレットシャッタユニット２１は、ミラーボックスユニット４４の後方（図８に於いて右側）に配置されている。更に、エレクトレットシャッタユニット２１の後方には、光学ローパスフィルタ４０と、光電変換素子であるイメージャ４２とが配置されている。尚、４１はイメージャ４２と光学ローパスフィルタ４０との間を封止するためのシール部材である。

一方、クイックリターンミラー７０で反射された光束は、フォーカシングスクリーン７１に結像され、更にペンタプリズム７２を介してルーペレンズ７３に至る。

いま、図示されない被写体からの光束が、レンズユニット５１を介して入射されるとする。被写体観察時は、レンズユニット５１を介して入射された光束は、クイックリターンミラー７０で反射されて、フォーカシングスクリーン７１に結像される。更に、ペンタプリズム７２を介してルーペレンズ７３を通して、撮影者により正立正像が観察される。このとき、エレクトレットシャッタユニット２１の開口部２７、２７ａ及び２７ｂ（図５（ａ）、（ｂ）参照）は全閉状態となっている。

そして、撮像動作時は、クイックリターンミラー７０が撮影光路外（図８に於いて二点鎖線で示される位置）に退避されるため、レンズユニット５０を介して入射される被写体からの光束は、エレクトレットシャッタユニット２１に導かれる。このとき、図５（ａ）に示される矢印Ｆ方向に先幕２５ａが駆動されて、開口部２７、２７ａ及び２７ｂは全開状態となる。これにより、上記光束は、開口部２７、２７ａ及び２７ｂ、光学ローパスフィルタ４０を通過してイメージャ４２の撮像面で結像される。

そして、所定時間が経過したときに、図５（ｂ）に示される矢印Ｆ方向に後幕２５ｂが駆動されて、開口部２７、２７ａ及び２７ｂが遮蔽される。これにより、開口部２７、２７ａ及び２７ｂは覆われて、完全に遮光された状態となる。その後、先幕２５ａ、後幕２５ｂは、図５（ａ）に示される初期状態に復帰し、クイックリターンミラー７０が撮影光路内（図８に於いて実線で示される位置）に戻って、次の撮像動作に備えて待機する。

図９は、本発明の第１の実施形態に係るエレクトレットシャッタユニットを用いたデジタル一眼レフカメラの電気系のシステム構成を示すブロック図である。

図９に於いて、このカメラシステムは、ボディユニット５０と、アクセサリ装置として、例えば交換可能なレンズユニット（すなわちレンズ鏡筒）５１と、通信コネクタ５６を介して撮影した画像データを記録しておく記録メディア５２と、ストロボ通信コネクタ５７を介して外付けのストロボユニット５３とを有して構成されている。

上記レンズユニット５１は、上記ボディユニット５０の前面に設けられた、図示されないレンズマウントを介して着脱自在に装着可能である。そして、上記レンズユニット５１は、撮影レンズ６１ａ及び６１ｂと、絞り６２と、レンズ駆動機構６３と、絞り駆動機構６４と、レンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｌμｃｏｍと略記する）６５とから構成されている。

上記撮影レンズ６１ａ及び６１ｂは、レンズ駆動機構６３内に存在する図示されないＤＣモータによって、光軸方向に駆動される。絞り６２は、絞り駆動機構６４内に存在する図示されないステッピングモータによって駆動される。また、Ｌμｃｏｍ６５は、上記レンズ駆動機構６３や絞り駆動機構６４等、レンズユニット５１内の各部を駆動制御する。このＬμｃｏｍ６５は、通信コネクタ５５を介して、後述するボディ制御用マイクロコンピュータ８５と電気的に接続がなされ、該ボディ制御用マイクロコンピュータ８５の指令に従って制御される。

一方、ボディユニット５０は、以下のように構成されている。

レンズユニット５１内の撮影レンズ６１ａ及び６１ｂ、絞り６２を介して入射される図示されない被写体からの光束は、クイックリターンミラー７０で反射されて、フォーカシングスクリーン７１、ペンタプリズム７２を介してルーペレンズ７３に至る。

上記クイックリターンミラー７０の中央部はハーフミラーになっており、該クイックリターンミラー７０がダウン（図示の位置）した際に一部の光束が透過する。そして、この透過した光束は、クイックリターンミラー７０に設置されたサブミラー７５で反射され、自動測距を行うためのＡＦセンサユニット７６に導かれる。尚、上記クイックリターンミラー７０のアップ時には、サブミラー７５は折り畳まれるようになっている。

上記クイックリターンミラー７０の後方には、上述したエレクトレットシャッタユニット２１と、イメージャ４２を搭載した撮像ユニット４５が設けられている。図９には示されないが、上述したように、クイックリターンミラー７０が光路より退避した場合、撮影レンズ６１ａ及び６１ｂを通った光束は、撮像ユニット４５内のイメージャ４２に結像される。

尚、図９に於いては、図面の簡単化のため、エレクトレットシャッタユニット２１の前面に圧電素子３３が配設されたように示されているが、その位置は図５（ｂ）、図７に示されるように、カバーガラス２３に対して何れの位置に配設されていてもよいものである。

このボディユニット５０は、また、上記イメージャ４２に接続された撮像素子インターフェイス回路８０と、記憶領域として設けられたＳＤＲＡＭ８２と、液晶モニタ８３及び上記通信コネクタ５６を介して記録メディア５２とが、画像処理を行うための画像処理コントローラ８１に接続されている。これらは、電子撮像機能と共に電子記録表示機能を提供できるように構成されている。

上記記録メディア５２は、各種のメモリカードや外付けのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）等の外部記録媒体であり、通信コネクタ５６を介してカメラボディ５０と通信可能、且つ交換可能に装着される。

上記画像処理コントローラ８１は、通信コネクタ５５と、測光回路８６と、ＡＦセンサ駆動回路８８と、防塵フィルタ駆動回路８９と、シャッタ駆動制御回路９０と、不揮発性メモリ（ＥＥＰＲＯＭ）９１等と共に、このボディユニット５０内の各部を制御するためのボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｂμｃｏｍと略記する）８５に接続されている。

上記Ｂμｃｏｍ８５には、当該カメラの動作状態を表示出力によって撮影者へ告知するための動作表示用ＬＣＤ９２と、カメラ操作スイッチ（ＳＷ）９３と、電源回路９５を介して電池９６とが接続されている。

尚、上記Ｂμｃｏｍ８５とＬμｃｏｍ６５とは、レンズユニット５１の装着時に於いて、通信コネクタ５５を介して通信可能に電気的接続がなされる。そして、デジタルカメラとしてＬμｃｏｍ６５がＢμｃｏｍ８５に従属的に協働しながら稼動するようになっている。

上記測光回路８６は、上記イメージャ４２に取り込まれた光束に基づいて測光処理する回路である。また、上記ＡＦセンサ駆動回路８８は、自動測距を行うためのＡＦセンサとしてのイメージャ４２を駆動制御するための回路である。上記防塵フィルタ駆動回路８９は、上述したカバーガラス２３に配設された圧電素子３３ａ〜３３ｄ（または３３）を駆動制御するための回路である。また、シャッタ駆動制御回路９０は、上記エレクトレットシャッタユニット２１の先幕２５ａと後幕２５ｂの動きを制御すると共に、Ｂμｃｏｍ８５との間でシャッタの開閉動作を制御する信号とストロボと同調する信号の授受を行う。

不揮発性メモリ９１は、その他の記憶領域として、カメラ制御に必要な所定の制御パラメータを記憶する記憶手段であり、Ｂμｃｏｍ８５からアクセス可能に設けられている。

動作表示用ＬＣＤ９２は、当該カメラの動作状態を表示出力によって撮影者へ告知するためのものである。上記カメラ操作スイッチ９３は、例えば撮影動作の実行を指示するレリーズスイッチ、撮影モードと画像表示モードを切り替えるモード変更スイッチ及びパワースイッチ等、当該カメラを操作するために必要な操作釦を含むスイッチ群で構成される。

更に、上記電源回路９５は、電源としての電池９６の電圧Ｖ_E を、当該カメラシステムの各回路ユニットが必要とする電圧Ｖ_C に変換して供給するために設けられている。

ストロボユニット５３は、閃光発光部１０１と、ＤＣ／ＤＣコンバータ１０２と、ストロボ制御用マイクロコンピュータ１０３及び電池１０４とから成っている。そして、このストロボユニット５３は、ストロボ通信コネクタ５７を介して、ボディユニット５０と通信可能に装着可能である。

このように構成されたデジタル一眼レフカメラの各部は、次のように稼動する。

先ず、画像処理コントローラ８１により、Ｂμｃｏｍ８５の指令に従って撮像素子インターフェイス回路８０が制御されて、撮像ユニット４５内のイメージャ４２から画像データが取り込まれる。この画像データは、一時保管用メモリであるＳＤＲＡＭ８２に取り込まれる。このＳＤＲＡＭ８２は、画像データが変換される際のワークエリア等に使用される。また、この画像データは、ＪＰＥＧデータに変換された後には、記録メディア５２に保管されるように設定されている。

ミラー駆動機構８７は、上述したように、クイックリターンミラー７０をアップ（ＵＰ）位置とダウン（ＤＯＷＮ）位置へ駆動するための機構である。ミラー駆動機構８７によってクイックリターンミラー７０がダウン位置にある時、撮影レンズ６１ａ及び６１ｂからの光束は、ＡＦセンサユニット７６側とペンタプリズム７２側へと分割されて導かれる。

ＡＦセンサユニット７６内のＡＦセンサからの出力は、ＡＦセンサ駆動回路８８を介してＢμｃｏｍ８５へ送信されて、周知の測距処理が行われる。

一方、ペンタプリズム７２に隣接するルーペレンズ７３からは、撮影者が被写体を目視することができる。また、上記ペンタプリズム７２を通過した光束の一部は、測光回路８６内のホトセンサ（図示せず）へ導かれ、ここで検知された光量に基づいて周知の測光処理が行われる。

シャッタ駆動制御回路９０では、Ｂμｃｏｍ８５からシャッタを駆動制御するための信号が受取られると、その信号に基づいてエレクトレットシャッタユニット２１が制御される。それと共に、シャッタ駆動制御回路９０から、所定のタイミングでＢμｃｏｍ８５にストロボを発光させるためのストロボ同調信号が出力される。Ｂμｃｏｍ８５からは、このストロボ同調信号に基づいて、ストロボユニット５３に通信により発光指令信号が出力される。

また、撮影者によって上述したカメラ操作スイッチ９３の中のモード変更スイッチが操作されて、撮影モードから画像表示モードへ切り換えられると、記録メディア５２に保管された画像データが読み出されて、液晶モニタ８３に表示可能である。記録メディア５２から読み出された画像データは、画像処理コントローラ８１に於いてビデオ信号に変換され、液晶モニタ８３にて出力表示される。

電源スイッチ９８のオフによって電源回路９５の動作が停止された場合には、再び電源スイッチ９８がオンにされなければ電源回路の動作は開始されない。

本実施形態のシャッタ装置は、図８に於けるエレクトレットシャッタユニット２１とシャッタ駆動制御回路９０により構成されている。

次に、図１０に示される防塵フィルタ駆動回路８９の回路図と、図１１のタイムチャートに基づいて、本実施形態に於ける除去フィルタとしてのカバーガラス２３の駆動及びその動作について説明する。

防塵フィルタ駆動回路８９は圧電素子３３（または３３ａ〜３３ｄ）の駆動回路であり、図１０に示されるような回路構成を有している。また、その各部に於いて、図１１のタイムチャートで表す波形信号（Ｓｉｇ１〜Ｓｉｇ４）が生成され、それらの信号に基づいて次のように制御される。

すなわち、防塵フィルタ駆動回路８９は、図１０に示されるように、Ｎ進カウンタ１１１と、１／２分周回路１１２と、インバータ１１３と、複数のＭＯＳトランジスタＱ１、Ｑ２、Ｑ３と、トランス１１４及び抵抗Ｒ１とから構成されている。

上記トランス１１４の１次側に接続されたトランジスタＱ２及びトランジスタＱ３のオン／オフ切替え動作によって、そのトランス１１４の２次側に所定周期の信号（Ｓｉｇ４）が発生するように構成されている。この所定周期の信号に基づいて、圧電素子３３を駆動させ、カバーガラス２３を振動させるようになっている。

また、Ｂμｃｏｍ８５は、制御ポートとして設けられた２つのＩＯポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔ及びＩＯポートＤ＿ＮＣｎｔと、クロックジェネレータ１１０を有しており、これらにより、防塵フィルタ駆動回路８９を制御している。

そして、この防塵フィルタ駆動回路８９により、圧電素子３３（３３ａ〜３３ｄ）に対して周期的な駆動電圧が印加されると、カバーガラス２３に振動が生じる。これにより、カバーガラス２３の表面に付着した水滴や塵挨等は、その表面から弾き飛ばされるようにして除去される。

以上のように、第１の実施形態によれば、カバーガラスの前面に塵埃等が付着しても撮影画像にその影が映り込むことがなくなる。

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。

上述した第１の実施形態では、矩形のシャッタユニットに設けられたカバーガラスを振動させて塵埃の付着を防止するようにした例について説明したが、これに限られるものではない。以下に述べる第２の実施形態は、例えば円形状のシャッタユニットのカバーガラスを除去フィルタとして形成した例についてのものである。

図１２は、本発明に係る第２の実施形態のエレクトレットシャッタユニットの構成を示した正面図である。

尚、この第２の実施形態は、上述した第１の実施の形態とはカバーガラス及び圧電素子の形状が異なるだけであり、その他の構成及び動作等については、基本的に図５乃至図１１に示されたものと同様であるので、同一の部分には同一の参照番号を付して、その図示及び説明は省略する。

図１２に於いて、本エレクトレットシャッタユニット（静電シャッタ装置）２１ａは、それぞれ独立して、撮影時に図示矢印Ｆ方向に走行する先幕（シャッタ先幕）２５ａと、後幕（シャッタ後幕）２５ｂとを有するフォーカルプレーンシャッタである。

上記エレクトレットシャッタユニット２１ａの被写体側（図１２に於いて紙面より手前側）には、円形状のカバーガラス１２０が設けられている。このカバーガラス１２０は、エレクトレットシャッタユニット２１ａの保護部材を兼用している。また、カバーガラス１２０は、反射防止幕が施されていてもよい。

また、固定子２９ａ及び２９ｂ（図１２には示されない）上には、先幕２５ａ及び後幕２５ｂの走行方向に沿って、それぞれ先幕２５ａ及び後幕２５ｂの上下にガイド３５、３６（、３７、３８）が設けられている。更に、固定子２９ａ上で、カバーガラス１２０との間には、その円周の端部近傍に、加振手段である圧電素子１２１が配設されている。この圧電素子１２１は、スペーサとしての機能を兼用している。

そして、圧電素子１２１に対して周期的な駆動電圧が印加されると、除去フィルタとなるカバーガラス１２０の形状が変化する。この場合、カバーガラス１２０が円形状であるので、その中心方向に向かって、振動の節と腹が繰り返し形成される。このようにして、カバーガラス１２０に振動が生じることにより、当該カバーガラス１２０の表面に付着した水滴や塵挨等が、その表面から弾き飛ばされるようにして除去される。

このように構成することにより、上述した第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。

（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。

図１３は本発明に係る第３の実施形態のエレクトレットシャッタユニットの構成を示したもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は断面図である。

尚、この第３の実施形態は、上述した第１の実施の形態とは集塵電極が加わる以外は、その構成及び基本的な動作等については、基本的に図５乃至図１１に示されたものと同様であるので、同一の部分には同一の参照番号を付して、その図示及び説明は省略する。

上述した第１及び第２の実施形態では、カバーガラスの表面に付着した塵埃を、端に弾き飛ばすようにしていたが、この第３の実施形態では、カバーガラス表面から除去した塵埃を、撮影に影響のない部分に吸着させるようにしている。

すなわち、本エレクトレットシャッタユニット（静電シャッタ装置）２１ｂに於いて、カバーガラス２３上（図１３（ｂ）に於いて左側）には、例えば開口部２７の下方に、集塵電極４８が設けられている。この集塵電極４８は、カバーガラス２３の振動により該カバーガラス２３の表面に付着していた塵埃を、例えば静電力により吸着するためのものである。

この集塵電極４８に吸着された塵埃は、該集塵電極４８が開口部２７の外側に位置するために、撮像時に影になることがない。

尚、この第３の実施形態では、集塵電極４８を開口部２７の下方に設けているが、これに限られるものではなく、開口部２７の外側であればよいものである。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態以外にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形実施が可能である。

本発明に係る静電シャッタ装置の駆動原理について説明する図である。 エレクトレットシャッタの断面を模式的に示すと共に該エレクトレットシャッタの駆動回路を示した図である。 図２の駆動回路１０によって作成されて、駆動電極４Ａ〜４Ｄに印加される電圧信号列の例を示したもので、（ａ）は駆動電極４Ａ、（ｂ）は駆動電極４Ｂ、（ｃ）は駆動電極４Ｃ、（ｄ）は駆動電極４Ｄのタイミングチャートである。 図２に示されるエレクトレットシャッタ７の動作を説明する図である。 本発明に係る第１の実施形態のエレクトレットシャッタユニットの構成を示したもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は断面図である。 図５（ａ）、（ｂ）に示される圧電素子３３ａ〜３３ｄによりカバーガラス２３上に発生される屈曲運動の様子を説明する図である。図５のエレクトレットシャッタユニット２１が搭載されたデジタル一眼レフカメラの概略配置構成を示した図である。 本発明の第１の実施形態の変形例を示した図である。 本発明の第１の実施形態として、エレクトレットシャッタユニット２１が搭載された光学機器としてのデジタル一眼レフカメラの概略配置構成を示した図である。 本発明の第１の実施形態に係るエレクトレットシャッタユニットを用いたデジタル一眼レフカメラの電気系のシステム構成を示すブロック図である。 防塵フィルタ駆動回路８９の構成を示した回路図である。 本実施形態に於けるカバーガラス２３の動作について説明するタイミングチャートである。 本発明に係る第２の実施形態のエレクトレットシャッタユニットの構成を示した正面図である。 本発明に係る第３の実施形態のエレクトレットシャッタユニットの構成を示したもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は断面図である。

符号の説明

１、２９ａ、２９ｂ…固定子、２…移動子、３、２７、２７ａ、２７ｂ…開口部、４、４Ａ〜４Ｄ、２８ａ、２８ｂ…駆動電極、５、５ａ、５ｂ…永久分極された誘導体（エレクトレット）、７…エレクトレットシャッタ、１０…駆動回路、１２…パルス発生回路、１３…位相器、１４…昇圧回路、２１、２１ａ、２１ｂ…エレクトレットシャッタユニット、２３、２４、１２０…カバーガラス、２５ａ…先幕、２５ｂ…後幕、２７、２７ａ、２７ｂ…開口部、３３、３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ、１２１…圧電素子、３４…スペーサ、３５〜３８…ガイド、４０…光学ローパスフィルタ、５０…ボディユニット、５１…レンズユニット、５２…記録メディア、５３…ストロボユニット、６１ａ、６１ｂ…撮影レンズ、６２…絞り、６５…レンズ制御用マイクロコンピュータ（Ｌμｃｏｍ）、７０…メインミラー、８０…撮像素子インターフェイス回路、８１…画像処理コントローラ、８５…ボディ制御用マイクロコンピュータ（Ｂμｃｏｍ）、９０…シャッタ駆動制御回路、９３…カメラ操作スイッチ（ＳＷ）、９５…電源回路、１０１…閃光発光部、１０３…ストロボ制御用マイクロコンピュータ。

Claims (30)

1. 所定ピッチで配置された帯状の駆動用電極が設けられた電極部材と、
   上記駆動用電極に対向した部位に電位分布を有し、上記駆動用電極に電圧を印加した際に生じる静電力を受けて上記電極部材に対して相対移動する移動部材と、
   上記移動部材を上記電極部材とで挟むように配置された保護部材と、
   少なくとも上記保護部材に振動波を発生させる加振部材と、
   を具備することを特徴とする静電シャッタ装置。
2. 上記振動は、上記保護部材の屈曲運動であることを特徴とする請求項１に記載の静電シャッタ装置。
3. 上記加振部材は、上記保護部材に配置された圧電素子であることを特徴とする請求項１に記載の静電シャッタ装置。
4. 上記圧電素子は、上記保護部材と上記電極部材の間隔を保つためのスペーサと兼用していることを特徴とする請求項３に記載の静電シャッタ装置。
5. 上記振動は、超音波領域の振動波であることを特徴とする請求項１に記載の静電シャッタ装置。
6. 光束通過領域の周辺に集塵部材を配置したことを特徴とする請求項１に記載の静電シャッタ装置。
7. 第１の電極部材、第２の電極部材及び保護部材が、スペーサを介して積層されたユニットと、
   上記ユニット内の上記第１の電極部材と上記第２の電極部材とで形成される空間を移動可能な第１の移動部材と、
   上記第１の電極部材上に設けられ、上記第１の移動部材に対して静電力を作用させて駆動するための第１の電極部位と、
   上記ユニット内の上記第２の電極部材と上記保護部材とで形成される空間を移動可能な第２の移動部材と、
   上記第２の電極部材上に設けられ、上記第２の移動部材に対して静電力を作用させて駆動するための第２の電極部位と、
   上記保護部材に振動波を発生させる加振部材と、
   を具備することを特徴とする静電シャッタ装置。
8. 上記移動部材は複数のエレクトレット化部位を有し、該エレクトレット化電圧が上記第１、第２の電極部材に電圧を印加した際に生じる静電力を受けて、上記第１、第２の電極部材に対して相対移動することを特徴とする請求項１乃至９の何れか１に記載の静電シャッタ装置。
9. 所定ピッチで配置された帯状の駆動用電極が設けられた電極部材と、
   上記駆動用電極に対向した部位に電位分布を有し、上記駆動用電極に電圧を印加した際に生じる静電力を受けて上記電極部材に対して相対移動する移動部材と、
   上記移動部材を上記電極部材とで挟むように配置された保護部材と、
   少なくとも上記保護部材に振動波を発生させる加振部材と、
   を具備することを特徴とする静電シャッタ装置を有する光学機器。
10. 上記振動は、上記保護部材の屈曲運動であることを特徴とする請求項９に記載の静電シャッタ装置を有する光学機器。
11. 上記加振部材は、上記保護部材に配置された圧電素子であることを特徴とする請求項９に記載の静電シャッタ装置を有する光学機器。
12. 上記圧電素子は、上記保護部材と上記電極部材の間隔を保つためのスペーサと兼用していることを特徴とする請求項１１に記載の静電シャッタ装置を有する光学機器。
13. 上記振動は、超音波領域の振動波であることを特徴とする請求項９に記載の静電シャッタ装置を有する光学機器。
14. 光束通過領域の周辺に集塵部材を配置したことを特徴とする請求項９に記載の静電シャッタ装置を有する光学機器。
15. 所定ピッチで配置された帯状の駆動用電極が設けられた第１及び第２の電極部材と、保護部材が、スペーサを介して積層されたユニットと、
    上記ユニット内の上記第１の電極部材と上記第２の電極部材とで形成される空間を移動可能な第１の移動部材と、
    上記第１の電極部材上に設けられ、上記第１の移動部材に対して静電力を作用させて駆動するための第１の電極部位と、
    上記ユニット内の上記第２の電極部材と上記保護部材とで形成される空間を移動可能な第２の移動部材と、
    上記第２の電極部材上に設けられ、上記第２の移動部材に対して静電力を作用させて駆動するための第２の電極部位と、
    上記保護部材に振動波を発生させる加振部材と、
    を具備することを特徴とする静電シャッタ装置を有する光学機器。
16. 上記移動部材は複数のエレクトレット化部位を有し、該エレクトレット化部位が上記第１及び第２の電極部材の駆動用電極に電圧を印加した際に生じる静電力を受けて、上記第１及び第２の電極部材に対して相対移動することを特徴とする請求項９乃至１５の何れか１に記載の静電シャッタ装置を有する光学機器。
17. 被写体光束が通過する領域を遮蔽する位置に移動可能な移動部材と、
    上記移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極が設けられた固定部材と、
    上記固定部材と共に上記移動部材を挟み込むように配置された保護部材と、
    上記保護部材に対して所定の振動を加える加振部材と、
    を具備することを特徴とする光学機器。
18. 上記振動は、上記保護部材の屈曲運動であることを特徴とする請求項１７に記載の光学機器。
19. 上記加振部材は、上記保護部材に配置された圧電素子で構成されることを特徴とする請求項１７に記載の光学機器。
20. 上記圧電素子は、上記保護部材と上記固定部材の間隔を保つためのスペーサと兼用していることを特徴とする請求項１９に記載の光学機器。
21. 上記振動は、超音波領域の振動波であることを特徴とする請求項１７に記載の光学機器。
22. 上記保護部材に集塵部材が設けられたことを特徴とする請求項１７に記載の光学機器。
23. 上記集塵部材は、上記被写体光束が通過する領域の周辺に配置されることを特徴とする請求項２２に記載の光学機器。
24. 被写体を撮像するための撮像素子と、
    上記被写体の光束が通過する開口を遮蔽する位置に移動可能な移動部材と、該移動部材を静電駆動するための複数の駆動用電極が設けられた固定部材と、を有して上記撮像素子の前面に配置された静電シャッタ装置と、
    上記シャッタ装置の固定部材と共に上記移動部材を挟み込むように配置された保護部材と、
    上記保護部材に対して所定の振動を加える加振部材と、
    を具備することを特徴とするカメラ。
25. 上記振動は、上記保護部材の屈曲運動であることを特徴とする請求項２４に記載のカメラ。
26. 上記加振部材は、上記保護部材に配置された圧電素子であることを特徴とする請求項２４に記載のカメラ。
27. 上記圧電素子は、上記保護部材と上記固定部材の間隔を保つためのスペーサと兼用していることを特徴とする請求項２６に記載のカメラ。
28. 上記振動は、超音波領域の振動波であることを特徴とする請求項２４に記載のカメラ。
29. 上記保護部材に集塵部材が設けられたことを特徴とする請求項２４に記載のカメラ。
30. 上記集塵部材は、上記被写体の光束が通過する領域の周辺に配置されることを特徴とする請求項２９に記載のカメラ。

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