JP2006030678A - 静電駆動装置、シャッタ装置、撮像モジュール及びカメラ - Google Patents

Abstract

【課題】 カメラ内部にホコリが発生しなく、静音で振動の発生が極めて少なく、省エネルギーで機構が簡単な静電駆動装置、シャッタ装置、撮像モジュール及びカメラを提供すること。
【解決手段】 複数の駆動用電極を有する固定子１と、駆動用電極４ａ，４ｂの電荷により駆動力を受けて固定子１に対して相対移動可能な移動部材と、上記移動部材を上記固定部材で挟むように配置された保護部材とを備えた静電駆動装置であって、固定子１及び保護部材２５ｂのいずれか一方の部材は、他方の部材よりも突出した突出部１２０を有し、該突出部１２０は静電駆動装置の静電駆動機構を固定するための保持部材１１０に固定されている。
【選択図】 図６

Description

本発明は、一眼レフカメラでカメラ内部にホコリが発生しなく、静音で振動の発生が極めて少ない静電駆動装置、シャッタ装置、撮像モジュール及びカメラに関する。

最近、一眼レフ式のデジダルカメラが普及されてきている。この一眼レフ式のデジダルカメラにおいては、メインミラー及びシャッタも機械的に動作させている。このため、メインミラー及びシャッタを駆動する駆動機構から発生するホコリが撮影光路中の光学ローパスフィルタ等の光学部材に付着して撮像画像に写りこんでしまっていた。このように光学部材に付着したホコリを払い落とすための塵払い機構が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００３−３１９２２２

上記特許文献１に記載されているような塵払い機構を一眼レフ式のデジダルカメラに装備すると、カメラ内部の機構が複雑になるばかりでなく、コストが上昇してしまうという問題があった。

また、メインミラー及びシャッタは、大きな質量の部材を高速で移動させる機構を有するために、メインミラー及びシャッタを動作させると大きな音や振動が発生してしまっていた。

このため、静かな場所での撮影に問題があったり、その振動による像ぶれが発生していた。

また、直接動かしたい部材以外にその部材を動かすための機構が複雑で動作に大きなエネルギーを必要としていた。

本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、その目的は、カメラ内部にホコリが発生しなく、静音で振動の発生が極めて少なく、省エネルギーで機構が簡単な静電駆動装置、シャッタ装置、撮像モジュール及びカメラを提供することにある。

請求項1記載の静電駆動装置は、複数の駆動用電極を有する固定部材と、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な移動部材と、上記移動部材を上記固定部材で挟むように配置された保護部材とを備える静電駆動装置であって、上記固定部材及び上記保護部材のいずれか一方の部材は、他方の部材よりも突出した突出部を有し、該突出部は上記静電駆動装置の静電駆動機構を固定するための保持部材に固定されていることを特徴とする。

請求項2記載の静電駆動装置は、複数の駆動用電極を有する固定部材と、エレクトレット化された部位を有し、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な移動部材と、上記移動部材を上記固定部材で挟むように配置された保護部材と、上記固定部材及び上記保護部材の間に設けられ、上記移動部材の駆動範囲の少なくとも二辺に設けられたスペーサとを備える静電駆動装置であって、上記スペーサは、上記静電駆動装置の同一断面内において、該スペーサよりも上記保護部材及び上記固定部材のいずれか一方が突出するように設けられ、該突出部に上記静電駆動装置の静電駆動機構を固定するための保持部材が固定されていることを特徴とする。

請求項3記載のシャッタ装置は、請求項１又は請求項２記載の静電駆動装置の上記移動部材は遮光性を有する部材であることを特徴とする。

請求項４記載のシャッタ装置は、一方の表面に複数の第１の駆動用電極を有し、他方の表面に第２の駆動用電極を有する固定部材と、エレクトレット化された部位を有し、上記第１の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第１の移動部材と、上記第１の移動部材を上記固定部材で挟むように配置された第１の保護部材と、エレクトレット化された部位を有し、上記第２の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第２の移動部材と、上記第２の移動部材を上記固定部材で挟むように配置された第２の保護部材と、を備えるシャッタであって、上記固定部材、上記第１の保護部材及び上記第２の保護部材のいずれか一つの部材は、他の部材よりも突出した突出部を有し、該突出部は上記シャッタ機構を固定するための保持部材に固定されていることを特徴とする。

請求項５記載のシャッタ装置は、一方の表面に複数の第１の駆動用電極を有し、他方の表面に第２の駆動用電極を有する固定部材と、エレクトレット化された部位を有し、上記第１の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第１の移動部材と、上記第１の移動部材を上記固定部材で挟むように配置された第１の保護部材と、上記固定部材及び上記第１の保護部材の間に設けられ、上記第１の移動部材の駆動範囲の少なくとも二辺に設けられた第１のスペーサと、エレクトレット化された部位を有し、上記第２の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第２の移動部材と、上記第２の移動部材を上記固定部材で挟むように配置された第２の保護部材と、上記固定部材及び上記第２の保護部材の間に設けられ、上記第２の移動部材の駆動範囲の少なくとも二辺に設けられた第２のスペーサと、を備えるシャッタ装置であって、上記第１又は第２のスペーサは、上記シャッタ機構の同一断面内において、該スペーサよりも上記第１又は第２の保護部材及び上記固定部材のいずれか一方が突出するように設けられ、該突出部に上記シャッタ機構を固定するための保持部材が固定されていることを特徴とする。

請求項６記載のシャッタ装置は、請求項３記載の上記移動部材が収納されている空間は密閉されていることを特徴とする。

請求項７記載のシャッタ装置は、請求項４又は請求項５記載の上記第１及び第２の移動部材が収納されている空間は密閉されていることを特徴とする。

請求項８記載の撮像モジュールは、上記請求項３又は６記載のシャッタ装置の上記突出部が設けられた上記固定部材又は上記保護部材に固定された撮像素子を有することを特徴とする。

請求項９記載の撮像モジュールは、上記請求項４、５又は７記載のシャッタ装置の上記突出部が設けられた上記固定部材、上記第１の保護部材又は上記第２の保護部材に固定された撮像素子を有することを特徴とする。

請求項１０記載のカメラは、請求項３〜７いずれか一項に記載のシャッタ装置あるいは請求項８又は９記載の撮像モジュールを搭載したことを特徴とする。

請求項１１記載のミラー駆動機構は、請求項１又請求項２記載の静電駆動装置の上記移動部材の表面に反射特性を有することを特徴とする。

請求項１２記載のカメラは、撮影レンズによってつくられる光学像を電気信号に変換する撮像素子と、該撮影レンズと該撮像素子の間に置かれ、該撮影レンズからの光線を遮光状態と非遮光状態にする上記請求項３〜７いずれか一項に記載のシャッタ装置とからなり、該撮像素子と該シャッターとの間を密閉したことを特徴とする。

請求項１３記載のカメラは、撮影レンズによってつくられる光学像を電気信号に変換する撮像素子と、該撮影レンズと該撮像素子の間に置かれ、該撮影レンズからの光線を該撮像素子と、該撮像素子とは異なる方向に光線を反射する反射部材と、上記請求項３〜７いずれか一項に記載のシャッタ装置とからなり、上記反射部材と、上記シャッタとの間を密閉したことを特徴とする。

請求項１４記載のカメラは、請求項１３記載の上記反射部材は上記請求項１１のミラー駆動機構であることを特徴とする。

本発明によれば、メインミラーを静電アクチュエータとし、シャッタ装置も静電アクチュエータシャッタとし、メインミラー、シャッタ、撮像素子で構成されるレンズの光路を含む空間を密閉構造としたので、カメラ内部でのホコリの発生をなくすことができ、静音で振動の発生が極めて少なく、省エネルギーな機構とすることができる。

はじめに、本発明に係る静電駆動装置としてのシャッタ装置におけるシャッタ機構の駆動原理について図１及び図２を参照して説明する。

本シャッタ機構は、基本的に固定子１と移動子２とを備え、移動子２は固定子１に対して図１（ａ）及び（ｂ）において左右方向に移動自在に構成されている。そして、固定子１には被写体からの光像を撮像素子(図示しない)に導くための光線通過可能領域部３が設けられている。更に、固定子１には、上記移動子２の移動方向とは直交する方向に、帯状の複数の延出された駆動電極４が所定の間隔で並設されている。

上記移動子２は、遮光性を有する部材であり、後述する永久分極された誘電体(以下、エレクトレットという)５の部位を備えている。

このような構成において駆動電極４に正負の電圧を周期的に印加すると、駆動電極４と上述のエレクトレットとの間に吸引力もしくは反発力が発生し、結果的に移動子２が固定子１に対して相対移動する。したがって、移動子２が固定子１の光線通過可能領域部３を開放もしくは遮蔽するように移動可能にしておけば、これによってシャッタ機構を構成することができる。図１(ａ)はシャッタが開の状態を示し、図１(ｂ)はシャッタが閉の状態を示している。

なお、固定子１には光線通過可能領域部３は必ずしも必要ではなく、固定子１を透過部材とし、図１(ａ)に示すように駆動電極４が設けられていない領域、即ち、透過領域を形成しても良い。

以下、本構成に係るシャッタ機構をエレクトレッタシャッタと称するものとする。

図２は、このエレクトレットシャッタの断面図を模式的に示すと共に該エレトクレットシャッタの駆動回路を示した図である。

エレクトレットシャッタ７において、固定子１に並設されたそれぞれの駆動電極４には、駆動回路１０からの電圧信号線が接続されている。これら電圧信号線には、４相の電圧信号が印加されるようになっており、従って、駆動電極４には、４本毎に同一の電圧信号が印加される。図２では、駆動電極４にA、B、C、Dの符号を付してこの電圧信号を区別している。

移動子２には、固定子１との対向面に永久分極された誘電体(エレクトレット)５を複数備えている。

なお、この図はあくまで模式図であり、実際のエレクトレットシャッタにおける電極やエレクトレット部位の極性、その配置形態、シャッタ機構として要求される駆動分解能、シャッタ最高速度等の様々な要因によって適宜決定されるものである。また、このエレトクレットシャッタの場合、正負の極性を有するエレトクレット化部位が交互に配置されたタイプであるが、何れか一方の極性だけでも実現可能である。

図２の左側には、上述したエレクトレットシャッタ７の構成と共に、エレクトレットシャッタ７に印加する電圧信号を発生する駆動回路１０の構成が示されている。

パルス発生回路１２で生成した矩形波列(駆動パルス信号)は、位相器１３及び昇圧回路１４に供給される。昇圧回路１４では、入力した矩形波列を１００V程度まで昇圧するとともに、２つの極性を有する電圧信号に分岐されて、駆動電極４Ａ及び４Ｃに供給する。

一方、位相器１３に入力された矩形波列は、９０°位相が遅れた波形となり、その後、昇圧回路１４に入力されて、上述と同様の２つの矩形波列となり、駆動電極４Ｂ及び４Ｄに供給される。

図３は、上記駆動回路１０によって作成されて、駆動電極４Ａ〜４Ｄに印加される電圧信号列の例を示したタイミングチャートである。このうち、図３（ａ）は駆動電極４Ａ、図３（ｂ）は駆動電極４Ｂ、図３（ｃ）は駆動電極４Ｃ、図３（ｄ）は駆動電極４Ｄのタイミングチャートを示す。

なお、駆動電極４Ａ〜４Ｄの電圧の状態は、ｔ１〜ｔ４の４つの状態が時間経過に対応して繰り返して変化するものである。

図４（ａ）〜（ｄ）は、上述したエレクトレットシャッタの動作を説明する図である。なお、図４（ａ）〜（ｄ）において、同図右側方向をエレクトレットの進行方向として、後方側（左側）に正極（プラス）のエレクトレット５ａ、前方側（右側）に負極（マイナス）のエレクトレット５ｂが配列されているものとする。

図４（ａ）は、時刻ｔ１に切り替った直後のエレクトレットと駆動電極４の電圧の状態（極性）を示している。

この状態において、エレクトレット５ａは、駆動電極Ａ（正極）から反発力を受け、駆動電極Ｂ（負極）から吸引力を受ける。また、負極のエレクトレット５ｂは、駆動電極Ｃ（負極）から反発カを受け、駆動電極Ｄ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は図４（ａ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分右方向に移動する。

図４（ｂ）は、時刻ｔ２に切り替った直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。

この状態において、エレクトレット５ａは、駆動電極Ｂ（正極）から反発力を受け、駆動電極Ｃ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、駆動電極Ｄ（負極）から反発力を受け、駆動電極Ａ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は図２（ｂ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。

同様に、図４（Ｃ）は、時刻ｔ３に切り替った直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。

この状態において、エレクトレット５ａは、駆動電極Ｃ（正極）から反発力を受け、駆動電極Ｄ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、駆動電極Ａ（負極）から反発力を受け、駆動電極Ｂ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は図２（ｃ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。

更に、図４（ｄ）は、時刻ｔ４に切り替った直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。

この状態において、エレクトレット５ａは、駆動電極Ｄ（正極）から反発力を受け、駆動電極Ａ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、駆動電極Ｂ（負極）から反発力を受け、駆動電極Ｃ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は図２（ｄ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。

上述したように、移動子２は１つの駆動電極ピッチｄ分移動し、この動作が繰り返されることで、移動子２は図４（ａ）→（ｂ）→（ｃ）→（ｄ）のように右方向（図示→Ｆ方向）に移動する。なお、移動子２を図の左方向に移動するためには、駆動電極４に印加する電圧の極性を逆に切り替えればよい。

（第１の実施の形態）
次に、本発明の第1の実施の形態について説明する。図５は、本発明に係る第１の実施の形態のシャッタ装置を適用した撮像モジュールの構成を示す図、図６はその撮像モジュールの断面図である。

本撮像モジュール２０は、シャッタユニット２１と撮像ユニット２２とで構成されている。シャッタユニット２１は、固定子１に対して相対移動可能で遮光性を有する第1の移動部材としての先幕２４ａと、固定子１に対して相対移動可能で遮光性を有する第2の移動部材としての後幕２４ｂを有するフォーカルプレーンシャッタである。この先幕及び後幕２４ａ、２４ｂは、それぞれ上述のエレクトレット５(図示しない)を備えている。

１は固定子である。この固定子１は光線通過可能領域部（透光部）Ａを有する。さらに、この固定子１の一方の表面には、複数の第1の駆動電極としての駆動電極４ｂが設けられ、固定子１の他方の表面と対向するように設けられている後述する保護部材２５ａの表面には、複数の第２の駆動電極としての駆動電極４ａが設けられている。

さらに、シャッタユニット２１の被写体側には光線通過可能領域部(透光部)を有する保護部材（第２の保護部材）２５bが設けられている。この保護部材２５bと固定子１との間にはコの字形状のスペーサ（第2のスペーサ）３２が設けられている。また、固定子１と保護部材（第１の保護部材）２５aとの間にはコの字形状のスペーサ（第1のスーサ）３１が設けられている。そして、各スペーサ３１，３２の開放部にシール１ａ（図示しない）、１ｂを固着することにより、先幕２４ａ、後幕２４ｂの駆動範囲を密閉したシャッタユニット２１が構成される。各スペーサ３１，３２は固定子１と保護部材２５ａあるいは２５ｂの間に設けられ、先幕２４ａ、後幕２４ｂの駆動範囲の少なくとも二辺に設けられている。

一方、撮像素子２７の保護部材２５ａには、収納容器２６が固着され、シャッタユニット２１と撮像ユニット２２により一体の撮像モジュール２０が構成される。ここで、収納容器２６を密閉する部材として、保護部材２５ａを用いずに通常使用される撮像素子封止用のカバーガラスを用いて、カバーガラスと保護部材２５ａを固着しても勿論良い。

前記保護部材２５ｂは保護部材２５ａ及び固定子１より突出した固定部１２０を有する。そして、この固定部１２０はシール部材１１１を介して、シャッタ保持部材１１０に設けられた取り付け部１１０ａ、１１０ｂに当てつけられ、さらに押さえ板１１２ａ、１１２ｂによって押さえられている。つまり、保護部材２５ｂはスペーサ３１，３２より保護部材２５ｂの縦方向に吐出する突出部としての固定部１２０を有する。なお、保護部材２５ａあるいは固定子１がスペーサ３１，３２よりその縦方向に突出する突出部としての固定部を有してもよい。

また、シール部材１１１は、図５に示されるロの字形状の裏面、表面で保護部材２５ｂと、取り付け部１１０ａ，１１０ｂを形成する面とに当てついている。

そして、押さえ板１１２ａ，１１２ｂに設けられた位置決め穴１１２ａ２、１１２ｂ２はシャッタ保持部材１１０に設けられたボス(不図示)に嵌合される。さらに、押さえ板１１２ａ，１１２ｂは、ビス穴１１２ａ１、１１２ｂ１を通してビス１１３ａ、１１３ｂによりシャッタ保持部材１１０に固定されている。

さらに、シャッタ保持部材１１０の被写体側にガラス板１１４が設けられる。このガラス板１１４の周辺部は接着剤１１５で密封される。これにより、シャッタの被写体側に密閉空間をつくることができ、埃の進入を嫌う撮像素子２７近傍の空間を、埃を排除して防塵構造とすることが簡単に実現することができる。ここで、撮像素子２７の近傍の空間から埃を除去するのは、埃が撮像素子近くにあればあるほど、画像に埃の影が映りやすくなり、それを避けるためである。

また、このような保持構造をとると、シャッタの遮光幕２４ａ、２４ｂのある空間の厚みを変化させること無く確実にシャッタを固定できる。すなわち、保護部材２５ａ，２５ｂを重ねて押さえて保持するとスペーサ３１、３２はシャッタの外周部にしか無いために、保護部材２５ａ，２５ｂが押圧力を受けてたわみ、遮光幕２４ａ，２４ｂのある空間が狭くしてしまう。遮光幕２４ａ，２４ｂのある空間が狭くなることで遮光幕２４ａ，２４ｂが可動できなくなったり、作動が不良となったりする。本実施の形態の保持構造では、このような不具合の発生を未然に防止することができる。

ここで、固定子１はガラス等を基板として用いられ、この固定子１の一方の表面に形成された駆動電極４ａ，４ｂ上には、絶縁膜（図示しない）が形成されている。

一方、先幕及び後幕２４a、２４bは、ポリイミドやテフロン（登録標章）を基材として用いられ、これら先幕及び後幕２４a、２４bのそれぞれの一方の面にコロナ放電法によりエレクトレットが形成されている(これをエレクトレット化するという)。また、先幕及び後幕２４a、２４bの駆動電極４ａ，４ｂとは対向しない面に金属膜が形成される。この金属膜により軽量で遮光性が高く、耐熱性を持ち、大きな遮光効果を確保することができる。本実施の形態においては、正負の極性を有するエレクトレット部位が交互に配置される（例えば、図４のエレクトレット５ａ，５ｂ参照）。

図５及び図６では、駆動電極４ａ，４ｂをそれぞれ保護部材２５ａと固定子１に設けたが、駆動電極４ａ，４ｂを固定子１の表裏に設けてもよい。

図７は、固定子１の表裏に駆動電極を設けた場合を示す。図７を参照して固定子１に形成される駆動電極、接続部、給電用電極について説明する。図７に示すように、固定子１の一方の表面に形成された駆動用電極（第2の駆動用電極）４ｂは、接続部４ｂ-１を介して給電用電極（第2の給電用電極）４ｂ-２に電気的に接続され、この固定子１の他方の面、つまり裏面に形成された駆動用電極（第1の駆動用電極）４ａ（図示しない）は、接続部４ａ-１（図示しない）を介して給電用電極４ａ-２（第2の給電用電極）（図示しない）に電気的に接続されている。

また、２９ａ（図示しない）及び２９ｂは端部に電極２９ａ−１（図示しない），２９b−１が形成され、各電極から導電パターンが形成されているフレキシブルプリント基板（以下、フレキと略称する）である。このフレキ２９ａ（図示しない）及び２９ｂの電極２９ａ−１（図示しない），２９b−１はそれぞれ前述した給電用電極４ａ-２（図示しない）及び４ｂ-２に接続される。

また、固定子１に形成されている駆動用電極４ａ（図示しない），４ｂのうち、開口Ａの上下に配置されている駆動電極をつなぐ４ａ（図示しない），４ｂは透明電極４ａ−３（図示しない），４ｂ−３により接続されている。

さらに、固定子１のスペーサ３１，３２が設置される面には絶縁材料からなるベース４ａ−４（図示しない），４ｂ−４が設けられる。このベース４ａ−４（図示しない），４ｂ−４により固定子１の基板１ｃ上に設けられた接続部４ａ−１，４ｂ−１等により形成されるの突出部を覆い、平面を形成している。

このように構成することでスペーサ３１，３２やシール１ａ，１ｂを介して保護部材２５ａ，２５ｂを固定子１に取り付けたとき、移動部材、即ち先幕及び後幕２４ａ，２４ｂの設けられた空間を簡単に密閉構造に構成することができ、外部から埃の入り込むことがない信頼性の高いシャッタを実現することができる。

また、上記フレキ２９の接続部である給電用電極４ａ−２，４ｂ−２がシャッタユニット２１の外部に露出しているので、シャッタユニット２１を組み立てた後にフレキ２９を取り付けることを可能とすることができる。したがって、シャッタユニット２１の製造に埃等の発生が懸念されるフレキの接続工程を入れないことができる。

なお、図７において図示していない駆動用電極４ａ、接続部４ａ−１、給電用電極４ａ−２、透明電極４ａ−３、ベース４ａ−４、電極２９ａ−１、フレキ２９ａは、それぞれに対応する部材と同じ形状が固定子１の裏面側に対称に配置されている。

図７に示すように駆動電極４ａ（図示しない），４ｂは先幕及び後幕２４ａ，２４ｂの駆動範囲を超えて形成されている。ここで言う駆動範囲とは各スペーサ３１，３２とシール１ａ，１ｂ及び固定子１と各保護部材２５ａ，２５ｂとで囲まれた領域を指す。そして、駆動電極４ａ（図示しない）、４ｂのうち、先幕及び後幕２４ａ，２４ｂの駆動範囲内に形成された部分を第1の電極、駆動範囲外に形成された部分を第2の電極という。図７において、第2の電極はダブルハッチングで示している。

駆動電極４ａ（図示しない），４ｂのうち、駆動範囲を超えて形成された部分は、固定子１にスペーサ３１，３２を固着し、保護部材２５ａ，２５ｂを各スペーサ３１，３２に固着した後に先幕及び後幕２４ａ，２４ｂを各々の駆動範囲に引き入れるために使用される。

つまり、固定子１にはフレキ２９の給電電極４ａ−２（図示しない），４ｂ−２とは別に第２の給電用電極４ａ−５（図示しない），４ｂ−５が形成されている。そして、組み付ける先幕及び後幕２４ａ，２４ｂの一端を上記の外部に露出している駆動電極４ａ（図示しない），４ｂの上に載せ、上記第２の給電用電極４ａ−５（図示しない），４ｂ−５に組み立て用の電源（図示しない）から周波数電圧信号を印加することにより、先幕及び後幕２４ａ，２４ｂの駆動範囲に先幕及び後幕２４ａ，２４ｂを引き入れることが出来る。そして、その駆動範囲に先幕及び後幕２４ａ，２４ｂを引き入れた後、絶縁性のシール１ａ（図示しない），１ｂで上記の先幕及び後幕２４ａ，２４ｂの引き入れに使用した駆動範囲外に形成された駆動電極４ａ，４ｂを覆い、かつ駆動範囲を密閉するように固着している。

この様にシャッタを製作することによって先幕及び後幕２４ａ，２４ｂを確実に非常に狭い空間にセットできるとともに、従来埃が密閉空間に進入し易かった工程を埃の閉じ込めが発生し難い状態で行うことができる。

すなわち、先幕及び後幕２４ａ，２４ｂの引き入れに必要な最小開口を開放した状態で先幕及び後幕２４ａ，２４ｂを組み立てることができ、埃が外部から入り込む確率を最小限にとどめることができる。

万が一、先幕及び後幕２４ａ，２４ｂの引き入れ時に埃を引き込んだときは駆動電極４ａ，４ｂを使うことで先幕及び後幕２４ａ，２４ｂを安全に外部に取り出すことができ、先幕及び後幕２４ａ，２４ｂを取り出した後にその駆動範囲を吸引清掃することで埃を除去することができる。

図６に戻って、撮像ユニット２２は、収納容器２６内に撮像素子２７と信号線２８を収容して固定され、収納容器２６の被写体側を光線通過可能領域部(透光部)を有する保護部材２５aで覆うように構成される。

撮像モジュール２０は、エレクトレットシャッタを用いてシャッタユニット２１を構成しているため、その厚さを従来のシャッタユニットと比較して大幅に減少することができ、薄型化することができる。

また、エレクトレットシャッタは、先幕及び後幕２４a、２４bに誘導される電荷を利用するのではなく、エレクトレットに永久分極されている電荷を利用するため、立ち上がり時間を短縮してシャッタ動作を高速化することができる。

また、エレクトレットの電荷量は任意に与えることが可能であることから、駆動力が最大となるような最適の電荷量を与えることができ、極めて大きな駆動力を得ることができる。

従って、撮像モジュール２０のサイズに応じた最適なシャッタユニット２１を構成することができる。

更に、先幕及び後幕２４a、２４bは素材として樹脂材料を用いることができるため軽量である。例えば、先幕及び後幕２４ａ、２４ｂは、１０〜２０μの薄い膜で形成することが可能である。従って、先幕及び後幕２４ａ、２４ｂの動作に必要な電力量は少なく、かつ静かな動作が実現できる。

次に、図１０を参照して先幕２４ａと後幕２４ｂの一つの動作について説明する。まず、初期状態では図１０（ａ）に示すように全閉状態となっている。即ち、先幕２４ａが露光光線通過可能領域部Ａの全体を覆うため、撮像ユニット２２は被写体光から完全に遮光されている。

次に、撮像動作の開始指示に応じて、図１０（ｂ）に示すように先幕２４ａがまずスタートし、光線通過可能領域部Ａを通過して露光が開始し、かつ、先幕２４ａに後幕２４ｂがかからない状態で後幕２４ｂも走行を開始し、同じ速度で先幕２４ａと後幕２４ｂが走行してスリット開口２４ｄが光線通過可能領域部Ａの全面を走行することにより露光され、被写体光が撮像ユニット２２に導かれる。ここで、スリット開口２４ｄは、先幕２４ａの端部と後幕２４ｂの端部との間隙と光線通過可能領域部Ａとがオーバラップした領域を意味する。そして、所定時間が経過したときに、図１０（ｃ）に示すように、先幕２４ａと後幕２４ｂにより光線通過可能領域部Ａを覆い、シャッタの露光動作が終了する。

その後、先幕２４ａを図１０（ｂ）の反矢印方向にまず駆動させ、次に後幕２４ｂを駆動してスリット開口２４ｄで露光しない状態を保った状態で動作して図１０（ａ）に示す初期状態に復帰し、次の撮像動作に備えて待機する。スリット開口２４ｄの幅を次第に広く（後幕２４ｂの駆動開始時間を遅らせる）していくと最後はスリット開口２４ｄを全開することが出来る。スリット開口２４ｄを全開とするように先幕２４ａと後幕２４ｂを保持すれば長時間露光も可能となる。

図１１は、本発明の第１の実施の形態に係るシャッタ装置を用いたカメラの電気系のシステム構成を示すブロック図である。図１１において、このカメラのシステムは、カメラ本体としてのボディユニット１００と、アクセサリ装置として、例えば交換可能なレンズユニット（すなわちレンズ鏡筒）１１２と、撮影した画像データを記録しておく記録メディア１３９と、外付けのストロボユニット１８０等から構成されている。

レンズユニット１１２は、ボディユニット１００の前面に設けられた図示しないレンズマウントを介して着脱自在に取り付け可能である。

記録メディア１３９は、各種のメモリカードや外付けのＨＤＤ等の外部記録媒体であり、通信コネクタ１３５を介してカメラ本体と通信可能かつ交換可能に装着される。

ストロボユニット１８０は、閃光発光部１８１、ＤＣ／ＤＣコンバータ１８２、ストロボ制御マイクロコンピュータ１８３および電池１８４から成り、ストロボ通信コネクタ１８５を介してカメラ本体と通信可能に装着できる。

レンズユニット１１２の制御はレンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｌμｃｏｍと略称する）１０５により行われる。

また、ボディユニット１００の制御はボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｂμｃｏｍと略称する）１５０により行われる。なお、これらＬμｃｏｍ１０５とＢμｃｏｍ１５０とは、合体時において通信コネクタ１０６を介して通信可能に電気的接続がなされる。そしてカメラシステムとしてＬμｃｏｍ１０５がＢμｃｏｍ１５０に従属的に協働しながら稼動するようになっている。

レンズユニット１１２内には撮影レンズ１１２ａ、１１２ｂと絞り１０３が設けられている。撮影レンズ１１２ａはレンズ駆動機構１０２内に存在する図示しないＤＣモータによって駆動される。絞り１０３は絞り駆動機構１０４内に存在する図示しないステッピングモータによって駆動される。Ｌμｃｏｍ１０５はＢμｃｏｍ１５０の指令に従ってこれら各モータを制御する。

ボディユニット１００内には次の構成部材が図示のように配設されている。例えば、光学系としての一眼レフ方式の構成部材（ペンタプリズム１１３ａ、クイックリターンミラー１１３ｂ、接眼レンズ１１３ｃ、サブミラー１１３ｄ）と、撮像モジュール２０と、上記サブミラー１１３ｄからの反射光束を受けて自動測距する為のＡＦセンサユニット１３０ａが設けられている。そして、撮像モジュール２０は、光軸上のフォーカルプレーン式のシャッタユニット２１と、光学系を通過した被写体像を光電変換するためのＣＣＤを収容した撮像ユニット２２を有する。

また、このＡＦセンサユニット１３０ａを駆動制御するＡＦセンサ駆動回路１３０ｂと、上記クイックリターンミラー１１３ｂを駆動制御するミラー駆動機構１１８と、上記シャッタユニット２１の先幕２４ａと後幕２４ｂの動きを制御するシャッタ駆動制御回路１４８と、上記ペンタプリズム１１３ａからの光束に基づき測光処理する測光回路１３２が設けられている。

そして、シャッタ駆動制御回路１４８は、Ｂμｃｏｍ１５０との間でシャッタの開閉動作を制御する信号とストロボと同調する信号の授受が行われる。

このカメラシステムには、撮像ユニット２２に接続した撮像素子インターフェイス回路１３４、液晶モニタ１３６、記憶領域として設けられたＳＤＲＡＭ１３８および記録メディア１３９などを利用して画像処理する画像処理コントローラ１４０とが設けられ、電子撮像機能と共に電子記録表示機能を提供できるように構成されている。

Ｂμｃｏｍ１５０には、当該カメラの動作状態を表示出力によってユーザへ告知するための動作表示用ＬＣＤ１５７と、カメラ操作ＳＷ１５２が接続される。上記カメラ操作ＳＷ１５２は、例えばレリーズＳＷ、モード変更ＳＷおよびパワーＳＷなど、当該カメラを操作するために必要な操作釦を含むスイッチ群である。さらに、電源としての電池１５４と、この電源の電圧を当該カメラシステムの各回路ユニットが必要とする電圧に変換して供給する電源回路１５３がＢμｃｏｍ１５０に接続される。

上述した如くに構成されたカメラシステムの各部は次のように稼動する。

ミラー駆動機構１１８は、クイックリターンミラー１１３ｂをＵＰ位置とＤＯＷＮ位置へ駆動するための機構であり、このクイックリターンミラー１１３ｂがＤＯＷＮ位置にある時、撮影レンズ１１２ａ、１１２ｂからの光束はＡＦセンサユニット１３０ａ側とペンタプリズム１１３ａ側へと分割されて導かれる。

ＡＦセンサユニット１３０ａ内のＡＦセンサからの出力は、ＡＦセンサ駆動回路１３０ｂを介してＢμｃｏｍ１５０へ送信されて周知の測距処理が行われる。

また、ペンタプリズム１１３ａに隣接する接眼レンズ１１３ｃからはユーザが被写体を目視できる一方、このペンタプリズム１１３ａを通過した光束の一部は測光回路１３２内のフォトセンサ（図示しない）へ導かれる。そして、ここでこのフォトセンサで検知された光量に基づき周知の測光処理が行われる。

シャッタ駆動制御回路１４８は、Ｂμｃｏｍ１５０からシャッタを駆動制御するための信号を受取り、その信号に基づいてシャッタユニット２１を制御すると共に、所定のタイミングで、Ｂμｃｏｍ１５０にストロボを発光させるためのストロボ同調信号を出力する。
Ｂμｃｏｍ１５０は、このストロボ同調信号に基づいてストロボユニット１８０に通信により発光指令信号を出力する。

画像処理コントローラ１４０は、Ｂμｃｏｍ１５０の指令に従って撮像素子インターフェイス回路１３４を制御して撮像ユニット２２から画像データを取り込む。この画像データは画像処理コントローラ１４０においてビデオ信号に変換され、液晶モニタ１３６に出力表示される。ユーザはこの液晶モニタ１３６の表示画像から、撮影した画像イメージを確認することができる。

ＳＤＲＡＭ１３８は画像データの一時的保管用メモリであり、画像データが変換される際のワークエリアなどに使用される。またこの画像データはＪＰＥＧデータに変換された後には記録メディア１３９に保管されるように設定されている。

本発明に係る第１の実施の形態のシャッタ装置は、図１１におけるシャッタユニット２１とシャッタ駆動制御回路１４８とで構成されている。

図１２は、シャッタ駆動制御回路１４８とシャッタユニット２１との信号接続を示す構成図である。図１２において、シャッタユニット２１には、上述のように先幕２４ａと後幕２４ｂを備えられている。そして、先幕２４ａと後幕２４ｂのそれぞれを駆動するために、図２に示す構成の駆動回路が２系統設けられている。

パルス発生回路１２は、Ｂμｃｏｍ１５０からの開閉制御信号に基づいて先幕２４aと後幕２４bを駆動して、図１０に示すように光線通過可能領域部Ａの全開全閉動作を制御する。

また、パルス発生回路１２はＢμｃｏｍ１５０からリセット信号を受信すると、先幕２４aと後幕２４bを初期状態に駆動する。さらに、パルス発生回路１２は、所定のタイミングでＢμｃｏｍ１５０にストロボ同調信号を出力する。

続いて、第１の実施の形態に係るシャッタ装置を用いた撮像制御方法について図１３のフローチャートを参照して説明する。図１３は、Ｂμｃｏｍ１５０の概略の撮影動作手順を示すフローチャートである。このフローチャートは、電子カメラの処理手順の内、レリーズ操作から画像データ生成までの動作手順を示している。

まず、ユーザがレリーズボタンを１段押下すると、本フローチャートの動作が開始される。先ず、ステップＳ１で測光処理が実行される。すなわち、測光回路１３２にて測定された被写体の輝度情報が獲得される。次いで、ステップＳ２にて、その輝度情報に基づいて露光量演算が実行され、適正な絞り値（ＡＶ：aperture value）とシャッタ速度（ＴＶ：time value）が算出される。

次に、ステップＳ３にて、ＡＦ処理が実行される。つまり、被写体からの光束がクイックリターンミラー１１３ｂ及びサブミラー１１３ｄを介してＡＦセンサユニット１３０ａで受光される。この受光された被写体像のずれ量がＡＦセンサ駆動回路１３０ｂを介してＢμｃｏｍ１５０に出力される。Ｂμｃｏｍ１５０では、被写体像のずれ量からレンズのずれ量が算出され、その値が通信コネクタ１０６を介してＬμｃｏｍ１０５に送信される。Ｌμｃｏｍ１０５では、レンズずれ量に基づいてレンズ駆動機構１０２を介して撮影レンズ１１２ａが移動されて焦点が調整される。

ここで、ステップＳ４において、焦点が調整された状態で、レリーズボタンが更に（２段）押下されているか否かが調べられる。レリーズボタンが２段押下されていない場合には、ステップＳ４の判定で「ＮＯ」と判定されて、ステップＳ５に移行してレリーズボタンが１段押下の状態にあるか否かが判定される。レリーズボタンが１段押下の状態にあるときはステップＳ５で「ＹＥＳ」と判定されるため、ステップＳ４以降の処理が再度行なわれる。つまり、レリーズボタンが２段押下されるまで待機する。

しかし、ステップＳ５でレリーズボタンが１段押下されていないと判定された場合には、ステップＳ５で「ＮＯ」と判定されるため、ユーザは撮影動作を中止したものと判断して本処理を終了する。

レリーズボタンが２段押下されている場合には、ステップＳ４で「ＹＥＳ」と判定され、撮影動作が継続され、ステップＳ６に移行されて絞り込み駆動が実行される。即ち、Ｂμｃｏｍ１５０は、ＡＶ値に基づいて通信コネクタ１０６を介してＬｕｃｏｍ１０５に送信する。Ｌｕｃｏｍ１０５では、送られたＡＶ値に基づいて絞り駆動機構１０４を介して絞り１０３が制御される。

次に、ステップＳ７にて、ミラーアップ駆動が実行される。即ち、ミラー駆動機構１１８を介してクイックリターンミラー１１３ｂを跳ね上げられて、撮影光路が確保される。この後、ステップＳ８にて撮像素子インターフェイス回路１３４に対して撮像動作を開始するように指示が出力される。すると、撮像素子インターフェイス回路１３４では、この指示に基づいて撮像ユニット２２の撮像素子２７を動作させる。

以上の動作の後、Ｂμｃｏｍ１５０によって、シャッタ制御動作が実行される。シャッタ制御動作については、図１４に示す全開露光時のシャッタ制御タイムチャートを併せて参照しつつ説明する。

ステップＳ９では、Ｂμｃｏｍ１５０は、シャッタ駆動制御回路１４８にシャッタ開信号が出力される。すなわち、図１１の開閉制御信号の信号レベルがアクティブにされる。これを受けたシャッタ駆動制御回路１４８のパルス発生回路１２では、後幕２４ｂを駆動するため先幕駆動パルスの出力が開始される。この先幕駆動パルスのパルス数に対応して、図１１の先幕開口波形に示されるように、先幕２４ａは光線通過可能領域部Ａの全閉位置から開方向に駆動される。

次に、ステップＳ１１において、Ｂμｃｏｍ１５０により露光時間が経過したか否かが判断される。ここで、露光時間が経過していない場合には、ステップＳ１１の判断で「ＮＯ」と判定されて、ステップＳ１２に移行し、図１１に示すストロボ同調信号がシャッタ駆動制御回路１４８から出力されたか否かが判断される。このステップＳ１２で「ＮＯ」と判定される場合には、ステップＳ１１に処理が移行し、ストロボ同調信号が出力されるまで待機する処理がなされる。ストロボ同調信号は、先幕２４ａが光線通過可能領域部Ａを全開とする位置に到達したタイミングでシャッタ駆動制御回路１４８から出力される。

上述のように、エレクトレットを用いて構成された先幕２４ａ（及び後幕２４ｂ）は極めて軽量であるため、この先幕駆動パルスによって先幕２４ａを高精度かつ高速に駆動することが可能である。従って、露光光線通過可能領域が全開になったかどうかを他の検出手段を用いて検出する必要がなく、先幕駆動パルスのパルス数を計数することで判断することができる。

そこで、シャッタ駆動制御回路１４８からは、図１４に示すように、先幕駆動パルスを所定数（ｍ）出力したタイミングで、ストロボ同調信号（矩形信号）をＢμｃｏｍ１５０に対して出力される。前述したステップＳ１２にて、このストロボ同期信号がアクティブになったことが検出された場合は、ステップＳ１３へ移行して、Ｂμｃｏｍ１５０からストロボユニット１８０に対して発光を指示する発光制御信号が出力されたか否かが判断される。

ここで、発光制御信号がまだ出力されていない場合は、ステップＳ１４へ移行して発光制御信号がストロボユニット１８０に対して出力された後、上記ステップＳ１１へ移行する。一方、既に発光制御信号が出力されている場合は、ステップＳ１３で「ＹＥＳ」と判定されるため、再度の発光制御信号の出力は行われないように制御されて上記ステップＳ１１へ移行する。

そして、露光時間が経過した場合には、ステップＳ１１で「ＹＥＳ」と判定されるため、ステップＳ１５へ移行し、Ｂμｃｏｍ１５０からシャッタ閉信号が出力される。すなわち、開閉制御信号の信号レベルをノンアクティブにする。これを受けたシャッタ駆動制御回路１４８のパルス発生回路１２から、後幕２４ｂを閉じ方向に駆動するための後幕駆動パルスの出力が開始される。この後幕駆動パルスのパルス数に従って、図１４の後幕開口波形に示すように、後幕２４ｂは光線通過可能領域部Ａの全開位置から全閉位置の方向に向けて駆動される。

次に、ステップＳ１６にて、Ｂμｃｏｍ１５０からは撮像素子インターフェイス回路１３４に対して撮像動作を停止させる旨の指示が出力される。この撮像素子インターフェイス回路１３４は、この指示に基づいて撮像ユニット２２の撮像素子２７の撮像動作を停止させる処理を行う。

更に、ステップＳ１７にて、Ｂμｃｏｍ１５０からシャッタ駆動制御回路１４８にリセット信号が出力される。このリセット信号を受けたシャッタ駆動制御回路１４８のパルス発生回路１２により、先幕２４ａ及び後幕２４ｂが初期位置に駆動される。

次いで、ステップＳ９からステップＳ１７のシャッタ制御動作を終了した後は、ステップＳ１８に移行して画像処理コントローラ１４０に対して画像データの処理実行が指示される。これにより、画像処理コントローラ１４０は、撮像素子インターフェイス回路１３４からの信号をＡＤ変換して画像データを生成し、その画像データを処理して通信コネクタ１３５を介して記録メディア１３９に記録させる処理が行なわれる。

そして、ステップＳ１９に移行して、Ｂμｃｏｍ１５０からミラー駆動機構１１８を介してクイックリターンミラー１１３ｂがダウン位置へ駆動される。また、ステップＳ２０にて、Ｌμｃｏｍ１０５に対して、絞り駆動機構１０４を介して絞り１０３が全開となるように指示される。

このようにして、撮像動作が終了される。

図１５は、スリット露光時のシャッタ制御タイムチャートである。被写体の輝度が高いときは、先幕２４ａが全開となる前に露光時間が経過する場合がある。このときは、シャッタ駆動制御回路１４８は、ストロボ同調信号を出力せずに後幕駆動パルスを出力する。この場合は、光線通過可能領域部Ａは全開とはならず、先幕２４ａと後幕２４ｂで形成されるスリット光線通過可能領域が光線通過可能領域部Ａ上を移動する。

なお、このスリット露光時の撮像動作は、図１３のフローチャートと同一であるためその詳細の説明は省略する。

ここで、第１の実施形態では保護部材２５ｂの縦方向の長さを固定子１よりも突出させて固定部１２０を設けているが、本発明はこれに限らず、例えば固定子１の縦方向の長さは保護部材２５ｂの長さと同一であってもよい。この場合には、固定子１のシャッタ保持部材１１０に対応する位置に図８に示すような切り欠き１ｄを形成させるようにすればよい。

また、図６においては、撮像素子２７を保護部材２５ａに取付ける構造としているが、本発明はこれに限らず、例えば図９に示すように、固定部１２０の設けられた保護部材２５ｂに取付ける構造としてもよい。

（第２の実施の形態）
次に、図１６〜図１９を参照して本発明の第２の実施の形態について説明する。この第２の実施の形態と前述した第1の実施の形態の図５及び図６と異なるのは遮光幕に相当する移動部材が１つでかつその被写体側の面には少なくともアルミニウム、銀等の金属膜が固着されており、光学的な反射部材となっていることである。これにより、図１１のクイックリターンミラーの代わりに用いることができるミラー駆動機構が構成される。

図１９を参照してミラー駆動機構の動作を説明する。図１９（ａ）はミラーである移動体２４ａが開口Ａを覆っている状態を示す。そして、図１１のクイックリターンミラーの動作に対応するタイミングで、図１９（ｂ）に示すようにミラー駆動機構のミラーである移動体２４ａが開口Ａから退避する。そして、図１９（ｃ）に示すように開口Ａが移動体２４ａで覆われない状態となる。一方、クイックリターンミラーのダウン動作に対応するタイミングで前述した動作と逆の動作が行なわれて移動体２４ａは開口Ａを覆う位置に復帰する。

図２０は、図５及び図６で示されたシャッタ(但し、撮像素子が組みつけられていない状態)と図１６、図１７、図１９で示されたミラー駆動機構と同様な機構を組み込んだカメラの構造を示した断面図、図２１はミラー駆動機構を正面から見た図である。ミラー駆動機構は固定子４０１にスペーサ４３１を介して保護ガラス４２５が固定されている。そして、固定子４０１と保護ガラス４２５により囲まれる空間に、被写体側に光学反射面が形成されたエレクトレットからなるミラー４２４が設置されている。このミラーの詳細構造及び動作は図１６、図１７、図１９に示されたものと同様である。

図２０及び図２１に示すように、このミラー駆動機構は固定子４０１が調整スペーサ４５０ａ，４５０ｂ，４５０ｃ（図示しない）を間に挟み、カメラ本体４００に押さえ板４１２ａ，４１２ｂ，４１２ｃ（図示しない）とビス４１３ａ，４１３ｂ，４１３ｃ（図示しない）とにより固定されている。

ここで、調整スペーサ４５０ａ，４５０ｂ，４５０ｃは厚さの異なるものをそれぞれ選択することにより、固定子４０１の傾きと撮影レンズの光軸方向の位置を調整することができる。ミラー４２４は、ミラー４２４が撮影光路中に位置している時は固定子４０１に静電力で吸着されており、固定子４０１がカメラ本体４００に対し、上記のように精密に組み立てられるのでミラー４２４の位置はカメラ本体４００に対して正確に決定することができる。

また、固定子４０１の撮像素子側にはゴム等の弾性体で形成されたシール４６０が設けられている。このシール４６０の先端部が固定子の裏側に当接して、ミラー駆動機構とカメラ本体４００の間を気密に構成している。

ここで、シール４６０の先端断面形状が細い突起形状をしているのは、ミラー駆動機構をカメラ本体４００に対して位置調整をした場合でも、気密状態が保たれるように、大きなシールの変形量がとれるようにするためである。

一方、シャッタはカメラ本体４００に同じくシール１１１(図５、６参照)を挟んで取り付けられている。このシール１１１によりシャッタユニット２１の保護部材２５ｂ(図５，図６参照)とカメラ本体４００の間は気密に構成されている。

シャッタユニット２１と撮像素子４８０との間の気密保持について説明する。まず、光学ローパスフィルタ４９０の外周に密着して設置されたゴム等の弾性体からなるシール４９１が設けられてシールのシャッタユニット２１側の突起部４９１ａ，４９１ｂがシャッタの保護部材２５ａに当接する。これにより、シャッタユニット２１と光学ローパスフィルタ４９０の間の気密を保っている。さらに、光学ローパスフィルタ４９０の撮像素子側にはシール４９１のシート状の形状が挟み込まれて押さえ板４７１、ビス４７２によりホルダ４７０に固定されて、光学ローパスフィルタ４９０と撮像素子４８０の保護ガラス４８０ａの間が気密に構成される。

ホルダ４７０は保持板４８１に固定され、この保持板４８１はカメラ本体４００に調整スペーサ４１０を挟んで取り付けられている。保持板４８１は少なくとも２か所以上で調整スペーサ４１０を介してカメラ本体４００に固定される。この調整用スペーサ４１０により本体に対しての傾きと撮影レンズの光軸方向の位置調整が行われている。このように構成することによって、撮像素子４８０からミラー駆動機構までの間が完全に気密に構成でき、埃の影の撮像素子４８０への写り込みは従来のものに対して大幅に改善させることができる。

ここで、この第２の実施形態では、図２０に示すように、ミラー駆動機構をクイックリターンミラーの代わりに用いているが、本発明はこれに限らず、例えば被写体像からの一部の光をファインダ側に通し、一部を撮像素子４８０側に透過させる半透過の固定子４０１をミラー駆動機構の代わりに用いるような構成としてもよい。

なお、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上述した実施形態以外にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。

図１（ａ）は本発明に係るシャッタ装置におけるシャッタ機構が開状態を示す図、図１（ｂ）はシャッタ機構が閉状態を示す図。 本発明に係るエレクトレットシャッタ及びその駆動回路を示す図。 同駆動回路から出力される駆動波形を示す波形図。 同エレクトレットシャッタの動作を説明するための図。 本発明に係る第1の実施の形態のシャッタ装置を適用した撮像モジュールの構成を示す図。 図５に示した撮像モジュールの断面図。 同シャッタ装置の固定子に設けられた駆動用電極等を示す平面図。 同シャッタ装置の固定子とシャッタ保持部材との取り付け構造を示す図。 同シャッタ装置とシャッタ保持部材との別の取り付け構造を示す図。 同シャッタ装置の先幕と後幕の第1の動作を説明するための図。 同シャッタ装置を用いたカメラのシステム構成を示すブロック図。 同シャッタ装置のシャッタ駆動制御回路とシャッタユニットの電気的接続関係を示す図。 同シャッタ装置を用いた撮像制御方法を説明するためのフローチャート。 同シャッタ装置の全開露光時のシャッタ制御タイムチャート。 同シャッタ装置のスリット露光時のシャッタ制御タイムチャート。 本発明に係る第２の実施の形態のシャッタ装置を適用した撮像モジュールの構成を示す図。 図１６に示した撮像モジュールの断面図。 同シャッタ装置の固定子に設けられた駆動用電極等を示す平面図。 ミラー駆動機構の動作を説明するための図。 同ミラー駆動機構の側面図。 同ミラー駆動機構の正面図。

符号の説明

１，４０１…固定子、２…移動子、４，４ａ，４ｂ…駆動電極、５ａ，５ｂ…エレクトレット、２０…撮像モジュール、２１…シャッタユニット、２４ａ…先幕、２４ｂ…後幕、２４−１…スリット、２５ａ，２５ｂ…保護部材、２７…撮像素子、４００…カメラ本体、４２４…ミラー、４８０…撮像素子。

Claims (14)

1. 複数の駆動用電極を有する固定部材と、
   上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な移動部材と、
   上記移動部材を上記固定部材で挟むように配置された保護部材とを備える静電駆動装置であって、
   上記固定部材及び上記保護部材のいずれか一方の部材は、他方の部材よりも突出した突出部を有し、該突出部は上記静電駆動装置の静電駆動機構を固定するための保持部材に固定されていることを特徴とする静電駆動装置。
2. 複数の駆動用電極を有する固定部材と、
   エレクトレット化された部位を有し、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な移動部材と、
   上記移動部材を上記固定部材で挟むように配置された保護部材と、
   上記固定部材及び上記保護部材の間に設けられ、上記移動部材の駆動範囲の少なくとも二辺に設けられたスペーサとを備える静電駆動装置であって、
   上記スペーサは、上記静電駆動装置の同一断面内において、該スペーサよりも上記保護部材及び上記固定部材のいずれか一方が突出するように設けられ、該突出部に上記静電駆動装置の静電駆動機構を固定するための保持部材が固定されていることを特徴とする静電駆動装置。
3. 上記移動部材は遮光性を有する部材であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の静電駆動装置を用いたシャッタ装置。
4. 一方の表面に複数の第１の駆動用電極を有し、他方の表面に第２の駆動用電極を有する固定部材と、
   エレクトレット化された部位を有し、上記第１の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第１の移動部材と、
   上記第１の移動部材を上記固定部材で挟むように配置された第１の保護部材と、
   エレクトレット化された部位を有し、上記第２の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第２の移動部材と、
   上記第２の移動部材を上記固定部材で挟むように配置された第２の保護部材と、を備えるシャッタであって、
   上記固定部材、上記第１の保護部材及び上記第２の保護部材のいずれか一つの部材は、他の部材よりも突出した突出部を有し、該突出部は上記シャッタ機構を固定するための保持部材に固定されていることを特徴とするシャッタ装置。
5. 一方の表面に複数の第１の駆動用電極を有し、他方の表面に第２の駆動用電極を有する固定部材と、
   エレクトレット化された部位を有し、上記第１の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第１の移動部材と、
   上記第１の移動部材を上記固定部材で挟むように配置された第１の保護部材と、
   上記固定部材及び上記第１の保護部材の間に設けられ、上記第１の移動部材の駆動範囲の少なくとも二辺に設けられた第１のスペーサと、
   エレクトレット化された部位を有し、上記第２の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第２の移動部材と、
   上記第２の移動部材を上記固定部材で挟むように配置された第２の保護部材と、
   上記固定部材及び上記第２の保護部材の間に設けられ、上記第２の移動部材の駆動範囲の少なくとも二辺に設けられた第２のスペーサと、を備えるシャッタ装置であって、
   上記第１又は第２のスペーサは、上記シャッタ機構の同一断面内において、該スペーサよりも上記第１又は第２の保護部材及び上記固定部材のいずれか一方が突出するように設けられ、該突出部に上記シャッタ機構を固定するための保持部材が固定されていることを特徴とするシャッタ装置。
6. 上記移動部材が収納されている空間は密閉されていることを特徴とする請求項３記載のシャッタ装置。
7. 上記第１及び第２の移動部材が収納されている空間は密閉されていることを特徴とする請求項４又は請求項５記載のシャッタ装置。
8. 上記請求項３又は６記載のシャッタ装置の上記突出部が設けられた上記固定部材又は上記保護部材に固定された撮像素子を有することを特徴とする撮像モジュール。
9. 上記請求項４、５又は７記載のシャッタ装置の上記突出部が設けられた上記固定部材、上記第１の保護部材又は上記第２の保護部材に固定された撮像素子を有することを特徴とする撮像モジュール。
10. 請求項３〜７いずれか一項に記載のシャッタ装置あるいは請求項８又は９記載の撮像モジュールを搭載したカメラ。
11. 上記移動部材の表面に反射特性を有することを特徴とする請求項１又請求項２記載の静電駆動装置を用いたミラー駆動機構。
12. 撮影レンズによってつくられる光学像を電気信号に変換する撮像素子と、
    該撮影レンズと該撮像素子の間に置かれ、該撮影レンズからの光線を遮光状態と非遮光状態にする上記請求項３〜７いずれか一項に記載のシャッタ装置とからなり、該撮像素子と該シャッターとの間を密閉したことを特徴とするカメラ。
13. 撮影レンズによってつくられる光学像を電気信号に変換する撮像素子と、
    該撮影レンズと該撮像素子の間に置かれ、該撮影レンズからの光線を該撮像素子と、該撮像素子とは異なる方向に光線を反射する反射部材と、
    上記請求項３〜７いずれか一項に記載のシャッタ装置とからなり、
    上記反射部材と、上記シャッタとの間を密閉したことを特徴とするカメラ。
14. 上記反射部材は上記請求項１１のミラー駆動機構であることを特徴とする請求項１３記載のカメラ。

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