JP2006047345A

JP2006047345A - 静電シャッタ機構

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Publication number: JP2006047345A
Application number: JP2004223760A
Authority: JP
Inventors: Kaoru Matsuki; 薫松木
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2004-07-30
Filing date: 2004-07-30
Publication date: 2006-02-16

Abstract

【課題】先幕、後幕で形成するスリット幅を常に制御可能であって、正確な露光が可能な静電シャッタ機構を提供することである。
【解決手段】固定子２９ａの表面に駆動電極２８ａと検出電極３０ａが配置され、固定子２９ｂの表面に駆動電極２８ｂと検出電極３０ｂが配置される。先幕２５ａは、駆動電極２８ａの電荷により駆動力を受けて固定子２９ａに対し相対移動され、検出電極３０ａと検出回路１１１ａにより位置が検出される。後幕２５ｂは、駆動電極２８ｂの電荷により駆動力を受けて固定子２９ｂに対し相対移動され、検出電極３０ｂと検出回路１１１ｂにより位置が検出される。検出回路１１１ａ、１１１ｂの出力より演算回路１１２で先幕２５ａ、後幕２５ｂのずれが算出される。この算出結果を基に、パルス発生回路３３から駆動回路３６ａ、３６ｂを介して駆動電極２８ａ、２８ｂに調整された電圧が印加される。
【選択図】図１

Description

本発明は、デジタルカメラ等に搭載される静電シャッタ機構に関するものである。

従来より、シャッタ機構のアクチュエータを小型で簡単な機構にするために、様々な提案がなされている。例えば、ガラスエポキシ基板の表面に電極を形成し、それに対向して第１の遮光幕を配置し、裏面側にも電極を形成して、それに対向して第２の遮光幕を配置した、いわゆる静電シャッタ装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開平８−２２０５９２号公報

上記特許文献１に記載のシャッタ装置は、絞り機能付のレンズシャッタであるが、２つの遮光幕を先幕、後幕として用いることで、フォーカルプレーンシャッタにも適用可能である。

しかしながら、フォーカルプレーンシャッタの場合は、２組のシャッタユニットの移動子で形成されるスリット幅の制御が課題となっている。すなわち、上記特許文献１に記載のシャッタでも、パルス駆動することにより、移動子の位置制御は可能であるが、１パルス内でのスリット幅を高精度に制御しようとすると、先幕、後幕を構成する互いの移動子の相対的な位置関係の情報も得る必要がある等、更なる位置決めのための手段が必要となっている。

したがって本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、先幕、後幕で形成するスリット幅を常に制御可能であって、正確な露光が可能な静電シャッタ機構を提供することを目的とする。

すなわち、請求項１に記載の発明は、表面に第１の駆動用電極を有する固定部材と、エレクトレット化された部位を有し、上記第１の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記第１の固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第１の移動部材と、上記第１の固定部材の、上記第１の移動部材と対向する面の裏面側に配置され、表面に複数の第２の駆動用電極を有する第２の固定部材と、上記第１の固定部材と上記第２の固定部材とで挟まれるように配置され、エレクトレット化された部位を有し、上記第２の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記第２の固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第２の移動部材と、上記第１及び第２の移動部材を移動させるためのパルス信号を出力するためのパルス発生回路を有するシャッタ駆動制御回路と、を具備する静電シャッタ機構に於いて、上記シャッタ駆動制御回路は、上記第１の固定部材上に配置された第１の検出電極と、上記第２の固定部材上に配置された第２の検出電極と、上記第１の検出電極からの信号を検出する第１の検出回路と、上記第２の検出電極からの信号を検出する第２の検出回路と、上記第１及び第２の検出回路からの出力に基づいて上記パルス発生回路に制御信号を出力する演算回路と、を有することを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明に於いて、上記演算回路は、上記第１及び第２の検出回路からの出力信号の位相差に相当する信号を出力することを特徴とする。

請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明に於いて、上記演算回路は、上記第１及び第２の検出回路からの出力信号の電圧差に相当する信号を出力することを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の発明に於いて、上記演算回路から出力される上記制御信号は、上記パルス発生回路から出力される上記パルス信号の電圧を制御するための信号であることを特徴とする。

請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の発明に於いて、上記演算回路から出力される上記制御信号は、上記パルス発生回路から出力される上記パルス信号の周波数を制御するための信号であることを特徴とする。

請求項６に記載の発明は、請求項１に記載の発明に於いて、上記第１及び第２の検出電極の電極幅及び配列ピッチは、上記第１及び第２の駆動用電極の電極幅及び配列ピッチと同様であることを特徴とする。

請求項７に記載の発明は、請求項１に記載の発明に於いて、上記第１及び第２の移動部材の上記第１及び第２の検出電極に対向する部位は、上記第１及び第２の検出電極と同一のピッチでエレクトレット化されていることを特徴とする。

請求項８に記載の発明は、被写体からの光束が通過する光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な第１の移動部材と、上記光束通過領域に対応した第１の開口部を有し、上記第１の移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極と、上記第１の移動部材の位置を検出する第１の検出電極とが設けられた第１の固定部材と、上記第１の固定部材の、上記第１の移動部材と対向する面の裏面に配置され、上記光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な第２の移動部材と、上記光束通過領域に対応した第２の開口部を有し、上記第２の移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極と、上記第２の移動部材の位置を検出する第２の検出電極とが設けられた第２の固定部材と、上記第１及び第２の検出電極からの信号を検出する検出回路と、上記検出回路からの出力に基づいて上記第１及び第２の移動部材を移動させるべく演算結果を出力する演算回路と、上記演算回路からの演算結果に基づいて、上記第１及び第２の固定部材の上記駆動電極に電圧を印加して、上記第１及び第２の移動部材を上記第１及び第２の固定部材に対して相対移動させる駆動制御手段と、を具備することを特徴とする。

請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の発明に於いて、上記演算回路は、上記検出回路からの出力信号の位相差に相当する信号の演算結果を出力することを特徴とする。

請求項１０に記載の発明は、請求項８に記載の発明に於いて、上記演算回路は、上記検出回路からの出力信号の電圧差に相当する信号の演算結果を出力することを特徴とする。

請求項１１に記載の発明は、請求項８に記載の発明に於いて、上記演算回路から出力される上記演算結果は、上記駆動制御手段から出力される信号電圧を制御するための信号であることを特徴とする。

請求項１２に記載の発明は、請求項８に記載の発明に於いて、上記演算回路から出力される上記演算結果は、上記駆動制御手段から出力される信号の周波数を制御するための信号であることを特徴とする。

請求項１３に記載の発明は、請求項８に記載の発明に於いて、上記第１及び第２の検出電極の電極幅及び配列ピッチは、上記第１及び第２の駆動用電極の電極幅及び配列ピッチと同様であることを特徴とする。

請求項１４に記載の発明は、請求項８に記載の発明に於いて、上記第１及び第２の移動部材の上記第１及び第２の検出電極に対向する部位は、上記第１及び第２の検出電極と同一のピッチでエレクトレット化されていることを特徴とする。

本発明によれば、先幕、後幕で形成するスリット幅を常に制御可能であって、正確な露光が可能な静電シャッタ機構を提供することができる。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。

はじめに、本発明に係る静電シャッタ装置の駆動原理について、図２及び図３を参照して説明する。

本シャッタ装置は、基本的に固定子１と移動子２とを備えており、移動子２は固定子１に対して図２（ａ）及び（ｂ）に於いて左右方向に移動自在に構成されている。そして、固定子１には、被写体からの光像を撮像素子（図示せず）に導くための開口部３が設けられている。更に、この固定子１には、上記移動子２の移動方向と直交する方向に、帯状の複数の延出された駆動電極４が所定の間隔で並設されている。

上記移動子２は、後述する永久分極された、延出された誘導体（以下、エレクトレットと称する）５の部位を複数備えている。

このような構成に於いて、駆動電極４に周波電圧を印加すると、駆動電極４と上述したエレクトレットとの間に吸引力若しくは反発力が発生し、結果的に移動子２が固定子１に対して相対移動する。したがって、移動子２が固定子１の開口部３を、開放若しくは遮蔽するように移動可能にしておけば、これによってシャッタ装置を構成することができる。

図２（ａ）はシャッタが開の状態を示し、図２（ｂ）はシャッタが閉の状態を示している。尚、固定子１に開口部３は必ずしも必要なものではなく、固定子１を透過部材として、図２（ａ）に示されるように、駆動電極４が設けられていない領域、すなわち、透過領域を形成しても良い。以下、被写体光束が通過するこのような領域を便宜的に開口部と称する。また、本構成に係るシャッタ装置を、エレクトレットシャッタと称するものとする。

図３は、こうしたエレクトレットシャッタの断面を模式的に示すと共に該エレクトレットシャッタの駆動回路を示した図である。

エレクトレットシャッタ７に於いて、固定子１に並設されたそれぞれの駆動電極４には、駆動回路１０からの電圧信号線が接続されている。これらの電圧信号線には、４相の電圧信号が印加されるようになっており、従って、駆動電極４には、４本毎に同一の電圧信号が印加される。図３では、駆動電極４にＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄの符号を付してこの電圧信号を区別している。

移動子２には、固定子１との対向面に永久分極された誘導体（エレクトレット）５を複数備えている。

尚、この図は、あくまでも模式図であり、実際のエレクトレットシャッタに於ける電極やエレクトレット化部位の数や配置間隔は、シャッタの大きさ、開口部の面積、エレクトレット化部位の極性、その配置形態、シャッタ装置として要求される駆動分解能、シャッタ最高速度等の様々な要因によって適宜決定されるものである。また、このエレクトレットシャッタの場合、正負の極性を有するエレクトレット化部位が交互に配置されたタイプであるが、何れか一方の極性だけでも実現可能である。

図３の左側には、上述したエレクトレットシャッタ７の構成と共に、エレクトレットシャッタ７に印加する電圧信号を発生するための駆動回路（駆動制御手段）１０の構成が示されている。

パルス発生回路１２で生成した矩形波列（駆動パルス信号）は、位相器１３及び昇圧回路１４に供給される。昇圧回路１４では、入力された矩形波列が１００Ｖ程度まで昇圧されると共に、２つの極性を有する電圧信号に分岐されて、駆動電極４Ａ及び４Ｃに供給される。一方、位相器１３に入力された矩形波列は、９０°位相が遅れた波形となり、その後、昇圧回路１４に入力されて、上述と同様の２つの矩形波列となり、駆動電極４Ｂ及び４Ｄに供給される。

図４は、上記駆動回路１０によって作成されて、駆動電極４Ａ〜４Ｄに印加される電圧信号列の例を示したタイミングチャートである。このうち、図４（ａ）は駆動電極４Ａ、図４（ｂ）は駆動電極４Ｂ、図４（ｃ）は駆動電極４Ｃ、図４（ｄ）は駆動電極４Ｄのタイミングチャートである。

尚、駆動電極４Ａ〜４Ｄの電圧の状態は、時間ｔ１〜ｔ４の４つの状態が、時間経過に対応して繰り返して変化するものである。

図５（ａ）〜（ｄ）は、上述したエレクトレットシャッタ７の動作を説明する図である。尚、図５（ａ）〜（ｄ）に於いて、同図右側方向をエレクトレットの進行方向として、後方側（左側）に正極（プラス）のエレクトレット（エレクトレット化部位）５ａ、前方側（右側）に負極（マイナス）のエレクトレット（エレクトレット化部位）５ｂが配列されているものとする。

図５（ａ）は、図４に示される時間ｔ１に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極４の電圧の状態（極性）を示している。

この状態に於いて、正極のエレクトレット５ａは、駆動電極４Ａ（正極）から反発力を受け、駆動電極４Ｂ（負極）から吸引力を受ける。また、負極のエレクトレット５ｂは、駆動電極４Ｃ（負極）から反発力を受け、駆動電極４Ｄ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図５（ａ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分右方向に移動する。

図５（ｂ）は、時間ｔ２に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。

この状態に於いて、エレクトレット５ａは、駆動電極４Ｂ（正極）から反発力を受け、駆動電極４Ｃ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、駆動電極４Ｄ（負極）から反発力を受け、駆動電極４Ａ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図５（ｂ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。

同様に、図５（ｃ）は、時間ｔ３に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。

この状態に於いて、エレクトレット５ａは、駆動電極４Ｃ（正極）から反発力を受け、駆動電極４Ｄ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、更に別の駆動電極４Ａ（負極）から反発力を受け、駆動電極４Ｂ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図５（ｃ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。

更に、図５（ｄ）は、時間ｔ４に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。

この状態に於いて、エレクトレット５ａは、駆動電極４Ｄ（正極）から反発力を受け、駆動電極４Ａ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、駆動電極４Ｂ（負極）から反発力を受け、駆動電極４Ｃ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図５（ｄ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。

上述したように、移動子２は１つの駆動電極ピッチｄ移動し、この動作が繰り返されることで、移動子２は図５（ａ）→（ｂ）→（ｃ）→（ｄ）のように右方向（図示矢印Ｆ方向）に移動する。尚、移動子２を図の左方向に移動するためには、駆動電極４に印加する電圧の極性を逆に切り替えれば良い。

次に、本発明の一実施形態について説明する。

図６は、本発明の一実施形態に係る静電シャッタ機構を用いたカメラの電気系のシステム構成を示すブロック図である。

図６に於いて、このカメラシステムは、ボディユニット５０と、アクセサリ装置として、例えば交換可能なレンズユニット（すなわちレンズ鏡筒）５１と、通信コネクタ５６を介して撮影した画像データを記録しておく記録メディア５２と、ストロボ通信コネクタ５７を介して外付けのストロボユニット５３とを有して構成されている。

上記レンズユニット５１は、上記ボディユニット５０の前面に設けられた、図示されないレンズマウントを介して着脱自在に装着可能である。そして、上記レンズユニット５１は、撮影レンズ６１ａ及び６１ｂと、絞り６２と、レンズ駆動機構６３と、絞り駆動機構６４と、レンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｌμｃｏｍと略記する）６５とから構成されている。

上記撮影レンズ６１ａ及び６１ｂは、レンズ駆動機構６３内に存在する図示されないＤＣモータによって、光軸方向に駆動される。絞り６２は、絞り駆動機構６４内に存在する図示されないステッピングモータによって駆動される。また、Ｌμｃｏｍ６５は、上記レンズ駆動機構６３や絞り駆動機構６４等、レンズユニット５１内の各部を駆動制御する。このＬμｃｏｍ６５は、通信コネクタ５５を介して、後述するボディ制御用マイクロコンピュータ８５と電気的に接続がなされ、該ボディ制御用マイクロコンピュータ８５の指令に従って制御される。

一方、ボディユニット５０は、以下のように構成されている。

レンズユニット５１内の撮影レンズ６１ａ及び６１ｂ、絞り６２を介して入射される図示されない被写体からの光束は、クイックリターンミラー７０で反射されて、フォーカシングスクリーン７１、ペンタプリズム７２を介して接眼レンズ７３に至る。

上記クイックリターンミラー７０の中央部はハーフミラーになっており、該クイックリターンミラー７０がダウン（図示の位置）した際に一部の光束が透過する。そして、この透過した光束は、クイックリターンミラー７０に設置されたサブミラー７５で反射され、自動測距を行うためのＡＦセンサユニット７６に導かれる。尚、上記クイックリターンミラー７０のアップ時には、サブミラー７５は折り畳まれるようになっている。

上記クイックリターンミラー７０の後方には、光軸上のフォーカルプレーン式のシャッタユニット２１と、光学系を通過した被写体像を光電変換するための撮像素子（ＣＣＤ）４０を収容した撮像ユニット２２とを備えた撮像モジュール２０が設けられている。図示されないが、クイックリターンミラー２０が光路より退避した場合、撮影レンズ６１ａ及び６１ｂを通った光束は、撮像モジュール２０内の撮像素子４０に結像される。

このボディユニット５０は、また、上記撮像モジュール２０内の撮像素子４０に接続された撮像素子インターフェイス回路８０と、記憶領域として設けられたＳＤＲＡＭ８２と、液晶モニタ８３及び上記通信コネクタ５６を介して記録メディア５２とが、画像処理を行うための画像処理コントローラ８１に接続されている。これらは、電子撮像機能と共に電子記録表示機能を提供できるように構成されている。

上記記録メディア５２は、各種のメモリカードや外付けのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）等の外部記録媒体であり、通信コネクタ５６を介してカメラボディ５０と通信可能、且つ交換可能に装着される。

上記画像処理コントローラ８１は、通信コネクタ５５と、測光回路８６と、ミラー駆動回路８７と、ＡＦセンサ駆動回路８８と、駆動手段であるシャッタ駆動制御回路９０と、不揮発性メモリ（ＥＥＰＲＯＭ）９１等と共に、このボディユニット５０内の各部を制御するためのボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｂμｃｏｍと略記する）８５に接続されている。

上記Ｂμｃｏｍ８５には、当該カメラの動作状態を表示出力によって撮影者へ告知するための動作表示用ＬＣＤ９２と、カメラ操作スイッチ（ＳＷ）９３と、電源回路９５を介して電池９６とが接続されている。

尚、上記Ｂμｃｏｍ８５とＬμｃｏｍ６５とは、レンズユニット５１の装着時に於いて、通信コネクタ５５を介して通信可能に電気的接続がなされる。そして、デジタルカメラとしてＬμｃｏｍ６５がＢμｃｏｍ８５に従属的に協働しながら稼動するようになっている。

上記測光回路８６は、上記ペンタプリズム７２からの光束に基づいて測光処理する回路である。上記ミラー駆動機構８７はクイックリターンミラー７０を駆動制御する機構であり、ＡＦセンサ駆動回路８８は上記ＡＦセンサユニット７６を駆動制御するための回路である。また、シャッタ駆動制御回路９０は、上記シャッタユニット２１の先幕と後幕（詳細は後述する）の動きを制御すると共に、Ｂμｃｏｍ８５との間でシャッタの開閉動作を制御する信号とストロボと同調する信号の授受を行う。

不揮発性メモリ９１は、その他の記憶領域として、カメラ制御に必要な所定の制御パラメータを記憶する記憶手段であり、Ｂμｃｏｍ８５からアクセス可能に設けられている。

動作表示用ＬＣＤ９２は、当該カメラの動作状態を表示出力によって撮影者へ告知するためのものである。上記カメラ操作スイッチ９３は、例えば撮影動作の実行を指示するレリーズスイッチ、撮影モードと画像表示モードを切り替えるモード変更スイッチ及びパワースイッチ等、当該カメラを操作するために必要な操作釦を含むスイッチ群で構成される。

更に、電源回路９５は、電源としての電池９６の電圧Ｖ_Eを、当該カメラシステムの各回路ユニットが必要とする電圧Ｖ_Cに変換して供給するために設けられている。

ストロボユニット５３は、閃光発光部１０１と、ＤＣ／ＤＣコンバータ１０２と、ストロボ制御用マイクロコンピュータ１０３及び電池１０４とから成っている。そして、このストロボユニット５３は、ストロボ通信コネクタ５７を介して、ボディユニット５０と通信可能に装着可能である。

このように構成されたデジタルカメラの各部は、次のように稼動する。

先ず、画像処理コントローラ８１により、Ｂμｃｏｍ８５の指令に従って撮像素子インターフェイス回路８０が制御されて、撮像モジュール２０から画像データが取り込まれる。この画像データは、一時保管用メモリであるＳＤＲＡＭ８２に取り込まれる。このＳＤＲＡＭ８２は、画像データが変換される際のワークエリア等に使用される。また、この画像データは、ＪＰＥＧデータに変換された後には、記録メディア５２に保管されるように設定されている。

ミラー駆動機構８７は、上述したように、クイックリターンミラー７０をアップ（ＵＰ）位置とダウン（ＤＯＷＮ）位置へ駆動するための機構である。ミラー駆動機構８７によってクイックリターンミラー７０がダウン位置にある時、撮影レンズ６１ａ及び６１ｂからの光束は、ＡＦセンサユニット７６側とペンタプリズム７２側へと分割されて導かれる。

ＡＦセンサユニット７６内のＡＦセンサからの出力は、ＡＦセンサ駆動回路８８を介してＢμｃｏｍ８５へ送信されて、周知の測距処理が行われる。

一方、ペンタプリズム７２に隣接する接眼レンズ７３からは、撮影者が被写体を目視できる。また、上記ペンタプリズム７２を通過した光束の一部は、測光回路８６内のホトセンサ（図示せず）へ導かれ、ここで検知された光量に基づいて周知の測光処理が行われる。

シャッタ駆動制御回路９０では、Ｂμｃｏｍ８５からシャッタを駆動制御するための信号が受取られると、その信号に基づいてシャッタユニット２１が制御される。それと共に、シャッタ駆動制御回路９０から、所定のタイミングでＢμｃｏｍ８５にストロボを発光させるためのストロボ同調信号が出力される。Ｂμｃｏｍ８５からは、このストロボ同調信号に基づいて、ストロボユニット５３に通信により発光指令信号が出力される。

また、撮影者によって上述したカメラ操作スイッチ９３の中のモード変更スイッチが操作されて、撮影モードから画像表示モードへ切り替えられると、記録メディア５２に保管された画像データが読み出されて、液晶モニタ８３に表示可能である。記録メディア５２から読み出された画像データは、画像処理コントローラ８１に於いてビデオ信号に変換され、液晶モニタ８３にて出力表示される。

本実施形態のシャッタ装置は、図７に於けるシャッタユニット２１とシャッタ駆動制御回路９０により構成されている。

図７は、シャッタ駆動制御回路９０とシャッタユニット２１とのシャッタ駆動系の信号接続を示す構成図である。

シャッタユニット２１には、第１の移動部材であるシャッタ先幕（先幕）２５ａと第２の移動部材であるシャッタ後幕（後幕）２５ｂが備えられている。そして、そのそれぞれの幕を駆動するために、図３に示されたものと同様の構成の位相器３４ａ、３４ｂと、昇圧回路３５ａ、３５ｂを含む駆動回路３６ａ、３６ｂが２系統設けられている。駆動制御手段としてのパルス発生回路３３は、Ｂμｃｏｍ８５からの開閉制御信号に基づいて先幕２５ａと後幕２５ｂを駆動する。これにより、図示されない露光開口の全開全閉動作が制御される。

また、Ｂμｃｏｍ８５からリセット信号を受取ったときは、先幕２５ａと後幕２５ｂが初期状態に駆動される。更に、パルス発生回路３３からは、所定のタイミングでＢμｃｏｍ８５にストロボ同調信号が出力される。

図１は、シャッタユニットの配線とシャッタ駆動制御回路との接続を示す構成図である。

シャッタユニット２１には、上述したように、先幕２５ａと後幕２５ｂが備えられている。そして、そのそれぞれの幕を駆動するために、固定子２９ａ、２９ｂ上に配設された帯状の複数の駆動電極２８ａ、２８ｂが、配線を介して、駆動回路３６ａ、３６ｂに接続されている。固定子２９ａ、２９ｂには、上述した露光開口に相当する開口部２７ａ、２７ｂが形成されている。これら開口部２７ａ、２７ｂの前を、上記先幕２５ａ、後幕２５ｂが移動することにより、露光開口の全開全閉動作が行われる。

また、上記固定子２９ａ、２９ｂ上で、上記駆動電極２８ａ、２８ｂの延長上には、先幕２５ａ、後幕２５ｂの位置を検出するための検出電極３０ａ、３０ｂが、それぞれ配設されている。上記検出電極３０ａ、３０ｂは、シャッタ駆動制御回路１１０内の検出回路１１１ａ、１１１ｂに接続されている。そして、それぞれの検出回路１１１ａ、１１１ｂからの出力は、演算回路１１２で処理された後、パルス発生回路３３にフィードバックされるようになっている。

図８は、先幕２５ａ、後幕２５ｂの動作を説明する図である。

図８（ａ）は初期状態を示すもので、露光開口２７は全閉状態となっている。すなわち、先幕２５ａによって露光開口２７の全体が覆われており、図示されない撮像ユニット２２に対して被写体光が遮蔽される。

次に、撮像動作の開始指示に応じて、図８（ｂ）に示されるように、先幕２５ａが図８ａの矢印Ｆ方向に駆動されて露光開口２７が露出される。ここで、露光開口２７が露出されてから、所定時間をおいて後幕２５ｂが先幕２５ａに追従して図８（ａ）の矢印Ｆ方向に駆動される。すると、先幕２５ａと後幕２５ｂとの間にスリットが形成される。この先幕２５ａと後幕２５ｂとの間に形成されるスリットは、そのときのシャッタ秒時に対応する。そして、上記先幕２５ａと後幕２５ｂで形成されたスリットが露光開口２７上を通過することにより、移動するスリットを介して、被写体光が図示されない撮像ユニット２２に導かれる。

そして、図８（ｃ）に示されるように、後幕２５ｂによって露光開口２７の全体が覆われると、被写体光は再び遮蔽される。その後、先幕２５ａと後幕２５ｂは、図８（ａ）に示される初期状態に復帰し、次の撮像動作に備えて待機する。

図９は、上述したＢμｃｏｍ８５の概略の撮影動作手順を示すフローチャートである。この動作は、本カメラシステムの処理手順の内、レリーズ操作から画像データ生成までの動作手順を示している。

撮影者によってカメラ操作スイッチ９３内のレリーズ釦が１段押下されると、本ルーチンが開始される。

先ず、ステップＳ１では、測光処理が実行される。すなわち、測光回路８６にて測定された被写体の輝度情報が獲得される。次いで、ステップＳ２にて、その輝度情報に基づいて露光量演算が実行され、適正な絞り値（ＡＶ：ａｐｅｒｔｕｒｅｖａｌｕｅ）とシャッタ速度（ＴＶ：ｔｉｍｅｖａｌｕｅ）が算出される。

ステップＳ３では、ＡＦ処理が実行される。つまり、被写体からの光束が、クイックリターンミラー７０及びサブミラー７５を介してＡＦセンサユニット７６で受光される。この受光された被写体像のずれ量が、ＡＦセンサ駆動回路８８を介してＢμｃｏｍ８５に出力される。Ｂμｃｏｍ８５では、被写体像のずれ量からレンズの駆動量が算出され、その値が通信コネクタ５５を介してレンズユニット５１内のＬμｃｏｍ６５に送信される。Ｌμｃｏｍ６５では、上記レンズ駆動量に基づいて、レンズ駆動機構６３を介して撮影レンズ６１ａが移動されて焦点が調整される。

ここで、ステップＳ４に於いて、焦点が調整された状態でレリーズ釦が更に（２段）押下されている（２ｎｄレリーズスイッチＯＮ）か否かが判断される。レリーズ釦が２段押下されていない場合は、ステップＳ５に移行してレリーズ釦が１段押下されている状態であるか否かが判断される。ここで、レリーズ釦が１段押下の状態にある場合は、ステップＳ４へ移行してレリーズ釦が２段押下されるまで待機する。しかし、レリーズ釦が２段押下されていない場合で、レリーズ釦が１段押下されていない場合は、撮影者は撮影動作を中止したものと判断されて本ルーチンが終了する。

上記ステップＳ４にてレリーズ釦が２段押下されている場合は、撮影動作が継続され、ステップＳ６へ移行して絞り込み駆動が実行される。すなわち、Ｂμｃｏｍ８５により、ＡＶ値が通信コネクタ５５を介してＬμｃｏｍ６５に送信される。Ｌμｃｏｍ６５では、送られたＡＶ値に基づいて絞り駆動機構６４を介して絞り６２が制御される。

次に、ステップＳ７にてミラーアップ駆動が実行される。すなわち、ミラー駆動機構８７を介してクイックリターンミラー７０がアップ位置に跳ね上げられて、撮影光路が確保される。この後、ステップＳ８にて、撮像素子インターフェイス回路８０に対して撮像動作が開始されるように、Ｂμｃｏｍ８５から指示が出力される。すると、撮像素子インターフェイス回路８０では、この指示に基づいて撮像ユニット２２内の撮像素子４０を動作させる。

以上の動作の後、Ｂμｃｏｍ８５によってシャッタ制御動作が実行される。

ステップＳ９では、Ｂμｃｏｍ８５からシャッタ駆動制御回路９０にシャッタ開信号が出力される。次いで、ステップＳ１０にて、これを受けたシャッタ駆動制御回路９０内のパルス発生回路１１１では、先幕２５ａを駆動するため先幕駆動パルスの出力が開始される。

次に、ステップＳ１１に於いて、Ｂμｃｏｍ８５により、露光時間が経過したか否かが判断される。ここで、露光時間が経過していない場合は、ステップＳ１２へ移行して、図１２に示されるストロボ同調信号がシャッタ駆動制御回路９０から出力されたか否かが判断される。ここでは、ストロボ同調信号が出力されるまで待機する。

ストロボ同調信号は、先幕２５ａが露光開口２７の所定位置に到達したタイミングでシャッタ駆動制御回路９０から出力される。上述したように、エレクトレットが用いられて構成された先幕２５ａ（及び後幕２５ｂ）は極めて軽量であるため、この先幕駆動パルスによって先幕２５ａを高精度、且つ高速に駆動することが可能である。したがって、露光開口が全開になったか否かを他の検出手段を用いて検出する必要がなく、先幕駆動パルスのパルス数を計数することで判断することができる。

そこで、シャッタ駆動制御回路９０からは、図１２に示されるように、先幕駆動パルスが所定数（ｍ）出力されたタイミングで、ストロボ同調信号（矩形信号）がＢμｃｏｍ８５に対して出力される。ステップＳ１２にて、このストロボ同調信号がアクティブになったことが検出された場合は、ステップＳ１３へ移行して、Ｂμｃｏｍ８５からストロボユニット５３に対して発光を指示する発光制御信号が出力されたか否かが判断される。

ここで、発光制御信号がまだ出力されていない場合は、ステップＳ１４へ移行して発光制御信号がストロボユニット５３に対して出力された後、上記ステップＳ１１へ移行する。一方、既に発光制御信号が出力されている場合は、再度の発光制御信号の出力は行われないように制御されて上記ステップＳ１１へ移行する。

上記ステップＳ１１にて所定の露光時間が経過した場合は、ステップＳ１５へ移行してＢμｃｏｍ８５からシャッタ閉信号が出力される。すなわち、開閉制御信号の信号レベルがノンアクティブにされる。これを受けたシャッタ駆動制御回路９０内のパルス発生回路１１１では、後幕２５ｂを駆動するための後幕駆動パルスの出力が開始される。この後幕駆動パルスのパルス数に従って、スリットが形成された状態で、後幕２５ｂが露光開口の全開位置から先幕２５ａに追従した形で駆動される。

次に、ステップＳ１６にて、Ｂμｃｏｍ８５から撮像素子インターフェイス回路８０に対して撮像動作を停止させる旨の指示が出力される。この撮像素子インターフェイス回路８０からの指示に基づいて、撮像ユニット２２内の撮像素子４０の撮像動作が停止される。

ステップＳ１７では、シャッタ駆動制御回路９０にリセット信号が出力される。これを受けたシャッタ駆動制御回路９０内のパルス発生回路１１１により、先幕２５ａ及び後幕２５ｂが初期位置に駆動される（図８（ａ）参照）。

次いで、ステップＳ１８では、Ｂμｃｏｍ８５から画像処理コントローラ８１に、画像データの処理実行が指示される。画像処理コントローラ８１では、初めに撮像素子インターフェイス回路８０を介して撮像素子４０の蓄積電荷の読み出しが行われる。そして、その信号がＡ／Ｄ変換されて画像データが生成される。そして、その画像データが処理されて、画像処理コントローラ８１から通信コネクタ５６を介して、記録メディア５２に記録される。

更に、ステップＳ１９にて、Ｂμｃｏｍ８５からミラー駆動機構８７を介してクイックリターンミラー７０がダウン位置へ駆動される。また、ステップＳ２０にて、Ｌμｃｏｍ６５に対して、絞り駆動機構６４を介して絞り６２が全開とされるように指示される。

このようにして、撮像動作が終了する。

次に、図１０及び図１１を参照して、シャッタ幕の位置検出について説明する。

例えば、図１０（ａ）に示されるように、固定子２９（上述した固定子２９ａ、２９ｂに相当）上に、駆動電極（図示せず）と検出電極３０（同検出電極３０ａ、３０ｂに相当）が、所定間隔をおいて複数配設されている。そして、移動部材としてのシャッタ幕２５（同先幕２５ａ、後幕２５ｂに相当）の一部に、エレクトレット化された部位、すなわちエレクトレット領域２６を有している。このエレクトレット領域２６は、検出電極２６と同じ幅、若しくはそれ以上のものとし、１つ若しくは該電極と同一ピッチで複数設けられていてもよい。

尚、ここでは説明の簡略化のため、駆動用のエレクトレット化部位は図示しない。

いま、図１０（ａ）に示される状態を停止状態とすると、図１１（ａ）に示されるように信号は出力されない。そして、図１０（ａ）に示される状態から図１０（ｂ）に示されるように、シャッタ幕２５が１ピッチ分図示矢印Ｆ方向に移動すると、それに伴って、エレクトレット領域２６の電荷が検出されて、図１１（ｂ）に示されるような信号が出力される。したがって、この出力信号を検出することにより、エレクトレット領域２６の位置、すなわちシャッタ幕２５の位置を検出することができる。

図１２は、こうしたエレクトレット領域の原理をフォーカルプレーンシャッタのシャッタ先幕及び後幕に適用した例を示すもので、（ａ）は先幕２５ａ、（ｂ）は後幕２５ｂの移動状態を説明する図である。

例えば、先幕２５ａが、図示矢印Ｆ方向に移動を開始して、検出電極の１ピッチ分の幅を有するスリットを形成すべく、後幕２５ｂが図示矢印Ｆ方向に移動を開始する。このとき、先幕２５ａと後幕２５ｂが同じ速度で移動して両者の間にずれがない、すなわちスリット幅が同一の状態のままであるとする。すると、先幕２５ａと後幕２５ｂのエレクトレット領域２６ａ、２６ｂは、１ピッチ分シフトした位置の検出電極３０ａ、３０ｂと対向する位置にある。したがって、それぞれの検出電極３０ａ、３０ｂから、図１３（ａ）、（ｂ）に示されるように、波形が時間に対して位相が同じである出力が得られる。

これにより、先幕２５ａ、後幕２５ｂで形成されるスリットは、同じ幅を有した状態で移動していることがわかる。

次に、先幕２５ａと後幕２５ｂとの間に速度差が生じた例について、図１４及び図１５を参照して説明する。

図１４（ａ）、（ｂ）に示されるように、先幕、後幕の駆動にずれがある場合には、図１５（ａ）、（ｂ）に示されるように波形にずれが生じる。

先幕２５及び後幕２５ｂが移動を開始して、図１４（ａ）に示される先幕２５ａよりも、図１４（ｂ）に示される後幕２５ｂのエレクトレット領域２６ｂが、本来の位置よりもΔｔだけ遅れて到達したものとする。すると、図１５（ａ）に示される先幕２５ａの出力信号から、図１５（ｂ）に示されるように、Δｔだけ遅れた信号出力が後幕２５ｂから得られる。

このよう場合、例えば図１６に示されるような回路構成を検出回路１１１として用いれば、図１７（ａ）、（ｂ）に示されるようなそれぞれの波形を、図１８（ａ）、（ｂ）に示されるようにパルス状に変化させて、例えば立ち上がりの時間（位相）差を演算回路１１２で処理することができる。

図１６は、検出回路１１１ａ及び１１１ｂを含む検出部１１１の構成を示した図である。

第１の検出電極である検出電極３０ａからの信号は、バッファ１１５ａ、アンプ１１６ａを介して増幅され、コンパレータ１１７ａに供給されて信号波形が処理される。同様に、第２の検出電極である検出電極３０ｂからの信号は、バッファ１１５ｂ、アンプ１１６ｂを介して増幅され、コンパレータ１１７ｂに供給されて信号波形が処理される。

図１７（ａ）及び（ｂ）はアンプ１１６ａ及び１１６ｂの出力ａの波形を表した図、図１８（ａ）及び（ｂ）はコンパレータ１１７ａ及び１１７ｂの出力ｂの波形を表した図である。

図１４に示されるように、先幕２５ａから後幕２５ｂがΔｔ遅れている場合、アンプ１１６ａ、１１６ｂの出力は、図１７（ａ）、（ｂ）に示されるような波形になる。ここで、両者の差の算出を容易にするため、コンパレータ１１７ａ、１１７ｂにて、図１８（ａ）、（ｂ）に示されるような矩形波に変換される。この変換された出力ｂが演算回路１１２に供給されて演算されることにより、Δｔの値が求められる。

そして、この遅れ分Δｔを考慮して、パルス発生回路３３から駆動回路３６ａ、３６ｂを通じて、駆動電極２８ａ、２８ｂに所定の電圧を印加するタイミングを制御すれば、スリット幅を同一にして先幕２５ａ、後幕２５ｂを移動させることが可能になる。

上述した例は、スリット幅に生じた差を時間軸上での変化によって検出していたが、これに限られるものでなく、電圧差から検出することも可能である。

図１９（ａ）及び（ｂ）に示されるように、先幕２５及び後幕２５ｂが移動を開始して、先幕２５ａよりも後幕２５ｂのエレクトレット領域２６ｂが、本来の位置よりもΔｔだけ遅れて到達したものとする。

ここで、後幕２５ｂの位置を基準に考えると、後幕２５ｂの検出出力波形は、図２０（ｂ）に示されるようになる。一方、この後幕２５ｂよりもΔｔだけ早い先幕２５ａの検出出力波形は、図２０（ａ）に示されるようになる。つまり、後幕２５ｂの出力が最大となるある時間に於いては、先幕２５ａの出力は後幕２５ｂのそれよりもΔＶ小さいものとなる。

図２１は、スリットの差を電圧検出によって得る例の検出回路１１１ａ及び１１１ｂを含む検出部１１１の構成を示した図である。

第１の検出電極である検出電極３０ａからの信号は、バッファ１１５ａ、アンプ１１６ａを介して増幅され、サンプルホールド回路１１８ａに供給されて信号波形が処理される。同様に、第２の検出電極である検出電極３０ｂからの信号は、バッファ１１５ｂ、アンプ１１６ｂを介して増幅され、サンプルホールド回路１１８ｂに供給されて信号波形が処理される。

図２２（ａ）及び（ｂ）はアンプ１１６ａ及び１１６ｂの出力ａの波形を表した図、図２３（ａ）及び（ｂ）はサンプルホールド回路１１８ａ及び１１８ｂの出力ｂの波形を表した図である。

図１９に示されるように、先幕２５ａから後幕２５ｂがΔｔ遅れている場合、アンプ１１６ａ、１１６ｂの出力は、図２２（ａ）、（ｂ）に示されるような波形になる。そして、ある時間ｔに於いて、サンプルホールド回路１１８ａ、１１８ｂによって、その時手化の出力値がサンプルホールドされて、図２３（ａ）、（ｂ）に示されるような出力値Ｖ２、Ｖ１が得られる。これらの出力値Ｖ２、Ｖ１が、演算回路１１２に供給され、両者の差（Ｖ１−Ｖ２）が演算されることにより、Δｔの値が求められる。

このように、例えば、図１６のコンパレータをサンプルホールドに置き換えれば、それぞれの波形のある時間に於ける電圧差を演算回路１１２で処理することになる。そして、パルス発生回路３３は、演算回路１１２から出力された位相差及び電圧差が一定になるように、先幕２５ａ、後幕２５ｂそれぞれの駆動電極２８ａ、２８ｂに印加する駆動信号を制御する。

次に、こうしたスリットの差であるΔｔを補正すべく、パルス発生回路３３から駆動電極２８ａ、２８ｂに供給される電圧について説明する。

上述したように、先幕２５ａに対して後幕２５ｂがΔｔだけ遅れた場合、後幕２５ｂの遅れを取り戻すために、例えば後幕２５ｂ側の駆動電極２８ｂへの印加電圧の値を高くして、後幕２５ｂの速度を速めればよい。

すなわち、図２４（ａ）に示されるように先幕２５ａ側の各駆動電極Ａ〜Ｄ（図４の４Ａ〜４Ｄに相当）に、周期Ｔで電圧値がＶａの信号が印加されているものとする。そして、図２４（ｂ）に示されるように、後幕２５ｂ側の各駆動電極Ａ〜Ｄ（図４の４Ａ〜４Ｄに相当）に、周期Ｔで電圧値が上記Ｖａよりも高いＶａ′の信号が印加されるようにする。

このように、パルス発生回路３３にて、後幕２５ｂ側の駆動電極２８ｂに印加する供給電圧値を調整して、スリット幅を一定に保持するようにする。

また、先幕２５ａに対して後幕２５ｂがΔｔだけ遅れた場合、後幕２５ｂの遅れを取り戻すために、例えば後幕２５ｂ側の駆動電極２８ｂへの印加電圧の周波数を高くして後幕２５ｂの移動速度を速めるようにすればよい。

すなわち、図２５（ａ）に示されるように先幕２５ａ側の各駆動電極Ａ〜Ｄ（図４の４Ａ〜４Ｄに相当）に、周期Ｔ１の信号が印加されているものとする。そして、図２５（ｂ）に示されるように、後幕２５ｂの各駆動電極Ａ〜Ｄ（図４の４Ａ〜４Ｄに相当）に、周期Ｔ１よりも短い（すなわち周波数の高い）周期Ｔ２の信号が印加されるようにする。

このように、パルス発生回路３３にて、後幕２５ｂ側の駆動電極２８ｂに印加する信号の周波数を調整して、スリット幅を一定に保持するようにする。

上述したように調整された後の検出回路１１１ａ、１１１ｂからの出力が同位相或いは同電圧であれば、そのままで良いし、またこの信号にずれが生じたら、同様な手法で印加電圧を変化させて対応させればよい。

次に、図２６のフローチャートを参照して、本実施の形態に於けるシャッタ駆動動作について説明する。

シャッタの駆動が開始されると、先ずステップＳ３１にて、Ｂμｃｏｍ８５内の図示されないタイマによりカウントが開始される。このタイマカウント値は、先幕２５ａと後幕２５ｂとで形成されるスリットの幅を決定するための所定時間に相当する。

そして、ステップＳ３２にて、先幕２５ａの駆動条件が設定される。ここで、駆動条件の設定は、パルス発生回路３３にて行われるもので、例えば、パルス１周期の時間幅や、パルスの電圧値等、上述したΔｔに関する情報が考慮されて作成される。

ついで、ステップＳ３３にて先幕２５ａを駆動するべく駆動電極２８ａに駆動電圧（パルス）が印加される。ここで印加されるのは、駆動電極２８ａへの１周期のパルスである。また、このときの先幕２５ａの移動に伴って、ステップＳ３４にて、先幕２５ａの位置が検出電極３０ａにより検出される。これは、上述したように、パルス１周期で先幕２５ａが移動したことが、検出電極３０ａの信号から検出されるようになっている。

ここで、ステップＳ３５に於いて、上記ステップＳ３１で開始されたタイマのカウント値が所定値に到達したか否かが判断される。その結果、所定値に到達したならば、後幕２５ｂの移動が開始される。

すなわち、ステップＳ３６に移行して後幕２５ｂの駆動条件が設定されると、続くステップＳ３７にて後幕２５ａを駆動するべく駆動電極２８ｂに駆動電圧（パルス）が印加される。また、このときの後幕２５ｂの移動に伴って、ステップＳ３８にて、後幕２５ｂの位置が検出電極３０ｂにより検出される。

ステップＳ３９では、後幕２５ｂの走行位置を検出するべく、パルス数がカウントされる。そして、続くステップＳ４０に於いて、そのパルス数が所定数に到達したか否かが判断される。ここで、所定数に到達していない場合は、まだ先幕２５ａ及び後幕２５ｂが移動するものとして、ステップＳ４２へ移行する。一方、所定パルス数に到達している場合は、ステップＳ４１へ移行して、正常終了処理が実行された後、本ルーチンを終了する。

ステップＳ４２では、上述したように、先幕２５ａと後幕２５ｂとで形成されるスリットの差Δｔが演算回路１１２にて算出される。そして、この算出されたΔｔに関する情報がパルス発生回路３３に出力される。

ステップＳ４３に於いては、移動した先幕２５ａと後幕２５ｂで形成されるスリットの幅が、所定の範囲内であるか否かが判断される。この所定範囲とは、例えばΔｔが駆動パルス１周期以上の遅れ時間である範囲等である。上述したΔｔを含むスリット幅がこの所定範囲内であれば、パルス発生回路３３で調整可能な範囲である。したがって、この場合は上記ステップＳ３２へ移行し、以降の処理に於いて、Δｔを打ち消すべく後幕２５ｂ（或いは先幕２５ａ）の駆動条件が設定されて、先幕２５ａ及び後幕２５ｂが移動される。

一方、ステップＳ４３に於いて、上記スリット幅が所定範囲を超える値であれば、後幕２５ｂ（或いは先幕２５ａ）の速度を調整しても、露光ムラが生じる虞れがあると判断される。したがって、この場合は、ステップＳ４４に移行して異常終了処理が実行される。そして、ステップＳ４５にて警告がなされた後、本ルーチンが終了する。

尚、ステップＳ４５の警告は、例えばＬＥＤ等の表示や警告音等があるが、これらに限定されるものではない。

図２７は、本発明の一実施形態の変形例を示すもので、シャッタユニットの他の構成例を示した図である。

図２７に於いて、固定子２９上には、所定の間隔で帯状に配置された駆動電極２８と検出電極３０が、固定子２９の長手方向に於いて、交互に配設されている。

このように構成すれば、駆動電極２８の長手方向に余裕のない場合等に有利である。

尚、上述した実施形態では、遅れていたシャッタ幕の速度について、電圧或いは周波数を変えて後幕の速度が上がるようにした例で説明したが、これに限られずに、速い法の先幕の速度を落とすように信号を供給するようにしても構わない。

また、図２４及び図２５の両方を組合わせて速度調整をするようにすれば、より効率的にスリット幅の調整が可能となる。

更に、検出電極は駆動電極の電極幅と同じで、配置するピッチも同じであれば、より高精度な位置決めと制御が可能になる。

加えて、図１０ではシャッタ幕２５のエレクトレット領域２６が検出電極３０に対向して同一幅であれば検出精度が上がるほか、検出電極３０の配置ピッチと同ピッチに複数の帯電領域を持たせることによって、検出精度を上げることも可能である。

また、検出電極の配置は、例えば図１に示されるように、駆動電極の下側のみに配置されているが、駆動電極を挟んで上下に配置してもよいのは勿論である。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態以外にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形実施が可能である。

図１は、本発明に係る一実施形態のシャッタユニットの配線とシャッタ駆動制御回路との信号接続を示す構成図である。本発明に係る静電シャッタ装置の駆動原理について説明する図である。エレクトレットシャッタの断面を模式的に示すと共に該エレクトレットシャッタの駆動回路を示した図である。図３の駆動回路１０によって作成されて、駆動電極４Ａ〜４Ｄに印加される電圧信号列の例を示したもので、（ａ）は駆動電極４Ａ、（ｂ）は駆動電極４Ｂ、（ｃ）は駆動電極４Ｃ、（ｄ）は駆動電極４Ｄのタイミングチャートである。図３に示されるエレクトレットシャッタ７の動作を説明する図である。本発明の一実施形態に係る静電シャッタ機構を用いたカメラの電気系のシステム構成を示すブロック図である。シャッタ駆動制御回路９０とシャッタユニット２１とのシャッタ駆動系の信号接続を示す構成図である。先幕２５ａ、後幕２５ｂの動作を説明する図である。Ｂμｃｏｍ８５の概略の撮影動作手順を示すフローチャートである。シャッタ幕の位置検出について説明する図である。シャッタ幕の位置検出について説明する図である。エレクトレット領域の原理をフォーカルプレーンシャッタのシャッタ先幕及び後幕に適用した例を示すもので、（ａ）は先幕２５ａ、（ｂ）は後幕２５ｂの移動状態を説明する図である。図１２の検出電極で検出された出力波形を示した図である。シャッタ幕の位置検出について説明するもので、先幕と後幕との差がある場合の例を示した図である。図１４の検出電極で検出された出力波形を示した図である。検出回路１１１ａ及び１１１ｂを含む検出部１１１の構成を示した図である。図１６のアンプ１１６ａ及び１１６ｂの出力ａの波形を表した図である。図１６のコンパレータ１１７ａ及び１１７ｂの出力ｂの波形を表した図である。シャッタ幕の位置検出について説明するもので、先幕と後幕との差がある場合の他の例を示した図である。図１９の検出電極で検出された出力波形を示した図である。スリットの差を電圧検出によって得る例の検出回路１１１ａ及び１１１ｂを含む検出部１１１の構成を示した図である。図２１のアンプ１１６ａ及び１１６ｂの出力ａの波形を表した図である。図２１のサンプルホールド回路１１８ａ及び１１８ｂの出力ｂの波形を表した図である。（ａ）はパルス発生回路３３から駆動電極２８ａへ印加される信号の波形を表した図、（ｂ）はパルス発生回路３３から駆動電極２８ｂへ印加される信号の波形を表した図である。（ａ）はパルス発生回路３３から駆動電極２８ａへ印加される信号の他の波形を表した図、（ｂ）はパルス発生回路３３から駆動電極２８ｂへ印加される信号の他の波形を表した図である。本実施の形態に於けるシャッタ駆動動作について説明するフローチャートである。本発明の一実施形態の変形例を示すもので、シャッタユニットの他の構成例を示した図である。

符号の説明

１、２９、２９ａ、２９ｂ…固定子、２…移動子、３、２７ａ、２７ｂ、３１…開口部、４、４Ａ〜４Ｄ、２８、２８ａ、２８ｂ…駆動電極、５、５ａ、５ｂ…永久分極された誘導体（エレクトレット）、７…エレクトレットシャッタ、１０、３６ａ、３６ｂ…駆動回路、１２、３３…パルス発生回路、１３、３４ａ、３４ｂ…位相器、１４、３５ａ、３５ｂ…昇圧回路、２０…撮像モジュール、２１…シャッタユニット、２２…撮像ユニット、２５…シャッタ幕、２５ａ…先幕、２５ｂ…後幕、２６…エレクトレット領域、２７…露光開口、３０、３０ａ、３０ｂ…検出電極、４０…撮像素子、５０…ボディユニット、５１…レンズユニット、５２…記録メディア、５３…ストロボユニット、６１ａ、６１ｂ…撮影レンズ、６２…絞り、６５…レンズ制御用マイクロコンピュータ（Ｌμｃｏｍ）、７０…クイックリターンミラー、７６…ＡＦセンサユニット、８０…撮像素子インターフェイス回路、８１…画像処理コントローラ、８５…ボディ制御用マイクロコンピュータ（Ｂμｃｏｍ）、９０…シャッタ駆動制御回路、９３…カメラ操作スイッチ（ＳＷ）、９５…電源回路、１０１…閃光発光部、１０３…ストロボ制御用マイクロコンピュータ、１１１検出部、１１１ａ、１１１ｂ…検出回路、１１２…演算回路。

Claims

表面に第１の駆動用電極を有する固定部材と、
エレクトレット化された部位を有し、上記第１の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記第１の固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第１の移動部材と、
上記第１の固定部材の、上記第１の移動部材と対向する面の裏面側に配置され、表面に複数の第２の駆動用電極を有する第２の固定部材と、
上記第１の固定部材と上記第２の固定部材とで挟まれるように配置され、エレクトレット化された部位を有し、上記第２の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記第２の固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第２の移動部材と、
上記第１及び第２の移動部材を移動させるためのパルス信号を出力するためのパルス発生回路を有するシャッタ駆動制御回路と、
を具備する静電シャッタ機構に於いて、
上記シャッタ駆動制御回路は、
上記第１の固定部材上に配置された第１の検出電極と、
上記第２の固定部材上に配置された第２の検出電極と、
上記第１の検出電極からの信号を検出する第１の検出回路と、
上記第２の検出電極からの信号を検出する第２の検出回路と、
上記第１及び第２の検出回路からの出力に基づいて上記パルス発生回路に制御信号を出力する演算回路と、
を有することを特徴とする静電シャッタ機構。
上記演算回路は、上記第１及び第２の検出回路からの出力信号の位相差に相当する信号を出力することを特徴とする請求項１に記載の静電シャッタ機構。
上記演算回路は、上記第１及び第２の検出回路からの出力信号の電圧差に相当する信号を出力することを特徴とする請求項１に記載の静電シャッタ機構。
上記演算回路から出力される上記制御信号は、上記パルス発生回路から出力される上記パルス信号の電圧を制御するための信号であることを特徴とする請求項１に記載の静電シャッタ機構。
上記演算回路から出力される上記制御信号は、上記パルス発生回路から出力される上記パルス信号の周波数を制御するための信号であることを特徴とする請求項１に記載の静電シャッタ機構。
上記第１及び第２の検出電極の電極幅及び配列ピッチは、上記第１及び第２の駆動用電極の電極幅及び配列ピッチと同様であることを特徴とする請求項１に記載の静電シャッタ機構。
上記第１及び第２の移動部材の上記第１及び第２の検出電極に対向する部位は、上記第１及び第２の検出電極と同一のピッチでエレクトレット化されていることを特徴とする請求項１に記載の静電シャッタ機構。
被写体からの光束が通過する光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な第１の移動部材と、
上記光束通過領域に対応した第１の開口部を有し、上記第１の移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極と、上記第１の移動部材の位置を検出する第１の検出電極とが設けられた第１の固定部材と、
上記第１の固定部材の、上記第１の移動部材と対向する面の裏面に配置され、上記光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な第２の移動部材と、
上記光束通過領域に対応した第２の開口部を有し、上記第２の移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極と、上記第２の移動部材の位置を検出する第２の検出電極とが設けられた第２の固定部材と、
上記第１及び第２の検出電極からの信号を検出する検出回路と、
上記検出回路からの出力に基づいて上記第１及び第２の移動部材を移動させるべく演算結果を出力する演算回路と、
上記演算回路からの演算結果に基づいて、上記第１及び第２の固定部材の上記駆動電極に電圧を印加して、上記第１及び第２の移動部材を上記第１及び第２の固定部材に対して相対移動させる駆動制御手段と、
を具備することを特徴とする静電シャッタ機構。
上記演算回路は、上記検出回路からの出力信号の位相差に相当する信号の演算結果を出力することを特徴とする請求項８に記載の静電シャッタ機構。
上記演算回路は、上記検出回路からの出力信号の電圧差に相当する信号の演算結果を出力することを特徴とする請求項８に記載の静電シャッタ機構。
上記演算回路から出力される上記演算結果は、上記駆動制御手段から出力される信号電圧を制御するための信号であることを特徴とする請求項８に記載の静電シャッタ機構。
上記演算回路から出力される上記演算結果は、上記駆動制御手段から出力される信号の周波数を制御するための信号であることを特徴とする請求項８に記載の静電シャッタ機構。
上記第１及び第２の検出電極の電極幅及び配列ピッチは、上記第１及び第２の駆動用電極の電極幅及び配列ピッチと同様であることを特徴とする請求項８に記載の静電シャッタ機構。
上記第１及び第２の移動部材の上記第１及び第２の検出電極に対向する部位は、上記第１及び第２の検出電極と同一のピッチでエレクトレット化されていることを特徴とする請求項８に記載の静電シャッタ機構。