JP2010093915A - 静電モータ - Google Patents
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Abstract
【課題】FPCフィルム等の固定子と可動子との間に静電気力を発生させることにより可動子を駆動する交流駆動両電極形静電モータあるいはパルス駆動誘導電荷形モータにおいて、対向する固定子と可動子のギャップを安定にして駆動出力を安定化させる。
【解決手段】筺体3内に固定子11 ,12 、可動子21 ,22 を積層した配設する。固定子11 ,12 、可動子21 ,22 間にビーズ4(スペーサ)を配設する。固定固定子11 ,12 を連結固定部1aで筺体3に固定する。可動子21 ,22 の一端を連結固定部2aで連結する。連結固定部2aの伝達部2cから駆動力の出力を得る。筺体3の天板3cの内面3Aと固定子11 とに当接する不織布等の付勢部材6を配設する。付勢部材6の弾性力により固定子11 を押圧し、、固定子11 ,12 、可動子21 ,22 間の距離をビーズ4の大きさまで規制する。
【選択図】図1
【解決手段】筺体3内に固定子11 ,12 、可動子21 ,22 を積層した配設する。固定子11 ,12 、可動子21 ,22 間にビーズ4(スペーサ)を配設する。固定固定子11 ,12 を連結固定部1aで筺体3に固定する。可動子21 ,22 の一端を連結固定部2aで連結する。連結固定部2aの伝達部2cから駆動力の出力を得る。筺体3の天板3cの内面3Aと固定子11 とに当接する不織布等の付勢部材6を配設する。付勢部材6の弾性力により固定子11 を押圧し、、固定子11 ,12 、可動子21 ,22 間の距離をビーズ4の大きさまで規制する。
【選択図】図1
Description
本発明は、交流駆動両電極形静電モータ及びパルス駆動誘導電荷形モータのように、フィルム状の可動子と固定子との間に静電気力を発生させることにより、可動子を固定子に対して電極の配列方向に沿って移動させるようにした静電モータに関する。
従来、この種の静電モータとして、例えば後記非特許文献1及び2に開示されたものがある。図7は静電モータの基本構造及び動作原理を説明する図である。この静電モータは交流駆動両電極形静電モータであり、三相の帯状電極aを内部に有するFPC(Frexible printed Circuit)フィルムからなる可動子10と、同様に三相の帯状電極bを内部に有するFPCフィルムからなる固定子20を対向させたものである。可動子10と固定子20の間には、両者間に発生する摩擦を低減するとともに適切なギャップを維持するために直径20μm程度のガラスやプラスチック等のビーズ30が散布されている。また、これらの可動子10、固定子20及びビーズ30は絶縁破壊防止のためにシリコンオイル等の絶縁液に浸されて駆動される。
可動子10の帯状電極aと固定子20の帯状電極bは結線の順が互いに逆順となるようにして三相正弦波電源40に接続され、この帯状電極a,bには互いに逆位相の三相正弦波電圧が印加される。これにより、可動子10内と固定子20内には図中に波線で示すように進行電圧分布が励起され、互いに逆向きに進行する。そして、この二つの電位分布の間には両者の空間的な位相差に応じた静電気力が発生し、常に安定な位相差が保たれるように可動子10が図の矢印のように駆動される。なお、非特許文献1には、可動子と固定子を複数組積層する積層形静電モータが開示されている。
また、非特許文献2には、パルス駆動誘導電荷形モータが開示されている。このパルス駆動誘導電荷形モータは、フィルム状の固定子と可動子(移動子)からなり、固定子は3相に配線された多数の帯状電極を備えており、可動子は微弱な導電性を有する抵抗体層を有しており、それぞれ絶縁層で覆われている。そして、固定子の帯状電極への電圧の印加により可動子に逆極性の電荷を誘導し、帯状電極への電圧の極性の切り換えを繰り返すことにより固定子と可動子間に静電気力を発生させて、可動子を移動させるものである。
精密工学会誌Vol.71.No.10.2005 p1245-1249 「東京大学 先端メカトロニクス 静電アクチュエータ」インターネット<http://www.aml.t.u-tokyo.ac.jp/japanese/index_j.html>
精密工学会誌Vol.71.No.10.2005 p1245-1249 「東京大学 先端メカトロニクス 静電アクチュエータ」インターネット<http://www.aml.t.u-tokyo.ac.jp/japanese/index_j.html>
前記のような静電モータをアクチュエータとして製品等に実装する場合には、固定子及び可動子を筺体内に設置した状態で、可動子から力を取り出す必要がある。この場合、筺体内への固定子及び可動子の実装の最に、ビーズのみで固定子と可動子の間の最小ギャップは保持可能であるが、このギャップの広がりに対してはこれを防止する方向の力が小さいため、ギャップにバラツキが生じてしまう。このため、電圧印加時及び駆動方向反転時に駆動出力の立ち上がりが不安定になるという問題がある。
本発明は、静電モータにおいて、対向する固定子と可動子のギャップを安定にして駆動出力を安定化させることを課題とする。
請求項1の静電モータは、フィルム状の固定子と、1つの面が該固定子と対向して配置されたフィルム状の可動子と、前記固定子と可動子の対向面間に配置され、該対向面間の最小距離を規制し、かつ摩擦を低減するスペーサとを備え、前記固定子及び/または可動子への印加電圧の切り換えにより固定子と可動子との間に静電気力を発生させることにより可動子を固定子に対して該固定子の面に沿って移動させる静電モータにおいて、前記固定子、可動子及びスペーサを内部に内包し、少なくとも固定子と対向する内面を有する筺体であって、前記固定子を内部に固定し、前記可動子の出力を伝達する該可動子の伝達部を外部に露出して該可動子を内部に可動可能に内包した筺体と、前記筺体と、該筺体の前記内面の最も近くに配置された前記固定子の対向面との間に、該筺体の内面と該対向面との両者に当接するように配置された付勢部材と、を備え、前記付勢部材によって、前記固定子を、該固定子と対向する前記可動子との距離を縮める方向に付勢するようにしたことを特徴とする。
請求項2の静電モータは、請求項1に記載の静電モータであって、前記可動子が絶縁体内に帯状に構成された複数相の帯状電極を配列してなる可動子であり、前記固定子が絶縁体内に帯状に構成された複数相の帯状電極を配列してなる固定子でり、前記固定子及び前記可動子の電極への印加電圧の切り換えにより該固定子と可動子との間に静電気力を発生させて前記可動子を固定子に対して移動させることを特徴とする。これは交流駆動両電極形静電モータの例である。
請求項3の静電モータは、請求項1に記載の静電モータであって、前記可動子が絶縁体内に微弱な導電性を有する抵抗対層を有する可動子であり、前記固定子が絶縁体内に帯状に構成された複数相の帯状電極を配列してなる固定子であり、前記固定子の電極への印加電圧の切り換えにより該固定子と可動子との間に静電気力を発生させて前記可動子を固定子に対して移動させることを特徴とする。これはパルス駆動誘導電荷形モータの例である。
請求項4の静電モータは、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の静電モータであって、前記固定子を第1の固定子、前記付勢部材を第1の付勢部材とし、前記可動子を挟んで該第1の固定子と反対側に該可動子に対向して配置された第2の固定子と、該第1の固定子、第2の固定子及び該第1の付勢部材からなるユニットを複数ユニット備え、前記複数ユニットを、前記第2の固定子を対向させて対向配置し、両ユニットの各第2の固定子間に当接するように第2の付勢部材を配置するようにしたことを特徴とする。
請求項5の静電モータは、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の静電モータであって、前記付勢部材は不織布で構成されていることを特徴とする。
請求項1の静電モータによれば、筺体の内面と固定子の対向面とに当接する付勢部材により、固定子及び可動子(電極面)の全体に均一に力をかけることができ、いかなる場合にも安定した駆動力が得られる。また、固定子と可動子の積層時には、付勢部材を同時に積層して筺体に実装するのみであり、付勢部材が厚さ方向(積層方向)の誤差を吸収するため、なんら厚さ方向の精度を気にせずに簡単に組み付けることができる。
請求項2の静電モータによれば、交流駆動両電極形静電モータによって請求項1の効果が得られる。
請求項3の静電モータによれば、パルス駆動誘導電荷形モータによって請求項1の効果が得られる。
請求項4の静電モータによれば、請求項1、2または3の効果に加えて、複数ユニットにより大きな駆動出力が得られるとともに、各ユニットにおいても固定子及び可動子の全体に均一に力をかけることができ、いかなる場合にも安定した駆動力が得られる。
請求項5の静電モータによれば、請求項1、2、3または4の効果に加えて、付勢部材が不織布であるので、固定子に圧接する力が全体的に均一になるとともに容易に積層できる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明の第1実施例の交流駆動両電極形静電モータの要部断面図である。以下、各実施例において、混同のおそれがない限り同様な要素には同符号を付記して説明する。
この交流駆動両電極形静電モータ(以下「静電モータ」ともいう。)は、後述のようにFPCフィルムとして構成された2枚の固定子11 ,12 と、同様にFPCフィルムとして構成された2枚の可動子21 ,22 を備えており、筺体3内に収容されている。固定子11 と可動子21 、固定子12 と可動子22 は、後述する各々の帯状電極側を対向させて配置されている。筺体3内には、絶縁破壊防止のために「スペーサ」としてのビーズ4を混入したシリコンオイル等の絶縁液5が充填されている。そして、各固定子11 と可動子21 の間、可動子21 と固定子12 の間、固定子12 と可動子22 の間、可動子22 と筺体3の底板3aの間にビーズ4が介在することになり、このビーズ4がスペーサの機能を果たす。なお、図1において、固定子11 ,12 及び可動子21 ,22 の積層方向の厚み、筺体3の積層方向の厚み、ビーズ4の直径は誇張して図示してある。また、符号の添字は同じ部材で配置場所の違いを示しており、以下の説明において特に区別しない場合など添え字は適宜省略する。
固定子11 ,12 は片側端部において連結固定部1aに固定されており、この連結固定部1aは筺体3の片方の側板3bに固定されている。また、可動子21 ,22 は片側端部において連結固定部2aに固定されている。この連結固定部1a,2aには、固定子11 ,12及び可動子21 ,22 にそれぞれ三相交流電圧を印加するためのケーブル束1b,2bが接続されており、筺体3の外部に引き出されている。また、可動子2側の連結固定部2aには、可動子21 ,22 の出力を伝達する伝達部2cが取り付けられており、この伝達部2cの一部は筺体3の外部に露出されている。
筺体3の天板3cの内側は上側の固定子11 と対向する内面3Aを構成しており、固定子11 と内面3Aとの間には、この固定子11 と内面3Aに当接するようにクッションの役割をする付勢部材6が配設されている。この付勢部材6は例えば不織布で構成されている。なお、この付勢部材6も図1において厚みを誇張して図示してある。そして、この付勢部材6は、その弾性力により固定子11 ,12 、可動子21 ,22 及びその間のビーズ4を、それぞれ筺体3の底板3a側に押圧している。また、ビーズ4は固定子1と可動子2との対向面間の最小距離を規制するとともに、対向する固定子1と可動子2の摩擦を低減する。これにより、付勢部材6は固定子1と可動子2との距離を、ビーズ4で規制される最小距離まで縮めるように付勢している。
図2は固定子1及び可動子2の内部平面図、図3は固定子及び可動子における電極の詳細を示す図である。なお、図3(A) は電極サイズを示す図、図3(B) は電極パターンの概略図、図3(C) は一部断面図である。固定子1及び可動子2は、ベースフィルム11上に、第1、第2及び第3の帯状電極21,22,23を順番に複数配列した三相の電極を有している。なお、図2では帯状電極21,22,23の図示を一部省略してある。
第1の帯状電極21は第1の集合線21Aを介して第1の端子21Bに接続され、第2の帯状電極22はスルーホール部221、第2の集合線22A及びスルーホール部222を介して第2の端子22Bに接続されている。また、第3の帯状電極23は第3の集合線23Aを介して第3の端子23Bに接続されている。ここで、各帯状電極21,22,23、第1及び第3の集合線21A,23A、第1〜第3の端子21B,22B,23Bは、それぞれベースフィルム11の表側に形成されているが、第2の集合線22Aはベースフィルム11の裏側に形成されている。そして、図3(C) に示すように、ベースフィルム11の表側には、各帯状電極21,22,23及び集合線21A,23Aをカバーするように表カバー12が形成され、ベースフィルム11の裏側には、第2の集合線22Aをカバーするように裏カバー13が形成されている。この表カバー12及び裏カバー13が「絶縁体」である。
なお、図3(A) に示すように、第1〜第3の帯状電極21,22,23の電極幅は70μm、電極ピッチは180μm、集合線21A(23A),22Aの幅は500μmである。また、ベースフィルム11、表カバー12及び裏カバー13の材質はポリイミドであり、帯状電極の材質は銅である。さらに、固定子1及び可動子2の厚さは80μm程度である。また、は固定子1及び可動子2のサイズは45mm×35mmである。
固定子11 ,12 は、第1〜第3の端子21B,22B,23Bを図1に示す連結固定部1a内に配置して、連結固定部1aに固定され、端子21B,22B,23Bがケーブル束1bに適宜接続されている。また、可動子21 ,22 は、第1〜第3の端子21B,22B,23Bを連結固定部2a内に配置して、連結固定部2aに固定され、端子21B,22B,23Bがケーブル束2bに適宜接続されている。
以上の構成により、ケーブル束1b,2bから固定子11 ,12 、可動子21 ,22 に対して、図7で説明した従来と同様に三相正弦波電圧が印加され、可動子21 ,22 、連結固定部2a及び伝達部2cが図1に示す可動方向、すなわち帯状電極21,22,23の配列方向に移動する。なお、帯状電極の「第1〜第3」の表現は、構造上の配置を区別するものであり、三相正弦波の各相とは無関係であり、この各相は固定子1と可動子2の配置条件に応じて設定することはいうまでもない。
図4は第2実施例の静電モータの要部断面図である。この第2実施例は第1実施例にさらに固定子と付勢部材を付加したものであり、可動子22 に対して筺体3の底板3a側から対向する固定子13 を配設し、この固定子13 と底板3aとの間にクッションの役割をする付勢部材7を配設したものである。
図5は第3実施例の静電モータの要部断面図であり、この第3実施例は請求項4に対応している。すなわち、可動子21 を挟んで固定子11 (第1の固定子)と反対側に可動子21 に対向して固定子12 (第2の固定子)を配置し、固定子11 ,12 、可動子21 及び付勢部材6を一つのユニットとしたものである。また、これと同様に、可動子22 を挟んで固定子13 (第1の固定子)と反対側に可動子22 に対向して固定子14 (第2の固定子)を配置し、固定子13 、14 、可動子22 及び付勢部材7を一つのユニットとしたものである。そして、両ユニットの固定子12 ,14 の間に該固定子12 ,14 に当接するように第2の付勢部材8を配設したものである。
いずれの実施例でも、付勢部材6,7,8は、その弾性力により固定子1と可動子2との対向面間の距離をビーズ4で規制される最小距離まで縮めるように付勢している。したがって、筺体3の内面3Aと固定子1の対向面とに当接する付勢部材6,7により、固定子1及び可動子2の全体に均一に力をかけることができ、静電モータを駆動したとき安定した駆動力が得られる。また、2つの可動子21 ,22 に連結された伝達部2cからは、大きな駆動出力が得られる。
図6は付勢部材として約5mm厚の不織布を用いて固定子1及び可動子2を押したときの荷重と固定子1及び可動子2の積層方向への変位の測定例を示すグラフである。なお、不織布は200mm×140mmの面積である。図からわかるように、荷重と積層方向への変位に相関関係があり、固定子1及び可動子2に加える必要な荷重を、不織布の厚みと筺体3の内面3Aと固定子1の対向面との間隔により任意に設定することができる。
次表1は、第1実施例、第2実施例、第3実施例の各伝達部2cで得られる発生力の測定結果を、不織布(付勢部材)がない場合と比較して示す比較例である。いずれの実施例でも不織布有りの場合のほうが、不織布なしの場合よりも大きな力が得られている。さらに、いずれの実施例でも不織布有りの場合のほうが、不織布なしの場合よりも力の変動が小さく抑えられている。
以上の各実施例では、静電モータとして固定子と可動子に三相正弦波電圧をそれぞれ印加して静電気力を発生させる交流駆動両電極形静電モータを例に説明したが、固定子は帯状電極を有し、可動子として微弱な導電性を有する抵抗体層を有するものとして、前記パルス駆動誘導電荷形モータを構成した場合にも、第1〜第3の各実施例の構成を適用できる。
1…固定子、2…可動子、2c…伝達部、3…筺体、3A…内面、4…ビーズ(スペーサ)、5…絶縁液、6,7,8…付勢部材、11…ベースフィルム、12…表カバー(絶縁体)、13…裏カバー(絶縁体)、21…第1の帯状電極、22…第2の帯状電極、23…第3の帯状電極
Claims (5)
- フィルム状の固定子と、1つの面が該固定子と対向して配置されたフィルム状の可動子と、前記固定子と可動子の対向面間に配置され、該対向面間の最小距離を規制し、かつ摩擦を低減するスペーサとを備え、
前記固定子及び/または可動子への印加電圧の切り換えにより固定子と可動子との間に静電気力を発生させることにより可動子を固定子に対して該固定子の面に沿って移動させる静電モータにおいて、
前記固定子、可動子及びスペーサを内部に内包し、少なくとも固定子と対向する内面を有する筺体であって、前記固定子を内部に固定し、前記可動子の出力を伝達する該可動子の伝達部を外部に露出して該可動子を内部に可動可能に内包した筺体と、
前記筺体と、該筺体の前記内面の最も近くに配置された前記固定子の対向面との間に、該筺体の内面と該対向面との両者に当接するように配置された付勢部材と、を備え、
前記付勢部材によって、前記固定子を、該固定子と対向する前記可動子との距離を縮める方向に付勢するようにしたことを特徴とする静電モータ。 - 請求項1に記載の静電モータであって、
前記可動子が絶縁体内に帯状に構成された複数相の帯状電極を配列してなる可動子であり、前記固定子が絶縁体内に帯状に構成された複数相の帯状電極を配列してなる固定子でり、
前記固定子及び前記可動子の電極への印加電圧の切り換えにより該固定子と可動子との間に静電気力を発生させて前記可動子を固定子に対して移動させることを特徴とする静電モータ。 - 請求項1に記載の静電モータであって、
前記可動子が絶縁体内に微弱な導電性を有する抵抗対層を有する可動子であり、前記固定子が絶縁体内に帯状に構成された複数相の帯状電極を配列してなる固定子であり、
前記固定子の電極への印加電圧の切り換えにより該固定子と可動子との間に静電気力を発生させて前記可動子を固定子に対して移動させることを特徴とする静電モータ。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の静電モータであって、
前記固定子を第1の固定子、前記付勢部材を第1の付勢部材とし、前記可動子を挟んで該第1の固定子と反対側に該可動子に対向して配置された第2の固定子と、該第1の固定子、第2の固定子及び該第1の付勢部材からなるユニットを複数ユニット備え、
前記複数ユニットを、前記第2の固定子を対向させて対向配置し、両ユニットの各第2の固定子間に当接するように第2の付勢部材を配置するようにしたことを特徴とする静電モータ。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の静電モータであって、
前記付勢部材は不織布で構成されていることを特徴とする静電モータ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107458210A (zh) * | 2017-07-14 | 2017-12-12 | 山东理工大学 | 一种基于磁分路式混合励磁结构的一体化集成电动轮系统 |
-
2008
- 2008-10-07 JP JP2008260428A patent/JP2010093915A/ja not_active Withdrawn
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CN107458210A (zh) * | 2017-07-14 | 2017-12-12 | 山东理工大学 | 一种基于磁分路式混合励磁结构的一体化集成电动轮系统 |
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