JPS63257904A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ビデオ用、或いはデジタルオーディオ用等の
テープレコーダに使用されるべく、回転ドラムに搭載さ
れ、回転ドラムを回転しながら、これに巻付けたテープ
を移動させ、テープに対して斜めに録音、或いは再生す
る磁気ヘッドの製造方法の改良に関する。

〔従来の技術〕

近年、磁気記録の高密度化が進んでいるが、これに伴っ
て磁気ヘッドによる記録再生のトラック巾と磁気ギャッ
プの厚さはますます小さくなり、高精度が要求されるよ
うになって来ている。

例えば、８ミリビデオテープレコーダ、オーディオ用の
デジタルテープレコーダの場合には、トラック巾は１０
数μ、ギャップ厚さは０．２〜０．３μである。

現在、磁気ヘッドを回転ドラムに搭載しているテープレ
コーダとして、最も一般的に普及している家庭用ビデオ
テープレコーダのテープ摺擦面における磁気ギャップの
近傍の様子を第１２図に示す。

同図において、ｌａ、ｌｂは、ヘッドの磁気回路を構成
するコアブロック半体、２は、このコアブロック半体１
ａ、ｌｂに設けられトラック巾規制溝に充填されたガラ
スで、このガラス２間のコアブロック半体１ａ、ｌｂの
寸法がトラック巾となる。

３は、前記トラック巾の部分において、コアプロ７り半
体１ａ、ｌｂ間に介在されているギャップスペーサで、
その厚さが磁気ギャップの厚さとなるものである。

次に、この磁気ヘッドの製造方法を第１３図によって説
明する。

コアブロック半体１ｂと、巻線窓加工が施されているコ
アブロック半体１ａに、トラック巾となる部分の両側に
トラック巾規制溝を機械加工によって形成し、これ等の
突き合せ面を鏡面研磨した後、磁気ギャップ厚さの半分
の厚さのギャップスペーサ３を付着させる。

次に、コアブロック半体１ａ、ｌｂのトラック部分を正
確に一致させて突き合せ、トラック巾規制溝にガラス２
を充填して第１１図のコアブロックが形成される。

そして、このコアブロックを、トラック巾規制溝の部分
で、ガラス２と共に切断、分割して第１０図の磁気ヘッ
ドが形成されるものである。

この磁気ヘッドの製造方法において、第１３図のように
、多数の磁気ヘッドを１つのコアブロックで加工し、同
図の５の部分を１個宛の磁気ヘッドとするため、トラッ
ク部分の突き合せが僅かにずれたり、トラック巾規制溝
のピッチが狂ったりすると、第１４図のように、コアブ
ロック半体１ａ、ｌｂのトラック巾の部分の突き合せが
ずれてしまう。

すると、同図の４で示した突き合されている部分のみが
磁気ギャップとなり、トラック巾が小さくなってしまう
。

このずれは、トラック巾が１０数μと小さいため、僅か
のずれも許されず、非常に精度の高い加工が要求される
ばかりでなく、製品の歩留まりを悪化させてしまう。

このような問題に対処するため、第１５図のように、一
方のコアブロック半体、図では１ｂのトラック巾となる
部分の巾を、トラック巾よりも広く加工し、トラック巾
に加工したコアブロック半体１ａのトラック巾の部分と
突き合せる。

斯くすることにより、その突き合せに多少のずれがあっ
ても、トラック巾は維持するような方法がとられること
がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、前記したような磁気ヘッドの場合、第１１図
に示す如く多数の磁気ヘッドを数１０個まとめて１つの
ブロックとして加工する。しかし、このような製造方法
にあっては、ブロック半体の全体に渡りギャップ長を一
様に作るのは極めて困難なことであり、僅かな異物の存
在や、ブロック半体のギャップ面の面精度のずれによっ
て、非磁性スペーサの厚さに比ベギャップ長が大きくな
ってしまい、小さなギャップ長の磁気ヘッドを作るとな
ると、このギャップ長のずれは相対的に非常に大きなも
のとなってしまうという欠点があった。

また、ビデオ、オーディオデジタル等のテープレコーダ
のように、磁気ヘッドを回転ドラムに搭載し、この回転
ドラムを回転させながら、これに巻付けたテープを移動
させ、テープに斜めに録音する、所謂傾斜アジマス記録
に、第１５図の磁気ヘッドを用いると、次のような問題
を発生する。

即ち、ヘリカルスキャン傾斜アジマス記録方式の場合、
記録再生トラックピッチよりも、ヘッドのトラック巾を
大きく設定し、オーバーライドによりトラック巾を決定
している。

この時、各記録のトラックのエツジを決定するのは、記
録ヘッドの磁気ギャップのエンドである。

この磁気ギャップのエンドが第１２図のように正確に一
致している場合には、磁気ギャップエンドからの洩れ磁
束も少く、磁気的なエツジが正確に決まり、その記録パ
ターンは第１６図のようになる。

同図中、６ａは＋アジマスヘッドによる記録部分、６ｂ
は−アジマスヘッドによる記録部分てある。

しかし、第１５図のような磁気ヘッドで記録した場合、
磁気ギャップエンドからの洩れ磁束が多いため、磁気的
なギャップエンドは不明確なものとなって、機械的なギ
ャップエンドからはみ出して記録される。

又、第１７図のように、磁気ギャップ近傍の記録磁化が
決定される領域７が弯曲するので、第１８図のように、
磁気ヘッドの磁気ギャップに対して、前記領域７の信号
は弯曲して記録されてしまう。

従って、この磁気ヘッドによる記録パターンは第１９図
のようなものとなってしまう。

同図中の８は、前記の領域７で記録された部分であり、
機械的な磁気ヘッドのアジマス角と異ってしまうので、
そのトラックでの再生出力に寄与しない無効記録部とな
ってしまう。

前記のビデオ、デジタルオーディオ用のようなトラック
巾が極端に小さい場合にｊｔ、再生出力に寄与しない部
分の比率が非常に大きくなり、再生出力が低下してしま
う欠点がある。

〔発明の目的〕

本発明は、従来のこの種の磁気ヘッドの前述の欠点を除
去し、洩れ磁束による無効記録部を無くして再生出力の
大きい磁気ヘッドを、トラック部分の突き合せ、及び機
械加工に極端な精度を必要とせず、且つ歩留まり良く製
造できる製造方法を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

本発明は前述の目的を達成するために、トラック巾規制
溝を加工した一方の酸化物磁性材料のコアブロック半体
に、トラック巾規制溝間の部分を含んでギャップスペー
サを形成し、その上に少くとも一層の金属磁性材料の薄
膜を形成し、他方の酸化物磁性材料のコアブロック半体
の突き合せ面に、少くとも一層の金属磁性材料の薄膜を
形成し、両コアブロック半体を接合後、突き合せ面以外
の金属磁性材料の薄膜を除去することを要旨とするもの
である。

〔発明の実施例〕

次に、本発明の実施の一例を、第２図〜第８図について
、以下に説明する。

第２図において、１３ａ、１３ｂは酸化物磁性材料とし
て最も広く使用され、この種のテープレコーダのコア材
として好適なフェライトのコアブロック半体で、一方の
コアブロック半体１３ａには巻線窓１４と、トラック巾
となる寸法を残してその両側にトラック巾規制溝１５が
切削されている。

このコアブロック半体１３ａ、１３ｂの突き合せ面を鏡
面加工した後、第３図のようにコアブロック半体１３ａ
には、トラック巾規制溝１５とその間の部分に対して０
．２〜０．３μの厚さとなるように、ギャップスペーサ
１６となる非磁性材料の薄膜を、スパッタ、蒸着等の薄
膜形成方法によって形成する。

この膜厚は、ビデオ、或いはデジタルオーディオ用の磁
気ヘッドとして、取扱う周波数によって必要な磁気ギャ
ップの厚さであり、そのテープレコーダの使用目的によ
って決定される。

次に、このギャップスペーサ１６の上に、第４図のよう
に、金属磁性材料、例えばパーマロイ膜１７ａをスパッ
タ、蒸着等の薄膜形成方法によって、１〜２μの厚さで
形成する。

他方のコアブロック半体１３ｂにも、第５図のように、
コアブロック半体１３ａのトラック巾規制′ａ１５間の
面と突き合される面の全面に金属磁性材料、例えばパー
マロイ膜１７ｂを１〜２μの厚さで形成する。

このパーマロイ膜１７ａ、１７ｂは、磁気ギャップの厚
さに応じて、これからの洩れ磁束が所要値以下となるよ
うに決定されなければならない。

このように形成されたコアブロック半体１３ａ。

１３ｂを、第６図のようにそのパーマロイ膜１７ａ、１
７ｂを突き合せ、次に述べる特性のガラス１２を溶融し
て巻線窓１４の上縁部、トラックｒｉ規制溝１５内に充
填し、コアブロック半体１３ａ。

１３ｂを接合し、コアブロック１８とする。

この時の処理温度を８００℃以上の適切な値に設定する
と、パーマロイ膜１７ａ、１７ｂは互いに自己融着を起
して一体化する。

又、ガラスには、その溶融状態において金属を腐蝕する
作用を持つものがあり、この特性を有するガラス材料の
選定と、処理温度の選定によって、ガラス１２に接する
パーマロイ膜１７ａ、１７ｂはエツチングされ、パーマ
ロイとしての磁気特性が失われる。

この状態を第７図と第８図に示しているが、パーマロイ
膜１７ａ、１７ｂが接している部分１７Ｃは互いに自己
融着を起して一体化する部分であり、ガラス１２と接す
る部分２１はエツチングされ、第８図の状態となるもの
である。

このようにして得られたコアブロック１８を、従来と同
様に、トラック巾規制溝１５の部分で、ガラス１２と共
に切断、分割することにより、第１図のヘッドチップが
得られる。

第１図において、９ａ、９ｂはフェライトのコアブロッ
ク半体、１０はギャップスペーサ、１１ａ、ｌｌｂはパ
ーマロイ膜、１２はガラスを示している。

このヘッドチップは、テープ摺擦面を円筒面に研磨、ラ
ッピングして、磁気ヘッドとなるものである。

このように、一方のコアブロック半体９ａにのみ、所定
寸法のトラック巾となるようなトラック巾規制溝１５を
形成した磁気ヘッド、例えば第１５図のような磁気ヘッ
ドにおける磁気ギャップからの洩れ磁束による第１９図
の無効記録部分８の巾は、ギャップ厚が０，２〜０．３
μの時、１〜２μである。

従って、第８図中の残存パーマロイ膜１７ａ。

１７ｂの厚さ、即ち１９なる寸法が２μ程度あれば、洩
れ磁束による無効記録部分８の巾を０とすることが可能
である。

第９図は本発明の他の実施例を示しており、この実施例
においては、コアブロック半体９ａのギャップスペーサ
１０と、パーマロイ膜１１ａとの間に、比較的硬度の高
い金属磁性材料、例えばセンダスト膜２０を設けたもの
である。

センダスト膜２０は、センダストの飽和磁束密度がパー
マロイよりも高いため、前実施例よりも記録能力が高ま
り、メタルテープに対しても充分に記録させることが可
能となる。

又、その硬度の高さによって、磁気ギャップ付近の摩耗
を減じ、磁気ヘッドの寿命を延ばすことができる。

更に、センダスト膜２０の厚さを２μ程度にすれば、パ
ーマロイ膜１７ａ、１７ｂの厚さは、極めて薄いもので
よい。

この実施例の磁気ヘッドの製造方法は、コアブロック半
体１３ａにギャップスペーサ１６を形成後、その上゛に
センダスト膜２０を蒸着、スパッタ等の薄膜形成方法に
より形成し、更にその上に前実施例と同様にして、パー
マロイ膜１７ａを形成する。

そして、前実施例と同様に、コアブロック半体１３ａ、
１３ｂをガラス１２で接合する際に、ガラス１２に接し
ているパーマロイ膜１７　ａ２１７ｂ、センダスト膜２
０をガラス１２でエツチングするものである。

更に、他の実施例を第１０図に示しており、この実施例
においては、コアブロック半体１３ｂにも、コアブロッ
ク半体１３ａのトラック巾規制溝１５間のトラック巾よ
りも広い間隔でトラック巾規制溝を加工したものである
。

第１１図は、更に他の実施例を示すもので、第９図の実
施例のコアブロック半体９ａと、ギャップスペーサＩＯ
との間に、センダスト薄膜２０ａを形成したもので、磁
気ギャップの両側に高飽和磁束密度のセンダストがある
ため、一層記録能力が高められる。

その製造方法としては、コアブロック半体１３ａにギャ
ップスペーサ１６を形成する前に、センダスト膜２０ａ
を形成しておくものであるが、ガラス１２でのエツチン
グ時に、ギャップスペーサ１６によってセンダスト膜２
０ａもエツチングされずに残るものである。

前記各実施例においては、パーマロイ膜１１ａ。

１１ｂ１センダスト膜２０のエツチングをガラス１２に
よって行ったが、これを他の薬品によるプロセスに置き
かえることも可能である。

〔発明の効果〕

本発明は叙上のように、記録の巾を決定するのは、一方
のコアブロック半体のトラック巾規制溝間の寸法である
ので、正確なトラック巾とすることができると共に、ト
ラック巾規制溝のピッチや他方のコアブロック半体のト
ラック部との正確な突き合せ等の極端な加工精度を必要
としなくなり作業が容易化され、且つ製品歩留まりも向
上するので、コストの引下げが可能となる。

そして、磁気ギャップからの洩れ磁束の巾は、一方のコ
アブロック半体に残っている金属磁性材料の薄膜によっ
て、トラック巾を正確に突き合せた場合と同様に、低く
抑えることができ、従って記録ドラック中の無効記録部
分を無くすことができ、高再生出力が得られるものであ
る。

又、金属磁性材料の薄膜が、少くとも磁気ギャップの一
面に残るので、酸化物磁性材料のコアのみの場合よりも
、高飽和磁束密度が得られ、高保磁力の磁気テープに対
しても記録が可能となる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による磁気ヘッドの磁気ギャ
ップ部分の拡大平面図、 第２図〜第６図はその製造工程の斜面図、第７図と第８
図はパーマロイ膜の除去状態を示す磁気ギャップ部分の
拡大平面図、 第９図〜第１１図はそれぞれ本発明の他の実施例による
磁気ヘッドの磁気ギャップ部分の拡大平面図、 第１２図は従来の磁気ヘッドの磁気ギャップ部分の拡大
平面図、 第１３図はその製造工程の斜面図、 第１４図は突き合せがずれた時の磁気ギャップ部分の拡
大平面図、 第１５図は従来の他の形態の磁気ヘッドの磁気ギャップ
部分の拡大平面図、 第１６図は磁気テープに対するヘリカルスキャン傾斜ア
ジマス記録を示す平面図、 第１７図は第１５図の磁気ヘッドの洩れ磁束の状態を示
す平面図、 第１８図はその記録状態を示す磁気テープの正面図、 第１９図はその時のヘリカルスキャン傾斜アジマス記録
を示す磁気テープの正面図である。 ９ａ、９ｂ、１３ａ、　１３ｂ・・・コ７ブＯ−７り半
体、１０，１６−・・ギ＋”／プスペーサ、１ｌａｐＨ
ｂ、１７ａ、１７ｂ・・・パーマロイ膜、１２・・・ガ
ラス、１５・・・トラック巾規制溝、１８・・・コアブ
ロック、２０．２０ａ・・・センダスト膜。 特許出願人　　　パイオニア株式会社 第１３■ 第１４図　　　　第１５図 第１６図 第旧図 第１７図 第１９図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ２つの酸化物磁性材料のコアブロック半体の少くとも一
   方にトラック巾規制溝を形成し、該トラック巾規制溝間
   の部分を含んでギャップスペーサとなる非磁性材料の薄
   膜を形成し、更にその上に少くとも一層の金属磁性材料
   の薄膜を形成し、前記トラック巾規制溝間の部分に突き
   合される他方のコアブロック半体の面に、少くとも一層
   の金属磁性材料の薄膜を形成し、両コアブロック半体を
   その金属磁性材料の薄膜の面で接合した後、突き合され
   て接している面の金属磁性材料の薄膜を除いて、他の面
   に形成されている金属磁性材料の薄膜をエッチング除去
   することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。