JPH04353607A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
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- JPH04353607A JPH04353607A JP12897291A JP12897291A JPH04353607A JP H04353607 A JPH04353607 A JP H04353607A JP 12897291 A JP12897291 A JP 12897291A JP 12897291 A JP12897291 A JP 12897291A JP H04353607 A JPH04353607 A JP H04353607A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は記録媒体に対して信号を
記録及び再生可能な磁気ヘッド及びその製造方法に関す
るものである。
記録及び再生可能な磁気ヘッド及びその製造方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＶＴＲにおいては、広帯域信号に
よる高密度記録を必要とするシステムの開発が盛んにな
ってきており、その流れの中で磁気ヘッドにおいても、
高飽和磁束密度化，狭トラック化の開発が盛んになって
きている。たとえば、フェライト材料とギャップ近傍に
高い飽和磁束密度を持つ金属材料を用いた複合ヘッドが
考えられている。
よる高密度記録を必要とするシステムの開発が盛んにな
ってきており、その流れの中で磁気ヘッドにおいても、
高飽和磁束密度化，狭トラック化の開発が盛んになって
きている。たとえば、フェライト材料とギャップ近傍に
高い飽和磁束密度を持つ金属材料を用いた複合ヘッドが
考えられている。
【０００３】以下に従来の磁気ヘッド及び製造方法を示
す。図６（ａ）は、従来の磁気ヘッドを示す斜視図であ
る。図６（ａ）において、１，１′はフェライト等の酸
化物磁性材であり、その表面に金属磁性膜２，２′をス
パッタ蒸着等で形成し、非磁性膜３を介して対向してい
る。４はコア半体を接着するガラス材であり、５は巻線
窓である。
す。図６（ａ）は、従来の磁気ヘッドを示す斜視図であ
る。図６（ａ）において、１，１′はフェライト等の酸
化物磁性材であり、その表面に金属磁性膜２，２′をス
パッタ蒸着等で形成し、非磁性膜３を介して対向してい
る。４はコア半体を接着するガラス材であり、５は巻線
窓である。
【０００４】またテープ摺動面から見て、図６（ｂ）に
示すように酸化物磁性材１，１′の形状が尖ったものや
、図６（ｃ）に示すように、酸化物磁性材１，１′のギ
ャップ対向面近傍にのみ金属磁性体２，２′が残った形
状になっているものもある。
示すように酸化物磁性材１，１′の形状が尖ったものや
、図６（ｃ）に示すように、酸化物磁性材１，１′のギ
ャップ対向面近傍にのみ金属磁性体２，２′が残った形
状になっているものもある。
【０００５】それぞれの製造方法としては、図６（ａ）
の磁気ヘッドは以下のようになる。図７（ａ）に示すよ
うに、酸化物磁性材１の１つの面１ａに巻線窓５を作成
し、面１ａを鏡面に磨いた後トラック溝６を作成する。 この面１ａ側に金属磁性膜２を図７（ｂ）に示すように
作成し、これを磁気コア半体Ａとする。これと対をなす
磁気コア半体Ｂ（磁気コア半体Ｂには巻線窓の有無を問
わない）の少なくともどちらか一方に非磁性材３を作成
し、図７（ｃ）に示すように磁気コア半体ＡＢの金属磁
性膜２，２′を非磁性材３を介して突き合わせて、ガラ
ス材４を充填して接着することによりコアブロックを得
る。図７（ｄ）に示すように所定の厚みとアジマス角で
切断し、図６（ａ）のヘッドができる。
の磁気ヘッドは以下のようになる。図７（ａ）に示すよ
うに、酸化物磁性材１の１つの面１ａに巻線窓５を作成
し、面１ａを鏡面に磨いた後トラック溝６を作成する。 この面１ａ側に金属磁性膜２を図７（ｂ）に示すように
作成し、これを磁気コア半体Ａとする。これと対をなす
磁気コア半体Ｂ（磁気コア半体Ｂには巻線窓の有無を問
わない）の少なくともどちらか一方に非磁性材３を作成
し、図７（ｃ）に示すように磁気コア半体ＡＢの金属磁
性膜２，２′を非磁性材３を介して突き合わせて、ガラ
ス材４を充填して接着することによりコアブロックを得
る。図７（ｄ）に示すように所定の厚みとアジマス角で
切断し、図６（ａ）のヘッドができる。
【０００６】また図６（ｂ）のヘッドを作るには以下の
ようになる。図８（ａ）に示すように、酸化物磁性材１
に先端の尖ったＶ形状にトラック溝６を作成する。次に
図８（ｂ）に示すように金属磁性膜２を作成した後、図
８（ｃ）のようにガラス材をモールドし、図８（ｄ）の
ように巻線窓５を作成し、所定のトラック幅を残すよう
に、ギャップ面を鏡面に磨き、これを磁気コア半体Ａと
する。これと対をなす磁気コア半体Ｂの少なくともどち
らか一方に非磁性材３を作成し、図８（ｅ）に示すよう
に磁気コア半体Ａ，Ｂの金属磁性膜２，２′を非磁性材
３を介して突き合わせて接着することによりコアブロッ
クを得る。図８（ｆ）に示すように所定の厚みとアジマ
ス角で切断し、図６（ｂ）のヘッドができる。
ようになる。図８（ａ）に示すように、酸化物磁性材１
に先端の尖ったＶ形状にトラック溝６を作成する。次に
図８（ｂ）に示すように金属磁性膜２を作成した後、図
８（ｃ）のようにガラス材をモールドし、図８（ｄ）の
ように巻線窓５を作成し、所定のトラック幅を残すよう
に、ギャップ面を鏡面に磨き、これを磁気コア半体Ａと
する。これと対をなす磁気コア半体Ｂの少なくともどち
らか一方に非磁性材３を作成し、図８（ｅ）に示すよう
に磁気コア半体Ａ，Ｂの金属磁性膜２，２′を非磁性材
３を介して突き合わせて接着することによりコアブロッ
クを得る。図８（ｆ）に示すように所定の厚みとアジマ
ス角で切断し、図６（ｂ）のヘッドができる。
【０００７】また図６（ｃ）のヘッドを作るには以下の
ようになる。図９（ａ）に示すように、酸化物磁性材１
の１つの面上に金属磁性膜２を作成する。図９（ｂ）に
示すようにトラック溝６を作成し、図９（ｃ）に示すよ
うにガラス材４をモールドする。次に巻線窓５を作成し
て、ガラス材４がモールドされた面を鏡面にラップして
ギャップ面を形成するとともに図９（ｄ）のように金属
磁性膜を所定の厚みに仕上げる。これを磁気コア半体Ａ
とし、これと対をなす磁気コア半体Ｂの少なくともどち
らかに非磁性材３を作成し、図９（ｅ）に示すように磁
気コア半体Ａ，Ｂの金属磁性膜２，２′を非磁性材３を
介して突き合わせて接着することによりコアブロックを
得る。図９（ｆ）に示すように所定の厚みとアジマス角
で切断し、図６（ｃ）のヘッドができる。
ようになる。図９（ａ）に示すように、酸化物磁性材１
の１つの面上に金属磁性膜２を作成する。図９（ｂ）に
示すようにトラック溝６を作成し、図９（ｃ）に示すよ
うにガラス材４をモールドする。次に巻線窓５を作成し
て、ガラス材４がモールドされた面を鏡面にラップして
ギャップ面を形成するとともに図９（ｄ）のように金属
磁性膜を所定の厚みに仕上げる。これを磁気コア半体Ａ
とし、これと対をなす磁気コア半体Ｂの少なくともどち
らかに非磁性材３を作成し、図９（ｅ）に示すように磁
気コア半体Ａ，Ｂの金属磁性膜２，２′を非磁性材３を
介して突き合わせて接着することによりコアブロックを
得る。図９（ｆ）に示すように所定の厚みとアジマス角
で切断し、図６（ｃ）のヘッドができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような構造のヘッドにおいては、狭トラック化，高精度
化という点で見た場合に、以下のような問題点を有して
いた。
ような構造のヘッドにおいては、狭トラック化，高精度
化という点で見た場合に、以下のような問題点を有して
いた。
【０００９】図１０（ａ）に示すように図６（ａ）のタ
イプのヘッドでは、トラック突き合わせの両端部にダレ
７が発生するために、トラック幅精度を確保しにくく、
またダレ７部での低周波領域のフリンジングが無視でき
なくなる。また図１０（ｂ）に示すように、図６（ｂ）
のタイプのヘッドでは、鏡面ラップ時の精度がトラック
幅精度に影響するため、歩留りが悪くなる。また図６（
ｃ）のタイプのヘッドでは、酸化物磁性体と金属磁性膜
を同時に加工するため、狭トラック加工時に膜剥離やト
ラック欠け，オレの発生が多発する。
イプのヘッドでは、トラック突き合わせの両端部にダレ
７が発生するために、トラック幅精度を確保しにくく、
またダレ７部での低周波領域のフリンジングが無視でき
なくなる。また図１０（ｂ）に示すように、図６（ｂ）
のタイプのヘッドでは、鏡面ラップ時の精度がトラック
幅精度に影響するため、歩留りが悪くなる。また図６（
ｃ）のタイプのヘッドでは、酸化物磁性体と金属磁性膜
を同時に加工するため、狭トラック加工時に膜剥離やト
ラック欠け，オレの発生が多発する。
【００１０】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、狭トラック化、高精度化に対応した磁気ヘッドを安
定に供給することを目的とする。
で、狭トラック化、高精度化に対応した磁気ヘッドを安
定に供給することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の磁気ヘッドは次の構成を有している。酸化物
磁性材よりなる一対の磁気コア半体に金属磁性膜を形成
し、非磁性材を介して金属磁性膜同士を突き合わせるこ
とにより磁気ギャップが構成される磁気ヘッドにおいて
、必要幅より大きく形成されたトラックのギャップ近傍
のみ必要幅に規制された形状を有することを特徴とする
磁気ヘッドである。
に本発明の磁気ヘッドは次の構成を有している。酸化物
磁性材よりなる一対の磁気コア半体に金属磁性膜を形成
し、非磁性材を介して金属磁性膜同士を突き合わせるこ
とにより磁気ギャップが構成される磁気ヘッドにおいて
、必要幅より大きく形成されたトラックのギャップ近傍
のみ必要幅に規制された形状を有することを特徴とする
磁気ヘッドである。
【００１２】
【作用】この構成によって、ある程度の精度で必要幅以
上のトラックを形成した後、必要幅にトラックを形成す
るので、トラック幅精度は向上し、両端部のダレを取り
除くことができる。また、鏡面ラップ時の精度がトラッ
ク幅精度に影響せず、またギャップ近傍のみ金属磁性膜
を取り除くため、膜剥離やトラック欠け，オレの発生も
ない。したがって、狭トラックを高精度に安定に供給で
きる。
上のトラックを形成した後、必要幅にトラックを形成す
るので、トラック幅精度は向上し、両端部のダレを取り
除くことができる。また、鏡面ラップ時の精度がトラッ
ク幅精度に影響せず、またギャップ近傍のみ金属磁性膜
を取り除くため、膜剥離やトラック欠け，オレの発生も
ない。したがって、狭トラックを高精度に安定に供給で
きる。
【００１３】
（実施例１）以下本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【００１４】図１（ａ）において、１１，１１′はフェ
ライト材等の酸化物磁性材であり、そのギャップ面側に
金属磁性膜１２，１２′を形成し、非磁性膜１３を介し
て対向している。１４はコア半体同士を接着するガラス
材であり、１５は巻線窓である。ギャップ近傍付近Ｇの
拡大図である図１（ｂ）には、トラックを必要幅にする
ために金属磁性膜の削除部分１６を示している。
ライト材等の酸化物磁性材であり、そのギャップ面側に
金属磁性膜１２，１２′を形成し、非磁性膜１３を介し
て対向している。１４はコア半体同士を接着するガラス
材であり、１５は巻線窓である。ギャップ近傍付近Ｇの
拡大図である図１（ｂ）には、トラックを必要幅にする
ために金属磁性膜の削除部分１６を示している。
【００１５】以上のように構成された磁気ヘッドの製造
方法を以下に示す。図２（ａ）に示すように、フェライ
ト材１１の１つの面１１ａに巻線窓１５を作成し、前記
面１１ａを鏡面に仕上げた後、巻線窓１５とほぼ直交す
るようにトラック溝１７を複数設ける。次に図２（ｂ）
のように鏡面側に金属磁性膜１２をスパッタ蒸着等で作
成する。さらにトラック溝１７に垂直な断面である図２
（ｃ）に示すように、フォトリソグラフィー技術を用い
て、金属磁性膜１２の上にレジスト１８を塗布し、図２
（ｄ）のように金属磁性膜１２のトラック突き合わせ面
に必要幅が作成されるようレジストパターン１８′を残
し、図２（ｅ）に示すようにスパッタエッチングやイオ
ンビームエッチングあるいは化学エッチング（高エネル
ギー源によるアシスト法を含む）にて、トラックを必要
幅に形成した後、図２（ｆ）に示すようにレジストパタ
ーン１８′を除去し、磁気コア半体Ａを得る。この時、
エッチングする部分は巻線窓１５よりテープ摺動面側の
トラック部だけでもかまわない。また実施例２で示すよ
うに、フォトリソグラフィー技術を用いずに、レーザー
によるトリミングや化学エッチングとレーザーの焦点を
絞ることでその部分のエッチング速度を早めるといった
アシスト法のみによってトラックを必要幅に形成しても
よい。このようにしてできた磁気コア半体Ａと対をなす
磁気コア半体Ｂの少なくともどちらか一方に、非磁性材
１３を金属磁性膜の上にスパッタリングにて作成し、図
２（ｇ）に示すように経磁性材１３を介して、金属磁性
膜１２，１２′のトラック部を突き合わせて、ガラス材
１４を流し込みコアブロックを得る。これを図２（ｈ）
に示すように、所定の厚みとアジマス角をもって切断し
、図１（ａ）に示す実施例１の磁気ヘッドができる。
方法を以下に示す。図２（ａ）に示すように、フェライ
ト材１１の１つの面１１ａに巻線窓１５を作成し、前記
面１１ａを鏡面に仕上げた後、巻線窓１５とほぼ直交す
るようにトラック溝１７を複数設ける。次に図２（ｂ）
のように鏡面側に金属磁性膜１２をスパッタ蒸着等で作
成する。さらにトラック溝１７に垂直な断面である図２
（ｃ）に示すように、フォトリソグラフィー技術を用い
て、金属磁性膜１２の上にレジスト１８を塗布し、図２
（ｄ）のように金属磁性膜１２のトラック突き合わせ面
に必要幅が作成されるようレジストパターン１８′を残
し、図２（ｅ）に示すようにスパッタエッチングやイオ
ンビームエッチングあるいは化学エッチング（高エネル
ギー源によるアシスト法を含む）にて、トラックを必要
幅に形成した後、図２（ｆ）に示すようにレジストパタ
ーン１８′を除去し、磁気コア半体Ａを得る。この時、
エッチングする部分は巻線窓１５よりテープ摺動面側の
トラック部だけでもかまわない。また実施例２で示すよ
うに、フォトリソグラフィー技術を用いずに、レーザー
によるトリミングや化学エッチングとレーザーの焦点を
絞ることでその部分のエッチング速度を早めるといった
アシスト法のみによってトラックを必要幅に形成しても
よい。このようにしてできた磁気コア半体Ａと対をなす
磁気コア半体Ｂの少なくともどちらか一方に、非磁性材
１３を金属磁性膜の上にスパッタリングにて作成し、図
２（ｇ）に示すように経磁性材１３を介して、金属磁性
膜１２，１２′のトラック部を突き合わせて、ガラス材
１４を流し込みコアブロックを得る。これを図２（ｈ）
に示すように、所定の厚みとアジマス角をもって切断し
、図１（ａ）に示す実施例１の磁気ヘッドができる。
【００１６】本実施例において、図１０（ａ）に示した
ような金属磁性膜部のダレがなく、フリンジングの発生
はない。また、レジストパターンの精度やレーザーの焦
点の位置精度がトラック精度を決定するため、累積ピッ
チ誤差を含めて従来よりも高精度で低いバラツキのトラ
ックを得ることができ、狭トラック化が容易となる。
ような金属磁性膜部のダレがなく、フリンジングの発生
はない。また、レジストパターンの精度やレーザーの焦
点の位置精度がトラック精度を決定するため、累積ピッ
チ誤差を含めて従来よりも高精度で低いバラツキのトラ
ックを得ることができ、狭トラック化が容易となる。
【００１７】（実施例２）図３（ａ）において、２１，
２１′はフェライト材等の酸化物磁性材であり、その１
つの面上に金属磁性膜２２，２２′を形成し、非磁性膜
２３を介して対向している。２４はコア半体を接着する
ガラス材であり、２５は巻線窓である。ギャップ近傍付
近Ｇ′の拡大図である図３（ｂ）には、トラックを必要
幅にするために金属磁性膜の削除部分２６をハッチング
にて示している。
２１′はフェライト材等の酸化物磁性材であり、その１
つの面上に金属磁性膜２２，２２′を形成し、非磁性膜
２３を介して対向している。２４はコア半体を接着する
ガラス材であり、２５は巻線窓である。ギャップ近傍付
近Ｇ′の拡大図である図３（ｂ）には、トラックを必要
幅にするために金属磁性膜の削除部分２６をハッチング
にて示している。
【００１８】以上のように構成された磁気ヘッド製造方
法を以下に示す。図４（ａ）に示すようにフェライト材
２１の１つの面２１ａに巻線窓２５を作成し、面２１ａ
を鏡面に仕上げた後、金属磁性膜２２を作成する。次に
図４（ｂ）に示すように、トラック溝２７を複数設けて
、図４（ｃ）に示すようにトラックを必要幅に作成する
ため、レーザートリミングにより金属磁性膜２２の突起
部の少なくとも一方の端を削除し、磁気コア半体Ａを得
る。この時実施例１に示すフォトリソグラフィー技術を
用いて、トラックを必要幅に形成してもよい。このよう
にしてできた磁気コア半体Ａと対をなす磁気コア半体Ｂ
の少なくともどちらか一方に非磁性材２３を金属磁性膜
上にスパッタリングにて作成し、図４（ｄ）に示すよう
に、非磁性材２３を介して、金属磁性膜２２，２２′の
トラック部を突き合わせて、ガラス材２４を流し込みコ
アブロックを得る。これを図４（ｅ）に示すように、所
定の厚みとアジマス角をもって切断し、図３（ａ）に示
す実施例２の磁気ヘッドができる。
法を以下に示す。図４（ａ）に示すようにフェライト材
２１の１つの面２１ａに巻線窓２５を作成し、面２１ａ
を鏡面に仕上げた後、金属磁性膜２２を作成する。次に
図４（ｂ）に示すように、トラック溝２７を複数設けて
、図４（ｃ）に示すようにトラックを必要幅に作成する
ため、レーザートリミングにより金属磁性膜２２の突起
部の少なくとも一方の端を削除し、磁気コア半体Ａを得
る。この時実施例１に示すフォトリソグラフィー技術を
用いて、トラックを必要幅に形成してもよい。このよう
にしてできた磁気コア半体Ａと対をなす磁気コア半体Ｂ
の少なくともどちらか一方に非磁性材２３を金属磁性膜
上にスパッタリングにて作成し、図４（ｄ）に示すよう
に、非磁性材２３を介して、金属磁性膜２２，２２′の
トラック部を突き合わせて、ガラス材２４を流し込みコ
アブロックを得る。これを図４（ｅ）に示すように、所
定の厚みとアジマス角をもって切断し、図３（ａ）に示
す実施例２の磁気ヘッドができる。
【００１９】本実施例において、狭トラックで切断しに
くい複合材料であっても、ギャップ近傍のみトラックを
必要幅にレーザー等で削除するため、狭トラック作成時
に切断負荷によるオレの発生を極力防ぐことができ、精
度の確保もできる。
くい複合材料であっても、ギャップ近傍のみトラックを
必要幅にレーザー等で削除するため、狭トラック作成時
に切断負荷によるオレの発生を極力防ぐことができ、精
度の確保もできる。
【００２０】また、実施例１，２の共通の特徴として、
ギャップ近傍部のみ狭トラック化された構造になってい
るために、単に狭トラックを作成したものより磁気効率
も優れている。
ギャップ近傍部のみ狭トラック化された構造になってい
るために、単に狭トラックを作成したものより磁気効率
も優れている。
【００２１】なお、実施例１及び実施例２においてトラ
ック溝１７，２７は、ギャップ面に対して角度０°で作
成したが、ある角度をつけて作成し、図５（ａ）及び図
５（ｂ）のようなトラック溝がテーパをなす形状として
もよい。この時も実施例１，２と同様であるが、トラッ
クを必要幅にエッチングする所は、巻線窓よりテープ摺
動面側のトラック部のみであってもかまわないのは言う
までもない。
ック溝１７，２７は、ギャップ面に対して角度０°で作
成したが、ある角度をつけて作成し、図５（ａ）及び図
５（ｂ）のようなトラック溝がテーパをなす形状として
もよい。この時も実施例１，２と同様であるが、トラッ
クを必要幅にエッチングする所は、巻線窓よりテープ摺
動面側のトラック部のみであってもかまわないのは言う
までもない。
【００２２】
【発明の効果】以上のように本発明は、必要幅より大き
く形成されたトラックのギャップ近傍のみ必要幅に規制
された形状を有することによって、狭トラック化を高精
度，高歩留まりで作成でき、単に狭トラックにしたもの
より優れた磁気効率を持った磁気ヘッドを実現できるも
のである。
く形成されたトラックのギャップ近傍のみ必要幅に規制
された形状を有することによって、狭トラック化を高精
度，高歩留まりで作成でき、単に狭トラックにしたもの
より優れた磁気効率を持った磁気ヘッドを実現できるも
のである。
【図１】（ａ）本発明の第１の実施例における磁気ヘッ
ドの斜視図 （ｂ）第１の実施例における磁気ヘッドの摺動面側の磁
気ギャップ近傍付近の拡大図
ドの斜視図 （ｂ）第１の実施例における磁気ヘッドの摺動面側の磁
気ギャップ近傍付近の拡大図
【図２】第１の実施例における磁気ヘッド製造方法の各
工程の説明図
工程の説明図
【図３】（ａ）本発明の第２の実施例における磁気ヘッ
ドの斜視図 （ｂ）第２の実施例における磁気ヘッドの摺動面側の磁
気ギャップ近傍付近の拡大図
ドの斜視図 （ｂ）第２の実施例における磁気ヘッドの摺動面側の磁
気ギャップ近傍付近の拡大図
【図４】第２の実施例における磁気ヘッド製造方法の各
工程の説明図
工程の説明図
【図５】（ａ）第１の実施例においてトラック溝を角度
をつけて作成した磁気ヘッドの斜視図 （ｂ）第２の実施例においてトラック溝を角度をつけて
作成した磁気ヘッドの斜視図
をつけて作成した磁気ヘッドの斜視図 （ｂ）第２の実施例においてトラック溝を角度をつけて
作成した磁気ヘッドの斜視図
【図６】（ａ）従来の磁気ヘッドの斜視図（ｂ）従来の
磁気ヘッドの摺動面の拡大図（ｃ）従来の磁気ヘッドの
摺動面の拡大図
磁気ヘッドの摺動面の拡大図（ｃ）従来の磁気ヘッドの
摺動面の拡大図
【図７】図６（ａ）における磁気ヘッド
の製造方法の各工程の説明図
の製造方法の各工程の説明図
【図８】図６（ｂ）における磁気ヘッドの製造方法の各
工程の説明図
工程の説明図
【図９】図６（ｃ）における磁気ヘッドの製造方法の各
工程の説明図
工程の説明図
【図１０】従来の磁気ヘッドの問題点説明図
１１ 酸化物磁性体
１１′ 酸化物磁性体
１２ 金属磁性膜
１２′ 金属磁性膜
１３ 非磁性膜
１４ ガラス材
１５ 巻線窓
１６ 金属磁性膜の削除部分
１７ トラック溝
１８ レジスト
１８′ レジストパターン
２１ 酸化物磁性体
２１′ 酸化物磁性体
２２ 金属磁性膜
２２′ 金属磁性膜
２３ 非磁性膜
２４ ガラス材
２５ 巻線窓
２６ 金属磁性膜の削除部分
２７ トラック溝
Claims (4)
- 【請求項１】酸化物磁性材よりなる一対の磁気コア半体
に金属磁性膜を形成し、非磁性材を介して前記金属磁性
膜同士を突き合わせることにより磁気ギャップが構成さ
れる磁気ヘッドであって、必要幅より大きく形成された
トラックのギャップ近傍のみ必要幅に規制された形状を
有することを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】酸化物磁性材よりなり鏡面に研磨された面
を有する一対の基板の少なくとも一方に巻線を施すため
の巻線溝を前記鏡面上に形成する工程と、前記一対の基
板の鏡面上に前記巻線溝とほぼ直交するように、突起部
を残すためのトラック溝を複数設ける工程と、金属磁性
膜を前記鏡面側に堆積する工程と、前記金属磁性膜が形
成された突起部を必要幅とするために、トラック溝との
境界となる少なくとも一方の端部を削除する工程と、前
記金属磁性膜上に非磁性材のギャップスペーサーを形成
する工程と、前記トラック溝にガラスあるいは接着剤を
充填し、前記金属磁性膜とギャップスペーサーを介して
突起部を突き合わせて接着してコアブロックを得る工程
と、前記コアブロックを所定の厚みと角度をつけて切断
し、磁気ヘッドコアを得る工程とを具備することを特徴
とする磁気ヘッド製造方法。 - 【請求項３】酸化物磁性材よりなり鏡面に研磨された面
を有する一対の基板の少なくとも一方に巻線を施すため
の巻線溝を、前記鏡面上に作成する工程と、金属磁性膜
を前記鏡面上に作成する工程と、前記金属磁性膜を作成
した面に前記巻線溝とほぼ直交するように突起部を残す
ためのトラック溝を複数設ける工程と、前記突起部を必
要幅とするためにトラック溝との境界となる少なくとも
一方の端部を削除する工程と、前記金属磁性膜面上に非
磁性材のギャップスペーサーを形成する工程と、前記ト
ラック溝にガラスあるいは接着剤を充填し、前記金属磁
性膜とギャップスペーサーを介して突起部を突き合わせ
て接着してコアブロックを得る工程と、前記コアブロッ
クを所定の厚みと角度をつけて切断し磁気ヘッドコアを
得る工程とを具備することを特徴とする磁気ヘッド製造
方法。 - 【請求項４】突起部を必要幅に削除する方法として、ス
パッタエッチング，イオンビームエッチング，レーザー
トリミング，レーザー等の高エネルギー源によるアシス
トを含めた化学エッチングを用いる請求項２及び請求項
３記載の磁気ヘッド製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12897291A JPH04353607A (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12897291A JPH04353607A (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04353607A true JPH04353607A (ja) | 1992-12-08 |
Family
ID=14997961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12897291A Pending JPH04353607A (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04353607A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07220218A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-08-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘッドおよびその製造方法ならびに磁気記録再生装置 |
| US5774310A (en) * | 1995-09-01 | 1998-06-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic head and magnetic recording apparatus which prevent generation of a false magnetic head tending to disturb a previously formed magnetic recording track |
| US5924189A (en) * | 1995-05-18 | 1999-07-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for producing a magnetic head |
-
1991
- 1991-05-31 JP JP12897291A patent/JPH04353607A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07220218A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-08-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘッドおよびその製造方法ならびに磁気記録再生装置 |
| US5905612A (en) * | 1993-10-04 | 1999-05-18 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | Magnetic head and producing method of the same |
| US5924189A (en) * | 1995-05-18 | 1999-07-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for producing a magnetic head |
| US6061212A (en) * | 1995-05-18 | 2000-05-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic head with circular notches and magnetic recording/reproducing apparatus using the same |
| US6360429B1 (en) | 1995-05-18 | 2002-03-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for producing a magnetic head |
| US5774310A (en) * | 1995-09-01 | 1998-06-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic head and magnetic recording apparatus which prevent generation of a false magnetic head tending to disturb a previously formed magnetic recording track |
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