JPH07201009A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、各コア半体のトラック幅規制溝が互
いにずれるようなことがなく、且つ高精度のギャップ部
が得られるようにした、磁気ヘッドの製造方法を提供す
ることを目的とする。 【構成】非磁性体基板上に積層させた複数の磁性体膜か
ら成る一対のコア半体を互いに突き合わせることによ
り、該磁性体膜がギャップに対して実質的に垂直に延び
るように、ギャップ部が画成されており、該ギャップ部
が、各コア半体に設けられたトラック幅規制溝により、
所定のトラック幅を有するように構成されている、磁気
ヘッド１において、上記トラック幅規制溝４３が、各コ
ア半体４１，４２の相互の接合後に、コア半体の接合面
に対してブレード加工により形成された後、該接合面の
全面に対するイオンミリングにより、仕上げ加工される
ように、構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばハイビジョンＶ
ＴＲ装置等の高密度磁気記録再生装置等に使用される磁
気ヘッドの製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、このような磁気ヘッドは、例えば
図３に示すように構成されている。即ち、図３におい
て、磁気ヘッド１０は、非磁性体基板１１ａ，１２ａ上
に積層された複数の磁性体膜１１ｂ，１２ｂから成る一
対のコア半体１１，１２から構成されており、該コア半
体１１，１２の突き合わせ面（接合面）１３，１４に
は、それぞれギャップ形成部１３ａ，１４ａと、後部接
合部１３ｂ，１４ｂが形成されている。

【０００３】ここで、上記コア半体１１，１２の突き合
わせ面１３，１４は、そのギャップ形成部１３ａ，１４
ａが互いに所定間隔で突き合わされることにより、ギャ
ップ部１５が構成され得るようになっている。さらに、
各コア半体１１，１２を構成する磁性体膜１１ｂ，１２
ｂは、上記ギャップ部１５に対してほぼ垂直に（正確に
は、図４に示すように、僅かなアジマス角を有して）延
びるようになっている。

【０００４】さらに、一方のコア半体１１は、その突き
合わせ面１３側に、巻線が巻回されるべき溝部１３ｃを
備えており、この溝部１３ｃが、他方のコア半体１２と
接合されたときに、巻線窓１６を画成することにより、
該巻線窓１６を通って、コア半体１１の溝部１３ｃにコ
イル巻線（図示せず）が巻回され得るようになってい
る。

【０００５】また、上記コア半体１１，１２の突き合わ
せ面１３，１４は、図４に詳細に示すように、構成され
ている。即ち、図４において、各磁性体膜１１ｂ，１２
ｂは、その厚さが、前以てトラック幅より大きくなるよ
うに形成されていて、その後、各コア半体１１，１２の
突き合わせ面１３，１４の領域にて、コア半体１１，１
２が、磁性体膜１１ｂ，１２ｂの一部にまで達するトラ
ック幅規制溝１７，１８を形成するように、非磁性体基
板１１ａ，１２ａの部分を除去されている。

【０００６】これにより、ギャップ部１５における上記
磁性体膜１１ｂ，１２ｂの全体の厚さが、トラック幅Ｔ
ｗに相当するようになっている。この状態から、上記コ
ア半体１１，１２は、その突き合わせ面１３，１４が研
磨され、該トラック幅規制溝１７，１８が、接合用ガラ
ス１９により充填された後、互いに突き合わされ、接合
されるようになっている。

【０００７】従って、該磁気ヘッド１０の各コア１１，
１２の全体として湾曲して形成された上面に沿って、磁
気テープ（図示せず）が摺動することにより、該磁気テ
ープに磁気記録されたデータ等がコイル巻線によって電
気信号に変換され、再生され得ることになる。

【０００８】ここで、上記磁気ヘッド１０は、図５，図
６及び図７に示すように、製造されるようになってい
る。即ち、先づ図５（Ａ）において、基板２０は、セラ
ミックス，ガラスセラミックス等のセラミック材料から
成る非磁性体基板２１上に、複数の磁性体膜２２（図５
（Ｂ）参照）をそれぞれガラス２３を介して積層させた
個々の基板を、図５（Ｃ）に示すように、複数個重ね合
わせて接合することにより、形成される。この際、上記
磁性体膜２２の厚さは、トラック幅より大きくなるよう
に選定されている。

【０００９】このように形成された基板２０は、その
後、図５（Ｄ）に示すように、図面にて上下を向いた側
面に、巻線溝２４が、また上方を向いた側面に、補強溝
２５が加工され、続いて該補強溝２５内に接合用ガラス
２６が充填された後に、図面にて上方の接合面２０ａが
研磨される。

【００１０】その後、該接合面２０ａに関して、各磁性
体膜２２の一部及び非磁性体基板２１を除去するよう
に、該接合面２０ａに、トラック幅規制溝２７が加工さ
れ（図５（Ｅ）参照）、続いて該トラック幅規制溝２７
内に、接合用ガラス２８が充填された後（図６（Ｆ）参
照）、該接合面２０ａが再び研磨される（図６（Ｇ）参
照）。

【００１１】さらに、残った接合面２０ａの領域に対し
て、ギャップ材２９がスパッタリング等により形成され
（図６（Ｈ）参照）、複数個のコア半体が一体に並んで
いるコア半体ブロック３０が完成する。

【００１２】このようにして形成された二つのコア半体
ブロック３０が、図６（Ｉ）に示すように、互いに接合
面２０ａが対向するように接合され、図６（Ｉ）にて下
方の端面が研磨された後に、上記トラック幅規制溝２７
が露出しているテープ摺動面２０ｂが、図７（Ｊ）に示
すように、円筒状に研磨され、最後に図７（Ｋ）に点線
で示すように、長手方向に沿ってスライス加工されるこ
とにより、個々の磁気ヘッド１０が完成する。

【００１３】また、他の製造方法によれば、各コア半体
１１，１２を互いに接合した後、ブレードによって、ト
ラック幅規制溝を形成し、該トラック幅規制溝内にガラ
スを充填するようにしている。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成された磁気ヘッド１０においては、各コア半体
１１，１２の接合の際に、例えば専用の治具等を使用す
ることにより、各コア半体１１，１２を互いに位置合わ
せした後、コア半体１１，１２をこの治具と共に電気炉
等の加熱装置内に挿入して、ガラス等によって接合する
ようにしている。

【００１５】そして、この治具等による位置合わせの際
に、各コア半体１１，１２の接合面には既にトラック幅
規制溝２７が形成されていることから、正確な位置合わ
せが必要となり、製造コストが高くなってしまうと共
に、トラック幅規制溝が互いにずれてしまった場合に
は、所定のトラック幅が得られなくなるため、歩留まり
が低下してしまうという問題があった。

【００１６】また、コア半体１１，１２を互いに接合し
た後、ブレードによりトラック幅規制溝を形成するよう
にした場合には、ブレード加工によって、磁性体膜等が
ダメージを受けることになり、高精度のギャップ部が得
られなくなってしまい、磁気ヘッドの特性劣化が生ずる
という問題もあった。

【００１７】本発明は、以上の点に鑑み、各コア半体の
トラック幅規制溝が互いにずれるようなことがなく、且
つ高精度のギャップ部が得られるようにした、磁気ヘッ
ドの製造方法を提供することを目的としている。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、非磁性体基板上に積層させた複数の磁性体膜から
成る一対のコア半体を互いに突き合わせることにより、
該磁性体膜がギャップに対して実質的に垂直に延びるよ
うに、ギャップ部が画成されており、該ギャップ部が、
各コア半体に設けられたトラック幅規制溝により、所定
のトラック幅を有するように構成されている、磁気ヘッ
ドにおいて、上記トラック幅規制溝が、各コア半体の相
互の接合後に、コア半体の接合面に対してブレード加工
により形成された後、該接合面の全面に対するイオンミ
リングにより、仕上げ加工されることを特徴とする、磁
気ヘッドの製造方法により、達成される。

【００１９】

【作用】上記構成によれば、コア半体のトラック幅規制
溝が、コア半体の接合後に、ブレードによって形成され
た後、イオンミリングによって仕上げ加工されるので、
コア接合の際に、トラックずれ防止のために正確に位置
合わせする必要がなく、従って製造コストが低減され得
ることになる。

【００２０】また、ブレード加工によって形成されたト
ラック幅規制溝は、その後のイオンミリングによって仕
上げ加工されるため、表面のダメージによる加工変質層
がイオンミリングにより除去され得る。従って、磁気ヘ
ッドの特性劣化が排除され得ることになる。

【００２１】尚、上記イオンミリングによる仕上げ加工
は、コア半体の接合面全体に対して行なわれ得るので、
パターンニング等の工程は不要であり、比較的低コスト
で済むことになる。

【００２２】

【実施例】以下、図面に示した実施例に基づいて、本発
明を詳細に説明する。図１及び図２は、本発明による磁
気ヘッドの製造方法の一実施例を示している。

【００２３】この実施例により製造される磁気ヘッド
は、図３に示す磁気ヘッド１０と同様の構成であって、
製造工程のみが異なるものであり、図１及び図２に示す
ように製造されるようになっている。

【００２４】即ち、先づ図１（Ａ）において、基板４０
は、セラミックス，ガラスセラミックス等のセラミック
材料から成る非磁性体基板上に、複数の磁性体膜をそれ
ぞれガラスを介して積層させて形成した個々の基板を、
複数個重ね合わせて接合することにより、構成された二
つの基板４１，４２（図１（Ａ）参照）から成り、一方
の基板４１の接合面４１ａには、前以て長手方向に延び
る巻線溝４１ｂが形成されている。

【００２５】このような基板４０は、その後、図１
（Ｂ）に示すように、基板４１及び４２の接合面に関し
て各磁性体膜の一部及び非磁性体基板を除去するよう
に、基板４１，４２の上面に、トラック幅規制溝４３が
加工される。この際、該トラック幅規制溝４３は、図１
（Ｃ）に示すように、所定のトラック幅Ｔｗより僅かに
狭い幅を有するブレード４４により、ブレード加工され
ることにより、形成される。

【００２６】続いて、上記基板４０は、図１（Ｄ）に示
すように、その上面の全面に亘って、イオンミリング４
５により、仕上げ加工される。これにより、該基板４０
は、その個々の基板４１，４２の上面が、図１（Ｄ）に
て点線で示す位置から実線で示す位置まで、除去される
ことになる。かくして、該トラック幅規制溝４３は、イ
オンミリングによって、所定のトラック幅Ｔｗを有する
ことになる。

【００２７】その後、該基板４０は、そのトラック幅規
制溝４３内に、接合用ガラス４６が充填された後（図２
（Ｅ）参照）、その上面が研磨されると共に、図２
（Ｅ）にて一部のトラック幅規制溝４３に関して点線図
示されているように、トラック幅規制溝４３の中心に沿
って、切断溝４７が形成される。

【００２８】最後に、上記基板４０は、該トラック幅規
制溝４３の切断溝４７に沿ってスライス加工されること
により、個々の磁気ヘッド１が完成する。

【００２９】本発明実施例により製造された磁気ヘッド
１は、以上のように構成されており、基板４１，４２か
ら成るコア半体２，３のギャップ形成部により画成され
たギャップ部５が、コア半体２，３の接合面により画成
され得ることになる。これにより、該磁気ヘッド１の各
コア半体２，３の全体として湾曲して形成された上面に
沿って、磁気テープ（図示せず）が摺動することによ
り、該磁気テープに磁気記録されたデータ等がコイル巻
線によって電気信号に変換され、再生され得ることにな
る。

【００３０】この場合、上記磁気ヘッド１においては、
ギャップ部５は、コア半体２，３の接合後に形成された
トラック幅規制溝４３により、トラック幅が決まるた
め、コア半体２，３の接合の際に、トラックずれを排除
するための正確な位置合わせは不要となり、製造が容易
に行なわれ得ると共に、正確なトラック幅が得られるこ
とになる。

【００３１】また、トラック幅規制溝４３の形成は、ブ
レード加工と、その後のイオンミリングによる仕上げ加
工により、行なわれるので、ブレード加工による表面の
ダメージが、イオンミリングによって除去され得ること
になり、磁気ヘッド１の特性が劣化してしまうようなこ
とはない。

【００３２】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、各
コア半体のトラック幅規制溝が互いにずれるようなこと
がなく、且つ高精度のギャップ部が得られるようにし
た、極めて優れた磁気ヘッドの製造方法が提供され得る
ことになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を順次に示し、（Ａ）〜（Ｄ）は概略図である。

【図２】図１の製造方法に続く工程を順次に示し、
（Ｅ）及び（Ｆ）は概略図である。

【図３】従来の磁気ヘッドの一例を示す概略斜視図であ
る。

【図４】図３の磁気ヘッドのギャップ部の研磨加工後の
拡大断面図である。

【図５】図３の磁気ヘッドの製造工程を順次に示し、
（Ａ）〜（Ｅ）は概略図である。

【図６】図５の製造工程に続く工程を示し、（Ｆ）〜
（Ｉ）は概略図である。

【図７】図６の製造工程に続く工程を示し、（Ｊ）及び
（Ｋ）は概略図である。

【符号の説明】

１，１０ 磁気ヘッド ２，３，１１，１２ コア半体 １１ａ，１２ａ 非磁性体基板 １１ｂ，１２ｂ 磁性体膜 ５，１５ ギャップ部 ４０ 基板 ４１，４２ 個々の基板（コア半体） ４３ トラック幅規制溝 ４４ ブレード ４５ イオンミリング ４６ 接合用ガラス ４７ 切断溝

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性体基板上に積層させた複数の磁性
   体膜から成る一対のコア半体を互いに突き合わせること
   により、該磁性体膜がギャップに対して実質的に垂直に
   延びるように、ギャップ部が画成されており、該ギャッ
   プ部が、各コア半体に設けられたトラック幅規制溝によ
   り、所定のトラック幅を有するように構成されている、
   磁気ヘッドにおいて、 上記トラック幅規制溝が、各コア半体の相互の接合後
   に、コア半体の接合面に対してブレード加工により形成
   された後、該接合面の全面に対するイオンミリングによ
   り、仕上げ加工されることを特徴とする、磁気ヘッドの
   製造方法。