JPH02158906A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ＶＴＲＸＦＤＤＳＨＤＤ等に使用される磁
気ヘッドで、特に、一対のコアを接合一体化させてなる
ｉｙ４積層形磁気ヘッドの製造方法に関するものである
。

〔従来の技術〕

近年、磁気テープ等の磁気記録媒体の高密度記録化に伴
い、上記磁気記録媒体の情報の記録及びその磁気記録媒
体からの情報の再生を行う磁気ヘッドとして、高密度磁
気記録を実現可能ならしめる薄膜積層形磁気ヘッドが使
用されている。この薄膜積層形磁気ヘッドの具体例を第
３図に示し説明する。第３図において、（１）はバルク
形コアチップで、一対のコア（２ａ）（２ｂ）を非磁性
体接着材、例えばガラス（３）で接合一体化したもので
ある。このコアチップ（１）の頂端面は、磁気テープ等
の磁気記録媒体を円滑に摺接させるために、所定の曲率
を持つ円弧状曲面に形成され、かつ、両コア（２ａ）（
２ｂ）の接合面上部に５ｉ０２等の非磁性体薄膜（４）
を介在させて所定のトラック幅（Ｔｗ）の磁気ギャップ
ｇが形成される。また、上記コアチップ（１）には、コ
ア（２ａ）　　（２ｂ）の外側面に形成した巻線係止溝
（５ａ）　　（５ｂ）と、コア（２ａ）の内側面に凹溝
を形成してコア（２ａ）（２ｂ）の接合一体化により形
成された巻線挿通穴（６）を利用して絶縁被覆処理の線
材（７）をコア（２ａ）　　（２ｂ）に所定ターン数巻
回してコイルを形成する。尚、上記コア＜２ａ）　　（
２ｂ）は、セラミック、ガラス等の非磁性体基板（２″
）（２″）間に、磁気ギャップｇの所定のトラック＠（
Ｔｗ）と同一厚みのセンダスト、パーマロイ等からなる
軟磁性１ｍ（２”）を介在したものである。

次に、上記磁気ヘッドの製造方法の従来例を第４図ｆａ
ｌ〜＋ｅｌを参照しながら説明する。まず、第４図（ａ
ｌに示すように、長尺な直方体形状の一対のコアブロッ
ク（８ａ）　　（８ｂ）を用意する。この両コアブロッ
ク（８ａ）　　（８ｂ）は第５図に示すように、セラミ
ック、ガラス等の非磁性体基板（８゛）上に、センダス
ト、パーマロイ等からなる軟磁性膜（８”）を、スパッ
タリング等により磁気ギャップｇの所定のトランク幅（
Ｔｗ）と同一の厚みに成膜し、これを複数（コアチップ
数分）積層して、長尺な直方体形状に形成する、次に、
第４図（ｂｌに示すように、一方のコアブロック（８ａ
）の外側面にその長手方向に沿って巻線係上溝となる凹
ｍ　（９ａ）を、内側面に巻線挿通孔となる凹溝（１０
）を夫々切削加工する。

また、他方のコアブロック（８ｂ）の外側面に、その長
手方向に沿って巻線係止溝となる凹溝（９ｂ）を、内側
面に接合用のＶｍ　（１１）を夫々切削加工する。そし
て、第４図（Ｃ１に示すように、コアブロック（８ｂ）
のＶｉ　（１１）に低融点ガラス（１２）を充填してモ
ールドし、両コアブロック（８ａ）　　（８ｂ）の接合
面となる内側面を鏡面加工して、その接合面上部近傍に
５ｉ０２等の非磁性体薄Ｉｌｌ！　（図示せず）を被着
形成する。その後、第４図＜ｄ）に示すように、両コア
ブロック（８ａ）　　（８ｂ）の接合面同士を、軟磁性
膜同士が目合わせされるように位置決めして、突き合わ
せて加熱することにより、モールドしたガラス（１２）
が熔融されて両コアブロック（８ａ）　　（８ｂ）を接
合一体化する。そして、第４図（８１に示すように、上
記接合一体化された両コアブロック（８ａ）　　（８ｂ
）の頂点端面を曲面ｖｒ磨加工して、更に、図示の鎖線
（β）（１）・・・で示すように、両コアブロック（８
ａ）　　（８ｂ）を短手方向に所定の厚さ毎にスライス
し、更に、巻線作業を経て第３図に示すような磁気ヘッ
ドを得る。

（発明が解決しようとする課題） ところで、上述した磁気ヘッドの製造方法において、コ
アブロック（８ａ）　　（８ｂ）’は、非磁性体基板（
８″）上に軟磁性１１５！！（８”）を磁気ギャップど
の所定のトラックＩｔｉｉ３−（ＴＷ）と同一の厚みに
成膜したものを、コアチップ数の分だけ積層することに
より、長尺な直方体形状に形成している。ところが、上
記非磁性体基板（８″）は加工公差によってその厚みに
若干のバラツキがあり、このバラツキが積層によって累
積されるため、各コアブロック（８ａ）　　（８ｂ）に
形成されている軟磁性１１ｆｆ（ａ”）　　（８″゛）
同士の位置ずれが生じ易（て磁気ヘッドの品質が低下し
、信頼性が低下するという問題があった。

〔課題を解決するための手段〕

この発明は上記課題に鑑みて提案されたもので、非磁性
体基板上に軟磁性膜を成膜したものをコアチップ数の分
だけ積層してなる直方体形状の一対のコアブロックを接
合一体化し、これをスライスしてコアチップを得る磁気
ヘッドの製造方法であって、予め上記コアブロックの軟
磁性膜を磁気ギャップの所定のトラック幅以上の厚さに
成膜しておき、定ピッチ間隔で磁気ギャップの所定のト
ラック幅を残して複数のトラック溝を形成したことによ
り上記課題を解決した磁気ヘッドの製造方法を提供する
。

〔作用〕 この発明によれば、突き合わせるコアブロックの軟磁性
膜が非磁性体基板の加工公差による厚みばらつきにより
ピッチずれにしていても、軟磁性膜が磁気ギャップの所
定のトラック幅以上の厚さに成膜されているためにピッ
チずれは補正され、所定のトラック幅を得ることができ
る。

〔実施例〕

この発明に係る磁気ヘッドの製造方法の一実施例を第１
図及び第２図に基づいて説明する。

尚、第３図乃至第４図と同−或いは類似部分には、同一
参照符号を附して出複説明を省略する。

この発明方法の特徴は、コアブロック（８ａ）（８ｂ）
の軟磁性膜（８°°）を磁気ギャップどの所定のトラッ
ク幅（Ｔｗ）以上の厚さに成膜しておき、トラック溝（
１３）　　（１３）・・・を精度良く形成して定ピッチ
間隔で磁気ギャップｇの所定のトラック幅（Ｔｗ）を得
ることにある。

即ら、非磁性体基板（８°）上に軟磁性膜（８”）を磁
気ギャップｇの所定のトラック幅（Ｔｗ）以上の厚さに
成膜したものをコアチップ数の分だけ積層することによ
り、長尺な直方体形状に形成した一対のコアブロック（
８ａ）　　（８ｂ）を用意し、これらコアブロック（８
ａ）　　（８ｂ）の内外側面に、その長手方向に沿って
凹溝（９ａ）　　（９ｂ）（１０）及びＶｌ　（１１）
を切削加工すると共に、接合面上方エツジ部にその短手
方向に沿って定ピッチ間隔で、所定のトラック幅（Ｔｗ
）を残して複数のトラック溝（１３）　　（１３）・・
・を切削加工する。このトランク溝（１３）の形成は、
溝切りプレートを有するダイサーをコアブロック（８ａ
）（８ｂ）の短手方向に走行させることによって、コア
ブロック（８ａ）　　（８ｂ）の接合面上方エツジ部を
切削加工してトランク溝（１３）が形成され、更に、ダ
イサーをコアブロック（８ａ）　　（８ｂ）の長手方向
に定ピッチずつずらせて走行させることにより複数のト
ラックｍ　（１３）　　（１３）・・・が形成される。

このトラック溝（１３）の形成に際して、コアブロック
（８ａ）　　（８ｂ）の軟磁性膜（８”）が、非磁性体
基板（８°）の厚みのばらつきによりピッチずれしてい
ても、上記軟磁性膜（８”）を磁気ギャップｇの所定の
トラック１１！　（Ｔｗ）以上の厚さに成膜しているた
め、トラック溝（１３）　　（１３）・・・を精度良く
形成すれば定ピッチ間隔で所定のトラック幅（Ｔｗ）を
設定し得る。

上述したトランク溝形成後、コアブロック（８ａ）　　
（８ｂ）のトラック溝（１４）　　（１４）　−・・及
びＶ溝（１２）に低融点ガラスを充愼してモールドし、
両コアブロック（８ａ）　　（８ｂ）の接合面となる内
側面を鏡面加工して、その接合面上部近傍に５ｉ０２等
の非磁性体薄膜を被着形成した後、両コアブロック（８
ａ）　　（８ｂ）の接合面同士を突き合わせする。この
突き合わせ時、両コアブロック（８ａ）　　（８ｂ）の
頂端面を顕微鏡等で拡大目視しながらトラック合わせす
る。このトラック合わせに際して、コアブロック（８ａ
）　　（８ｂ）の軟磁性膜（８”）を磁気ギャップｇの
所定のトラック幅（Ｔｗ）以上の厚さに成形しであるた
め、コアブロック（８ａ）　　（８ｂ）の下端面でも所
定のトラック幅（Ｔｗ）を確保したトラック合わせが可
能である。

上述した両コアブロック（８ａ）　　（８ｂ）の突き合
わせ後、これを加熱することにより、モールドしたガラ
ス（１２）が溶融されて両コアブロック（８ａ）　　（
８ｂ）は接合一体化する。この接合後、従来方法と同様
にコアブロック（８ａ）　　（８ｂ）の頂端面を曲面研
暦加工し、次に、コアブロック（８ａ）　　（８ｂ）を
その短手方向に定ピッチでスライして、更に、巻線作業
を経て第２図に示すような磁気ヘッドを得る。

〔発明の効果〕

この発明によれば、コアブロックの軟磁性膜を磁気ギャ
ップの所定のトランク１■以上の厚さに成膜しておき、
トラック溝を精度良く形成して定ピンチ間隔で磁気ギャ
ップの所定のトラック幅を得るようにしたから、上記軟
磁性膜が非磁性体基板の加工公差による厚みのばらつき
によりピッチずれしていても補正できるため、定ピンチ
間隔で磁気ギャップの所定のトランク幅を設定し得るこ
とができる。従って、コアブロックの軟磁性膜同士を磁
気ギヤツブの所定のトランク幅で正確に一致させること
ができ、良品質で信頼性の高い磁気ヘッドを提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る磁気ヘッドの製造方法を示す斜
視図、第２図はこの発明方法により製造された磁気ヘッ
ドの斜視図である。 第３図は薄膜積層形磁気ヘッドの従来例を示す斜視図、
第４図［ａｌ〜（ｅｌは従来の磁気ヘッドの製造方法を
示す斜視図、第５図はコアブロックの斜視図である。 （８ａ）　　（８ｂ）−・・コアブロック、（８゛）−
・−非磁性体基板、（８゛）−・−軟磁性膜、（１３）
−・−トラック溝。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性体基板上に軟磁性膜を成膜したものをコア
   チップ数の分だけ積層してなる直方体形状の一対のコア
   ブロックを軟磁性膜同士を目合わせして接合一体化し、
   これをスライスしてコアチップを得る磁気ヘッドの製造
   方法であって、 上記コアブロックの軟磁性膜を磁気ギャップの所定のト
   ラック幅以上の厚さに成膜しておき、定ピッチ間隔で磁
   気ギャップの所定のトラック幅を残して複数のトラック
   溝を形成したことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。