JP3057861B2 - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＳ―ＶＨＳ用等ＶＴＲ，
高密度記録用ＦＤＤやＨＤＤ装置などに搭載される高密
度記録用の磁気ヘッドの製造方法に関する。
高密度記録用ＦＤＤやＨＤＤ装置などに搭載される高密
度記録用の磁気ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｓ−ＶＨＳ等用ＶＴＲ，高密度記録用Ｆ
ＤＤやＨＤＤ装置などに搭載される磁気ヘッドは、積層
ラミネート型ヘッドやＭＩＧヘッドが一般的である。
ＤＤやＨＤＤ装置などに搭載される磁気ヘッドは、積層
ラミネート型ヘッドやＭＩＧヘッドが一般的である。
【０００３】まず積層ラミネート型ヘッドを図８に示し
て説明する。このヘッドは高飽和磁束密度を有するセン
ダスト等の金属磁性膜１とＳｉＯ2 やＡｌ2 Ｏ3 等の絶
縁薄膜２とを交互に積層したラミネート層３をセラミッ
ク等の非磁性体基板４，４で両側から挟み込んだ一対の
コア５をギャップスペーサとなるＳｉＯ2 等の非磁性体
薄膜（図示せず）を介して接合一体化したコアチップ６
からなる。なお、その際、ラミネート層の厚みがトラッ
ク幅となる。
て説明する。このヘッドは高飽和磁束密度を有するセン
ダスト等の金属磁性膜１とＳｉＯ2 やＡｌ2 Ｏ3 等の絶
縁薄膜２とを交互に積層したラミネート層３をセラミッ
ク等の非磁性体基板４，４で両側から挟み込んだ一対の
コア５をギャップスペーサとなるＳｉＯ2 等の非磁性体
薄膜（図示せず）を介して接合一体化したコアチップ６
からなる。なお、その際、ラミネート層の厚みがトラッ
ク幅となる。
【０００４】積層ラミネート型ヘッドは、図１０の
（ａ）〜（ｄ）に示す各工程を経て製造される。図１０
の（ａ）に示すように表面に金属磁性膜１と絶縁薄膜２
とを交互にスパッタリング等により積層してラミネート
層３を形成した非磁性体基板４を複数用意し、図１０の
（ｂ）に示すようにこれらを重ね合わせて熱圧着するこ
とにより母材１０を得る。そして図１０の（ｃ）に示す
ように、この母材１０を重合方向に沿って切断分割する
ことにより、一対のコアブロック１１を得る。その後、
一方のコアブロック１１の内外側面にその長手方向に沿
って巻線溝８および巻線窓９となる凹溝１２，１３を切
削加工する。次に図１０の（ｄ）に示すように、コアブ
ロック１１の内側面をギャップスペーサとなるＳｉＯ2
等の非磁性体薄膜（図示せず）を介して突き合わせ加熱
し接合一体化し、接合一体化されたコアブロック１１の
頂端面を研磨加工して媒体摺動面を形成し、コアブロッ
ク１１を所定のピッチでスライスして図８に示すコアチ
ップ６を得る。
（ａ）〜（ｄ）に示す各工程を経て製造される。図１０
の（ａ）に示すように表面に金属磁性膜１と絶縁薄膜２
とを交互にスパッタリング等により積層してラミネート
層３を形成した非磁性体基板４を複数用意し、図１０の
（ｂ）に示すようにこれらを重ね合わせて熱圧着するこ
とにより母材１０を得る。そして図１０の（ｃ）に示す
ように、この母材１０を重合方向に沿って切断分割する
ことにより、一対のコアブロック１１を得る。その後、
一方のコアブロック１１の内外側面にその長手方向に沿
って巻線溝８および巻線窓９となる凹溝１２，１３を切
削加工する。次に図１０の（ｄ）に示すように、コアブ
ロック１１の内側面をギャップスペーサとなるＳｉＯ2
等の非磁性体薄膜（図示せず）を介して突き合わせ加熱
し接合一体化し、接合一体化されたコアブロック１１の
頂端面を研磨加工して媒体摺動面を形成し、コアブロッ
ク１１を所定のピッチでスライスして図８に示すコアチ
ップ６を得る。
【０００５】次に、ＭＩＧヘッドを図９に示して説明す
る。このヘッドはフェライト等の強磁性体からなる一対
のコア１４，１４を接合一体化したコアチップ１５から
なり、両コア１４の接合面に高飽和磁束密度を有するセ
ンダスト等の金属磁性膜１６を被着形成し、ギャップス
ペーサとなるＳｉＯ2 等の非磁性体薄膜（図示せず）を
介在させてガラス１８で一体化することにより、コアチ
ップ１５の媒体摺動面１７に磁気ギャップｇが形成され
る。
る。このヘッドはフェライト等の強磁性体からなる一対
のコア１４，１４を接合一体化したコアチップ１５から
なり、両コア１４の接合面に高飽和磁束密度を有するセ
ンダスト等の金属磁性膜１６を被着形成し、ギャップス
ペーサとなるＳｉＯ2 等の非磁性体薄膜（図示せず）を
介在させてガラス１８で一体化することにより、コアチ
ップ１５の媒体摺動面１７に磁気ギャップｇが形成され
る。
【０００６】積層ラミネート型ヘッドに関しては、例え
ば第１１回日本応用磁気学会学術講演概要集(1987.11)
P.311に記されている。
ば第１１回日本応用磁気学会学術講演概要集(1987.11)
P.311に記されている。
【０００７】また、ＭＩＧヘッドに関しては、例えば第
１１回日本応用磁気学会学術講演概要集(1987.11)P.315
に記されている。
１１回日本応用磁気学会学術講演概要集(1987.11)P.315
に記されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した積
層ラミネート型ヘッドおよびＭＩＧヘッドには以下のよ
うな問題があった。
層ラミネート型ヘッドおよびＭＩＧヘッドには以下のよ
うな問題があった。
【０００９】積層ラミネート型ヘッドでは、近年のます
ますの高密度記録化に伴ってトラック幅が非常に小さく
なる傾向にある。このようにトラック幅の狭小化によ
り、ラミネート層３の厚みが小さくなると、磁路を構成
するのがラミネート層３であるので、磁路の全体積が減
少してヘッドの規格化出力が低下することになる。その
結果、少しのノイズが発生しただけでもそのノイズがヘ
ッド出力に与える影響が大きくなり、すなわちＳ／Ｎ比
が非常に悪くなるという問題があった。
ますの高密度記録化に伴ってトラック幅が非常に小さく
なる傾向にある。このようにトラック幅の狭小化によ
り、ラミネート層３の厚みが小さくなると、磁路を構成
するのがラミネート層３であるので、磁路の全体積が減
少してヘッドの規格化出力が低下することになる。その
結果、少しのノイズが発生しただけでもそのノイズがヘ
ッド出力に与える影響が大きくなり、すなわちＳ／Ｎ比
が非常に悪くなるという問題があった。
【００１０】また、積層ラミネート型ヘッドの製造で
は、ラミネート層３が被着形成された複数の非磁性体基
板４，４を重ね合わせ、この状態で重合方向から非磁性
体基板４，４を熱圧着し、これにより得られた母材１０
を重合方向に沿って切断分割することにより、一対のコ
アブロック１１を得るというふうに一対のコアブロック
１１を得るために工数が非常に多くなるという問題もあ
った。
は、ラミネート層３が被着形成された複数の非磁性体基
板４，４を重ね合わせ、この状態で重合方向から非磁性
体基板４，４を熱圧着し、これにより得られた母材１０
を重合方向に沿って切断分割することにより、一対のコ
アブロック１１を得るというふうに一対のコアブロック
１１を得るために工数が非常に多くなるという問題もあ
った。
【００１１】一方、ＭＩＧヘッドでは、高密度記録化に
よりトラック幅が狭小化されても、磁路を構成するのが
フェライト等の強磁性体部分であるので、磁路の全体積
が減少することがなく、ヘッドの規格化出力が低下する
ことはない。
よりトラック幅が狭小化されても、磁路を構成するのが
フェライト等の強磁性体部分であるので、磁路の全体積
が減少することがなく、ヘッドの規格化出力が低下する
ことはない。
【００１２】しかしながら、ＭＩＧヘッドではコアチッ
プ１５をフェライト等の強磁性体部分で構成しているた
め、媒体摺動面１７にフェライト等の強磁性体部分が露
呈するため、ヘッド出力にフェライト特有の摺動ノイズ
が発生するという問題があった。
プ１５をフェライト等の強磁性体部分で構成しているた
め、媒体摺動面１７にフェライト等の強磁性体部分が露
呈するため、ヘッド出力にフェライト特有の摺動ノイズ
が発生するという問題があった。
【００１３】そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは高密度記録化に
伴ってトラック幅が狭小化されても、ヘッドの規格化出
力が低下することなく、しかも摺動ノイズが発生するこ
とのない磁気ヘッドの製造方法を提供することにある。
されたもので、その目的とするところは高密度記録化に
伴ってトラック幅が狭小化されても、ヘッドの規格化出
力が低下することなく、しかも摺動ノイズが発生するこ
とのない磁気ヘッドの製造方法を提供することにある。
【００１４】ここで、上記目的を達成するためには、一
対の強磁性体コアを接合一体化して、その媒体摺動面に
磁気ギャップを設けたコアチップにおいて、第１の非磁
性体に傾斜面を形成し、その傾斜面に高飽和磁束密度を
有する金属磁性膜を被着するとともに、その金属磁性層
上に第２の非磁性体を設けて媒体摺動面を形成し、媒体
摺動面を含む頂端部以外にコアチップの主体積をしめる
強磁性体を設けた磁気ヘッドが有効となる。
対の強磁性体コアを接合一体化して、その媒体摺動面に
磁気ギャップを設けたコアチップにおいて、第１の非磁
性体に傾斜面を形成し、その傾斜面に高飽和磁束密度を
有する金属磁性膜を被着するとともに、その金属磁性層
上に第２の非磁性体を設けて媒体摺動面を形成し、媒体
摺動面を含む頂端部以外にコアチップの主体積をしめる
強磁性体を設けた磁気ヘッドが有効となる。
【００１５】また、上記ヘッドにおいては、第１の非磁
性体のビッカース硬度が５００以上であったり、媒体摺
動面と磁気ギャップの深さを規制するデプスエンドとの
間で金属磁性膜が媒体摺動面に対して垂直であることが
望ましい。
性体のビッカース硬度が５００以上であったり、媒体摺
動面と磁気ギャップの深さを規制するデプスエンドとの
間で金属磁性膜が媒体摺動面に対して垂直であることが
望ましい。
【００１６】
【課題を解決するための手段】 そこで、 本発明における
磁気ヘッドの製造方法は、板状の第１の非磁性体に複数
のトラック形成用溝を形成し、その溝内に高飽和磁束密
度を有する金属磁性膜を所定のトラック幅に相当する厚
みで被着形成する工程と、その金属磁性膜上に第２の非
磁性体を充填する工程と、上記板状の第１の非磁性体の
トラック形成用溝を有する側面を一平面に鏡面研磨仕上
げする工程と、上記鏡面仕上げされた側面と板状の強磁
性体の鏡面研磨仕上げされた側面とを衝合面として熱圧
着し一体化し板状の母材基板を形成する工程と、その板
状の母材基板をトラック形成用溝の形成方向と垂直方向
になる方向に切断して対をなすコアブロックを形成する
工程と、その対をなすコアブロックの両切断面を鏡面研
磨仕上げする工程と、その対をなすコアブロックをその
切断面を衝合面としてギャップスペーサとなる非磁性膜
を介して突き合わせ熱圧着し一体化する工程と、一体化
されたコアブロックをその短手方向に沿って所定のピッ
チでスライスしてコアチップを形成する工程とを含むこ
とを特徴とする。
磁気ヘッドの製造方法は、板状の第１の非磁性体に複数
のトラック形成用溝を形成し、その溝内に高飽和磁束密
度を有する金属磁性膜を所定のトラック幅に相当する厚
みで被着形成する工程と、その金属磁性膜上に第２の非
磁性体を充填する工程と、上記板状の第１の非磁性体の
トラック形成用溝を有する側面を一平面に鏡面研磨仕上
げする工程と、上記鏡面仕上げされた側面と板状の強磁
性体の鏡面研磨仕上げされた側面とを衝合面として熱圧
着し一体化し板状の母材基板を形成する工程と、その板
状の母材基板をトラック形成用溝の形成方向と垂直方向
になる方向に切断して対をなすコアブロックを形成する
工程と、その対をなすコアブロックの両切断面を鏡面研
磨仕上げする工程と、その対をなすコアブロックをその
切断面を衝合面としてギャップスペーサとなる非磁性膜
を介して突き合わせ熱圧着し一体化する工程と、一体化
されたコアブロックをその短手方向に沿って所定のピッ
チでスライスしてコアチップを形成する工程とを含むこ
とを特徴とする。
【００１７】なお、上記磁気ヘッドの製造方法におい
て、一体化されたコアブロックをトラック形成用溝の傾
斜面と平行になるように所定のチップ厚みにスライス
し、コアチップの頂端部を一体化されたコアブロックの
スライス方向と直交する方向で研磨して媒体摺動面を形
成する工程とを含むようにしたり、一体化されたコアブ
ロックをコアチップの有する媒体摺動面内で第１の非磁
性体の面積が第２の非磁性体の面積よりも大きくなるよ
うにトラック形成用溝の形成方向と非平行になる方向に
沿って所定のピッチでスライスしてコアチップを形成す
る工程とを含むようにすることが望ましい。
て、一体化されたコアブロックをトラック形成用溝の傾
斜面と平行になるように所定のチップ厚みにスライス
し、コアチップの頂端部を一体化されたコアブロックの
スライス方向と直交する方向で研磨して媒体摺動面を形
成する工程とを含むようにしたり、一体化されたコアブ
ロックをコアチップの有する媒体摺動面内で第１の非磁
性体の面積が第２の非磁性体の面積よりも大きくなるよ
うにトラック形成用溝の形成方向と非平行になる方向に
沿って所定のピッチでスライスしてコアチップを形成す
る工程とを含むようにすることが望ましい。
【００１８】本発明にて製造された磁気ヘッドでは、高
密度によりトラック幅が狭小化されても、磁路を構成す
るのがフェライト等の強磁性体部分であるので磁路の全
体積が減少することなくヘッドの規格化出力が低下する
ことはない。また、コアチップの媒体摺動面に露呈する
のが金属磁性膜とその両側に配置された第１および第２
の非磁性体であり、フェライト等の強磁性体が露呈しな
いため、ヘッド出力にフェライト特有の摺動ノイズが発
生することもない。
密度によりトラック幅が狭小化されても、磁路を構成す
るのがフェライト等の強磁性体部分であるので磁路の全
体積が減少することなくヘッドの規格化出力が低下する
ことはない。また、コアチップの媒体摺動面に露呈する
のが金属磁性膜とその両側に配置された第１および第２
の非磁性体であり、フェライト等の強磁性体が露呈しな
いため、ヘッド出力にフェライト特有の摺動ノイズが発
生することもない。
【００１９】また、本発明にかかる磁気ヘッドの製造方
法では、トラック形成用溝を形成して、その溝内に金属
磁性膜を被着形成できるので、一対のコアブロックを得
るための工数が多くなることもない。
法では、トラック形成用溝を形成して、その溝内に金属
磁性膜を被着形成できるので、一対のコアブロックを得
るための工数が多くなることもない。
【００２０】
【実施例】本発明にかかる磁気ヘッドおよびその製造方
法の実施例を図１ないし図７に示して説明する。
法の実施例を図１ないし図７に示して説明する。
【００２１】まず、本発明にて製造された磁気ヘッドを
図１と図２に示す。図１は高密度記録用ＦＤＤ装置に，
図２はＳ―ＶＨＳ用等ＶＴＲ装置にそれぞれ搭載される
磁気ヘッドを示す。これらの磁気ヘッドは同図に示すよ
うにフェライト等の強磁性体からなる一対のコア２１を
接合一体化したコアチップ２２からなり、コア２１の接
合面間にギャップスペーサとなるＳｉＯ2等の非磁性体
薄膜（図示せず）を介在させることにより、コアチップ
２２の媒体摺動面２３に磁気ギャップｇを形成する。コ
アチップ２２では、セラミックス等からなる第１の非磁
性体２４に傾斜面２５を形成し、その傾斜面２５に高飽
和磁束密度を有するセンダスト等の金属磁性膜２６をス
パッタリング等により形成し、さらに上記金属磁性膜２
６上にガラス等からなる第２の非磁性体２７をモールド
等により形成する。このセラミックス等からなる第１の
非磁性体２４，ガラス等からなる第２の非磁性体２７お
よび金属磁性膜２６により、コアチップ２２の媒体摺動
面２３が形成され、磁気ギャップｇのトラック幅Ｔｗは
その媒体摺動面２３に露呈する金属磁性膜２６の厚みと
等しい。ここで図示しないが、所定のトラック幅を得る
ために上記金属磁性膜２６とＳｉＯ2やＡｌ2Ｏ3等の絶
縁薄膜とを交互に積層したラミネート層を形成するよう
にしてもよいのは勿論である。さらに、上記金属磁性膜
２６と接するようにフェライト等の強磁性体２８が形成
されている。
図１と図２に示す。図１は高密度記録用ＦＤＤ装置に，
図２はＳ―ＶＨＳ用等ＶＴＲ装置にそれぞれ搭載される
磁気ヘッドを示す。これらの磁気ヘッドは同図に示すよ
うにフェライト等の強磁性体からなる一対のコア２１を
接合一体化したコアチップ２２からなり、コア２１の接
合面間にギャップスペーサとなるＳｉＯ2等の非磁性体
薄膜（図示せず）を介在させることにより、コアチップ
２２の媒体摺動面２３に磁気ギャップｇを形成する。コ
アチップ２２では、セラミックス等からなる第１の非磁
性体２４に傾斜面２５を形成し、その傾斜面２５に高飽
和磁束密度を有するセンダスト等の金属磁性膜２６をス
パッタリング等により形成し、さらに上記金属磁性膜２
６上にガラス等からなる第２の非磁性体２７をモールド
等により形成する。このセラミックス等からなる第１の
非磁性体２４，ガラス等からなる第２の非磁性体２７お
よび金属磁性膜２６により、コアチップ２２の媒体摺動
面２３が形成され、磁気ギャップｇのトラック幅Ｔｗは
その媒体摺動面２３に露呈する金属磁性膜２６の厚みと
等しい。ここで図示しないが、所定のトラック幅を得る
ために上記金属磁性膜２６とＳｉＯ2やＡｌ2Ｏ3等の絶
縁薄膜とを交互に積層したラミネート層を形成するよう
にしてもよいのは勿論である。さらに、上記金属磁性膜
２６と接するようにフェライト等の強磁性体２８が形成
されている。
【００２２】上記磁気ヘッドでは、高密度記録化により
磁気ギャップｇのトラック幅Ｔｗが小さくなっても、磁
路を構成するのがフェライト等の強磁性体２８であるの
で、磁路の全体積が減少することなくヘッドの規格化出
力が低下することはない。
磁気ギャップｇのトラック幅Ｔｗが小さくなっても、磁
路を構成するのがフェライト等の強磁性体２８であるの
で、磁路の全体積が減少することなくヘッドの規格化出
力が低下することはない。
【００２３】また、媒体摺動面２３に露呈するのが金属
磁性膜２６とその両側に配置されたセラミックス等から
なる第１の非磁性体２４およびガラス等からなる第２の
非磁性体２７であり、フェライト等の強磁性体２８が露
呈しないため、ヘッド出力にフェライト特有の摺動ノイ
ズが発生することもない。
磁性膜２６とその両側に配置されたセラミックス等から
なる第１の非磁性体２４およびガラス等からなる第２の
非磁性体２７であり、フェライト等の強磁性体２８が露
呈しないため、ヘッド出力にフェライト特有の摺動ノイ
ズが発生することもない。
【００２４】Ｓ―ＶＨＳ用等ＶＴＲ装置に搭載される磁
気ヘッドの場合、媒体摺動面２３に媒体である磁気テー
プが摺動するため、媒体摺動面２３での耐摩耗性が要求
される。媒体摺動面２３での耐摩耗性を向上させるため
には、図２に示すようにセラミックス等からなる第１の
非磁性体２４をビッカース硬度が５００以上の例えばＣ
ａ・ＴｉＯ3等の非磁性体に置き換えればよい。
気ヘッドの場合、媒体摺動面２３に媒体である磁気テー
プが摺動するため、媒体摺動面２３での耐摩耗性が要求
される。媒体摺動面２３での耐摩耗性を向上させるため
には、図２に示すようにセラミックス等からなる第１の
非磁性体２４をビッカース硬度が５００以上の例えばＣ
ａ・ＴｉＯ3等の非磁性体に置き換えればよい。
【００２５】次に、本発明における磁気ヘッドの製造方
法を図３（ａ）〜（ｅ），図４（ａ）〜（ｄ）に示す。
まず図３（ａ）に示すようにＣａ・ＴｉＯ3 等の第１の
非磁性体２４を用意し、この第１の非磁性体に多数のト
ラック形成用溝２９を定ピッチで刻設する。そして図３
（ｂ）に示すように上記トラック形成用溝２９の溝内側
面の傾斜面２５にセンダスト等の金属磁性膜２６をスパ
ッタリング等により被着形成する。このとき、トラック
形成用溝２９が第１の非磁性体２４の表面に対して傾斜
面２５を有するＶ溝形状であるため、金属磁性膜２６の
成膜において所定の厚みに設定することが容易である。
その後、図３（ｃ）に示すように上記金属磁性膜２６上
に第２の非磁性体であるガラス２７をモールドすること
により充填する。そして、図３（ｄ）に示すようにＣａ
・ＴｉＯ3 等の第１の非磁性体２４を所定の寸法だけ研
磨加工することにより強磁性体２８との接合面３０を形
成する。そして、図３（ｅ）に示すように上記Ｃａ・Ｔ
ｉＯ3 等の第１の非磁性体２４とフェライト等の強磁性
体２８とを接合面３０を衝合面として熱圧着により一体
化し、板状の母材基板３１を形成する。そして、図４
（ａ）に示すように上述のようにして得られた母材基板
３１を用意し、図４（ｂ）に示すようにトラック形成用
溝２９の形成方向と直交する方向に切断して対をなす長
尺なコアブロック３２を得る。ここでコアブロック３２
の内側面にその長手方向に沿って巻線用窓となる凹溝３
３およびデプス規制用Ｖ溝３４を切削加工し、コアブロ
ック３２の切断面である内側面を鏡面研磨仕上げする。
その上で図４（ｃ）に示すように一対のコアブロック３
２の内側面をギャップスペーサとなるＳｉＯ2 等の非磁
性体薄膜（図示せず）を介して突き合わせて加熱し接合
一体化し、さらに図４（ｄ）に示すように一体化された
コアブロック３２の外側面およびギャップスペーサを介
した接合面を下端面３５側から長手方向に沿って凹溝３
６，３７，３８を形成することによってコイル巻回部を
形成する。
法を図３（ａ）〜（ｅ），図４（ａ）〜（ｄ）に示す。
まず図３（ａ）に示すようにＣａ・ＴｉＯ3 等の第１の
非磁性体２４を用意し、この第１の非磁性体に多数のト
ラック形成用溝２９を定ピッチで刻設する。そして図３
（ｂ）に示すように上記トラック形成用溝２９の溝内側
面の傾斜面２５にセンダスト等の金属磁性膜２６をスパ
ッタリング等により被着形成する。このとき、トラック
形成用溝２９が第１の非磁性体２４の表面に対して傾斜
面２５を有するＶ溝形状であるため、金属磁性膜２６の
成膜において所定の厚みに設定することが容易である。
その後、図３（ｃ）に示すように上記金属磁性膜２６上
に第２の非磁性体であるガラス２７をモールドすること
により充填する。そして、図３（ｄ）に示すようにＣａ
・ＴｉＯ3 等の第１の非磁性体２４を所定の寸法だけ研
磨加工することにより強磁性体２８との接合面３０を形
成する。そして、図３（ｅ）に示すように上記Ｃａ・Ｔ
ｉＯ3 等の第１の非磁性体２４とフェライト等の強磁性
体２８とを接合面３０を衝合面として熱圧着により一体
化し、板状の母材基板３１を形成する。そして、図４
（ａ）に示すように上述のようにして得られた母材基板
３１を用意し、図４（ｂ）に示すようにトラック形成用
溝２９の形成方向と直交する方向に切断して対をなす長
尺なコアブロック３２を得る。ここでコアブロック３２
の内側面にその長手方向に沿って巻線用窓となる凹溝３
３およびデプス規制用Ｖ溝３４を切削加工し、コアブロ
ック３２の切断面である内側面を鏡面研磨仕上げする。
その上で図４（ｃ）に示すように一対のコアブロック３
２の内側面をギャップスペーサとなるＳｉＯ2 等の非磁
性体薄膜（図示せず）を介して突き合わせて加熱し接合
一体化し、さらに図４（ｄ）に示すように一体化された
コアブロック３２の外側面およびギャップスペーサを介
した接合面を下端面３５側から長手方向に沿って凹溝３
６，３７，３８を形成することによってコイル巻回部を
形成する。
【００２６】次に、所定のデプスとなるように上記接合
一体化されたコアブロック３２の頂端面に鏡面研磨面３
６を形成し、上記接合一体化されたコアブロック３２を
定ピッチでスライスして図１および図３（ｅ）に示すコ
アチップ２２を得る。
一体化されたコアブロック３２の頂端面に鏡面研磨面３
６を形成し、上記接合一体化されたコアブロック３２を
定ピッチでスライスして図１および図３（ｅ）に示すコ
アチップ２２を得る。
【００２７】また上述したようにＳ―ＶＨＳ用等ＶＴＲ
装置に搭載され媒体摺動面２３での耐摩耗性が要求され
る磁気ヘッドを製造する場合、媒体摺動面２３での耐摩
耗性をより一層向上させるために、図５に示すようにギ
ャップスペーサを介して一体化されたコアブロック３２
をコアチップの有する媒体摺動面２３内で、５００以上
のビッカース硬度を有するＣａ・ＴｉＯ3等の第１の非
磁性体基板２４の面積が、ガラス等の第２の非磁性体２
７の面積よりも大きくなるように、トラック形成用溝２
９の形成方向と非平行となる方向に沿って所定のピッチ
でスライスして、コアチップ２２を得ることによって、
媒体摺動面２３内で５００以上のビッカース硬度を有す
るＣａ・ＴｉＯ3等の非磁性体２４のしめる面積の割合
を大きくすることができる。このようにすれば、媒体摺
動面２３での耐摩耗性をより一層向上することができ
る。
装置に搭載され媒体摺動面２３での耐摩耗性が要求され
る磁気ヘッドを製造する場合、媒体摺動面２３での耐摩
耗性をより一層向上させるために、図５に示すようにギ
ャップスペーサを介して一体化されたコアブロック３２
をコアチップの有する媒体摺動面２３内で、５００以上
のビッカース硬度を有するＣａ・ＴｉＯ3等の第１の非
磁性体基板２４の面積が、ガラス等の第２の非磁性体２
７の面積よりも大きくなるように、トラック形成用溝２
９の形成方向と非平行となる方向に沿って所定のピッチ
でスライスして、コアチップ２２を得ることによって、
媒体摺動面２３内で５００以上のビッカース硬度を有す
るＣａ・ＴｉＯ3等の非磁性体２４のしめる面積の割合
を大きくすることができる。このようにすれば、媒体摺
動面２３での耐摩耗性をより一層向上することができ
る。
【００２８】なお、以上説明した実施例での磁気ヘッド
およびその製造方法では、トラック幅を規制する金属磁
性膜２６が媒体摺動面２３に対して傾斜した面上に形成
しているため、上記媒体摺動面２３での磁気テープ等の
走行により媒体摺動面２３が摩耗した場合、上記トラッ
ク幅が位置ずれすることがあり、これを解決するために
上述した各種手段を講じればよい。
およびその製造方法では、トラック幅を規制する金属磁
性膜２６が媒体摺動面２３に対して傾斜した面上に形成
しているため、上記媒体摺動面２３での磁気テープ等の
走行により媒体摺動面２３が摩耗した場合、上記トラッ
ク幅が位置ずれすることがあり、これを解決するために
上述した各種手段を講じればよい。
【００２９】一方、例えば図６に示すように一対のコア
ブロック３２を作製した上で、両コアブロック３２をギ
ャップスペーサを介して突き合わせて接合一体化したも
のをトラック形成用溝２９の傾斜面２５と平行に沿って
スライスしてコアチップ２２形成した後、そのコアチッ
プ２２の頂端面をそのスライス方向と直交する方向に研
磨加工することにより、媒体摺動面２３を形成するよう
にすればよい。あるいは図７に示すようにトラック形成
用溝２９に金属磁性膜２６をスパッタリング等により被
着形成する場合、上記トラック形成用溝２９を磁気ギャ
ップのデプス寸法を規制するデプスエンドＤまでの短い
寸法だけＣａ・ＴｉＯ3 等の非磁性体基板２４の表面に
対して垂直となる部分Ｐを有するように形成すれば、そ
の垂直部分Ｐが比較的短いトラック形成用溝２９のエッ
ヂ部分となっているので、金属磁性膜２６の形成時に所
定の厚みとなるようにすることは容易である。このよう
にすれば、金属磁性膜２６が媒体摺動面２３に対して垂
直となるので、媒体摺動面２３が磁気テープ等の走行に
より摩耗しても、トラック幅を規制する金属磁性膜２６
が位置ずれすることがない。
ブロック３２を作製した上で、両コアブロック３２をギ
ャップスペーサを介して突き合わせて接合一体化したも
のをトラック形成用溝２９の傾斜面２５と平行に沿って
スライスしてコアチップ２２形成した後、そのコアチッ
プ２２の頂端面をそのスライス方向と直交する方向に研
磨加工することにより、媒体摺動面２３を形成するよう
にすればよい。あるいは図７に示すようにトラック形成
用溝２９に金属磁性膜２６をスパッタリング等により被
着形成する場合、上記トラック形成用溝２９を磁気ギャ
ップのデプス寸法を規制するデプスエンドＤまでの短い
寸法だけＣａ・ＴｉＯ3 等の非磁性体基板２４の表面に
対して垂直となる部分Ｐを有するように形成すれば、そ
の垂直部分Ｐが比較的短いトラック形成用溝２９のエッ
ヂ部分となっているので、金属磁性膜２６の形成時に所
定の厚みとなるようにすることは容易である。このよう
にすれば、金属磁性膜２６が媒体摺動面２３に対して垂
直となるので、媒体摺動面２３が磁気テープ等の走行に
より摩耗しても、トラック幅を規制する金属磁性膜２６
が位置ずれすることがない。
【００３０】
【発明の効果】本発明にて製造された磁気ヘッドによれ
ば、高密度記録化によりトラック幅が狭小化しても、磁
路を構成するのがフェライト等の強磁性体部分であるの
で、磁路の全体積が減少することがなく、ヘッドの規格
化出力の低下を未然に防げる。また、媒体摺動面に露呈
するのが金属磁性膜と第１，第２の非磁性体であり、フ
ェライト等の強磁性体部分が露呈しないため、ヘッド出
力にフェライト特有の摺動ノイズが発生することもな
い。
ば、高密度記録化によりトラック幅が狭小化しても、磁
路を構成するのがフェライト等の強磁性体部分であるの
で、磁路の全体積が減少することがなく、ヘッドの規格
化出力の低下を未然に防げる。また、媒体摺動面に露呈
するのが金属磁性膜と第１，第２の非磁性体であり、フ
ェライト等の強磁性体部分が露呈しないため、ヘッド出
力にフェライト特有の摺動ノイズが発生することもな
い。
【００３１】さらに、本発明にかかる磁気ヘッドの製造
方法では、トラック形成用溝を刻設し、その溝内側面に
金属磁性膜を形成することができるので、従来の積層ラ
ミネート型ヘッドの製造方法と比較して、一対のコアブ
ロックを得るための工数が多くなることもない。
方法では、トラック形成用溝を刻設し、その溝内側面に
金属磁性膜を形成することができるので、従来の積層ラ
ミネート型ヘッドの製造方法と比較して、一対のコアブ
ロックを得るための工数が多くなることもない。
【００３２】このように、本発明によれば、製作が非常
に容易で出力効率の良好な高品質の磁気ヘッドを提供す
ることができる。
に容易で出力効率の良好な高品質の磁気ヘッドを提供す
ることができる。
【図１】 高密度記録用ＦＤＤ装置に搭載される本発明
の磁気ヘッドを示す斜視図
の磁気ヘッドを示す斜視図
【図２】 Ｓ−ＶＨＳ等用ＶＴＲ装置に搭載される本発
明の磁気ヘッドを示す斜視図
明の磁気ヘッドを示す斜視図
【図３】（ａ）〜（ｅ）は本発明にかかる磁気ヘッドの
製造方法を説明する各工程での母材基板の断面図
製造方法を説明する各工程での母材基板の断面図
【図４】（ａ）〜（ｄ）は本発明にかかる磁気ヘッドの
製造方法を説明する各工程での母材およびコアブロック
を示す斜視図
製造方法を説明する各工程での母材およびコアブロック
を示す斜視図
【図５】 図２の磁気ヘッドにおいて、媒体摺動面内で
第１の非磁性体の面積を第２の非磁性体の面積よりも大
きくしたものを示す斜視図
第１の非磁性体の面積を第２の非磁性体の面積よりも大
きくしたものを示す斜視図
【図６】 本発明方法の変形例を説明するための要部拡
大側面図
大側面図
【図７】 本発明方法のさらに他の変形例を説明するた
めの要部拡大側面図
めの要部拡大側面図
【図８】 一般的な積層ラミネート型ヘッドの具体例を
示す斜視図
示す斜視図
【図９】 一般的なＭＩＧヘッドの具体例を示す斜視図
【図１０】（ａ）〜（ｄ）は図８の積層ラミネート型ヘ
ッドの製造方法を説明するための各工程でのコアブロッ
クを示す斜視図
ッドの製造方法を説明するための各工程でのコアブロッ
クを示す斜視図
２１ コア ２２ コアチップ ２３ 媒体摺動面 ２４ 第１の非磁性体 ２５ 傾斜面 ２６ 金属磁性膜 ２７ 第２の非磁性体 ２８ 強磁性体 ２９ トラック形成用溝
Claims (3)
- 【請求項１】板状の第１の非磁性体に傾斜面を有する複
数のトラック形成用溝を形成し、その溝内に高飽和磁束
密度を有する金属磁性膜を所定のトラック幅に相当する
厚みで被着形成する工程と、その金属磁性膜上に第２の
非磁性体を充填する工程と、上記板状の第１の非磁性体
のトラック形成用溝を有する側面を一平面に鏡面研磨仕
上げする工程と、上記鏡面研磨仕上げされた側面と他の
板状の強磁性体の鏡面研磨仕上げされた側面とを衝合面
として熱圧着することによって一体化し、板状の母材基
板を形成する工程と、その板状の母材基板をトラック形
成用溝の形成方向と垂直方向になる方向に切断して対を
なすコアブロックを形成する工程と、その対をなすコア
ブロックの両切断面を鏡面研磨仕上げする工程と、その
対をなすコアブロックをその切断面を衝合面としてギャ
ップスペーサとなる非磁性膜を介して突き合わせ熱圧着
し一体化する工程と、一体化されたコアブロックをその
短手方向に沿って所定のピッチでスライスしてコアチッ
プを形成する工程とを含むことを特徴とする磁気ヘッド
の製造方法。 - 【請求項２】一体化されたコアブロックをトラック形成
用溝の傾斜面と平行になるように所定のチップ厚みにス
ライスする工程と、コアチップの頂端部を一体化された
コアブロックのスライス方向と直交する方向で研磨して
媒体摺動面を形成する工程とを含むことを特徴とする請
求項１記載の磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】一体化されたコアブロックをコアチップの
有する媒体摺動面内で第１の非磁性体の面積が第２の非
磁性体の面積よりも大きくなるようにトラック形成用溝
の形成方向と非平行になる方向に沿って所定のピッチで
スライスしてコアチップを形成する工程とを含むことを
特徴とする請求項１または２記載の磁気ヘッドの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3326011A JP3057861B2 (ja) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3326011A JP3057861B2 (ja) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05159210A JPH05159210A (ja) | 1993-06-25 |
| JP3057861B2 true JP3057861B2 (ja) | 2000-07-04 |
Family
ID=18183102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3326011A Expired - Lifetime JP3057861B2 (ja) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3057861B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016087175A (ja) * | 2014-11-06 | 2016-05-23 | 株式会社Ｎａテック | 寝具、寝具の製造方法、およびバンド |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09274708A (ja) * | 1996-04-02 | 1997-10-21 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気ヘッド及び磁気ヘッド組立体 |
| JP2006250579A (ja) | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Denso Corp | 湿度センサの検査装置及び特性調整方法 |
-
1991
- 1991-12-10 JP JP3326011A patent/JP3057861B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016087175A (ja) * | 2014-11-06 | 2016-05-23 | 株式会社Ｎａテック | 寝具、寝具の製造方法、およびバンド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05159210A (ja) | 1993-06-25 |
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